JPH11185696A - 飛行時間型質量分析装置 - Google Patents
飛行時間型質量分析装置Info
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- JPH11185696A JPH11185696A JP9364119A JP36411997A JPH11185696A JP H11185696 A JPH11185696 A JP H11185696A JP 9364119 A JP9364119 A JP 9364119A JP 36411997 A JP36411997 A JP 36411997A JP H11185696 A JPH11185696 A JP H11185696A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- flight
- detector
- time
- sample
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リニア型ＴＯＦＭＳにおいて分解能を向上さ
せる。 【解決手段】 飛行空間２２の出口に偏向電極３４を配
設し、荷電粒子（イオン）の進行方向を曲げて第２検出
器３３に導く。一方、電荷をもたない中性粒子は直進し
第１検出器３２に到達する。同一時刻にサンプル１２か
ら発生したイオンの一部は飛行途中で分解し、それによ
り生じた中性粒子の飛行時間はばらつくが、第２検出器
３３によりイオンのみを分離して検出しているので、鋭
いピークが得られ分解能が向上する。
せる。 【解決手段】 飛行空間２２の出口に偏向電極３４を配
設し、荷電粒子（イオン）の進行方向を曲げて第２検出
器３３に導く。一方、電荷をもたない中性粒子は直進し
第１検出器３２に到達する。同一時刻にサンプル１２か
ら発生したイオンの一部は飛行途中で分解し、それによ
り生じた中性粒子の飛行時間はばらつくが、第２検出器
３３によりイオンのみを分離して検出しているので、鋭
いピークが得られ分解能が向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は飛行時間型質量分析
装置に関し、更に詳しくは、イオンを直線的に飛行させ
るリニア型の飛行時間型質量分析装置に関する。
装置に関し、更に詳しくは、イオンを直線的に飛行させ
るリニア型の飛行時間型質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】飛行時間型質量分析装置（以下「ＴＯＦ
ＭＳ＝Time of Flight Mass Spectrometer」と称す）
は、加速したイオンを電場及び磁場を有さない飛行空間
内に導入し、検出器に到達する迄の飛行時間に応じて各
種イオンを質量数毎に分離するものである。このＴＯＦ
ＭＳには、イオンを電場及び磁場の存在しない飛行空間
内で直線的に飛行させるリニア型と、飛行空間の後半部
に所定の傾斜電位を有する電場を形成するためのリフレ
クタを配設し、その電場によりイオンを折り返し飛行さ
せるリフレクトロン型とがある。リフレクトロン型では
イオン発生時の初速度のばらつきが吸収でき、異なる初
速度を有する同一質量数イオンが同一時刻に検出器に到
達するので、分解能を高くすることができる。しかしな
がら、飛行時間が一般に長くなるため、寿命の短い高質
量数イオンは検出器に到達する迄に分解する可能性が高
く、質量数範囲を広くすることができない。従って、未
知の物質を測定する場合には、まずリニア型でもって測
定することが多い。
ＭＳ＝Time of Flight Mass Spectrometer」と称す）
は、加速したイオンを電場及び磁場を有さない飛行空間
内に導入し、検出器に到達する迄の飛行時間に応じて各
種イオンを質量数毎に分離するものである。このＴＯＦ
ＭＳには、イオンを電場及び磁場の存在しない飛行空間
内で直線的に飛行させるリニア型と、飛行空間の後半部
に所定の傾斜電位を有する電場を形成するためのリフレ
クタを配設し、その電場によりイオンを折り返し飛行さ
せるリフレクトロン型とがある。リフレクトロン型では
イオン発生時の初速度のばらつきが吸収でき、異なる初
速度を有する同一質量数イオンが同一時刻に検出器に到
達するので、分解能を高くすることができる。しかしな
がら、飛行時間が一般に長くなるため、寿命の短い高質
量数イオンは検出器に到達する迄に分解する可能性が高
く、質量数範囲を広くすることができない。従って、未
