JP2001170461A - エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパックおよびエアフィルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法 - Google Patents

エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパックおよびエアフィルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧力損失が小さくかつ捕集効率が高い、通気
性支持材料をポリテトラフルオロエチレン多孔膜にラミ
ネートしてなる、高性能のフィルター濾材を提供する。 【解決手段】 ポリテトラフルオロエチレン多孔膜およ
びその少なくとも片面にラミネートされた通気性支持材
料を有してなるエアフィルター濾材であって、5.3ｃｍ
／秒の流速で空気を透過させたときの圧力損失（mmH
2O）および粒子径0.10〜0.12μmのジオクチルフタレー
トを用いて測定した捕集効率（％）から、下記式： 【数１】ＰＦ1＝｛−log(透過率(％)／100)／圧力損失
(mmH2O)｝×100 （ここで、透過率（％）は、１００−捕集効率（％）で
ある。）に従って計算されるＰＦ1値が２２を越えるエ
アフィルター濾材。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エアフィルター濾
材、それを用いたエアフィルターパックおよびエアフィ
ルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法に
関し、さらに詳しくは、圧力損失が小さく、かつ粒子捕
集効率が高い、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）多孔膜を含んでなるエアフィルター濾材、それを用
いたエアフィルターパックおよびエアフィルターユニッ
ト並びにエアフィルター濾材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の集積度や液晶の性能が高くなる
につれ、クリーンルームの清浄度は、近年益々高いレベ
ルが要求され、粒子捕集効率のより高いエアフィルター
ユニットが求められている。これまで、そのようなエア
フィルターユニットに用いられる高性能エアフィルタ
ー、特にＨＥＰＡ、ＵＬＰＡは、ガラス繊維を湿式抄紙
した濾材を折って作られていた。しかし、送風動力費を
更に低減するためのエアフィルターユニットの圧力損失
の低減、より高い清浄空間を実現するための捕集効率の
向上が望まれ、ガラス繊維からなるエアフィルターユニ
ットにより高性能（同一圧力損失なら、捕集効率がより
高く、同一捕集効率なら圧力損失がより低い。）を実現
することは非常に困難になっている。
【０００３】そこで、より高性能のエアフィルターユニ
ットを製造するために、ガラス繊維濾材よりも高性能で
あるＰＴＦＥ多孔膜を用いたエアフィルターユニットが
提案されており、ＰＴＦＥ多孔膜を用いれば、ガラス繊
維濾材を用いたＵＬＰＡに比べて同一捕集効率で２／３
の圧力損失になることが報告されている（特開平５−２
０２２１７号公報、ＷＯ９４／１６８０２、ＷＯ９８／
２６８６０）。
【０００４】また、ＰＴＦＥ多孔膜を用いたエアフィル
ターユニットは、製造方法や加工方法によりその性能を
更に向上させることができ、より高性能なＰＴＦＥ多孔
膜が提案されている。（フィルター濾材とするための通
気性支持材料をラミネートしていない）単体での性能が
高いＰＴＦＥ多孔膜単体は、特表平９−５０４７３７号
公報、特開平１０−３００３１号公報、特開平１０−２
８７７５９号公報およびＷＯ９８／２６８６０に提案さ
れており、これらの公報には、エアフィルター濾材の性
能の指標であるＰＦ（Performance Factor）値が高いＰ
ＴＦＥ多孔膜が開示されている。
【０００５】しかし、ＰＴＦＥ多孔膜をエアフィルター
濾材として使用するためには通気性支持材料をラミネー
トすることが実質的に必要となっている。これは、取り
扱い性の点からＰＴＦＥ多孔膜単体の強度を向上させる
とともに、濾材を所望の形状に加工するときに受ける損
傷を防ぐ必要があるからである。ところが、前記のとお
り、ＰＴＦＥ多孔膜単体ではＰＦ値の高いものが知られ
ている（例えば、特開平１０−３００３１号公報にはＰ
Ｆ値が３０のＰＴＦＥ多孔膜が記載されている。）。し
かし、ＰＴＦＥ多孔膜と通気性支持材料がラミネートさ
れたエアフィルター濾材においては、特開平１０―３０
０３１号公報でＰＦ値１９．８のものが、またＷＯ９８
／２６８６０でＰＦ値２１．８のものが知られているも
のの、ＰＦ値が２２を越えるものは知られていなかっ
た。
【０００６】また、プリーツ状に折り曲げたＰＴＦＥ多
孔膜に通気性支持材料をラミネートしたエアフィルター
濾材を有してなるエアフィルターユニットについては、
ＷＯ９８／２６８６０が（どのように作製されたかは明
らかでないが）計算上ＰＦ値が９０．６のものを記載し
ているが、９０．６を越えるものおよびその詳細な製法
は知られていなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の第１の目的
は、圧力損失が小さくかつ捕集効率が高い、通気性支持
材料をＰＴＦＥ多孔膜の少なくとも片面にラミネートし
てなる高性能のエアフィルター濾材を提供することであ
る。本発明の第２の目的は、通気性支持材料をＰＴＦＥ
多孔膜にラミネートしたエアフィルター濾材をプリーツ
加工してなる、圧力損失が小さくかつ捕集効率が高いエ
アフィルターパックを提供することである。本発明の第
３の目的は、通気性支持材料をＰＴＦＥ多孔膜にラミネ
ートしたエアフィルター濾材をプリーツ加工してなるエ
アフィルターパックを枠体内に収納した、圧力損失が小
さくかつ捕集効率が高いエアフィルターユニットを提供
することである。本発明の第４の目的は、通気性支持材
料をＰＴＦＥ多孔膜にラミネートしたエアフィルター濾
材をプリーツ加工してなるエアフィルターパックを枠体
内に収納し、高性能を維持したままでかつコンパクト
（エアフィルター濾材をプリーツ状に折り曲げたエアフ
ィルターパックにおいて、折り高さが低い）なエアフィ
ルターユニットを提供することである。本発明の第５の
目的は、上記のようなエアフィルター濾材の効率的な製
造方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記目
的は、（１）ポリテトラフルオロエチレン多孔膜および
その少なくとも片面にラミネートされた通気性支持材料
を有してなるエアフィルター濾材であって、５．３ｃｍ
／秒の流速で空気を透過させたときの圧力損失（単位：
mmＨ2Ｏ）および粒子径０．１０〜０．１２μｍのジオ
クチルフタレートを用いて測定した捕集効率（単位：
％）から下記式：
【数４】ＰＦ1＝［−log（透過率（％）／１００）／圧
力損失（mmＨ2Ｏ）］×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）であ
る。）に従って計算されるＰＦ1値が２２を越えること
を特徴とするエアフィルター濾材、（２）ポリテトラフ
ルオロエチレン多孔膜およびその少なくとも片面にラミ
ネートされた通気性支持材料を有してなるエアフィルタ
ー濾材をプリーツ加工してなり、１．４ｃｍ／秒の濾材
透過風速で空気を透過させたときの圧力損失（単位：mm
Ｈ2Ｏ）および粒子径０．１０〜０．１２μｍのジオク
チルフタレートを用いて測定した捕集効率（単位：％）
から下記式：
【数５】ＰＦ2＝［−log（透過率（％）／１００）／圧
力損失（mmＨ2Ｏ）］×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）であ
る。）に従って計算されるＰＦ2値が９０．６を越える
ことを特徴とするエアフィルターパック、
【０００９】（３）枠体、および該枠体内に収納された
プリーツ状に折り曲げたエアフィルター濾材からなるエ
アフィルターパックを有してなるエアフィルターユニッ
トであって、該濾材は、ポリテトラフルオロエチレン多
孔膜およびその少なくとも片面にラミネートされた通気
性支持材料を有してなり、１．４ｃｍ／秒の濾材透過風
速で空気を透過させたときの圧力損失（単位：mmＨ
2Ｏ）および粒子径０．１０〜０．１２μｍのジオクチ
ルフタレートを用いて測定した捕集効率（単位：％）か
ら下記式：
【数６】ＰＦ3＝［−log（透過率（％）／１００）／圧
力損失（mmＨ2Ｏ）］×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）であ
る。）に従って計算される該ユニットのＰＦ3値が９
０．６を越えることを特徴とするエアフィルターユニッ
ト、（４）枠体、および該枠体内に収納されたプリーツ
状に折り曲げたエアフィルター濾材からなるエアフィル
ターパックを有してなるエアフィルターユニットであっ
て、該エアフィルターパックは、ポリテトラフルオロエ
チレン多孔膜およびその少なくとも片面にラミネートさ
れた通気性支持材料を有してなる前記ＰＦ1値が２２を
越えるエアフィルター濾材を折り高さを３０mm以下でプ
リーツ加工してなり、かつ１．４ｃｍ／秒の濾材透過風
速で空気を透過させたときの該ユニットの圧力損失が１
mmＨ2Ｏ以上であることを特徴とするエアフィルターユ
ニット、および（５）ポリテトラフルオロエチレン多孔
膜の少なくとも片面に通気性支持材料を加熱下にラミネ
ートし、次いで、ラミネートされたポリテトラフルオロ
エチレン多孔膜および通気性支持材料をラミネート直後
に冷却することを特徴とするエアフィルター濾材の製造
方法により達成される。
【００１０】
【発明の実施の形態】「エアフィルター濾材」本発明の
エアフィルター濾材は、ＰＴＦＥ多孔膜およびその少な
くとも片面にラミネートされた通気性支持材料を有して
なるエアフィルター濾材であって、上記で定義したＰＦ
1値が２２を越えることを特徴とする。
【００１１】本発明のエアフィルター濾材は、通気性支
