JP3392345B2 - 飛行時間型質量分析装置 - Google Patents
飛行時間型質量分析装置Info
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- JP3392345B2 JP3392345B2 JP09711498A JP9711498A JP3392345B2 JP 3392345 B2 JP3392345 B2 JP 3392345B2 JP 09711498 A JP09711498 A JP 09711498A JP 9711498 A JP9711498 A JP 9711498A JP 3392345 B2 JP3392345 B2 JP 3392345B2
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- time
- orbit
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- ion
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、所定距離をイオン
が飛行する時間（Time Of Flight：ＴＯＦと略する）を
測定してイオンの質量を決定する飛行時間型（ＴＯＦ）
質量分析装置に係り、特に、イオンの検出感度を損なう
ことなく、分解能を向上することが可能な、ＴＯＦ質量
分析装置に関する。
が飛行する時間（Time Of Flight：ＴＯＦと略する）を
測定してイオンの質量を決定する飛行時間型（ＴＯＦ）
質量分析装置に係り、特に、イオンの検出感度を損なう
ことなく、分解能を向上することが可能な、ＴＯＦ質量
分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】イオンの飛行速度がイオン毎に異なるこ
とを利用し、ＴＯＦを測定してイオンの質量を決定する
ＴＯＦ質量分析装置が知られている。
とを利用し、ＴＯＦを測定してイオンの質量を決定する
ＴＯＦ質量分析装置が知られている。
【０００３】従来のＴＯＦ質量分析装置は、イオン源か
ら検出器まで、イオンを単に直線的に飛行させるもので
あり、その分解能は、イオン源から検出器までの直線距
離で決まる。
ら検出器まで、イオンを単に直線的に飛行させるもので
あり、その分解能は、イオン源から検出器までの直線距
離で決まる。
【０００４】従って、ＴＯＦ質量分析装置の分解能を向
上させるためには、イオンの飛行距離を長くとる必要が
あり、必然的に装置が大型化する。
上させるためには、イオンの飛行距離を長くとる必要が
あり、必然的に装置が大型化する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際に
は、装置の大きさには現実的な制限がある。又、長い飛
行距離をとると、必然的に検出器が遠くなり、イオン源
から検出器を見込む立体角が小さくなるので、イオンビ
ームの発散による計数率のロスが生じる。その結果、検
出器に到達するイオンの量が少なくなり、装置の感度も
低下してしまう。
は、装置の大きさには現実的な制限がある。又、長い飛
行距離をとると、必然的に検出器が遠くなり、イオン源
から検出器を見込む立体角が小さくなるので、イオンビ
ームの発散による計数率のロスが生じる。その結果、検
出器に到達するイオンの量が少なくなり、装置の感度も
低下してしまう。
【０００６】従って、これまでのＴＯＦ質量分析装置
は、装置の感度、分解能共に妥協せざるを得なかった。
又、更なる分解能の向上のために、飛行距離を延長する
場合には、イオン源から検出器までの距離を長くする必
要があり、装置の機械的な改造が必要であった。
は、装置の感度、分解能共に妥協せざるを得なかった。
又、更なる分解能の向上のために、飛行距離を延長する
場合には、イオン源から検出器までの距離を長くする必
要があり、装置の機械的な改造が必要であった。
【０００７】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、イオンの検出感度を損なうことな
く、分解能を向上することを課題とする。
くなされたもので、イオンの検出感度を損なうことな
く、分解能を向上することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、所定距離をイ
