JPH0330249A - イオン検出器 - Google Patents
イオン検出器Info
- Publication number
- JPH0330249A JPH0330249A JP1164188A JP16418889A JPH0330249A JP H0330249 A JPH0330249 A JP H0330249A JP 1164188 A JP1164188 A JP 1164188A JP 16418889 A JP16418889 A JP 16418889A JP H0330249 A JPH0330249 A JP H0330249A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grid
- ions
- ion
- deflection
- converter plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 80
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 abstract description 22
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 21
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 abstract 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 5
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、主として飛行時間型質量分析計において適用
されるイオン検出器に関する。
されるイオン検出器に関する。
く従来の技術〉
一般に、有機化合物をイオン化して質量分析を行う場合
、高分子量のものほどイオンの安定度が低く、そのため
初期に発生したイオン（ｍ＋Ｍ）”の多くが検出器に到
達するまでにイオンＣと中性粒子Ｍに分離する。しかし
、このように分離したイオンｍ＋と中性粒子Ｍは元来同
一源のイオンであるから、このような分離したイオンｍ
１や中性粒子Ｍもイオン（ｍ＋Ｍ）＋と同時に検出しな
ければ安定度が低くなり、いわゆるイオン（ｍ＋Ｍ）＋
、イオン？、中性粒子Ｍか混在したメタステーブルイオ
ンについて精度良い分析結果を得ることができない。
、高分子量のものほどイオンの安定度が低く、そのため
初期に発生したイオン（ｍ＋Ｍ）”の多くが検出器に到
達するまでにイオンＣと中性粒子Ｍに分離する。しかし
、このように分離したイオンｍ＋と中性粒子Ｍは元来同
一源のイオンであるから、このような分離したイオンｍ
１や中性粒子Ｍもイオン（ｍ＋Ｍ）＋と同時に検出しな
ければ安定度が低くなり、いわゆるイオン（ｍ＋Ｍ）＋
、イオン？、中性粒子Ｍか混在したメタステーブルイオ
ンについて精度良い分析結果を得ることができない。
一方、従来の質量分析計には、磁場型のものや、飛行時
間型のものかある。磁場型の質量分析計は、磁場走査に
よってイオンの飛行軌道を制御する関係上、検出できる
のはイオンだけであり、中性粒子は検出することができ
ない。また、検出されるイオンは、全イオンの内の磁場
を通過した一部に過ぎないので、十分な検出信号強度が
得られない。
間型のものかある。磁場型の質量分析計は、磁場走査に
よってイオンの飛行軌道を制御する関係上、検出できる
のはイオンだけであり、中性粒子は検出することができ
ない。また、検出されるイオンは、全イオンの内の磁場
を通過した一部に過ぎないので、十分な検出信号強度が
得られない。
したがって、磁場型のものは、上記のメタステーブルイ
オンの質量分析には適していない。これに対して、飛行
時間型の質量分析計は、イオンを一定のドリフト空間中
を飛行させてイオン検出器に到達するまでの質量数に応
じた時間差を検出するしので、イオンのみならず中性粒
子も同時に検出できるため有機化合物のメタステーブル
イオンの質量分析が可能である。
オンの質量分析には適していない。これに対して、飛行
時間型の質量分析計は、イオンを一定のドリフト空間中
を飛行させてイオン検出器に到達するまでの質量数に応
