JPS5913151B2 - 四重極質量分析装置 - Google Patents
四重極質量分析装置Info
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- JPS5913151B2 JPS5913151B2 JP54092064A JP9206479A JPS5913151B2 JP S5913151 B2 JPS5913151 B2 JP S5913151B2 JP 54092064 A JP54092064 A JP 54092064A JP 9206479 A JP9206479 A JP 9206479A JP S5913151 B2 JPS5913151 B2 JP S5913151B2
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- Japan
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- ions
- positive
- negative ions
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- Expired
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 35
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 7
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 230000010220 ion permeability Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
質量分析計は、元素分析装置として広く一般に普及して
いる。
いる。
このうち四重極質量分析計は、他のタイプの質量分析計
にくらべて安価である、小型軽量である、高速分析がで
きる、などの特徴を持ち、残留ガス分析計（ＲＧＡ）、
ガスクロマトグラフ質量分析計（ＧＣ−ＭＳ）、二次イ
オン質量分析計（ＳＩＭＳ）などに使用されている。こ
のうちＳＩＭＳは、固体表面分析法の１つとして、急速
に発展してきた装置で、薄膜、半導体５ のキヤラクタ
リゼーシヨンに応用されている。ＳＩＭＳは、高エネル
ギーの一次イオンを、分析しようとする試料に照射し、
スパッタリングに伴つて試料表面から放出される試料の
構成元素のイオンを、質量分析する装置である。１０こ
の装置を用いて分析する場合、正イオンまたは負イオン
を測定して試料表面の情報を得るわけであるが、当然の
ことながら、正確な分析を期するためには、正負両イオ
ンを測定するのが望ましい。
にくらべて安価である、小型軽量である、高速分析がで
きる、などの特徴を持ち、残留ガス分析計（ＲＧＡ）、
ガスクロマトグラフ質量分析計（ＧＣ−ＭＳ）、二次イ
オン質量分析計（ＳＩＭＳ）などに使用されている。こ
のうちＳＩＭＳは、固体表面分析法の１つとして、急速
に発展してきた装置で、薄膜、半導体５ のキヤラクタ
リゼーシヨンに応用されている。ＳＩＭＳは、高エネル
ギーの一次イオンを、分析しようとする試料に照射し、
スパッタリングに伴つて試料表面から放出される試料の
構成元素のイオンを、質量分析する装置である。１０こ
の装置を用いて分析する場合、正イオンまたは負イオン
を測定して試料表面の情報を得るわけであるが、当然の
ことながら、正確な分析を期するためには、正負両イオ
ンを測定するのが望ましい。
１５ところで、ＳＩＭＳの原理上、破壊分析であるため
、正負両イオンを測定するには、これらを同時に測定す
ることが必要となる。
、正負両イオンを測定するには、これらを同時に測定す
ることが必要となる。
従来、正負両イオンを同時に測定するには、２個の質量
分析計を用いているが、四重極質量分析クｏ 計は、安
価であるといつても１台数百万円（質量分析範囲１〜３
００ａ、ｍ、ｕ）を要し、また正負両イオンは、できる
だけ同一条件（同−質量分解能など）で測定するべきで
あるなどのため、一般には普及していない。
分析計を用いているが、四重極質量分析クｏ 計は、安
価であるといつても１台数百万円（質量分析範囲１〜３
００ａ、ｍ、ｕ）を要し、また正負両イオンは、できる
だけ同一条件（同−質量分解能など）で測定するべきで
あるなどのため、一般には普及していない。
２５本発明は、これら正負両イオンの同時測定を可能に
するもので、四重極電極の質量分離の原理が、イオンの
入射方向に依存しないことを利用して、１台の四重極電
極で、正負両イオンを同時に測定する装置を提供するも
のである。
するもので、四重極電極の質量分離の原理が、イオンの
入射方向に依存しないことを利用して、１台の四重極電
極で、正負両イオンを同時に測定する装置を提供するも
のである。
３０以下本発明をその実施例により説明する。
第１図は本発明の一実施例のＳＩＭＳの構成を示す。１
は試料であり、これに数ＫＶ〜数１引■に加速した一次
イオン２を衝撃すると、スパッタリングに伴つて二次イ
オンが放出される。
は試料であり、これに数ＫＶ〜数１引■に加速した一次
イオン２を衝撃すると、スパッタリングに伴つて二次イ
オンが放出される。
放出さ３５れた正の二次イオン３は、アインツエルレン
ズ４で収束され、１２７０屑形静電場エネルギーフィル
タ５で０〜１０ｅＶのイオンのみが収束され四重極電極
６に入射する。四重極電極６で質量分離された正イオン
は１２７四扇形静電場７に入射し、偏向され扇形静電場
７のグリッド８を通過し、スリツト９を通つて検出器１
０で検出される。一方、正イオンと同時に放出された負