持材料がＰＴＦＥ多孔膜の少なくとも片面にラミネート
されていればよく、通気性支持材料／ＰＴＦＥ多孔膜か
らなる２層構造、通気性支持材料／ＰＴＦＥ多孔膜／通
気性支持材料からなる３層構造、通気性支持材料／ＰＴ
ＦＥ多孔膜／通気性支持材料／ＰＴＦＥ多孔膜／通気性
支持材料からなる５層構造であってもよい。好ましく
は，通気性支持材料がＰＴＦＥ多孔膜の両面にラミネー
トされている。この場合、ＰＴＦＥ多孔膜の取り扱いが
容易になるとともに、取り扱い時のＰＴＦＥ多孔膜の損
傷を限りなく押さえることができる。
【００１２】ＰＴＦＥ多孔膜は、単層でも、必要に応じ
て複層からなる構成であってよい。複層構造にすること
により、各単層に仮にピンホール等の損傷が発生した場
合にも互いにこれを補うことができるし、求められる濾
材性能に応じて容易に設計することが可能となる。例え
ば、同じ性能のＰＴＦＥ多孔膜を２層とすれば、計算上
圧力損失は２倍になるが、捕集効率を向上させることが
できる。
【００１３】本発明のエアフィルター濾材は、５．３ｃ
ｍ／秒の流速で空気を透過させたときの圧力損失が４mm
Ｈ2Ｏ以上であることが好ましく、更に好ましくは、５
〜１００mmＨ2Ｏであり、更に好ましくは１０〜５０mm
Ｈ2Ｏである。該圧力損失が４mmＨ2Ｏ未満の場合、作製
されたエアフィルターユニットの捕集効率を９９％以上
とすることが困難になる場合があり、また１００mmＨ2
Ｏを越えると作製したエアフィルターユニットの圧力損
失値が非常に大きくなりエアフィルターとして使用が制
限される場合がある。
【００１４】本発明のエアフィルター濾材の特徴は、上
記で定義したＰＦ1値が２２を越えることである。好ま
しくは、ＰＦ1値は少なくとも２３であり、更に好まし
くは少なくとも２４であり、更に好ましくは少なくとも
２５である。より高いＰＦ1値、例えば少なくとも２
３、少なくとも２４、少なくとも２５のエアフィルター
濾材であれば、より高性能（高ＰＦ2値、ＰＦ3値）のエ
アフィルターパック、エアフィルターユニットが得られ
るとともに、後述するように、エアフィルターユニット
の高性能を維持したままで、エアフィルターユニットを
よりコンパクト（極めて薄型のエアフィルターユニッ
ト）にすることができる。
【００１５】本発明のエアフィルター濾材におけるＰＦ
1値においては、たとえＰＦ1値自体の絶対値の差が１で
あっても、ＰＦ3値の絶対値の差は４以上となる。これ
はＰＦ値の計算で、風速が５．３ｃｍ/秒から１．４ｃ
ｍ/秒になったとき圧力損失は１．４／５．３になるた
め、たとえ捕集効率が変化しなくともＰＦ値は５．３／
１．４＝３．７９倍になると計算される。また捕集効率
は風速が小さくなると向上するため、更にＰＦ値は向上
し、絶対値の値は４以上となるのである。
【００１６】具体的に言えば、エアフィルター濾材のＰ
Ｆ1値が１向上することでエアフィルターユニットでの
ＰＦ3値は４以上向上し、エアフィルターユニットの圧
力損失が同じであれば捕集効率は向上し、またエアフィ
ルターユニットの捕集効率が同じであれば圧力損失は低
下する。例えばエアフィルターユニットのＰＦ3値が９
２から９６に向上すると、エアフィルターユニットの圧
力損失値が５．４mmＨ 2Ｏと同じ場合、 捕集効率は９
９．９９８９％から９９．９９９３５％に向上するとい
う効果が得られるものであり、非常に意義があるといえ
る。
【００１７】本発明のエアフィルター濾材の捕集効率
は、９９．９％以上が好ましく、９９．９９％以上が更
に好ましい。９９．９％以上の捕集効率を持つエアフィ
ルター濾材からはＨＥＰＡレベルの捕集効率を持つエア
フィルターユニットを得ることができ、９９．９９％以
上の捕集効率を持つエアフィルター濾材からはＵＬＰＡ
レベルの捕集効率を持つエアフィルターユニットを得る
ことができる。
【００１８】ここで、本発明のエアフィルター濾材を構
成するＰＴＦＥ多孔膜および通気性支持材料について説
明する。本発明で使用可能なＰＴＦＥ多孔膜は、そのＰ
Ｆ値が２２を越えるものであればよく、公知のＰＴＦＥ
多孔膜が使用できる。このようなＰＴＦＥ多孔膜は、特
開平１０−３００３１号公報、特開平１０−２８７７５
９号公報、特表平９−５０４７３７号公報に記載されて
いる。好ましく使用されるＰＴＦＥ多孔膜のＰＦ値は少
なくとも２７、更には少なくとも２８である。
【００１９】ＰＴＦＥ多孔膜の厚みは、５μm以上が好
ましく、更に好ましくは８μm以上である。同じＰＦ値
のＰＴＦＥ多孔膜において厚みが厚いものは、浮遊微粒
子を捕獲できる量が多くなり、即ち高寿命のエアフィル
ター濾材を得ることができる。また、ＰＴＦＥ多孔膜の
厚みが厚ければ、ＰＴＦＥ多孔膜製造時、ＰＴＦＥ多孔
膜と通気性支持材料とのラミネート時及び／又はエアフ
ィルター濾材をプリーツ加工する際に、ピンホールの発
生を少なくすることができる。
【００２０】好ましいＰＴＦＥ多孔膜の平均繊維径は、
０．１４μm以下、より好ましくは０.０５〜０.１μmで
ある。単一繊維捕集理論によれば、濾材の繊維径が大き
くなると、繊維自体への粒子の吸着性能が下がってしま
い、平均繊維径が０．１４μm以上になると、高いＰＦ
値を持つ多孔膜が得られにくくなる。また平均繊維径が
０.０５μm以下になると高いＰＦ値を持つ多孔膜を達成
できるが、多孔膜構造の強度が弱くなり、後述するがラ
ミネートによるＰＦ値低下が顕著になり、エアフィルタ
ー濾材として高いＰＦ値を持つ物を得にくくなる。
【００２１】ＰＴＦＥ多孔膜の充填率は、１２％以下、
好ましくは１０％以下、更に好ましくは８％以下であ
る。充填率は、空間に対する繊維のつまりぐあいを表し
ており、充填率が低いほど多孔膜の空間が大きく、繊維
間距離も大きくなるため多孔膜繊維に粒子が吸着しやす
くなり、よりＰＦ値は高く、保塵量が多くなり好まし
い。
【００２２】本発明において好ましく使用できるＰＴＦ
Ｅ多孔膜は、例えば次のような方法で製造することがで
きる。 ＜好ましいＰＴＦＥ多孔膜の製造方法＞ＰＴＦＥ多孔膜
は、延伸多孔膜が好ましい。ＰＴＦＥ延伸多孔膜を製造
するには、まずＰＴＦＥ乳化重合水性分散液を凝析して
得られたファインパウダーに、ソルベントナフサ、ホワ
イトオイルなどの液状潤滑剤を添加し、棒状にペースト
押出を行う。その後、この棒状のペースト押出物を圧延
してＰＴＦＥ未焼成体を得る。この時の未焼成テープの
厚みは、通常１００〜５００μmである。
【００２３】次に、この未焼成テープを長手方向（ＭＤ
方向）に倍率２〜１０倍未満で延伸し、その後、長手方
向延伸テープを幅方向（ＴＤ方向）に延伸する。このと
き、幅方向の延伸速度を少なくとも２００％／秒で延伸
することが好ましい。幅方向の延伸速度が速くなるほど
ＰＴＦＥ多孔膜の繊維径が小さくなり、より高ＰＦ値の
ＰＴＦＥ多孔膜を得ることが可能となる。尚、幅方向の
延伸倍率はトータルの面積倍率が１００〜３００倍とな
るように設定することが好ましい。長手方向の延伸は、
ＰＴＦＥ焼成体の融点以下の温度で行う。また幅方向の
延伸は２００〜４２０℃の温度で行う。
【００２４】上記未焼成テープの延伸は、必要に応じて
２枚以上のテープを重ねた状態で行ってもよい。幅方向
に延伸したＰＴＦＥ多孔膜は必要に応じて収縮を防ぐた
めに熱処理をしてもよい。また、ＰＴＦＥ多孔膜の厚み
を増し、更に低充填率にするために、作製する未焼成テ
ープに非繊維化物（例えば、低分子量ＰＴＦＥ）をＰＴ
ＦＥファインパウダー１００重量部あたり１０〜５０重
量部添加して延伸してもよい。
【００２５】このようにして得られるＰＴＦＥ多孔膜の
ＰＦ値は２２を越え、ＰＦ値が少なくとも２７のＰＴＦ
Ｅ多孔膜も容易に得られる。長手方向、幅方向のトータ
ル延伸倍率がさほど高く無いため、比較的厚い（５μm
以上）のＰＴＦＥ多孔膜が得られ、且つ充填率が低い、
例えば１２％以下、好ましくは１０％以下、更に好まし
くは、８％以下の充填率を有するものが得られる。
【００２６】本発明のエアフィルター濾材で使用される
通気性支持材料は、エアフィルター濾材の圧力損失に影
響を与えないもの（ＰＴＦＥ多孔膜の圧力損失よりかな
り低い圧力損失のもの）であれば、従来ＰＴＦＥ多孔膜
の補強の目的で使用される公知のものが使用できる。好
ましくは、少なくとも表面に熱融着性を有する不織布が
使用でき、更に好ましくは、芯鞘構造繊維（例えば、芯
がポリエステルで鞘がポリエチレン、芯が高融点ポリエ
ステルで鞘が低融点ポリエステルである繊維）からなる
不織布である。この芯鞘構造繊維からなる不織布は、芯
より低融点である鞘の融点を少し越える程度の低い温度
でラミネートすることが可能であるため、ＰＴＦＥ多孔
膜と通気性支持材料とのラミネート時の熱履歴を小さく
できるので、後述するＰＴＦＥ多孔膜と通気性支持材料
とのラミネートにおいて、よりＰＦ値の低下を押さえる
ことができる。
【００２７】「ＰＴＦＥ多孔膜と通気性支持材料とのラ
ミネート方法」本発明のエアフィルター濾材は、ＰＴＦ
Ｅ多孔膜と通気性支持材料とを次ぎの方法でラミネート
して得るのが好ましい。出願人：ダイキン工業株式会社
は、既にＰＴＦＥ多孔膜と通気性支持材料とがラミネー
トされたエアフィルター濾材、それを用いたエアフィル
ターパックおよびエアフィルターユニットを製造販売し
ているが、そのエアフィルター濾材の製造において、Ｐ
ＴＦＥ多孔膜に通気性支持材料をラミネートすると、一
般に圧力損失が上昇することは知られていたが、更に圧
力損失の上昇に加えて捕集効率の低下をも招き、結果と
してＰＦ値が低下するという問題が起こることを見い出
した。そして、より高ＰＦ値のエアフィルター濾材を得
るには、従来知られていない、より良いラミネート条件
を見い出すことが極めて重要であることがわかった。
【００２８】実際、特開平１０−３００３１号公報にお
いては特別なラミネート方法（条件）が記載されていな
いことから従来の方法でラミネートしているものと推察
できるが、ＰＦ値が２６．６のＰＴＦＥ多孔膜に通気性
支持材料をラミネートした場合、エアフィルター濾材の
ＰＦ値は１９．８に低下している。そして、その他、前
記先行技術文献においても、ＰＴＦＥ多孔膜に通気性支
持材料をラミネートしたものでＰＦ値が２２を越えるエ
アフィルター濾材は得られていない。
