JP3097148B2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
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- JP3097148B2 JP3097148B2 JP03064503A JP6450391A JP3097148B2 JP 3097148 B2 JP3097148 B2 JP 3097148B2 JP 03064503 A JP03064503 A JP 03064503A JP 6450391 A JP6450391 A JP 6450391A JP 3097148 B2 JP3097148 B2 JP 3097148B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスクロマトグラフ質
量分析装置(ＧＣ／ＭＳ)、二次イオン質量分析装置(Ｓ
ＩＭＳ)などのように、イオン源からのイオンを質量分
離することにより物質の定性、定量分析を行う質量分析
装置に関する。
量分析装置(ＧＣ／ＭＳ)、二次イオン質量分析装置(Ｓ
ＩＭＳ)などのように、イオン源からのイオンを質量分
離することにより物質の定性、定量分析を行う質量分析
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の質量分析計には、図２に
示す構成のものがある。
示す構成のものがある。
【０００３】同図において、１はイオン源、２はイオン
源１から引き出されたイオンを質量分離する質量分析部
で、二重収束型、四重極型、飛行時間型などの各種のも
のが使用される。３はイオン電子コンバータ４で発生し
た電子を検出して電気信号として取り出す電子検出器
で、この例ではシールド電極３aとダイノード３bを備え
た二次電子増倍管で構成されている。その他、セラトロ
ン、チャンネルトロン、マイクロチャンネルプレート、
ファラデーカップ、シンチレータなどの各種の電子検出
器が適用される。２aはイオンを加速するためのイオン
引出電極で、イオン源１と質量分離部２bとの間に設け
られている。また、２cは質量分離部２bで質量分離され
た特定のイオンのみを選択的に取り出すためのコレクタ
スリット、４はコレクタスリット２cを通過したイオン
を電子に変換するステンレス、アルミニウム、Ｃｕ−Ｂ
e合金等でできたイオン電子コンバータである。
源１から引き出されたイオンを質量分離する質量分析部
で、二重収束型、四重極型、飛行時間型などの各種のも
のが使用される。３はイオン電子コンバータ４で発生し
た電子を検出して電気信号として取り出す電子検出器
で、この例ではシールド電極３aとダイノード３bを備え
た二次電子増倍管で構成されている。その他、セラトロ
ン、チャンネルトロン、マイクロチャンネルプレート、
ファラデーカップ、シンチレータなどの各種の電子検出
器が適用される。２aはイオンを加速するためのイオン
引出電極で、イオン源１と質量分離部２bとの間に設け
られている。また、２cは質量分離部２bで質量分離され
た特定のイオンのみを選択的に取り出すためのコレクタ
スリット、４はコレクタスリット２cを通過したイオン
を電子に変換するステンレス、アルミニウム、Ｃｕ−Ｂ
e合金等でできたイオン電子コンバータである。
【０００４】イオン電子コンバータ４を設けている理由
は、質量分析部２で質量分離されたイオンを直接に電子
検出器３に入射させると、電子検出器３の寿命低下や感
度低下を招くので、一旦、イオンをイオン電子コンバー
タ４に衝突させて電子に変換させることによりイオン／
電子の変換効率を高め、かつ、電子検出器３の長寿命化
を図るためである。
は、質量分析部２で質量分離されたイオンを直接に電子
検出器３に入射させると、電子検出器３の寿命低下や感
度低下を招くので、一旦、イオンをイオン電子コンバー
タ４に衝突させて電子に変換させることによりイオン／
電子の変換効率を高め、かつ、電子検出器３の長寿命化
を図るためである。
【０００５】なお、５は増幅器、６は計測部である。
【０００６】上記構成において、イオン源１には所定の
イオン引出電圧Ｖ0が印加され、イオン引出電極２aは接
地されており、これによって、イオン源１から出射され
たイオンがイオン源１とイオン引出電極２aとの間の電
位差Ｖ0によって加速される。また、コレクタスリット
２cは接地され、イオン電子コンバータ４には所定のコ