オンが飛行する時間を測定してイオンの質量を決定する
ＴＯＦ質量分析装置において、前記イオンがレーストラ
ック型のリング状軌道、略長方形の周回軌道ないしは扇
形電場が長円状に配置された周回軌道を飛行するように
して、前記課題を解決したものである。
オンが飛行する時間を測定してイオンの質量を決定する
ＴＯＦ質量分析装置において、前記イオンがレーストラ
ック型のリング状軌道、略長方形の周回軌道ないしは扇
形電場が長円状に配置された周回軌道を飛行するように
して、前記課題を解決したものである。
【０００９】
【００１０】又、前記イオンが、扇形電場を用いて、前
記リング状軌道ないしは周回軌道を飛行するようにした
ものである。
記リング状軌道ないしは周回軌道を飛行するようにした
ものである。
【００１１】又、前記イオンの周回数を、入射電極と出
射電極に印加するパルス電圧のタイミングにより、電気
的に制御するようにしたものである。
射電極に印加するパルス電圧のタイミングにより、電気
的に制御するようにしたものである。
【００１２】又、ＴＯＦ質量分析装置において、図１に
例示する如く、イオンのレーストラック型のリング状軌
道、略長方形の周回軌道ないしは扇形電場が長円状に配
置された周回軌道１０を構成するための、例えば６個の
トロイダル型扇形電場１２、１４、１６、１８、２０、
２２と、イオン源２４から出射され、入射軌道２６を進
行するイオンの進行方向を変えて前記周回軌道１０に載
せるための偏向電極２８と、該偏向電極２８によって進
行方向が曲げられたイオンを、前記周回軌道１０に所定
タイミングで導入するための入射電極３０と、前記周回
軌道１０から所定タイミングでイオンを取り出して、検
出器３４の方向に導くための出射電極３２とを備え、前
記イオンが前記リング状軌道ないしは周回軌道１０を所
定回数だけ周回飛行するようにしたものである。
例示する如く、イオンのレーストラック型のリング状軌
道、略長方形の周回軌道ないしは扇形電場が長円状に配
置された周回軌道１０を構成するための、例えば６個の
トロイダル型扇形電場１２、１４、１６、１８、２０、
２２と、イオン源２４から出射され、入射軌道２６を進
行するイオンの進行方向を変えて前記周回軌道１０に載
せるための偏向電極２８と、該偏向電極２８によって進
行方向が曲げられたイオンを、前記周回軌道１０に所定
タイミングで導入するための入射電極３０と、前記周回
軌道１０から所定タイミングでイオンを取り出して、検
出器３４の方向に導くための出射電極３２とを備え、前
記イオンが前記リング状軌道ないしは周回軌道１０を所
定回数だけ周回飛行するようにしたものである。
【００１３】なお、図１では、６個のトロイダル型扇形
電場が長円状に配置されていたが、扇形電場の数や配置
や形式は、図１の例に限定されず、例えば周回軌道が略
長方形となるように配置することも可能である。又、ト
ロイダル型扇形電場を、円筒扇形電場と静電四重極
（Ｑ）レンズの組合せに置き換えても良い。
電場が長円状に配置されていたが、扇形電場の数や配置
や形式は、図１の例に限定されず、例えば周回軌道が略
長方形となるように配置することも可能である。又、ト
ロイダル型扇形電場を、円筒扇形電場と静電四重極
（Ｑ）レンズの組合せに置き換えても良い。
【００１４】このようにして、例えば収束作用に優れた
トロイダル型扇形電場を用いて、レーストラック型のリ
ング状のイオン軌道を持つように設計されているので、
イオンは、同一軌道上を何回も周回させることができ
る。イオンの飛行距離は、１周の軌道長さの周回数倍に
なるので、装置を大型化することなく、長い飛行距離を
とることができる。
トロイダル型扇形電場を用いて、レーストラック型のリ
ング状のイオン軌道を持つように設計されているので、
イオンは、同一軌道上を何回も周回させることができ
る。イオンの飛行距離は、１周の軌道長さの周回数倍に
なるので、装置を大型化することなく、長い飛行距離を
とることができる。
【００１５】又、更なる分解能の向上のために飛行距離
を延長する場合においても、装置の機械的な改造の必要
がなく、イオンの周回数を増加させるだけで対応が可能
である。イオンの周回数は、例えば入射電極３０と出射
電極３２に印加するパルス電圧のタイミングを制御する
ことで、電気的に制御可能である。
を延長する場合においても、装置の機械的な改造の必要
がなく、イオンの周回数を増加させるだけで対応が可能
