JP2001143981A - コンピュータ統合製造技術 - Google Patents
コンピュータ統合製造技術Info
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ＩＣ構造等の半導体装置のコンピュータ管理に
よる一貫生産技術を提供する。 【解決手段】新しい自動生産工場に適用するためのＦＡ
ＬＣ（ファクトリーオートメーションライフサイクル）
２００と呼ぶシステムにより工場生産の一貫管理を行
う。これはＳＷ（ソフトウェア）開発・統合の段階２１
０を経て、生産実行のための工場モデリンク２３０を活
動させるためにＳＷはインストールされ２２０、一貫生
産計画２４０、製造工程の制御、追跡・監視２５０とさ
まざまな工場モデルを可動させる。生産結果は、データ
記憶・工程の分散・適応方法等と対応し解析し２６０Ｓ
Ｗ・工場モデル・生産計画に適宜フィードバック２７０
・２８０・２９０し、ＦＡＬＣ２００を改良する。
よる一貫生産技術を提供する。 【解決手段】新しい自動生産工場に適用するためのＦＡ
ＬＣ（ファクトリーオートメーションライフサイクル）
２００と呼ぶシステムにより工場生産の一貫管理を行
う。これはＳＷ（ソフトウェア）開発・統合の段階２１
０を経て、生産実行のための工場モデリンク２３０を活
動させるためにＳＷはインストールされ２２０、一貫生
産計画２４０、製造工程の制御、追跡・監視２５０とさ
まざまな工場モデルを可動させる。生産結果は、データ
記憶・工程の分散・適応方法等と対応し解析し２６０Ｓ
Ｗ・工場モデル・生産計画に適宜フィードバック２７０
・２８０・２９０し、ＦＡＬＣ２００を改良する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータ統合
生産のための技術に関する。
生産のための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明の政府権利 本発明は、ＮＩＳＴによって裁定された、協力協定(Coo
perative Agreement)第７０ＮＡＮＢ７Ｈ３０４３のも
とで、アメリカ合衆国政府の支援によって創作された。
アメリカ合衆国政府は、本発明に関して一定の権利を有
する。
perative Agreement)第７０ＮＡＮＢ７Ｈ３０４３のも
とで、アメリカ合衆国政府の支援によって創作された。
アメリカ合衆国政府は、本発明に関して一定の権利を有
する。
【０００３】ＩＣ（集積回路）等の、半導体素子は通
常、トランジスタ、ダイオード、及び半導体材料の単一
の本体の上に集積して組み立てられたレジスタ等の電子
回路エレメントを有する。様々な回路エレメントが、何
百万もの個別の回路エレメントを含むことができる完全
な回路を形成するために、誘導コネクタを通して接続さ
れる。集積回路は典型的には、処理段階のシーケンスを
含む処理において、半導体ウェーハから組み立てられ
る。この処理は、通常はウェーハ組み立て（waferfabri
cation）又はウェーハ・ファブと称され、酸化、エッチ
ング・マスク準備、エッチング、物質堆積、平面化（pl
anarization）、及び清浄等の動作を含む。
常、トランジスタ、ダイオード、及び半導体材料の単一
の本体の上に集積して組み立てられたレジスタ等の電子
回路エレメントを有する。様々な回路エレメントが、何
百万もの個別の回路エレメントを含むことができる完全
な回路を形成するために、誘導コネクタを通して接続さ
れる。集積回路は典型的には、処理段階のシーケンスを
含む処理において、半導体ウェーハから組み立てられ
る。この処理は、通常はウェーハ組み立て（waferfabri
cation）又はウェーハ・ファブと称され、酸化、エッチ
ング・マスク準備、エッチング、物質堆積、平面化（pl
anarization）、及び清浄等の動作を含む。
【０００４】アルミニウム・ゲートＰＭＯＳ（p-channe
l metal oxide semiconductor transistor）ウェーハ・
ファブ処理４０の要約は、Ｗ．Ｒ．ルニャンら、「半導
体集積回路処理技術」アディソン‐ウェスリ出版社、４
８頁、１９９４年に記載されているとおり、主たる処理
段階４１乃至７３を図示している図１に図示されてい
る。これらの主たる処理段階の各々は、典型的にはいく
つかのサブ段階（sub step）を含む。例えば、ウェーハ
・ファブ・チャンバにおけるスパッタリング堆積の手段
によってアルミニウム層を供給するための金属化等の主
たる処理段階は、アメリカ合衆国特許第５，１０８，５
７０号（Ｒ．Ｃ．ワン、１９９２年）に開示されてい
る。このスパッタリング堆積処理は、図２に記載の処理
８０のサブ段階８１乃至９７に図示されている。
l metal oxide semiconductor transistor）ウェーハ・
ファブ処理４０の要約は、Ｗ．Ｒ．ルニャンら、「半導
体集積回路処理技術」アディソン‐ウェスリ出版社、４
８頁、１９９４年に記載されているとおり、主たる処理
段階４１乃至７３を図示している図１に図示されてい
る。これらの主たる処理段階の各々は、典型的にはいく
つかのサブ段階（sub step）を含む。例えば、ウェーハ
・ファブ・チャンバにおけるスパッタリング堆積の手段
によってアルミニウム層を供給するための金属化等の主
たる処理段階は、アメリカ合衆国特許第５，１０８，５
７０号（Ｒ．Ｃ．ワン、１９９２年）に開示されてい
る。このスパッタリング堆積処理は、図２に記載の処理
８０のサブ段階８１乃至９７に図示されている。
【０００５】図１及び２は、一連のウェーハ・ファブ処
理を示す。平行処理段階を供給するウェーハ・ファブ・
サブ・システム（sub system）を利用することも公知で
ある。前記サブ・システムは、典型的には一つ以上のク
ラスタ・ツールを含む。ここに規定されるクラスタ・ツ
ールは、真空等の制御されたクラスタ・ツール環境を残
さずに、クラスタ・ツール・チャンバにおいてウェーハ
が処理される場合の、チャンバ及びウェーハ取り扱い装
置のシステムを含む。クラスタ・ツールの一例は、中央
チャンバ及び四つの処理チャンバを有する真空装置を利
用する、アメリカ合衆国特許第５，２３６，８６８号
（Ｊ．ナルマン、１９９３年）において開示されてい
る。前記中央チャンバにおけるウェーハ取り扱いロボッ
トは、ウェーハを前記中央チャンバから前記チャンバの
各々へと移動させるために、前記処理チャンバの各々の
内側へとアクセスすることができる一方で、ウェーハを
真空環境に維持する。一例において、‘８６８クラスタ
におけるウェーハは、処理のために最初に清浄チャンバ
に、それからＰＶＤ（physical vapor deposition）チ
ャンバに移動され、アニーリング・チャンバ及びその後
にはガス抜きチャンバへの移動が続き、このようにして
一連の処理を利用する。平行に使用されるチャンバにお
けるウェーハを処理するための‘８６８特許において開
示されているようなクラスタ・ツールを使用することも
公知である。例えば、遅い処理段階が、早い処理段階よ
り先である場合、三つのチャンバが、前記遅い処理段階
のために平行に使用されることができる一方で、第四の
チャンバが前記早い処理段階のために使用される。
理を示す。平行処理段階を供給するウェーハ・ファブ・
サブ・システム（sub system）を利用することも公知で
ある。前記サブ・システムは、典型的には一つ以上のク
ラスタ・ツールを含む。ここに規定されるクラスタ・ツ
ールは、真空等の制御されたクラスタ・ツール環境を残
さずに、クラスタ・ツール・チャンバにおいてウェーハ
が処理される場合の、チャンバ及びウェーハ取り扱い装
置のシステムを含む。クラスタ・ツールの一例は、中央
チャンバ及び四つの処理チャンバを有する真空装置を利
用する、アメリカ合衆国特許第５，２３６，８６８号
（Ｊ．ナルマン、１９９３年）において開示されてい
る。前記中央チャンバにおけるウェーハ取り扱いロボッ
トは、ウェーハを前記中央チャンバから前記チャンバの
各々へと移動させるために、前記処理チャンバの各々の
内側へとアクセスすることができる一方で、ウェーハを
真空環境に維持する。一例において、‘８６８クラスタ
におけるウェーハは、処理のために最初に清浄チャンバ
に、それからＰＶＤ（physical vapor deposition）チ
ャンバに移動され、アニーリング・チャンバ及びその後
にはガス抜きチャンバへの移動が続き、このようにして
一連の処理を利用する。平行に使用されるチャンバにお
けるウェーハを処理するための‘８６８特許において開
