JP2001284635A - 立体形状を有する光電融合デバイス - Google Patents
立体形状を有する光電融合デバイスInfo
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Abstract
高速演算や超並列処理に適用可能な光電融合デバイスを
提供することにある。 【解決手段】光電融合デバイスでは、半導体の立体形状
結晶101の表面に、少なくとも、発光デバイスと受光
デバイスを含む光デバイス102が複数集積され、立体
形状結晶101の内部を光配線105の媒体として用い
て発光デバイスと受光デバイス間で光を授受する。
Description
状の半導体結晶上に形成された光電融合デバイス、特に
ニューロコンピュータ等に適用される光電融合演算素子
装置に関する。
われている手法の1つは、配線幅を狭くし、集積密度を
上げることである。この方法は、デバイスが増えるにつ
れて配線数が飛躍的に増えてしまうため、集積度が配線
数に制限される状況(ピンボトルネック)になってい
る。これを解決する幾つかの方法が提案されている。
ンボトルネックを解消しようとするのものである。そし
て、光の電磁無誘導性および高帯域性を利用してトータ
ルの電気配線数を減少させようとするものである。しか
しながら、従来のように光配線を光ファイバや半導体導
波路で行おうとすると電気配線とは桁違いに太い導波路
になってしまい、特定の電気配線のみを置き換えられる
にすぎない柔軟性のないものとなってしまう。
も提案されているが、この場合、伝送路そのものは自由
度が大きいので高密度配線可能であるが、反面、発光素
子と受光素子の位置合わせがきわめて煩雑になり、高密
度に集積することは困難で、トータルの演算処理能力
は、電気配線のみの場合に比べ効果が小さいと考えられ
る。
を解決しようする試みの1つに、球状Si基板(本明細
書ではSi球と称する)の使用がある。Si球は、通常
の平板Si基板にくらべ、球の表面を利用しているので
空間の利用効率が上がるため、単位体積あたりの集積度
が、Si球の半径に反比例して増加する。また、配線長
も短くなるので、集積度×配線長の効果で演算スピード
が向上することが予想される。しかし、この方法は高速
動作の観点からは決定的な方法ではない。なぜなら、球
の半径を小さくするにつれ配線幅および配線間隔も短く
なるため、高抵抗や電磁誘導ノイズの影響が急激に大き
くなるからである。
速化あるいはピンボトルネックの問題を本質的に解決す
る方法は提案されていないといってよい。
ルネック等を解決し、超高速演算等とくに超並列処理に
適用可能な演算素子(CPU)などの、光デバイスが表
面に形成され半導体の立体形状結晶の内部を光伝送路と
して用いる光電融合デバイスを提供することにある。
明の光電融合デバイスは、半導体の立体形状結晶の表面
に、少なくとも、発光デバイスと受光デバイスを含む光
デバイスが複数集積され、該立体形状結晶の内部を光配
線媒体として用いて該発光デバイスと受光デバイス間で
光を授受することを特徴とする。この基本構成におい
て、半導体の立体形状結晶は、典型的には、FETやト
ランジスタ等の電子デバイスをモノリシックに容易に表
面に形成できるSiの結晶であるが、Ge等の他の半導
体結晶でも用途に応じて用いうる。形状も、典型的に
は、球であるが、立方体等の他の形状も用い得る。本発
明の重要な点は、立体形状結晶の内部を光伝送路として
用いて、Si球等の表面に光デバイス(典型的には、I
Cと光デバイス)が複数集積されたことを特徴とする光
電融合デバイスを構成することにある。この光デバイス
は、その構成材料の一部にGaNAs、GaInNA
s、AlNAs、GaInNAsP等のいわゆるIII
−VN半導体材料(III族及びV族化合物半導体材料
のうち、V族材料としてN(窒素)を含むものを本明細
書ではこう表記する)あるいはSiGe等のIV族半導
体材料が用いられうる。
も可能である。前記光デバイスは、半導体の立体形状結
