JP2001311702A - 散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器 - Google Patents
散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器Info
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- JP2001311702A JP2001311702A JP2000130224A JP2000130224A JP2001311702A JP 2001311702 A JP2001311702 A JP 2001311702A JP 2000130224 A JP2000130224 A JP 2000130224A JP 2000130224 A JP2000130224 A JP 2000130224A JP 2001311702 A JP2001311702 A JP 2001311702A
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- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
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- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 散乱ターゲットの交換を容易にする新規な散
乱ターゲット保持機構を提供するとともに、この散乱タ
ーゲット保持機構を具え、散乱ターゲットの交換を容易
にした電子スピン分析器を提供する。 【解決手段】 電子線スピン分析器を構成する散乱ター
ゲット５を加速電極２−１及び電極支持部３で形成され
る空間の外側から、導電性材料からなる散乱ターゲット
保持部材６で保持する。そして、散乱ターゲット保持部
材は絶縁性材料からなる絶縁支持部材で絶縁支持する。
さらに、この絶縁支持部材の外周部を覆うように形成さ
れたガイド部材８に沿って、散乱ターゲット５、散乱タ
ーゲット支持部材６、及び絶縁支持部材７を一体的に着
脱できるようにする。
乱ターゲット保持機構を提供するとともに、この散乱タ
ーゲット保持機構を具え、散乱ターゲットの交換を容易
にした電子スピン分析器を提供する。 【解決手段】 電子線スピン分析器を構成する散乱ター
ゲット５を加速電極２−１及び電極支持部３で形成され
る空間の外側から、導電性材料からなる散乱ターゲット
保持部材６で保持する。そして、散乱ターゲット保持部
材は絶縁性材料からなる絶縁支持部材で絶縁支持する。
さらに、この絶縁支持部材の外周部を覆うように形成さ
れたガイド部材８に沿って、散乱ターゲット５、散乱タ
ーゲット支持部材６、及び絶縁支持部材７を一体的に着
脱できるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、散乱ターゲット保
持機構及び電子スピン分析器に関し、さらに詳しくは電
子材料分析、磁気材料材料表面分析などにおける高効率
の電子スピン分析装置に好適に用いることのできる、散
乱ターゲット保持機構及びその電子スピン分析器に関す
る。
持機構及び電子スピン分析器に関し、さらに詳しくは電
子材料分析、磁気材料材料表面分析などにおける高効率
の電子スピン分析装置に好適に用いることのできる、散
乱ターゲット保持機構及びその電子スピン分析器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】２０〜６０ＫｅＶに加速した電子のスピ
ン分析を行う小型電子スピン分析器では、分析器の空間
的制約のため散乱ターゲットの交換が容易でない。その
ため、従来の電子スピン分析器では、真空槽を含めた分
析装置本体から分析器部分を取り外して分解しないとタ
ーゲットの交換ができなかった。また、分析性能は散乱
ターゲットの膜厚に依存する。さらに、分析性能のター
ゲット膜厚依存性を測定することは、分析器の定量性を
評価するために有効であるが、従来の技術では散乱ター
ゲットの交換が容易にできず、高い定量性を確保するこ
とができなかった。
ン分析を行う小型電子スピン分析器では、分析器の空間
的制約のため散乱ターゲットの交換が容易でない。その
ため、従来の電子スピン分析器では、真空槽を含めた分
析装置本体から分析器部分を取り外して分解しないとタ
ーゲットの交換ができなかった。また、分析性能は散乱
ターゲットの膜厚に依存する。さらに、分析性能のター
ゲット膜厚依存性を測定することは、分析器の定量性を
評価するために有効であるが、従来の技術では散乱ター
ゲットの交換が容易にできず、高い定量性を確保するこ
とができなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、散乱ターゲ
ットの交換を容易にする新規な散乱ターゲット保持機構
を提供するとともに、この散乱ターゲット保持機構を具
え、散乱ターゲットの交換を容易にした電子スピン分析
器を提供することを目的とする。
ットの交換を容易にする新規な散乱ターゲット保持機構
を提供するとともに、この散乱ターゲット保持機構を具
え、散乱ターゲットの交換を容易にした電子スピン分析
器を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明の散乱ターゲット保持機構は、散乱ターゲットを
保持する導電性材料からなる散乱ターゲット保持部と、