ンバータ電圧Ｖcが印加されており、これによって、質
量分離部２bで質量分離されてコレクタスリット２cを通
過したイオンが、コレクタスリット２cとイオン電子コ
ンバータ４の電位差Ｖcによっていわゆる後段加速され
てイオン電子コンバータ４に衝突する。すると、このイ
オン電子コンバータ４からはイオンの量およびエネルギ
ーに応じた電子が放出され、この電子が電子検出器３に
入射される。電子検出器３には、所定の加速電圧ＶDが
印加されており、この加速電圧ＶDは図示省略した抵抗
により分圧されて各ダイノード３bに印加されている。
したがって、イオン電子コンバータ４からの電子がダイ
ノード３bに衝突することにより、二次電子放射が起こ
り、これが各ダイノード３bによって指数的に増倍され
て電気信号として取り出される。
イオン引出電圧Ｖ0が印加され、イオン引出電極２aは接
地されており、これによって、イオン源１から出射され
たイオンがイオン源１とイオン引出電極２aとの間の電
位差Ｖ0によって加速される。また、コレクタスリット
２cは接地され、イオン電子コンバータ４には所定のコ
ンバータ電圧Ｖcが印加されており、これによって、質
量分離部２bで質量分離されてコレクタスリット２cを通
過したイオンが、コレクタスリット２cとイオン電子コ
ンバータ４の電位差Ｖcによっていわゆる後段加速され
てイオン電子コンバータ４に衝突する。すると、このイ
オン電子コンバータ４からはイオンの量およびエネルギ
ーに応じた電子が放出され、この電子が電子検出器３に
入射される。電子検出器３には、所定の加速電圧ＶDが
印加されており、この加速電圧ＶDは図示省略した抵抗
により分圧されて各ダイノード３bに印加されている。
したがって、イオン電子コンバータ４からの電子がダイ
ノード３bに衝突することにより、二次電子放射が起こ
り、これが各ダイノード３bによって指数的に増倍され
て電気信号として取り出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のイオ
ン電子コンバータ４におけるイオン／電子の変換効率
は、これに衝突するイオンの入射角θと入射エネルギＥ
とが影響し、それぞれθ，Ｅに最適値が存在することが
知られている。また、電子検出器についても、最適な入
射位置が存在する。
ン電子コンバータ４におけるイオン／電子の変換効率
は、これに衝突するイオンの入射角θと入射エネルギＥ
とが影響し、それぞれθ，Ｅに最適値が存在することが
知られている。また、電子検出器についても、最適な入
射位置が存在する。
【０００８】一方、上述したように、イオン源１には所
定のイオン引出電圧Ｖ0が印加されるが、このイオン引
出電圧Ｖ0は、分析条件に適応するようにその都度変更
される。たとえば、二重収束型質量分析装置において、
未知試料の定性分析などを行う場合には、広い測定質量
数範囲を走査する必要が生じるが、その際には、イオン
引出電圧Ｖ0を比較的小さな値に設定する。但し、この
場合の測定感度は低くなる。これに対して、既知試料の
定量分析を行う場合には、測定感度を高める必要がある
ので、その際には、イオン引出電極Ｖ0を比較的大きな
値に設定する。但し、この場合の測定質量数範囲は狭く
なる。
定のイオン引出電圧Ｖ0が印加されるが、このイオン引
出電圧Ｖ0は、分析条件に適応するようにその都度変更
される。たとえば、二重収束型質量分析装置において、
未知試料の定性分析などを行う場合には、広い測定質量
数範囲を走査する必要が生じるが、その際には、イオン
引出電圧Ｖ0を比較的小さな値に設定する。但し、この
場合の測定感度は低くなる。これに対して、既知試料の
定量分析を行う場合には、測定感度を高める必要がある
ので、その際には、イオン引出電極Ｖ0を比較的大きな
値に設定する。但し、この場合の測定質量数範囲は狭く
なる。
【０００９】図２に示した従来構成の装置では、イオン
引出電圧Ｖ0の設定値とは無関係に、イオン電子コンバ
ータ４および電子検出器３に印加する各電圧Ｖc，ＶDの
値が個別に設定されており、イオン引出電圧Ｖ0の値が
変更されても両電圧Ｖc，ＶDは固定されたまま、また
は、Ｖ0との相関関係なく任意に変更される。
引出電圧Ｖ0の設定値とは無関係に、イオン電子コンバ
ータ４および電子検出器３に印加する各電圧Ｖc，ＶDの
値が個別に設定されており、イオン引出電圧Ｖ0の値が
変更されても両電圧Ｖc，ＶDは固定されたまま、また
は、Ｖ0との相関関係なく任意に変更される。