である。イオンの周回数は、例えば入射電極３０と出射
電極３２に印加するパルス電圧のタイミングを制御する
ことで、電気的に制御可能である。
【００１６】イオンの多数回の周回において、分解能の
向上を実現するために、時間に関する次の三重収束性を
満足させることが望ましい。
向上を実現するために、時間に関する次の三重収束性を
満足させることが望ましい。
【００１７】１．リングへの入射位置において、中心軌
道に対し水平方向に傾きをもって入射したイオンが、リ
ングを半周した時点で、中心軌道を通るイオンと同一の
飛行時間を持つ。
道に対し水平方向に傾きをもって入射したイオンが、リ
ングを半周した時点で、中心軌道を通るイオンと同一の
飛行時間を持つ。
【００１８】２．リングへの入射位置において、中心軌
道に対し水平方向にずれた位置に入射したイオンが、リ
ングを半周した時点で、中心軌道を通るイオンと同一の
飛行時間を持つ。
道に対し水平方向にずれた位置に入射したイオンが、リ
ングを半周した時点で、中心軌道を通るイオンと同一の
飛行時間を持つ。
【００１９】３．設定した運動エネルギと異なった運動
エネルギを持つイオンが、リングを半周した時点で、中
心軌道を通るイオンと同一の飛行時間を持つ。
エネルギを持つイオンが、リングを半周した時点で、中
心軌道を通るイオンと同一の飛行時間を持つ。
【００２０】又、イオンの多数回の周回において、イオ
ンビームの発散による計数率のロスを防ぐために、空間
に関する次の三重収束性を満足させることが望ましい。
ンビームの発散による計数率のロスを防ぐために、空間
に関する次の三重収束性を満足させることが望ましい。
【００２１】１．リングへの入射位置において、中心軌
道に対し水平方向に傾きをもって入射したイオンが、リ
ングを半周した時点で、中心軌道上に戻る。
道に対し水平方向に傾きをもって入射したイオンが、リ
ングを半周した時点で、中心軌道上に戻る。
【００２２】２．リングの入射位置において、中心軌道
に対し垂直方向に傾きをもって入射したイオンが、リン
グを半周した時点で、中心軌道上に戻る。
に対し垂直方向に傾きをもって入射したイオンが、リン
グを半周した時点で、中心軌道上に戻る。
【００２３】３．設定した運動エネルギと異なった運動
エネルギを持つイオンが、リングを半周した時点で、中
心軌道上に戻る。
エネルギを持つイオンが、リングを半周した時点で、中
心軌道上に戻る。
【００２４】上記収束条件は、イオン光学の軌道計算に
より設計される。
より設計される。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。
施形態を詳細に説明する。
【００２６】本実施形態は、図１に示したような、トロ
イダル型扇形電場１２〜２２、イオン源２４、偏向電極
２８、入射電極３０、出射電極３２及び検出器３４を備
えたＴＯＦ質量分析装置において、図２に示す如く、更
に、前記入射軌道２６、入射電極３０、出射電極３２及
び検出器３４とは反対側に配設された入射軌道４６、入
射電極５０、出射電極５２及び検出器５４と、出射電極
３２、５２で取り出されたイオンを電子に変換して検出
器３４、５４の方向に導く変換ダイノード３６、５６
と、を備えたものである。
イダル型扇形電場１２〜２２、イオン源２４、偏向電極
２８、入射電極３０、出射電極３２及び検出器３４を備
えたＴＯＦ質量分析装置において、図２に示す如く、更
に、前記入射軌道２６、入射電極３０、出射電極３２及
び検出器３４とは反対側に配設された入射軌道４６、入
射電極５０、出射電極５２及び検出器５４と、出射電極
３２、５２で取り出されたイオンを電子に変換して検出
器３４、５４の方向に導く変換ダイノード３６、５６
と、を備えたものである。
【００２７】前記イオン源２４は、一次イオンガン２４
Ａ、該一次イオンガン２４Ａに所用電圧を加えるイオン
ガン電源２４Ｂ、試料ターゲット２４Ｃ、該試料ターゲ
ット２４Ｃにおいて一次イオン衝撃で生成された試料イ
オンを加速するイオン加速電極２４Ｄ、及び、該イオン
加速電極２４Ｄに加速電圧を印加するためのイオン加速
電源２４Ｅで構成される、いわゆる２次イオン源と、イ
オンチョッパ２４Ｆと、該イオンチョッパ２４Ｆに所定
のパルス状電圧を印加するイオンチョッパ電源２４Ｇと
を含んで構成されている。
Ａ、該一次イオンガン２４Ａに所用電圧を加えるイオン
ガン電源２４Ｂ、試料ターゲット２４Ｃ、該試料ターゲ