晶と光デバイス間の格子定数の差を調整して品質の良い
結晶成長を確保する為の格子整合調整用のバッファ層を
介して前記半導体の立体形状結晶の表面に形成されう
る。
光が、自然放出光或いは誘導放出光であり、前記半導体
の立体形状結晶内部に放射され、かつ該放出光が該半導
体結晶内部で吸収されない様に該光の波長が該半導体結
晶のバンドギャップ波長よりも長い。
体形状結晶内部に放射して、1つ或いは複数の前記受光
デバイスが該光を受光できる様に形成されうる。前記発
光デバイスは、それから発光される光が、自然放出光或
いは誘導放出光であり、外部に光を発光できる様にも形
成されうる。
記発光デバイスから前記半導体の立体形状結晶内部に放
射された光を受光できる様に形成されうる。前記受光デ
バイスは、外部からの光を受光できる様にも形成されう
る。
バイスに向けて光を前記半導体の立体形状結晶内部に放
射できる発光デバイスと、複数の受光デバイスに向けて
光を該半導体の立体形状結晶内部に放射できる発光デバ
イスとを含んで、柔軟な配線を高い集積度で構成されう
る。
電子デバイスと光デバイスが複数集積されており、該電
子デバイスは、前記発光デバイスの発光・消光を制御す
る機能、前記受光デバイスで受けた光を電気信号に変え
る機能、およびその電気信号をもとに論理演算する機能
の少なくとも1つの機能を有しうる。
の内部を光インタコネクトの光路として利用する点にあ
る。
たデバイス(ボールICと称する)表面で電気コネクト
の配線を張ると同時に、ボールICの内部を光インタコ
ネクトの光路として利用する点にある。このためには、
Si等に吸収されない波長帯の発光デバイスを、Si球
等上に形成する必要がある。かつ、その光デバイスが、
Si等と同じ環境で動作する必要がある。本発明では、
典型的には、発光デバイスにIII−VN材料を、受光
デバイスにIII−VNあるいはSiGeを用いること
で、この問題を解決している。GaNxAs1−xに代
表されるIII−VN材料はx=0.2程度でSiと格
子整合する。また、x=0.03程度で1.3μm程度
の波長の光を発する活性層となり得る。また、GaNA
s/AlNAsの多層膜を高反射ミラーとして用いるこ
とができるため、高効率LEDや面発光レーザ(VCS
EL)を作製できる。ほぼ同構造で受光デバイスも作製
できるほか、より作製の容易なSi/Geを用いて受光
デバイスを作製することもできる。球面等の上に配置さ
れた発光デバイス(たとえばLED)は、内部に光を放
射することで全ての受光デバイス(たとえばPD)に受
光させることもできる。すなわち、Si球等の内部を3
次元光伝送路として用いることができる。光源にLDを
用いた場合は指向性が鋭くなるので、或る特定の受光デ
バイス(PD)に転送することが可能である。光源や受
光デバイスの制御はそれらの近傍に配置された電子回路
で行ないうる。受光デバイス周辺の電子回路は単にOE
変換するだけでなく、その場で所望の処理が可能な演算
回路を持ちうる。受光デバイスは、受信信号を近傍のI
Cで処理したり、処理した結果を、Si球等の表面伝い
に電気配線で伝送したり、Si球等の内部に向かって新
たに送信したりできる。最終的な演算結果を電気信号あ
るいは光信号で外部に出力してもよい。
の実施の形態を説明する。
上に発光ダイオード(LED(light emitting diod
e))およびフォトダイオード(PD)を配置(活性層
はGaInNAsが主体)したものである。
図1中、101は球形状を有する直径約1mmのSi球
であり、102および103は、夫々、その表面に形成
された光デバイス(光源(LED)および受光デバイス
(PD))および電子デバイス(CMOSロジック等)
である。また、104はそれらを結合する電気配線(A
lなど)であり、Si球101表面に配置されている。
105はLED102から発する光がSi球101内部
を伝搬してできる光配線である。
る。ボールICの作製方法は、従来の報告例と全く同じ