【００１０】そのため、従来装置では、上記のように分
析条件に応じてイオン引出電圧Ｖ0を変更した場合に
は、コレクタスリット２cを通過するもイオンの運動エ
ネルギが変動していた。すなわち、コレクタスリット２
cを通過するイオンの運動エネルギＥは、 Ｅ＝q・Ｖ0＝m・v2／２ (１) (ここに、qはイオンの電荷、mはイオンの質量、vは速
度)となるので、同じ質量電荷比m／qのイオンに対して
も、Ｖ0の値に応じてｖが変化し、これに伴い、イオン
の飛行軌道も変化してイオン電子コンバータ４に衝突す
るイオンの入射角θと入射位置とがいずれも変動する。
このため、イオン引出電圧Ｖ0の値に応じてイオン／電
子の変換効率が大きく変動するとともに、電子検出器３
に対する電子の入射位置も変動し、その結果、同一質量
電荷比m／qのイオンを検出する場合にも、イオン引出電
圧Ｖ0の値に応じて検出感度がばらつくという不都合を
生じていた。
析条件に応じてイオン引出電圧Ｖ0を変更した場合に
は、コレクタスリット２cを通過するもイオンの運動エ
ネルギが変動していた。すなわち、コレクタスリット２
cを通過するイオンの運動エネルギＥは、 Ｅ＝q・Ｖ0＝m・v2／２ (１) (ここに、qはイオンの電荷、mはイオンの質量、vは速
度)となるので、同じ質量電荷比m／qのイオンに対して
も、Ｖ0の値に応じてｖが変化し、これに伴い、イオン
の飛行軌道も変化してイオン電子コンバータ４に衝突す
るイオンの入射角θと入射位置とがいずれも変動する。
このため、イオン引出電圧Ｖ0の値に応じてイオン／電
子の変換効率が大きく変動するとともに、電子検出器３
に対する電子の入射位置も変動し、その結果、同一質量
電荷比m／qのイオンを検出する場合にも、イオン引出電
圧Ｖ0の値に応じて検出感度がばらつくという不都合を
生じていた。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するためになされたものであって、イオン引出電
圧の値に影響されることなく、質量分析計を通過したイ
オンがイオン電子コンバータに対して一定の入射角およ
び入射エネルギで衝突するようにして、イオン検出感度
のばらつきが生じないようにするものである。
を解決するためになされたものであって、イオン引出電
圧の値に影響されることなく、質量分析計を通過したイ
オンがイオン電子コンバータに対して一定の入射角およ
び入射エネルギで衝突するようにして、イオン検出感度
のばらつきが生じないようにするものである。
【００１２】そのため、本発明では、イオン源１と、イ
オン引出電極２aによって引き出されたイオンを質量分
離する質量分離部２bと、この質量分離部２bで質量分離
して取り出された特定のイオンのみを選択的に取り出す
コレクタスリット２cと、このコレクタスリット２cを通
過したイオンを電子に変換するイオン電子コンバータ４
と、変換された電子を検出して電気信号として取り出す
電子検出器３とが順次配置されている質量分析装置にお
いて、次の構成を採る。
オン引出電極２aによって引き出されたイオンを質量分
離する質量分離部２bと、この質量分離部２bで質量分離
して取り出された特定のイオンのみを選択的に取り出す
コレクタスリット２cと、このコレクタスリット２cを通
過したイオンを電子に変換するイオン電子コンバータ４
と、変換された電子を検出して電気信号として取り出す
電子検出器３とが順次配置されている質量分析装置にお
いて、次の構成を採る。
【００１３】すなわち、本発明の質量分析装置では、コ
レクタスリット２cとイオン電子コンバータ４との間
に、さらにサブスリット１０を配置する一方、イオン源
１に印加するイオン引出電圧をＶ0、サブスリット１０
に印加する電圧をＶs、イオン電子コンバータ４に印加
するコンバータ電圧をＶcとした場合に、 Ｖs＝Ｖ0−k1、Ｖc＝Ｖ0−k2 (ただし、k1，k2は定数) の関係を満たすように、Ｖ0の設定に応じてＶs、Ｖcを
それぞれ決定する電圧制御手段１２を備えた構成とし
た。
レクタスリット２cとイオン電子コンバータ４との間
に、さらにサブスリット１０を配置する一方、イオン源
１に印加するイオン引出電圧をＶ0、サブスリット１０
に印加する電圧をＶs、イオン電子コンバータ４に印加
するコンバータ電圧をＶcとした場合に、 Ｖs＝Ｖ0−k1、Ｖc＝Ｖ0−k2 (ただし、k1，k2は定数) の関係を満たすように、Ｖ0の設定に応じてＶs、Ｖcを