示されているようなクラスタ・ツールを使用することも
公知である。例えば、遅い処理段階が、早い処理段階よ
り先である場合、三つのチャンバが、前記遅い処理段階
のために平行に使用されることができる一方で、第四の
チャンバが前記早い処理段階のために使用される。
【０００６】効果的なウェーハ在庫管理（wafer invent
ory management）は、未処理の又は部分的に処理したウ
ェーハの在庫を最小限に維持し、及びそれによってウェ
ーハ・ファブにおいて製造される半導体素子の単位コス
トを最小限にするために必要である。処理中ウェーハの
在庫を最小限にすることは、ウェーハが長く処理段階に
いるほど、それらの生産量は低くなることが公知である
ので、ウェーハ生産量についても有益である。ウェーハ
在庫は典型的には、処理されたウェーハに対する要求の
観点から、スケジュール技術を使用して、例えば処理の
障害を避けるための平行及び一連の処理段階をスケジュ
ールすることによって装置の能力を最大限にする。処理
中のウェーハ在庫管理は、処理中ウェーハ追跡、例えば
ウェーハ・ファブを通してウェーハ・ロット及びウェー
ハ・カセットを追跡することによって容易になること
は、通常の当業者には公知である。ウェーハ・ファブの
効果的な在庫管理はまた、例えば予定されていない管
理、それらの特定された制限外の処理パラメータから生
じる妨害、処理ガス等の要求された物質の利用不可能
性、必要な保全取替え部品の利用不可能性、又はチャン
バ等の処理ツールの利用不可能性によって生じうる予定
されていない動作不可能時間による障害又は妨害の低い
発生率も必要とする。
ory management）は、未処理の又は部分的に処理したウ
ェーハの在庫を最小限に維持し、及びそれによってウェ
ーハ・ファブにおいて製造される半導体素子の単位コス
トを最小限にするために必要である。処理中ウェーハの
在庫を最小限にすることは、ウェーハが長く処理段階に
いるほど、それらの生産量は低くなることが公知である
ので、ウェーハ生産量についても有益である。ウェーハ
在庫は典型的には、処理されたウェーハに対する要求の
観点から、スケジュール技術を使用して、例えば処理の
障害を避けるための平行及び一連の処理段階をスケジュ
ールすることによって装置の能力を最大限にする。処理
中のウェーハ在庫管理は、処理中ウェーハ追跡、例えば
ウェーハ・ファブを通してウェーハ・ロット及びウェー
ハ・カセットを追跡することによって容易になること
は、通常の当業者には公知である。ウェーハ・ファブの
効果的な在庫管理はまた、例えば予定されていない管
理、それらの特定された制限外の処理パラメータから生
じる妨害、処理ガス等の要求された物質の利用不可能
性、必要な保全取替え部品の利用不可能性、又はチャン
バ等の処理ツールの利用不可能性によって生じうる予定
されていない動作不可能時間による障害又は妨害の低い
発生率も必要とする。
【０００７】ウェーハ・ファブの多くのコンポーネント
又はサブ・システムは、高い度合いの処理の信頼性及び
再現性を達成するために、及び生産性を最大化するため
に自動化される。チャンバ等のウェーハ・ファブ・ツー
ルは、前記ツールによって実行される処理を操作するた
めのレシピとして一般的に公知である一組の命令を使用
して、コンピュータによって典型的に制御される。しか
しながら、様々な処理及び度量衡が統合される場合の高
い度合いの自動化は、ウェーハ・ファブ処理の多くの複
雑性及び相互依存性によって、達成が困難である。例え
ば、ピーター・ヴァン・ザンツ「マイクロチップ・ファ
ブリケーション」第三版、マグロウ・ヒル、４７２頁乃
至４７８頁、１９９７年を参照のこと。ウェーハ・ファ
ブ等の生産システムは、ＭＥＳ（manufacturing execut
ions systems、生産実行システム）機能を供給するソフ
トウェアを利用することが知られている。望ましくは、
ウェーハ・ファブＭＥＳは、中央化ウェーハ・ファブ管
理及び制御を達成するために、一つの完全なウェーハ・
ファブに対して統合されなければならない。しかしなが
ら、商用ウェーハ・ファブは、典型的には異なる装置製
造業者からの半導体処理ツールを含み、統合ＭＥＳが開
発されるための試みがなされる場合に、ツール互換性の
難点という結果を生じることが、通常の当業者には知ら
れている。現在使用可能なウェーハ・ファブＭＥＳの他
の欠点は、ウェーハ・ファブにおける各処理変化に対す
る拡張ソフトウェア・プログラミングへの必要性、例え
ば異なるウェーハ製品を作るためにレシピを変更し、ツ
ールを加えあるいは取り替え、又は前記ウェーハ・ファ
ブを変更する必要があるということである。
又はサブ・システムは、高い度合いの処理の信頼性及び
再現性を達成するために、及び生産性を最大化するため
に自動化される。チャンバ等のウェーハ・ファブ・ツー
ルは、前記ツールによって実行される処理を操作するた
めのレシピとして一般的に公知である一組の命令を使用
して、コンピュータによって典型的に制御される。しか
しながら、様々な処理及び度量衡が統合される場合の高
い度合いの自動化は、ウェーハ・ファブ処理の多くの複
雑性及び相互依存性によって、達成が困難である。例え
ば、ピーター・ヴァン・ザンツ「マイクロチップ・ファ
ブリケーション」第三版、マグロウ・ヒル、４７２頁乃
至４７８頁、１９９７年を参照のこと。ウェーハ・ファ
ブ等の生産システムは、ＭＥＳ（manufacturing execut
ions systems、生産実行システム）機能を供給するソフ
トウェアを利用することが知られている。望ましくは、
ウェーハ・ファブＭＥＳは、中央化ウェーハ・ファブ管
理及び制御を達成するために、一つの完全なウェーハ・
ファブに対して統合されなければならない。しかしなが
ら、商用ウェーハ・ファブは、典型的には異なる装置製
造業者からの半導体処理ツールを含み、統合ＭＥＳが開
発されるための試みがなされる場合に、ツール互換性の
難点という結果を生じることが、通常の当業者には知ら
れている。現在使用可能なウェーハ・ファブＭＥＳの他
の欠点は、ウェーハ・ファブにおける各処理変化に対す
る拡張ソフトウェア・プログラミングへの必要性、例え
ば異なるウェーハ製品を作るためにレシピを変更し、ツ
ールを加えあるいは取り替え、又は前記ウェーハ・ファ
ブを変更する必要があるということである。
【０００８】通常の当業者には、例えばウェーハ・ファ
ブを含む半導体製造装置の機能は、図３に図示された６
の状態等の基本装置状態において規定されることが可能
であることが公知である。「ＳＥＭＩ Ｅ１０−９６、
装置信頼性、アベイラビリティ、及び保全性（Reliabil
ity, Availability, and Maintainability, ＲＡＭ）の
規定及び測定のための基準」セミコンダクタ・イクイッ
プメント・アンド・マテリアル・インターナショナル
（Semiconductor Equipment and Materials Internatio
nal）（ＳＥＭＩ）出版、１乃至２３頁、１９９６年を
参照のこと。半導体産業は、典型的にはこれら６の装置
状態を使用して、前記機能を実行する者から独立した機
能的な装置問題に基づいて、装置ＲＡＭ（reliability
availability and maintainability、信頼性、アベイラ
ビリティ、及び保全性）を測定し及び表す。これら６の
基本的装置状態は、非スケジュール時間１０２（図
３）、未スケジュール動作不可能時間１０４、スケジュ
ール動作不可能時間１０６、エンジニアリング（engine
ering）時間１０８、待機時間１１０及び製造時間１１
２を含む。非スケジュール時間１０２は、前記装置が使
用されることが予定されていない時間帯、たとえば非稼
動シフト（shift）であることを示す。未スケジュール
動作不可能時間１０４は、前記装置が、その意図された
機能を実行するための条件にない場合、例えば装置修理
の間の時間帯に関する。スケジュール動作不可能時間１
０６は、前記装置は、その機能を実行することができる
が、これ、例えば処理セットアップ又は予防保全等をす
るには有効ではない場合に、発生する。エンジニアリン
グ時間１０８は、前記装置がエンジニアリング試験、例
えば装置評価を行うために動作する時間帯に関する。待
機時間１１０は、前記装置がその意図された機能を実行
する状態にあり、及びその機能を実行することができる
にもかかわらず動作しない場合、例えばオペレータがい
ないか、又は関連する情報システムから入力がない場合
の時間帯である。製造状態１１２は、前記装置がその意