【００２９】ところで、ＰＴＦＥ多孔膜に通気性支持材
料をラミネートする方法については、例えば本出願人に
よりＰＴＦＥ多孔膜の厚さ方向に直接的に加圧しないで
ラミネートすることにより、ＰＴＦＥ多孔膜の圧力損失
をできるだけ維持させることが可能な方法を既に提案し
ている（特開平６−２１８８９９号公報）。しかしなが
ら、ここで開示されたラミネート方法で種々のＰＦ値を
有するＰＴＦＥ多孔膜と通気性支持材料とのラミネート
を試みたところ、ＰＦ値が２２以下のＰＴＦＥ多孔膜で
はラミネート後のＰＦ値の低下をある程度は防げるもの
の、これより高いＰＦ値（例えば、特開平１０―３００
３１号公報に記載されたＰＦ値が３０）のＰＴＦＥ多孔
膜ではＰＦ値が低下してしまい、即ちラミネート後のＰ
Ｆ値が２２以下のものしか得られないことが判明した。
【００３０】特開平６−２１８８９９号公報に開示され
たラミネート方法（条件）によってこのような傾向とな
る理由は以下のように推測できる。ＰＴＦＥ多孔膜単体
のＰＦ値が２２を越えてさらに高くなってくると、ＰＴ
ＦＥ多孔膜の平均繊維径はより細くなり、充填率もより
小さくなっていく。また、通常は高寿命を狙って、浮遊
微粒子の捕獲できる量を大きくするためにＰＴＦＥ多孔
膜の厚みを５μm以上のものが好ましく使用される。
【００３１】このような高ＰＦ値のＰＴＦＥ多孔膜は、
ラミネート時の巻出し、巻取りテンションによる厚み方
向の圧縮や、熱による収縮によってＰＴＦＥ多孔膜繊維
の熱凝集が起こりやすくなる。この点を更に推察する
と、圧縮によりＰＴＦＥ多孔膜の繊維間距離、特に厚み
方向の繊維間距離が小さくなり、一本一本の繊維が粒子
を捕集する効果が低下してしまい、特にＰＴＦＥ多孔膜
内部での捕集効果の低下が全体の捕集効率の低下を招い
ているものと考えられる。また、熱凝集によりＰＴＦＥ
多孔膜繊維数が減少し、一本一本の繊維径が増大するこ
とが捕集効率の低下を招いているものと考えられる。そ
れ故、特開平６−２１８８９９号に開示された比較的緩
やかな条件であっても前記現象が生じてしまい、その結
果、捕集効率は低下してしまうものと考えられる。
【００３２】尚、特開平６−２１８８９９号公報には、
加圧することなく自重のみでＰＴＦＥ多孔膜と通気性支
持材料とを重ねてラミネートする方法も開示している
が、自重のみでラミネートするためにラミネート温度を
高く設定しており、このためＰＴＦＥ多孔膜が熱収縮し
てＰＦ値が低下する原因になっていると思われる。ま
た、この方法では、実際にフィルターユニットを作製す
るために必要な長さ（２０ｍ以上）に渡ってラミネート
することは困難である。
【００３３】したがって、以上のような考察に基づいて
鋭意ラミネート方法（条件）を検討したところ、次のよ
うな条件によれば本発明の所望のエアフィルター濾材を
得ることができることが明らかとなった。（１）ラミネ
ート時の熱履歴を極めて小さくすること、（２）巻き取
り、巻き出しテンションを極めて小さくすること、
（３）好ましくは、ラミネート直後に冷風等をあてるこ
とにより強制的に冷却すること。
【００３４】具体的には、次のようにラミネートを行う
ことが好ましい。本発明の好ましい一態様において、Ｐ
ＴＦＥ多孔膜と通気性支持材料とのラミネートは、図２
の右半分に示すように、通気性支持材料２２、２３、好
ましくは熱可塑性不織布、例えば、芯がポリエステルで
鞘がポリエチレンからなる芯鞘構造繊維からなる不織布
を、図２の左半分に示すテンターから送られてくる二軸
延伸ＰＴＦＥ多孔膜の両面に重ね、ヒートロール１９に
接触させることにより行うことができる。
【００３５】ここで、ヒートロール１９の加熱温度は、
好ましくは１３０〜２２０℃、より好ましくは１４０〜
１７０℃である。ヒートロール１９に、ラミネートされ
た通気性支持材料およびＰＴＦＥ多孔膜を接触させる
際、ロール１９に対する圧縮力は通気性支持材料２２の
巻出しテンションによって調整でき、本発明では好まし
くは１０〜９０ｇ／ｃｍ、より好ましくは３０〜７０ｇ
／ｃｍである。更に好ましくは、（ａ）加熱温度が１３
０℃以上１４０℃未満の時は、巻出しテンション７０〜
９０ｇ／ｃｍ、ライン速度５ｍ／分以上で行い、（ｂ）
加熱温度が１４０℃以上１７０℃未満の時は、巻出しテ
ンション３０〜７０ｇ／ｃｍ、ライン速度１０ｍ／分以
上で行い、（ｃ）加熱温度が１７０℃以上２２０℃未満
の時は、巻出しテンション１０〜３０g/ｃｍ、ライン速
度１５ｍ／分以上で行うことができる。
【００３６】巻取りテンションは、通常３８０ｇ／ｃｍ
以下、好ましくは３００ｇ／ｃｍ以下に設定することが
好ましい。高テンションでロール２１に巻取ると、ＰＴ
ＦＥ多孔膜が厚み方向に圧縮され、ＰＦ値が低下する恐
れがある。また、ラミネートされたＰＴＦＥ多孔膜およ
び通気性支持材料は、ラミネート直後に冷却することが
好ましい。冷却は、送風ノズル２４をヒートロール１９
の直後に設置し、ノズルの中にブロアにより室内の空気
（好ましくは５０℃以下、更に好ましくは４０℃以下）
を強制的に導入し、もしくは強制冷却した空気をノズル
中に導入し、ノズルから空気を強制的にラミネートされ
たエアフィルター濾材全体に当てることにより行うこと
ができる。
【００３７】「本発明のエアフィルターパック及びエア
フィルターユニット」一般に、エアフィルターユニット
は、エアフィルター濾材をプリーツ状に加工してエアフ
ィルターパックを得、これを枠体に組み込んで作製する
ことができるが、具体的には次のとおりである。
【００３８】エアフィルターユニットには、ミニプリー
ツタイプとセパレートタイプのユニットがある。ミニプリーツタイプユニット ミニプリーツタイプの製造工程には、エアフィルター濾
材をひだ状にプリーツ加工する工程、ひだ状にプリーツ
加工したエアフィルター濾材を開き、例えばひも状のス
ペーサーをエアフィルター濾材に塗布する工程、スペー
サーを塗布したエアフィルター濾材を再度ひだ状にプリ
ーツ加工する工程、プリーツ加工したエアフィルター濾
材を指定の大きさに切断する工程（本発明でいうエアフ
ィルターパックの完成）、エアフィルターパックの四方
をフレームで囲い、エアフィルターパックとフレームを
シールする工程からなる。
【００３９】エアフィルター濾材をひだ状にプリーツ加
工する方法は、図４に示すように、レシプロ式の櫛刃で
折り込んでいく方法が一般的である。またスペーサーを
塗布したエアフィルター濾材を再度ひだ状にプリーツ加
工する方法は、図６のようにエアフィルター濾材を２つ
のロールで送り、出口に重りを置いて立ち上げるロール
立ち上げ法や、図５のようにレシプロ式の櫛刃で立ち上
げる方法がある。
【００４０】一般的には、図４に示すように、エアフィ
ルター濾材４１をニップロールを用いて繰り出し（２つ
の駆動ロール間にエアフィルター濾材を挟みロールを駆
動することで繰り出す）、レシプロ式の櫛刃でひだ状に
プリーツ加工し、図５のように展開、スペーサー塗布を
行い、図６のロールを用いて再度ひだ状にプリーツ加工
を行う。
【００４１】ミニプリーツタイプに用いられるスペーサ
ーは、プリーツ状の形状保持と気体の流路を確保するた
めに用いられるものであり、特にスペーサーの材質は特
に制限されず、従来から知られているポリエチレン共重
合体、ポリプロピレン共重合体、ＥＶＡ（エチレン酢酸
ビニル共重合体）、ポリアミド等のホットメルト樹脂や
ガラスヤーン等が使用できる。
【００４２】しかしながら、本発明のエアフィルターパ
ックおよびエアフィルターユニットにポリアミドホット
メルト樹脂をスペーサーとして用いた場合には、所望の
高ＰＦ値が達成されることはもちろん、ＴＯＣ（Total
Organic Carbon）として表される有機物の発生量が
極めて少ないという付加価値を同時に有するエアフィル
ターパックおよびエアフィルターユニットが得られる。
【００４３】ミニプリーツタイプのユニットは、半導体
製造装置等に好ましく用いられているが、半導体製造に
おいて前記ＴＯＣと表される有機物が発生すると、シリ
コンウエハー表面に有機物が付着し、熱がかかる工程で
は有機物が炭化し、電気特性を悪化させてしまう。前記
したエアフィルターパックおよびエアフィルターユニッ
トにポリアミドホットメルト樹脂をスペーサーとして用
いたものは、高ＰＦ値化によるエネルギー効率の改善と
ともに、半導体製造の歩留まりの向上に寄与できる。
【００４４】セパレータータイプユニット セパレータタイプユニットの製造工程は、エアフィルタ
ー濾材をひだ状にプリーツ加工する工程、ひだ状にプリ
ーツ加工したエアフィルター濾材の間にコルゲート状に
加工したセパレーターを挿入する工程、プリーツ加工し
たエアフィルター濾材を指定の大きさに切断する工程
（本発明でいうエアフィルターパックの完成）、エアフ
ィルターパックの四方をフレームで囲い、エアフィルタ
ーパックとフレームをシールする工程からなる。本発明
のＰＴＦＥ多孔膜及び通気性支持材料を有するエアフィ
ルター濾材のもつＰＦ値をより効率よく、エアフィルタ
ーパック及びエアフィルターユニットに反映させるため
には、次のような製造方法が好ましい。
【００４５】即ち、下記の少なくとも１つを実施してエ
アフィルターユニットを作製することが好ましい。 （１）エアフィルター濾材をひだ状にプリーツ加工する
工程において、エアフィルター濾材を繰り出すときにニ
ップロールを使わずに軸にモーターをつけ強制的に繰り
出し、エアフィルター濾材の厚み方向に力を加えないこ
と。 （２）またエアフィルター濾材をひだ状にプリーツ加工
する工程において、プリーツ加工した後、例えば図４に
示す加熱手段４２，４２’により、加熱（通常６０〜１
１０℃）を行って折り癖をしっかりと付けること。 （３）プリーツ状に加工したエアフィルター濾材を展開
しひも状のスペーサーを塗布後、再びプリーツ状に加工
する時に、レシプロ式の様な櫛刃で強制的に行い折り目
をきれいにすること。 （４）全体の工程で、エアフィルター濾材を搬送すると
き、ニップロールを使用しないように行い、エアフィル
ター濾材を圧縮させないようにすること。
【００４６】本発明のエアフィルターパックまたはエア
フィルターユニットのＰＦ2値またはＰＦ3値は、９０.
