JPH10154483A - イオン検出器 - Google Patents
イオン検出器Info
- Publication number
- JPH10154483A JPH10154483A JP8311934A JP31193496A JPH10154483A JP H10154483 A JPH10154483 A JP H10154483A JP 8311934 A JP8311934 A JP 8311934A JP 31193496 A JP31193496 A JP 31193496A JP H10154483 A JPH10154483 A JP H10154483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- positive
- electron multiplier
- conversion dynode
- negative
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 変換ダイノードの電圧切換えを不要にすると
ともに、電子増倍管のホーン部のスクリーンをなくして
感度を向上できるようにする。 【解決手段】 四重極からの正イオンは遮蔽板１のアパ
ーチャーを通過した後、変換ダイノード２によって吸引
され、この変換ダイノード２は正イオンの衝突に応答し
てそれに比例する量の二次電子を発生し、この二次電子
が電子増倍管４によって検出される。一方、負イオンは
遮蔽板１のアパーチャーを通過した後、変換ダイノード
３によって吸引され、この変換ダイノード３は負イオン
の衝突に応答して正イオンを発生する。そして、この変
換ダイノード３で発生された正イオンが変換ダイノード
２に吸引され、この変換ダイノード２への正イオンの衝
突によって二次電子が発生し、この二次電子が電子増倍
管４により検出されるので、正、負両イオンを検出する
ことができる。
ともに、電子増倍管のホーン部のスクリーンをなくして
感度を向上できるようにする。 【解決手段】 四重極からの正イオンは遮蔽板１のアパ
ーチャーを通過した後、変換ダイノード２によって吸引
され、この変換ダイノード２は正イオンの衝突に応答し
てそれに比例する量の二次電子を発生し、この二次電子
が電子増倍管４によって検出される。一方、負イオンは
遮蔽板１のアパーチャーを通過した後、変換ダイノード
３によって吸引され、この変換ダイノード３は負イオン
の衝突に応答して正イオンを発生する。そして、この変
換ダイノード３で発生された正イオンが変換ダイノード
２に吸引され、この変換ダイノード２への正イオンの衝
突によって二次電子が発生し、この二次電子が電子増倍
管４により検出されるので、正、負両イオンを検出する
ことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、質量分析装置等の
イオンを検出することにより試料分析を行う装置に使用
されるイオン検出器に関し、特に、正、負両イオンを検
出することができるイオン検出器に関する。
イオンを検出することにより試料分析を行う装置に使用
されるイオン検出器に関し、特に、正、負両イオンを検
出することができるイオン検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】質量分析装置で試料の分析を行う場合、
まず、イオン化部で試料をイオン化し、これをイオンレ
ンズで収束して質量分離部に送り込む。質量分離部では
所定の質量数（質量／電荷比、ｍ／ｚ）を有するイオン
のみを通過させ、イオン検出器でこれを検出する。
まず、イオン化部で試料をイオン化し、これをイオンレ
ンズで収束して質量分離部に送り込む。質量分離部では
所定の質量数（質量／電荷比、ｍ／ｚ）を有するイオン
のみを通過させ、イオン検出器でこれを検出する。
【０００３】図２はこのような質量分析装置の一例を示
す図であり、ガスクロマトグラフ、液体クロマトグラフ
等により分離された試料、或いは他の方法により供給さ
れる試料はイオン源１１においてイオン化された後、抽
出電極１２により引き出され、イオンレンズ１３により
四重極１４の受入れに適した形状及び方向に集束され
る。四重極１４においては、所定の質量数（ｍ／ｚ）を
有するイオンのみが安定的に振動して通過し、この質量
数は四重極１４に印加するＤＣ／ＡＣ重畳電圧に応じて
変化させることができる。四重極１４を通過したイオン
は第２イオンレンズ１５によりイオン検出器１６に導入
される。
す図であり、ガスクロマトグラフ、液体クロマトグラフ