図された機能、例えば通常の製造及び再加工等を実行し
ている時間帯を表す。
ブを含む半導体製造装置の機能は、図３に図示された６
の状態等の基本装置状態において規定されることが可能
であることが公知である。「ＳＥＭＩ Ｅ１０−９６、
装置信頼性、アベイラビリティ、及び保全性（Reliabil
ity, Availability, and Maintainability, ＲＡＭ）の
規定及び測定のための基準」セミコンダクタ・イクイッ
プメント・アンド・マテリアル・インターナショナル
（Semiconductor Equipment and Materials Internatio
nal）（ＳＥＭＩ）出版、１乃至２３頁、１９９６年を
参照のこと。半導体産業は、典型的にはこれら６の装置
状態を使用して、前記機能を実行する者から独立した機
能的な装置問題に基づいて、装置ＲＡＭ（reliability
availability and maintainability、信頼性、アベイラ
ビリティ、及び保全性）を測定し及び表す。これら６の
基本的装置状態は、非スケジュール時間１０２（図
３）、未スケジュール動作不可能時間１０４、スケジュ
ール動作不可能時間１０６、エンジニアリング（engine
ering）時間１０８、待機時間１１０及び製造時間１１
２を含む。非スケジュール時間１０２は、前記装置が使
用されることが予定されていない時間帯、たとえば非稼
動シフト（shift）であることを示す。未スケジュール
動作不可能時間１０４は、前記装置が、その意図された
機能を実行するための条件にない場合、例えば装置修理
の間の時間帯に関する。スケジュール動作不可能時間１
０６は、前記装置は、その機能を実行することができる
が、これ、例えば処理セットアップ又は予防保全等をす
るには有効ではない場合に、発生する。エンジニアリン
グ時間１０８は、前記装置がエンジニアリング試験、例
えば装置評価を行うために動作する時間帯に関する。待
機時間１１０は、前記装置がその意図された機能を実行
する状態にあり、及びその機能を実行することができる
にもかかわらず動作しない場合、例えばオペレータがい
ないか、又は関連する情報システムから入力がない場合
の時間帯である。製造状態１１２は、前記装置がその意
図された機能、例えば通常の製造及び再加工等を実行し
ている時間帯を表す。
【０００９】図３を参照すると、合計時間帯１１４は、
計測される時間の合計時間であり：これは、６の装置状
態１０２、１０４、１０６、１０８、１１０及び１１２
を含む。動作時間１１６は、状態１０４、１０６、１０
８、１１０及び１１２の合計時間帯に関する。動作時間
１１６は、状態１０４及び１０６を含む装置動作不可能
時間１１８及び装置動作可能時間１２０を含む。装置動
作可能時間１２０は、エンジニアリング時間１０８及び
待機時間１１０並びに製造時間１１２を含む生産時間１
１２を含む。
計測される時間の合計時間であり：これは、６の装置状
態１０２、１０４、１０６、１０８、１１０及び１１２
を含む。動作時間１１６は、状態１０４、１０６、１０
８、１１０及び１１２の合計時間帯に関する。動作時間
１１６は、状態１０４及び１０６を含む装置動作不可能
時間１１８及び装置動作可能時間１２０を含む。装置動
作可能時間１２０は、エンジニアリング時間１０８及び
待機時間１１０並びに製造時間１１２を含む生産時間１
１２を含む。
【００１０】図４及び５は、図３に記載の６の装置状態
のより詳細な図を示す。ＳＥＭＩＥ１０−９６、１乃至
６頁を参照のこと。図４に記載のとおり、合計時間１１
４は、非スケジュール時間１０２及び動作時間１１６を
含む。非スケジュール時間１０２は、非稼動シフト１３
０、装置インストール（installation）、変更、再構築
又はアップグレード（upgrading）１３２、オフライン
・トレーニング（off-line training）１３２及びシャ
ットダウン（shutdown）又は起動（start-up）時間帯１
３６を含む。動作時間１１６は、図５に図示されたとお
り、装置動作不可能時間１１８及び装置動作可能時間１
２０を含む。装置動作不可能時間１１８は、未スケジュ
ール動作不可能時間１０４及びスケジュール動作不可能
時間１０６を含む。未スケジュール動作不可能時間１０
４は、メンテナンス遅延１４０、修理時間１４２、消耗
品／化学製品交換１４４、仕様外入力１４６に対する動
作不可能時間、又は設備関連動作不可能時間１４８を含
む。スケジュール動作不可能時間１０６は、メンテナン
ス遅延１５０、生産試験１５２、予防保全１５４、消耗
品／化学製品交換１５６、セットアップ（setup）１５
８又は設備関連１５９に対する動作不可能時間に関す
る。
のより詳細な図を示す。ＳＥＭＩＥ１０−９６、１乃至
６頁を参照のこと。図４に記載のとおり、合計時間１１
４は、非スケジュール時間１０２及び動作時間１１６を
含む。非スケジュール時間１０２は、非稼動シフト１３
０、装置インストール（installation）、変更、再構築
又はアップグレード（upgrading）１３２、オフライン
・トレーニング（off-line training）１３２及びシャ
ットダウン（shutdown）又は起動（start-up）時間帯１
３６を含む。動作時間１１６は、図５に図示されたとお
り、装置動作不可能時間１１８及び装置動作可能時間１
２０を含む。装置動作不可能時間１１８は、未スケジュ
ール動作不可能時間１０４及びスケジュール動作不可能
時間１０６を含む。未スケジュール動作不可能時間１０
４は、メンテナンス遅延１４０、修理時間１４２、消耗
品／化学製品交換１４４、仕様外入力１４６に対する動
作不可能時間、又は設備関連動作不可能時間１４８を含
む。スケジュール動作不可能時間１０６は、メンテナン
ス遅延１５０、生産試験１５２、予防保全１５４、消耗
品／化学製品交換１５６、セットアップ（setup）１５
８又は設備関連１５９に対する動作不可能時間に関す
る。
【００１１】図５に記載された装置動作可能時間１２０
は、エンジニアリング時間１０８及び生産時間１２２を
含む。エンジニアリング時間１０８は、処理実験１６０
及び装置実験１６２を含む。生産時間１１０は、待機時
間１１０及び製造時間１１２を含む。待機時間１１０
は、オペレータがいない間の時間１８０、製品がない間
の時間１８２、サポート・ツールがない間の時間１８
４、又は関連するクラスタ・モジュールが停止している
間の時間１８６を含む。製造時間１１２は、通常の製造
時間帯１９０、サード・パーティ（third party）のた
めの稼動の時間帯１９２、再加工時間帯１９４、又はエ
ンジニアリング・ラン（engineering run）時間帯１９
６に関する。図３乃至５を参照して記載された様々な装
置状態は、半導体産業におけるＲＡＭ関連装置情報を通
信し及び評価するための基礎を供給する。ＲＡＭ関連装
置情報は、通常の当業者には公知である：装置信頼性、
装置アベイラビリティ、装置保全性及び装置利用性等の
トピックス（topics）を含む。例えばＳＥＭＩ Ｅ１０
−９６、６乃至１１頁を参照のこと。通常は、ＭＥＳ機
能は、ウェーハ・ファブ等の生産システムにおける装置
状態に関する情報を追跡するために使用されることがで
きる。
は、エンジニアリング時間１０８及び生産時間１２２を
含む。エンジニアリング時間１０８は、処理実験１６０
及び装置実験１６２を含む。生産時間１１０は、待機時
間１１０及び製造時間１１２を含む。待機時間１１０
は、オペレータがいない間の時間１８０、製品がない間
の時間１８２、サポート・ツールがない間の時間１８
４、又は関連するクラスタ・モジュールが停止している
間の時間１８６を含む。製造時間１１２は、通常の製造
時間帯１９０、サード・パーティ（third party）のた
めの稼動の時間帯１９２、再加工時間帯１９４、又はエ
ンジニアリング・ラン（engineering run）時間帯１９
６に関する。図３乃至５を参照して記載された様々な装
置状態は、半導体産業におけるＲＡＭ関連装置情報を通
信し及び評価するための基礎を供給する。ＲＡＭ関連装
置情報は、通常の当業者には公知である：装置信頼性、
装置アベイラビリティ、装置保全性及び装置利用性等の
トピックス（topics）を含む。例えばＳＥＭＩ Ｅ１０
−９６、６乃至１１頁を参照のこと。通常は、ＭＥＳ機
能は、ウェーハ・ファブ等の生産システムにおける装置
状態に関する情報を追跡するために使用されることがで
きる。
【００１２】半導体材料、処理及び試験技術における進
歩は、ＩＣ回路エレメントの全体的な大きさを小さくす
