JP2001192274A - 脱脂・焼成用セッター及びその製造方法 - Google Patents
脱脂・焼成用セッター及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金型を用いずにセッターを製造でき、このセ
ッターの製造過程である焼成時におけるガスの発生を極
力抑えることができる。また気孔率の設定変更を比較的
容易に行うことができ、気孔率を５０％以上にしても所
定の機械的強度を有する。 【解決手段】 脱脂・焼成用セッターは平均直径５〜１
０００μｍの気孔を有し、かつその気孔率は７０〜２５
％である。上記セッターは表面が平坦な三次元網状多孔
質構造体からなる。また三次元網状多孔質構造体の表面
に上記構造体の気孔より小さい平均直径５０μｍ以下の
気孔を有し気孔率が７０〜２５％である多孔質シートを
積層することが好ましい。更に三次元網状多孔質構造体
又はこの構造体及び多孔質シートは上記構造体又は多孔
質シートに載せられる成形体又は脱脂物と同一系材料に
より形成されることが好ましい。
ッターの製造過程である焼成時におけるガスの発生を極
力抑えることができる。また気孔率の設定変更を比較的
容易に行うことができ、気孔率を５０％以上にしても所
定の機械的強度を有する。 【解決手段】 脱脂・焼成用セッターは平均直径５〜１
０００μｍの気孔を有し、かつその気孔率は７０〜２５
％である。上記セッターは表面が平坦な三次元網状多孔
質構造体からなる。また三次元網状多孔質構造体の表面
に上記構造体の気孔より小さい平均直径５０μｍ以下の
気孔を有し気孔率が７０〜２５％である多孔質シートを
積層することが好ましい。更に三次元網状多孔質構造体
又はこの構造体及び多孔質シートは上記構造体又は多孔
質シートに載せられる成形体又は脱脂物と同一系材料に
より形成されることが好ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子材料，セラミ
ック材料，粉末合金材料等の脱脂・焼成を行うときに上
記材料を載せる、即ち高温雰囲気中でセラミックなどの
粉体成形体を脱脂・焼成する際の敷板として使用される
セッターとその製造方法に関するものである。
ック材料，粉末合金材料等の脱脂・焼成を行うときに上
記材料を載せる、即ち高温雰囲気中でセラミックなどの
粉体成形体を脱脂・焼成する際の敷板として使用される
セッターとその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のセッターとしては、例え
ば酸化物系ではアルミナ系，ジルコニア系，マグネシア
系，ムライト系，サイアロン系等の多孔質体が用いら
れ、非酸化物系では炭化珪素系，窒化珪素系，窒化アル
ミニウム系，グラファイト系等の多孔質体が用いられ、
これらの気孔率は２０〜５０％程度である。上記従来の
セッターでは、気孔率が２０〜５０％と低く、嵩（か
さ）密度（bulk density）が大きくなると同時に熱容量
も非常に大きくなるため、脱脂・焼成時に供給される熱
エネルギの大半がセッターの加熱のために費やされる問
題点があった。
ば酸化物系ではアルミナ系，ジルコニア系，マグネシア
系，ムライト系，サイアロン系等の多孔質体が用いら
れ、非酸化物系では炭化珪素系，窒化珪素系，窒化アル
ミニウム系，グラファイト系等の多孔質体が用いられ、
これらの気孔率は２０〜５０％程度である。上記従来の
セッターでは、気孔率が２０〜５０％と低く、嵩（か
さ）密度（bulk density）が大きくなると同時に熱容量
も非常に大きくなるため、脱脂・焼成時に供給される熱
エネルギの大半がセッターの加熱のために費やされる問
題点があった。
【０００３】この点を解消するために、気孔率が５０％
以上の軽量セッターを製造する方法が例えば、特開昭６
２−３７６８３号公報，特開平５−２７０９３９号公
報，特開平５−３１０４８２号公報に開示されている。
上記特開昭６２−３７６８３号公報には、セラミックフ
ォーム層表面の少なくとも一部にセラミックセッティン
グ層が設けられたセラミック焼成用道具が提案されてい
る。このセラミック焼成用道具では、三次元網状構造の
基材フォームとして軟質ポリウレタンフォームを用い、
この基材フォームの骨子部へのセラミック成形用スリッ
プの付着・乾燥・固化を複数回繰返した後、焼成して上
記骨子部を消失させることにより、セラミックフォーム
層が形成される。このように製造されたセラミック焼成
用道具では、セラミックフォーム層が高い空隙率を有す
るため、嵩密度が小さく、熱容量を小さくすることがで
きる。
以上の軽量セッターを製造する方法が例えば、特開昭６
２−３７６８３号公報，特開平５−２７０９３９号公
報，特開平５−３１０４８２号公報に開示されている。
上記特開昭６２−３７６８３号公報には、セラミックフ
ォーム層表面の少なくとも一部にセラミックセッティン
グ層が設けられたセラミック焼成用道具が提案されてい
る。このセラミック焼成用道具では、三次元網状構造の
基材フォームとして軟質ポリウレタンフォームを用い、
この基材フォームの骨子部へのセラミック成形用スリッ
プの付着・乾燥・固化を複数回繰返した後、焼成して上
記骨子部を消失させることにより、セラミックフォーム
層が形成される。このように製造されたセラミック焼成
用道具では、セラミックフォーム層が高い空隙率を有す
るため、嵩密度が小さく、熱容量を小さくすることがで
きる。
【０００４】また特開平５−２７０９３９号公報には、
セラミック粉末１００重量％に平均粒径１００〜３００
μｍの熱分解性樹脂ビーズ１０〜３０重量％と水とを混
合してスラリーを調製し、このスラリーにウレタン発泡
材を添加・混合してこの混合物を発泡・硬化させ、更に
この硬化物を脱脂・焼成することにより軽量セッターを
製造する方法が提案されている。このように製造された
軽量セッターは、機能性セラミックの焼成温度を高くし
たり、焼成時間を短縮したり、或いは昇温速度及び降温
速度を速くしても、高い耐熱衝撃性（耐スポーリング
性）を有し、かつ冷熱サイクルに対して安定であるの
で、割れることはない。またこの軽量セッターは実用的
な曲げ強度を有し、かつ嵩密度が小さい。
セラミック粉末１００重量％に平均粒径１００〜３００
μｍの熱分解性樹脂ビーズ１０〜３０重量％と水とを混
合してスラリーを調製し、このスラリーにウレタン発泡
材を添加・混合してこの混合物を発泡・硬化させ、更に
この硬化物を脱脂・焼成することにより軽量セッターを
製造する方法が提案されている。このように製造された
軽量セッターは、機能性セラミックの焼成温度を高くし
たり、焼成時間を短縮したり、或いは昇温速度及び降温
速度を速くしても、高い耐熱衝撃性（耐スポーリング
性）を有し、かつ冷熱サイクルに対して安定であるの
で、割れることはない。またこの軽量セッターは実用的
な曲げ強度を有し、かつ嵩密度が小さい。
【０００５】更に特開平５−３１０４８２号公報には、
酸化物系又は非酸化物系セラミックにより形成された成
形体の表面の平滑度Ｒmaxが５μｍ未満であり、この成
形体の表面から５０〜１００μｍの内部までには緻密質
層が形成され、この緻密質層から中心部にわたって気孔
率が２０〜８０％で１０〜２０００μｍの気孔が均一に
分布する多孔質体が形成された軽量セラミック成形体が
提案されている。この軽量セラミック成形体は酸化物系
又は非酸化物系セラミック粉末のスラリーに、気泡の直
径が１０〜２０００μｍである発泡液を加えて撹拌する
ことにより、スラリー中に気泡を導入し、このスラリー
を鋳込み成形した後、脱型・脱脂・焼成することにより
製造される。このように製造された軽量セラミック成形
体は主体が多孔質体であるにも拘らず、高い表面平滑性
と一定の強度を有するので、セラミック材料等の焼成時
に用いるセッターに適している。
酸化物系又は非酸化物系セラミックにより形成された成
形体の表面の平滑度Ｒmaxが５μｍ未満であり、この成
形体の表面から５０〜１００μｍの内部までには緻密質
層が形成され、この緻密質層から中心部にわたって気孔
率が２０〜８０％で１０〜２０００μｍの気孔が均一に
分布する多孔質体が形成された軽量セラミック成形体が
提案されている。この軽量セラミック成形体は酸化物系
又は非酸化物系セラミック粉末のスラリーに、気泡の直
径が１０〜２０００μｍである発泡液を加えて撹拌する
ことにより、スラリー中に気泡を導入し、このスラリー
を鋳込み成形した後、脱型・脱脂・焼成することにより
製造される。このように製造された軽量セラミック成形
体は主体が多孔質体であるにも拘らず、高い表面平滑性
と一定の強度を有するので、セラミック材料等の焼成時
に用いるセッターに適している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特開昭６
２−３７６８３号公報，特開平５−２７０９３９号公報
及び特開平５−３１０４８２号公報に示された軽量セッ
ターの製造方法では、金型が必要であったり、脱脂・焼
成時に熱分解性樹脂ビーズやウレタン発泡材から大量の
ガスが発生するなどの問題点があった。本発明の第１の
目的は、金型を用いずにセッターを製造でき、また熱分
解性樹脂ビーズやウレタンを使用しないためセッター焼
成時のガスの発生を極力抑えることができる、脱脂・焼
成用セッターの製造方法を提供することにある。本発明
の第２の目的は、気孔率の設定変更を容易に行うことが
でき、気孔率を５０％以上にしても所定の機械的強度を
有する、脱脂・焼成用セッター及びその製造方法を提供
することにある。本発明の第３の目的は、軽量で取扱い
易く、かつ熱容量を小さくでき、更に成形体の脱脂時に
成形体から油脂を速やかに離脱させることができる、脱
脂・焼成用セッター及びその製造方法を提供することに
ある。本発明の第４の目的は、精密な成形体又は脱脂物
の精度を損なわず、また成形体又は脱脂物の脱脂時又は
焼成時にこの成形体等の組成成分がセッター側に移行す
るいわゆる組成ずれを低減できる、脱脂・焼成用セッタ
ー及びその製造方法を提供することにある。
２−３７６８３号公報，特開平５−２７０９３９号公報
及び特開平５−３１０４８２号公報に示された軽量セッ
ターの製造方法では、金型が必要であったり、脱脂・焼
成時に熱分解性樹脂ビーズやウレタン発泡材から大量の
ガスが発生するなどの問題点があった。本発明の第１の
目的は、金型を用いずにセッターを製造でき、また熱分
解性樹脂ビーズやウレタンを使用しないためセッター焼
成時のガスの発生を極力抑えることができる、脱脂・焼
成用セッターの製造方法を提供することにある。本発明
の第２の目的は、気孔率の設定変更を容易に行うことが
でき、気孔率を５０％以上にしても所定の機械的強度を
有する、脱脂・焼成用セッター及びその製造方法を提供
することにある。本発明の第３の目的は、軽量で取扱い
易く、かつ熱容量を小さくでき、更に成形体の脱脂時に
成形体から油脂を速やかに離脱させることができる、脱
脂・焼成用セッター及びその製造方法を提供することに
ある。本発明の第４の目的は、精密な成形体又は脱脂物
の精度を損なわず、また成形体又は脱脂物の脱脂時又は
焼成時にこの成形体等の組成成分がセッター側に移行す
るいわゆる組成ずれを低減できる、脱脂・焼成用セッタ
ー及びその製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
平均直径５〜１０００μｍの気孔を有し気孔率が７０〜
２５％であって、表面が平坦な三次元網状多孔質構造体
からなる脱脂・焼成用セッターである。この請求項１に
記載された脱脂・焼成用セッターでは、セッターが三次
元網状多孔質構造体であるため、気孔率を５０％以上に
しても機械的強度は高い。またセッターの嵩密度が小さ