でよい。たとえば、以下の様に行われる。
状多結晶Siを直径2mmのパイプの中に入れて溶融
し、ほぼ球形状の単結晶にする。この後、ボールベアリ
ングを作製する要領で表面研磨を行い、1mmφの真球
にする。
して、酸化や拡散プロセスを行う。パターン焼き付け
は、たとえば、特開平10−294254号公報や特開
平11−54406号公報に開示されている方法で実現
可能である。前者では、Si球材料の球面に対応した回
路パターンを備え、該Si球材料の球面に該回路パター
ンを全球面の半分以上の領域に渡って一括露光する。後
者では、球状ICの中心を通る軸を任意に取り決め、該
軸を中心にして球状ICを間欠的に回転させながら、こ
の回転角に対応する球状IC表面の露光領域を、これに
対応するマスクを用いて露光する。ここまでの工程でS
iボールICが完成する(図2参照)。
したあと、光デバイスを作製する。まず、球全体を窒化
膜301等でカバーし、光デバイス作製部分(約10μ
m程度)を平面に研磨およびポリッシングする(図3参
照)。窒化膜301で覆うのは、成長中、電子デバイス
103を保護すると共にこれを選択成長用マスクとして
使用するためである。ここでは、図3に示す様に、(1
11)面およびそれに準ずる面(全部で8面)302を
用いた。
あと、デバイス作製領域のみに窓を開ける。開口部に応
じて選択成長するので本実施例では円筒状になるよう開
口部を制御した。図4は、この工程後のSi球(光デバ
イス作製領域)101の断面図ある。
する。この技術としては、本出願人による特願平11−
136515号明細書に開示されたものを用いることが
できる。この結晶成長技術では、電子デバイスの形成さ
れた(100)面を有するSiウエハ上に、選択成長用マス
クが形成され、Siとは格子定数の異なる或はSiとほ
ぼ等しい格子定数の第1のIII−V材料(III−V
N材料など)から成る薄膜を成膜したあと、該第1のI
II−V材料より長い格子定数を有する第2のIII−
VN材料及び第1のIII−V材料より短い格子定数を
有する第3のIII−VN材料から成る多層薄膜が歪み
補償されながら積層され、その間、前記選択成長用マス
ク上を横方向成長することで、前記第1のIII−V材
料とほぼ等しい格子定数を有する第4のIII−VN材
料結晶を選択的に成膜し、且つ該第4のIII−VN材
料結晶上に化合物半導体光デバイスを積層している。
ず、ガスソースMBE法あるいはMOCVD法を用い
て、前記(111)面に準ずる面302のみにGaNx
As1−xをバッファ層として積層する。ここでは、G
aAsに格子整合するよう窒素組成Xを0.2から0ま
で徐々に変化させた。この後、GaInNAs/GaA
sを活性層とするLED構造あるいは面発光レーザ(ve
rtical cavity surface emitting laser(VCSE
L))構造を作製する。LEDを例に説明する。
上記バッファ層、503はLED、504はpin−P
D、505は入射光、506は出射光、507は電極パ
ッドである。LED部分の拡大図が図6である。バッフ
ァ層502のウエハに、n型GaAs/AlAs反射層
(反射率90%)602、GaInNAs/GaAs単
一量子井戸(SQW)活性層603、p型GaAs/A
lAs反射層(反射率90%)604を形成する。LE
Dにもかからず反射層602、603を設けたのは出射
効率(所望の方向に効率的に多くの光を取り出す)を高
めるためである。
1を持つ活性層603の具体的なエネルギーバンド構造
を図7に示した。共振器長が1波長となるようクラッド
層703の厚さを制御した。また、p型GaAs/Al
As反射層604の一層のAlAsをその中央部を除い
て酸化することで電流狭窄層605を形成している。
電極607を形成する。そして、前記窒化膜を除去した
あと電極606、607とIC103とを配線する。
め、ほぼ全立体角に光を放射できる構造になっている。