る一方で、単一の本体上でのそれらの数を増やすという
結果を生んだ。これは、各処理段階に対する及び処理段
階の組み合わせあるいは順番に対する高い度合いの製品
及び処理制御を必要とする。このように、処理ガス等の
処理材料における不純物及び微粒子汚染を制御すること
が必要である。また、温度、圧力、ガス流量、処理時間
間隔及び入力スパッタ力等の処理パラメータを制御する
必要がある。図１及び２に示されているとおり、ウェー
ハ・ファブは、あらゆる特定の処理段階の結果が、典型
的には一つ以上の前の処理段階に大いに依存する場合の
処理段階の複雑な順番を含む。例えば、隣接するＩＣ層
における相互接続のためのエッチング・マスクの重ね合
わせ又は配置において間違いがある場合、その結果の相
互接続は、それらの適切な設計された位置にはない。こ
れは、近すぎてパックされて、これらの相互接続の間に
電気的なショート欠陥を形成する相互接続という結果を
生じうる。二つの異なる処理問題が、累積的な効果を有
しうることも公知である。例えば、電気的ショートを生
じるのに充分なほどには拡張されていない相互接続エッ
チング・マスクの配置不良は、前記相互接続マスクが正
しく配置されていた場合に、電気的ショートを生じさせ
ないであろう微粒子の大きさを有する微粒子汚染を許し
てしまう（又は感知されない）仕様から前記処理がやや
はずれている場合に、電気的ショートを発生させること
にさらに寄与するかもしれない。
歩は、ＩＣ回路エレメントの全体的な大きさを小さくす
る一方で、単一の本体上でのそれらの数を増やすという
結果を生んだ。これは、各処理段階に対する及び処理段
階の組み合わせあるいは順番に対する高い度合いの製品
及び処理制御を必要とする。このように、処理ガス等の
処理材料における不純物及び微粒子汚染を制御すること
が必要である。また、温度、圧力、ガス流量、処理時間
間隔及び入力スパッタ力等の処理パラメータを制御する
必要がある。図１及び２に示されているとおり、ウェー
ハ・ファブは、あらゆる特定の処理段階の結果が、典型
的には一つ以上の前の処理段階に大いに依存する場合の
処理段階の複雑な順番を含む。例えば、隣接するＩＣ層
における相互接続のためのエッチング・マスクの重ね合
わせ又は配置において間違いがある場合、その結果の相
互接続は、それらの適切な設計された位置にはない。こ
れは、近すぎてパックされて、これらの相互接続の間に
電気的なショート欠陥を形成する相互接続という結果を
生じうる。二つの異なる処理問題が、累積的な効果を有
しうることも公知である。例えば、電気的ショートを生
じるのに充分なほどには拡張されていない相互接続エッ
チング・マスクの配置不良は、前記相互接続マスクが正
しく配置されていた場合に、電気的ショートを生じさせ
ないであろう微粒子の大きさを有する微粒子汚染を許し
てしまう（又は感知されない）仕様から前記処理がやや
はずれている場合に、電気的ショートを発生させること
にさらに寄与するかもしれない。
【００１３】上述したような処理及び／又は材料の欠陥
は、通常ウェーハ・ファブ生産量を減少させ、前記生産
量は、特定のファブにおいて製造される受け入れ可能な
ウェーハの率として規定される。処理中試験及び処理パ
ラメータの監視は、一定の処理中製品又は処理問題ある
いは欠陥が、処理中ランにおける介入、例えば処理調整
をしたり又はランを中止させたりすることが必要である
ことを示すかを決定するために利用される。その結果、
製品及び処理制御技術は、ウェーハ・ファブを通して広
範に使用される。可能な場合は、生産量問題は、前記ウ
ェーハ・ファブの生産量を最終的に向上させるために、
特定の製品又は処理問題あるいは欠陥に戻って追跡され
る。高い生産量は、各処理されたウェーハに対する生産
コストを最小化するために、及び電力、化学物質及び水
等の資源を最大限に利用する一方で、廃物再加工又は処
分を最小限にするために、望ましい。
は、通常ウェーハ・ファブ生産量を減少させ、前記生産
量は、特定のファブにおいて製造される受け入れ可能な
ウェーハの率として規定される。処理中試験及び処理パ
ラメータの監視は、一定の処理中製品又は処理問題ある
いは欠陥が、処理中ランにおける介入、例えば処理調整
をしたり又はランを中止させたりすることが必要である
ことを示すかを決定するために利用される。その結果、
製品及び処理制御技術は、ウェーハ・ファブを通して広
範に使用される。可能な場合は、生産量問題は、前記ウ
ェーハ・ファブの生産量を最終的に向上させるために、
特定の製品又は処理問題あるいは欠陥に戻って追跡され
る。高い生産量は、各処理されたウェーハに対する生産
コストを最小化するために、及び電力、化学物質及び水
等の資源を最大限に利用する一方で、廃物再加工又は処
分を最小限にするために、望ましい。
【００１４】適切なウェーハ・ファブ制御制限を決定す
るため、及びこれらの制限の中で処理を保全するため
に、ＳＰＣ（statistical process control、統計的処
理制御）及びＳＱＣ（statistical quality control、
統計的品質管理）を使用することが知られている。例え
ば、Ｒ．ゾーリック「上質の集積回路生産のハンドブッ
ク」、アカデミック・プレス株式会社、４６４乃至４９
８頁、１９９１年を参照のこと。ウェーハ・ファブに適
したＳＰＣ及びＳＱＣ方法論は、制御チャートの使用を
含む。例えば、Ｒ．ゾーリックの４７５乃至４９８頁参
照のこと。通常の当業者には公知であるとおり、制御チ
ャートは、チャンバ圧力等、ある期間にわたってサンプ
リングされる、一つ以上の選択された処理又は製品変数
の図による表示である。特定の変数の対象値及びその制
御の上限並びに下限は、公知である統計的サンプリング
及び計算方法を使用して、チャートに設計される。前記
変数の観察された値又はいくつかの観察された値の平均
等、統計的に抽出された値が、以前に決定された制御制
限外である場合、前記処理は、制御不能であると考えら
れる。制御制限は、典型的には、例えば２σ又は３σ
等、複数の対象値の平均値の標準偏差に設定される。対
象値は、生産量、処理制御及び製品の質等のウェーハ・
ファブ設計基準に適合するテスト・ラン又は製造ランか
ら抽出される。ＳＰＣ及びＳＱＣは、上述の前後関係に
おいて使用される場合、同義であると考えられる。Ｒ・
ゾーリック、４６４頁を参照のこと。
るため、及びこれらの制限の中で処理を保全するため
に、ＳＰＣ（statistical process control、統計的処
理制御）及びＳＱＣ（statistical quality control、
統計的品質管理）を使用することが知られている。例え
ば、Ｒ．ゾーリック「上質の集積回路生産のハンドブッ
ク」、アカデミック・プレス株式会社、４６４乃至４９
８頁、１９９１年を参照のこと。ウェーハ・ファブに適
したＳＰＣ及びＳＱＣ方法論は、制御チャートの使用を
含む。例えば、Ｒ．ゾーリックの４７５乃至４９８頁参
照のこと。通常の当業者には公知であるとおり、制御チ
ャートは、チャンバ圧力等、ある期間にわたってサンプ
リングされる、一つ以上の選択された処理又は製品変数
の図による表示である。特定の変数の対象値及びその制
御の上限並びに下限は、公知である統計的サンプリング
及び計算方法を使用して、チャートに設計される。前記
変数の観察された値又はいくつかの観察された値の平均
等、統計的に抽出された値が、以前に決定された制御制
限外である場合、前記処理は、制御不能であると考えら
れる。制御制限は、典型的には、例えば２σ又は３σ
等、複数の対象値の平均値の標準偏差に設定される。対
象値は、生産量、処理制御及び製品の質等のウェーハ・
ファブ設計基準に適合するテスト・ラン又は製造ランか
ら抽出される。ＳＰＣ及びＳＱＣは、上述の前後関係に
おいて使用される場合、同義であると考えられる。Ｒ・
ゾーリック、４６４頁を参照のこと。
【００１５】従って、処理制御、品質、生産量、及びコ
スト低下を最適化するために、半導体製造技術の改良さ
れたコンピュータ実行型統合を供給する方法及び技術の
必要性が存在する。また、拡張ソフトウェア・プログラ
ミングなしに、処理又は装置変更を容易にするコンピュ
ータ統合生産システムを通した中央化ウェーハ・ファブ
管理及び制御の必要性もある。
スト低下を最適化するために、半導体製造技術の改良さ
れたコンピュータ実行型統合を供給する方法及び技術の
必要性が存在する。また、拡張ソフトウェア・プログラ
ミングなしに、処理又は装置変更を容易にするコンピュ
ータ統合生産システムを通した中央化ウェーハ・ファブ
管理及び制御の必要性もある。