６を越え、好ましくは９２以上、更に好ましくは９５以
上である。一般にＰＦ値が高くなればなるほど、同一捕
集効率を達成するためのユニットの圧力損失値を低く設
定することが可能となる。また同一圧力損失のユニット
であればＰＦ値が高くなるほど捕集効率を高く設定でき
る。本発明に従ってＰＦ2値またはＰＦ3値が９０.６を
越える場合、これまで達成が不可能であったと考えられ
ていたほど低い圧力損失のＵＬＰＡ、ＨＥＰＡを得るこ
とができる。
【００４７】本発明のエアフィルターパック及びエアフ
ィルターユニットの捕集効率は、濾材透過風速が１．４
ｃｍ/秒の時、好ましくは９９.９％以上、より好ましく
は９９.９９９％以上である。本発明のエアフィルター
パック及びエアフィルターユニットの圧力損失値は通常
低ければ低い程良く、濾材透過風速が１．４ｃｍ/秒の
時、好ましくは１〜２５.４mmＨ2Ｏ、更に好ましくは１
〜１５mmＨ2Ｏである。
【００４８】ここで、本発明のエアフィルターユニット
の性能評価方法について説明する。エアフィルターユニ
ットの形状は使用用途によって様々である。例えばエア
フィルター濾材を袋状に構成する吹き流しの様な形態、
エアフィルター濾材をひだ状にプリーツ加工し、その間
に風の流路を保つためにひだ状のコルゲート加工したス
ペーサーを挿入した形態、エアフィルター濾材をひだ状
にプリーツ加工し、風の流路を保つためにエアフィルタ
ー濾材の長手方向にホットメルトのひも状スペーサーを
塗布した形態等がある。また、ひだ状にプリーツ加工す
るときの高さ（１つの折り目から次の折り目までのエア
フィルター濾材の長さ）も様々である。
【００４９】一般にエアフィルターユニットの性能測定
の際の風速は、エアフィルターユニットの面速で０.５m
／秒である。しかしながら、エアフィルターユニットの
形態は上記のように折り込み高さや折り込みピッチが個
々に異なるため、エアフィルターユニットの開口面積が
同じであってもその中に折り込まれているエアフィルタ
ー濾材面積は異なっている。このため、同じエアフィル
ター濾材を用いていても圧力損失値や捕集効率値は異な
ってしまう。
【００５０】この原因は、エアフィルターユニットの性
能は折り込まれたエアフィルター濾材を透過する風速に
よって決まるため、同一ユニット開口面積に対する折込
量が異なればエアフィルター濾材を透過する風速が異な
ってしまい、圧力損失値や捕集効率が異なる値を示すか
らである。すなわち折込量が多いと濾材透過風速が小さ
くなり、このため圧力損失値が小さく、捕集効率が上が
るのである。また折込量が少ないと逆に濾材透過風速が
大きくなり、このため圧力損失値は大きく、捕集効率は
低下するのである。このことから個々のエアフィルター
ユニットの性能を相対比較する場合、エアフィルターユ
ニットの面の風速を一定にするよりはエアフィルターユ
ニットに折り込まれたエアフィルター濾材を透過する風
速を一定にする必要がある。本発明ではこの様な理由か
ら、エアフィルターユニットに折り込まれたエアフィル
ター濾材内を透過する風速を１.４ｃｍ／秒として相対
評価を行う。
【００５１】具体的には、濾材透過風速が１.４ｃｍ／
秒の時のエアフィルターユニット面速（吹き出し風速）
の設定の方法は以下の通りである。エアフィルターユニ
ットの開口面積をＳm2、エアフィルター濾材の折り込み
面積をｓm2（折り込み高さ、プリーツ数から求められ
る）とすると、エアフィルターユニット面速Ｖは、 Ｖ＝1.4×s／Ｓ (ｃｍ/秒)=（1.4／100）×s／Ｓ（m/
秒) となる。
【００５２】本発明によれば、ＰＴＦＥ多孔膜およびそ
の少なくとも片面にラミネートされた通気性支持材料を
有してなるエアフィルター濾材であって、先に定義した
ＰＦ 1値が２２を越えることを特徴とするエアフィルタ
ー濾材を使用することにより、ＵＬＰＡとしての性能を
維持したまま、コンパクトなエアフィルターユニットを
得ることができる。ＵＬＰＡとしての性能とは一般に、
ユーザーが使用するエアフィルターユニットの面風速
で、捕集効率が９９.９９９５％以上、好ましくは９９.