じた時間差を検出するしので、イオンのみならず中性粒
子も同時に検出できるため有機化合物のメタステーブル
イオンの質量分析が可能である。
ところで、このような飛行時間型質量分析計に使用され
る従来のイオン検出４には、第２図に示す構成のものか
ある。このイオン検出４は、検出感度を高めるために、
マイクロチャンネルプレートＭＣＰのイオン入射側の前
方に後段ｂ口速用のグリッドＧ＋１Ｇｔとコンバータ板
Ｃとをそれぞれ配置し、一方のグリッドＧ１にはＯＶＳ
他方のグリッドＧ，には負の高電圧（一ト１．Ｖ．）を
印加して両者間に電界を形或している。したがって、こ
のイオン検出器にイオンが到達すると、グリッドＧＧ，
間の電界によって該イオンが加速されてコンバータ板Ｃ
に衝突し、これにより励起されて発生する二次電子がマ
イクロチャンネルプレー｝ＭＣＰで増幅され、増幅され
た二次電子がアノードＡで集められて電流として取り出
される。
る従来のイオン検出４には、第２図に示す構成のものか
ある。このイオン検出４は、検出感度を高めるために、
マイクロチャンネルプレートＭＣＰのイオン入射側の前
方に後段ｂ口速用のグリッドＧ＋１Ｇｔとコンバータ板
Ｃとをそれぞれ配置し、一方のグリッドＧ１にはＯＶＳ
他方のグリッドＧ，には負の高電圧（一ト１．Ｖ．）を
印加して両者間に電界を形或している。したがって、こ
のイオン検出器にイオンが到達すると、グリッドＧＧ，
間の電界によって該イオンが加速されてコンバータ板Ｃ
に衝突し、これにより励起されて発生する二次電子がマ
イクロチャンネルプレー｝ＭＣＰで増幅され、増幅され
た二次電子がアノードＡで集められて電流として取り出
される。
く発明が解決しようとする課題〉
ところが、このような従来のイオン検出器を用いろと、
上述したメタステーブルイオンを険出する際に十分？，
（質！Ｕ′１分解能が得られないという問題がある。す
なわち、初期に発へヒしたイオン（ｍ−１−Ｍ）＋か飛
行途中でイオンｍ＋と中性位子Ｍに分離した場合、これ
らか最初のグリソドＧｌに到達する時間はほぼ同じでも
、中性粒子ＭはグリヅトＧＧ，で加速されないので、分
離後のイオンｍ＋との間でコンバータ板Ｃに到達ずる時
間に差が生じろ。
上述したメタステーブルイオンを険出する際に十分？，
（質！Ｕ′１分解能が得られないという問題がある。す
なわち、初期に発へヒしたイオン（ｍ−１−Ｍ）＋か飛
行途中でイオンｍ＋と中性位子Ｍに分離した場合、これ
らか最初のグリソドＧｌに到達する時間はほぼ同じでも
、中性粒子ＭはグリヅトＧＧ，で加速されないので、分
離後のイオンｍ＋との間でコンバータ板Ｃに到達ずる時
間に差が生じろ。
同様に、分離後のイオンｒと分離せずにそのままグリッ
ドＧ．に到達１，たイオン（ｍ＋Ｍ）＋との間において
も互いに質量数が異なるのでコンバータ板Ｃに到達する
時間に差が生じる。しかし、このような分離後のイオン
ｍ”と中性拉子〜１は元来同一ｍのイオンであるから、
これらがイオン（ ｍ −＋− Ｍ ）”の検出タイミ
ングとずれるど、検出したピークプロファイルの幅が広
がり、かっ、ピーク強度ら小さくなるので、結果的に質
量分解能が低下とともに、Ｓ／Ｎ比の劣化をもたらす。
ドＧ．に到達１，たイオン（ｍ＋Ｍ）＋との間において
も互いに質量数が異なるのでコンバータ板Ｃに到達する
時間に差が生じる。しかし、このような分離後のイオン
ｍ”と中性拉子〜１は元来同一ｍのイオンであるから、
これらがイオン（ ｍ −＋− Ｍ ）”の検出タイミ
ングとずれるど、検出したピークプロファイルの幅が広
がり、かっ、ピーク強度ら小さくなるので、結果的に質
量分解能が低下とともに、Ｓ／Ｎ比の劣化をもたらす。
く課題を解決するための手段〉
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、有機化合物、特に高質量数で安定度の低いメタステ
ーブルイオンの検出においても高質量分解能で、かつ高
感度が維持されるようにするものである。
て、有機化合物、特に高質量数で安定度の低いメタステ
ーブルイオンの検出においても高質量分解能で、かつ高
感度が維持されるようにするものである。
そのため、本発明のイオン検出器では、イオンの飛来方
向に対して遮蔽グリッドが直交配置され、この遮蔽グリ