【００１６】本発明は、コンピュータ統合生産のため、
特に半導体ウェーハ等の集積回路構造を生産するための
新しい技術を供給する。
特に半導体ウェーハ等の集積回路構造を生産するための
新しい技術を供給する。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明の上記課題は、コ
ンピュータ実行型ファクトリーオートメーションライフ
サイクル（a computer implemented factory automatio
n lifecycle）を規定するための方法であって：ａ）ラ
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント（li
fecycle activity framework components）を規定し、
インストールし、及び管理する段階と；ｂ）ファクトリ
ー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・
コンポーネント（factory modeling lifecycle activit
y framework components）を規定する段階と；及びｃ）
生産制御、監視及び追跡ライフサイクル活動フレームワ
ーク・コンポーネントを規定する段階とを具備する方法
によって達成される。
ンピュータ実行型ファクトリーオートメーションライフ
サイクル（a computer implemented factory automatio
n lifecycle）を規定するための方法であって：ａ）ラ
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント（li
fecycle activity framework components）を規定し、
インストールし、及び管理する段階と；ｂ）ファクトリ
ー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・
コンポーネント（factory modeling lifecycle activit
y framework components）を規定する段階と；及びｃ）
生産制御、監視及び追跡ライフサイクル活動フレームワ
ーク・コンポーネントを規定する段階とを具備する方法
によって達成される。
【００１８】本発明の方法では、管理ライフサイクル活
動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階は、
セキュリティ・コンポーネント（security componen
t）、ＧＵＩコンソール・コンポーネント（GUI console
component）、実行並びにライセンス管理コンポーネン
ト（performance and license management componen
t）、及びサガ管理コンポーネント（saga management c
omponent）を含むグループから選択された一つ以上のフ
レームワーク・コンポーネントを規定する段階を具備す
るように構成してもよい。
動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階は、
セキュリティ・コンポーネント（security componen
t）、ＧＵＩコンソール・コンポーネント（GUI console
component）、実行並びにライセンス管理コンポーネン
ト（performance and license management componen
t）、及びサガ管理コンポーネント（saga management c
omponent）を含むグループから選択された一つ以上のフ
レームワーク・コンポーネントを規定する段階を具備す
るように構成してもよい。
【００１９】本発明の方法では、ファクトリー・モデリ
ング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネ
ントを規定する段階は、コンテクスト・レゾリューショ
ン・コンポーネント（context resolution componen
t）、構築管理コンポーネント（configuration managem
ent）及びカレンダ・コンポーネント（calendar compon
ent）を含むグループから選択された一つ以上のフレー
ムワーク・コンポーネントを規定する段階を具備するよ
うに構成してもよい。
ング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネ
ントを規定する段階は、コンテクスト・レゾリューショ
ン・コンポーネント（context resolution componen
t）、構築管理コンポーネント（configuration managem
ent）及びカレンダ・コンポーネント（calendar compon
ent）を含むグループから選択された一つ以上のフレー
ムワーク・コンポーネントを規定する段階を具備するよ
うに構成してもよい。
【００２０】本発明の方法では、生産、制御、監視及び
追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネン
トを規定する段階は、視覚的ワークフロウ・コンポーネ
ント（visual workflow component）、リソース調整コ
ンポーネント（resource coordination component）、
イベント監視コンポーネント（event monitor componen
t）及びリソース表コンポーネント（bill of resources
component）を含むグループから選択された一つ以上の
フレームワーク・コンポーネントを規定する段階を具備
するように構成してもよい。
追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネン
トを規定する段階は、視覚的ワークフロウ・コンポーネ
ント（visual workflow component）、リソース調整コ
ンポーネント（resource coordination component）、
イベント監視コンポーネント（event monitor componen
t）及びリソース表コンポーネント（bill of resources
component）を含むグループから選択された一つ以上の
フレームワーク・コンポーネントを規定する段階を具備
するように構成してもよい。
【００２１】本発明の方法では、生産結果ライフサイク
ル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解
析を規定するための方法を追加的に具備するように構成
してもよい。
ル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解
析を規定するための方法を追加的に具備するように構成
してもよい。
【００２２】本発明の方法では、生産結果ライフサイク
ル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解
析を規定する段階は、データ・マネージャ・コンポーネ
ントの規定を具備するように構成してもよい。
ル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解
析を規定する段階は、データ・マネージャ・コンポーネ
ントの規定を具備するように構成してもよい。
【００２３】本発明の方法では、一つ以上の生産結果ラ
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレー
ムワーク・コンポーネントを含むグループから選択され
たコンポーネントとの間の相互干渉を規定するための方
法を追加的に規定するように構成してもよい。
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレー
ムワーク・コンポーネントを含むグループから選択され
たコンポーネントとの間の相互干渉を規定するための方
法を追加的に規定するように構成してもよい。
【００２４】本発明の方法では、ＳＷ開発及び統合ライ
フサイクル活動を追加的に規定するように構成してもよ
い。
フサイクル活動を追加的に規定するように構成してもよ
い。
【００２５】本発明の方法では、生産計画ライフサイク
ル活動を追加的に規定するように構成してもよい。
ル活動を追加的に規定するように構成してもよい。
【００２６】本発明の方法では、ファクトリーオートメ
ーションライフサイクルを規定する段階は、集積回路構