等により分離された試料、或いは他の方法により供給さ
れる試料はイオン源１１においてイオン化された後、抽
出電極１２により引き出され、イオンレンズ１３により
四重極１４の受入れに適した形状及び方向に集束され
る。四重極１４においては、所定の質量数（ｍ／ｚ）を
有するイオンのみが安定的に振動して通過し、この質量
数は四重極１４に印加するＤＣ／ＡＣ重畳電圧に応じて
変化させることができる。四重極１４を通過したイオン
は第２イオンレンズ１５によりイオン検出器１６に導入
される。
【０００４】このような質量分析装置においては、正イ
オンのみならず負イオンをも検出することが必要であ
り、従来、図３に示すように、変換ダイノード２２を使
用し、正イオンの場合と負イオンの場合とで、変換ダイ
ノード２２と電子増倍管２３に印加する電圧Ｖｄ、Ｖａ
の極性を切り替えて使用している。即ち、正イオンを検
出する場合には、変換ダイノード２２に負の電圧を印加
し、電子増倍管２３に正の電圧を印加する。このように
すると、四重極から遮蔽板２１のアパーチャーを通過し
てきた正イオンは変換ダイノード２２に衝突して正イオ
ンの量に比例した二次電子に変換され、この二次電子が
電子増倍管２３によって検出されて正イオンの量に比例
した信号が出力される。このとき、変換ダイノード２２
で生成された二次電子が逆戻りしないように変換ダイノ
ード２２の入射側にグリッドを配置し、このグリッドに
電圧を印加しておくことが望ましい。一方、負イオンを
検出する場合には、変換ダイノード２２に正の電圧を印
加し、電子増倍管２３に負の電圧を印加する。すると、
四重極から遮蔽板２１のアパーチャーを通過してきた負
イオンが変換ダイノード２２に衝突して負イオンの量に
比例した正イオンに変換され、この正イオンが電子増倍
管２３によって検出されて負イオンの量に比例した信号
が出力される。この場合、変換ダイノード２２は、正イ
オンを電子増倍管２３に指向するための効果的な反射器
を形成する。
オンのみならず負イオンをも検出することが必要であ
り、従来、図３に示すように、変換ダイノード２２を使
用し、正イオンの場合と負イオンの場合とで、変換ダイ
ノード２２と電子増倍管２３に印加する電圧Ｖｄ、Ｖａ
の極性を切り替えて使用している。即ち、正イオンを検
出する場合には、変換ダイノード２２に負の電圧を印加
し、電子増倍管２３に正の電圧を印加する。このように
すると、四重極から遮蔽板２１のアパーチャーを通過し
てきた正イオンは変換ダイノード２２に衝突して正イオ
ンの量に比例した二次電子に変換され、この二次電子が
電子増倍管２３によって検出されて正イオンの量に比例
した信号が出力される。このとき、変換ダイノード２２
で生成された二次電子が逆戻りしないように変換ダイノ
ード２２の入射側にグリッドを配置し、このグリッドに
電圧を印加しておくことが望ましい。一方、負イオンを
検出する場合には、変換ダイノード２２に正の電圧を印
加し、電子増倍管２３に負の電圧を印加する。すると、
四重極から遮蔽板２１のアパーチャーを通過してきた負
イオンが変換ダイノード２２に衝突して負イオンの量に
比例した正イオンに変換され、この正イオンが電子増倍
管２３によって検出されて負イオンの量に比例した信号
が出力される。この場合、変換ダイノード２２は、正イ
オンを電子増倍管２３に指向するための効果的な反射器
を形成する。
【０００５】また、図４に示すように、正イオンに対し
て一つ、負イオンに対して一つの計二つの変換ダイノー
ドとこれらの変換ダイノードからの二次電子または正イ
オンを検出する電子増倍管を用いて正、負両イオンを検
出することも提案されている。図４において、変換ダイ
ノード３３には＋５ｋＶの電圧が印加され、変換ダイノ
ード３４には−５ｋＶの電圧が印加されるとともに、電
子増倍管３５はそのカソードに比較的負の電圧、例えば
−２ｋＶが印加され、そしてそのアノードが接地されて
いるので、信号出力を接地電位で得ることができる。
て一つ、負イオンに対して一つの計二つの変換ダイノー
ドとこれらの変換ダイノードからの二次電子または正イ
オンを検出する電子増倍管を用いて正、負両イオンを検
出することも提案されている。図４において、変換ダイ
ノード３３には＋５ｋＶの電圧が印加され、変換ダイノ
ード３４には−５ｋＶの電圧が印加されるとともに、電
子増倍管３５はそのカソードに比較的負の電圧、例えば
−２ｋＶが印加され、そしてそのアノードが接地されて
いるので、信号出力を接地電位で得ることができる。
【０００６】図４に示すイオン検出器において、四重極
からの負イオンはアパーチャー３１を経て変換ダイノー