ッドに対して偏向グリッドか所定の角度だけ傾斜して配
置されるとともに、この偏向グリッドのイオン通過側に
は該偏向グリッドに平行にイオン電子変換用のコンバー
タ板が設けられ、このコンバータ板の前記偏向グリッド
を隔てた対向位置にはマイクロチャンネルプレート等の
電子増倍手段が配置されている構戊とした。
向に対して遮蔽グリッドが直交配置され、この遮蔽グリ
ッドに対して偏向グリッドか所定の角度だけ傾斜して配
置されるとともに、この偏向グリッドのイオン通過側に
は該偏向グリッドに平行にイオン電子変換用のコンバー
タ板が設けられ、このコンバータ板の前記偏向グリッド
を隔てた対向位置にはマイクロチャンネルプレート等の
電子増倍手段が配置されている構戊とした。
く作用〉
上記の構成において、初期に発生したイオン（ｍ＋Ｍ）
＋が飛行途中でイオンｍ＋と中性粒子Ｍに分離した場合
でも、これらのイオンｍ＋と中性拉子Ｍは遮蔽グリッド
に同一速度で同一時刻に到達する。そして、これらのイ
オンｍ＋と中性粒子Ｍが遮蔽グリソドを通過するど、遮
蔽グリソドと偏向グリッドとの間に形成された電場によ
ってイオンの飛行軌道が曲げられる。この場合、質量数
が小さいものほど大きく湾曲されて長距離飛行した後、
コンバータ仮に到達する。一方、中性粒子は電場内を直
進してコンバータ板に到達ずる。したがって、結果的に
コンバータ仮に到達ずろ同一源のイオンｍ＋、中性粒子
Ｍおよび未分離のイオン（ｍ十Ｍ）＋の飛行時間はほぼ
同一となる。このため、コンバータ板で二次電子に変換
されて電子増（コ千手段に入射する時刻も同一どなるの
で、質１１分解能とピーク強度の向上が図られろ。
＋が飛行途中でイオンｍ＋と中性粒子Ｍに分離した場合
でも、これらのイオンｍ＋と中性拉子Ｍは遮蔽グリッド
に同一速度で同一時刻に到達する。そして、これらのイ
オンｍ＋と中性粒子Ｍが遮蔽グリソドを通過するど、遮
蔽グリソドと偏向グリッドとの間に形成された電場によ
ってイオンの飛行軌道が曲げられる。この場合、質量数
が小さいものほど大きく湾曲されて長距離飛行した後、
コンバータ仮に到達する。一方、中性粒子は電場内を直
進してコンバータ板に到達ずる。したがって、結果的に
コンバータ仮に到達ずろ同一源のイオンｍ＋、中性粒子
Ｍおよび未分離のイオン（ｍ十Ｍ）＋の飛行時間はほぼ
同一となる。このため、コンバータ板で二次電子に変換
されて電子増（コ千手段に入射する時刻も同一どなるの
で、質１１分解能とピーク強度の向上が図られろ。
〈実施例〉
第１図は本発明のイオン検出器の全体を示ずＩ’＋｛ｔ
成図である。
成図である。
この実施例のイオン検出４ｌは、イオンの飛来方向に対
して第１遮蔽グリッド２が直交配置され、この第ｌ遮蔽
グリッド２に対して偏向グリッド４が所定の角度だけ傾
斜して配置されている。また、この偏向グリッ．ド４の
イオン通過側にはこの偏向グリソド４に平行にイオン電
子変換用のコンバータ板６が設けられており、一方、こ
のコンバータ板６の偏向グリッド４を隔てた対向位置に
は電子増倍手段としてのマイクロチャンネルプレート８
が配置されている。さらに、このマイクロチャンネルプ
レート８と扁向グリッド４との間には前記第１遮蔽グリ
ッド２から延びる第２遮蔽グリッド１０が両者４、８に
平行して配置されている。なれ、ｌ２はマイクロチャン
ネルプレート８の裏面に配置されたアノードである。
そして、第１、第２遮蔽グリッド２、ｌＯはアース電位
に設定され、偏向グリッド４には所定の正の電圧（たと
えば＋ｌｋＶ〜＋３ｋＶ）が印加される。これにより、
第ｌ、第２遮蔽グリッド２、１０と偏向グリッド４とで
囲まれた空間部には、図中破線で示すような電場Ｅが形
成される。この電場Ｅは、第１遮蔽グリッド２と偏向グ
リッド４とが近接する所ほど電位密度が高くなっていろ
。また、コンバータ板６には負の高電圧（たとえば−５
ｋＶ〜−２０ｋＶ）が、マイクロヂャンネルプレート８
には所定の負の電圧（たとえば−２ｋＶ）がそれぞれ印
加される。
して第１遮蔽グリッド２が直交配置され、この第ｌ遮蔽
グリッド２に対して偏向グリッド４が所定の角度だけ傾
斜して配置されている。また、この偏向グリッ．ド４の
イオン通過側にはこの偏向グリソド４に平行にイオン電
子変換用のコンバータ板６が設けられており、一方、こ