造を処理するためのファクトリーオートメーションライ
フサイクルを規定する段階を具備するように構成しても
よい。
ーションライフサイクルを規定する段階は、集積回路構
造を処理するためのファクトリーオートメーションライ
フサイクルを規定する段階を具備するように構成しても
よい。
【００２７】本発明の方法では、ファクトリーオートメ
ーションライフサイクルを規定する段階はさらに、前記
フレームワーク・コンポーネントが、ツール統合コンポ
ーネント（tool integration component）と通信するた
めに適応するように、フレームワーク・コンポーネント
を規定する段階を追加的に具備し、前記フレームワーク
・コンポーネントは、インストール及び管理ライフサイ
クル活動フレームワーク・コンポーネント、ファクトリ
ー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・
コンポーネント、及び生産、制御、監視及び追跡ライフ
サイクル活動フレームワーク・コンポーネントを含むグ
ループから選択されるように構成してもよい。
ーションライフサイクルを規定する段階はさらに、前記
フレームワーク・コンポーネントが、ツール統合コンポ
ーネント（tool integration component）と通信するた
めに適応するように、フレームワーク・コンポーネント
を規定する段階を追加的に具備し、前記フレームワーク
・コンポーネントは、インストール及び管理ライフサイ
クル活動フレームワーク・コンポーネント、ファクトリ
ー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・
コンポーネント、及び生産、制御、監視及び追跡ライフ
サイクル活動フレームワーク・コンポーネントを含むグ
ループから選択されるように構成してもよい。
【００２８】本発明の方法では、生産制御、監視及び追
跡ライフサイクル活動コンポーネントを規定する段階
は、視覚的ワークフロウ・コンポーネントを規定する段
階を具備するように構成してもよい。
跡ライフサイクル活動コンポーネントを規定する段階
は、視覚的ワークフロウ・コンポーネントを規定する段
階を具備するように構成してもよい。
【００２９】また、本発明の上記課題は、一つ以上のコ
ンピュータを含む処理システムを管理するための方法で
あって、ａ）一つ以上のコンピュータの手段によって一
つ以上のフレームワーク・ソフトウェア・コンポーネン
トを含むファクトリーオートメーションライフサイクル
をランさせる段階と；ｂ）前記システムを管理するため
の一つ以上のコンピュータ実行型命令を供給するための
一つ以上のアプリケーション・ソフトウェア・コンポー
ネントをランさせる段階であって、前記一つ以上のフレ
ームワーク・コンポーネントが、前記アプリケーション
・コンポーネントを管理するために適応する前記段階
と；ｃ）前記一つ以上の命令が、変更される必要がある
かを決定する段階と；ｄ）前記命令が変更される必要が
ない場合に、前記一つ以上の命令を前記システムに通信
する段階と；ｅ）それによって変更された命令を形成す
る一つ以上のフレームワーク・コンポーネントの手段に
よって、それらが変更される必要がある場合に命令を変
更する段階と；及びｆ） 前記変更された命令を前記シ
ステムに通信する段階とを具備する方法によって達成さ
れる。
ンピュータを含む処理システムを管理するための方法で
あって、ａ）一つ以上のコンピュータの手段によって一
つ以上のフレームワーク・ソフトウェア・コンポーネン
トを含むファクトリーオートメーションライフサイクル
をランさせる段階と；ｂ）前記システムを管理するため
の一つ以上のコンピュータ実行型命令を供給するための
一つ以上のアプリケーション・ソフトウェア・コンポー
ネントをランさせる段階であって、前記一つ以上のフレ
ームワーク・コンポーネントが、前記アプリケーション
・コンポーネントを管理するために適応する前記段階
と；ｃ）前記一つ以上の命令が、変更される必要がある
かを決定する段階と；ｄ）前記命令が変更される必要が
ない場合に、前記一つ以上の命令を前記システムに通信
する段階と；ｅ）それによって変更された命令を形成す
る一つ以上のフレームワーク・コンポーネントの手段に
よって、それらが変更される必要がある場合に命令を変
更する段階と；及びｆ） 前記変更された命令を前記シ
ステムに通信する段階とを具備する方法によって達成さ
れる。
【００３０】本発明の方法では、前記システムにおいて
前記一つ以上の命令を実行することによって、前記処理
システムを管理する段階を追加的に具備するように構成
してもよい。
前記一つ以上の命令を実行することによって、前記処理
システムを管理する段階を追加的に具備するように構成
してもよい。
【００３１】本発明の方法では、前記フレームワーク・
コンポーネントの一つ以上をランする段階は、セキュリ
ティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネ
ント、実行並びにライセンス管理コンポーネント、サガ
管理コンポーネント、コンテクスト・レゾリューション
・コンポーネント、構築管理コンポーネント、カレンダ
・コンポーネント、視覚的ワークフロウ・コンポーネン
ト、リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポ
ーネント、リソース表コンポーネント、及びデータ・マ
ネージャ・コンポーネントを含むグループから選択され
た一つ以上のコンポーネントをランさせる段階を具備す
るように構成してもよい。
コンポーネントの一つ以上をランする段階は、セキュリ
ティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネ
ント、実行並びにライセンス管理コンポーネント、サガ
管理コンポーネント、コンテクスト・レゾリューション
・コンポーネント、構築管理コンポーネント、カレンダ
・コンポーネント、視覚的ワークフロウ・コンポーネン
ト、リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポ
ーネント、リソース表コンポーネント、及びデータ・マ
ネージャ・コンポーネントを含むグループから選択され
た一つ以上のコンポーネントをランさせる段階を具備す
るように構成してもよい。
【００３２】本発明の方法では、一つ以上のアプリケー
ション・コンポーネントをランさせる段階は、品質管理
コンポーネント、ツール統合コンポーネント、装置管理
コンポーネント、レシピ管理コンポーネント、発送（di
spatching）並びにスケジュール・コンポーネント、材
料取り扱いコンポーネント（material handling compon
ent）、進行中作業コンポーネント（work in progress
component）、及びレガシー・システム・インターフェ
ース・コンポーネント（legacy system interface comp
onent）を含むグループから選択された一つ以上のコン
ポーネントをランさせる段階を具備するように構成して
もよい。
ション・コンポーネントをランさせる段階は、品質管理
コンポーネント、ツール統合コンポーネント、装置管理
コンポーネント、レシピ管理コンポーネント、発送（di
spatching）並びにスケジュール・コンポーネント、材
料取り扱いコンポーネント（material handling compon
ent）、進行中作業コンポーネント（work in progress
component）、及びレガシー・システム・インターフェ
ース・コンポーネント（legacy system interface comp
onent）を含むグループから選択された一つ以上のコン
ポーネントをランさせる段階を具備するように構成して
もよい。
【００３３】本発明の方法では、通信段階は、ツール統
合コンポーネントの手段によって通信する段階を具備す
るように構成してもよい。
合コンポーネントの手段によって通信する段階を具備す
るように構成してもよい。
【００３４】本発明の方法では、通信段階は、ａ）ツー
ル・インターフェース・プログラムと；及びｂ）ツール
統合コンポーネント・アダプタとの手段による通信段階
を具備するように構成してもよい。
ル・インターフェース・プログラムと；及びｂ）ツール
統合コンポーネント・アダプタとの手段による通信段階
を具備するように構成してもよい。
【００３５】本発明の方法では、前記一つ以上のコンピ
ュータ実行型命令は、視覚的フレームワーク・コンポー