知の物質を測定する場合には、まずリニア型でもって測
定することが多い。
【０００３】図３は、従来のリニア型ＴＯＦＭＳの要部
の概略構成図である。質量分離部２０を挟んで、左にイ
オン源１０、右に検出部３０が配置されている。イオン
源１０のサンプルスライド１１と、質量分離部２０の引
き出しグリッド２１及びエンドプレート２３と、検出部
３０の検出器３１はイオン光軸Ｃに沿って一直線状に配
置されている。サンプルスライド１１上のサンプル１２
より発生した各種イオンは、サンプルスライド１１と引
き出しグリッド２１との電位差Ｖｓにより、引き出しグ
リッド２１の方向に引き出され加速されて飛行空間２２
に導入される。このとき、質量数の小さなイオンほど高
い速度を与えられるため、より早く飛行空間２２を通過
して検出器３１に到達する。
の概略構成図である。質量分離部２０を挟んで、左にイ
オン源１０、右に検出部３０が配置されている。イオン
源１０のサンプルスライド１１と、質量分離部２０の引
き出しグリッド２１及びエンドプレート２３と、検出部
３０の検出器３１はイオン光軸Ｃに沿って一直線状に配
置されている。サンプルスライド１１上のサンプル１２
より発生した各種イオンは、サンプルスライド１１と引
き出しグリッド２１との電位差Ｖｓにより、引き出しグ
リッド２１の方向に引き出され加速されて飛行空間２２
に導入される。このとき、質量数の小さなイオンほど高
い速度を与えられるため、より早く飛行空間２２を通過
して検出器３１に到達する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】飛行空間２２に導入さ
れた各種イオンは検出器３１に到達する迄安定に飛行す
るとは限らず、特に高質量数イオンは分解し易いため、
飛行途中で過剰な内部エネルギにより自然に分解して中
性粒子とより小さな質量数を有するイオンになることが
ある。また、飛行途中で飛行空間２２内に残留している
浮遊ガス分子と衝突して開裂を生じ、同様に分解してし
まうこともある。
れた各種イオンは検出器３１に到達する迄安定に飛行す
るとは限らず、特に高質量数イオンは分解し易いため、
飛行途中で過剰な内部エネルギにより自然に分解して中
性粒子とより小さな質量数を有するイオンになることが
ある。また、飛行途中で飛行空間２２内に残留している
浮遊ガス分子と衝突して開裂を生じ、同様に分解してし
まうこともある。
【０００５】リニア型ＴＯＦＭＳでは、原理的には途中
で分解したイオンや中性粒子も分解しない元のイオンと
ともに同一速度で且つほぼ同一時刻に検出器３１に到達
する筈である。しかしながら、実際には浮遊ガス分子と
の衝突の際に速度が低下したり、或いは、完全に加速さ
れる前に中性粒子化し質量数が減少した結果、飛行空間
２２に突入する際の速度が低下したりする等の種々の要
因によって、同一質量数イオンから生じる中性粒子の到
達時刻はばらついてしまう。このため、同一質量数イオ
ンによる検出ピークは時間軸方向（つまり質量数軸方
向）に広がり、分解能が低下する一因となっている。
で分解したイオンや中性粒子も分解しない元のイオンと
ともに同一速度で且つほぼ同一時刻に検出器３１に到達
する筈である。しかしながら、実際には浮遊ガス分子と
の衝突の際に速度が低下したり、或いは、完全に加速さ
れる前に中性粒子化し質量数が減少した結果、飛行空間
２２に突入する際の速度が低下したりする等の種々の要
因によって、同一質量数イオンから生じる中性粒子の到
達時刻はばらついてしまう。このため、同一質量数イオ
ンによる検出ピークは時間軸方向（つまり質量数軸方
向）に広がり、分解能が低下する一因となっている。
【０００６】また、上記リフレクトロン型ＴＯＦＭＳで
は荷電粒子であるイオンと電荷を有さない中性粒子とを
分離して検出することができるため、これによりイオン
の開裂や分解の状態を調べ、元の物質の粒子の構成や内
部構造を推定することができる。これに対し、このリニ
ア型ＴＯＦＭＳではイオンと中性粒子とを区別すること
ができないので、そのような解析を行なうことはできな
かった。
は荷電粒子であるイオンと電荷を有さない中性粒子とを
分離して検出することができるため、これによりイオン
の開裂や分解の状態を調べ、元の物質の粒子の構成や内
部構造を推定することができる。これに対し、このリニ
ア型ＴＯＦＭＳではイオンと中性粒子とを区別すること
ができないので、そのような解析を行なうことはできな
かった。
【０００７】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その第１の目的は、飛行途中で生