いので、熱容量を小さくでき、成形体又は脱脂物の脱脂
時又は焼成時の昇温速度及び降温速度を速くすることが
できる。またセッターが三次元網状多孔質構造体であ
り、気孔が連通しているので、成形体の脱脂時に成形体
内から表面に出てきた油脂は上記気孔を通ってスムーズ
に排出され成形体から離脱して脱脂物になる。
平均直径５〜１０００μｍの気孔を有し気孔率が７０〜
２５％であって、表面が平坦な三次元網状多孔質構造体
からなる脱脂・焼成用セッターである。この請求項１に
記載された脱脂・焼成用セッターでは、セッターが三次
元網状多孔質構造体であるため、気孔率を５０％以上に
しても機械的強度は高い。またセッターの嵩密度が小さ
いので、熱容量を小さくでき、成形体又は脱脂物の脱脂
時又は焼成時の昇温速度及び降温速度を速くすることが
できる。またセッターが三次元網状多孔質構造体であ
り、気孔が連通しているので、成形体の脱脂時に成形体
内から表面に出てきた油脂は上記気孔を通ってスムーズ
に排出され成形体から離脱して脱脂物になる。
【０００８】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明であって、更に三次元網状多孔質構造体の表面に上記
構造体の気孔より小さい平均直径５０μｍ以下の気孔を
有し気孔率が７０〜２５％である多孔質シートが積層さ
れたことを特徴とする。この請求項２に記載された脱脂
・焼成用セッターでは、三次元網状多孔質構造体に気孔
が小さく機械的強度の高い多孔質シートが積層されるの
で、セッター全体の機械的強度を更に向上できる。また
気孔が小さく表面粗さの小さい多孔質シート上に成形体
又は脱脂物が載せられるので、成形体又は脱脂物が小型
で精密なものであっても、その精度を損なうことはな
い。
明であって、更に三次元網状多孔質構造体の表面に上記
構造体の気孔より小さい平均直径５０μｍ以下の気孔を
有し気孔率が７０〜２５％である多孔質シートが積層さ
れたことを特徴とする。この請求項２に記載された脱脂
・焼成用セッターでは、三次元網状多孔質構造体に気孔
が小さく機械的強度の高い多孔質シートが積層されるの
で、セッター全体の機械的強度を更に向上できる。また
気孔が小さく表面粗さの小さい多孔質シート上に成形体
又は脱脂物が載せられるので、成形体又は脱脂物が小型
で精密なものであっても、その精度を損なうことはな
い。
【０００９】請求項３に係る発明は、請求項１又は２に
係る発明であって更に三次元網状多孔質構造体又はこの
構造体及び多孔質シートが上記構造体又は多孔質シート
に載せられる成形体又は脱脂物と同一系材料により形成
されたことを特徴とする。この請求項３に記載された脱
脂・焼成用セッターでは、成形体又は脱脂物の脱脂時又
は焼成時にこの成形体等の組成成分がセッターに殆ど移
行しないので、成形体等のいわゆる組成ずれを低減する
ことができる。
係る発明であって更に三次元網状多孔質構造体又はこの
構造体及び多孔質シートが上記構造体又は多孔質シート
に載せられる成形体又は脱脂物と同一系材料により形成
されたことを特徴とする。この請求項３に記載された脱
脂・焼成用セッターでは、成形体又は脱脂物の脱脂時又
は焼成時にこの成形体等の組成成分がセッターに殆ど移
行しないので、成形体等のいわゆる組成ずれを低減する
ことができる。
【００１０】請求項４に係る発明は、請求項１ないし３
いずれかに係る発明であって、更に三次元網状多孔質構
造体又はこの構造体及び多孔質シートが次の一般式
（１）で表されることを特徴とする。 Ｌｎ1-xＡ０xＢ０1-y-zＢ１yＢ２zＯ3-d ……（１） 但し、ＬｎはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ及びＳｍからなる
群より選ばれた１種又は２種以上の元素であり；Ａ０は
Ｓｒ，Ｃａ及びＢａからなる群より選ばれた１種又は２
種以上の元素であり；Ｂ０はＧａ又はＡｌ（アルミニウ
ム）のいずれかの元素であり；Ｂ１はＢ０がＧａの場合
にはＭｇ，Ａｌ（アルミニウム）及びＩｎからなる群よ
り選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｂ０がＡｌ
（アルミニウム）の場合にはＭｇ及びＩｎからなる群よ
り選ばれた１種又は２種の元素であり；Ｂ２はＣｏ，Ｆ
ｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる群より選ばれた１種又は２種
以上の元素であり；ｘは０．０５〜０．３であり；ｙは
０〜０．２９であり；ｚは０．０１〜０．３であり；
（ｙ＋ｚ）は０．０１〜０．３であり；ｄは０．０３〜
０．４４５である。
いずれかに係る発明であって、更に三次元網状多孔質構
造体又はこの構造体及び多孔質シートが次の一般式
（１）で表されることを特徴とする。 Ｌｎ1-xＡ０xＢ０1-y-zＢ１yＢ２zＯ3-d ……（１） 但し、ＬｎはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ及びＳｍからなる
群より選ばれた１種又は２種以上の元素であり；Ａ０は
Ｓｒ，Ｃａ及びＢａからなる群より選ばれた１種又は２
種以上の元素であり；Ｂ０はＧａ又はＡｌ（アルミニウ
ム）のいずれかの元素であり；Ｂ１はＢ０がＧａの場合
にはＭｇ，Ａｌ（アルミニウム）及びＩｎからなる群よ
り選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｂ０がＡｌ
（アルミニウム）の場合にはＭｇ及びＩｎからなる群よ
り選ばれた１種又は２種の元素であり；Ｂ２はＣｏ，Ｆ
ｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる群より選ばれた１種又は２種
以上の元素であり；ｘは０．０５〜０．３であり；ｙは
０〜０．２９であり；ｚは０．０１〜０．３であり；
（ｙ＋ｚ）は０．０１〜０．３であり；ｄは０．０３〜
０．４４５である。
【００１１】請求項５に係る発明は、請求項１ないし３
いずれかに係る発明であって、更に三次元網状多孔質構
造体又は前記構造体及び多孔質シートが次の一般式
（２）で表されることを特徴とする。 Ａ２1-xＣａxＢ０1-yＢ３yＯ3-d ……（２） 但し、Ａ２は３価イオンの８配位イオン半径が１．０５
〜１．１５Åからなる群より選ばれた１種又は２種以上
のランタノイド金属であり；Ｂ０はＧａ又はＡｌ（アル
ミニウム）のいずれかの元素であり；Ｂ３はＣｏ，Ｆ
ｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる群より選ばれた１種又は２種
以上の元素であり；ｘは０．０５〜０．３であり；ｙは
０．０５〜０．３であり；ｄは０．０５〜０．３であ
る。
いずれかに係る発明であって、更に三次元網状多孔質構
造体又は前記構造体及び多孔質シートが次の一般式
（２）で表されることを特徴とする。 Ａ２1-xＣａxＢ０1-yＢ３yＯ3-d ……（２） 但し、Ａ２は３価イオンの８配位イオン半径が１．０５
〜１．１５Åからなる群より選ばれた１種又は２種以上
のランタノイド金属であり；Ｂ０はＧａ又はＡｌ（アル
ミニウム）のいずれかの元素であり；Ｂ３はＣｏ，Ｆ
ｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる群より選ばれた１種又は２種
以上の元素であり；ｘは０．０５〜０．３であり；ｙは
０．０５〜０．３であり；ｄは０．０５〜０．３であ
る。
【００１２】これら請求項４又は５に記載された脱脂・
焼成用セッターでは、成形体又は脱脂物が上記一般式
（１）又は（２）で表される酸化物イオン伝導体又は酸
化物イオン混合伝導体により形成されている場合、成形
体又は脱脂物の脱脂時又は焼成時にこの成形体等の組成
成分中のＡ０元素，Ｂ０元素，Ｂ１元素，Ｂ２元素，Ａ
２元素，Ｃａ（カルシウム）元素，Ｂ３元素等がセッタ
ーに殆ど移行しないので、成形体等のいわゆる組成ずれ
を大幅に低減することができる。なお、本明細書におい
て、「酸化物イオン伝導体」とは、電気伝導性の大部分
を酸化物イオン伝導性が占める狭義の材料を意味し、
「酸化物イオン混合伝導体」とは、電子伝導性及び酸化
物イオン伝導性の両方が大きな割合を占める材料を意味
する。また、一般式（１）において、ｚが０．１５以下
であると、イオン輸率が大きくなって酸化物イオン伝導
体となるが、ｚが０．１５を超えるとイオン輸率が低下
し、酸化物イオン混合伝導体となる。
焼成用セッターでは、成形体又は脱脂物が上記一般式
（１）又は（２）で表される酸化物イオン伝導体又は酸
化物イオン混合伝導体により形成されている場合、成形
体又は脱脂物の脱脂時又は焼成時にこの成形体等の組成
成分中のＡ０元素，Ｂ０元素，Ｂ１元素，Ｂ２元素，Ａ
２元素，Ｃａ（カルシウム）元素，Ｂ３元素等がセッタ
ーに殆ど移行しないので、成形体等のいわゆる組成ずれ
を大幅に低減することができる。なお、本明細書におい
て、「酸化物イオン伝導体」とは、電気伝導性の大部分
を酸化物イオン伝導性が占める狭義の材料を意味し、
「酸化物イオン混合伝導体」とは、電子伝導性及び酸化
物イオン伝導性の両方が大きな割合を占める材料を意味
する。また、一般式（１）において、ｚが０．１５以下
であると、イオン輸率が大きくなって酸化物イオン伝導
体となるが、ｚが０．１５を超えるとイオン輸率が低下
し、酸化物イオン混合伝導体となる。
【００１３】請求項６に係る発明は、請求項１ないし５
いずれかに係る発明であって、更に三次元網状多孔質構
造体内に形成された気孔が平均直径５〜１０００μｍの
大径気孔群とこの大径気孔群を構成する気孔より小径の
平均直径１〜１００μｍの気孔で構成された小径気孔群
とにより主としてなることを特徴とする。この請求項６
に記載された脱脂・焼成用セッターでは、三次元網状多
孔質構造体の大径気孔群を区画する骨格に小径気孔群が
分散されるので、機械的強度を殆ど低減せずに、セッタ
ーを更に軽量化することができる。
いずれかに係る発明であって、更に三次元網状多孔質構
造体内に形成された気孔が平均直径５〜１０００μｍの
大径気孔群とこの大径気孔群を構成する気孔より小径の
平均直径１〜１００μｍの気孔で構成された小径気孔群
とにより主としてなることを特徴とする。この請求項６
に記載された脱脂・焼成用セッターでは、三次元網状多
孔質構造体の大径気孔群を区画する骨格に小径気孔群が
分散されるので、機械的強度を殆ど低減せずに、セッタ
ーを更に軽量化することができる。
【００１４】請求項７に係る発明は、水より蒸気圧の大
きい非水溶性有機溶剤を含有する水系スラリーを用いて
シート成形法により成形体を形成する工程と、上記溶剤
を気化させて成形体を三次元網状多孔質構造体にした後
にこの構造体を乾燥する工程と、この構造体を焼成する
工程とを含む脱脂・焼成用セッターの製造方法である。
この請求項７に記載された脱脂・焼成用セッターの製造
方法では、上記有機溶剤が水より蒸気圧が大きいため、
この有機溶剤が気化しガスとなって蒸発する。このた
め、成形体に多数の気孔が形成され、成形体は三次元網
状多孔質構造体となる。なお、本明細書において、非水
溶性有機溶剤とは、水に溶解する性質・能力の全くない
有機溶剤をいう。
きい非水溶性有機溶剤を含有する水系スラリーを用いて
シート成形法により成形体を形成する工程と、上記溶剤
を気化させて成形体を三次元網状多孔質構造体にした後
にこの構造体を乾燥する工程と、この構造体を焼成する
工程とを含む脱脂・焼成用セッターの製造方法である。
この請求項７に記載された脱脂・焼成用セッターの製造
方法では、上記有機溶剤が水より蒸気圧が大きいため、
この有機溶剤が気化しガスとなって蒸発する。このた
