JP3757263B2 - 電子スピン分析器 - Google Patents
電子スピン分析器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3757263B2 JP3757263B2 JP2000133700A JP2000133700A JP3757263B2 JP 3757263 B2 JP3757263 B2 JP 3757263B2 JP 2000133700 A JP2000133700 A JP 2000133700A JP 2000133700 A JP2000133700 A JP 2000133700A JP 3757263 B2 JP3757263 B2 JP 3757263B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- electrode
- scattered
- opening
- acceleration electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 59
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 51
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 28
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N24/00—Investigating or analyzing materials by the use of nuclear magnetic resonance, electron paramagnetic resonance or other spin effects
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/047—Changing particle velocity
- H01J2237/0473—Changing particle velocity accelerating
- H01J2237/04735—Changing particle velocity accelerating with electrostatic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation
- H01J2237/24557—Spin polarisation (particles)
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子スピン分析器に関し、さらに詳しくは電子材料分析、磁気材料材料表面分析などにおける高効率の電子スピン分析装置に好適に用いることのできる、電子スピン分析器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の電子スピン分析器においては、散乱した電子線を効率よく検出すべく、装置全体が大型する傾向があった。例えば、Mottスピン分析器などにおいては、散乱角95〜145度の広い範囲に亘って散乱電子を検出する必要があることから、散乱電子検出器を大きくしなければならなかった。
装置の大型化は、設置場所の確保及び操作性の問題から、望ましいものではなく、電子スピン分析器においても小型化の要請が高まっている。しかしながら、従来の電子スピン分析器をそのままの形態で縮尺させたのみでは、散乱電子を効率よく検出することができないという問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、装置を小型化した場合においても、散乱電子を効率よく検出することのできる電子スピン分析器を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明の第1の電子スピン分析器は、電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を、前記電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくしたことを特徴とする。
【0005】
また、本発明の第2の電子スピン分析器は、上記目的を達成すべく、電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、前記散乱ターゲットによって散乱された電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記内側加速電極に設けられた内側開口部の開口径を、前記散乱ターゲットによって散乱された前記電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記外側加速電極に設けられた外側開口部の開口径よりも大きくしたことを特徴とする。
【0006】
また、本発明の第3の電子スピン分析器は、上記目的を達成すべく、電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記散乱電子検出部に補正電極を設けたことを特徴とする。
【0007】
さらに、上記目的を達成すべく、本発明の第4の電子スピン分析器は、電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記散乱電子検出器を、電子線の入射方向に対して100〜140度の位置に配置したことを特徴とする。
【0008】
本発明者らは、電子スピン分析器を小型化した場合において、散乱電子の検出感度の劣化を防止すべく鋭意検討を行った。その結果、本発明の第1の電子スピン分析器にしたがって、加速電極部を内側加速電極と外側加速電極の2重構造とし、内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくした構成とすることにより、入射電子線を散乱ターゲット位置に極めて高度に収束させることができ、その結果として、散乱電子の収束度合いが増加することを見出した。
したがって、本発明の第1の電子スピン分析器によれば、散乱電子を効率よく検出することができ、分析器の検出感度を増大させることができる。
【0009】
また、本発明の第2の電子スピン分析器によれば、散乱電子検出部へ散乱された電子を導入するための内側加速電極に設けられた内側開口部の開口径を、同様の目的で設けられた外側加速電極の外側開口部の開口径よりも大きくしている。その結果、散乱電子の収束性が増大し、散乱電子検出部において散乱電子を効率よく検出することができ、分析器の検出感度を増大させることができる。