のコンバータ板６の偏向グリッド４を隔てた対向位置に
は電子増倍手段としてのマイクロチャンネルプレート８
が配置されている。さらに、このマイクロチャンネルプ
レート８と扁向グリッド４との間には前記第１遮蔽グリ
ッド２から延びる第２遮蔽グリッド１０が両者４、８に
平行して配置されている。なれ、ｌ２はマイクロチャン
ネルプレート８の裏面に配置されたアノードである。
そして、第１、第２遮蔽グリッド２、ｌＯはアース電位
に設定され、偏向グリッド４には所定の正の電圧（たと
えば＋ｌｋＶ〜＋３ｋＶ）が印加される。これにより、
第ｌ、第２遮蔽グリッド２、１０と偏向グリッド４とで
囲まれた空間部には、図中破線で示すような電場Ｅが形
成される。この電場Ｅは、第１遮蔽グリッド２と偏向グ
リッド４とが近接する所ほど電位密度が高くなっていろ
。また、コンバータ板６には負の高電圧（たとえば−５
ｋＶ〜−２０ｋＶ）が、マイクロヂャンネルプレート８
には所定の負の電圧（たとえば−２ｋＶ）がそれぞれ印
加される。
次に、上記構成のイオン検出器１の作用を説明する。
未分離のイオン（ｍ＋Ｍ）” 、飛行途中で分離したイ
オンｍ＋と中性粒子Ｍは、いずれもドリフト空間を飛行
した後、第１遮蔽グリッド２に同一速度で同一時刻に到
達する。そして、未分離のイオン（ｍ＋Ｍ）”、分離イ
オンｍ＋、および中性粒子Ｍが第１遮蔽グリッド２を通
過すると、中性粒子Ｍは、電場Ｅ内を直進してコンバー
タ板６に到達する。これに対して、イオン（ｍ＋ Ｍ）
” 、ｍ”は、電場Ｅによってその飛行軌道が曲げられ
る。この場合、未分離のイオン（Ｉｌ＋Ｍ）＋よりも分
離したイオン〆の方が質量数が小さいので、より大きく
軌道が曲げられる。このため、質量数が小さくて加速し
易いものほど長い距離を飛行する。そして、偏向グリッ
ド４を通過したイオンは、コンバータ［６との間の電場
で加速されてコンバータ板６に到達する。その結果、コ
ンバータ板６に到達する同一源のイオンｍ＋、中性粒千
Ｍおよび未分離のイオン（ｍ＋Ｍ）＋の飛行時間はほぼ
同一となる。
オンｍ＋と中性粒子Ｍは、いずれもドリフト空間を飛行
した後、第１遮蔽グリッド２に同一速度で同一時刻に到
達する。そして、未分離のイオン（ｍ＋Ｍ）”、分離イ
オンｍ＋、および中性粒子Ｍが第１遮蔽グリッド２を通
過すると、中性粒子Ｍは、電場Ｅ内を直進してコンバー
タ板６に到達する。これに対して、イオン（ｍ＋ Ｍ）
” 、ｍ”は、電場Ｅによってその飛行軌道が曲げられ
る。この場合、未分離のイオン（Ｉｌ＋Ｍ）＋よりも分
離したイオン〆の方が質量数が小さいので、より大きく
軌道が曲げられる。このため、質量数が小さくて加速し
易いものほど長い距離を飛行する。そして、偏向グリッ
ド４を通過したイオンは、コンバータ［６との間の電場
で加速されてコンバータ板６に到達する。その結果、コ
ンバータ板６に到達する同一源のイオンｍ＋、中性粒千
Ｍおよび未分離のイオン（ｍ＋Ｍ）＋の飛行時間はほぼ
同一となる。
したがって、コンバータ板６に衝突したイオン（ｍ＋
Ｍ ）” 、ｍ＋および中性粒子Ｍは、ここで同時に二
次電子に変換されてマイクロチャンネルプレートＭＣＰ
に衝突する。そして、マイクロヂャンネルプレート８で
増幅され、増幅された二次電子がアノート１２で集めら
れて電流として取り出されろ。
Ｍ ）” 、ｍ＋および中性粒子Ｍは、ここで同時に二
次電子に変換されてマイクロチャンネルプレートＭＣＰ
に衝突する。そして、マイクロヂャンネルプレート８で
増幅され、増幅された二次電子がアノート１２で集めら
れて電流として取り出されろ。
このように、同一源のイオンＣ、中性粒子Ｍおよび未分
離のイオン（ｍ＋Ｍ）＋が同時に検出されるので、質量
分解能ならびに検出感度が向上する。
離のイオン（ｍ＋Ｍ）＋が同時に検出されるので、質量
分解能ならびに検出感度が向上する。
なお、上記の実施例では、電子増倍手段としてマイクロ
チャンネルプレート８を使用しているが、これに限定さ
れるものではなく、セラトロン等を使用することもでき
る。さらに、この実施例では、扁向グリッド４のイオン
通過側にコンバータ板６を設けて一旦二次電子に変換し
た後、マイクロヂャンネルプレート８で検出するように
している。このようにすれば、マイクロチャンネルプレ
ート８の感度および寿命の点からより好ましいが、コン