ット２４Ｃにおいて一次イオン衝撃で生成された試料イ
オンを加速するイオン加速電極２４Ｄ、及び、該イオン
加速電極２４Ｄに加速電圧を印加するためのイオン加速
電源２４Ｅで構成される、いわゆる２次イオン源と、イ
オンチョッパ２４Ｆと、該イオンチョッパ２４Ｆに所定
のパルス状電圧を印加するイオンチョッパ電源２４Ｇと
を含んで構成されている。
【００２８】前記偏向電極２８には、偏向電極電源２９
が接続されている。
が接続されている。
【００２９】前記入射電極３０及び５０には、これらの
いずれか一方に所定のパルス状電圧を印加するための、
共通化された入射電極電源３１が接続されている。
いずれか一方に所定のパルス状電圧を印加するための、
共通化された入射電極電源３１が接続されている。
【００３０】前記トロイダル型扇形電場１２、１４、１
６、１８、２０、２２には、それぞれ、所定電圧を印加
するためのトロイダル電源１３、１５、１７、１９、２
１、２３が接続されている。
６、１８、２０、２２には、それぞれ、所定電圧を印加
するためのトロイダル電源１３、１５、１７、１９、２
１、２３が接続されている。
【００３１】前記出射電極３２及び５２には、これらの
いずれか一方に所定のパルス状電圧を印加するための、
共通化された出射電極電源３３が接続されている。
いずれか一方に所定のパルス状電圧を印加するための、
共通化された出射電極電源３３が接続されている。
【００３２】前記検出器３４及び５４は、例えば電子増
倍管とされ、共通化されたＭＣＰ電源３８と、ＴＯＦ測
定回路４０が接続されている。
倍管とされ、共通化されたＭＣＰ電源３８と、ＴＯＦ測
定回路４０が接続されている。
【００３３】前記変換ダイノード３６及び５６には、共
通化されたダイノード電源４２が接続されている。
通化されたダイノード電源４２が接続されている。
【００３４】以下、本実施形態の作用を説明する。
【００３５】イオン源２４でパルス状に作られたイオン
は、一定の電圧で加速され、偏向電極２８に向かう。該
偏向電極２８によりレーストラック型のリング状の周回
軌道１０に導かれたイオンは、その入射と同期して動作
するようにされた入射電極３０又は５０により、周回軌
道１０に載せられる。例えば６組のトロイダル型扇形電
場１２、１４、１６、１８、２０、２２によりリング状
の周回軌道１０を周回するイオンは、トロイダル型扇形
電場の収束作用により、半周した時点で、飛行時間のず
れが完全に補正され、又、中心軌道に戻されるので、１
周した時点においても、飛行時間のずれはなく、再び同
一地点に戻る。イオンは、２回目以降の周回において
も、同一の軌道をとるため、発散することなく、６組の
トロイダル型扇形電場１２、１４、１６、１８、２０、
２２を通過して周回を続けることができる。目的の回数
だけ周回したイオンは、出射電極３２又は５２を動作さ
せて、周回軌道１０から取り出され、検出器３４又は５
４に導かれ、電気信号に変換される。
は、一定の電圧で加速され、偏向電極２８に向かう。該
偏向電極２８によりレーストラック型のリング状の周回
軌道１０に導かれたイオンは、その入射と同期して動作
するようにされた入射電極３０又は５０により、周回軌
道１０に載せられる。例えば６組のトロイダル型扇形電
場１２、１４、１６、１８、２０、２２によりリング状
の周回軌道１０を周回するイオンは、トロイダル型扇形
電場の収束作用により、半周した時点で、飛行時間のず
れが完全に補正され、又、中心軌道に戻されるので、１
周した時点においても、飛行時間のずれはなく、再び同
一地点に戻る。イオンは、２回目以降の周回において
も、同一の軌道をとるため、発散することなく、６組の
トロイダル型扇形電場１２、１４、１６、１８、２０、
２２を通過して周回を続けることができる。目的の回数
だけ周回したイオンは、出射電極３２又は５２を動作さ
せて、周回軌道１０から取り出され、検出器３４又は５
４に導かれ、電気信号に変換される。
【００３６】この際、イオン源２４におけるパルス動作
から、検出器３４又は５４に到達するまでの時間を、Ｔ
ＯＦ測定回路４０で測定する。イオン源２４の加速電圧
がＶ、イオンの飛行距離がＬで、飛行時間がＴと測定さ
れた場合、イオンの電荷当りの質量ｍは、次式で求めら
れる。
から、検出器３４又は５４に到達するまでの時間を、Ｔ
ＯＦ測定回路４０で測定する。イオン源２４の加速電圧
がＶ、イオンの飛行距離がＬで、飛行時間がＴと測定さ