ネント命令であるように構成してもよい。
ュータ実行型命令は、視覚的フレームワーク・コンポー
ネント命令であるように構成してもよい。
【００３６】本発明の方法では、サーバ構築ビルディン
グ・ブロック（server construction building bloc
k）、持続性ビルディング・ブロック（persistence bui
lding block）、共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブッ
ク、パブリッシュ・サブスクライブ・メッセージ・ビル
ディング・ブロック（publish and subscribe messagin
g building block）、ダイナミックＡＰＩ発見ビルディ
ング・ブロック（dynamic API discovery building blo
ck）、関連ビルディング・ブロック（associations bui
lding block）、履歴ビルディング・ブロック、汎用サ
ービス実行者ビルディング・ブロック（generic servic
e executor building block）、分類ビルディング・ブ
ロック（classification building block）、顧客規定
属性ビルディング・ブロック（customer defined attri
butes building block）、状態モデル・ビルディング・
ブロック、ネーム空間ビルディング・ブロック、スケジ
ュール／デートブック・ビルディング・ブロック、テン
プレート・ビルディング・ブロック（templates buildi
ng block）、変形オブジェクト・ビルディング・ブロッ
ク（versioned objects building block）、及びナビゲ
ーション・ビルディング・ブロックを含むグループから
選択されたひとつ以上のソフトウェア・ビルディング・
ブロックの手段によって、一つ以上のフレームワーク・
コンポーネントを形成する段階を追加的に具備するよう
に構成してもよい。
グ・ブロック（server construction building bloc
k）、持続性ビルディング・ブロック（persistence bui
lding block）、共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブッ
ク、パブリッシュ・サブスクライブ・メッセージ・ビル
ディング・ブロック（publish and subscribe messagin
g building block）、ダイナミックＡＰＩ発見ビルディ
ング・ブロック（dynamic API discovery building blo
ck）、関連ビルディング・ブロック（associations bui
lding block）、履歴ビルディング・ブロック、汎用サ
ービス実行者ビルディング・ブロック（generic servic
e executor building block）、分類ビルディング・ブ
ロック（classification building block）、顧客規定
属性ビルディング・ブロック（customer defined attri
butes building block）、状態モデル・ビルディング・
ブロック、ネーム空間ビルディング・ブロック、スケジ
ュール／デートブック・ビルディング・ブロック、テン
プレート・ビルディング・ブロック（templates buildi
ng block）、変形オブジェクト・ビルディング・ブロッ
ク（versioned objects building block）、及びナビゲ
ーション・ビルディング・ブロックを含むグループから
選択されたひとつ以上のソフトウェア・ビルディング・
ブロックの手段によって、一つ以上のフレームワーク・
コンポーネントを形成する段階を追加的に具備するよう
に構成してもよい。
【００３７】本発明の方法では、一つ以上のフレームワ
ーク・コンポーネントをランさせる段階は、前記一つ以
上のフレームワーク・コンポーネントの一つのデータ構
造を、フレームワーク・コンポーネント及びアプリケー
ション・コンポーネントを含むグループから選択された
前記一つ以上のコンポーネントの一つのデータ構造に通
信する手段を追加的に具備するように構成してもよい。
ーク・コンポーネントをランさせる段階は、前記一つ以
上のフレームワーク・コンポーネントの一つのデータ構
造を、フレームワーク・コンポーネント及びアプリケー
ション・コンポーネントを含むグループから選択された
前記一つ以上のコンポーネントの一つのデータ構造に通
信する手段を追加的に具備するように構成してもよい。
【００３８】本発明の方法では、前記命令を変更する段
階は、データを入力する段階を具備するように構成して
もよい。
階は、データを入力する段階を具備するように構成して
もよい。
【００３９】本発明の方法では、処理システムを管理す
る段階は、集積回路構造を処理するためのシステムを管
理する段階を具備するように構成してもよい。
る段階は、集積回路構造を処理するためのシステムを管
理する段階を具備するように構成してもよい。
【００４０】本発明の方法では、前記システムは、一つ
以上のウェーハ組み立てツールを具備するように構成し
てもよい。
以上のウェーハ組み立てツールを具備するように構成し
てもよい。
【００４１】また、本発明の上記課題は、ソフトウェア
・ウレームワークを装置にリンクするための方法であっ
て、ａ）ツール・インターフェース・プログラムと；及
びｂ）ツール統合コンポーネント・アダプタとを含むツ
ール統合コンポーネントの手段によってリンクする段階
を具備する方法によって達成される。
・ウレームワークを装置にリンクするための方法であっ
て、ａ）ツール・インターフェース・プログラムと；及
びｂ）ツール統合コンポーネント・アダプタとを含むツ
ール統合コンポーネントの手段によってリンクする段階
を具備する方法によって達成される。
【００４２】本発明の方法では、リンク段階は、ａ）前
記一つ以上のフレームワーク・コンポーネントと；ｂ）
前記ツール統合コンポーネント・アダプタと；及びｃ）
前記ツール・インターフェース・プログラムとの間の
メッセージの交換段階を具備するように構成してもよ
い。
記一つ以上のフレームワーク・コンポーネントと；ｂ）
前記ツール統合コンポーネント・アダプタと；及びｃ）
前記ツール・インターフェース・プログラムとの間の
メッセージの交換段階を具備するように構成してもよ
い。
【００４３】本発明の方法では、前記一つ以上のフレー
ムワーク・コンポーネントは、視覚的ワークフロウ・コ
ンポーネントを具備するように構成してもよい。
ムワーク・コンポーネントは、視覚的ワークフロウ・コ
ンポーネントを具備するように構成してもよい。
【００４４】また、本発明の上記課題は、製品を処理す
るための方法であって、ａ）前記製品を処理するための
仕様を決定する段階と；及びｂ）（１）一つ以上のフレ
ームワーク・コンポーネントを有するファクトリーオー
トメーションライフサイクルと（２）前記フレームワー
ク・コンポーネントが、前記アプリケーション・コンポ
ーネントを管理するために適応する一つ以上のコンポー
ネントとを含む分散型ファクトリー・システム・フレー
ムワークの手段によって、前記処理を管理する段階とを
具備する方法によって達成される。
るための方法であって、ａ）前記製品を処理するための
仕様を決定する段階と；及びｂ）（１）一つ以上のフレ
ームワーク・コンポーネントを有するファクトリーオー
トメーションライフサイクルと（２）前記フレームワー
ク・コンポーネントが、前記アプリケーション・コンポ
ーネントを管理するために適応する一つ以上のコンポー
ネントとを含む分散型ファクトリー・システム・フレー
ムワークの手段によって、前記処理を管理する段階とを
具備する方法によって達成される。
【００４５】本発明の方法では、管理段階は：ａ）前記
仕様に適合するために、前記分散型ファクトリー・シス
テム・フレームワークが変更される必要があるかを決定
する段階と；及びｂ）前記分散型ファクトリー・システ
ム・フレームワークが変更される必要がある場合、一つ
以上のアプリケーション・コンポーネントを変更する段
階とを追加的に具備するように構成してもよい。
仕様に適合するために、前記分散型ファクトリー・シス
テム・フレームワークが変更される必要があるかを決定
する段階と；及びｂ）前記分散型ファクトリー・システ
ム・フレームワークが変更される必要がある場合、一つ
以上のアプリケーション・コンポーネントを変更する段