バータ板６の位置にマイクロチャンネルプレート８を配
置してイオンおよび中性粒子を直接検出するようにする
ことら可能である。
チャンネルプレート８を使用しているが、これに限定さ
れるものではなく、セラトロン等を使用することもでき
る。さらに、この実施例では、扁向グリッド４のイオン
通過側にコンバータ板６を設けて一旦二次電子に変換し
た後、マイクロヂャンネルプレート８で検出するように
している。このようにすれば、マイクロチャンネルプレ
ート８の感度および寿命の点からより好ましいが、コン
バータ板６の位置にマイクロチャンネルプレート８を配
置してイオンおよび中性粒子を直接検出するようにする
ことら可能である。
く発明の効果〉
本発明によれば、飛行時間型質量分析計と組み合わせて
有機化合物、特に高質量数で安定度の低いメタステーブ
ルイオンを検出する場合においても、高質量分解能で、
かつ高感度を維持することができる等の優れた効果が発
揮される。
有機化合物、特に高質量数で安定度の低いメタステーブ
ルイオンを検出する場合においても、高質量分解能で、
かつ高感度を維持することができる等の優れた効果が発
揮される。
第１図は本発明のイオン検出器の全体を示す構成図、第
２図は従来のイオン検出器の構成図である。 ｌ・・・イオン検出器、２・・・第１遮蔽グリット、４
・・・偏向グリッド、６・・コンバータ板、８・・マイ
クロチャンネルプレート（電子増倍手段）。
２図は従来のイオン検出器の構成図である。 ｌ・・・イオン検出器、２・・・第１遮蔽グリット、４
・・・偏向グリッド、６・・コンバータ板、８・・マイ
クロチャンネルプレート（電子増倍手段）。
Claims (1)
- （１）イオンの飛来方向に対して遮蔽グリッドが直交配
置され、この遮蔽グリッドに対して偏向グリッドが所定
の角度だけ傾斜して配置されるとともに、この偏向グリ
ッドのイオン通過側には該偏向グリッドに平行にイオン
電子変換用のコンバータ板が設けられ、このコンバータ
板の前記偏向グリッドを隔てた対向位置にはマイクロチ
ャンネルプレート等の電子増倍手段が配置されているこ
とを特徴とするイオン検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1164188A JPH0330249A (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | イオン検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1164188A JPH0330249A (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | イオン検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0330249A true JPH0330249A (ja) | 1991-02-08 |
Family
ID=15788363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1164188A Pending JPH0330249A (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | イオン検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0330249A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5699978A (en) * | 1995-02-14 | 1997-12-23 | Tokyo Automatic Machinery Works, Ltd. | Tear tape changer |
| JP2012169210A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Kobe Steel Ltd | 荷電粒子検出器，飛行時間型質量分析装置 |
-
1989