れた場合、イオンの電荷当りの質量ｍは、次式で求めら
れる。
【００３７】ｍ＝（２ＶＴ2 ）／Ｌ2 …（１）
【００３８】本実施形態においては、トロイダル型扇形
電場を用いているため、時間に関する三重の収束作用が
あり、分解能が向上する。又、トロイダル型扇形電場
は、空間に関する三重の収束作用を持つため、イオンビ
ームの発散が防止され、検出感度を損なうことがない。
なお、イオンを周回させる手段はトロイダル型扇形電場
に限定されず、例えば、円筒扇形電場と静電四重極
（Ｑ）レンズに置き換えても、同様の作用・効果があ
る。
電場を用いているため、時間に関する三重の収束作用が
あり、分解能が向上する。又、トロイダル型扇形電場
は、空間に関する三重の収束作用を持つため、イオンビ
ームの発散が防止され、検出感度を損なうことがない。
なお、イオンを周回させる手段はトロイダル型扇形電場
に限定されず、例えば、円筒扇形電場と静電四重極
（Ｑ）レンズに置き換えても、同様の作用・効果があ
る。
【００３９】本実施形態においては、周回軌道１０の両
側にイオン源、偏向電極、入射電極、出射電極、検出器
を配置しているので、共通の周回軌道を効率良く利用で
きる。なお、図１に示した例のように、一方側のみにこ
れらを設けたり、あるいは、入射設備を一方側に配置
し、出射設備を他方側に配置することも可能である。
側にイオン源、偏向電極、入射電極、出射電極、検出器
を配置しているので、共通の周回軌道を効率良く利用で
きる。なお、図１に示した例のように、一方側のみにこ
れらを設けたり、あるいは、入射設備を一方側に配置
し、出射設備を他方側に配置することも可能である。
【００４０】又、前記実施形態においては、本発明が、
一般的なＴＯＦ質量分析装置に適用されていたが、本発
明の適用対象はこれに限定されず、原子物理学や原子核
物理学における荷電粒子分析器一般や、イオン注入器
等、ビームを用いた工学機器にも同様に適用できること
は明らかである。
一般的なＴＯＦ質量分析装置に適用されていたが、本発
明の適用対象はこれに限定されず、原子物理学や原子核
物理学における荷電粒子分析器一般や、イオン注入器
等、ビームを用いた工学機器にも同様に適用できること
は明らかである。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、イオンが同一の軌道を
周回するため、装置を大型化することなく、長い飛行距
離をとることができ、分解能が向上する。又、飛行距離
を延長する場合でも、周回数を増やすだけでよく、装置
の機械的な改造の必要がない。
周回するため、装置を大型化することなく、長い飛行距
離をとることができ、分解能が向上する。又、飛行距離
を延長する場合でも、周回数を増やすだけでよく、装置
の機械的な改造の必要がない。
【図１】本発明の構成例を示す平面図
【図２】本発明の実施形態の構成を示す平面図
１０…周回軌道
１２、１４、１６、１８、２０、２２…トルイダル型扇
形電場 ２４…イオン源 ２６、４６…入射軌道 ２８…偏向電極 ３０、５０…入射電極 ３２、５２…出射電極 ３４、５４…検出器 ３６、５６…変換ダイノード ４０…ＴＯＦ測定回路
形電場 ２４…イオン源 ２６、４６…入射軌道 ２８…偏向電極 ３０、５０…入射電極 ３２、５２…出射電極 ３４、５４…検出器 ３６、５６…変換ダイノード ４０…ＴＯＦ測定回路
フロントページの続き
(72)発明者 仲伏 廣光
東京都品川区北品川五丁目９番11号 住
友重機械工業株式会社内
(56)参考文献 特開 平11−135060（ＪＰ，Ａ)
特開 昭48−23498（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−36374（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−105905（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−135061（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−195398（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 49/40
Claims (5)
- 【請求項１】所定距離をイオンが飛行する時間を測定し
てイオンの質量を決定する飛行時間型質量分析装置にお