さらに、本発明の第3の電子スピン分析器によれば、散乱電子検出部に散乱電子を捕促するための補正電極を設けているので散乱電子の収束性が増大する。したがって、分析器における散乱電子の検出感度を増大させることができる。
【0010】
さらに、本発明者らは、一般の電子スピン分析器においては入射電子線の方向と120度の方向において散乱電子の分布が最大となるが、電子スピン分析器を小型化した場合においては、散乱電子の分布が最大となる位置が120度からシフトすることを見出した。本発明の第4の電子線スピン分析器は、散乱電子検出部を前記散乱電子の分布が最大となる位置に設けるようにしているので、散乱電子の検出感度を増大させることができる。
【0011】
なお、上記第1〜第4の電子スピン分析器は、それぞれ単独で用いることもできるが、これら構成上の特徴を2つ以上組み合わせることも可能である。そして、好ましくは、第1〜第4の電子スピン分析器の構成上の特徴を総て組み合わせることによって、散乱電子の検出感度を極めて大きくすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を発明の実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図1は、上記第1〜第4の電子線スピン分析器の特徴を組み合わせた、本発明の電子スピン分析器の好ましい態様を示す断面図である。なお、図中における矢印は、入射電子線の方向を示す。
【0013】
図1に示す電子スピン分析器は、電子線発生装置1と、電子線発生装置1の電子線発射口1Aと対向するように配置された外側加速電極2と内側加速電極3とを具える。外側加速電極2及び内側加速電極3は、電極支持部材6によって支持されている。外側加速電極2の外周部には、電子線の入射方向に対して左右対照となる位置に散乱電子検出部4が設けられ、外側加速電極2及び内側加速電極3の内部には、電極支持部材6に取り付けられた支持台13によって支持された散乱ターゲット5が設けられている。
【0014】
外側加速電極2及び内側加速電極3には、それぞれ電子線発生装置1から発射された電子線を散乱ターゲット5に導入すべく、外側導入口14及び内側導入口15が設けられている。そして、散乱ターゲット5で散乱された電子を散乱電子検出部4に導入すべく、それぞれ外側開口部8及び内側開口部7が設けられている。
【0015】
本発明にしたがって内側導入口15の開口径は外側導入口14の開口径よりも大きいことが必要である。具体的には、内側導入口15の開口径の開口角αが、外側導入口15の開口径の開口角βよりも0.1〜5度大きいことが好ましい。これによって、上述したように、入射電子線を散乱ターゲット位置に極めて高度に収束させることができ、散乱電子の検出感度を増大させることができる。
【0016】
また、本発明にしたがって内側開口部7の開口径は外側開口部8の開口径よりも大きいことが必要である。具体的には、内側開口部7の開口径の開口角θが、外側開口部8の開口径の開口角φよりも0.1〜5度大きいことが好ましい。これによって、上述したように、散乱電子を高度に収束させることができ、散乱電子検出部における散乱電子の検出割合を向上させて検出感度を増大させることができる。
【0017】
図2は、図1に示す内側導入口14及び外側導入口15近傍を拡大して示す図である。
図2から明らかなように、外側加速電極2及び内側加速電極3の互いに対向するエッジ部分2a、2b、及び3a、3bはそれぞれ曲率を有している。このように互いに対向するエッジ部分に対して曲率を持たせることによって、入射電子線の散乱ターゲット上での収束性をさらに増大させることができる。その結果、散乱電子の検出感度を向上させることがきる。
【0018】
外側加速電極2のエッジ部分2a及び2bの曲率半径R1は、同様の理由から0.5〜2mmであることが好ましい。
同様に、内側加速電極3のエッジ部分3a及び3bの曲率半径r1は、0.5〜2mmであることが好ましい。
【0019】
図3は、図2同様に、図1に示す内側開口部7及び外側開口部8近傍を拡大して示す図である。
図3から明らかなように、外側加速電極2及び内側加速電極3の互いに対向するエッジ部分2A、2B、及び3A、3Bはそれぞれ曲率を有している。このように互いに対向するエッジ部分に対して曲率を持たせることによって、散乱電子の収束性が増大するため、散乱電子検出部4における散乱電子の検出感度が増大する。
【0020】
外側加速電極2のエッジ部分2A及び2Bの曲率半径R2は、同様の理由から0.5〜2mmであることが好ましい。
同様に、内側加速電極3のエッジ部分3A及び3Bの曲率半径r2は、0.5〜2mmであることが好ましい。
【0021】
散乱電子検出部4は、電子検出器10及びその手前にグリッド11を具えるとともに、電子検出器10及びグリッド11の両側において本発明にしたがって補正電極9を具えている。そして、これらがシールド12によって囲まれた構成を呈している。このように散乱電子検出部4に補正電極9を具えることにより、散乱電子検出部4内に入射してきた散乱電子が収束され、グリッド11を通過して電子検出器10に至る割合が増大する。その結果、図1に示す電子スピン分析器の感度が向上する。
【0022】
補正電極9は、散乱電子検出部4内に入射した散乱電子を収束させることが目的であることから、電界レンズから構成されることが好ましい。電界レンズとしては、ユニポテンシャルレンズ及びバイポテンシャルレンズなどを用いることができる。また、その形状は収束度合いを向上させるべく、円筒形であることが好ましい。
【0023】
さらに散乱電子検出部4は、入射電子線の方向に対して角度δが100〜140度となる位置、好ましくは115〜125度となる位置に配置されている。上述したように、電子スピン分析器を小型化した場合においては、上記位置において散乱電子に分布が最大となるため、かかる位置に散乱電子検出部を配置することによって散乱電子の検出感度を向上させることができる。
【0024】
なお、図1に示す電子スピン分析器の各部は、当業者にとって公知の材料から構成することができる。
また、図1に示す電子スピン分析器は、電子線の入射方向に対して左右対称の位置に1対の散乱電子検出器を具えている。これによって、一方向のスピン成分を測定することができる。さらに図1には示していないが、紙面の前後において、各散乱電子検出部が4回対称となる位置に追加の1対の散乱電子検出部を設けることにより、2方向のスピン成分を測定することができる。
【0025】