ド３３によって吸引され、この変換ダイノード３３は負
イオンの衝突に応答してそれに比例する量の正イオンを
発生し、この正イオンが電子増倍管３５によって検出さ
れる。一方、正イオンはアパーチャー３２を経て変換ダ
イノード３４によって吸引され、この変換ダイノード３
４は正イオンの衝突に応答して二次電子ｅ- を発生し、
この二次電子ｅ- が電子増倍管３５により検出される。
このとき、発生された電子の数は変換ダイノード３４に
衝突する正イオンの存在度に依存する。従って、出力信
号は正及び負イオンの入力に比例し、このように共通の
電子増倍管３５を用いることにより質量分析器の出力か
らの正及び負イオンを実質的に同時に検出することがで
きる。
からの負イオンはアパーチャー３１を経て変換ダイノー
ド３３によって吸引され、この変換ダイノード３３は負
イオンの衝突に応答してそれに比例する量の正イオンを
発生し、この正イオンが電子増倍管３５によって検出さ
れる。一方、正イオンはアパーチャー３２を経て変換ダ
イノード３４によって吸引され、この変換ダイノード３
４は正イオンの衝突に応答して二次電子ｅ- を発生し、
この二次電子ｅ- が電子増倍管３５により検出される。
このとき、発生された電子の数は変換ダイノード３４に
衝突する正イオンの存在度に依存する。従って、出力信
号は正及び負イオンの入力に比例し、このように共通の
電子増倍管３５を用いることにより質量分析器の出力か
らの正及び負イオンを実質的に同時に検出することがで
きる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来のイオン検出器は
以上のように構成されているが、図３に示すイオン検出
器では、変換ダイノードに印加する電圧の極性を切り替
える機構が必要になるとともに、負イオンを検出する場
合には、信号を検出するアノード部分が接地に対して高
い電位にあり、非接地増幅器及び複雑な前置増幅器回路
を必要とする、負イオン検出器が浮動系であるので、こ
の系の浮遊電子に敏感であり、バックグラウンドノイズ
が大きくなる、等の問題がある。
以上のように構成されているが、図３に示すイオン検出
器では、変換ダイノードに印加する電圧の極性を切り替
える機構が必要になるとともに、負イオンを検出する場
合には、信号を検出するアノード部分が接地に対して高
い電位にあり、非接地増幅器及び複雑な前置増幅器回路
を必要とする、負イオン検出器が浮動系であるので、こ
の系の浮遊電子に敏感であり、バックグラウンドノイズ
が大きくなる、等の問題がある。
【０００８】また、図４のように二つの変換ダイノード
を用い、この二つの変換ダイノードからの正イオン、二
次電子を一つの電子増倍管で検出する場合には、正高圧
の変換ダイノードが電子増倍管の入口に対向しているた
め、電子増倍管のホーン部で発生し、増倍管のチューブ
に導かれるべき二次電子が逆流してしまうのを防止する
ためのスクリーンがホーン部に必要となり、このスクリ
ーンがあるため、電子増倍管の開口面積が狭くなって感
度が低下するという問題があった。
を用い、この二つの変換ダイノードからの正イオン、二
次電子を一つの電子増倍管で検出する場合には、正高圧
の変換ダイノードが電子増倍管の入口に対向しているた
め、電子増倍管のホーン部で発生し、増倍管のチューブ
に導かれるべき二次電子が逆流してしまうのを防止する
ためのスクリーンがホーン部に必要となり、このスクリ
ーンがあるため、電子増倍管の開口面積が狭くなって感
度が低下するという問題があった。
【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、変換ダイノードの電圧切換えを不要に
するとともに、電子増倍管のホーン部のスクリーンをな
くして感度を向上させることができる、正、負イオン検
出のためのイオン検出器を提供することを目的とする。
たものであって、変換ダイノードの電圧切換えを不要に
するとともに、電子増倍管のホーン部のスクリーンをな
くして感度を向上させることができる、正、負イオン検
出のためのイオン検出器を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のイオン検出器は、正イオンを電子に変換す
る正イオン変換ダイノードと、負イオンを正イオンに変
換する負イオン変換ダイノードと、電子増倍管とを備
え、質量分離された正イオンは正イオンを電子に変換す
る正イオン変換ダイノードで電子に変換し、負イオンは
負イオンを正イオンに変換する負イオン変換ダイノード