いて、 前記イオンが、レーストラック型のリング状軌道、略長
方形の周回軌道ないしは扇形電場が長円状に配置された
周回軌道を飛行するようにされていることを特徴とする
飛行時間型質量分析装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の飛行時間型質量分析装置
において、前記イオンが、扇形電場を用いて、前記リン
グ状軌道ないしは周回軌道を飛行するようにされている
ことを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 【請求項３】請求項１又は２に記載の飛行時間型質量分
析装置において、前記イオンの周回数が、入射電極と出
射電極に印加するパルス電圧のタイミングにより、電気
的に制御されていることを特徴とする飛行時間型質量分
析装置。 - 【請求項４】所定距離をイオンが飛行する時間を測定し
てイオンの質量を決定する飛行時間型質量分析装置にお
いて、 イオンのレーストラック型のリング状軌道、略長方形の
周回軌道ないしは扇形電場が長円状に配置された周回軌
道を構成するための扇形電場と、 前記周回軌道にイオンを導入するための入射電極と、 前記周回軌道からイオンを取り出すための出射電極とを
備え、 前記イオンが前記リング状軌道ないしは周回軌道を飛行
するようにしたことを特徴とする飛行時間型質量分析装
置。 - 【請求項５】請求項２又は４において、前記扇形電場が
トロイダル型扇形電場であることを特徴とする飛行時間
型質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09711498A JP3392345B2 (ja) | 1998-04-09 | 1998-04-09 | 飛行時間型質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09711498A JP3392345B2 (ja) | 1998-04-09 | 1998-04-09 | 飛行時間型質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11297267A JPH11297267A (ja) | 1999-10-29 |
| JP3392345B2 true JP3392345B2 (ja) | 2003-03-31 |
Family
ID=14183557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09711498A Expired - Fee Related JP3392345B2 (ja) | 1998-04-09 | 1998-04-09 | 飛行時間型質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3392345B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6867414B2 (en) | 2002-09-24 | 2005-03-15 | Ciphergen Biosystems, Inc. | Electric sector time-of-flight mass spectrometer with adjustable ion optical elements |
| JP4506322B2 (ja) * | 2003-07-25 | 2010-07-21 | 株式会社島津製作所 | 飛行時間型質量分析装置 |
| JP4182843B2 (ja) | 2003-09-02 | 2008-11-19 | 株式会社島津製作所 | 飛行時間型質量分析装置 |
| JP4182844B2 (ja) | 2003-09-03 | 2008-11-19 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
| JP4182853B2 (ja) | 2003-10-08 | 2008-11-19 | 株式会社島津製作所 | 質量分析方法及び質量分析装置 |
| JP4533672B2 (ja) * | 2004-06-04 | 2010-09-01 | 日本電子株式会社 | 飛行時間型質量分析計 |
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