９９９９％以上で、圧力損失が１５mmＨ2Ｏ以下を言
う。
【００５３】前記のような本発明のエアフィルター濾材
を使用すれば、３０mm以下、好ましくは２７mm以下、更
に好ましくは２０mm以下の折り高さのエアフィルターパ
ックを有するエアフィルターユニットが得られる。例え
ば、折り高さが３０mmのエアフィルターパックを有する
エアフィルターユニットの場合、通常ユーザーが使用す
るエアフィルターユニットの面風速である０.５ｍ／秒
で使用した時、捕集効率を９９.９９９９％と設定する
と、圧力損失は１５mmＨ2Ｏ以下となり、また折り高さ
が２０mmのエアフィルターパックを有するエアフィルタ
ーユニットの場合、エアフィルターユニットの面風速が
０.３５m／秒で使用した時（特に薄いエアフィルターユ
ニットの場合には、通常０.３５m／秒の面風速で使用さ
れる）、捕集効率を９９.９９９９％と設定すると、圧
力損失は１５mmＨ2Ｏ以下となる。このように、ＵＬＰ
Ａとしての高性能を維持したままで折り高さが３０mm以
下の薄いエアフィルターユニットが得られる。
【００５４】これは、本発明のエアフィルター濾材によ
れば、圧力損失と捕集効率の性能指標であるＰＦ1値が
２２を越え、好ましくは少なくとも２３、更に好ましく
は少なくとも２４、更に好もしくは少なくとも２５とす
ることができた故に可能となるものである。すなわち、
従来のＰＦ1値が２２以下のものであれば、折り高さが
３０mmのエアフィルターユニットの場合、エアフィルタ
ーユニットの面風速０.５ｍ／秒で使用した時、捕集効
率を９９.９９９９％と設定すると、圧力損失は１５mm
Ｈ2Ｏ以上となってしまう。また圧力損失を１５mmＨ2Ｏ
以下に設定すれば捕集効率は９９.９９９９％より小さ
くなってしまう。折り高さが２０mmのエアフィルターユ
ニットの場合、エアフィルターユニットの面風速０.３
５m／秒で使用した時、捕集効率を９９.９９９９％と設
定すると、圧力損失はやはり１５mmＨ2Ｏ以上となって
しまう。また圧力損失を１５mmＨ2Ｏ以下と設定すれば
捕集効率は９９.９９９９％より小さくなってしまう。
【００５５】更に驚くべきことに、エアフィルター濾材
の折り高さを小さくすれば、エアフィルターユニットの
構造抵抗が急激に小さくなり、本来のエアフィルター濾
材の性能がエアフィルターユニットの性能により反映さ
れることが解った。構造抵抗とは、プリーツの間隙を空
気が通過するときに生じる空気と、エアフィルター濾材
との摩擦抵抗であり、エアフィルターユニットの圧力損
失は、エアフィルター濾材を空気が透過するときの圧力
損失と構造抵抗の和として表される。
【００５６】具体的には、折り高さが５５mmのミニプリ
ーツタイプのエアフィルターユニットではエアフィルタ
ーユニットの面風速が０.５m／秒の時、構造抵抗が約１
mmＨ 2Ｏ程度発生するが、折り高さが３５mm以下になれ
ば構造抵抗は急激に減少し、折り高さが３０mm以下にな
ると構造抵抗はほぼ無くなり、エアフィルターユニット
の性能はエアフィルター濾材が本来持っている性能に匹
敵するようになる。
【００５７】本発明のエアフィルター濾材は、特に前記
本発明のエアフィルターパックおよびエアフィルターユ
ニットの用途に使用できるが、その他適宜形態に加工さ
れて例えば、空気清浄器用フィルター、掃除機用フィル
ター、空調用フィルター、自動車の空気取り入れ用フィ
ルター、脱臭装置用フィルター、原子力用排気フィルタ
ー、バイオクリーンルーム用フィルター、医薬製造クリ
ーンルーム用フィルター、病院の手術室空気取り入れ用
フィルター、精密機器・機械用フィルター、防花粉用マ
スク、ガス（Ｎ2、Ａｉｒ、ＳｉＣｌ4等）インラインフ
ィルター、水・薬品等の液用フィルターの用途にも使用
できる。また、本発明のエアフィルターユニットは、半
導体工業、液晶工業、医療、食品工業、バイオテクノロ
ジー等のクリーンルーム、拡散炉、コーターデベロッパ
ー、ウェットステーション、化学蒸着（ＣＶＤ）、ステ
ッパー、ストッカー、ドライエッチング装置、プラズマ
エッチング装置、クリーンブース、クリーンチャンバ
ー、ウェハー検査装置（サーフスキャン、プローバ
ー）、ＦＦＵ（ファンフィルターユニット）、ＣＭＰ等
の半導体製造装置等の用途に使用できる。特に薄型のエ
アフィルターユニットは、ＦＦＵを薄くできたり、半導
体製造装置に組み込んだ場合、設置スペースを狭くでき
その結果装置の小型化につながり、また軽いため簡単に
施工できる等の点で画期的なエアフィルターユニットで
ある。
【００５８】
【実施例】以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明
する。実施例中、ＰＴＦＥ多孔膜の膜厚、充填率、平均
繊維径、圧力損失、捕集効率、ＰＦ値ならびにリークの
有無；エアフィルター濾材の圧力損失、透過率、捕集効
率、ＰＦ1値ならびにリークの有無；およびエアフィル
ターユニットの圧力損失、透過率、捕集効率、ＰＦ
3値、リークの有無ならびにＴＯＣ発生量は以下のよう
にして測定した。尚、本発明において上記濾材およびエ
アフィルターユニットの捕集効率、濾材のリーク検査の
測定はジオクチルフタレート（ＤＯＰ）を検査粒子とし
て使用したが、ＴＯＣ発生を低減させる観点から、従来
ＴＯＣ発生が少ないものとして提案されている検査粒子
（例えば、シリカ粒子、ポリスチレンラテックス粒子
等）を用いることもできる。
【００５９】ＰＴＦＥ多孔膜の膜厚 膜厚計（１Ｄ−１１０ＭＨ型、ミツトヨ社製）を使用
し、ＰＴＦＥ多孔膜を５枚重ねて全体の膜厚を測定し、
その値を５で割った数値を１枚の膜厚とした。
【００６０】ＰＴＦＥ多孔膜の充填率 膜厚を測定したＰＴＦＥ多孔膜を２０×２０ｃｍに切り
出し、重量を測定し、下記式より充填率を求めた。
【数７】充填率（％）＝［重量(ｇ)／(400×膜厚(ｃｍ)
×2.25(PTFEの比重))]×１００
【００６１】ＰＴＦＥ多孔膜の平均繊維径 走査型電子顕微鏡（Ｓ−４００００型 日立製作所製）
を用いて、ＰＴＦＥ多孔膜の拡大写真（７０００倍）を
撮影する。この写真を４つ切り大に拡大し、写真上に
縦、横それぞれ４本の同一長さ（長さ：縦２４.５ｃ
ｍ、横２９.５ｃｍ）の直線を５ｃｍ間隔に引き、その
直線上にあるＰＴＦＥ繊維の直径を測定し、その平均を
ＰＴＦＥ繊維の平均繊維径とした。
【００６２】ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の
圧力損失（mmＨ2 Ｏ） ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の測定サンプル
を直径１００mmのフィルターホルダーにセットし、コン
プレッサーで入口側を加圧し、流量計で空気の透過する
流量を５．３ｃｍ／秒に調整した。そしてこの時の圧力
損失をマノメーターで測定した。
【００６３】ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の
捕集効率（％） ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の測定サンプル
を直径１００mmのフィルターホルダーにセットし、コン
プレッサーで入口側を加圧し、流量計で空気の透過する
流量を５.３ｃｍ／秒に調整した。この状態で上流側か
ら粒子径０.１〜０.１２μmの多分散ＤＯＰを粒子濃度
１０8個／３００ｍｌで流し、下流側に設置したパーテ
ィクルカウンター（ＰＭＳ ＬＡＳ−Ｘ−ＣＲＴ ＰＡ
ＲＴＩＣＬＥ ＭＥＡＳＵＲＩＮＧ ＳＹＳＴＥＭ Ｉ
ＮＣ．（ＰＭＳ）社製、以下同じ）によって、粒子径
０.１０〜０.１２μmのＤＯＰの透過粒子数を求め、上
流の粒子濃度をＣｉ、下流粒子濃度をＣoとして下記式
により測定サンプルの捕集効率を計算した。
【数８】捕集効率（％）＝（１−Ｃｏ／Ｃｉ）×１００
【００６４】捕集効率が非常に高いエアフィルター濾材
については、吸引時間を長くしサンプリング空気量を多
くして測定を行った。例えば吸引時間を１０倍にすると
下流側のカウント粒子数が１０倍に上がり、即ち測定感
度が１０倍になる。
【００６５】ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の
透過率（％） ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の透過率は下記
式により求めた。
【数９】透過率（％）＝１００−捕集効率（％）
【００６６】ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の
ＰＦ値 ＰＴＦＥ多孔膜のＰＦ値は、
【数１０】ＰＦ＝［−log（透過率（％）／１００）／
圧力損失（mmＨ2Ｏ）］×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）であ
る。）により求めた。一方、エアフィルター濾材のＰＦ
1値は先に記載した式に従って求めた。
【００６７】ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の
リークの有無 ＰＴＦＥ多孔膜及びエアフィルター濾材の測定サンプル
を直径１００mmのフィルターホルダーにセットし、コン
プレッサーで入口側を加圧し、流量計で空気の透過する
流量を５.３ｃｍ／秒に調整した。この状態で上流側か
ら多分散ＤＯＰを粒子濃度１０8個／３００ｍｌで流
し、下流側に設置したパーティクルカウンターによっ
て、粒径別の透過粒子数を求め、上流、下流の粒子数の
比率から粒径０.１０〜０.１２μm及び０.２５〜０.３
５μmのＤＯＰ粒子の捕集効率を求め、粒径０.２５〜
０.３５μmのＤＯＰの捕集効率が粒径０.１０〜０.１２
μmのＤＯＰの捕集効率より１００倍以上高ければリー
ク無しと判定した。
【００６８】エアフィルターユニットの圧力損失（mmＨ
2 Ｏ） 図３に示した装置を用い、エアフィルターユニットを装
着後エアフィルター濾材を透過する風速が１.４ｃｍ／
秒になるように調整し、その時のエアフィルターユニッ
ト前後の圧力損失をマノメーターで測定した。なお、図
３中の符号の説明は以下のとおりである。３１：送風
機、３２,３２'：ＨＥＰＡフィルター、３３：試験用粒
子導入管、３４,３４'：整流板、３５：上流側試験用粒
子採取管、３６：静圧測定孔、３７：供試フィルターユ
ニット、３８：下流側試験用粒子採取管、３９：層流型
流量計
【００６９】エアフィルターユニットの捕集効率（％） 図３示した装置を用い、エアフィルターユニットを装着
後エアフィルター濾材を透過する風速が１.４ｃｍ/秒に
なるように調整し、この状態で上流側に粒子径が０.１
〜０.１２μmのＤＯＰ粒子を濃度１×１０9／ft3で流
し、下流側の粒子径０.１〜０.１２μmの粒子数をパー
ティクルカウンターで測定し、上流の粒子濃度をＣｉ、