め、成形体に多数の気孔が形成され、成形体は三次元網
状多孔質構造体となる。なお、本明細書において、非水
溶性有機溶剤とは、水に溶解する性質・能力の全くない
有機溶剤をいう。
【００１５】請求項８に係る発明は、水より蒸気圧の大
きい非水溶性有機溶剤を含有する水系スラリーを用いて
シート成形法により成形体を形成する工程と、上記溶剤
を気化させて成形体を三次元網状多孔質構造体にした後
にこの構造体を乾燥する工程と、この構造体を加熱圧縮
する工程と、加熱圧縮された構造体を焼成する工程とを
含む脱脂・焼成用セッターの製造方法である。この請求
項８に記載された脱脂・焼成用セッターの製造方法で
は、三次元網状多孔質構造体の加熱圧縮時に加熱温度及
び圧力をパラメータとして上記構造体の厚さ方向に加熱
圧縮することにより、この構造体の密度を任意に制御す
ることができるので、顧客のニーズに合った気孔率を有
するセッターを製造することができる。
きい非水溶性有機溶剤を含有する水系スラリーを用いて
シート成形法により成形体を形成する工程と、上記溶剤
を気化させて成形体を三次元網状多孔質構造体にした後
にこの構造体を乾燥する工程と、この構造体を加熱圧縮
する工程と、加熱圧縮された構造体を焼成する工程とを
含む脱脂・焼成用セッターの製造方法である。この請求
項８に記載された脱脂・焼成用セッターの製造方法で
は、三次元網状多孔質構造体の加熱圧縮時に加熱温度及
び圧力をパラメータとして上記構造体の厚さ方向に加熱
圧縮することにより、この構造体の密度を任意に制御す
ることができるので、顧客のニーズに合った気孔率を有
するセッターを製造することができる。
【００１６】請求項９に係る発明は、水より蒸気圧の大
きい非水溶性有機溶剤を含有する水系スラリーを用いて
シート成形法により成形体を形成する工程と、上記溶剤
を気化させて成形体を三次元網状多孔質構造体にした後
にこの構造体を乾燥する工程と、非発泡シート成形法に
より上記構造体の気孔より小径の気孔を有する多孔質シ
ートを形成する工程と、この多孔質シートを上記構造体
に加熱圧着して積層する工程と、この積層体を焼成する
工程とを含む脱脂・焼成用セッターの製造方法である。
この請求項９に記載された脱脂・焼成用セッターの製造
方法では、請求項２に記載されたセッター、即ち三次元
網状多孔質構造体及び多孔質シートの積層体を効率良く
製造することができる。
きい非水溶性有機溶剤を含有する水系スラリーを用いて
シート成形法により成形体を形成する工程と、上記溶剤
を気化させて成形体を三次元網状多孔質構造体にした後
にこの構造体を乾燥する工程と、非発泡シート成形法に
より上記構造体の気孔より小径の気孔を有する多孔質シ
ートを形成する工程と、この多孔質シートを上記構造体
に加熱圧着して積層する工程と、この積層体を焼成する
工程とを含む脱脂・焼成用セッターの製造方法である。
この請求項９に記載された脱脂・焼成用セッターの製造
方法では、請求項２に記載されたセッター、即ち三次元
網状多孔質構造体及び多孔質シートの積層体を効率良く
製造することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を説明す
る。本発明の脱脂・焼成用セッターは平均直径５〜１０
００μｍ、好ましくは１０〜７５０μｍの気孔を有し、
かつその気孔率が７０〜２５％、好ましくは７０〜３８
％である三次元網状多孔質構造体からなる。またこのセ
ッターは表面が平坦に形成される。気孔の平均直径を５
〜１０００μｍに限定したのは、５μｍ未満ではセッタ
ーの熱容量が大きくなりかつセッターに載せられる成形
体の脱脂性が低下するためであり、１０００μｍを超え
るとセッターの機械的強度が低下するためである。また
気孔率を７０〜２５％に限定したのは、７０％を超える
とセッターの機械的強度が低下するためであり、２５％
未満では熱容量が大きくなりかつセッターに載せられる
成形体の脱脂性が低下するためである。
る。本発明の脱脂・焼成用セッターは平均直径５〜１０
００μｍ、好ましくは１０〜７５０μｍの気孔を有し、
かつその気孔率が７０〜２５％、好ましくは７０〜３８
％である三次元網状多孔質構造体からなる。またこのセ
ッターは表面が平坦に形成される。気孔の平均直径を５
〜１０００μｍに限定したのは、５μｍ未満ではセッタ
ーの熱容量が大きくなりかつセッターに載せられる成形
体の脱脂性が低下するためであり、１０００μｍを超え
るとセッターの機械的強度が低下するためである。また
気孔率を７０〜２５％に限定したのは、７０％を超える
とセッターの機械的強度が低下するためであり、２５％
未満では熱容量が大きくなりかつセッターに載せられる
成形体の脱脂性が低下するためである。
【００１８】上記三次元網状多孔質構造体の表面には多
孔質シートを積層し、この多孔質シートの表面に成形体
又は脱脂物が載るように構成されることが好ましい。こ
の多孔質シートは上記構造体の気孔より小さい平均直径
５０μｍ以下、好ましくは１〜２０μｍの気孔を有し、
多孔質シートの気孔率は７０〜２５％、好ましくは７０
〜３８％である。多孔質シートの気孔の平均直径を５０
μｍ以下に限定したのは、多孔質シートの表面粗さを小
さくするためである。また多孔質シートの気孔率を７０
〜２５％に限定したのは、２５％未満では多孔質シート
の熱容量が大きくなりかつ多孔質シートに載せられる成
形体の脱脂性が低下するためであり、７０％を超えると
多孔質シートの機械的強度が低下するためである。な
お、多孔質シートの気孔は少なくともシートの表面から
裏面に連通する。
孔質シートを積層し、この多孔質シートの表面に成形体
又は脱脂物が載るように構成されることが好ましい。こ
の多孔質シートは上記構造体の気孔より小さい平均直径
５０μｍ以下、好ましくは１〜２０μｍの気孔を有し、
多孔質シートの気孔率は７０〜２５％、好ましくは７０
〜３８％である。多孔質シートの気孔の平均直径を５０
μｍ以下に限定したのは、多孔質シートの表面粗さを小
さくするためである。また多孔質シートの気孔率を７０
〜２５％に限定したのは、２５％未満では多孔質シート
の熱容量が大きくなりかつ多孔質シートに載せられる成
形体の脱脂性が低下するためであり、７０％を超えると
多孔質シートの機械的強度が低下するためである。な
お、多孔質シートの気孔は少なくともシートの表面から
裏面に連通する。
【００１９】上記三次元網状多孔質構造体又はこの構造
体及び多孔質シートは上記構造体又は多孔質シートに載
せられる成形体又は脱脂物と同一系材料により形成され
ることが好ましい。特に、成形体又は脱脂物が次の一般
式（１）で表される酸化物イオン伝導体又は酸化物イオ
ン混合伝導体により形成されている場合に、本発明のセ
ッター、即ち三次元網状多孔質構造体又はこの構造体及
び多孔質シートを次の一般式（１）で表される酸化物イ
オン伝導体又は酸化物イオン混合伝導体により形成する
ことが好ましい。 Ｌｎ1-xＡ０xＢ０1-y-zＢ１yＢ２zＯ3-d ……（１） 上記一般式（１）において、Ｌｎはランタノイド系希土
類金属元素であり、Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ及びＳｍか
らなる群より選ばれた１種又は２種以上の元素である。
Ａ０はアルカリ土類金属であり、Ｓｒ，Ｃａ及びＢａか
らなる群より選ばれた１種又は２種以上の元素であり、
Ｂ０はＧａ又はＡｌ（アルミニウム）のいずれかの元素
である。Ｂ１は非遷移金属であり、Ｂ０がＧａの場合に
はＭｇ，Ａｌ（アルミニウム）及びＩｎからなる群より
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｂ０がＡｌ
（アルミニウム）の場合にはＭｇ及びＩｎからなる群よ
り選ばれた１種又は２種の元素である。Ｂ２は遷移金属
であり、Ｃｏ，Ｆｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる群より選ば
れた１種又は２種以上の元素である。即ち、本発明の酸
化物イオン伝導体はランタノイド・ガレート（ＬｎＧａ
Ｏ3-d）又はランタノイド・アルミネート（ＬｎＡｌＯ
3-d）を基本構造とし、これにアルカリ土類金属（Ａ
０），非遷移金属（Ｂ１）及び遷移金属（Ｂ２）の３種
類の元素をドープした５元系（Ｌｎ＋Ａ０＋Ｂ０＋Ｂ１
＋Ｂ２）の複合酸化物である。
体及び多孔質シートは上記構造体又は多孔質シートに載
せられる成形体又は脱脂物と同一系材料により形成され
ることが好ましい。特に、成形体又は脱脂物が次の一般
式（１）で表される酸化物イオン伝導体又は酸化物イオ
ン混合伝導体により形成されている場合に、本発明のセ
ッター、即ち三次元網状多孔質構造体又はこの構造体及
び多孔質シートを次の一般式（１）で表される酸化物イ
オン伝導体又は酸化物イオン混合伝導体により形成する
ことが好ましい。 Ｌｎ1-xＡ０xＢ０1-y-zＢ１yＢ２zＯ3-d ……（１） 上記一般式（１）において、Ｌｎはランタノイド系希土
類金属元素であり、Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ及びＳｍか
らなる群より選ばれた１種又は２種以上の元素である。
Ａ０はアルカリ土類金属であり、Ｓｒ，Ｃａ及びＢａか
らなる群より選ばれた１種又は２種以上の元素であり、
Ｂ０はＧａ又はＡｌ（アルミニウム）のいずれかの元素
である。Ｂ１は非遷移金属であり、Ｂ０がＧａの場合に
はＭｇ，Ａｌ（アルミニウム）及びＩｎからなる群より
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｂ０がＡｌ
（アルミニウム）の場合にはＭｇ及びＩｎからなる群よ
り選ばれた１種又は２種の元素である。Ｂ２は遷移金属
であり、Ｃｏ，Ｆｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる群より選ば
れた１種又は２種以上の元素である。即ち、本発明の酸
化物イオン伝導体はランタノイド・ガレート（ＬｎＧａ
Ｏ3-d）又はランタノイド・アルミネート（ＬｎＡｌＯ
3-d）を基本構造とし、これにアルカリ土類金属（Ａ
０），非遷移金属（Ｂ１）及び遷移金属（Ｂ２）の３種
類の元素をドープした５元系（Ｌｎ＋Ａ０＋Ｂ０＋Ｂ１
＋Ｂ２）の複合酸化物である。
【００２０】また一般式（１）で表される酸化物イオン
伝導体又は酸化物イオン混合伝導体はペロブスカイト型
結晶構造を有し、ＡＢＯ3-dで示されるペロブスカイト
型結晶のＡサイトを上記式（１）のＬｎ元素及びＡ０元
素が占め、ＢサイトをＢ０元素，Ｂ１元素及びＢ２元素
が占める。本来は３価金属が占めるＡサイト及びＢサイ
トの一部を２価金属（例えば、Ａサイトを占める上記Ａ
０元素，Ｂサイトを占める上記Ｂ１元素）及び遷移金属
（Ｂサイトを占める上記Ｂ２元素）が占めることにより
酸素空孔を生じ、この酸素空孔により酸化物イオン伝導
性が現れる。従って、酸素原子数はこの酸素空孔の分だ
け減少することになる。
伝導体又は酸化物イオン混合伝導体はペロブスカイト型
結晶構造を有し、ＡＢＯ3-dで示されるペロブスカイト
型結晶のＡサイトを上記式（１）のＬｎ元素及びＡ０元
素が占め、ＢサイトをＢ０元素，Ｂ１元素及びＢ２元素
が占める。本来は３価金属が占めるＡサイト及びＢサイ
トの一部を２価金属（例えば、Ａサイトを占める上記Ａ
０元素，Ｂサイトを占める上記Ｂ１元素）及び遷移金属
（Ｂサイトを占める上記Ｂ２元素）が占めることにより
酸素空孔を生じ、この酸素空孔により酸化物イオン伝導
性が現れる。従って、酸素原子数はこの酸素空孔の分だ
け減少することになる。
【００２１】一般式（１）のｘはＡ０元素の原子比であ
り、０．０５〜０．３、好ましくは０．１０〜０．２５