じる中性粒子の到達時間のばらつきの影響を受けずに高
い分解能でもってイオン検出が行なえるリニア型ＴＯＦ
ＭＳを提供することにある。また、本発明の第２の目的
は、リニア型であってもサンプルの構造情報を得ること
ができるＴＯＦＭＳを提供することにある。
成されたものであり、その第１の目的は、飛行途中で生
じる中性粒子の到達時間のばらつきの影響を受けずに高
い分解能でもってイオン検出が行なえるリニア型ＴＯＦ
ＭＳを提供することにある。また、本発明の第２の目的
は、リニア型であってもサンプルの構造情報を得ること
ができるＴＯＦＭＳを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明は、イオン源にて発生した各種イオン
を加速した後に飛行空間内に導入して直線的に飛行さ
せ、イオンの質量数に応じて相異なる飛行時間をもって
飛行空間を通り抜けたイオンを検出する飛行時間型質量
分析装置において、 a)飛行空間出口の直進前方に配設された非荷電粒子を検
出するための第１の検出器と、 b)該第１の検出器と前記飛行空間出口との間に配設され
た偏向手段と、 c)該偏向手段により進行方向が曲げられた荷電粒子を検
出するための第２の検出器と、 を備えることを特徴としている。
に成された本発明は、イオン源にて発生した各種イオン
を加速した後に飛行空間内に導入して直線的に飛行さ
せ、イオンの質量数に応じて相異なる飛行時間をもって
飛行空間を通り抜けたイオンを検出する飛行時間型質量
分析装置において、 a)飛行空間出口の直進前方に配設された非荷電粒子を検
出するための第１の検出器と、 b)該第１の検出器と前記飛行空間出口との間に配設され
た偏向手段と、 c)該偏向手段により進行方向が曲げられた荷電粒子を検
出するための第２の検出器と、 を備えることを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明に係る飛行時間型質量分析
装置では、イオン源にてサンプルから発生したイオンの
一部は、飛行空間に導入される前及び飛行途中において
自然分解する又は残留浮遊ガス粒子に衝突して開裂する
等により中性粒子を生じる。このため、ほぼ同一時刻に
発生したイオンに起因する、分解しない元のイオン、分
解したイオン及び中性粒子はともに飛行空間内部を直線
飛行し、該飛行空間出口から飛び出る。上記偏向手段
は、例えば適宜の電場を発生する複数の電極から構成す
ることができる。電荷を有さない中性粒子はこの偏向手
段の電場の影響を受けないため、飛行空間出口から出た
後にも直進を続け第１の検出器に到達する。一方、荷電
粒子であるイオンは偏向手段の電場によってその進行方
向が曲げられ、飛行空間出口と第１の検出器とを結ぶ直
線上から外れた位置に配設された第２の検出器に到達す
る。これにより、第２の検出器では到達時間にばらつき
の少ないイオンのみが検出され、一方第１の検出器では
元のサンプルの構造情報となる中性粒子のみが検出され
る。
装置では、イオン源にてサンプルから発生したイオンの
一部は、飛行空間に導入される前及び飛行途中において
自然分解する又は残留浮遊ガス粒子に衝突して開裂する
等により中性粒子を生じる。このため、ほぼ同一時刻に
発生したイオンに起因する、分解しない元のイオン、分
解したイオン及び中性粒子はともに飛行空間内部を直線
飛行し、該飛行空間出口から飛び出る。上記偏向手段
は、例えば適宜の電場を発生する複数の電極から構成す
ることができる。電荷を有さない中性粒子はこの偏向手
段の電場の影響を受けないため、飛行空間出口から出た
後にも直進を続け第１の検出器に到達する。一方、荷電
粒子であるイオンは偏向手段の電場によってその進行方
向が曲げられ、飛行空間出口と第１の検出器とを結ぶ直
線上から外れた位置に配設された第２の検出器に到達す
る。これにより、第２の検出器では到達時間にばらつき
の少ないイオンのみが検出され、一方第１の検出器では
元のサンプルの構造情報となる中性粒子のみが検出され
る。
【００１０】
【発明の効果】このように本発明の飛行時間型質量分析
装置によれば、ほぼ同一時刻にサンプルから発生した元
のイオン及びその元のイオンが分解して生じたイオン
と、その元のイオンが分解して生じた中性粒子とは、分
離して且つほぼ同一時刻に検出される。このため、飛行
時間のばらつきの大きい中性粒子の影響を受けずに、比
較的飛行時間の揃ったイオンのみを検出することができ
るので、リーディングやテイリングの小さい鋭いピーク