以上、具体例を挙げながら発明の実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、散乱電子の検出感度を劣化させることなく、電子スピン分析器を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の電子スピン分析器の一例を示す断面図である。
【図2】 図1に示す電子スピン分析器の拡大断面図である。
【図3】 同じく図1に示す電子スピン分析器の拡大断面図である。
【符号の説明】
1 電子線発生装置
2 外側加速電極
3 内側加速電極
4 散乱電子検出部
5 散乱ターゲット
6 電極支持部材
7 内側開口部
8 外側開口部
9 補正電極
10 電子検出器
11 グリッド
12 シールド
13 支持台
14、15 電子線導入口
2a、2b、2A、2B 外側開口部のエッジ部分
3a、3b、3A、3B 内側開口部のエッジ部分
Claims (15)
- 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を、前記電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくしたことを特徴とする、電子スピン分析器。 - 前記内側導入口の開口径が、前記外側導入口の開口径よりも開口角で0.1〜5度大きいことを特徴とする、請求項1に記載の電子スピン分析器。
- 前記内側導入口及び前記外側導入口の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項1又は2に記載の電子スピン分析器。
- 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、前記散乱ターゲットによって散乱された電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記内側加速電極に設けられた内側開口部の開口径を、前記散乱ターゲットによって散乱された前記電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記外側加速電極に設けられた外側開口部の開口径よりも大きくしたことを特徴とする、電子スピン分析器。 - 前記内側開口部の開口径が、前記外側開口部の開口径よりも開口角で0.1〜5度大きいことを特徴とする、請求項4に記載の電子スピン分析器。
- 前記内側開口部及び前記外側開口部の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項4又は5に記載の電子スピン分析器。
- 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記散乱電子検出部に補正電極を設けたことを特徴とする、電子スピン分析器。 - 前記補正電極は、電界レンズからなることを特徴とする、請求項7に記載の電子スピン分析器。
- 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記散乱電子検出器を、電子線の入射方向に対して100〜140度の位置に配置したことを特徴とする、電子スピン分析器。 - 電子線発生装置と、この電子線発生装置の電子線発射口と対向するように配置された半球状の加速電極部と、この加速電極部を支持する電極支持部と、前記加速電極部の外周部に設けられた散乱電子検出部と、前記加速電極部内であって、前記電極支持部上に設けられた散乱ターゲットとを具えた電子スピン分析器において、
前記加速電極部を内側加速電極と外側加速電極とからなる2重構造にするとともに、電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記内側加速電極に設けられた内側導入口の開口径を、前記電子線を前記散乱ターゲットに導入すべく前記外側加速電極に設けられた外側導入口の開口径よりも大きくし、前記散乱ターゲットによって散乱された電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記内側加速電極に設けられた内側開口部の開口径を、前記散乱ターゲットによって散乱された前記電子を前記散乱電子検出部に導入するための、前記外側加速電極に設けられた外側開口部の開口径よりも大きくし、前記散乱電子検出部に補正電極を設けるとともに、前記散乱電子検出器を電子線の入射方向に対して100〜140度の位置に配置したことを特徴とする、電子スピン分析器。 - 前記内側導入口の開口径が、前記外側導入口の開口径よりも開口角で0.1〜5度大きいことを特徴とする、請求項10に記載の電子スピン分析器。
- 前記内側導入口及び前記外側導入口の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項10又は11に記載の電子スピン分析器。
- 前記内側開口部の開口径が、前記外側開口部の開口径よりも開口角で0.1〜5度大きいことを特徴とする、請求項10〜12のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
- 前記内側開口部及び前記外側開口部の互いに対向するエッジ部のそれぞれに曲率を持たせたことを特徴とする、請求項10〜13のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
- 前記補正電極は、電界レンズからなることを特徴とする、請求項10〜14のいずれか一に記載の電子スピン分析器。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000133700A JP3757263B2 (ja) | 2000-05-02 | 2000-05-02 | 電子スピン分析器 |
DE60128985T DE60128985T2 (de) | 2000-05-02 | 2001-04-25 | Elektronen-Spin-Analysator |
EP01109500A EP1158564B1 (en) | 2000-05-02 | 2001-04-25 | An electron spin analyzer |
US09/843,445 US6639218B2 (en) | 2000-05-02 | 2001-04-26 | Electron spin analyzer |
KR10-2001-0022898A KR100456368B1 (ko) | 2000-05-02 | 2001-04-27 | 전자 스핀 분석기 |
CN01116778A CN1322004A (zh) | 2000-05-02 | 2001-04-30 | 电子自旋分析器 |