の範囲に設定される。ｙはＢ１元素の原子比であり、０
〜０．２９、好ましくは０．０２５〜０．１７の範囲に
設定される。ｚはＢ２元素の原子比であり、０．０１〜
０．３の範囲に設定される。ｚを０．０１〜０．１５、
好ましくは０．０２〜０．１５の範囲に設定すれば、酸
化物イオン伝導体となり、ｚを０．１５〜０．３、好ま
しくは０．１５〜０．２５の範囲に設定すれば、酸化物
イオン混合伝導体となる。（ｙ＋ｚ）は０．０１〜０．
３、好ましくは０．１０〜０．２５の範囲に設定され
る。ｘを０．０５〜０．３の範囲に限定したのは上記範
囲を外れると電気伝導性が低下するためである。ｙを０
〜０．２９の範囲に限定したのは、０．２９を超える
と、還元雰囲気下において電気伝導性が低くなるためで
ある。ｚを０．０１〜０．３の範囲に限定したのは、ｚ
が増大するほど電気伝導性は高くなるが、イオン輸率
（酸化物イオン伝導性の割合）が低下するため、上記範
囲が最適な範囲となる。（ｙ＋ｚ）を０．０１〜０．３
の範囲に限定したのは、（ｙ＋ｚ）が大きくなるにつれ
て電気伝導性が高くなるが、イオン輸率が低下するた
め、上記範囲が最適な範囲となる。このように一般式
（１）で表された酸化物イオン伝導体又は酸化物イオン
混合伝導体により形成されたセッターと同一系材料によ
り形成されて脱脂後焼成された焼成体は、最適な電気伝
導性及びイオン輸率を示す。
り、０．０５〜０．３、好ましくは０．１０〜０．２５
の範囲に設定される。ｙはＢ１元素の原子比であり、０
〜０．２９、好ましくは０．０２５〜０．１７の範囲に
設定される。ｚはＢ２元素の原子比であり、０．０１〜
０．３の範囲に設定される。ｚを０．０１〜０．１５、
好ましくは０．０２〜０．１５の範囲に設定すれば、酸
化物イオン伝導体となり、ｚを０．１５〜０．３、好ま
しくは０．１５〜０．２５の範囲に設定すれば、酸化物
イオン混合伝導体となる。（ｙ＋ｚ）は０．０１〜０．
３、好ましくは０．１０〜０．２５の範囲に設定され
る。ｘを０．０５〜０．３の範囲に限定したのは上記範
囲を外れると電気伝導性が低下するためである。ｙを０
〜０．２９の範囲に限定したのは、０．２９を超える
と、還元雰囲気下において電気伝導性が低くなるためで
ある。ｚを０．０１〜０．３の範囲に限定したのは、ｚ
が増大するほど電気伝導性は高くなるが、イオン輸率
（酸化物イオン伝導性の割合）が低下するため、上記範
囲が最適な範囲となる。（ｙ＋ｚ）を０．０１〜０．３
の範囲に限定したのは、（ｙ＋ｚ）が大きくなるにつれ
て電気伝導性が高くなるが、イオン輸率が低下するた
め、上記範囲が最適な範囲となる。このように一般式
（１）で表された酸化物イオン伝導体又は酸化物イオン
混合伝導体により形成されたセッターと同一系材料によ
り形成されて脱脂後焼成された焼成体は、最適な電気伝
導性及びイオン輸率を示す。
【００２２】なお、ｄは０．０３〜０．４４５の範囲に
設定される。一般式（１）において酸素の原子比を（３
−ｄ）で表示した（実際の酸素の原子比は３以下であ
る。）が、これは酸素空孔の数が添加元素（Ａ０，Ｂ１
及びＢ２）の種類のみならず、温度，酸素分圧，Ｂ２元
素の種類及び量によっても変動し、酸素の原子比を正確
に表示することが困難なためである。またＢ２元素とし
て、Ｃｏ，Ｆｅ，Ｎｉ又はＣｕを用いると、低温側（約
６５０℃）でも高い電気伝導性を示す。
設定される。一般式（１）において酸素の原子比を（３
−ｄ）で表示した（実際の酸素の原子比は３以下であ
る。）が、これは酸素空孔の数が添加元素（Ａ０，Ｂ１
及びＢ２）の種類のみならず、温度，酸素分圧，Ｂ２元
素の種類及び量によっても変動し、酸素の原子比を正確
に表示することが困難なためである。またＢ２元素とし
て、Ｃｏ，Ｆｅ，Ｎｉ又はＣｕを用いると、低温側（約
６５０℃）でも高い電気伝導性を示す。
【００２３】また三次元網状多孔質構造体又はこの構造
体及び多孔質シートを次の一般式（２）で表される酸化
物イオン混合伝導体により形成することもできる。 Ａ２1-xＣａxＢ０1-yＢ３yＯ3-d ……（２） 上記一般式（２）において、Ａ２は３価イオンの８配位
イオン半径が１．０５〜１．１５Åからなる群より選ば
れた１種又は２種以上のランタノイド金属であり、Ｂ０
はＧａ又はＡｌ（アルミニウム）のいずれかの元素であ
る。Ｂ３はＣｏ，Ｆｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる群より選
ばれた１種又は２種以上の元素である。またｘは０．０
５〜０．３、好ましくは０．０５〜０．２の範囲で設定
され、ｙは０．０５〜０．３、好ましくは０．０８〜
０．２の範囲で設定される。更にｄは０．０５〜０．３
である。
体及び多孔質シートを次の一般式（２）で表される酸化
物イオン混合伝導体により形成することもできる。 Ａ２1-xＣａxＢ０1-yＢ３yＯ3-d ……（２） 上記一般式（２）において、Ａ２は３価イオンの８配位
イオン半径が１．０５〜１．１５Åからなる群より選ば
れた１種又は２種以上のランタノイド金属であり、Ｂ０
はＧａ又はＡｌ（アルミニウム）のいずれかの元素であ
る。Ｂ３はＣｏ，Ｆｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる群より選
ばれた１種又は２種以上の元素である。またｘは０．０
５〜０．３、好ましくは０．０５〜０．２の範囲で設定
され、ｙは０．０５〜０．３、好ましくは０．０８〜
０．２の範囲で設定される。更にｄは０．０５〜０．３
である。
【００２４】上記一般式（２）で表される酸化物イオン
混合伝導体もやはりペロブスカイト型結晶構造の材料で
あり、Ａ２元素としては、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍ，Ｃｅ，Ｅ
ｕ，Ｇｄ等を用いることが好ましく、特にＮｄを用いる
ことが好ましい。またｘを０．０５〜０．３の範囲に、
ｙを０．０５〜０．３の範囲にそれぞれ限定したのは、
これらの範囲を外れると電気伝導性が低下するためであ
る。上記一般式（２）で表される酸化物イオン混合伝導
体により形成されたセッターと同一系材料により形成さ
れて脱脂後焼成された焼成体は、一般式（１）で表され
る酸化物イオン伝導体又は酸化物イオン混合伝導体によ
り形成されて脱脂後焼成された焼成体より更に高い電気
伝導性を示す。
混合伝導体もやはりペロブスカイト型結晶構造の材料で
あり、Ａ２元素としては、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍ，Ｃｅ，Ｅ
ｕ，Ｇｄ等を用いることが好ましく、特にＮｄを用いる
ことが好ましい。またｘを０．０５〜０．３の範囲に、
ｙを０．０５〜０．３の範囲にそれぞれ限定したのは、
これらの範囲を外れると電気伝導性が低下するためであ
る。上記一般式（２）で表される酸化物イオン混合伝導
体により形成されたセッターと同一系材料により形成さ
れて脱脂後焼成された焼成体は、一般式（１）で表され
る酸化物イオン伝導体又は酸化物イオン混合伝導体によ
り形成されて脱脂後焼成された焼成体より更に高い電気
伝導性を示す。
【００２５】一方、三次元網状多孔質構造体内に形成さ
れた気孔は、平均直径が好ましくは５〜１０００μｍ、
更に好ましくは１０〜７５０μｍの大径気孔群と、この
大径気孔群を構成する気孔より小径の平均直径が好まし
くは１〜１００μｍ、更に好ましくは１〜５０μｍの気
孔で構成された小径気孔群とにより主としてなる。大径
気孔群の平均直径を５〜１０００μｍに限定したのは、
三次元網状構造体の機械的強度を低下させずにこの構造
体の更なる軽量化を図るためである。
れた気孔は、平均直径が好ましくは５〜１０００μｍ、
更に好ましくは１０〜７５０μｍの大径気孔群と、この
大径気孔群を構成する気孔より小径の平均直径が好まし
くは１〜１００μｍ、更に好ましくは１〜５０μｍの気
孔で構成された小径気孔群とにより主としてなる。大径
気孔群の平均直径を５〜１０００μｍに限定したのは、
三次元網状構造体の機械的強度を低下させずにこの構造
体の更なる軽量化を図るためである。
【００２６】このように構成された脱脂・焼成用セッタ
ーの製造法を説明する。先ず原料粉末（セラミック粉末
等）と水溶性樹脂結合剤とを含有する通常のシート成形
用の水系スラリーを調製する。上記原料粉末としては、
例えば酸化物系ではアルミナ系，ジルコニア系，マグネ
シア系，ムライト系，サイアロン系等の粉末が用いら
れ、非酸化物系では炭化珪素系，窒化珪素系，窒化アル
ミニウム系，グラファイト系等の粉末が用いられるが、
市販品を利用できない場合、例えば上記一般式（１）又
は（２）で表される酸化物イオン伝導体粉末又は酸化物
イオン混合伝導体粉末の場合には下記の方法で得ること
ができる。上記一般式（１）又は（２）で表される組成
物、或いは熱分解して酸化物になる前駆物質（例えば、
炭酸塩，カルボン酸等）を所定の組成比になるような割
合で混合し、仮焼成した後、ボールミル等で粉砕するこ
とにより、酸化物イオン伝導体粉末又は酸化物イオン混
合伝導体粉末を調製することができる。原料粉末の平均
粒径は０．５〜５００μｍの範囲が好ましく、より好ま
しくは０．５〜２００μｍである。
ーの製造法を説明する。先ず原料粉末（セラミック粉末
等）と水溶性樹脂結合剤とを含有する通常のシート成形
用の水系スラリーを調製する。上記原料粉末としては、
例えば酸化物系ではアルミナ系，ジルコニア系，マグネ
シア系，ムライト系，サイアロン系等の粉末が用いら
れ、非酸化物系では炭化珪素系，窒化珪素系，窒化アル
ミニウム系，グラファイト系等の粉末が用いられるが、
市販品を利用できない場合、例えば上記一般式（１）又
は（２）で表される酸化物イオン伝導体粉末又は酸化物
イオン混合伝導体粉末の場合には下記の方法で得ること
ができる。上記一般式（１）又は（２）で表される組成
物、或いは熱分解して酸化物になる前駆物質（例えば、
炭酸塩，カルボン酸等）を所定の組成比になるような割
合で混合し、仮焼成した後、ボールミル等で粉砕するこ
とにより、酸化物イオン伝導体粉末又は酸化物イオン混
合伝導体粉末を調製することができる。原料粉末の平均
粒径は０．５〜５００μｍの範囲が好ましく、より好ま
しくは０．５〜２００μｍである。
【００２７】次いで上記水系スラリーに、水より蒸気圧
が大きい非水溶性有機溶剤，界面活性剤，水溶性樹脂結
合剤，可塑剤及び水を混合して、非水溶性有機溶剤含有
スラリーを調製する。このスラリーは気泡剤となる非水
溶性有機溶剤を含有している点を除けば、通常のシート
成形法に用いる水系スラリーと同じである。非水溶性有
機溶剤は蒸気圧が水より大きければ特に制限されない
が、好ましいのは炭素数５〜８の炭化水素系溶剤であ
る。その具体例としては、ネオペンタン，ヘキサン，イ
ソヘキサン，ヘプタン，イソヘプタン，オクタン，ベン
ゼン，トルエン等が挙げられる。
が大きい非水溶性有機溶剤，界面活性剤，水溶性樹脂結
合剤，可塑剤及び水を混合して、非水溶性有機溶剤含有
スラリーを調製する。このスラリーは気泡剤となる非水
溶性有機溶剤を含有している点を除けば、通常のシート
成形法に用いる水系スラリーと同じである。非水溶性有
機溶剤は蒸気圧が水より大きければ特に制限されない
が、好ましいのは炭素数５〜８の炭化水素系溶剤であ
る。その具体例としては、ネオペンタン，ヘキサン，イ
ソヘキサン，ヘプタン，イソヘプタン，オクタン，ベン
ゼン，トルエン等が挙げられる。
【００２８】界面活性剤は特に制限されず、食器洗い用
の中性洗剤でもよい。水溶性樹脂結合剤の例としては、
メチルセルロース，ヒドロキシプロピルメチルセルロー
ス，ヒドロキシエチルメチルセルロース，カルボキシメ
チルセルロースアンモニウム，エチルセルロース，ポリ