- 1989-06-27 JP JP1164188A patent/JPH0330249A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5699978A (en) * | 1995-02-14 | 1997-12-23 | Tokyo Automatic Machinery Works, Ltd. | Tear tape changer |
| JP2012169210A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Kobe Steel Ltd | 荷電粒子検出器，飛行時間型質量分析装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5202561A (en) | Device and method for analyzing ions of high mass | |
| US7504621B2 (en) | Method and system for mass analysis of samples | |
| US5128543A (en) | Particle analyzer apparatus and method | |
| EP2393105B1 (en) | Mass spectrometer | |
| US5206508A (en) | Tandem mass spectrometry systems based on time-of-flight analyzer | |
| US7126114B2 (en) | Method and system for mass analysis of samples | |
| US6894275B2 (en) | Mass spectrometer and methods of mass spectrometry | |
| US5661298A (en) | Mass spectrometer | |
| JP3392345B2 (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
| EP1215711B1 (en) | Mass spectrometer and method of mass spectrometry | |
| US7388193B2 (en) | Time-of-flight spectrometer with orthogonal pulsed ion detection | |
| US5872824A (en) | Method for studying a sample of material using a heavy ion induced mass spectrometer source | |
| US7427752B2 (en) | Mass spectrometer | |
| JPH0330249A (ja) | イオン検出器 | |
| JP3781642B2 (ja) | マルチディテクター付飛行時間型質量分析計 | |
| Geno et al. | 252Cf plasma desorption mass spectrometry using a Mamyrin reflectron in a low voltage regime | |
| JP2757460B2 (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
| Berthelier et al. | High resolution focal plane detector for a space-borne magnetic mass spectrometer | |
| JPH02165038A (ja) | 飛行時間型粒子分析装置 | |
| US20230215712A1 (en) | Improved ion conversion plate | |
| JPS5913151B2 (ja) | 四重極質量分析装置 | |
| JPH0421304B2 (ja) | ||
| JPH10116583A (ja) | イオン質量分析装置 | |
| Geno | Ion detection in mass spectrometry | |
| JPH04298947A (ja) | 質量分析装置 |