HK02102080.5A HK1040821A1 (zh) | 2000-05-02 | 2002-03-19 | 電子自旋分析器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000133700A JP3757263B2 (ja) | 2000-05-02 | 2000-05-02 | 電子スピン分析器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001319611A JP2001319611A (ja) | 2001-11-16 |
JP3757263B2 true JP3757263B2 (ja) | 2006-03-22 |
Family
ID=18642135
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000133700A Expired - Lifetime JP3757263B2 (ja) | 2000-05-02 | 2000-05-02 | 電子スピン分析器 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6639218B2 (ja) |
EP (1) | EP1158564B1 (ja) |
JP (1) | JP3757263B2 (ja) |
KR (1) | KR100456368B1 (ja) |
CN (1) | CN1322004A (ja) |
DE (1) | DE60128985T2 (ja) |
HK (1) | HK1040821A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3383842B2 (ja) | 2000-04-28 | 2003-03-10 | 北海道大学長 | 散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器 |
DE10339404B4 (de) * | 2003-04-02 | 2009-03-05 | Gst Mbh | Anordnung zur Analyse der Elektronenspin-Polarisation in parallel abbildenden Elektronenmikroskopen |
US7375802B2 (en) * | 2005-08-04 | 2008-05-20 | Lockheed Martin Corporation | Radar systems and methods using entangled quantum particles |
DE102005045622B4 (de) * | 2005-09-23 | 2009-04-30 | GST Gesellschaft für systembezogene Technologieentwicklung mbH | Verfahren und Anordnungen zum Nachweis der Elektronen-Spinpolarisation |
US7985952B2 (en) * | 2007-03-05 | 2011-07-26 | Hitachi, Ltd. | Charged particle spin polarimeter, microscope, and photoelectron spectroscope |
JP5222712B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2013-06-26 | 株式会社日立製作所 | 電子スピン検出器並びにそれを用いたスピン偏極走査電子顕微鏡及びスピン分解光電子分光装置 |
CN104345331B (zh) * | 2013-07-24 | 2017-04-19 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 图像型电子自旋分析器 |
US11402445B2 (en) | 2015-10-27 | 2022-08-02 | Hosein Majlesi | Electron intrinsic spin analyzer |
CN109470732B (zh) * | 2017-09-07 | 2020-11-24 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种电子光学系统 |
CN109470731B (zh) * | 2017-09-07 | 2020-10-20 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种图像型电子自旋分析器 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2646394C2 (de) * | 1976-10-14 | 1986-12-11 | Kernforschungsanlage Jülich GmbH, 5170 Jülich | Vorrichtung zur Bestimmung des Spinpolarisationsgrades eines Elektronenstrahls |
JPS6017846A (ja) | 1983-07-08 | 1985-01-29 | Hitachi Ltd | 電子スピン偏極率検出器 |
JPS60177539A (ja) | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Hitachi Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
JPS60105152A (ja) | 1984-10-05 | 1985-06-10 | Hitachi Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
US4760254A (en) * | 1985-06-07 | 1988-07-26 | Pierce Daniel T | Apparatus and method for electron spin polarization detection |
JPH0786897B2 (ja) | 1987-05-15 | 1995-09-20 | シャープ株式会社 | カ−ド状体の読取り装置 |
JP2680018B2 (ja) * | 1988-02-26 | 1997-11-19 | 株式会社日立製作所 | スピン偏極度検出器 |
