CN1336542A - 散射靶固定机构及电子自旋分析器 - Google Patents
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Abstract
组成电子自旋分析器的散射靶由散射靶固定件从由加速电极和电极支承件形成的空间的外部支承,所述散射靶固定件由导电材料制成。散射靶固定件由绝缘支承件绝缘支承,所述绝缘支承件由绝缘材料制成。此外,设置一个导引件,以便覆盖绝缘支承件的外围,用于导引散射靶,散射靶固定件和绝缘支承件。
Description
本发明涉及散射靶固定机构和电子自旋分析器，更具体地说，本发明涉及最好用于诸如电子材料分析器和磁性材料表面分析器之类的高效电子自旋分析器的散射靶固定机构和电子自旋分析器。
就进行被20-60Kev加速的电子的自旋分析的小型电子自旋分析器而言，由于分析器内部空间较小，不易于更换散射靶。于是，在上述常规电子自旋分析器中，如果不把包括真空室的分析器设备主体拆开，取出分析器，则不能更换散射靶。
另一方面，电子自旋分析器的分析性能取决于散射靶的厚度。对于电子自旋分析器的定量测定的计算来说，测量分析性能的靶厚度相关性是有用的。但是，常规的技术不易于更换散射靶，从而在上述常规分析器中，不能确保高的定量测定。
本发明的目的是提供一种便于更换散射靶的新的散射靶固定机构，以及提供具有便于更换散射靶的散射靶固定机构的电子自旋分析器。
为了实现上述目的，本发明涉及一种包含由导电材料制成的，固定散射靶的散射靶固定器，由绝缘材料制成的，绝缘支承散射靶固定器的绝缘支承器，以及把散射靶固定器和绝缘支承器导向设置散射靶的指定位置的导引件的散射靶固定机构，
本发明还涉及一种包含电子束发生装置，与电子束发生装置的电子束射出孔相对的半球形加速电极，支承加速电极的电极支承件，位于加速电极外表面上的散射电子检测器，在电极支承件上形成的开孔中配置的散射靶，由导电材料制成的从加速电极和电极支承件形成的空间的外部固定散射靶的散射靶固定件，由绝缘材料制成的绝缘支承散射靶固定件的绝缘支承件，以及覆盖绝缘支承件的外围以便一起装上和取下散射靶、散射靶固定件和绝缘支承件的导引件的电子自旋分析器。
根据本发明的散射靶固定机构和电子自旋分析器，散射靶由散射靶固定件从由加速电极和加速电极支承件形成的空间的外部支承，散射靶固定件由绝缘支承件以绝缘的方式支承。
随后，设置导引件，以便覆盖绝缘支承件的外围，可沿着导引件一起装上和取下散射靶固定件和绝缘支承件。从而，可容易地更换散射靶。
此外，由于散射靶固定件由导电材料制成，绝缘支承件由绝缘材料制成，因此可从外部向散射靶提供电流。即，散射靶固定件和绝缘支承件用作散射靶的电极。于是，除上述部件之外，不需要另一电极部件，从而根据本发明的电子自旋分析器的结构简单。
为了更好地理解本发明，参考附图，其中
图1示意地表示了本发明的电子自旋分析器的一个实施例的结构；
图2示意地表示了沿导引件把散射靶，散射靶固定件和绝缘支承件从图1中所示的电子自旋分析器取出的情况。
下面将参考附图详细说明本发明。
图1示意地表示了本发明的电子自旋分析器中的一个实施例，它具有本发明的散射靶。
图1中所示的电子自旋分析器具有电子束发生装置1，与电子束发生装置1的电子束射出孔1A相对，由外电极2-1和内电极2-2构成的半球形加速电极，电极支承件3，位于构成加速电极的外电极2-1外表面上的一对散射电子检测器4-1和4-2，以及在加速电极内，在电极支承件3的开孔中形成的散射靶5。
散射靶5由散射靶固定件6从由构成加速电极2-1的外电极2-1和电极支承件3形成的空间的外部支承。随后，散射靶固定件6的外表面由绝缘支承件7绝缘支承。此外，沿着绝缘支承件7的外表面，设置一个导引件8。
根据图1中所示的电子自旋分析器的结构，由于如图2中所示，可沿着导引件8自由地装上和取下靶射靶5，散射靶固定件6和绝缘支承件7，因此，可容易地更换散射靶。
此外，散射靶固定件6由导电材料制成，绝缘支承件7由绝缘材料制成。于是，可通过散射靶固定件6把电流引入散射靶5，从而上述部件6和7用作散射靶5的电极。即，由于除了上述部件之外，不需要另一电极，因此电子自旋分析器的结构简单。
另外，图1中没有明确地描述出，电子束发生装置1至导引件8整个被安装在给定的真空室中。随后，经过穿入真空室壁的绝缘体，从位于真空室外的高电压引入接头10，把给定的电流引入散射靶固定件6。
构成散射靶固定件6的导电材料可采用非磁性不锈钢和诸如钛，钼和钨之类的非磁性绝缘材料。
构成绝缘支承件7的绝缘材料可采用氧化铝，氮化铝，二氧化硅和蓝宝石。
导引件8可由诸如非磁性不锈钢，钼和钨之类的非磁性机械材料制成。
图1中，电子束的轨迹用箭头描述，从而，来自于电子束发生装置1的电子束被引到并撞击散射靶5，以便相对于电子束检测器4-1和4-2被散射。
虽然参考上述例子，详细说明了本发明，但是本发明并不局限于上述公开内容，在不脱离本发明的范围的情况下，可做出各种变化和修改。
如上所述，根据本发明，在电子束分析器中可容易地更换散射靶。于是，可使更换散射靶的工作性能和工作时间非常高效，并可容易地评估分析器的定量测定。
Claims (3)
1.一种散射靶固定机构，包含由导电材料制成的、固定散射靶的散射靶固定器，由绝缘材料制成的、绝缘支承散射靶固定器的绝缘支承器，以及把散射靶固定器和绝缘支承器引向设置散射靶的指定位置的导引件。
2.一种电子自旋分析器，包含电子束发生装置，与电子束发生装置的电子束射出孔相对的半球形加速电极，支承加速电极的电极支承件，位于加速电极外表面上的散射电子检测器，在电极支承件上形成的开孔中配置的散射靶，由导电材料制成的、从加速电极和电极支承件形成的空间的外部固定散射靶的散射靶固定件，由绝缘材料制成的、绝缘支承散射靶固定件的绝缘支承件，以及覆盖绝缘支承件的外围以便一起装上和取下散射靶、散射靶固定件和绝缘支承件的导引件。
3.按照权利要求2所述的电子自旋分析器，其中加速电极由一个内电极和一个外电极组成。
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Cited By (7)
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