下流粒子濃度をＣoとして下記式により測定サンプルの
捕集効率を計算した。。
【数１１】捕集効率（％）＝（１−Ｃｏ／Ｃｉ）×１０
０
【００７０】エアフィルターユニットの透過率（％） エアフィルターユニットの透過率は下記式より求めた。
【数１２】透過率（％）＝１００−捕集効率（％）
【００７１】エアフィルターパック及びエアフィルター
ユニットのＰＦ値 エアフィルターパック及びエアフィルターユニットのＰ
Ｆ2値及びＰＦ3値は先に記載した式に従って求めた。と
ころで、エアフィルターパックの性能の測定は、それ自
身では測定できないため、測定を行うためエアフィルタ
ーパックの四方にフレームを付け、エアフィルターパッ
クとフレームとをシールしたエアフィルターユニットと
して測定する。その結果、エアフィルターパックとエア
フィルターユニットのＰＦ2値とＰＦ3値は同じ値とな
る。
【００７２】エアフィルターユニットのリークの有無 エアフィルターユニットのリーク箇所の測定は、ＪＡＣ
Ａ Ｎｏ．１０Ｃ 4.5.4に準拠して行った（日本空気
清浄協会発行１９７９年「空気清浄装置性能試験方法基
準」）。ラスキンノズルより発生させたシリカ粒子を清
浄空気に混合して粒径が０.１μm以上の粒子を濃度１０
8個／ｆｔ3以上で含む検査流体を調製する。次に、エア
フィルターユニットの上流から検査流体をエアフィルタ
ーユニット面の風速が０.５m／秒になるようにしてエア
フィルターユニットに通す。その後、エアフィルターユ
ニットの下流側２５mmの位置で、捜査プローブを１秒間
に５ｃｍの速度で走査させながら、下流側空気を２８．
３リットル／分で吸引し、パーティクルカウンターで下
流側のシリカ粒子濃度を測定する。但し、この走査はエ
アフィルターユニットの濾材および濾材とフレームとの
結合部の全面にわたって行い、そのストロークはわずか
に重なり合うようにする。エアフィルターユニットにリ
ークが存在する場合は、下流側のシリカ粒子の粒径分布
が、上流側の粒径分布と同じようになるため判別が可能
である。
【００７３】エアフィルターユニットからのＴＯＣ発生
量の測定 エアフィルターユニットからのＴＯＣ発生量の測定は、
ＨＥＰＡフィルター及び有機物除去ケミカルフィルター
を通して、パーティクル及び有機物処理を行った空気
を、試験を行うエアフィルターユニットに通し、エアフ
ィルターユニット下流側空気を多孔質高分子吸着剤（Ｔ
ＥＮＡＸ ＧＲ）を用いて吸引サンプリングを行い、有
機物を吸着させる。この時の条件は次の通りである。 ・試験エアフィルターユニット透過風速：０．３５ｍ／
秒 ・下流側空気サンプリング量：２Ｌ／分×１００分間
【００７４】次に、多ＴＥＮＡＸ管内の孔質高分子吸着
剤に吸着した有機物を、キューリーポイントパージアン
ドトラップサンプラ（日本分析工業社製 ＪＨＳ−１０
０Ａ）を用いて分析した。すなわち、下流側空気の有機
物を吸着させたＴＥＮＡＸ管を２３０℃に加熱し、そこ
に高純度ヘリウムガスを流し、吸着物をガスとして追い
出し（パージ）、トラップ管に導入する。このトラップ
管において−４０℃に冷却した吸着剤（石英ウール）に
蓄積濃縮させる。その後、前記吸着剤を３５８℃に瞬間
加熱し、２０秒間吸着剤に吸着した吸着物をガスとして
放出する。そして、前記放出ガスをガスクロマトグラフ
ィーに導入し、その量を有機物総量として測定する。有
機物総量と、下流側サンプリング空気量とから、発生有
機物量をｎｇ／ｍ3として表した。ガスクロマトグラフ
ィーの測定条件は以下の通りである。 ・ガスクロマトグラフィー：ＧＣ１４Ａ（島津製作所社
製） ・カラム：FRONTIER LAB ULTRA ALLOY Capillary
Column UA−５ ・カラム温度：５０℃→２８０℃（１０分ホールド）、
昇温速度１０℃／分
【００７５】実施例１ 数平均分子量６２０万のＰＴＦＥファインパウダー（ダ
イキン工業株式会社製ポリフロンファインパウダーＦ−
１０４Ｕ）１００重量部に、押出助剤としての炭化水素
油（エッソ石油株式会社製アイソパー）２５重量部を加
えて混合した。この混合物をペースト押出により丸棒状
に成形した。この丸棒状成形体を７０℃に加熱したカレ
ンダーロールによりフィルム状に成形し、ＰＴＦＥフィ
ルムを得た。このフィルムを２５０℃の熱風乾燥炉に通
して押出助剤を蒸発除去し、平均厚み２００μm、平均
幅１５０mmの未焼成フィルムを得た。次に、この未焼成
ＰＴＦＥフィルムを図１に示す装置を用いて長手方向に
延伸倍率５倍で延伸した。未焼成フィルムはロール１に
セットし、延伸したフィルムは巻取ロール２に巻き取っ
た。また、延伸温度は２５０℃で行った。
【００７６】得られた長手方向延伸フィルムを連続的に
クリップで挟むことのできる図２の左半分に示す装置
（テンター）を用いて幅方向に延伸倍率３０倍で延伸
し、熱固定を行った。この時のの延伸温度は２９０℃、
熱固定温度は３６０℃、また延伸速度は３３０％／秒で
あった。
【００７７】実施例２ 実施例１で得た長手方向延伸フィルムを図２の左半分に
示す装置を用いて幅方向に延伸倍率４０倍で延伸し、熱
固定を行った。この時のの延伸温度は２９０℃、熱固定
温度は３５０℃、また延伸速度は４４０％／秒であっ
た。
【００７８】実施例３ 実施例１で得た長手方向延伸フィルムを図２の左半分に
示す装置を用いて幅方向に延伸倍率２５倍で延伸し、熱
固定を行った。この時のの延伸温度は２９０℃、熱固定
温度は３８０℃、また延伸速度は２７５％／秒であっ
た。
【００７９】実施例１〜３で得たＰＴＦＥ多孔膜の物性
は以下の通りである。
【表１】
【００８０】実施例４ 実施例１で作製したＰＴＦＥ多孔膜の両面にポリエチレ
ン／ポリエステル製熱融着性不織布（上面：商品名エル
ベスＴ０７０３ＷＤＯ（ユニチカ製）；下部：商品名エ
ルフィットＥ０３５３ＷＴＯ（ユニチカ製））を図２に
示す装置を用いて熱融着し、エアフィルター濾材を得
た。この時の熱融着条件は以下の通りであった。
【００８１】ロール１９ 加熱温度１６０℃ ライン速度 １５ｍ／分 巻出しテンション ５０ｇ／ｃｍ（不織布２２の巻出
しテンション） 巻取テンション ２８０ｇ／ｃｍ
【００８２】実施例５ 実施例１で作製したＰＴＦＥ多孔膜の両面にポリエチレ
ン／ポリエステル製熱融着性不織布（上面：商品名エル
ベスＴ０７０３ＷＤＯ（ユニチカ製）；下部：商品名エ
ルフィットＥ０３５３ＷＴＯ（ユニチカ製））を図２に
示す装置を用いて熱融着し、エアフィルター濾材を得
た。この時の熱融着条件は以下の通りであった。 ロール１９ 加熱温度１８０℃ ライン速度 １５ｍ／分 巻出しテンション ２０ｇ／ｃｍ（不織布２２の巻出
しテンション） 巻取テンション ２８０ｇ／ｃｍ
【００８３】実施例６ 加熱ロール１９の直後に冷風吹き出し装置を設け、ロー
ル１９から出たエアフィルター濾材に２０℃の空気を吹
き付けて冷却した以外は実施例４と同様にして、エアフ
ィルター濾材を得た。
【００８４】実施例７ 実施例２で作製したＰＴＦＥ多孔膜を使用した以外は実
施例４と同様にしてエアフィルター濾材を作製した。
【００８５】実施例８ 実施例２で作製したＰＴＦＥ多孔膜を使用した以外は実
施例６と同様にしてエアフィルター濾材を作製した。
【００８６】参考例１ 実施例１で作製したＰＴＦＥ多孔膜を用い、特開平６−
２１８８９９号公報に記載された実施例７の条件（加熱
温度１６０℃、ライン速度１０ｍ／分、巻出しテンショ
ン９０ｇ／ｃｍ）で、図２に示す装置を用いてＰＴＦＥ
多孔膜の両面にポリエチレン／ポリエステル製熱融着性
不織布（上面：商品名エルベスＴ０７０３ＷＤＯ（ユニ
チカ製）；下部：商品名エルフィットＥ０３５３ＷＴＯ
（ユニチカ製））を熱融着してエアフィルター濾材を得
た。巻取りは、巻取テンション２８０ｇ／ｃｍで行っ
た。
【００８７】参考例２ 実施例２で作製したＰＴＦＥ多孔膜を用いた以外は参考
例１と同様にしてエアフィルター濾材を得た。
【００８８】実施例４〜８及び参考例１〜２で製造した
エアフィルター濾材の物性は以下の通りである。
【表２】
【００８９】この様に、本発明によれば、ＰＴＦＥ多孔
膜単体に比べてＰＦ1値の低下が極めて少なく、通気性
支持材料のラミネート後にも２２以上のＰＦ1値が達成
できた。さらに実施例６および８の結果から、ラミネー
ト直後に冷却すると、更にＰＦ 1値は向上することが解
った。一方、前記参考例から理解できるように、特開平
６−２１８８９９公報に記載された程度の緩やかなラミ
ネート条件では、圧力損失の上昇は抑えられるものの捕
集効率の低下は防ぐことはできず、ＰＴＦＥ多孔膜単体
のＰＦ値が高い場合にも、通気性支持材料をラミネート
したエアフィルター濾材のＰＦ１値は２２以下に低下し
てしまうことが解った。
【００９０】実施例９ 実施例４で製造したエアフィルター濾材を、レシプロ折
り機で高さ５.５ｃｍにプリーツ加工し、プリーツ後９
０℃の温度をかけて折りくせをつけた。この後、プリー
ツされたエアフィルター濾材を一旦開き、ポリアミドホ
ットメルト樹脂製のスペーサーを塗布し、再度プリーツ
状にレシプロ立ち上げ機で立ち上げ、大きさ５８ｃｍ×
５８ｃｍに切断して、エアフィルターパックを得た。こ
の時のプリーツ間隔は３.１２５mm／プリーツであっ
た。ここまでの工程で、エアフィルター濾材を繰り出す
ときには軸にモーターをつけ強制的に繰り出し、エアフ
ィルター濾材の厚み方向に力を加えないようにした。ま
たエアフィルター濾材を搬送するときには、ニップロー
ルを使用しないようにして、エアフィルター濾材に圧縮
力をかけないようにした。
【００９１】次に、外寸６１ｃｍ×６１ｃｍ、内寸５８
ｃｍ×５８ｃｍ、厚さ６.５ｃｍのアルマイト加工アル
ミニウム製枠を用意し、この枠内にプリーツ加工された
エアフィルターパックを入れ、ウレタン接着剤でエアフ
ィルターパック周囲とアルミニウム枠とをシールしてエ
アフィルターユニットを作製した。
【００９２】実施例１０ 再立ち上げをロール立ち上げ機を用いて行った以外は実
施例９と同様にしてエアフィルターユニットを作製し
た。
【００９３】実施例１１ 実施例８のエアフィルター濾材を使用した以外は実施例
９と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【００９４】参考例３ エアフィルター濾材をレシプロ機で折った後に熱をかけ
ず、折り目にくせをつけなかった以外は実施例９と同様
にしてエアフィルターユニットを作製した。
【００９５】参考例４ エアフィルター濾材をロールから繰り出す際にニップロ
ールを用いた以外は実施例９と同様にしてエアフィルタ
ーユニットを作製した。
【００９６】実施例９〜１１および参考例３〜４で作製
したエアフィルターユニットについて、濾材透過風速が
１.４ｃｍ／秒になるように風速を設定してエアフィル
ターユニットの圧力損失及び捕集効率を測定した。尚、
これらのエアフィルターユニットで濾材透過風速が１.