ビニルアルコール等がある。可塑剤は必要に応じて使用
すればよく、多価アルコール，油脂，エーテル，エステ
ルから選ぶことができる。具体例としては、ポリエチレ
ングリコール，オリーブ油，石油エーテル，フタル酸ジ
ノルマルブチル，ソルビタンモノオレート，グリセリン
等がある。上記各成分の配合割合は、原料粉末が５〜８
０重量％、非水溶性有機溶剤が０．０５〜１０重量％、
水溶性樹脂結合剤が０．５〜２０重量％、界面活性剤が
０．０５〜１０重量％、可塑剤が１５重量％以下（ゼロ
でもよい。）、残りが水となることが好ましい。
の中性洗剤でもよい。水溶性樹脂結合剤の例としては、
メチルセルロース，ヒドロキシプロピルメチルセルロー
ス，ヒドロキシエチルメチルセルロース，カルボキシメ
チルセルロースアンモニウム，エチルセルロース，ポリ
ビニルアルコール等がある。可塑剤は必要に応じて使用
すればよく、多価アルコール，油脂，エーテル，エステ
ルから選ぶことができる。具体例としては、ポリエチレ
ングリコール，オリーブ油，石油エーテル，フタル酸ジ
ノルマルブチル，ソルビタンモノオレート，グリセリン
等がある。上記各成分の配合割合は、原料粉末が５〜８
０重量％、非水溶性有機溶剤が０．０５〜１０重量％、
水溶性樹脂結合剤が０．５〜２０重量％、界面活性剤が
０．０５〜１０重量％、可塑剤が１５重量％以下（ゼロ
でもよい。）、残りが水となることが好ましい。
【００２９】上記非水溶性有機溶剤含有スラリーをよく
混合して、公知のドクタブレード法やスリップキャステ
ィング法等のシート成形法によりシート状の成形体を作
製する。この成形体を大気中５〜４０℃で３０〜１８０
分間保持すると、水が蒸発するより先に、水より蒸気圧
が大きい非水溶性有機溶剤が気化して蒸発する。例え
ば、非水溶性有機溶剤が上記の炭化水素系溶剤である場
合には、５℃以上の温度でこの有機溶剤の蒸発が起こ
る。上記保持温度は、水の蒸発が急激に起こらないよう
に、比較的低温、例えば４０℃以下であることが好まし
い。蒸発する溶剤はスラリー中に分散して閉じ込められ
ていたため、これが気化する際の体積膨張により溶剤蒸
発後には成形体に大きな気孔が残る。水も蒸発させて乾
燥が終了すると、大きな気孔が多数形成された三次元網
状多孔質構造体が得られる。この大きな気孔は原料粉末
の粒径より著しく大きいが、大きさは比較的よく揃って
いる。この構造体は樹脂結合剤と可塑剤を含むため、気
孔率が大きくても、ハンドリング可能な強度を有する。
混合して、公知のドクタブレード法やスリップキャステ
ィング法等のシート成形法によりシート状の成形体を作
製する。この成形体を大気中５〜４０℃で３０〜１８０
分間保持すると、水が蒸発するより先に、水より蒸気圧
が大きい非水溶性有機溶剤が気化して蒸発する。例え
ば、非水溶性有機溶剤が上記の炭化水素系溶剤である場
合には、５℃以上の温度でこの有機溶剤の蒸発が起こ
る。上記保持温度は、水の蒸発が急激に起こらないよう
に、比較的低温、例えば４０℃以下であることが好まし
い。蒸発する溶剤はスラリー中に分散して閉じ込められ
ていたため、これが気化する際の体積膨張により溶剤蒸
発後には成形体に大きな気孔が残る。水も蒸発させて乾
燥が終了すると、大きな気孔が多数形成された三次元網
状多孔質構造体が得られる。この大きな気孔は原料粉末
の粒径より著しく大きいが、大きさは比較的よく揃って
いる。この構造体は樹脂結合剤と可塑剤を含むため、気
孔率が大きくても、ハンドリング可能な強度を有する。
【００３０】この構造体を乾燥した後に、酸化物系では
大気雰囲気中、非酸化物系では真空中又は窒素ガス雰囲
気中で焼成すると、焼成後も三次元網状多孔質構造が保
持される。なお焼成前に、焼成温度より低温に加熱して
シートから有機物（例えば、結合剤，可塑剤，界面活性
剤）を除去する脱脂を行ってもよい。焼成後に得られた
三次元網状多孔質構造体は骨格を形成している原料粉末
の粒径より著しく大きな気孔（大径気孔群）が多数存在
し、三次元網状多孔質構造になっている。この大径気孔
群に加えて、骨格自体が原料粉末の焼成により形成され
た多孔質体であるため小さい気孔（小径気孔群）が多数
存在する。
大気雰囲気中、非酸化物系では真空中又は窒素ガス雰囲
気中で焼成すると、焼成後も三次元網状多孔質構造が保
持される。なお焼成前に、焼成温度より低温に加熱して
シートから有機物（例えば、結合剤，可塑剤，界面活性
剤）を除去する脱脂を行ってもよい。焼成後に得られた
三次元網状多孔質構造体は骨格を形成している原料粉末
の粒径より著しく大きな気孔（大径気孔群）が多数存在
し、三次元網状多孔質構造になっている。この大径気孔
群に加えて、骨格自体が原料粉末の焼成により形成され
た多孔質体であるため小さい気孔（小径気孔群）が多数
存在する。
【００３１】なお、焼成前の三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより加熱温度及び圧力をパラメータとし
て厚さ方向に加熱圧縮すると、構造体をの嵩密度を任意
に制御するとができる。また、ポアフォーマ添加法等の
非発泡シート成形法により上記構造体の気孔より小径の
気孔を有する多孔質シートを形成し、この多孔質シート
を上記構造体に加熱圧着して積層体を形成し、更にこの
積層体を焼成してもよい。ポアフォーマ添加法とは、セ
ラミック粉末に予め粒子状又はビーズ状のポアフォーマ
と呼ばれる有機物を添加して成形した後に、この有機物
を除去する脱脂を行い焼成することにより、気孔を形成
する方法をいう。このポアフォーマ添加法で作製された
多孔質シートは気孔が５０μｍ以下と小さいため、上記
三次元網状多孔質構造体より表面粗さが小さい。
ホットプレスにより加熱温度及び圧力をパラメータとし
て厚さ方向に加熱圧縮すると、構造体をの嵩密度を任意
に制御するとができる。また、ポアフォーマ添加法等の
非発泡シート成形法により上記構造体の気孔より小径の
気孔を有する多孔質シートを形成し、この多孔質シート
を上記構造体に加熱圧着して積層体を形成し、更にこの
積層体を焼成してもよい。ポアフォーマ添加法とは、セ
ラミック粉末に予め粒子状又はビーズ状のポアフォーマ
と呼ばれる有機物を添加して成形した後に、この有機物
を除去する脱脂を行い焼成することにより、気孔を形成
する方法をいう。このポアフォーマ添加法で作製された
多孔質シートは気孔が５０μｍ以下と小さいため、上記
三次元網状多孔質構造体より表面粗さが小さい。
【００３２】このように製造された脱脂・焼成用セッタ
ーは、その構造が三次元網状多孔質構造を有するため、
気孔率を５０％以上にしても機械的強度が高く、厚さも
従来のものより薄くすることができる。この結果、軽量
で取扱い易く、かつ原料コスト及び製造コストを抑制で
きるセッターを得ることができる。また必要に応じて上
記構造体と、ポアフォーマ添加法等の非発泡シート成形
法により成形した表面粗さの小さい多孔質シートとを加
熱圧着すれば、機械的強度が更に向上し、かつ表面粗さ
の小さい脱脂・焼成用セッターを製造することができ
る。
ーは、その構造が三次元網状多孔質構造を有するため、
気孔率を５０％以上にしても機械的強度が高く、厚さも
従来のものより薄くすることができる。この結果、軽量
で取扱い易く、かつ原料コスト及び製造コストを抑制で
きるセッターを得ることができる。また必要に応じて上
記構造体と、ポアフォーマ添加法等の非発泡シート成形
法により成形した表面粗さの小さい多孔質シートとを加
熱圧着すれば、機械的強度が更に向上し、かつ表面粗さ
の小さい脱脂・焼成用セッターを製造することができ
る。
【００３３】
【実施例】次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく
説明する。 ＜実施例１＞先ず原料粉末として４４．４重量％のアル
ミナ粉末と、非水溶性有機溶剤として２．３重量％のヘ
キサンと、界面活性剤として８．９重量％の中性洗剤
と、水溶性樹脂結合剤として４．４重量％のメチルセル
ロースと、可塑剤として４．４重量％のグリセリンと、
３５．６重量％の水とを混合して、非水溶性有機溶剤を
含有する水系スラリーを調製し、ドクタブレード法によ
り厚さ３ｍｍの成形体を形成した。次に上記成形体を３
０℃の温度で１時間保持した。この間に成形体中の非水
溶性有機溶剤であるヘキサンが気化してガスとなり、成
形体中に微細でかつ寸法の揃った気孔が多数形成され、
厚さが１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を得た。この
構造体を乾燥した後、ホットプレスにより気孔率が７０
％になるように加熱圧縮した後、大気中１６５０℃で１
０時間焼成して、三次元網状多孔質構造を有する脱脂・
焼成用セッターを得た。このセッターを実施例１とし
た。このセッターを走査型電子顕微鏡で撮影した写真を
図１に示す。
説明する。 ＜実施例１＞先ず原料粉末として４４．４重量％のアル
ミナ粉末と、非水溶性有機溶剤として２．３重量％のヘ
キサンと、界面活性剤として８．９重量％の中性洗剤
と、水溶性樹脂結合剤として４．４重量％のメチルセル
ロースと、可塑剤として４．４重量％のグリセリンと、
３５．６重量％の水とを混合して、非水溶性有機溶剤を
含有する水系スラリーを調製し、ドクタブレード法によ
り厚さ３ｍｍの成形体を形成した。次に上記成形体を３
０℃の温度で１時間保持した。この間に成形体中の非水
溶性有機溶剤であるヘキサンが気化してガスとなり、成
形体中に微細でかつ寸法の揃った気孔が多数形成され、
厚さが１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を得た。この
構造体を乾燥した後、ホットプレスにより気孔率が７０
％になるように加熱圧縮した後、大気中１６５０℃で１
０時間焼成して、三次元網状多孔質構造を有する脱脂・
焼成用セッターを得た。このセッターを実施例１とし
た。このセッターを走査型電子顕微鏡で撮影した写真を
図１に示す。
【００３４】＜実施例２＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多
孔質構造体をホットプレスにより気孔率が６２％になる
ように加熱圧縮したことを除いて、実施例１と同様にし
てセッターを得た。このセッターを実施例２とした。 ＜実施例３＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が５８％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを実施例３とした。 ＜実施例４＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が５０％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを実施例４とした。
孔質構造体をホットプレスにより気孔率が６２％になる
ように加熱圧縮したことを除いて、実施例１と同様にし
てセッターを得た。このセッターを実施例２とした。 ＜実施例３＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が５８％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを実施例３とした。 ＜実施例４＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が５０％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを実施例４とした。
【００３５】＜実施例５＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多