イオン１１は、アインツエルレンズ１２で収束され、扇
形静電場７でエネルギー選択され、−１０〜０ｅＶのエ
ネルギーを持つ負イオンが、四重極電極６に導入され質
量分離される。
ズ４で収束され、１２７０屑形静電場エネルギーフィル
タ５で０〜１０ｅＶのイオンのみが収束され四重極電極
６に入射する。四重極電極６で質量分離された正イオン
は１２７四扇形静電場７に入射し、偏向され扇形静電場
７のグリッド８を通過し、スリツト９を通つて検出器１
０で検出される。一方、正イオンと同時に放出された負
イオン１１は、アインツエルレンズ１２で収束され、扇
形静電場７でエネルギー選択され、−１０〜０ｅＶのエ
ネルギーを持つ負イオンが、四重極電極６に導入され質
量分離される。
質量分離された負イオンは、扇形静電場５に入射し、グ
リッド１３を通つてスリツト１４を通過し、検出器１５
で検出される。ここで使用した本発明のグリッド状導電
材料で構成したイオン偏向電極の一実施例である扇形静
電場電極５と、検出器１５の拡大図を第２図に示す。
リッド１３を通つてスリツト１４を通過し、検出器１５
で検出される。ここで使用した本発明のグリッド状導電
材料で構成したイオン偏向電極の一実施例である扇形静
電場電極５と、検出器１５の拡大図を第２図に示す。
以上述べたように、本発明によれば、唯一の四重極電極
で、正負両イオンの同時質量分析行なうことができるの
で、分析装置製作費が安くできる。
で、正負両イオンの同時質量分析行なうことができるの
で、分析装置製作費が安くできる。
また、本発明の原理土、四重極電極に印加する高周波と
直流電圧のバランスが同じ条件で、正負両イオンを質量
分離するため、得られる正負イオンの質量スペクトルは
、正負同一の質量分解能、イオン透過率を保持して検出
、測定できる。
直流電圧のバランスが同じ条件で、正負両イオンを質量
分離するため、得られる正負イオンの質量スペクトルは
、正負同一の質量分解能、イオン透過率を保持して検出
、測定できる。
第１図は本発明の一実施例の二次イオン質量分析計の概
略構成を示す図、第２図はその要部の拡大図である。 １・・・・・・試料、２・・・・・・一次イオン、４，
１２・・・・・・アインツエルレンズ、５，７・・・・
・・扇形静電場形エネルギーフイルタ、８，１３・・・
・・・グリツド、９，１４・・・・・・コレクタースリ
ツト、１０，１５・・・・・・検出器。
略構成を示す図、第２図はその要部の拡大図である。 １・・・・・・試料、２・・・・・・一次イオン、４，
１２・・・・・・アインツエルレンズ、５，７・・・・
・・扇形静電場形エネルギーフイルタ、８，１３・・・
・・・グリツド、９，１４・・・・・・コレクタースリ
ツト、１０，１５・・・・・・検出器。
Claims (1)
- １ イオンを試料に衝撃する手段と、該イオンの衝撃に
より試料から発生した正負イオンのうち正イオンを案内
する第１の案内手段と、負イオンを案内する第２の案内
手段と、前記第１及び第２の案内手段から入射した正及
び負のイオンを透過し、かつ透過した正及び負のイオン
をそれぞれ第２及び第１の案内手段へ導くように前記第
１及び第２の案内手段の間に設けられた四重極電極とよ
り成り、前記第１及び第２の案内手段に、透過した負及
び正イオンを検出する手段をそれぞれ設けたことを特徴
とする四重極質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54092064A JPS5913151B2 (ja) | 1979-07-19 | 1979-07-19 | 四重極質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54092064A JPS5913151B2 (ja) | 1979-07-19 | 1979-07-19 | 四重極質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5615542A JPS5615542A (en) | 1981-02-14 |
| JPS5913151B2 true JPS5913151B2 (ja) | 1984-03-28 |
Family
ID=14044037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54092064A Expired JPS5913151B2 (ja) | 1979-07-19 | 1979-07-19 | 四重極質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5913151B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0132123Y2 (ja) * | 1985-03-12 | 1989-10-02 | ||
| JPS6231935A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 二次イオン質量分析計 |
| US6051057A (en) * | 1997-05-16 | 2000-04-18 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording ink |
-
1979
- 1979-07-19 JP JP54092064A patent/JPS5913151B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5615542A (en) | 1981-02-14 |
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