で正イオンに変換した後、その正イオンを上記正イオン
変換ダイノードに導いて正イオンを電子に変換し、これ
らの電子を上記電子増倍管で検出するようにしたことを
特徴とする。
め、本発明のイオン検出器は、正イオンを電子に変換す
る正イオン変換ダイノードと、負イオンを正イオンに変
換する負イオン変換ダイノードと、電子増倍管とを備
え、質量分離された正イオンは正イオンを電子に変換す
る正イオン変換ダイノードで電子に変換し、負イオンは
負イオンを正イオンに変換する負イオン変換ダイノード
で正イオンに変換した後、その正イオンを上記正イオン
変換ダイノードに導いて正イオンを電子に変換し、これ
らの電子を上記電子増倍管で検出するようにしたことを
特徴とする。
【００１１】本発明のイオン検出器は上記のように構成
され、正イオン、負イオンを別々の変換ダイノードで受
けて変換し、最終的に電子増倍管には電子に変換された
形で電子増倍管に入射させるので、逆流が防止でき、電
子増倍管のホーン部のスクリーンをなくすことができ、
感度を向上させることができる。
され、正イオン、負イオンを別々の変換ダイノードで受
けて変換し、最終的に電子増倍管には電子に変換された
形で電子増倍管に入射させるので、逆流が防止でき、電
子増倍管のホーン部のスクリーンをなくすことができ、
感度を向上させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明のイオン検出器の一
実施例を説明する。図１は本発明のイオン検出器の一実
施例の構成を示す図であり、アパーチャーを備えた遮蔽
板１と変換ダイノード２、３と電子増倍管４より構成さ
れている。
実施例を説明する。図１は本発明のイオン検出器の一実
施例の構成を示す図であり、アパーチャーを備えた遮蔽
板１と変換ダイノード２、３と電子増倍管４より構成さ
れている。
【００１３】変換ダイノード２には−５ｋＶの電圧が印
加され、変換ダイノード３には＋５ｋＶの電圧が印加さ
れるとともに、電子増倍管４はそのカソードに−２ｋＶ
の電圧が印加され、そのアノードが接地されている。そ
して、電子増倍管４のホーン部は変換ダイノード２側に
向いており、電子増倍管４−変換ダイノード２間の距離
は、変換ダイノード２−変換ダイノード３間の距離より
短くなっている。
加され、変換ダイノード３には＋５ｋＶの電圧が印加さ
れるとともに、電子増倍管４はそのカソードに−２ｋＶ
の電圧が印加され、そのアノードが接地されている。そ
して、電子増倍管４のホーン部は変換ダイノード２側に
向いており、電子増倍管４−変換ダイノード２間の距離
は、変換ダイノード２−変換ダイノード３間の距離より
短くなっている。
【００１４】次に、このイオン検出器の動作を説明す
る。四重極からの正イオンは遮蔽板１のアパーチャーを
通過した後、変換ダイノード２によって吸引され、この
変換ダイノード２は正イオンの衝突に応答してそれに比
例する量の二次電子ｅ- を発生する。そして、電子増倍
管４−変換ダイノード２間の距離が、変換ダイノード２
−変換ダイノード３間の距離より短くなっているので、
発生した二次電子ｅ- は電子増倍管４に導かれて検出さ
れる。一方、負イオンは遮蔽板１のアパーチャーを通過
した後、変換ダイノード３によって吸引され、この変換
ダイノード３は負イオンの衝突に応答して正イオンを発
生する。そして、この変換ダイノード３で発生された正
イオンは変換ダイノード２によって吸引され、この変換
ダイノード２への正イオンの衝突によって二次電子ｅ-
が発生し、この二次電子ｅ- が電子増倍管４により検出
される。このとき、発生された電子の数は変換ダイノー
ド２に衝突する正イオンの存在度に依存し、従って、ア
パーチャーを通過した負イオンの量に比例する。従っ
て、電子増倍管４の出力信号は正及び負イオンの入力に
比例し、また、電子増倍管４のアノードが接地されてい
るので、この出力信号を接地電位で得ることができる。
このように、共通の電子増倍管４を用いることによって
質量分析器からの正及び負イオンを実質的に同時に検出
することができる。
る。四重極からの正イオンは遮蔽板１のアパーチャーを
通過した後、変換ダイノード２によって吸引され、この
変換ダイノード２は正イオンの衝突に応答してそれに比
例する量の二次電子ｅ- を発生する。そして、電子増倍
管４−変換ダイノード２間の距離が、変換ダイノード２
−変換ダイノード３間の距離より短くなっているので、
発生した二次電子ｅ- は電子増倍管４に導かれて検出さ
れる。一方、負イオンは遮蔽板１のアパーチャーを通過
した後、変換ダイノード３によって吸引され、この変換