この散乱ターゲット保持部を絶縁支持する絶縁性材料か
らなる絶縁支持部と、前記散乱ターゲットを設置する所
定の箇所に、前記散乱ターゲット保持部と前記絶縁支持
部とを案内するガイド部とを具えることを特徴とする。
本発明の散乱ターゲット保持機構は、散乱ターゲットを
保持する導電性材料からなる散乱ターゲット保持部と、
この散乱ターゲット保持部を絶縁支持する絶縁性材料か
らなる絶縁支持部と、前記散乱ターゲットを設置する所
定の箇所に、前記散乱ターゲット保持部と前記絶縁支持
部とを案内するガイド部とを具えることを特徴とする。
【０００５】そして、本発明の電子スピン分析器は、上
記散乱ターゲット保持機構を具えるものであって、電子
線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対
向するように配置された半球状の加速電極部と、この加
速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外
周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内
であって、前記電極支持部に形成された開口部内に設け
られた散乱ターゲットとを具え、前記電子線発生装置か
ら出射された電子線を前記加速電極部に設けられた開口
部から前記加速電極部内に導入するとともに、前記散乱
ターゲットに衝突させ、これによって散乱された前記電
子線を前記散乱電子検出部によって検出することにより
前記電子線のスピン分析を行うようにした電子スピン分
析器において、前記散乱ターゲットを前記加速電極部及
び前記電極支持部で形成される空間の外側から保持する
ようにした導電性材料からなる散乱ターゲット保持部材
と、この散乱ターゲット支持部材を絶縁支持するように
した絶縁性材料からなる絶縁支持部材と、この絶縁支持
部材の外周部を覆うように形成されるとともに前記散乱
ターゲット、前記散乱ターゲット支持部材、及び前記絶
縁支持部材を一体的に着脱できるようにしたガイド部材
とを具えることを特徴とする。
記散乱ターゲット保持機構を具えるものであって、電子
線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対
向するように配置された半球状の加速電極部と、この加
速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外
周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内
であって、前記電極支持部に形成された開口部内に設け
られた散乱ターゲットとを具え、前記電子線発生装置か
ら出射された電子線を前記加速電極部に設けられた開口
部から前記加速電極部内に導入するとともに、前記散乱
ターゲットに衝突させ、これによって散乱された前記電
子線を前記散乱電子検出部によって検出することにより
前記電子線のスピン分析を行うようにした電子スピン分
析器において、前記散乱ターゲットを前記加速電極部及
び前記電極支持部で形成される空間の外側から保持する
ようにした導電性材料からなる散乱ターゲット保持部材
と、この散乱ターゲット支持部材を絶縁支持するように
した絶縁性材料からなる絶縁支持部材と、この絶縁支持
部材の外周部を覆うように形成されるとともに前記散乱
ターゲット、前記散乱ターゲット支持部材、及び前記絶
縁支持部材を一体的に着脱できるようにしたガイド部材
とを具えることを特徴とする。
【０００６】本発明の散乱ターゲット保持機構及び電子
スピン分析器によれば、加速電極部及び加速電極支持部
で形成される空間の外部から、散乱ターゲットを散乱タ
ーゲット保持部材で保持するようにするとともに、この
散乱ターゲット保持部材を絶縁支持部材で絶縁支持す
る。そして、前記絶縁支持部材の外周部を覆うようにし
てガイド部材を設けることにより、前記散乱ターゲット
保持部材及び前記絶縁支持部材を前記ガイド部材に沿っ
て一体的に着脱することができる。したがって、散乱タ
ーゲットの交換を極めて容易に行うことができる。
スピン分析器によれば、加速電極部及び加速電極支持部
で形成される空間の外部から、散乱ターゲットを散乱タ
ーゲット保持部材で保持するようにするとともに、この
散乱ターゲット保持部材を絶縁支持部材で絶縁支持す
る。そして、前記絶縁支持部材の外周部を覆うようにし
てガイド部材を設けることにより、前記散乱ターゲット
保持部材及び前記絶縁支持部材を前記ガイド部材に沿っ
て一体的に着脱することができる。したがって、散乱タ
ーゲットの交換を極めて容易に行うことができる。
【０００７】また、前記散乱ターゲット支持部材は導電
性材料から構成されるとともに、前記絶縁支持部材は絶
縁性材料から構成されており、外部から前記散乱ターゲ
ットに対して電流を導入することができる。すなわち、
散乱ターゲット保持部材及び絶縁支持部材は電極として
の作用をも果たす。このため、これら部材の他に電極部
材などを設ける必要がなく、電子スピン分析器の構成を
簡略化することができる。
性材料から構成されるとともに、前記絶縁支持部材は絶
縁性材料から構成されており、外部から前記散乱ターゲ
ットに対して電流を導入することができる。すなわち、
散乱ターゲット保持部材及び絶縁支持部材は電極として
の作用をも果たす。このため、これら部材の他に電極部
材などを設ける必要がなく、電子スピン分析器の構成を
簡略化することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を発明の実施の形態