が得られる。これにより、測定の分解能を向上すること
ができる。また、イオンのピークとは分離して中性粒子
のピークが取得できるので、これを基にサンプルの粒子
の構成や内部構造を推定することができる。
装置によれば、ほぼ同一時刻にサンプルから発生した元
のイオン及びその元のイオンが分解して生じたイオン
と、その元のイオンが分解して生じた中性粒子とは、分
離して且つほぼ同一時刻に検出される。このため、飛行
時間のばらつきの大きい中性粒子の影響を受けずに、比
較的飛行時間の揃ったイオンのみを検出することができ
るので、リーディングやテイリングの小さい鋭いピーク
が得られる。これにより、測定の分解能を向上すること
ができる。また、イオンのピークとは分離して中性粒子
のピークが取得できるので、これを基にサンプルの粒子
の構成や内部構造を推定することができる。
【００１１】更に、本発明の飛行時間型質量分析装置で
は、偏向手段の動作を禁止すれば従来のリニア型と同様
にイオンと中性粒子とを一緒に検出できるので、高感度
の測定も支障なく行なうことができる。また、偏向手段
を用いる場合であっても、リフレクトロン型よりも一般
に飛行時間は短いので、高質量数イオンも分解しにく
く、高い感度でもって測定を行なうことができる。
は、偏向手段の動作を禁止すれば従来のリニア型と同様
にイオンと中性粒子とを一緒に検出できるので、高感度
の測定も支障なく行なうことができる。また、偏向手段
を用いる場合であっても、リフレクトロン型よりも一般
に飛行時間は短いので、高質量数イオンも分解しにく
く、高い感度でもって測定を行なうことができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例であるマトリックス
支援レーザー脱離イオン化飛行時間型質量分析装置（Ｍ
ＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ＝Matrix-assisted Laser Desorp
tion Ionization /Time of Flight Mass Spectromete
r）を図面を参照して説明する。なお、本発明のＴＯＦ
ＭＳにおけるイオン源がＭＡＬＤＩに限定されないこと
は明白である。
支援レーザー脱離イオン化飛行時間型質量分析装置（Ｍ
ＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ＝Matrix-assisted Laser Desorp
tion Ionization /Time of Flight Mass Spectromete
r）を図面を参照して説明する。なお、本発明のＴＯＦ
ＭＳにおけるイオン源がＭＡＬＤＩに限定されないこと
は明白である。
【００１３】図１は、本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭ
Ｓの要部の構成図である。このＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ
では、イオン源１０は後述のようにサンプル１２が塗布
されたサンプルスライド１１とレーザー光学系１３とか
ら構成される。また検出部３０は、第１検出器３２と第
２検出器３３と偏向電極３４とから構成される。サンプ
ルスライド１１、引き出しグリッド２１、エンドプレー
ト２３、偏向電極３４及び第１検出器３２は、イオン光
軸Ｃに沿って略一直線状に配置されている。
Ｓの要部の構成図である。このＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ
では、イオン源１０は後述のようにサンプル１２が塗布
されたサンプルスライド１１とレーザー光学系１３とか
ら構成される。また検出部３０は、第１検出器３２と第
２検出器３３と偏向電極３４とから構成される。サンプ
ルスライド１１、引き出しグリッド２１、エンドプレー
ト２３、偏向電極３４及び第１検出器３２は、イオン光
軸Ｃに沿って略一直線状に配置されている。
【００１４】上記ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ全体又は少な
くとも質量分離部２０は真空雰囲気に保った分析室内に
保持される。意図的に目的イオンの開裂を促進させる場
合には、イオン化時のレーザー強度を増加させたり分析
室内にそれ自身は開裂を生じない衝突ガスを導入したり
する。
くとも質量分離部２０は真空雰囲気に保った分析室内に
保持される。意図的に目的イオンの開裂を促進させる場