それぞれ決定する電圧制御手段１２を備えた構成とし
た。
【００１４】
【作用】上記構成において、分析条件に適合させるため
に、イオン引出電圧Ｖ0を設定すると、これに応じて電
圧制御手段１２は、サブスリット１０とイオン電子コン
バータ６の各印加電圧Ｖs，Ｖcを設定する。
に、イオン引出電圧Ｖ0を設定すると、これに応じて電
圧制御手段１２は、サブスリット１０とイオン電子コン
バータ６の各印加電圧Ｖs，Ｖcを設定する。
【００１５】この状態において、イオン源１とサブスリ
ット１０との間の電位差は、 Ｖ0−Ｖs＝k1 で一定となり、したがって、質量分析部２で質量分離さ
れたすべてのイオンは、常に一定の運動エネルギーでサ
ブスリット１０から出射される。
ット１０との間の電位差は、 Ｖ0−Ｖs＝k1 で一定となり、したがって、質量分析部２で質量分離さ
れたすべてのイオンは、常に一定の運動エネルギーでサ
ブスリット１０から出射される。
【００１６】一方、サブスリット１０とイオン電子コン
バータ４との間の電位差は、 Ｖs−Ｖc＝−k1＋k2 で一定となり、サブスリット１０を通過したすべてのイ
オンは、常に同一の軌道を描いてイオン電子コンバータ
４に衝突する。
バータ４との間の電位差は、 Ｖs−Ｖc＝−k1＋k2 で一定となり、サブスリット１０を通過したすべてのイ
オンは、常に同一の軌道を描いてイオン電子コンバータ
４に衝突する。
【００１７】つまり、すべてのイオンは、イオン引出電
圧Ｖ0の値に影響を受けることなく、イオン電子コンバ
ータ４に対して、常に一定の入射角θでもって同じ位置
に衝突するので、従来のように、同一質量電荷比m／qの
イオンを検出する場合にもイオン引出電圧Ｖ0によって
検出感度が変動を受けるなどの不都合が回避され、常に
一定の検出感度が得られることになる。
圧Ｖ0の値に影響を受けることなく、イオン電子コンバ
ータ４に対して、常に一定の入射角θでもって同じ位置
に衝突するので、従来のように、同一質量電荷比m／qの
イオンを検出する場合にもイオン引出電圧Ｖ0によって
検出感度が変動を受けるなどの不都合が回避され、常に
一定の検出感度が得られることになる。
【００１８】
【実施例】図１は本発明の実施例に係る質量分析装置の
構成図であり、図２に示した従来例に対応する部分には
同一の符号を付す。
構成図であり、図２に示した従来例に対応する部分には
同一の符号を付す。
【００１９】図１において、１はイオン源、２aはイオ
ン引出電極、２bは質量分離部、２cはコレクタスリッ
ト、３は電子検出器、４はイオン電子コンバータ、５は
増幅器、６は計測部であり、これらの構成は従来例の場
合と同様である。
ン引出電極、２bは質量分離部、２cはコレクタスリッ
ト、３は電子検出器、４はイオン電子コンバータ、５は
増幅器、６は計測部であり、これらの構成は従来例の場
合と同様である。
【００２０】この実施例の特徴は、コレクタスリット２
cとイオン電子コンバータ４との間に、サブスリット１
０が配置されており、また、イオン源１、サブスリット
１０、イオン電子コンバータ４および電子検出器３に印
加する電圧を制御する電圧制御手段１２と、イオン引出
電圧Ｖ0を設定するための設定部１４とを備えているこ
とである。
cとイオン電子コンバータ４との間に、サブスリット１
０が配置されており、また、イオン源１、サブスリット
１０、イオン電子コンバータ４および電子検出器３に印
加する電圧を制御する電圧制御手段１２と、イオン引出
電圧Ｖ0を設定するための設定部１４とを備えているこ
とである。
【００２１】上記の電圧制御手段１２は、たとえばＣＰ
Ｕで構成され、イオン源１に印加するイオン引出電圧を
Ｖ0、サブスリット１０に印加する電圧をＶs、イオン電
子コンバータ４に印加するコンバータ電圧をＶc、電子
検出器３の前段に印加する電圧をＶD、電子検出器３の
後段に印加する電圧をＶEとした場合に、 Ｖs＝Ｖ0−k1、Ｖc＝Ｖ0−k2、ＶD＝Ｖ0−k3、ＶE＝Ｖ0−k4 (ただし、k1， k2，k3，k4は定数) (２) の関係を満たすように、設定部１４でＶ0の値が設定さ
れると、これに応じてＶs、Ｖc，ＶD，ＶEの各値をそれ
ぞれ決定して出力するようになっている。なお、上記の
各定数k1，k2，k3，k4は、検出感度が大きくなるよう
に、イオンの軌道および電子検出器３への電子の入射位
置を考慮して予め決定される。
Ｕで構成され、イオン源１に印加するイオン引出電圧を
Ｖ0、サブスリット１０に印加する電圧をＶs、イオン電