ダイノード３は負イオンの衝突に応答して正イオンを発
生する。そして、この変換ダイノード３で発生された正
イオンは変換ダイノード２によって吸引され、この変換
ダイノード２への正イオンの衝突によって二次電子ｅ-
が発生し、この二次電子ｅ- が電子増倍管４により検出
される。このとき、発生された電子の数は変換ダイノー
ド２に衝突する正イオンの存在度に依存し、従って、ア
パーチャーを通過した負イオンの量に比例する。従っ
て、電子増倍管４の出力信号は正及び負イオンの入力に
比例し、また、電子増倍管４のアノードが接地されてい
るので、この出力信号を接地電位で得ることができる。
このように、共通の電子増倍管４を用いることによって
質量分析器からの正及び負イオンを実質的に同時に検出
することができる。
【００１５】上記のように、イオンビームの正及び負イ
オンを実質的に同時に検出することができるが、実際に
は、正イオン及び負イオンに比例した信号を逐次に発生
させるために、例えば、１ｋＨｚの周波数で正イオンと
負イオンを交互に送るように四重極質量分析器を制御装
置によってシーケンス制御し、電子増倍管４の出力信号
をこの四重極質量分析器の１ｋＨｚシーケンシングに同
期して切り替えて検出することにより、正イオン、負イ
オンを交互に検出することができる。
オンを実質的に同時に検出することができるが、実際に
は、正イオン及び負イオンに比例した信号を逐次に発生
させるために、例えば、１ｋＨｚの周波数で正イオンと
負イオンを交互に送るように四重極質量分析器を制御装
置によってシーケンス制御し、電子増倍管４の出力信号
をこの四重極質量分析器の１ｋＨｚシーケンシングに同
期して切り替えて検出することにより、正イオン、負イ
オンを交互に検出することができる。
【００１６】なお、上記実施例では、電子増倍管４は連
続的なユニットとして示されているが、多数の個別の段
の形態にすることもでき、また、変換ダイノード、電子
増倍管に印加する電圧の電圧値は実施例で説明した値に
限られるものではなく、装置に応じて適宜選択すること
ができる。
続的なユニットとして示されているが、多数の個別の段
の形態にすることもでき、また、変換ダイノード、電子
増倍管に印加する電圧の電圧値は実施例で説明した値に
限られるものではなく、装置に応じて適宜選択すること
ができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明のイオン検出器は上記のように構
成されており、正イオン、負イオンを別々の変換ダイノ
ードで受けて変換し、さらに、負イオン変換ダイノード
で発生された正イオンを正イオン変換ダイノードで電子
に変換し、この電子を電子増倍管に入射させるようにし
ており、電子増倍管には負電圧が印加される変換ダイオ
ードのみが対向しているので、電子増倍管のホーン部で
の二次電子の逆流は生じない。従って、電子増倍管のホ
ーン部のスクリーンをなくすことができるので、電子増
倍管の開口面積が広くなり、感度を向上させることがで
きる。また、変換ダイノードの印加電圧の極性を切り替
える回路も不要となるため、構成を簡単にすることがで
きる。
成されており、正イオン、負イオンを別々の変換ダイノ
ードで受けて変換し、さらに、負イオン変換ダイノード
で発生された正イオンを正イオン変換ダイノードで電子
に変換し、この電子を電子増倍管に入射させるようにし
ており、電子増倍管には負電圧が印加される変換ダイオ
ードのみが対向しているので、電子増倍管のホーン部で
の二次電子の逆流は生じない。従って、電子増倍管のホ
ーン部のスクリーンをなくすことができるので、電子増
倍管の開口面積が広くなり、感度を向上させることがで
きる。また、変換ダイノードの印加電圧の極性を切り替
える回路も不要となるため、構成を簡単にすることがで
きる。
【００１８】さらに、本発明のイオン検出器では、負イ
オン検出の際に、変換された正イオンが加速されて、さ
らに二次電子に変換されるため、増幅度が高まり、負イ
オン検出の感度を大幅に向上させることができる。
オン検出の際に、変換された正イオンが加速されて、さ
らに二次電子に変換されるため、増幅度が高まり、負イ
オン検出の感度を大幅に向上させることができる。
【図１】本発明のイオン検出器の一実施例を示す図であ
る。
る。
【図２】一般的な質量分析装置を示す図である。
【図３】従来のイオン検出器を示す図である。
【図４】従来の他のイオン検出器を示す図である。