合には、イオン化時のレーザー強度を増加させたり分析
室内にそれ自身は開裂を生じない衝突ガスを導入したり
する。
【００１５】本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの動作
は次の通りである。サンプルスライド１１は金属板であ
って、マトリックスと呼ばれるシナピン酸等の物質に固
体又は液体試料を混入したサンプル１２（通常、その混
入比率はモル比で試料：マトリックス＝１：１００〜
１：１００００程度）が塗布されている。スタート信号
をトリガとしてレーザー光学系１３から発射されたレー
ザー光が所定位置に挿入されたサンプルスライド１１上
のサンプル１２に照射されると、サンプル１２中のマト
リックスと目的試料とがともに気化し目的試料がイオン
化される。サンプルスライド１１表面近傍で発生したイ
オンは、サンプルスライド１１と引き出しグリッド２１
との電位差Ｖｓによって引き出しグリッド２１の方向に
引き出され加速されて飛行空間２２に導入される。この
ときの各イオンの速度は質量数に依存し、質量数が小さ
いほど大きな速度を有する。
は次の通りである。サンプルスライド１１は金属板であ
って、マトリックスと呼ばれるシナピン酸等の物質に固
体又は液体試料を混入したサンプル１２（通常、その混
入比率はモル比で試料：マトリックス＝１：１００〜
１：１００００程度）が塗布されている。スタート信号
をトリガとしてレーザー光学系１３から発射されたレー
ザー光が所定位置に挿入されたサンプルスライド１１上
のサンプル１２に照射されると、サンプル１２中のマト
リックスと目的試料とがともに気化し目的試料がイオン
化される。サンプルスライド１１表面近傍で発生したイ
オンは、サンプルスライド１１と引き出しグリッド２１
との電位差Ｖｓによって引き出しグリッド２１の方向に
引き出され加速されて飛行空間２２に導入される。この
ときの各イオンの速度は質量数に依存し、質量数が小さ
いほど大きな速度を有する。
【００１６】各種イオンは引き出しグリッド２１を通過
した後に、飛行空間２２内をイオン光軸Ｃに沿ってほぼ
直進しエンドプレート２３に到達する。その飛行途中
で、一部のイオンは過剰な内部エネルギにより自然分解
し又は残留浮遊ガス分子に衝突して開裂を生じ、質量数
がより小さなイオンと中性粒子とが発生する。この分解
により生じたイオンや中性粒子は分解しない元のイオン
とともに進み、２枚の偏向電極３４に挟まれた空間に導
入される。２枚の偏向電極３４の一方には負電圧Ｖｄが
印加され他方は接地されているので、その空間には０〜
Ｖｄの間で傾斜電位を有する電場が形成されている。電
荷を有さない中性粒子はこの電場の影響をなんら受けず
に直進して、第１検出器３２に到達する。一方、荷電粒
子であるイオンは、上記電場により図１中の矢印Ａに示
すように軌道を曲げられて第２検出器３３に到達する。
この第１及び第２検出器３２、３３の検出信号は、それ
ぞれアンプ４２、４３にて増幅された後にデータ処理部
４１に入力される。
した後に、飛行空間２２内をイオン光軸Ｃに沿ってほぼ
直進しエンドプレート２３に到達する。その飛行途中
で、一部のイオンは過剰な内部エネルギにより自然分解
し又は残留浮遊ガス分子に衝突して開裂を生じ、質量数
がより小さなイオンと中性粒子とが発生する。この分解
により生じたイオンや中性粒子は分解しない元のイオン
とともに進み、２枚の偏向電極３４に挟まれた空間に導
入される。２枚の偏向電極３４の一方には負電圧Ｖｄが
印加され他方は接地されているので、その空間には０〜
Ｖｄの間で傾斜電位を有する電場が形成されている。電
荷を有さない中性粒子はこの電場の影響をなんら受けず
に直進して、第１検出器３２に到達する。一方、荷電粒
子であるイオンは、上記電場により図１中の矢印Ａに示
すように軌道を曲げられて第２検出器３３に到達する。
この第１及び第２検出器３２、３３の検出信号は、それ
ぞれアンプ４２、４３にて増幅された後にデータ処理部
４１に入力される。
【００１７】上述のように質量数の小さなイオンほど大
きな速度をもって飛行空間２２に導入されるので、その
イオン自体とそのイオンが分解して発生した中性粒子及
びイオンは大きな質量数を有するイオンに起因するもの
よりも速く第１及び第２検出器３２、３３に到達する。
従って、時間軸方向に質量数に応じて各種イオン（及び
中性粒子）が分離される。そこで、データ処理部４１で
は、このような検出信号に対し所定のアルゴリズムに従
って演算処理を実行し、時間軸を質量数軸に変換し、イ