孔質構造体をホットプレスにより気孔率が４６％になる
ように加熱圧縮したことを除いて、実施例１と同様にし
てセッターを得た。このセッターを実施例５とした。 ＜実施例６＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が３８％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを実施例６とした。 ＜実施例７＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が３２％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを実施例７とした。
孔質構造体をホットプレスにより気孔率が４６％になる
ように加熱圧縮したことを除いて、実施例１と同様にし
てセッターを得た。このセッターを実施例５とした。 ＜実施例６＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が３８％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを実施例６とした。 ＜実施例７＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が３２％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを実施例７とした。
【００３６】＜実施例８＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多
孔質構造体をホットプレスにより気孔率が２５％になる
ように加熱圧縮したことを除いて、実施例１と同様にし
てセッターを得た。このセッターを実施例８とした。 ＜実施例９＞Ｌａ0.8Ｓｒ0.2Ａｌ0.8Ｍｇ0.15Ｃｏ0.05
Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質体をホットプレス
により気孔率が５０％となるように加熱圧縮した後、大
気中１５００℃で１０時間焼成したことを除いて、実施
例１と同様にしてセッターを得た。このセッターを実施
例９とした。 ＜実施例１０＞Ｌａ0.85Ｓｒ0.15Ａｌ0.82Ｍｇ0.14Ｃｏ
0.04Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質体を用いたこ
とを除いて、実施例９と同様にしてセッターを作製し
た。このセッターを実施例１０とした。
孔質構造体をホットプレスにより気孔率が２５％になる
ように加熱圧縮したことを除いて、実施例１と同様にし
てセッターを得た。このセッターを実施例８とした。 ＜実施例９＞Ｌａ0.8Ｓｒ0.2Ａｌ0.8Ｍｇ0.15Ｃｏ0.05
Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質体をホットプレス
により気孔率が５０％となるように加熱圧縮した後、大
気中１５００℃で１０時間焼成したことを除いて、実施
例１と同様にしてセッターを得た。このセッターを実施
例９とした。 ＜実施例１０＞Ｌａ0.85Ｓｒ0.15Ａｌ0.82Ｍｇ0.14Ｃｏ
0.04Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質体を用いたこ
とを除いて、実施例９と同様にしてセッターを作製し
た。このセッターを実施例１０とした。
【００３７】＜実施例１１＞Ｌａ0.85Ｓｒ0.15Ａｌ0.85
Ｍｇ0.12Ｃｏ0.03Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質
体を用いたことを除いて、実施例９と同様にしてセッタ
ーを作製した。このセッターを実施例１１とした。 ＜実施例１２＞Ｌａ0.85Ｓｒ0.15Ａｌ0.9Ｍｇ0.08Ｃｏ
0.02Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質体を用いたこ
とを除いて、実施例９と同様にしてセッターを作製し
た。このセッターを実施例１２とした。 ＜実施例１３＞Ｌａ0.8Ｓｒ0.2Ｇａ0.8Ｍｇ0.15Ｃｏ
0.05Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質体を用いたこ
とを除いて、実施例９と同様にしてセッターを作製し
た。このセッターを実施例１３とした。
Ｍｇ0.12Ｃｏ0.03Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質
体を用いたことを除いて、実施例９と同様にしてセッタ
ーを作製した。このセッターを実施例１１とした。 ＜実施例１２＞Ｌａ0.85Ｓｒ0.15Ａｌ0.9Ｍｇ0.08Ｃｏ
0.02Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質体を用いたこ
とを除いて、実施例９と同様にしてセッターを作製し
た。このセッターを実施例１２とした。 ＜実施例１３＞Ｌａ0.8Ｓｒ0.2Ｇａ0.8Ｍｇ0.15Ｃｏ
0.05Ｏ3の組成を有する三次元網状多孔質体を用いたこ
とを除いて、実施例９と同様にしてセッターを作製し
た。このセッターを実施例１３とした。
【００３８】＜比較例１＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多
孔質構造体を加熱圧縮せずに焼成したことを除いて、実
施例１と同様にしてセッターを得た。このセッターを比
較例１とした。 ＜比較例２＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が８０％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを比較例２とした。 ＜比較例３＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が７５％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを比較例３とした。
孔質構造体を加熱圧縮せずに焼成したことを除いて、実
施例１と同様にしてセッターを得た。このセッターを比
較例１とした。 ＜比較例２＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が８０％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを比較例２とした。 ＜比較例３＞厚さ１２ｍｍの三次元網状多孔質構造体を
ホットプレスにより気孔率が７５％になるように加熱圧
縮したことを除いて、実施例１と同様にしてセッターを
得た。このセッターを比較例３とした。
【００３９】＜比較例４＞Ａｌ2Ｏ3の組成を有するセッ
ターを作製し、このセッターを比較例４とした。 ＜比較例５＞ＣａＯ−ＺｒＯ2の組成を有するセッター
を作製し、このセッターを比較例５とした。
ターを作製し、このセッターを比較例４とした。 ＜比較例５＞ＣａＯ−ＺｒＯ2の組成を有するセッター
を作製し、このセッターを比較例５とした。
【００４０】＜比較試験１及び評価＞実施例１〜８及び
比較例１〜３のセッターの気孔率と室温での曲げ強度を
測定した。その結果を表１に示す。なお、セッターの気
孔率はセッターの重量と体積から計算し、曲げ強度は日
本工業規格（ＪＩＳ）に規定された試験片寸法で三点曲
げ試験機を用いて行った。上記三点曲げ試験機に供され
るセッターの試験片寸法は厚さ及び幅がそれぞれ３ｍｍ
及び４ｍｍであり、長さが３６ｍｍ以上であるため、厚
さが３ｍｍ未満となる実施例１〜８及び比較例３では、
複数枚重ねて加熱圧着した後に、厚さが３ｍｍとなるよ
うに機械加工し、かつ幅及び長さが４ｍｍ及び３６ｍｍ
以上となるように機械加工した。また厚さが３ｍｍを越
える比較例１では、厚さが３ｍｍとなるように機械加工
し、かつ幅及び長さが４ｍｍ及び３６ｍｍ以上となるよ
うに機械加工した。更に厚さが３ｍｍである比較例２で
は、厚さはそのままとし、幅及び長さのみを４ｍｍ及び
３６ｍｍとなるように機械加工した。表１にはセッター
の圧縮率も記載した。このセッターの圧縮率Ｐはセッタ
ーの加熱圧縮前後の厚さをそれぞれＴ1及びＴ2とすると
きに、Ｐ＝（Ｔ2／Ｔ1）×１００（％）により算出し
た。
比較例１〜３のセッターの気孔率と室温での曲げ強度を
測定した。その結果を表１に示す。なお、セッターの気
孔率はセッターの重量と体積から計算し、曲げ強度は日
本工業規格（ＪＩＳ）に規定された試験片寸法で三点曲
げ試験機を用いて行った。上記三点曲げ試験機に供され
るセッターの試験片寸法は厚さ及び幅がそれぞれ３ｍｍ
及び４ｍｍであり、長さが３６ｍｍ以上であるため、厚
さが３ｍｍ未満となる実施例１〜８及び比較例３では、
複数枚重ねて加熱圧着した後に、厚さが３ｍｍとなるよ
うに機械加工し、かつ幅及び長さが４ｍｍ及び３６ｍｍ
以上となるように機械加工した。また厚さが３ｍｍを越
える比較例１では、厚さが３ｍｍとなるように機械加工
し、かつ幅及び長さが４ｍｍ及び３６ｍｍ以上となるよ
うに機械加工した。更に厚さが３ｍｍである比較例２で
は、厚さはそのままとし、幅及び長さのみを４ｍｍ及び
３６ｍｍとなるように機械加工した。表１にはセッター
の圧縮率も記載した。このセッターの圧縮率Ｐはセッタ
ーの加熱圧縮前後の厚さをそれぞれＴ1及びＴ2とすると
きに、Ｐ＝（Ｔ2／Ｔ1）×１００（％）により算出し
た。
【００４１】
【表１】
【００４２】表１から明らかなように、比較例１〜３の
気孔率が７０％を超える場合には、曲げ強度が低いのに
対し、実施例１〜８の気孔率が７０〜２５％の範囲で
は、曲げ強度が所定値以上に達していることが判った。
気孔率が７０％を超える場合には、曲げ強度が低いのに
対し、実施例１〜８の気孔率が７０〜２５％の範囲で
は、曲げ強度が所定値以上に達していることが判った。
【００４３】＜比較試験２及び評価＞実施例９〜１３，
比較例４及び５のセッターに、Ｌａ0.8Ｓｒ0.2Ｇａ0.8
Ｍｇ0 .15Ｃｏ0.05Ｏ3の組成を有する膜厚５０μｍのシ
ート（被焼成物）をそれぞれ載せ、大気中で１４５０℃
に６時間保持することにより、上記シートを焼成した。
これらのシート（被焼成物）の組成分析を行った。その
結果を表２に示す。
比較例４及び５のセッターに、Ｌａ0.8Ｓｒ0.2Ｇａ0.8
Ｍｇ0 .15Ｃｏ0.05Ｏ3の組成を有する膜厚５０μｍのシ
ート（被焼成物）をそれぞれ載せ、大気中で１４５０℃
に６時間保持することにより、上記シートを焼成した。
これらのシート（被焼成物）の組成分析を行った。その
結果を表２に示す。
【００４４】
【表２】
【００４５】表２から明らかなように、比較例４及び５
では、各組成の理論値からのずれが大きかったのに対
し、実施例９〜１３では各組成の理論値からのずれが比
較例４及び５より小さかった。
では、各組成の理論値からのずれが大きかったのに対
し、実施例９〜１３では各組成の理論値からのずれが比
較例４及び５より小さかった。
【００４６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、表
面が平坦で、平均直径５〜１０００μｍの気孔を有しか
つ気孔率が７０〜２５％である三次元網状多孔質構造体
によりセッターを形成したので、セッターの気孔率を５
０％以上にしても機械的強度が高い。この結果、セッタ
ーの厚さを薄くすることができるので、セッターを軽量
化でき、かつセッターの取扱いが容易になる。従って、
セッターを製造するための原料コストを低減できるの