１ 遮蔽板 ２ 変換ダイノード ３ 変換ダイノード ４ 電子増倍管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｇ０１Ｎ 23/225 Ｇ０１Ｎ 23/225
Claims (1)
- 【請求項１】 正イオンを電子に変換する正イオン変換
ダイノードと、負イオンを正イオンに変換する負イオン
変換ダイノードと、電子増倍管とを備え、質量分離され
た正イオンは上記正イオン変換ダイノードで電子に変換
し、負イオンは上記負イオン変換ダイノードで正イオン
に変換した後、その正イオンを上記正イオン変換ダイノ
ードに導いて電子に変換するとともに、上記正イオン変
換ダイノードからの電子を上記電子増倍管で検出するよ
うにしたことを特徴とするイオン検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8311934A JPH10154483A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | イオン検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8311934A JPH10154483A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | イオン検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10154483A true JPH10154483A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=18023200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8311934A Pending JPH10154483A (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | イオン検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10154483A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008025135A1 (en) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Ionics Mass Spectrometry Group, Inc. | Method and apparatus for detecting positively charged and negatively charged ionized particles |
| JP2011086403A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Canon Anelva Corp | コンバージョン型イオン検出ユニット |
| US8466413B2 (en) * | 2010-07-29 | 2013-06-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Ion detector |
| WO2014042037A1 (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 質量分析装置及び方法 |
| US8975592B2 (en) | 2012-01-25 | 2015-03-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Ion detector |
| JP2018073703A (ja) * | 2016-11-01 | 2018-05-10 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
| GB2581551A (en) * | 2018-10-22 | 2020-08-26 | Micromass Ltd | Ion detector |
| WO2020195062A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | イオン検出装置 |
-
1996
- 1996-11-22 JP JP8311934A patent/JPH10154483A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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