オンと中性粒子とに対する質量スペクトルデータをそれ
ぞれ分離して算出する。
きな速度をもって飛行空間２２に導入されるので、その
イオン自体とそのイオンが分解して発生した中性粒子及
びイオンは大きな質量数を有するイオンに起因するもの
よりも速く第１及び第２検出器３２、３３に到達する。
従って、時間軸方向に質量数に応じて各種イオン（及び
中性粒子）が分離される。そこで、データ処理部４１で
は、このような検出信号に対し所定のアルゴリズムに従
って演算処理を実行し、時間軸を質量数軸に変換し、イ
オンと中性粒子とに対する質量スペクトルデータをそれ
ぞれ分離して算出する。
【００１８】図２はイオン及び中性粒子の信号強度の一
例を示す波形図であって、（ａ）は同一時刻にサンプル
１２から発生した或る質量数を有するイオンに対するエ
ンドプレート２３近傍での信号強度、（ｂ）は第２検出
器３３の検出信号、（ｃ）は第１検出器３２の検出信号
（ｃ）である。上述の如くイオン源１０で発生したイオ
ンの一部は飛行空間２２を飛行する間に分解するが、中
性粒子は時間方向にばらつきが大きくなる。このため、
図２（ａ）に示すように特に信号強度のピークのテイリ
ングが大きくなる。その結果、図３に示した従来のリニ
ア型ＴＯＦＭＳのようにイオンと中性粒子とを同一の検
出器で検出する場合、隣接する他のピークとの分離が悪
くなり分解能が劣化する。
例を示す波形図であって、（ａ）は同一時刻にサンプル
１２から発生した或る質量数を有するイオンに対するエ
ンドプレート２３近傍での信号強度、（ｂ）は第２検出
器３３の検出信号、（ｃ）は第１検出器３２の検出信号
（ｃ）である。上述の如くイオン源１０で発生したイオ
ンの一部は飛行空間２２を飛行する間に分解するが、中
性粒子は時間方向にばらつきが大きくなる。このため、
図２（ａ）に示すように特に信号強度のピークのテイリ
ングが大きくなる。その結果、図３に示した従来のリニ
ア型ＴＯＦＭＳのようにイオンと中性粒子とを同一の検
出器で検出する場合、隣接する他のピークとの分離が悪
くなり分解能が劣化する。
【００１９】これに対し本実施例では、図２（ｂ）に示
すようにイオンのみを分離して検出しているので、リー
ディングやテイリングの小さい鋭いピークを得ることが
できる。従って、時間軸方向に隣接する他のピークとの
分離が良好に行なえるので、高い分解能をもって測定が
行なえる。また、図２（ｃ）に示すように中性粒子はイ
オンとは分離して検出されるので、この検出信号を基に
作成する質量スペクトルを利用して、サンプルの粒子の
構成や内部構造の解析が行なえる。
すようにイオンのみを分離して検出しているので、リー
ディングやテイリングの小さい鋭いピークを得ることが
できる。従って、時間軸方向に隣接する他のピークとの
分離が良好に行なえるので、高い分解能をもって測定が
行なえる。また、図２（ｃ）に示すように中性粒子はイ
オンとは分離して検出されるので、この検出信号を基に
作成する質量スペクトルを利用して、サンプルの粒子の
構成や内部構造の解析が行なえる。
【００２０】なお、上記実施例の構成において従来のリ
ニア型ＴＯＦＭＳのようにイオンと中性粒子とを分離せ
ずに同時に測定したい場合には、偏向電極３４への印加
電圧Ｖｄを０〔Ｖ〕とすればよい。これにより、イオン
も中性粒子とともにイオン光軸Ｃに沿って直進し第１検
出器３２に到達する。その結果、第１検出器３２では図
２（ａ）に示したような検出信号が得られる。これによ
り、高いピーク強度が得られるので、高感度の測定が行
なえる。
ニア型ＴＯＦＭＳのようにイオンと中性粒子とを分離せ
ずに同時に測定したい場合には、偏向電極３４への印加
電圧Ｖｄを０〔Ｖ〕とすればよい。これにより、イオン
も中性粒子とともにイオン光軸Ｃに沿って直進し第１検
出器３２に到達する。その結果、第１検出器３２では図
２（ａ）に示したような検出信号が得られる。これによ
り、高いピーク強度が得られるので、高感度の測定が行
なえる。
【００２１】なお、上記実施例は一例であって、本発明
の趣旨の範囲で適宜変更や修正を行なえることは明らか
である。
の趣旨の範囲で適宜変更や修正を行なえることは明らか
である。
【図１】 本発明の一実施例であるＭＡＬＤＩ−ＴＯＦ
ＭＳの要部の構成図。
ＭＳの要部の構成図。
【図２】 本実施例にて得られるイオン及び中性粒子の
信号強度の一例を示す波形図。
信号強度の一例を示す波形図。
【図３】 従来のリニア型ＴＯＦＭＳの要部の概略構成
図。
図。