に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の散乱ター
ゲット保持機構を具える本発明の電子スピン分析器の一
例を示す概略図である。
に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の散乱ター
ゲット保持機構を具える本発明の電子スピン分析器の一
例を示す概略図である。
【０００９】図１に示す電子スピン分析器は、電子線発
生装置１と、この電子線発生装置１の電子線発射口１Ａ
と対向するように配置された半球状の加速電極２―１及
び２−２と、この加速電極２―１及び２−２を支持する
電極支持部３と、加速電極部２―１の外周部に設けられ
た散乱電子検出器４−１及び４−２と、加速電極２−１
及び２−２の内部であって電極支持部３に設けられた開
口部内に形成された散乱ターゲット５とを有する。
生装置１と、この電子線発生装置１の電子線発射口１Ａ
と対向するように配置された半球状の加速電極２―１及
び２−２と、この加速電極２―１及び２−２を支持する
電極支持部３と、加速電極部２―１の外周部に設けられ
た散乱電子検出器４−１及び４−２と、加速電極２−１
及び２−２の内部であって電極支持部３に設けられた開
口部内に形成された散乱ターゲット５とを有する。
【００１０】散乱ターゲット５は、ターゲット保持部材
６によって加速電極２−１及び電極保持部３によって形
成される空間の外部から保持されている。そして、ター
ゲット保持部材６は、その外周部を絶縁支持部材７で絶
縁支持されている。さらに、絶縁支持部材７の外周部に
はガイド部材８が設けられている。図１に示すような構
成によれば、散乱ターゲット５、散乱ターゲット保持部
材６、及び絶縁支持部材７を、図２に示すようにガイド
部材８に沿って自在に着脱できるため、散乱ターゲット
の交換を容易に行うことができる。
６によって加速電極２−１及び電極保持部３によって形
成される空間の外部から保持されている。そして、ター
ゲット保持部材６は、その外周部を絶縁支持部材７で絶
縁支持されている。さらに、絶縁支持部材７の外周部に
はガイド部材８が設けられている。図１に示すような構
成によれば、散乱ターゲット５、散乱ターゲット保持部
材６、及び絶縁支持部材７を、図２に示すようにガイド
部材８に沿って自在に着脱できるため、散乱ターゲット
の交換を容易に行うことができる。
【００１１】また、散乱ターゲット保持部材６は導電性
材料から構成されるとともに、絶縁支持部材７は絶縁性
材料から構成されている。したがって、散乱ターゲット
保持部材６を通じて散乱ターゲット５に対して外部から
電流を導入することができ、これら部材が電極としても
機能していることが分かる。すなわち、これら部材を設
けた他に電極を設ける必要がないため、電子スピン分析
器の構成を簡易化することができる。
材料から構成されるとともに、絶縁支持部材７は絶縁性
材料から構成されている。したがって、散乱ターゲット
保持部材６を通じて散乱ターゲット５に対して外部から
電流を導入することができ、これら部材が電極としても
機能していることが分かる。すなわち、これら部材を設
けた他に電極を設ける必要がないため、電子スピン分析
器の構成を簡易化することができる。
【００１２】なお、図１には明確に示していないが、上
記電子線発生装置１からガイド部材８までは所定の真空
槽内に設置されている。そして、散乱ターゲット保持部
材６へは、真空槽壁に嵌通させた絶縁碍子９を介し、真
空槽外部に設けられた高圧電源導入端子１０から所定の
電流が導入される。
記電子線発生装置１からガイド部材８までは所定の真空
槽内に設置されている。そして、散乱ターゲット保持部
材６へは、真空槽壁に嵌通させた絶縁碍子９を介し、真
空槽外部に設けられた高圧電源導入端子１０から所定の
電流が導入される。
【００１３】散乱ターゲット保持部材６を構成する導電
性材料としては、非磁性ステンレス、チタン、モリブデ
ン、及びタングステンなどの非磁性絶縁材料を例示する
ことができる。
性材料としては、非磁性ステンレス、チタン、モリブデ
ン、及びタングステンなどの非磁性絶縁材料を例示する
ことができる。
【００１４】絶縁支持部材７を構成する絶縁性材料とし
ては、アルミナ、窒化アルミニウム、二酸化珪素（ガラ
ス）及びサファイアを例示することができる。
ては、アルミナ、窒化アルミニウム、二酸化珪素（ガラ
ス）及びサファイアを例示することができる。
【００１５】ガイド部材８としては、非磁性ステンレ
ス、モリブデン、タングステンなどの非磁性で機械的強
度のあるものを例示することができる。
ス、モリブデン、タングステンなどの非磁性で機械的強
度のあるものを例示することができる。
【００１６】なお、図中の矢印は電子線の飛翔方向を表
しており、電子線発生器１から発せられた電子線が散乱
ターゲット５に衝突し、散乱された後に電子線検出器４
−１及び４−２に至る様子が示されている。
しており、電子線発生器１から発せられた電子線が散乱
ターゲット５に衝突し、散乱された後に電子線検出器４
−１及び４−２に至る様子が示されている。
【００１７】以上、具体例を挙げながら発明の実施の形
態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は
上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸
脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能であ
る。
態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は
上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸
脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能であ
る。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電子スピン分析器における散乱ターゲットの交換を極め
て容易に行うことができる。したがって、散乱ターゲッ
ト交換に伴う作業性及び作業時間を極めて効率化するこ
とができ、分析器自体の定量性の評価をも極めて容易に
行うことができる。
電子スピン分析器における散乱ターゲットの交換を極め
て容易に行うことができる。したがって、散乱ターゲッ
ト交換に伴う作業性及び作業時間を極めて効率化するこ
とができ、分析器自体の定量性の評価をも極めて容易に
行うことができる。
【図１】 本発明の電子スピン分析器の一例を示す構成
図である。
図である。
【図２】 図１に示す電子スピン分析器において、散乱
ターゲット、散乱ターゲット保持部材及び絶縁支持部材
をガイド部材に沿って取り外した様子を示す図である。
ターゲット、散乱ターゲット保持部材及び絶縁支持部材
をガイド部材に沿って取り外した様子を示す図である。
１ 電子線発生装置 ２―１、２−２ 加速電極 ３ 電極支持部 ４―１、４−２ 電子線検出器 ５ 散乱ターゲット ６ 散乱ターゲット支持部材 ７ 絶縁支持部材 ８ ガイド部材 ９ 絶縁碍子 １０ 高圧電源導入端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武藤 征一 北海道札幌市白石区本郷通13丁目南４−１ ムトウ建設工業株式会社内 (72)発明者 上遠野 久夫 北海道札幌市手稲区曙２条４−２−29 株 式会社産鋼スチール内 (72)発明者 上田 映介 北海道上磯郡上磯町字追分３丁目２−２ 株式会社菅製作所内 Ｆターム(参考） 2G001 AA03 BA14 CA03 DA06 GA01 GA09 GA11 JA04 JA14 KA12 SA01
Claims (2)
- 【請求項１】 散乱ターゲットを保持する導電性材料か
らなる散乱ターゲット保持部と、この散乱ターゲット保
持部を絶縁支持する絶縁性材料からなる絶縁支持部と、
前記散乱ターゲットを設置する所定の箇所に、前記散乱
ターゲット保持部と前記絶縁支持部とを案内するガイド
部とを具えることを特徴とする、散乱ターゲット保持機
構。 - 【請求項２】 電子線発生装置と、この電子線発生装置
の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加
速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、
前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部
と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部に形成
された開口部内に設けられた散乱ターゲットとを具え、
前記電子線発生装置から出射された電子線を前記加速電
極部に設けられた開口部から前記加速電極部内に導入す
るとともに、前記散乱ターゲットに衝突させ、これによ
って散乱された前記電子線を前記散乱電子検出部によっ
て検出することにより前記電子線のスピン分析を行うよ
うにした電子スピン分析器において、 前記散乱ターゲットを前記加速電極部及び前記電極支持
部で形成される空間の外側から保持するようにした導電
性材料からなる散乱ターゲット保持部材と、この散乱タ
ーゲット支持部材を絶縁支持するようにした絶縁性材料
からなる絶縁支持部材と、この絶縁支持部材の外周部を
覆うように形成されるとともに前記散乱ターゲット、前
記散乱ターゲット支持部材、及び前記絶縁支持部材を一
体的に着脱できるようにしたガイド部材とを具えること
を特徴とする、電子スピン分析器。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000130224A JP3383842B2 (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器 |
| KR10-2001-0021924A KR100414381B1 (ko) | 2000-04-28 | 2001-04-24 | 산란 타겟 보지용 기구 및 전자 스핀 분석기 |
| EP01109470A EP1150329A3 (en) | 2000-04-28 | 2001-04-24 | A scattering target-holding mechanism and an electron spin analyzer |
| US09/842,442 US6674073B2 (en) | 2000-04-28 | 2001-04-26 | Scattering target-holding mechanism and an electron spin analyzer |
| CNB011174315A CN1159599C (zh) | 2000-04-28 | 2001-04-28 | 散射靶固定机构及电子自旋分析器 |