４ｃｍ／秒である時のエアフィルターユニットの面速は
以下の通りである。各エアフィルターユニットの内寸は
５８ｃｍ×５８ｃｍであるから、エアフィルターユニッ
トの開口面積は５８ｃｍ×５８ｃｍ＝３３６４ｃｍ2＝
０.３３６４ｍ2となる。一方、折り込まれたエアフィル
ター濾材の面積については、まずプリーツ数を計算する
と、５８０mm÷３.１２５mm／プリーツ＝１８５プリー
ツとなり、これから、エアフィルター濾材の長さは５.
５ｃｍ×１８５×２＝２０３５ｃｍ＝２０.３５mとな
る。またエアフィルター濾材の幅は５８ｃｍ＝０.５８m
であるので、エアフィルター濾材の面積は２０.３５×
０.５８＝１１.８０３ｍ2となる。エアフィルターユニ
ットの開口面積とエアフィルター濾材の面積から、濾材
透過風速１．４ｃｍ／秒の時のエアフィルターユニット
の面速は１.４ｃｍ／秒×１１.８０３ｍ2÷０.．３３６
４ｍ2＝４９.１２ｃｍ／秒＝０.４９１２m／秒となる。
実際のエアフィルターユニットの圧力損失等の測定は、
この面速で行った。
【００９７】実施例９〜１１および参考例３〜４で作製
したエアフィルターユニットの性能は以下の通りであ
る。
【表３】
【００９８】表３に示される結果から理解できるよう
に、通常行われている方法（ニップロールを使用し、濾
材をレシプロ機で折った後に熱をかけない）では、９
０．６を越えるＰＦ3値は達成できないが、ニップロー
ルを使用せず、濾材をレシプロ機で折った後に熱をかけ
て折り目にくせを付けたものは所望の高ＰＦ３値のエア
フィルターユニットを得ることができた。また、再度プ
リーツ状に立ち上げる場合、ロール立ち上げ機よりもレ
シプロ立ち上げ機を用いた方がより高いＰＦ3値を得る
のに好ましいことがわかる。
【００９９】実施例１２ 実施例４で作製したエアフィルター濾材を、レシプロ折
り機により高さ１３ｃｍでプリーツ加工し、プリーツ後
８０℃の温度をかけて折りくせをつけた。この後、プリ
ーツ加工されたエアフィルター濾材の間に、厚み３５μ
mのアルミ箔を高さ２.４mmにコルゲート加工したセパレ
ーターを上下流側それぞれに挿入し、大きさ５８ｃｍ×
５８ｃｍに切断した。この時のプリーツ間隔は５．０mm
／プリーツであった。ここまでの工程で、エアフィルタ
ー濾材を繰り出すときには軸にモーターをつけ強制的に
繰り出し、エアフィルター濾材の厚み方向に力を加えな
いようにした。またエアフィルター濾材を搬送するとき
には、ニップロールを使用しないようにして、エアフィ
ルター濾材に圧縮力をかけないようにした。
【０１００】次に、外寸６１ｃｍ×６１ｃｍ、内寸５８
ｃｍ×５８ｃｍ、厚さ１５ｃｍのアルマイト加工アルミ
ニウム製枠を用意し、この枠内にプリーツ加工されたエ
アフィルターパックを入れ、ウレタン接着剤でエアフィ
ルターパック周囲とアルミニウム枠とをシールしてエア
フィルターユニットを作製した。このエアフィルターユ
ニットについて濾材透過風速が１.４ｃｍ／秒になるよ
うに風速を設定してエアフィルターユニットの圧力損失
及び捕集効率を測定した。尚、このエアフィルターユニ
ットで濾材透過風速が１.４ｃｍ／秒となる時のエアフ
ィルターユニットの面速は、実施例９〜１１および参考
例３〜４と同様に計算すると０.７２７９m／秒となる。
実際のエアフィルターユニットの圧力損失等の測定は、
この面速で行った。
【０１０１】実施例１２で作製したエアフィルターユニ
ットの性能は以下の通りである。
【表４】
【０１０２】上記のように形状が違うエアフィルターユ
ニットであっても、エアフィルター濾材の劣化がない状
態でエアフィルターユニットを作製すれば、ほぼ同じ性
能のエアフィルターユニットが得られることが解った。
【０１０３】実施例１３ 実施例４で作製したエアフィルター濾材をレシプロ折り
機で高さ３.０ｃｍにプリーツ加工した以外は実施例９
と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【０１０４】実施例１４ 実施例８で作製したエアフィルター濾材をレシプロ折り
機で高さ３.０ｃｍにプリーツ加工した以外は実施例９
と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【０１０５】実施例１５ 実施例４で作製したエアフィルター濾材をレシプロ折り
機で高さ２.０ｃｍにプリーツ加工した以外は実施例９
と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【０１０６】実施例１６ 実施例８で作製したエアフィルター濾材をレシプロ折り
機で高さ２.０ｃｍにプリーツ加工した以外は実施例９
と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【０１０７】参考例５ 参考例１で作製したエアフィルター濾材をレシプロ折り
機で高さ３.０ｃｍにプリーツ加工した以外は実施例９
と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【０１０８】参考例６ 参考例２で作製したエアフィルター濾材をレシプロ折り
機で高さ３.０ｃｍにプリーツ加工した以外は実施例９
と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【０１０９】参考例７ 参考例１で作製したエアフィルター濾材をレシプロ折り
機で高さ２.０ｃｍにプリーツ加工した以外は実施例９
と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【０１１０】参考例８ 参考例２で作製したエアフィルター濾材をレシプロ折り
機で高さ２.０ｃｍにプリーツ加工した以外は実施例９
と同様にしてエアフィルターユニットを作製した。
【０１１１】これらのエアフィルターユニットについ
て、濾材透過風速が１.４ｃｍ／秒になるように風速を
設定してエアフィルターユニットの圧力損失及び捕集効
率を測定した。尚、これらのエアフィルターユニットで
濾材透過風速が１.４ｃｍ／秒となる時のエアフィルタ
ーユニットの面風速は、実施例９〜１１および参考例３
〜４と同様に計算すると、折り高さが３０mmのエアフィ
ルターユニットは０.２６７９ｍ／秒、折り高さが２０m
mのエアフィルターユニットは０.１７８６ｍ／秒とな
る。実際のエアフィルターユニットの圧力損失等の測定
は、この面速で行った。
【０１１２】実施例１３〜１５及び参考例５〜８で作製
したエアフィルターユニットの性能は以下の通りであ
る。
【表５】
【０１１３】次に実施例１３〜１６及び参考例５〜８で
作製したエアフィルターユニットについて折り高さが３
０mmのエアフィルターユニットは面風速０.５ｍ／秒で
圧力損失及び捕集効率を測定した。その結果を表６に示
す。また折り高さが２０mmのエアフィルターユニットは
面風速０.３５ｍ／秒で圧力損失及び捕集効率を測定し
た。その結果を表７に示す。
【０１１４】
【表６】
【０１１５】
【表７】
【０１１６】表５に示される結果より、エアフィルター
ユニットの圧力損失値はエアフィルター濾材の圧力損失
値から計算される圧力損失値とほぼ合致しており構造抵
抗はほとんど無いことが解る。すなわち実施例１２及び
１４では使用エアフィルター濾材の５.３ｃｍ/秒の圧力
損失値は２６mmＨ2Ｏであり、ここから１.４ｃｍ／秒の
時の計算上の圧力損失値は、２６mmＨ2Ｏ×１.４／５.
３＝６.８７mmＨ2Ｏとなり、実際のエアフィルターユニ
ットの圧力損失値とほぼ同じ値となっている。また同様
に実施例１３及び１５では、使用エアフィルター濾材の
５．３ｃｍ/秒の圧力損失値は２３mmＨ2Ｏであり、ここ
から１.４ｃｍ／秒の時の計算上の圧力損失値は、２３m
mＨ2Ｏ×１.４／５.３＝６.０８mmＨ2Ｏとなり、実際の
エアフィルターユニットの圧力損失値とほぼ同じ値とな
っている。
【０１１７】また表６および表７に示された結果より、
ＰＦ1値が２２以下のエアフィルター濾材では、折り高
さが３０mm以下とした場合、実際にユーザーが使用する
風速では捕集効率が低く、９９.９９９９％はおろかＵ
ＬＰＡとしての一般性能である９９.９９９５％も実現
できないが、ＰＦ1値が２２を越えるエアフィルター濾
材を用いたときには、折り高さが３０mm以下であっても
ＵＬＰＡとしての性能が実現できることが解った。
【０１１８】表６、表７に示されるエアフィルターユニ
ットの圧力損失もまた、エアフィルター濾材の圧力損失
値から計算される圧力損失値とほぼ合致しており構造抵
抗はほとんど無いことが解った。具体的にエアフィルタ
ー濾材の圧力損失値から計算されるエアフィルターユニ
ットの圧力損失は、表６の実施例１３及び参考例５では
１２.８２mmＨ2Ｏ、実施例１４及び参考例６では１１.
３４mmＨ2Ｏである。また表７の実施例１５及び参考例
７では１３.４６mmＨ2Ｏであり、実施例１６及び参考例
８では１１.９１mmＨ2Ｏである。
【０１１９】実施例１７ スペーサーにＥＶＡ製ホットメルト樹脂を用いた以外は
実施例９と同様にしてエアフィルターユニットを作製し
た。またスペーサーの塗布量は実施例９と同じ量にし
た。さらにエアフィルターパックとアルミニウム枠との
シール剤も同じ物を用いた。
【０１２０】実施例９および実施例１７で作製したエア
フィルターユニットについて、エアフィルターユニット
から発生するＴＯＣの量を測定した。その結果は以下の
通りである。
【表８】
【０１２１】表８に示される結果より、ポリアミドホッ
トメルト樹脂をスペーサーに用いた本発明のエアフィル
ター濾材からなるエアフィルターパックを有するエアフ
ィルターユニットは、ＥＶＡ製ホットメルト樹脂をスペ
ーサーに用いたものに比べ、ＴＯＣ発生量が飛躍的に減
少し、約１／２０になることが解った。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ＰＴＦＥフィルムの長手方向への延伸に用い
た装置の模式図である。
【図２】 ＰＴＦＥフィルムの幅方向への延伸に用いた
装置（左半分）およびＰＴＦＥフィルムに通気性支持材
料をラミネートする装置（右半分）を模式的に示す図で
ある。
【図３】 フィルターユニットの圧力損失の測定装置の
模式図である。
【図４】 レシプロ折り機の模式図である。
【図５】 スペーサ塗布工程を示す模式図である。
【図６】 ロール立ち上げ機の模式図である。
【符号の説明】
１：巻出しロール、２：巻取りロール、３，４，６，
７，１０：ロール、１５：予熱オーブン、１６：延伸オ
ーブン、１７：熱固定オーブン３１：送風機、３２,３
２'：ＨＥＰＡフィルター、３３：試験用粒子導入管、
３４,３４'：整流板、３５：上流側試験用粒子採取管、
３６：静圧測定孔、３７：供試フィルターユニット、３
８：下流側試験用粒子採取管、３９：層流型流量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清谷 秀之 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキン 工業株式会社淀川製作所内 (72)発明者 田中 修 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキン 工業株式会社淀川製作所内 Ｆターム(参考） 4D006 GA44 HA71 JA03C JA04C JB07 MA04 MA31 MC30X PA10 PB17 PC05 4D019 AA01 BA13 BB08 BB10 BD01 BD10 CA02 CB03 CB06 4D058 JA14 JB14 JB23 JB39 KA06 KA08 KA13 KA23 KA25 SA04

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ポリテトラフルオロエチレン多孔膜およ
    びその少なくとも片面にラミネートされた通気性支持材
    料を有してなるエアフィルター濾材であって、５．３ｃ
    ｍ／秒の流速で空気を透過させたときの圧力損失（単
    位：mmＨ2Ｏ）および粒子径０．１０〜０．１２μｍの
    ジオクチルフタレートを用いて測定した捕集効率（単
    位：％）から下記式： 【数１】ＰＦ1＝［−log（透過率（％）／１００）／圧
    力損失（mmＨ2Ｏ）］×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）であ
    る。）に従って計算されるＰＦ1値が２２を越えること
    を特徴とするエアフィルター濾材。
  2. 【請求項２】 ５．３ｃｍ／秒の流速で空気を透過させ
    たときの圧力損失が４mmＨ2０以上である請求項１に記
    載のエアフィルター濾材。
  3. 【請求項３】 通気性支持材料がポリテトラフルオロエ
    チレン多孔膜の両面にラミネートされた請求項１または
    ２に記載のエアフィルター濾材。
  4. 【請求項４】 前記ＰＦ1値が少なくとも２３である請
    求項１〜３のいずれかに記載のエアフィルター濾材。
  5. 【請求項５】 前記捕集効率が９９．９％以上である請
    求項１〜４のいずれかに記載のエアフィルター濾材。
  6. 【請求項６】 前記捕集効率が９９．９９％以上である
    請求項５に記載のエアフィルター濾材。
  7. 【請求項７】 ポリテトラフルオロエチレン多孔膜の厚
    みが少なくとも５μｍである請求項１〜６のいずれかに
    記載のエアフィルター濾材。
  8. 【請求項８】 ラミネートされるポリテトラフルオロエ
    チレン多孔膜単体のＰＦ値が少なくとも２７である請求
    項１〜７のいずれかに記載のエアフィルター濾材。
  9. 【請求項９】 ポリテトラフルオロエチレン多孔膜およ
    びその少なくとも片面にラミネートされた通気性支持材
    料を有してなるエアフィルター濾材をプリーツ加工して
    なり、１．４ｃｍ／秒の濾材透過風速で空気を透過させ
    たときの圧力損失（単位：mmＨ2Ｏ）および粒子径０．
    １０〜０．１２μｍのジオクチルフタレートを用いて測
    定した捕集効率（単位：％）から下記式： 【数２】ＰＦ2＝［−log（透過率（％）／１００）／圧
    力損失（mmＨ2Ｏ）］×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）であ
    る。）に従って計算されるＰＦ2値が９０．６を越える
    ことを特徴とするエアフィルターパック。
  10. 【請求項１０】 ５．３ｃｍ／秒の流速で空気を透過さ
    せたときのエアフィルター濾材の圧力損失が４mmＨ2Ｏ
    以上である請求項９に記載のエアフィルターパック。
  11. 【請求項１１】 エアフィルター濾材のＰＦ1値が２２
    を越える請求項１０に記載のエアフィルターパック。
  12. 【請求項１２】 エアフィルターパックのＰＦ2値が少
    なくとも９２である請求項９〜１１のいずれかに記載の
    エアフィルターパック。
  13. 【請求項１３】 １．４ｃｍ／秒の濾材透過風速で空気
    を透過させたときの粒子径０．１０〜０．１２μｍのジ
    オクチルフタレートを用いて測定した捕集効率が９９．
    ９％以上である請求項９〜１２のいずれかに記載のエア
    フィルターパック。
  14. 【請求項１４】 前記捕集効率が９９．９９９％以上で
    ある請求項１３に記載のエアフィルターパック。
  15. 【請求項１５】 前記エアフィルターパックは、ポリア
    ミドホットメルト樹脂からなるスペーサーを有するミニ
    プリーツタイプである請求項９〜１４のいずれかに記載
    のエアフィルターパック。
  16. 【請求項１６】 折り高さが３０ｍｍ以下であり、１．
    ４ｃｍ／秒の濾材透過風速で空気を透過させたときのエ
    アフィルターパックの圧力損失が１〜２５．４mmＨ2Ｏ
    である請求項９〜１５のいずれかに記載のエアフィルタ
    ーパック。
  17. 【請求項１７】 枠体、および該枠体内に収納されたプ
    リーツ状に折り曲げたエアフィルター濾材からなるエア
    フィルターパックを有してなるエアフィルターユニット
    であって、該濾材は、ポリテトラフルオロエチレン多孔
    膜およびその少なくとも片面にラミネートされた通気性
    支持材料を有してなり、１．４ｃｍ／秒の濾材透過風速
    で空気を透過させたときの圧力損失（単位：mmＨ2Ｏ）
    および粒子径０．１０〜０．１２μｍのジオクチルフタ
    レートを用いて測定した捕集効率（単位：％）から下記
    式： 【数３】ＰＦ3＝［−log（透過率（％）／１００）／圧
    力損失（mmＨ2Ｏ）］×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）であ
    る。）に従って計算される該ユニットのＰＦ3値が９
    ０．６を越えることを特徴とするエアフィルターユニッ
    ト。
  18. 【請求項１８】 ５．３ｃｍ／秒の流速で空気を透過さ
    せたときのエアフィルター濾材の圧力損失が ４mmＨ2Ｏ
    以上である請求項１７に記載のエアフィルターユニッ
    ト。
  19. 【請求項１９】 エアフィルター濾材のＰＦ1値が２２
    を越える請求項１８に記載のエアフィルターユニット。
  20. 【請求項２０】 エアフィルターユニットのＰＦ3値が
    少なくとも９２である請求項１７〜１９のいずれかに記
    載のエアフィルターユニット。
  21. 【請求項２１】 １．４ｃｍ／秒の濾材透過風速で空気
    を透過させたときの粒子径０．１０〜０．１２μｍのジ
    オクチルフタレートを用いて測定した捕集効率が９９．
    ９％以上である請求項１７〜２０のいずれかに記載のエ
    アフィルターユニット。
  22. 【請求項２２】 前記捕集効率が９９．９９９％以上で
    ある請求項２１に記載のエアフィルターユニット。
  23. 【請求項２３】 枠体内に収納されたプリーツ状に折り
    曲げたエアフィルター濾材からなるエアフィルターパッ
    クが、ポリアミドホットメルト樹脂からなるスペーサー
    を有するミニプリーツタイプである請求項１７〜２２の
    いずれかに記載のエアフィルターユニット。
  24. 【請求項２４】 エアフィルターパックの折り高さが３
    ０mm以下であり、１．４ｃｍ／秒の濾材透過風速で空気
    を透過させたときのエアフィルターユニットの圧力損失
    が１〜２５．４mmＨ2Ｏであることを特徴とする請求項
    １７〜２３のいずれかに記載のエアフィルターユニッ
    ト。
  25. 【請求項２５】 ポリテトラフルオロエチレン多孔膜の
    少なくとも片面に通気性支持材料を加熱下にラミネート
    し、次いで、ラミネートされたポリテトラフルオロエチ
    レン多孔膜および通気性支持材料をラミネート直後に冷
    却することを特徴とするエアフィルター濾材の製造方
    法。
  26. 【請求項２６】 該通気性支持材料は熱融着性不織布か
    らなる請求項２５に記載の製造方法。
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