子コンバータ４に印加するコンバータ電圧をＶc、電子
検出器３の前段に印加する電圧をＶD、電子検出器３の
後段に印加する電圧をＶEとした場合に、 Ｖs＝Ｖ0−k1、Ｖc＝Ｖ0−k2、ＶD＝Ｖ0−k3、ＶE＝Ｖ0−k4 (ただし、k1， k2，k3，k4は定数) (２) の関係を満たすように、設定部１４でＶ0の値が設定さ
れると、これに応じてＶs、Ｖc，ＶD，ＶEの各値をそれ
ぞれ決定して出力するようになっている。なお、上記の
各定数k1，k2，k3，k4は、検出感度が大きくなるよう
に、イオンの軌道および電子検出器３への電子の入射位
置を考慮して予め決定される。
【００２２】なお、１６は増幅器５の入力電位を一定に
するためのアイソレーション用のコンデンサである。
するためのアイソレーション用のコンデンサである。
【００２３】次に、上記構成の質量分析装置の作用につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２４】分析条件に適合させるために、設定部１４
からイオン源１に対して印加するイオン引出電圧Ｖ0の
値を設定すると、これに応じて電圧制御手段１２は、上
記の(２)式に基づいて、サブスリット１０、イオン電子
コンバータ４および電子検出器３の各印加電圧Ｖs，Ｖ
c，ＶD，ＶEを設定する。
からイオン源１に対して印加するイオン引出電圧Ｖ0の
値を設定すると、これに応じて電圧制御手段１２は、上
記の(２)式に基づいて、サブスリット１０、イオン電子
コンバータ４および電子検出器３の各印加電圧Ｖs，Ｖ
c，ＶD，ＶEを設定する。
【００２５】この状態において、イオン源１とサブスリ
ット１０との間の電位差は、 Ｖ0−Ｖs＝k1 で一定となり、したがって、質量分析部２で質量分離さ
れたすべてのイオンは、常に一定の運動エネルギでサブ
スリット１０から出射される。
ット１０との間の電位差は、 Ｖ0−Ｖs＝k1 で一定となり、したがって、質量分析部２で質量分離さ
れたすべてのイオンは、常に一定の運動エネルギでサブ
スリット１０から出射される。
【００２６】また、サブスリット１０とイオン電子コン
バータ４との間の電位差は、 Ｖs−Ｖc＝−k1＋k2 で一定となり、したがって、サブスリット１０を通過し
たすべてのイオンは、常に同一の軌道を描いてイオン電
子コンバータ４に衝突する。つまり、すべてのイオン
は、イオン引出電圧Ｖ0の値に影響を受けることなく、
イオン電子コンバータ４に対して、常に一定の入射角θ
でもって同じ位置に衝突する。
バータ４との間の電位差は、 Ｖs−Ｖc＝−k1＋k2 で一定となり、したがって、サブスリット１０を通過し
たすべてのイオンは、常に同一の軌道を描いてイオン電
子コンバータ４に衝突する。つまり、すべてのイオン
は、イオン引出電圧Ｖ0の値に影響を受けることなく、
イオン電子コンバータ４に対して、常に一定の入射角θ
でもって同じ位置に衝突する。
【００２７】さらに、イオン電子コンバータ４と電子検
出器３のシールド電極３aとの間の電位差は、 Ｖc−ＶD＝−k2＋k3 で一定となり、イオン電子コンバータ４からの電子は、
電子検出器に対して常に一定速度でかつ一定位置に入射
される。さらに、電子検出器３の前段と後段の電位差
は、 ＶD−ＶE＝−k3＋k4 で一定となり、電子検出器３で増幅される条件は常に等
しくなる。
出器３のシールド電極３aとの間の電位差は、 Ｖc−ＶD＝−k2＋k3 で一定となり、イオン電子コンバータ４からの電子は、
電子検出器に対して常に一定速度でかつ一定位置に入射
される。さらに、電子検出器３の前段と後段の電位差
は、 ＶD−ＶE＝−k3＋k4 で一定となり、電子検出器３で増幅される条件は常に等
しくなる。
【００２８】このため、イオン引出電圧Ｖ0の影響を受
けることなく、同一質量電荷比m／qのイオンに対して、
常に一定の検出感度が得られることになる。
けることなく、同一質量電荷比m／qのイオンに対して、
常に一定の検出感度が得られることになる。
【００２９】上記の実施例では、電子検出器３に印加す
る電圧ＶD，ＶEもイオン引出電圧Ｖ0の値に応じて変化
するようにしているが、加速電圧ＶD，ＶEだけ切り離し
て独立に設定するようにしてもよい。この場合では、Ｖ
0の変化により、全体での感度に変化が生じるが、ＶS，
ＶCをイオン／電子変換に必要な最適な値に設定してお
れば、Ｖ0を変化させても、変換に最適な条件を常に満
足することができる。