| HK02104085.6A HK1042743B (zh) | 2000-04-28 | 2002-05-31 | 散射靶固定機構及電子自旋分析器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000130224A JP3383842B2 (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001311702A true JP2001311702A (ja) | 2001-11-09 |
| JP3383842B2 JP3383842B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=18639368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000130224A Expired - Lifetime JP3383842B2 (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6674073B2 (ja) |
| EP (1) | EP1150329A3 (ja) |
| JP (1) | JP3383842B2 (ja) |
| KR (1) | KR100414381B1 (ja) |
| CN (1) | CN1159599C (ja) |
| HK (1) | HK1042743B (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3757263B2 (ja) | 2000-05-02 | 2006-03-22 | 国立大学法人 北海道大学 | 電子スピン分析器 |
| JP5222712B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2013-06-26 | 株式会社日立製作所 | 電子スピン検出器並びにそれを用いたスピン偏極走査電子顕微鏡及びスピン分解光電子分光装置 |
| US8434752B2 (en) | 2011-08-05 | 2013-05-07 | Goss International Americas, Inc. | Apparatus for opening and transporting a product with a non-symmetrical fold |
| CN104345331B (zh) * | 2013-07-24 | 2017-04-19 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 图像型电子自旋分析器 |
| CN109470731B (zh) * | 2017-09-07 | 2020-10-20 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种图像型电子自旋分析器 |
| CN109470732B (zh) * | 2017-09-07 | 2020-11-24 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种电子光学系统 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5578449A (en) * | 1978-12-08 | 1980-06-13 | Toshiba Corp | Rotary anode x-ray tube |
| JPS6017846A (ja) | 1983-07-08 | 1985-01-29 | Hitachi Ltd | 電子スピン偏極率検出器 |
| JPS60177539A (ja) | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Hitachi Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
| JPS60105152A (ja) | 1984-10-05 | 1985-06-10 | Hitachi Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
| US4760254A (en) * | 1985-06-07 | 1988-07-26 | Pierce Daniel T | Apparatus and method for electron spin polarization detection |
| US4800581A (en) * | 1986-10-27 | 1989-01-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray tube |
| US4802196A (en) * | 1986-12-31 | 1989-01-31 | General Electric Company | X-ray tube target |
| JPH0786897B2 (ja) | 1987-05-15 | 1995-09-20 | シャープ株式会社 | カ−ド状体の読取り装置 |
| JP2561699B2 (ja) * | 1988-04-28 | 1996-12-11 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡用試料装置 |
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