放射角を大きくするために、球面レンズがついた構造を
作り付けてもよい。たとえば、前記(111)面および
それに準ずる面をレンズ状(たとえば凹レンズ状)にエ
ッチングした上で、そこに上記LED構造を成長すれば
よい。
が、受光デバイスも同様な方法(バッファ層で格子整合
の調整をした後にデバイスの結晶成長を行う)で作製で
きる。これらの光デバイスは上記の選択成長技術で一度
に作製してもよいし、別々に作製してもよい。本実施例
では選択成長で一度に成長した(図5参照)。
ず、もっとも基本的な動作について説明する。本実施例
の発光デバイスの場合、DBR層602、604を用い
活性層603にGaInNAs/GaAsを用いたこと
で、動作電流0.05mA、動作電圧1.5Vで駆動で
きるため、1.5V以上で動作するCMOS回路のロジ
ック信号でダイレクトに駆動できる。また、受光デバイ
スも、1.5V程度の逆バイアスをかけることで十分な
受光感度を得ることができる。また、ともに面型LED
および面型pin−PD構造のため、ほぼ全立体角に光
を放射し、全立体角からの光を受光できる構造になって
いる。これは、(111)面に準ずる8面の何れかに配
置したLEDから発した光が、他の7面の受光デバイス
で受信できることを意味する。
おいて、ボールIC外部から、CMOS等からなるプロ
セッサエレメント(PE)103に電気信号が入力され
ると、そこで演算が行われたあと、その出力が電気配線
104あるいは光配線105で他のPEに伝送される。
電気配線104は通常のICと同様に信号を伝送する。
光配線105は発光デバイスを介してSi球101のな
かに広い立体角で光を放射する。放射された光は受光デ
バイスにより受光され、電気信号に変換される。
電気配線に流れる信号によって特定の受光デバイスのみ
に受信させたり、特定の受光デバイスの受信感度を制御
できたりする。本実施例では、これらの演算およびデー
タ転送を1個のボールIC内および表面で行うことを基
本動作とする。
バイスも球上に配置することで、電気配線と光配線が干
渉することなく、これらのデバイスを効率的にインタコ
ネクトできることが最大の効果である。
上のVCSEL(活性層はGaInNAsが主体)およ
びPD(活性層はGaInNAsあるいはSiGe)が
形成され、これらがGaAsに格子整合しない例であ
る。
図)である。実施例1と異なるのは、バッファ層502
の格子定数がSiとGaAsの間の任意の値であるこ
と、光源に面発光レーザ(VCSEL)を用いているこ
とである。
mmのSi球であり、801は面発光レーザ(VCSE
L)、802はリング状の受光面を持つpin−PD、
803は電極パッド、804はVCSEL801からの
出射ビーム、805は他のVCSELからpin−PD
802への入射光である。
ールICの作製方法は、実施例1と全く同じでよい。S
i−ICプロセスがほぼ終了したあと、光デバイスを次
の様に作製する。
の作製部分(約10μm程度)を平面に研磨および化学
ポリッシングする。ここでは、(001)面およびそれ
に準ずる面(全部で6面)を用いた(図9参照)。むろ
ん、実施例1のように(111)面に準ずる面でも構わ
ない。
あと、光デバイスの作製領域のみ窓を開けてもよい。実
施例1と同様、窒化膜で覆うのは、電子デバイスを保護
するためと、選択成長用マスクとして使用するためであ
る。本実施例では、5μmφの開口部をもつ窒化膜を新
たに作製した。以下、光デバイスの結晶成長について説
明する。
を用いて、前記(001)面に準ずる面のみにGaNx
As1−xをバッファ層502として積層する。ここで
は、窒素組成Xを0.2からy(0.2>y>0)まで
徐々に変化させた。本実施例ではy=0.05を用い
た。この後、所望の光源および受光デバイスを作製す
る。
明する。再度、図6を用いて説明する。図6において、
502はGaNAsバッファ層、602はn型AlNA
s/GaNAs反射層(反射率99.9%)、603は
アンドープ活性層、604はp型AlPAs/GaNA