で、セッターの製造コストを低減できる。またセッター
の嵩密度が小さいので、セッターの熱容量を小さくで
き、成形体又は脱脂物の脱脂時又は焼成時の昇温速度及
び降温速度を速くすることができる。この結果、成形体
等の脱脂・焼成工程に要する時間を短縮できるので、成
形体等の製造コストを低減できる。またセッターが三次
元網状多孔質構造体であり、気孔が連通しているので、
成形体の脱脂時に成形体内から表面に出てきた油脂が上
記気孔を通ってスムーズに排出される。この結果、成形
体から油脂を速やかに離脱させて脱脂物を得ることがで
きる。
面が平坦で、平均直径５〜１０００μｍの気孔を有しか
つ気孔率が７０〜２５％である三次元網状多孔質構造体
によりセッターを形成したので、セッターの気孔率を５
０％以上にしても機械的強度が高い。この結果、セッタ
ーの厚さを薄くすることができるので、セッターを軽量
化でき、かつセッターの取扱いが容易になる。従って、
セッターを製造するための原料コストを低減できるの
で、セッターの製造コストを低減できる。またセッター
の嵩密度が小さいので、セッターの熱容量を小さくで
き、成形体又は脱脂物の脱脂時又は焼成時の昇温速度及
び降温速度を速くすることができる。この結果、成形体
等の脱脂・焼成工程に要する時間を短縮できるので、成
形体等の製造コストを低減できる。またセッターが三次
元網状多孔質構造体であり、気孔が連通しているので、
成形体の脱脂時に成形体内から表面に出てきた油脂が上
記気孔を通ってスムーズに排出される。この結果、成形
体から油脂を速やかに離脱させて脱脂物を得ることがで
きる。
【００４７】また三次元網状多孔質構造体の表面に、上
記構造体の気孔より小さい平均直径５０μｍ以下の気孔
を有しかつ気孔率が７０〜２５％である多孔質シートを
積層すれば、気孔が小さく表面粗さの小さい多孔質シー
ト上に成形体又は脱脂物が載せられるので、成形体又は
脱脂物が小型で精密なものであっても、その精度を損な
うことはない。また三次元網状多孔質構造体等をこの構
造体等に載せられる成形体等と同一系材料により形成す
れば、成形体又は脱脂物の脱脂時又は焼成時にこの成形
体等の組成成分がセッターに殆ど移行しないので、成形
体等のいわゆる組成ずれを低減することができる。特に
三次元網状多孔質構造体等を酸化物イオン伝導体又は酸
化物イオン混合伝導体により形成すれば、成形体又は脱
脂物が酸化物イオン伝導体又は酸化物イオン混合伝導体
により形成されている場合に、成形体又は脱脂物の脱脂
時又は焼成時にこの成形体等の組成成分中のＡ０元素，
Ｂ０元素，Ｂ１元素，Ｂ２元素，Ａ２元素，Ｃａ（カル
シウム）元素，Ｂ３元素等がセッターに殆ど移行しない
ので、成形体等の組成ずれを大幅に低減することができ
る。またＢ０元素として高価なＧａではなく安価なＡｌ
（アルミニウム）を用いれば、セッター製造用原料の大
幅なコストダウンを図ることができる。
記構造体の気孔より小さい平均直径５０μｍ以下の気孔
を有しかつ気孔率が７０〜２５％である多孔質シートを
積層すれば、気孔が小さく表面粗さの小さい多孔質シー
ト上に成形体又は脱脂物が載せられるので、成形体又は
脱脂物が小型で精密なものであっても、その精度を損な
うことはない。また三次元網状多孔質構造体等をこの構
造体等に載せられる成形体等と同一系材料により形成す
れば、成形体又は脱脂物の脱脂時又は焼成時にこの成形
体等の組成成分がセッターに殆ど移行しないので、成形
体等のいわゆる組成ずれを低減することができる。特に
三次元網状多孔質構造体等を酸化物イオン伝導体又は酸
化物イオン混合伝導体により形成すれば、成形体又は脱
脂物が酸化物イオン伝導体又は酸化物イオン混合伝導体
により形成されている場合に、成形体又は脱脂物の脱脂
時又は焼成時にこの成形体等の組成成分中のＡ０元素，
Ｂ０元素，Ｂ１元素，Ｂ２元素，Ａ２元素，Ｃａ（カル
シウム）元素，Ｂ３元素等がセッターに殆ど移行しない
ので、成形体等の組成ずれを大幅に低減することができ
る。またＢ０元素として高価なＧａではなく安価なＡｌ
（アルミニウム）を用いれば、セッター製造用原料の大
幅なコストダウンを図ることができる。
【００４８】また三次元網状多孔質構造体内の気孔が、
平均直径５〜１０００μｍの大径気孔群と、この大径気
孔群を構成する気孔より小径の平均直径１〜１００μｍ
の気孔で構成された小径気孔群とを主とすれば、三次元
網状多孔質構造体の大径気孔群を区画する骨格に小径気
孔群が分散されるので、機械的強度を殆ど低減せずに、
セッターを更に軽量化することができる。また水より蒸
気圧の大きい非水溶性有機溶剤を含有する水系スラリー
を用いてシート成形法により成形体を形成し、上記溶剤
を気化させて成形体を三次元網状多孔質構造体にし、こ
の構造体を乾燥した後に焼成すれば、熱分解性樹脂ビー
ズやウレタンを使用しないため、焼成時のガスの発生を
極力抑えることができる。また金型を用いずにセッター
を製造できるので、セッターの製造コストを低減でき
る。
平均直径５〜１０００μｍの大径気孔群と、この大径気
孔群を構成する気孔より小径の平均直径１〜１００μｍ
の気孔で構成された小径気孔群とを主とすれば、三次元
網状多孔質構造体の大径気孔群を区画する骨格に小径気
孔群が分散されるので、機械的強度を殆ど低減せずに、
セッターを更に軽量化することができる。また水より蒸
気圧の大きい非水溶性有機溶剤を含有する水系スラリー
を用いてシート成形法により成形体を形成し、上記溶剤
を気化させて成形体を三次元網状多孔質構造体にし、こ
の構造体を乾燥した後に焼成すれば、熱分解性樹脂ビー
ズやウレタンを使用しないため、焼成時のガスの発生を
極力抑えることができる。また金型を用いずにセッター
を製造できるので、セッターの製造コストを低減でき
る。
【００４９】また上記三次元網状多孔質構造体を上記シ
ート成形法により形成した後に、この構造体を加熱圧縮
して焼成すれば、三次元網状多孔質構造体の加熱圧縮時
に加熱温度及び圧力をパラメータとして上記構造体の厚
さ方向に加熱圧縮することにより、この構造体の密度を
任意に制御することができるので、顧客のニーズに合っ
た気孔率を有するセッターを製造することができる。更
に上記三次元網状多孔質構造体を上記シート成形法によ
り形成した後に、上記構造体にこの構造体の気孔より小
径の気孔を有する多孔質シートを加熱圧着して積層し、
この積層体を焼成すれば、三次元網状多孔質構造体及び
多孔質シートの積層体を効率良く製造することができ
る。
ート成形法により形成した後に、この構造体を加熱圧縮
して焼成すれば、三次元網状多孔質構造体の加熱圧縮時
に加熱温度及び圧力をパラメータとして上記構造体の厚
さ方向に加熱圧縮することにより、この構造体の密度を
任意に制御することができるので、顧客のニーズに合っ
た気孔率を有するセッターを製造することができる。更
に上記三次元網状多孔質構造体を上記シート成形法によ
り形成した後に、上記構造体にこの構造体の気孔より小
径の気孔を有する多孔質シートを加熱圧着して積層し、
この積層体を焼成すれば、三次元網状多孔質構造体及び
多孔質シートの積層体を効率良く製造することができ
る。
【図１】本発明実施例１の三次元網状多孔質構造体の走
査型電子顕微鏡写真。
査型電子顕微鏡写真。
Claims (9)
- 【請求項１】 平均直径５〜１０００μｍの気孔を有し
気孔率が７０〜２５％であって、表面が平坦な三次元網
状多孔質構造体からなる脱脂・焼成用セッター。 - 【請求項２】 三次元網状多孔質構造体の表面に前記構
造体の気孔より小さい平均直径５０μｍ以下の気孔を有
し気孔率が７０〜２５％である多孔質シートが積層され
た請求項１記載の脱脂・焼成用セッター。 - 【請求項３】 三次元網状多孔質構造体又は前記構造体
及び多孔質シートが前記構造体又は前記多孔質シートに
載せられる成形体又は脱脂物と同一系材料により形成さ
れた請求項１又は２記載の脱脂・焼成用セッター。 - 【請求項４】 三次元網状多孔質構造体又は前記構造体
及び多孔質シートが次の一般式（１）で表される請求項
１ないし３いずれか記載の脱脂・焼成用セッター。 Ｌｎ1-xＡ０xＢ０1-y-zＢ１yＢ２zＯ3-d ……（１） 但し、ＬｎはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ及びＳｍからなる
群より選ばれた１種又は２種以上の元素；Ａ０はＳｒ，
Ｃａ及びＢａからなる群より選ばれた１種又は２種以上
の元素；Ｂ０はＧａ又はＡｌ（アルミニウム）のいずれ
かの元素；Ｂ１はＢ０がＧａの場合にはＭｇ，Ａｌ（ア
ルミニウム）及びＩｎからなる群より選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｂ０がＡｌ（アルミニウム）の
場合にはＭｇ及びＩｎからなる群より選ばれた１種又は
２種の元素；Ｂ２はＣｏ，Ｆｅ，Ｎｉ及びＣｕからなる
群より選ばれた１種又は２種以上の元素；ｘは０．０５
〜０．３；ｙは０〜０．２９；ｚは０．０１〜０．３；
（ｙ＋ｚ）は０．０１〜０．３；ｄは０．０３〜０．４
４５である。 - 【請求項５】 三次元網状多孔質構造体又は前記構造体
及び多孔質シートが次の一般式（２）で表される請求項
１ないし３いずれか記載の脱脂・焼成用セッター。 Ａ２1-xＣａxＢ０1-yＢ３yＯ3-d ……（２） 但し、Ａ２は３価イオンの８配位イオン半径が１．０５
〜１．１５Åからなる群より選ばれた１種又は２種以上
のランタノイド金属；Ｂ０はＧａ又はＡｌ（アルミニウ
ム）のいずれかの元素；Ｂ３はＣｏ，Ｆｅ，Ｎｉ及びＣ
ｕからなる群より選ばれた１種又は２種以上の元素；ｘ
は０．０５〜０．３；ｙは０．０５〜０．３；ｄは０．
０５〜０．３である。 - 【請求項６】 三次元網状多孔質構造体内に形成された
気孔が平均直径５〜１０００μｍの大径気孔群と前記大
径気孔群を構成する気孔より小径の平均直径１〜１００
μｍの気孔で構成された小径気孔群とにより主としてな
る請求項１ないし５いずれか記載の脱脂・焼成用セッタ
ー。 - 【請求項７】 水より蒸気圧の大きい非水溶性有機溶剤
を含有する水系スラリーを用いてシート成形法により成
形体を形成する工程と、 前記溶剤を気化させて前記成形体を三次元網状多孔質構
造体にした後にこの構造体を乾燥する工程と、 前記構造体を焼成する工程とを含む脱脂・焼成用セッタ
ーの製造方法。 - 【請求項８】 水より蒸気圧の大きい非水溶性有機溶剤
を含有する水系スラリーを用いてシート成形法により成
形体を形成する工程と、 前記溶剤を気化させて前記成形体を三次元網状多孔質構
造体にした後にこの構造体を乾燥する工程と、 前記構造体を加熱圧縮する工程と、 前記加熱圧縮された構造体を焼成する工程とを含む脱脂
・焼成用セッターの製造方法。 - 【請求項９】 水より蒸気圧の大きい非水溶性有機溶剤
を含有する水系スラリーを用いてシート成形法により成
形体を形成する工程と、 前記溶剤を気化させて前記成形体を三次元網状多孔質構
造体にした後にこの構造体を乾燥する工程と、 非発泡シート成形法により前記構造体の気孔より小径の
気孔を有する多孔質シートを形成する工程と、 前記多孔質シートを前記構造体に加熱圧着して積層する
工程と、 前記積層体を焼成する工程とを含む脱脂・焼成用セッタ
ーの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000032572A JP4062845B2 (ja) | 1999-02-26 | 2000-02-10 | 脱脂・焼成用セッター及びその製造方法 |
| DE2000108162 DE10008162A1 (de) | 1999-02-26 | 2000-02-23 | Einstellelement zum Entfetten und/oder Brennen und Verfahren zu dessen Herstellung |