１０…イオン源 １１…サンプルスライド １２…サンプル １３…レーザー光学系 ２０…質量分離部 ２１…引き出しグリッド ２２…飛行空間 ２３…エンドプレート ３０…検出部 ３２…第１検出器 ３３…第２検出器 ３４…偏向電極
Claims (1)
- 【請求項１】 イオン源にて発生した各種イオンを加速
した後に飛行空間内に導入して直線的に飛行させ、イオ
ンの質量数に応じて相異なる飛行時間をもって飛行空間
を通り抜けたイオンを検出する飛行時間型質量分析装置
において、 a)飛行空間出口の直進前方に配設された非荷電粒子を検
出するための第１の検出器と、 b)該第１の検出器と前記飛行空間出口との間に配設され
た偏向手段と、 c)該偏向手段により進行方向が曲げられた荷電粒子を検
出するための第２の検出器と、 を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9364119A JPH11185696A (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 飛行時間型質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9364119A JPH11185696A (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 飛行時間型質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11185696A true JPH11185696A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18481022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9364119A Pending JPH11185696A (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 飛行時間型質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11185696A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007526458A (ja) * | 2004-03-04 | 2007-09-13 | エムディーエス インコーポレイテッド ドゥーイング ビジネス スルー イッツ エムディーエス サイエックス ディヴィジョン | 試料を質量分析するための方法およびシステム |
| JP2008209293A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | 液体クロマトグラフ質量分析計 |
| CN110203701A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-09-06 | 中国石油大学(北京) | 弯管静电防护装置、气力输送实验系统及实验方法 |
-
1997
- 1997-12-16 JP JP9364119A patent/JPH11185696A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007526458A (ja) * | 2004-03-04 | 2007-09-13 | エムディーエス インコーポレイテッド ドゥーイング ビジネス スルー イッツ エムディーエス サイエックス ディヴィジョン | 試料を質量分析するための方法およびシステム |
| JP2008209293A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | 液体クロマトグラフ質量分析計 |
| CN110203701A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-09-06 | 中国石油大学(北京) | 弯管静电防护装置、气力输送实验系统及实验方法 |
| CN110203701B (zh) * | 2019-06-05 | 2024-05-17 | 中国石油大学(北京) | 弯管静电防护装置、气力输送实验系统及实验方法 |
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Legal Events
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