る電圧ＶD，ＶEもイオン引出電圧Ｖ0の値に応じて変化
するようにしているが、加速電圧ＶD，ＶEだけ切り離し
て独立に設定するようにしてもよい。この場合では、Ｖ
0の変化により、全体での感度に変化が生じるが、ＶS，
ＶCをイオン／電子変換に必要な最適な値に設定してお
れば、Ｖ0を変化させても、変換に最適な条件を常に満
足することができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、質量分析計を通過した
すべてのイオンは、イオン引出電圧の設定値が変更され
た場合にも、それに影響されることなく、常にイオン電
子コンバータに対して一定の入射角および入射エネルギ
で衝突する。このため、従来のようなイオン検出感度の
ばらつき発生を確実に回避することが可能となる。
すべてのイオンは、イオン引出電圧の設定値が変更され
た場合にも、それに影響されることなく、常にイオン電
子コンバータに対して一定の入射角および入射エネルギ
で衝突する。このため、従来のようなイオン検出感度の
ばらつき発生を確実に回避することが可能となる。
【図１】本発明の実施例に係る質量分析装置の構成図で
ある。
ある。
【図２】従来の質量分析装置の構成図である。
１…イオン源、２…質量分析部、３…電子検出器、４…
イオン電子コンバータ、１０…サブスリット、１２…電
圧制御手段。
イオン電子コンバータ、１０…サブスリット、１２…電
圧制御手段。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 49/06 H01J 49/26 - 49/32 H01J 37/244
Claims (1)
- 【請求項１】 イオン源(１)と、このイオン源(１)から
引き出されたイオンを質量分離する質量分析部(２)と、
この質量分析部(２)で質量分離して取り出されたイオン
を電子に変換するイオン電子コンバータ(４)と、変換さ
れた電子を検出して電気信号として取り出す電子検出器
（３）とが順次配置されている質量分析装置において、
前記質量分析部（２）とイオン電子コンバータ(４)との
間に、さらにサブスリット(１０)を配置する一方、イオ
ン源(１)に印加するイオン引出電圧をＶ0、サブスリッ
ト(１０)に印加する電圧をＶs、イオン電子コンバータ
(４)に印加するコンバータ電圧をＶcとした場合に、 Ｖs＝Ｖ0−k1、Ｖc＝Ｖ0−k2 (ただし、k1，k2は定数) の関係を満たすように、Ｖ0の設定に応じてＶs、Ｖcを
それぞれ決定する電圧制御手段(１２)を備えることを特
徴とする質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03064503A JP3097148B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03064503A JP3097148B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04298947A JPH04298947A (ja) | 1992-10-22 |
| JP3097148B2 true JP3097148B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=13260073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03064503A Expired - Fee Related JP3097148B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3097148B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014045360A1 (ja) * | 2012-09-20 | 2014-03-27 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
-
1991
- 1991-03-28 JP JP03064503A patent/JP3097148B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04298947A (ja) | 1992-10-22 |
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