| US09/512,797 US6387480B1 (en) | 1999-02-10 | 2000-02-25 | Setter for defatting and/or firing and method for producing the same |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4966899 | 1999-02-26 | ||
| JP30963199 | 1999-10-29 | ||
| JP11-49668 | 1999-10-29 | ||
| JP11-309631 | 1999-10-29 | ||
| JP2000032572A JP4062845B2 (ja) | 1999-02-26 | 2000-02-10 | 脱脂・焼成用セッター及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001192274A true JP2001192274A (ja) | 2001-07-17 |
| JP4062845B2 JP4062845B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000032572A Expired - Fee Related JP4062845B2 (ja) | 1999-02-10 | 2000-02-10 | 脱脂・焼成用セッター及びその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6387480B1 (ja) |
| JP (1) | JP4062845B2 (ja) |
| DE (1) | DE10008162A1 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050119016A (ko) * | 2004-06-15 | 2005-12-20 | 김계태 | 탈바인더 세터 및 이를 구비한 탈바인더 장치 |
| US7125600B2 (en) | 2004-05-24 | 2006-10-24 | Tdk Corporation | Setter, method for manufacturing ceramic substrate, and ceramic substrate |
| US7413702B2 (en) | 2005-06-30 | 2008-08-19 | Honeywell International Inc. | Advanced sintering process and tools for use in metal injection molding of large parts |
| KR20110013801A (ko) * | 2009-08-03 | 2011-02-10 | 주식회사 포스코 | 세라믹 제조용 세터와 이의 제조 방법 |
| JP2016038194A (ja) * | 2014-08-12 | 2016-03-22 | 東北セラミック株式会社 | 脱脂・焼成用セッター |
| JP2020164376A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 日本碍子株式会社 | 焼成治具 |
| CN115594503A (zh) * | 2022-12-14 | 2023-01-13 | 中国人民解放军国防科技大学（Cn） | 一种钙和铁共掺杂的NdAlO3陶瓷材料及其制备方法和应用 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2517940A1 (en) * | 2004-09-24 | 2006-03-24 | Ems-Chemie Ag | Injection molding method for manufacturing plastic parts |
| JP5289080B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2013-09-11 | 株式会社オハラ | リチウムイオン二次電池の製造方法 |
| US8133422B2 (en) * | 2008-10-30 | 2012-03-13 | Corning Incorporated | Alkylcellulose salt binder for green body manufacture |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5130067A (en) * | 1986-05-02 | 1992-07-14 | International Business Machines Corporation | Method and means for co-sintering ceramic/metal mlc substrates |
| US4812424A (en) * | 1987-12-02 | 1989-03-14 | The Duriron Company, Inc. | Kiln furniture for the firing of ceramic articles |
| US5139975A (en) * | 1988-07-18 | 1992-08-18 | International Business Machines Corporation | Sintering arrangement for enhancing removal of carbon from ceramic substrate laminates |
| US5053361A (en) * | 1988-07-18 | 1991-10-01 | International Business Machines Corporation | Setter tile for use in sintering of ceramic substrate laminates |
| US4971738A (en) * | 1988-07-18 | 1990-11-20 | International Business Machines Corporation | Enhanced removal of carbon from ceramic substrate laminates |
| DE69314211T2 (de) * | 1992-03-25 | 1998-04-16 | Nissan Chemical Ind Ltd | Darstellung eines Sinterkörpers aus Zirconiumoxid |
| US5840436A (en) * | 1992-06-08 | 1998-11-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Spalling-resistant, creep-resistant and oxidation-resistant setters |
| JP3579155B2 (ja) * | 1995-01-18 | 2004-10-20 | 東芝セラミックス株式会社 | 焼成用道具材 |
| US6057030A (en) * | 1997-07-21 | 2000-05-02 | Kanebo Ltd. | Porous ceramic body and kiln furniture made from a porous ceramic body |
| US6015517A (en) * | 1998-04-08 | 2000-01-18 | International Business Machines Corporation | Controlled porosity for ceramic contact sheets and setter tiles |
| US6146549A (en) * | 1999-08-04 | 2000-11-14 | Eltron Research, Inc. | Ceramic membranes for catalytic membrane reactors with high ionic conductivities and low expansion properties |
-
2000
- 2000-02-10 JP JP2000032572A patent/JP4062845B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-02-23 DE DE2000108162 patent/DE10008162A1/de not_active Ceased
- 2000-02-25 US US09/512,797 patent/US6387480B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7125600B2 (en) | 2004-05-24 | 2006-10-24 | Tdk Corporation | Setter, method for manufacturing ceramic substrate, and ceramic substrate |
| KR20050119016A (ko) * | 2004-06-15 | 2005-12-20 | 김계태 | 탈바인더 세터 및 이를 구비한 탈바인더 장치 |
| US7413702B2 (en) | 2005-06-30 | 2008-08-19 | Honeywell International Inc. | Advanced sintering process and tools for use in metal injection molding of large parts |
| KR20110013801A (ko) * | 2009-08-03 | 2011-02-10 | 주식회사 포스코 | 세라믹 제조용 세터와 이의 제조 방법 |
| KR101595541B1 (ko) | 2009-08-03 | 2016-02-19 | 주식회사 포스코 | 세라믹 제조용 세터와 이의 제조 방법 |
| JP2016038194A (ja) * | 2014-08-12 | 2016-03-22 | 東北セラミック株式会社 | 脱脂・焼成用セッター |
| JP2020164376A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 日本碍子株式会社 | 焼成治具 |
| JP7307578B2 (ja) | 2019-03-29 | 2023-07-12 | 日本碍子株式会社 | 焼成治具 |
| CN115594503A (zh) * | 2022-12-14 | 2023-01-13 | 中国人民解放军国防科技大学（Cn） | 一种钙和铁共掺杂的NdAlO3陶瓷材料及其制备方法和应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4062845B2 (ja) | 2008-03-19 |
| DE10008162A1 (de) | 2000-12-14 |
| US6387480B1 (en) | 2002-05-14 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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