JPH04206427A (ja) | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Hitachi Ltd | スピン検出器 |
US5444243A (en) * | 1993-09-01 | 1995-08-22 | Hitachi, Ltd. | Wien filter apparatus with hyperbolic surfaces |
JP3302569B2 (ja) | 1996-07-09 | 2002-07-15 | 科学技術振興事業団 | 電子スピン偏極度の計測方法及びその装置 |
JP3383842B2 (ja) | 2000-04-28 | 2003-03-10 | 北海道大学長 | 散乱ターゲット保持機構及び電子スピン分析器 |
JP4020296B2 (ja) * | 2000-12-21 | 2007-12-12 | キヤノン株式会社 | イオン伝導構造体、二次電池及びそれらの製造方法 |
-
2000
- 2000-05-02 JP JP2000133700A patent/JP3757263B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-04-25 EP EP01109500A patent/EP1158564B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-04-25 DE DE60128985T patent/DE60128985T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-04-26 US US09/843,445 patent/US6639218B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-04-27 KR KR10-2001-0022898A patent/KR100456368B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-04-30 CN CN01116778A patent/CN1322004A/zh active Pending
-
2002
- 2002-03-19 HK HK02102080.5A patent/HK1040821A1/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1158564A2 (en) | 2001-11-28 |
KR100456368B1 (ko) | 2004-11-10 |
EP1158564B1 (en) | 2007-06-20 |
HK1040821A1 (zh) | 2002-06-21 |
KR20010106195A (ko) | 2001-11-29 |
CN1322004A (zh) | 2001-11-14 |
DE60128985D1 (de) | 2007-08-02 |
DE60128985T2 (de) | 2007-10-18 |
US6639218B2 (en) | 2003-10-28 |
EP1158564A3 (en) | 2005-06-15 |
US20020003213A1 (en) | 2002-01-10 |
JP2001319611A (ja) | 2001-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3757263B2 (ja) | 電子スピン分析器 | |
US5672878A (en) | Ionization chamber having off-passageway measuring electrodes | |
US4731532A (en) | Time of flight mass spectrometer using an ion reflector | |
US20100006752A1 (en) | Reflectron | |
EP1063677B1 (en) | Charged particle beam device | |
JP3266286B2 (ja) | 荷電粒子エネルギー分析器 | |
US4849629A (en) | Charged particle analyzer | |
KR101041661B1 (ko) | 다중 검출기들을 갖는 스캐닝 전자 현미경 및 다중 검출기기반 이미징을 위한 방법 | |
JPH1140099A (ja) | 全圧コレクタのためのイオン捕集電極 | |
JP2000164167A (ja) | 荷電粒子の二重モ―ド検知 | |
JPH01253143A (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
JP2870910B2 (ja) | 可変分散質量分析計 | |
JPS5830696B2 (ja) | 荷電粒子エネルギ−分析器 | |
WO2019172115A1 (ja) | 反射電子のエネルギースペクトルを測定する装置および方法 | |
JP3117795B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
JP2584865B2 (ja) | 分析電子顕微鏡用半導体x線検出器 | |
JPH05135738A (ja) | 質量収集面上の粒子の多重収集装置及び荷電粒子分散装置 | |
US5969354A (en) | Electron analyzer with integrated optics | |
JPH07218457A (ja) | 荷電粒子エネルギー分析器 | |
JPS62269083A (ja) | イオンビ−ムプロフアイルモニタ | |
SE1951077A1 (en) | Electrostatic lens for controlling beam of electrons | |
JPS5878362A (ja) | 荷電粒子エネルギ−分析器 | |
JPS61237360A (ja) | 質量分析計 | |
JPH06243819A (ja) | 静電半球型電子エネルギー分光器用電子検出器 | |
JP2001250502A (ja) | 電子分光装置用検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040727 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3757263 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |