JP2001145831A - メソ構造体薄膜及びその製造方法 - Google Patents

メソ構造体薄膜及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 より好適なメソ構造体薄膜を得ること及びよ
り好適なメソ構造体薄膜の製造方法を実現することを課
題とする。 【解決手段】 メソ構造体薄膜の製造方法であって、繰
り返しユニットの分子構造中に２つ以上の連続したメチ
レン基を含んでいる高分子化合物表面上に、メソ構造体
薄膜を形成するメソ構造体薄膜の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、メソ構造体薄膜及
びその製造方法に関する。特には、シリカメソ構造体薄
膜、メソポーラスシリカ薄膜、シリカメソ構造体薄膜の
製造方法及びメソポーラスシリカ薄膜の製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】多孔質材料は、吸着、分離など様々な分
野で利用されている。ＩＵＰＡＣによれば、多孔体は、
細孔径が２ｎｍ以下のマイクロポーラス、２〜５０ｎｍ
のメソポーラス、５０ｎｍ以上のマクロポーラスに分類
される。マイクロポーラスな多孔体には天然のアルミノ
ケイ酸塩、合成アルミノケイ酸塩等のゼオライト、金属
リン酸塩等が知られている。これらは、細孔のサイズを
利用した選択的吸着、形状選択的触媒反応、分子サイズ
の反応容器として利用されている。
【０００３】報告されているマイクロポーラスクリスタ
ルにおいては、細孔径は最大で１．５ｎｍ程度であり、
さらに径の大きな固体の合成はマイクロポアには吸着で
きないような嵩高い化合物の吸着、反応を行うために重
要な課題である。この様な大きなポアを有する物質とし
てシリカゲル、ピラー化粘土等が知られていたが、これ
らにおいては細孔径の分布が広く、細孔径の制御が問題
であった。
【０００４】この様な背景の中、径の揃ったメソポアが
蜂の巣状に配列した構造を有するメソポーラスシリカの
合成が、ほぼ同時に異なる二つの方法で開発された。一
方は、“Ｎａｔｕｒｅ”第３５９巻７１０ページに記載
されているような界面活性剤の存在下においてケイ素の
アルコキシドを加水分解させて合成されるＭＣＭ−４１
と呼ばれる物質であり、他方は、“Ｊｏｕｒｎａｌ ｏ
ｆ ＣｈｅｍｉｃａｌＳｏｃｉｅｔｙ Ｃｈｅｍｉｃａ
ｌ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ”の１９９３巻６８
０ページに記載されているような、層状ケイ酸の一種で
あるカネマイトの層間にアルキルアンモニウムをインタ
ーカレートさせて合成されるＦＳＭ−１６と呼ばれる物
質である。この両者ともに、界面活性剤の集合体が鋳型
となってシリカの構造制御が行われていると考えられて
いる。これらの物質は、ゼオライトのポアに入らないよ
うな嵩高い分子に対する触媒として非常に有用な材料で
あるだけでなく、光学材料や電子材料等の機能性材料へ
の応用も考えられている。
【０００５】このような規則的な細孔構造を有するメソ
ポーラス多孔体を、触媒以外の機能性材料分野に応用す
る場合、これらの材料を基板上に均一に保持する技術が
重要である。基板上に均一なメソポーラス薄膜を作成す
る方法としては、例えば、“Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍ
ｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ”の１９９６巻１１４９ページ
に記載されているようなスピンコートによる方法、“Ｎ
ａｔｕｒｅ”第３８９巻３６４ページに記載されている
ようなディップコートによる方法、“Ｎａｔｕｒｅ”第
３７９巻７０３ページに記載されているような固体表面
に膜を析出させる方法等がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明はより好適なメ
ソ構造体薄膜を得ること、及びより好適なメソ構造体薄
膜の製造方法を実現することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の一つは以下のように構成される。メソ構造
体薄膜の製造方法であって、繰り返しユニットの分子構
造中に２つ以上の連続したメチレン基を含んでいる高分
子化合物表面上に、配向したロッド状の細孔を有するメ
ソ構造体薄膜を形成することを特徴とするメソ構造体薄
膜の製造方法である。
【０００８】前記高分子化合物表面を準備する工程を有
してもよく、該工程は、基板上に前記高分子化合物表面
を有する高分子化合物膜を形成する工程であるとよい。
また、前記高分子化合物表面を準備する工程は、高分子
化合物の膜としてラングミュアーブロジェット膜を形成
する工程であるとよい。前記高分子化合物表面が配向性
を有する状態で、前記メソ構造体薄膜の形成を行うとよ
く、該配向性が一軸配向性であると更に好適である。
【０００９】前記メソ構造体薄膜は、ケイ素、更に詳し
くは、シリカを含むメソ構造体薄膜であるとよく、ケイ
素アルコキシドを加水分解することにより形成するシリ
カメソ構造体薄膜であると好適である。また、前記メソ
構造体薄膜は、界面活性剤の存在下で前記メソ構造体薄
膜の材料を加水分解して形成するとよく、界面活性剤
は、４級アルキルアンモニウムであるか、またはポリエ
チレンオキシドを親水基として含む界面活性剤であると
よい。
【００１０】また、前記メソ構造体薄膜の形成の後、前
記界面活性剤を除去する工程を有するとよく、界面活性
剤を除去することにより、中空構造を容易に実現するこ
とができ、良好なメソポーラス薄膜を作成できる。前記
界面活性剤を除去する工程は、前記メソ構造体薄膜を焼
成する工程、または、溶媒抽出によって前記界面活性剤
を除去する工程であるとよい。前記メソ構造体薄膜は、
該メソ構造体薄膜の材料を加水分解して形成するもので
あり、該加水分解は酸性条件下で行うとよい。
【００１１】前記メソ構造体薄膜は、該メソ構造体薄膜
の材料を含む溶液を前記高分子化合物表面に接触させて
形成するとよく、具体的には溶液中に高分子化合物表面
を有する基板構造を保持することにより作成する方法を
好適に採用できる。前記メソ構造体薄膜を形成する前
に、前記高分子化合物表面に、ラビング処理を行う工程
を有するとよい。ラビング工程により高分子化合物表面
が配向性、特には一軸配向性を有するようすると特に好
適である。
【００１２】また、前記ラビング処理は、前記メソ構造
体薄膜のメソチャンネルと直交する方向に行うとよい。
前記高分子化合物の繰り返しユニット中の連続したメチ
レン基の数が２〜２０の範囲であると好適である。前記
高分子化合物の繰り返しユニット中の連続したメチレン
基が高分子化合物の主鎖に含まれる構成と、前記高分子
化合物の繰り返しユニット中の連続したメチレン基が高
分子化合物の側鎖に含まれる構成を選択できる。前記メ
ソ構造体は細孔構造を有するとよく、前記メソ構造体中
の細孔が配向しているとさらによい。また、本発明はこ
れらの構成を組み合わせてもよい。
【００１３】また、本発明の一つは以下のように構成さ
れる。メソ構造体薄膜であって、繰り返しユニットの分
子構造中に２つ以上の連続したメチレン基を含んでいる
高分子化合物表面上に、形成されていることを特徴とす
るメソ構造体薄膜である。
【００１４】前記高分子化合物表面は、高分子化合物の
膜であるラングミュアーブロジェット膜の表面であって
もよい。前記高分子化合物表面が配向性を有するとよ
く、一軸配向性であるとさらによい。前記メソ構造体薄
膜は、ケイ素、さらに詳しくは、シリカを含むメソ構造
体薄膜であるとよく、ケイ素アルコキシドを加水分解す
ることにより形成されたものであるとさらによい。
【００１５】前記メソ構造体薄膜は、界面活性剤の存在
下で前記メソ構造体薄膜の材料を加水分解して形成され
たものであるとよい。前記メソ構造体薄膜は中空構造を
有するとよい。前記高分子化合物表面は、前記メソ構造
体薄膜を形成する前に、ラビング処理を行われたもので
あるとよい。
【００１６】前記高分子化合物表面は、前記ラビング処
理を、前記メソ構造体薄膜のメソチャンネルと直交する
方向に行われたものであるとよい。前記高分子化合物の
繰り返しユニット中の連続したメチレン基の数が２〜２
０の範囲であるとよい。
【００１７】前記高分子化合物の繰り返しユニット中の
連続したメチレン基が高分子化合物の主鎖に含まれる構
成と、前記高分子化合物の繰り返しユニット中の連続し
たメチレン基が高分子化合物の側鎖に含まれる構成を選
択できる。前記メソ構造体は細孔構造を有するとよく、
該細孔が配向しているとさらによい。また、本発明はこ
れらの構成を組み合わせてもよい。
【００１８】
【発明の実施の形態】従来のメソポーラス薄膜の製造方
法には以下に述べるような問題点があった。すなわち、
スピンコート膜等の場合には膜全体にわたってのメソ構
造体の方向性がなく、ポアを配向させることができな
い。また、一方メソ構造体を基板上に析出させる方法の
場合には形成される膜の基板依存性が大きく、方向性を
持った膜の形成は雲母やグラファイトのへき開面のよう
な原子レベルでの秩序性のある基板に限られている。
【００１９】このため、任意の基板上に配向性を有する
メソポーラス薄膜を形成する技術が求められていた。こ
れを解決するための技術として、“Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ
ｏｆ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ”誌第１１巻１６０９ペー
ジに記載されているような、表面に高分子化合物薄膜を
形成し、これに対しラビング処理を施した基板を用いる
方法が提案されている。
【００２０】以下の実施例では、簡単な方法で任意の基
板上に、配向性を有する連続性、均一性の高いメソ構造
体薄膜、メソポーラス薄膜、及びそれらの製造方法を提
供するものである。
【００２１】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
一実施形態として、酸性条件下、界面活性剤の存在下に
おいてケイ素アルコキシドを加水分解して、溶液中に保
持した基板上にシリカメソ構造体薄膜を形成する方法に
おいて、使用する基板の表面にラビング処理を施した高
分子化合物の膜が形成されており、かつ該高分子化合物
がその繰り返しユニットの分子構造中に２つ以上の連続
したメチレン基を含んでいることを特徴とする、シリカ
メソ構造体薄膜の製造方法、及び上記方法によって作成
されたシリカメソ構造体を説明する。
【００２２】また、本発明の別の一実施形態として、酸
性条件下、界面活性剤の存在下においてケイ素アルコキ
シドを加水分解して、溶液中に保持した基板上にシリカ
メソ構造体薄膜を形成する方法において、使用する基板
の表面に高分子化合物のラングミュア−ブロジェット膜
が形成されており、かつ該高分子化合物がその繰り返し
ユニットの分子構造中に２つ以上の連続したメチレン基
を含んでいることを特徴とする、シリカメソ構造体薄膜
の製造方法、及び上記方法によって作成されたシリカメ
ソ構造体を説明する。
【００２３】上記の２つの方法において、前記高分子化
合物の繰り返しユニット中の連続したメチレン基の数
が、２〜２０の範囲にある場合に、均一性、連続性、一
軸配向性に優れたシリカメソ構造体薄膜が形成できる。
前記高分子化合物の繰り返しユニット中の連続したメチ
レン基は高分子化合物の主鎖に含まれても、側鎖に含ま
れてもよいが、主鎖に含まれる場合には一軸配向性が良
好で、側鎖に含まれる場合には連続性が高い傾向があ
る。
【００２４】さらに本第二の発明の一実施形態は、以上
述べたような方法で作成したシリカメソ構造体薄膜から
界面活性剤を除去し、中空のメソポーラスシリカ薄膜を
形成する方法、及びその方法で得られたメソポーラスシ
リカ薄膜である。界面活性剤の除去は焼成、溶剤による
抽出を用いるのが一般的であるが、これ以外の方法であ
ってもメソ細孔構造を破壊することなく界面活性剤を除
去できる方法であれば用いることが可能である。
【００２５】以下、実施態様を用いて本発明を説明す
る。図２は本発明のシリカメソ複合体薄膜を形成するた
めの反応容器を示す説明図である。本発明のメソ構造体
薄膜の形成に用いる反応容器は、例えば図２の様な構成
のものが用いられる。反応容器２１の材質は、薬品、特
に酸に対する耐性を有するものであれば特に限定はな
く、ポリプロピレンやテフロン（登録商標）のようなも
のを用いることができる。反応容器２１内には、耐酸性
の材質の基板ホルダー２３が例えば図２の様に置かれて
おり、基板２５はこの基板ホルダー２３を用いて保持さ
れる。２２は蓋であり、材質は例えばテフロンのような
ものであり、２４はシールとしてＯリング等を使用す
る。図２は基板２５を水平に保持する例を示してある
が、基板の保持は水平に限定されるものではない。
【００２６】図３は反応溶液中における基板の保持方法
を示す説明図である。図３（Ａ）に示す様に、基板３２
は反応溶液３１中に保持するのが一般的だが、図３
（Ｂ）の様に基板の配向処理の施された側の表面３３を
反応溶液表面に接するように保持した場合にも同様の膜
を形成することができる。反応容器は、反応中に圧力が
かかっても破壊されないように、さらにステンレスのよ
うな剛性の高い材質の密閉容器に入れることもある。
【００２７】この図２および図３において、反応溶液は
界面活性剤水溶液に塩酸等の酸を混合し、ＳｉＯ2 の等
電点であるｐＨ＝２以下に調整したものに、テトラエト
キシシランの様なケイ素のアルコキシドを混合したもの
である。界面活性剤は、４級アルキルアンモニウムのよ
うなカチオン性界面活性剤、アルキルアミンやポリエチ
レンオキシドを親水基として含む界面活性剤のような非
イオン性界面活性剤等の中から適宜選択される。使用す
る界面活性剤分子の長さは、目的のメソ構造の細孔径に
応じて決められる。また、界面活性剤ミセルの径を大き
くするために、メシチレンのような添加物を加えても良
い。
【００２８】酸性側、特に等電点の近くではＳｉＯ2 の
沈殿の発生速度は小さく、塩基性条件の下での反応の場
合のようにアルコキシドの添加後瞬間的に沈殿が発生す
ることはない。
【００２９】本発明に用いられる基板は、その表面に高
分子化合物薄膜が形成されていて、さらにこれに対して
ラビング処理を施したものを用いる。高分子化合物薄膜
を形成する基板の材質に特に限定はないが、酸性条件に
対して安定なものが好ましい。例示すると、石英ガラ
ス、セラミクス、樹脂等が使用可能である。
【００３０】ラビング処理は、スピンコート等の手法に
より基板上にポリマーのコーティングを施し、これを布
でラビングする方法が用いられる。通常、ラビング布は
ローラーに巻き付けられていて、回転するローラーを基
板表面に接触させてラビングを行う。
【００３１】基板の表面に形成する高分子化合物薄膜
は、その繰り返し構造単位中に２つ以上の連続したメチ
レン基を含んでいるものを用いる。繰り返し構造単位中
のメチレン基の数が、２以上２０以下である場合に特に
一軸配向性の良好なシリカメソ構造体薄膜が得られる。
この範囲内では、以下に述べるシリカメソ構造体薄膜の
析出時に反応温度を上げた際にも、ラビングによって付
与された高分子の配向性が失われることがないためであ
ると考えられている。
【００３２】ラビング処理に適した高分子化合物の具体
例としては、例えばポリイミドのような化合物をあげる
ことができる。また、高分子化合物薄膜の膜厚は１〜２
０ｎｍであり、好ましくは３〜１０ｎｍである。
【００３３】本発明によれば、ラビングを施した高分子
化合物薄膜のかわりに高分子化合物のラングミュア−ブ
ロジェット膜（ＬＢ膜）を用いても、シリカメソ構造体
の一軸配向を達成することができる。ＬＢ膜は、水面上
に展開された単分子膜を基板上に移しとった膜であり、
成膜を繰り返すことで所望の層数の膜を形成することが
できる。本発明でいうＬＢ膜とは、基板上に形成された
ＬＢ膜に熱処理等の処理を施し、累積構造を保ったまま
で化学構造を変化させたＬＢ膜誘導体の単分子累積膜を
包含する。
【００３４】ＬＢ膜の成膜には一般的な方法が用いられ
る。一般的なＬＢ膜の成膜装置を模式的に図４に示す。
図４において、４１は純水４２を満たした水槽である。
４３は固定バリアであり、不図示の表面圧センサーがつ
けられている。水面上の単分子層４６は、目的の物質ま
たは目的物質前駆体の溶解した液体を可動バリア４４と
の間の領域の水面上に滴下することで形成され、可動バ
リア４４の移動によって表面圧が印加される構造になっ
ている。可動バリア４４は、基板に膜を成膜する間一定
の表面圧が印加されるように表面圧センサーによってそ
の位置が制御されている。純水は不図示の給水装置、及
び排水装置により常に清浄なものが供給される様になっ
ている。水槽４１には一部窪みが設けられており、この
位置に基板４５が保持され、不図示の並進装置によって
一定の速度で上下する構造になっている。水面上の膜は
基板が水中に入っていく際、及び引き上げられる際に基
板上に移し取られる。
【００３５】本発明で用いられるＬＢ膜はこの様な装置
を用いて、水面上に展開された単分子層に表面圧をかけ
ながら、基板を水中に出し入れすることで基板上に１層
ずつ単分子層を形成することにより得られる。膜の形
態、及び性質は、表面圧、基板の押し込み／引き上げの
際の移動速度、及び層数でコントロールされる。成膜の
際の表面圧は、表面積―表面圧曲線から最適な条件が決
定されるが、一般的には数ｍＮ／ｍから数十ｍＮ／ｍの
値である。また、基板の移動速度は、一般的には数ｍｍ
／分〜数百ｍｍ／分である。ＬＢ膜の成膜方法は、以上
述べたような方法が一般的であるが、本発明に用いられ
るＬＢ膜の成膜方法はこれに限定されず、例えば、サブ
フェイズである水の流動を用いるような方法を用いるこ
ともできる。
【００３６】ＬＢ膜を成膜する基板の材質にも特に限定
はなく、酸性条件に対して安定なものが好ましい。例示
すると、石英ガラス、セラミクス、樹脂等が使用可能で
ある。
【００３７】ＬＢ膜に用いる高分子化合物は、ラビング
処理を施した高分子化合物薄膜の場合と同様に、その繰
り返し構造単位中に２つ以上の連続したメチレン基を含
んでいるものを用いる。この場合にも、繰り返し構造単
位中のメチレン基の数が、２以上２０以下である場合に
特に一軸配向性の良好なシリカメソ構造体薄膜が得ら
れ、それ以上大きくなる場合には一軸配向性が低下する
傾向があった。これは、後述のシリカメソ構造体薄膜の
析出時に反応温度を上げた際に、ＬＢ膜中での高分子の
配向性が失われてしまうためであると考えられている。
【００３８】ＬＢ膜の成膜に適した高分子化合物の具体
例としては、例えばポリアミック酸のアルキルアミン塩
のようなものが挙げられ、これを加熱して、ポリイミド
のＬＢ膜が基板上に形成される。
【００３９】また、ＬＢ膜の膜厚は１〜２０ｎｍであ
り、好ましくは２〜１０ｎｍである。この様な条件で基
板上にシリカのメソ構造体を析出させることができる。
析出させる際の温度には特に制約はなく、室温〜１００
℃程度の温度領域において選択される。反応時間は数時
間〜数ヶ月程度で、時間が短いほど薄い膜が形成され
る。この様にして基板上に形成された膜は、純水で洗浄
した後に空気中で自然乾燥させ、シリカメソ複合体薄膜
が得られる。
【００４０】このシリカメソ複合体からテンプレートの
界面活性剤ミセルを除去することでメソポーラスシリカ
薄膜を作成することができる。界面活性剤の除去には、
焼成、または溶剤による抽出が用いられる。例えば、空
気中、５５０℃で１０時間焼成することによって、メソ
構造、及びその一軸配向性をほとんど破壊することなく
メソ構造体薄膜から完全に界面活性剤を除去することが
できる。また、溶剤抽出を用いると、１００％の界面活
性剤の除去は困難ではあるものの、焼成に耐えられない
材質の基板上にメソポーラス薄膜を形成することが可能
である。
【００４１】以上説明した本発明の要旨は、第一には基
板上に形成した高分子化合物の疎水性を高め、ラビング
処理を施した高分子化合物薄膜やＬＢ膜上でのメソポー
ラスシリカ粒子の析出の密度を増大させることにより連
続性の高い膜を得るというものであり、第二には基板表
面のアルキル基と界面活性剤分子のアルキル基との相互
作用を強くして、一軸配向性に優れた膜を得るというも
のである。
【００４２】
【実施例】以下、実施例を用いてさらに詳細に本発明を
説明する。
【００４３】実施例１ 本実施例は、高分子化合物の繰り返しユニット中、主鎖
部に６個の連続したメチレン基を有するポリマー薄膜に
ラビング配向処理を施した基板を用いて、シリカメソ複
合体薄膜、及びメソポーラスシリカ薄膜を作成した例で
ある。
【００４４】アセトン、イソプロピルアルコール、及び
純水で洗浄し、オゾン発生装置中で表面をクリーニング
した石英ガラス基板に、スピンコートによって、ポリア
ミック酸ＡのＮＭＰ溶液をスピンコートにより塗布し、
２００℃で１時間焼成して、以下の構造を有するポリイ
ミドＡを形成した。
【００４５】
【化１】
【００４６】これに対して、下記の表１の条件でラビン
グ処理を施し、基板として用いた。
【００４７】
【表１】
【００４８】セチルトリメチルアンモニウム塩化物２．
８２ｇを１０８ｍｌの純水に溶解し、３６％塩酸を４
８．１ｍｌ添加して２時間攪拌し、界面活性剤の酸性溶
液とした。この溶液にテトラエトキシシラン（ＴＥＯ
Ｓ）１．７８ｍｌを加え、２分３０秒攪拌し、上記基板
を保持した基板ホルダーの入った図２の構成のテフロン
容器中に入れ、基板が溶液中に保持されるようにした。
最終的な溶液組成はモル比で、Ｈ2 Ｏ＝１００：ＨＣｌ
＝７：セチルトリメチルアンモニウム塩化物＝０．１
１：ＴＥＯＳ＝０．１０である。この容器に蓋をし、さ
らにステンレス製の密閉容器に入れた後に８０℃に保っ
たオーブン中に保持した。保持時間は、２４時間とし
た。
【００４９】所定の時間反応溶液と接触させた基板は、
容器から取り出し、純水で十分に洗浄した後に、室温に
おいて自然乾燥させた。
【００５０】反応溶液と２４時間接触させた基板を乾燥
させた後に、光学顕微鏡で観察された形状を模式的に図
５に示す。この図５に示したように、ラビングを施した
ポリイミド配向膜Ａを形成した基板上では、ほぼ連続的
な膜が形成されており、ラビング方向に直交する方向に
一軸配向した細長いドメイン状の構造５２が観察され
た。このポリイミドを使用した場合には、本実施例の作
成条件の下で作成した限りでは、ラビング方向に平行な
スジ状の欠陥がわずかに観察された。このスジ状の欠陥
は図５中５１で示した。
【００５１】このシリカメソ構造体薄膜が形成された基
板をＸ線回折分析で分析した。その結果、面間隔３．６
０ｎｍの、ヘキサゴナル構造の（１００）面に帰属され
る強い回折ピークが確認され、この薄膜がヘキサゴナル
な細孔構造を有することが確かめられた。広角の領域に
は回折ピークが認められないことから、壁を構成するシ
リカは非晶質であることがわかった。
【００５２】このシリカメソ構造体薄膜中のメソチャン
ネルの一軸配向性を定量的に評価するために、面内Ｘ線
回折分析による評価を行った。メソチャンネルの方向と
は、細孔の深さ方向であって、その分布は面内Ｘ線回折
分析により評価をすることができる。この方法は、“Ｃ
ｈｅｍｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ”誌第１
１巻１６０９ページに記載されているような、基板に垂
直な（１１０）面に起因するＸ線回折強度の面内回転依
存性を測定するもので、メソチャンネルの配向方向とそ
の分布を調べることができる。
【００５３】本実施例で測定されたX 線回折強度は、１
８０度おきに二つのピークが観測された。このことによ
り、シリカメソ構造体の細孔は、配向性を有することが
確認された。
【００５４】本実施例で測定された（１１０）面回折強
度の面内回転角度依存性を図６に示す。この測定におい
ては、ラビング方向を面内回転角度の０°とした。この
図に示したように、９０°を中心としたガウシアン型の
プロファイルが得られた。これより、本実施例で作成さ
れたシリカメソ構造体薄膜中では、メソチャンネルはラ
ビング方向に対して直交方向に配向しており、その配向
方向の分布は半値幅が約１３°であることが示された。
【００５５】このシリカメソ構造体の薄膜を作成した基
板をマッフル炉に入れ、１℃／分の昇温速度で５５０℃
まで昇温し、空気中で１０時間焼成した。焼成後の基板
表面の形状には、焼成前と比較して大きな差異は認めら
れなかった。さらに、焼成後の薄膜のＸ線回折分析の結
果、面間隔３．４４ｎｍの強い回折ピークが観測され、
ヘキサゴナルな細孔構造が保持されていることが確かめ
られた。焼成後にも、広角領域には回折ピークは確認さ
れておらず、壁のシリカは非晶質のままであることが確
認された。また、赤外吸収スペクトル等の分析により、
この焼成後の試料には界面活性剤に起因する有機物成分
は残存していないことが確かめられた。
【００５６】焼成後のメソポーラスシリカ薄膜の面内Ｘ
線回折分析を行い、（１１０）面回折強度の面内回転角
度依存性を調べたところ、図６と同様のプロファイルが
観測され、その半値幅は約１２°であった。このことか
ら、本実施例で作成したシリカメソ構造体は、焼成後に
もメソチャンネルの一軸配向性を保持していることが確
かめられた。
【００５７】焼成前後の薄膜を、フォーカストイオンビ
ーム（ＦＩＢ）を用いてラビング方向に平行に切断し、
断面の透過電子顕微鏡観察を行ったところ、いずれの場
合にも、断面にヘキサゴナル構造の細孔が確認され、メ
ソポアがラビング方向に対して直交方向に配向している
ことが確認された。シリカメソ複合体薄膜の断面をラビ
ング方向に対して直交する方向からから観察した場合の
模式図を図１に示す。図１中、１１は石英ガラス基板、
１２はラビングを施した配向膜、１３は界面活性剤ロッ
ド状ミセルまたは空孔、１４はシリカを示す。
【００５８】焼成によって、メソポーラスシリカ膜の基
板への密着性は大きく向上し、焼成後には表面を布等で
強くこすった場合にも剥離等は起こらなかった。これ
は、下地の石英とメソポーラスシリカ層とがシラノール
の脱水縮合による部分的な結合を形成したことによると
考えられる。
【００５９】実施例２ 本実施例は、基板上に形成されたシリカメソ複合体か
ら、溶剤抽出によって界面活性剤を除去してメソポーラ
スシリカを作成した例である。実施例１と同じ、ポリイ
ミドＡを形成した後にラビングを施した石英ガラス基板
を用い、実施例１と同じ組成の溶液、同じ手順でシリカ
メソ構造体薄膜を作成した。
【００６０】このシリカメソ構造体薄膜をエタノール中
に浸漬し、７０℃で２４時間抽出を試みたところ、一度
の抽出によって９０％以上の界面活性剤が、合成された
シリカメソ構造体から除去された。同じ抽出操作を２回
繰り返し行なった試料では、９５％以上の界面活性剤を
除去することができた。抽出後の薄膜を乾燥させエタノ
ールを除去することによってメソポーラスシリカを得
た。
【００６１】本実施例に用いた、溶剤抽出により界面活
性剤ミセルを除去する方法は、界面活性剤を完全に除去
することは困難であるものの、酸化雰囲気における熱処
理に弱い樹脂のような基板上に形成されたシリカメソ複
合体薄膜から界面活性剤を除く方法として有効である。
【００６２】作成されたメソポーラスシリカ薄膜を実施
例１で用いた面内Ｘ線回折分析で分析し、（１１０）面
回折強度の面内回転依存性から薄膜中のメソチャンネル
の一軸配向性を調べたところ、得られたプロファイルの
半値幅は界面活性剤の抽出前と同じであった。このこと
より、溶剤抽出によっても一軸配向性を保持したままで
メソポーラスシリカ薄膜を形成することが可能であるこ
とが示された。
【００６３】実施例３ 本実施例は、高分子化合物の繰り返しユニット中、側鎖
部に１７個の連続したメチレン基を有するポリマー薄膜
にラビング配向処理を施した基板を用いて、シリカメソ
複合体薄膜、及びメソポーラスシリカ薄膜を作成した例
である。
【００６４】実施例１と同様の前処理を施した石英ガラ
ス基板に、スピンコートによって、ポリアミック酸Ｂの
ＮＭＰ溶液をスピンコートにより塗布し、１８０℃で１
時間焼成して、以下の構造を有するポリイミドＢを形成
した。
【００６５】
【化２】
【００６６】これに対して、下記の表２の条件でラビン
グ処理を施し、基板として用いた。
【００６７】
【表２】
【００６８】この基板を実施例１と同じ組成の反応溶液
中に入れ、８０℃に保ったオーブン中で２４時間保持し
た。基板は、容器から取り出し、純水で十分に洗浄した
後に、室温において自然乾燥させた。
【００６９】反応溶液と２４時間接触させた基板を乾燥
させた後に、光学顕微鏡で形状を観察した結果、方向性
を有したテクスチュアが確認された。しかし、そのテク
スチュアの配向性は実施例１で観察されたものよりも不
明瞭であった。さらに、本実施例で作成したシリカメソ
構造体中でのテクスチュアの配向方向は実施例１の場合
とは異なり、ラビング方向に平行であった。本実施例で
得られたシリカメソ構造体薄膜は完全な連続膜で、実施
例１で見られたような欠陥は認められなかった。
【００７０】このシリカメソ構造体薄膜が形成された基
板をＸ線回折分析で分析した。その結果、本実施例で作
成されたシリカメソ構造体の場合にも、面間隔３．５８
ｎｍの、ヘキサゴナル構造の（１００）面に帰属される
強い回折ピークが確認され、この薄膜がヘキサゴナルな
細孔構造を有することが確かめられた。広角の領域には
回折ピークが認められないことから、壁を構成するシリ
カは非晶質であることがわかった。
【００７１】このシリカメソ構造体薄膜中のメソチャン
ネルの一軸配向性を定量的に評価するために、実施例１
と同様に面内Ｘ線回折分析による評価を行った。この場
合にも（１１０）回折強度の面内回転角度依存性を測定
した。ラビング方向を面内回転角度の０°として測定を
行った結果、得られたプロファイルは、０°を中心とし
たガウシアン曲線であり、その半値幅は約３５°であっ
た。これより、本実施例で作成されたシリカメソ構造体
薄膜中では、メソチャンネルはほぼラビング方向に配向
していることが明らかとなった。
【００７２】このシリカメソ構造体の薄膜を作成した基
板を実施例１と同じ条件で焼成した。焼成後の基板表面
の形状には、焼成前と比較して大きな差異は認められな
かった。さらに、焼成後の薄膜のＸ線回折分析の結果、
面間隔３．４４ｎｍの強い回折ピークが観測され、ヘキ
サゴナルな細孔構造が保持されていることが確かめられ
た。焼成後にも、広角領域には回折ピークは確認されて
おらず、壁のシリカは非晶質のままであることが確認さ
れた。また、赤外吸収スペクトル等の分析により、この
焼成後の試料には既に界面活性剤に起因する有機物成分
は残存していないことが確かめられた。
【００７３】焼成後のメソポーラスシリカ薄膜の面内Ｘ
線回折分析を行ったところ、（１１０）面の回折強度の
面内回転角度依存性のプロファイルは半値幅は約３４°
のガウシアン曲線であった。このことから、本実施例で
作成したシリカメソ構造体は、焼成後にもメソチャンネ
ルの一軸配向性を保持していることが確かめられた。本
実施例で作成されたメソ構造体薄膜も、焼成によって基
板との密着性が向上した。
【００７４】比較例１ 本比較例は、高分子化合物の繰り返しユニット中にメチ
レン基を持たない高分子化合物薄膜にラビング配向処理
を施した基板を用いてシリカメソ複合体薄膜、及びメソ
ポーラスシリカ薄膜を作成した例である。
【００７５】実施例１と同様の前処理を施した石英ガラ
ス基板に、スピンコートによって、ポリアミック酸Ｃの
ＮＭＰ溶液をスピンコートにより塗布し、２００℃で１
時間焼成して、以下の構造を有するポリイミドＣを形成
した。
【００７６】
【化３】
【００７７】これに対して、下記の表３の条件でラビン
グ処理を施し、基板として用いた。
【００７８】
【表３】
【００７９】この基板を実施例１と同じ組成の反応溶液
中に入れ、８０℃に保ったオーブン中で２４時間保持し
た。基板は、容器から取り出し、純水で十分に洗浄した
後に、室温において自然乾燥させた。
【００８０】本比較例で作成されたシリカメソ構造体薄
膜を光学顕微鏡で観察したところ、細長いシリカメソ構
造体粒子がラビング方向に一軸配向しているのが観察さ
れ、部分的に連続し、膜状になっている箇所はあるもの
の、ほとんどの箇所においては離散的な形状を示してい
た。本比較例で基板上に形成されたシリカメソ構造体の
光学顕微鏡像を模式的に図７に示す。図７中にｗで示し
た個々の粒子の幅は約２〜３μｍであった。この試料の
Ｘ線回折パターンには、ヘキサゴナル構造の（１００）
面に帰属される回折ピークが面間隔３．６０ｎｍに対応
する位置に観測され、実施例１で作成したメソ構造体と
同じ構造が基板上に形成されていることが確認された。
【００８１】また、図７に示した個々の粒子の端部では
メソチャンネルは曲がっていることがわかり、本比較例
で作成した基板上のシリカメソ構造体の一軸配向性は全
体的に劣っていることが明らかとなった。
【００８２】実施例４ 本実施例は、実施例１で使用したものと同じ構造のポリ
イミドＡのＬＢ膜を形成した基板上を用いて、シリカメ
ソ構造体薄膜、及びメソポーラスシリカ薄膜を作成した
ものである。
【００８３】ポリアミック酸ＡとＮ，Ｎ−ジメチルヘキ
サデシルアミンとを１：２のモル比で混合し、ポリアミ
ック酸ＡのＮ，Ｎ−ジメチルヘキサデシルアミン塩を作
成した。これをＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドに溶解し
０．５ｍＭの溶液とし、この溶液を２０℃に保ったＬＢ
膜成膜装置の水面上に滴下した。水面上に形成された単
分子膜は、３０ｍＮ／ｍの一定の表面圧を印加しなが
ら、５．４ｍｍ／ｍｉｎのディップ速度で基板上に移し
取った。
【００８４】基板はアセトン、イソプロピルアルコー
ル、及び純水で洗浄し、オゾン発生装置中で表面をクリ
ーニングした石英ガラス基板に対して疎水処理を行った
ものを用いた。基板上に３０層のポリアミック酸アルキ
ルアミン塩ＬＢ膜を成膜した後、窒素ガスフローの下で
３００℃で３０分間焼成してポリイミドＡのＬＢ膜を形
成した。ポリアミック酸の脱水閉環によるイミド化、及
びアルキルアミンの脱離は赤外吸収スペクトルより確認
した。
【００８５】この基板を実施例１と同じ組成の反応溶液
中に入れ、８０℃に保ったオーブン中で２４時間保持し
た。基板は、容器から取り出し、純水で十分に洗浄した
後に、室温において自然乾燥させた。
【００８６】本実施例で作成されたシリカメソ構造体薄
膜を光学顕微鏡で観察した結果、実施例１において作成
された薄膜において観察されたのとほぼ同じテクスチュ
アを有する連続膜が形成されていることがわかった。テ
クスチュアの配向方向は、ＬＢ膜作成時の基板の引き上
げ方向に対して直交する方向であった。形成されたシリ
カメソ構造体薄膜には、この場合もわずかに欠陥が認め
られたが、実施例１で作成された膜よりは欠陥は少な
く、本実施例の方法は、ＬＢ膜作成に手間がかかる反
面、スピンコートで膜を作成した後にラビング処理を施
した基板を用いた場合よりも、連続性の高いシリカメソ
構造体膜が得られるという特長を有していた。
【００８７】本実施例で作成したシリカメソ構造体薄膜
をＸ線回折分析で分析した結果、面間隔３．５８ｎｍ
の、ヘキサゴナル構造の（１００）面に帰属される強い
回折ピークが確認され、この薄膜がヘキサゴナルな細孔
構造を有することが確かめられた。広角の領域には回折
ピークが認められないことから、壁を構成するシリカは
非晶質であることがわかった。
【００８８】このシリカメソ構造体薄膜に関しても、薄
膜中のメソチャンネルの一軸配向性を定量的に評価する
ために、他の実施例と同様に面内Ｘ線回折分析による評
価を行った。この場合にも（１１０）回折強度の面内回
転角度依存性を測定した。ＬＢ膜成膜時の基板の引き上
げ方向を面内回転角度の０°として測定を行った結果、
得られたプロファイルは、９０°を中心としたガウシア
ン曲線であり、その半値幅は約１２°であった。このこ
とから、本実施例において、ポリイミドＡのＬＢ膜上に
形成されたシリカメソ構造体薄膜中のメソチャンネルは
成膜時の基板の移動方向に直交する方向に配向している
ことが明らかとなった。
【００８９】このシリカメソ構造体薄膜を実施例１と同
じ条件で焼成し、界面活性剤の除去を行った。焼成後の
膜のモフォロジーには、焼成前と比較して大きな差異は
認められなかった。さらに、焼成後の薄膜のＸ線回折分
析の結果、面間隔３．４２ｎｍの強い回折ピークが観測
され、ヘキサゴナルな細孔構造が保持されていることが
確かめられた。焼成後にも、広角領域には回折ピークは
確認されておらず、壁のシリカは非晶質のままであるこ
とが確認された。また、赤外吸収スペクトル等の分析に
より、この焼成後の試料には既に界面活性剤に起因する
有機物成分は残存していないことが確かめられた。
【００９０】焼成後のメソポーラスシリカ薄膜を面内Ｘ
線回折分析で分析した結果、（１１０）面回折強度の面
内回転依存性のプロファイルの半値幅は約１２°で、焼
成前と変化がなく、メソチャンネルの一軸配向性が完全
に保持されていることが確かめられた。
【００９１】実施例５ 本実施例は、実施例１で用いたものと同じ、ラビング処
理を施したポリイミドＡ配向膜を形成した基板を用い、
ポリエチレンオキシドを親水基として有する非イオン性
界面活性剤を使用して、一軸配向性二次元ヘキサゴナル
構造の細孔構造を有するシリカメソ構造体薄膜、及びメ
ソポーラスシリカ薄膜を作成した例である。
【００９２】実施例１と同じポリアミック酸を用い、実
施例１と同じ手順でポリイミドＡの薄膜を石英ガラス上
に作成した。これに対して、実施例１と同じ、表１に示
した条件でラビング処理を施し、シリカメソ構造体形成
用の基板として用いた。
【００９３】ポリオキシエチレンドデシルエーテル（Ｃ
12Ｈ25（ＣＨ2 ＣＨ2 Ｏ）10ＯＨ、Ｃ12ＥＯ10）５．５
２ｇを１２９ｍｌの純水に溶解し、２０．６ｍｌの濃塩
酸（３６％）を添加し、さらにこの溶液に、２．２０ｍ
ｌのテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を添加し、３分
間撹拌した。最終的な溶液中の各成分のモル比は、ＴＥ
ＯＳ：Ｈ2 Ｏ：ＨＣｌ：Ｃ12ＥＯ10＝０．１：１００：
３：０．１１である。
【００９４】ラビング処理を施したポリイミドＡを形成
した上記基板を、膜形成面を下向きにして、この反応溶
液中に保持し、反応溶液を入れた容器を密閉した後、８
０℃で３日間反応させた。良好な一軸配向性シリカメソ
構造体薄膜を得るために、反応中スペーサを介して表面
にカバーを施した。
【００９５】所定の時間反応溶液と接触させた基板は、
容器から取り出し、純水で十分に洗浄した後に、室温に
おいて自然乾燥させた。基板上には、シリカメソ構造体
の連続膜が形成されていることが確認された。
【００９６】この膜をＸ線回折分析で分析した結果、面
間隔４．３０ｎｍに相当する、ヘキサゴナル構造のシリ
カメソ構造体の（１００）面に帰属される強い回折ピー
クが確認され、この薄膜はロッド状細孔がヘキサゴナル
パッキングした細孔構造を有することが確かめられた。
【００９７】このシリカメソ構造体薄膜中のメソチャン
ネルの一軸配向性を定量的に評価するために、本実施例
で作成したシリカメソ構造体薄膜についても、面内Ｘ線
回折分析による評価を行った。本実施例で測定された
（１１０）面回折強度の面内回転角度依存性より、本実
施例で作成されたシリカメソ構造体薄膜中では、メソチ
ャンネルはポリイミドのラビング方向に垂直に配向して
おり、その配向方向の分布は半値幅が約２０°であるこ
とが示された。
【００９８】以上述べたように、ポリエチレンオキシド
を親水基として有する非イオン性界面活性剤を使用した
場合にも、一軸配向性のシリカメソ構造体薄膜の基板上
への形成が確認された。
【００９９】この様にして作成した、シリカメソ構造体
の細孔内の界面活性剤をエタノール中に浸漬し、７０℃
で２４時間還流する操作を２回繰り返した。この操作に
よって、細孔内の界面活性剤を９６％以上除去できるこ
とが、確認されている。界面活性剤を除去した後の薄膜
を面内Ｘ線回折分析によって分析し、細孔方向の分布を
調べた結果、半値幅は約２０°であり、完全に一軸配向
性を保持したメソポーラスシリカ薄膜を形成することが
できた。
【０１００】ポリエチレンオキシドを親水基として有す
る非イオン性界面活性剤を使用すると、アルキルアンモ
ニウム系のカチオン性界面活性剤を用いるよりも広い範
囲で細孔径をコントロールすることが可能である。
【０１０１】以上述べた各実施例においては、繰り返し
ユニットの分子構造中に２つ以上の連続したメチレン基
を含む高分子化合物の薄膜を形成した後にラビング処理
を施した基板、または繰り返しユニットの分子構造中に
２つ以上の連続したメチレン基を含む高分子化合物のＬ
Ｂ膜を形成した基板を用いることで、任意の基板上に、
高い連続性、一軸配向性を有するメソ複合体薄膜、及び
メソポーラス薄膜を形成することができた。
【０１０２】
【発明の効果】本願発明によると好適なメソ構造体薄膜
が実現でき、また、好適にメソ構造体薄膜を作成するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１で作成した配向シリカメソ複
合体薄膜及びメソポーラス薄膜の断面ＴＥＭ像の模式図
である。
【図２】本発明におけるシリカメソ複合体薄膜を形成す
るための反応容器を示す説明図である。
【図３】反応溶液中における基板の保持方法を示す説明
図である。
【図４】本発明に用いられるＬＢ膜成膜装置の模式図で
ある。
【図５】本発明の実施例１で２４時間の反応時間で作成
された薄膜の顕微鏡像の模式図である。
【図６】本発明の実施例１で作成したシリカメソ構造体
薄膜の面内Ｘ線回折分析において、（１１０）面回折強
度の試料面内回転依存性を示す図である。
【図７】比較例１で２４時間の反応時間で作成されたシ
リカメソ構造体の顕微鏡像の模式図である。
【符号の説明】
１１ 石英ガラス基板 １２ ラビングを施した配向膜 １３ 界面活性剤ロッド状ミセルまたは空孔 １４ シリカ ２１ 反応容器（テフロン） ２２ 蓋（テフロン） ２３ 基板ホルダー（テフロン製） ２４ シール（Ｏリング） ２５ 基板 ３１ 反応溶液 ３２ 基板 ３３ 配向処理表面 ４１ 水槽 ４２ 純水 ４３ 固定バリア ４４ 可動バリア ４５ 基板 ４６ 水面上の単分子層 ５１ 欠陥

Claims (38)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 メソ構造体薄膜の製造方法であって、繰
    り返しユニットの分子構造中に２つ以上の連続したメチ
    レン基を含んでいる高分子化合物上に、配向したロッド
    状の細孔を有するメソ構造体薄膜を形成することを特徴
    とするメソ構造体薄膜の製造方法。
  2. 【請求項２】 前記高分子化合物を準備する工程を有す
    る請求項１に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  3. 【請求項３】 前記高分子化合物を準備する工程は、基
    板上に前記高分子化合物の膜を形成する工程である請求
    項２に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  4. 【請求項４】 前記高分子化合物を準備する工程は、高
    分子化合物の膜としてラングミュアーブロジェット膜を
    形成する工程である請求項２または３に記載のメソ構造
    体薄膜の製造方法。
  5. 【請求項５】 前記高分子化合物が配向性を有する状態
    で、前記メソ構造体薄膜の形成を行う請求項１乃至４の
    いずれかの項に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  6. 【請求項６】 前記高分子化合物の配向性が一軸配向性
    である請求項５に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  7. 【請求項７】 前記メソ構造体薄膜は、ケイ素を含むメ
    ソ構造体薄膜である請求項１乃至６のいずれかの項に記
    載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  8. 【請求項８】 前記メソ構造体薄膜は、シリカを含むメ
    ソ構造体薄膜である請求項７に記載のメソ構造体薄膜の
    製造方法。
  9. 【請求項９】 前記メソ構造体薄膜は、ケイ素アルコキ
    シドを加水分解することにより形成する請求項１乃至８
    のいずれかの項に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記メソ構造体薄膜は、界面活性剤の
    存在下で加水分解反応により形成する請求項１乃至９の
    いずれかの項に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記界面活性剤は、４級アルキルアン
    モニウムである請求項１０に記載のメソ構造体薄膜の製
    造方法。
  12. 【請求項１２】 前記界面活性剤は、ポリエチレンオキ
    シドを親水基として含む界面活性剤である請求項１０に
    記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  13. 【請求項１３】 前記メソ構造体薄膜の形成の後、前記
    界面活性剤を除去する工程を有する請求項１０乃至１２
    のいずれかの項に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  14. 【請求項１４】 前記界面活性剤を除去する工程は、前
    記メソ構造体薄膜を焼成する工程である請求項１３に記
    載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  15. 【請求項１５】 前記界面活性剤を除去する工程は、溶
    媒抽出によって前記界面活性剤を除去する工程である請
    求項１３に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  16. 【請求項１６】 前記メソ構造体薄膜は、加水分解反応
    により形成するものであり、該加水分解反応は酸性条件
    下で生じせしめる請求項１乃至１５のいずれかの項に記
    載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  17. 【請求項１７】 前記メソ構造体薄膜は、該メソ構造体
    薄膜の材料を含む溶液を前記高分子化合物表面に接触さ
    せて形成する請求項１乃至１６のいずれかの項に記載の
    メソ構造体薄膜の製造方法。
  18. 【請求項１８】 前記メソ構造体薄膜を形成する前に、
    前記高分子化合物表面に、ラビング処理を行う工程を有
    する請求項１乃至１７のいずれかの項に記載のメソ構造
    体薄膜の製造方法。
  19. 【請求項１９】 前記ラビング処理は、前記形成される
    メソ構造体薄膜のメソチャンネルと直交する方向に行う
    請求項１８に記載のメソ構造体薄膜の製造方法。
  20. 【請求項２０】 前記高分子化合物の繰り返しユニット
    中の連続したメチレン基の数が２〜２０の範囲である請
    求項１乃至１９のいずれかの項に記載のメソ構造体薄膜
    の製造方法。
  21. 【請求項２１】 前記高分子化合物の繰り返しユニット
    中の連続したメチレン基が高分子化合物の主鎖に含まれ
    る請求項１乃至２０のいずれかの項に記載のメソ構造体
    薄膜の製造方法。
  22. 【請求項２２】 前記高分子化合物の繰り返しユニット
    中の連続したメチレン基が高分子化合物の側鎖に含まれ
    る請求項１乃至２１のいずれかの項に記載のメソ構造体
    薄膜の製造方法。
  23. 【請求項２３】 配向したロッド状の細孔を有するメソ
    構造体薄膜であって、繰り返しユニットの分子構造中に
    ２つ以上の連続したメチレン基を含んでいる高分子化合
    物上に形成されていることを特徴とするメソ構造体薄
    膜。
  24. 【請求項２４】 前記高分子化合物は、高分子化合物の
    膜であるラングミュア−ブロジェット膜の表面である請
    求項２３に記載のメソ構造体薄膜。
  25. 【請求項２５】 前記高分子化合物が配向性を有する請
    求項２３または２４に記載のメソ構造体薄膜。
  26. 【請求項２６】 前記高分子化合物の配向性が一軸配向
    性である請求項２５に記載のメソ構造体薄膜。
  27. 【請求項２７】 前記メソ構造体薄膜は、ケイ素を含む
    メソ構造体薄膜である請求項２３乃至２６のいずれかの
    項に記載のメソ構造体薄膜。
  28. 【請求項２８】 前記メソ構造体薄膜は、シリカを含む
    メソ構造体薄膜である請求項２３乃至２７のいずれかの
    項に記載のメソ構造体薄膜。
  29. 【請求項２９】 前記メソ構造体薄膜は、ケイ素アルコ
    キシドを加水分解することにより形成されたものである
    請求項２３乃至２８のいずれかの項に記載のメソ構造体
    薄膜。
  30. 【請求項３０】 前記メソ構造体薄膜は、界面活性剤の
    存在下で前記メソ構造体薄膜の材料を加水分解して形成
    されたものである請求項２３乃至２９のいずれかの項に
    記載のメソ構造体薄膜。
  31. 【請求項３１】 前記メソ構造体薄膜は中空構造を有す
    る請求項２３乃至３０のいずれかの項に記載のメソ構造
    体薄膜。
  32. 【請求項３２】 前記高分子化合物は、前記メソ構造体
    薄膜を形成する前に、ラビング処理を行われたものであ
    る請求項２３乃至３１のいずれかの項に記載のメソ構造
    体薄膜。
  33. 【請求項３３】 前記高分子化合物表面は、前記ラビン
    グ処理を前記メソ構造体薄膜のメソチャンネルと直交す
    る方向に行われたものである請求項３２に記載のメソ構
    造体薄膜。
  34. 【請求項３４】 前記高分子化合物の繰り返しユニット
    中の連続したメチレン基の数が２〜２０の範囲である請
    求項２３乃至３３のいずれかの項に記載のメソ構造体薄
    膜。
  35. 【請求項３５】 前記高分子化合物の繰り返しユニット
    中の連続したメチレン基が高分子化合物の主鎖に含まれ
    る請求項２３乃至３４のいずれかの項に記載のメソ構造
    体薄膜。
  36. 【請求項３６】 前記高分子化合物の繰り返しユニット
    中の連続したメチレン基が高分子化合物の側鎖に含まれ
    る請求項２３乃至３５のいずれかの項に記載のメソ構造
    体薄膜。
  37. 【請求項３７】 前記メソ構造体は細孔構造を有する請
    求項２３乃至３６のいずれかの項に記載のメソ構造体薄
    膜。
  38. 【請求項３８】 前記メソ構造体中の細孔が配向してい
    る請求項３７に記載のメソ構造体薄膜。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004091318A (ja) * 2002-08-09 2004-03-25 Canon Inc 金属酸化物を含有する膜及びその製造方法
WO2005008684A1 (en) * 2003-07-23 2005-01-27 Canon Kabushiki Kaisha Structured material and producing method thereof