s反射層(反射率99.99%)である。p型反射層6
04にAlPAs/GaNAsの組み合わせを用いたの
は、GaNAsバッファ層502に格子整合し、2層の
屈折率差を大きく取れ、かつ、価電子帯のヘテロ障壁を
小さくできるためである。n型反射層602にAlNA
s/GaNAsの組み合わせを用いたのは、GaNAs
バッファ層502に格子整合し、伝導帯のヘテロ障壁を
小さくできるためである。この結果、光学的には、少な
い層数で高反射膜を実現でき、電気的には、ヘテロ障壁
に起因する直列抵抗を下げることができて、低電流かつ
低電圧で動作するVCSEL801を作製することがで
きた。
明する。GaInNAs井戸層701(厚さ8nm、発
光波長1.35μm、歪み−0.5%(引っ張り歪
み))、InGaAs障壁層702(厚さ10nm、歪
み0.5%(圧縮歪み))から構成し、井戸数を1とす
ることで、発振波長が1.3μm程度になるように設定
した。歪みは必要に応じて制御してもよい。重要な点
は、この活性層603がIII−VNとIII−V半導
体材料からなっており、Si球内を光伝送路として用い
得る様にSiの吸収端波長よりも長い波長(たとえば
1.3μm)の発光波長を有し、かつ、伝導帯のバンド
オフセットが大きく取れることで温度特性に優れる構造
になっていることである。
極607を形成する。前記窒化膜を除去したあと、電極
606、607とボールIC103とを配線する。
の製造方法であるが、受光デバイスも同様な方法でよ
い。上記の選択成長技術で一度に作製してもよいし、別
々に作製してもよい。選択成長で別々に成長した例が図
8に示してある。VCSEL801の活性層は、Si球
内部を光伝送路とできる様にIII−VN半導体材料を
用いる必要があるが、受光デバイス802の活性層には
1.3μm帯を受光てきるSiGeを用いてもよい。こ
のためには、選択成長を光源用と受光デバイス用に別々
に行う必要がある。
i球内部を透過できる光を出す光源およびその光を受光
できる受光デバイスであれば、上記本実施例の構造に限
定されるものではない。
実施例のVCSELの場合、反射層と活性層にIII−
VN半導体材料を用いたことで、動作電流0.1mA、
動作電圧1.5Vで駆動できるため、1.5V以上で動
作するCMOS回路のロジック信号でダイレクトに駆動
できる。また、受光デバイスも1.5V程度の逆バイア
スをかけることで十分な受光感度を得ることができる。
OS等からなるプロセッサエレメント(PE)103に
電気信号が入力されると、そこで必要な演算が行われた
あと、その出力が電気配線104あるいは光配線105
で他のPEに伝送される。電気配線104は通常のIC
と同様に信号を伝送する。実施例1と異なり、本実施例
ではレーザを用いているので、光の指向性が高く特定の
受光デバイスのみに信号が伝送される。たとえば、図9
のように、(001)面から出射された光信号は(00
−1)面上の受光デバイス102のみが受光する。ある
いは、(100)面から出射された光信号は(−10
0)面にある受光デバイス102のみが受光する。受光
した信号は、近傍のPEで処理され、電気配線104あ
るいは光配線105を通じて伝送され、最終的に所望の
演算結果を得る。この様に、電気配線と光配線を有機的
に結びつけることができる。
とLEDとを組み合わせる例に関わる。実施例1では光
源としてLEDを、実施例2では光源としてLDを用い
たが、場合によっては本実施例の様に混在させてもよ
い。
である。図10において、102aは1×N光配線用の
光デバイスであり、実施例1のものを用いることで、1
つのPEからの出力を多出力(ファンアウト)すること
ができる。一方、102bは、1×1光配線用の光デバ
イスであり、実施例2のものを用いることで1×1の光
接続が可能になる。1×N光配線にくらべ、配線の柔軟
性は失われるが高速のデータ転送が可能になる。
よび102b両方の機能を有する光デバイスを配置して
もよい。この様に、電気配線と同様に光配線で1×1お
よび1×N接続を可能にでき、トータルではN×Nの接
続が容易に可能になるため、飛躍的なデータ処理速度の
向上をはかることができる。
の如き効果が奏される。 (1)Si球等の立体形状半導体結晶の表面に光源およ
び受光デバイス(典型的には、ICおよび複数の光源お
よび受光デバイス)を配置することで、内部を伝送路と
することができるため、飛躍的に配線密度および転送容
量を上げられる。
ため、N×N接続が容易なため、ピンボトルネックを解
決できる。
積層できるため、きわめて消費電力の小さい光デバイス
が作製できる。
である。
段階の本発明の実施例1を示す正面図である。
化膜で覆った後に光デバイス作製部分を平面状に研磨し
た段階の本発明の実施例1を示す正面図である。
ス作製領域の断面図である。
イスを作製した段階の本発明の実施例1の断面図であ
る。
れたLED部分の断面図である。
ンド構造図である。
イスを作製した段階の本発明の実施例2の断面図であ
る。
実施例2の正面図である。
明する本発明の実施例3の正面図である。
Claims (11)
- 【請求項1】半導体の立体形状結晶の表面に、少なくと
も、発光デバイスと受光デバイスを含む光デバイスが複
数集積され、該立体形状結晶の内部を光配線媒体として
用いて該発光デバイスと受光デバイス間で光を授受する
ことを特徴とする光電融合デバイス。 - 【請求項2】前記半導体の立体形状結晶はSi球であ
り、その表面に電子デバイスと光デバイスが複数集積さ
れている請求項1に記載の光電融合デバイス。 - 【請求項3】前記光デバイスは、その構成材料の一部に
GaNAs、GaInNAs、AlNAs、GaInN
AsP等のIII−VN半導体材料或いはSiGe等の
IV族半導体材料が使われている請求項2に記載の光電
融合デバイス。 - 【請求項4】前記光デバイスは、格子整合調整用のバッ
ファ層を介して前記半導体の立体形状結晶の表面に形成
されている請求項1乃至3の何れかに記載の光電融合デ
バイス。 - 【請求項5】前記発光デバイスは、それから発光される
光が、自然放出光或いは誘導放出光であり、前記半導体
の立体形状結晶内部に放射され、かつ該光の波長が該半
導体の立体形状結晶のバンドギャップ波長よりも長い請
求項1乃至4の何れかに記載の光電融合デバイス。 - 【請求項6】前記発光デバイスは、光を前記半導体の立
体形状結晶内部に放射して、1つ或いは複数の前記受光
デバイスが該光を受光できる様に形成されている請求項
5に記載の光電融合デバイス。 - 【請求項7】前記発光デバイスは、それから発光される
光が、自然放出光或いは誘導放出光であり、外部に光を
発光できる様に形成されている請求項1乃至4の何れか
に記載の光電融合デバイス。 - 【請求項8】前記受光デバイスは、1つ或いは複数の前
記発光デバイスから前記半導体の立体形状結晶内部に放
射された光を受光できる様に形成されている請求項1乃
至7の何れかに記載の光電融合デバイス。 - 【請求項9】前記受光デバイスは、外部からの光を受光
できる様に形成されている請求項1乃至7の何れかに記
載の光電融合デバイス。 - 【請求項10】前記発光デバイスは、1つの受光デバイ
スに向けて光を前記半導体の立体形状結晶内部に放射で
きる発光デバイスと、複数の受光デバイスに向けて光を
該半導体の立体形状結晶内部に放射できる発光デバイス
とを含む請求項1乃至9の何れかに記載の光電融合デバ
イス。 - 【請求項11】前記半導体の立体形状結晶の表面に電子
デバイスと光デバイスが複数集積されており、該電子デ
バイスは、前記発光デバイスの発光・消光を制御する機
能、前記受光デバイスで受けた光を電気信号に変える機
能、およびその電気信号をもとに論理演算する機能の少
なくとも1つの機能を有する請求項1乃至10の何れか
に記載の光電融合デバイス。
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