JP2009149514A (ja) * 2003-08-08 2009-07-09 Canon Inc 構造体及びその製造方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4250287B2 (ja) * 1999-01-07 2009-04-08 キヤノン株式会社 シリカメソ構造体の製造方法
JP2006327854A (ja) * 2005-05-24 2006-12-07 Canon Inc メソポーラス材料薄膜、レーザー発光部、レーザー及びメソポーラス材料薄膜の製造方法
JP4708861B2 (ja) * 2005-05-25 2011-06-22 キヤノン株式会社 電界効果型トランジスタの製造方法
WO2007075680A2 (en) * 2005-12-19 2007-07-05 University Of Vermont And State Agricultural College System and method for delivering a desired material to a cell
JP2007197297A (ja) * 2005-12-27 2007-08-09 Canon Inc 多孔体、多孔体を含む組成物及び多孔体を備えるセンサー
JP4642654B2 (ja) * 2005-12-27 2011-03-02 キヤノン株式会社 生体物質を担持した粒子、それを用いたセンサー及び検体の検出方法
US20110198214A1 (en) * 2008-12-04 2011-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Mesoporous silica film and process for production thereof
KR100915774B1 (ko) * 2009-03-09 2009-09-04 (주)경동기술공사 폴리메틸실록산 용액을 포함하는 교면 방수제 및 이를 이용한 교면 방수 공법
US20120295447A1 (en) * 2010-11-24 2012-11-22 Air Products And Chemicals, Inc. Compositions and Methods for Texturing of Silicon Wafers
KR101954478B1 (ko) * 2011-12-09 2019-03-05 도쿄 메트로폴리탄 유니버시티 리튬 이차 전지용 세퍼레이터 및 그 제조 방법

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3962205A (en) 1973-03-06 1976-06-08 National Research Development Corporation Polymer materials
DE3881726T2 (de) * 1987-03-09 1994-01-13 Chisso Corp Diamino-Verbindungen und Filme zur Orientierung von Flüssigkristallen.
JP3078573B2 (ja) * 1990-11-16 2000-08-21 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶電気光学装置
KR940004732A (ko) * 1992-08-07 1994-03-15 가나이 쯔또무 패턴 형성 방법 및 패턴 형성에 사용하는 박막 형성 방법
US5622684A (en) * 1995-06-06 1997-04-22 Board Of Trustees Operating Michigan State University Porous inorganic oxide materials prepared by non-ionic surfactant templating route
JPH09265097A (ja) * 1996-03-28 1997-10-07 Hitachi Chem Co Ltd 液晶配向膜用組成物、液晶配向膜、液晶挾持基板及び液晶表示素子
US6120891A (en) 1997-10-29 2000-09-19 Board Of Regemts. The University Of Texas System Mesoporous transition metal oxide thin films and methods of making and uses thereof
US6027706A (en) * 1998-05-05 2000-02-22 Board Of Trustees Operating Michigan State University Porous aluminum oxide materials prepared by non-ionic surfactant assembly route
US6027666A (en) 1998-06-05 2000-02-22 The Governing Council Of The University Of Toronto Fast luminescent silicon
JP4250287B2 (ja) * 1999-01-07 2009-04-08 キヤノン株式会社 シリカメソ構造体の製造方法
US6096469A (en) 1999-05-18 2000-08-01 3M Innovative Properties Company Ink receptor media suitable for inkjet printing
US6171687B1 (en) 1999-10-18 2001-01-09 Honeywell International Inc. Infiltrated nanoporous materials and methods of producing same
US20050019547A1 (en) * 2003-07-22 2005-01-27 Hirokatsu Miyata Polarized light-emitting film and method for producing same

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004091318A (ja) * 2002-08-09 2004-03-25 Canon Inc 金属酸化物を含有する膜及びその製造方法
JP4497863B2 (ja) * 2002-08-09 2010-07-07 キヤノン株式会社 金属酸化物を含有する膜及びその製造方法
WO2005008684A1 (en) * 2003-07-23 2005-01-27 Canon Kabushiki Kaisha Structured material and producing method thereof
US7781020B2 (en) 2003-07-23 2010-08-24 Canon Kabushiki Kaisha Structured material and producing method thereof
JP2009149514A (ja) * 2003-08-08 2009-07-09 Canon Inc 構造体及びその製造方法

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