階とを追加的に具備するように構成してもよい。
【００４６】本発明の方法では、変更段階は、データを
入力する段階を具備するように構成してもよい。
入力する段階を具備するように構成してもよい。
【００４７】本発明の方法では、管理段階は、一つ以上
のソフトウェア・ビルディング・ブロックの手段によっ
て、一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを形成
する段階を追加的に具備するように構成してもよい。
のソフトウェア・ビルディング・ブロックの手段によっ
て、一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを形成
する段階を追加的に具備するように構成してもよい。
【００４８】本発明の方法では、管理段階は：ａ）前記
一つ以上のアプリケーション・コンポーネントの手段に
よって、管理のための一つ以上のコンピュータ実行型命
令を形成する段階と；ｂ）前記一つ以上の命令を、前記
製品を処理するための装置に通信する段階と；及びｃ）
前記一つ以上の命令を前記装置で実行する段階とを追加
的に具備するように構成してもよい。
一つ以上のアプリケーション・コンポーネントの手段に
よって、管理のための一つ以上のコンピュータ実行型命
令を形成する段階と；ｂ）前記一つ以上の命令を、前記
製品を処理するための装置に通信する段階と；及びｃ）
前記一つ以上の命令を前記装置で実行する段階とを追加
的に具備するように構成してもよい。
【００４９】本発明の方法では、通信段階は、ツール統
合コンポーネントの手段による通信段階を具備し、前記
ツール統合コンポーネントは：（１）ツール統合コンポ
ーネント・アダプタ及び（２）ツール・インターフェー
ス・プログラムを具備するように構成してもよい。
合コンポーネントの手段による通信段階を具備し、前記
ツール統合コンポーネントは：（１）ツール統合コンポ
ーネント・アダプタ及び（２）ツール・インターフェー
ス・プログラムを具備するように構成してもよい。
【００５０】本発明の方法では、製品を処理する段階
は、集積回路構造を処理する段階を具備するように構成
してもよい。
は、集積回路構造を処理する段階を具備するように構成
してもよい。
【００５１】また、本発明の上記課題は、ウェーハ・フ
ァブ・ランを開始するための方法であって：ａ）前記ウ
ェーハ・ファブ・ランを処理するための処理段階のシー
ケンスを決定する段階と；ｂ）（１）フレームワーク・
コンポーネント及び（２）アプリケーション・コンポー
ネントを有する分散型ファクトリー・システム・フレー
ムワークに含まれる視覚的ワークフロウ・コンポーネン
トにおいて、前記シーケンスを規定するワークフロウを
形成する段階と；及びｃ）進行中作業管理コンポーネン
ト又はＧＵＩコンソール・コンポーネントの中のＧＵＩ
であるサービスの手段によって、前記視覚的ワークフロ
ウ・コンポーネントがランを開始するように要求する段
階とを具備する方法によって達成される。
ァブ・ランを開始するための方法であって：ａ）前記ウ
ェーハ・ファブ・ランを処理するための処理段階のシー
ケンスを決定する段階と；ｂ）（１）フレームワーク・
コンポーネント及び（２）アプリケーション・コンポー
ネントを有する分散型ファクトリー・システム・フレー
ムワークに含まれる視覚的ワークフロウ・コンポーネン
トにおいて、前記シーケンスを規定するワークフロウを
形成する段階と；及びｃ）進行中作業管理コンポーネン
ト又はＧＵＩコンソール・コンポーネントの中のＧＵＩ
であるサービスの手段によって、前記視覚的ワークフロ
ウ・コンポーネントがランを開始するように要求する段
階とを具備する方法によって達成される。
【００５２】また本発明の上記課題は、製品を処理する
ための装置であって、ａ）製品処理装置と；ｂ）少なく
とも一つの電子データ処理のための中央処理装置と；
ｃ）前記中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能に
リンクするためのリンクと；ｄ）デジタル・コード化さ
れたデータ構造を記録するためのメモリであって、前記
少なくとも一つの中央処理装置に動作可能にリンクされ
るメモリと；及びｅ）データ構造は：（１）管理ライフ
サイクル活動フレームワーク・コンポーネントと、
（２）ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動
フレームワーク・コンポーネントと、及び（３）生産制
御及び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポ
ーネントとを含むファクトリーオートメーションライフ
サイクルを具備することを特徴とする、メモリに記録さ
れたデジタル・コード化された第一のデータ構造とを具
備する装置によって達成される。
ための装置であって、ａ）製品処理装置と；ｂ）少なく
とも一つの電子データ処理のための中央処理装置と；
ｃ）前記中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能に
リンクするためのリンクと；ｄ）デジタル・コード化さ
れたデータ構造を記録するためのメモリであって、前記
少なくとも一つの中央処理装置に動作可能にリンクされ
るメモリと；及びｅ）データ構造は：（１）管理ライフ
サイクル活動フレームワーク・コンポーネントと、
（２）ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動
フレームワーク・コンポーネントと、及び（３）生産制
御及び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポ
ーネントとを含むファクトリーオートメーションライフ
サイクルを具備することを特徴とする、メモリに記録さ
れたデジタル・コード化された第一のデータ構造とを具
備する装置によって達成される。
【００５３】本発明の装置では、前記管理ライフサイク
ル活動フレームワーク・コンポーネントは、セキュリテ
ィ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネン
ト、実行並びにライセンス管理コンポーネント及びサガ
管理コンポーネントを含むグループから選択された一つ
以上のフレームワーク・コンポーネントを具備するよう
に構成してもよい。
ル活動フレームワーク・コンポーネントは、セキュリテ
ィ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネン
ト、実行並びにライセンス管理コンポーネント及びサガ
管理コンポーネントを含むグループから選択された一つ
以上のフレームワーク・コンポーネントを具備するよう
に構成してもよい。
【００５４】本発明の装置では、前記ファクトリー・モ
デリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポ
ーネントは、コンテクスト・レゾリューション・コンポ
ーネント、構築管理コンポーネント及びカレンダ・コン
ポーネントを含むグループから選択されたひとつ以上の
フレームワーク・コンポーネントを具備するように構成
してもよい。
デリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポ
ーネントは、コンテクスト・レゾリューション・コンポ
ーネント、構築管理コンポーネント及びカレンダ・コン
ポーネントを含むグループから選択されたひとつ以上の
フレームワーク・コンポーネントを具備するように構成
してもよい。
【００５５】本発明の装置では、生産制御及び追跡ライ
フサイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、視
覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調整コン
ポーネント、イベント監視コンポーネント及びリソース
表コンポーネントを含むグループから選択された一つ以
上のフレームワーク・コンポーネントを具備するように
構成してもよい。
フサイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、視
覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調整コン
ポーネント、イベント監視コンポーネント及びリソース
表コンポーネントを含むグループから選択された一つ以
上のフレームワーク・コンポーネントを具備するように
構成してもよい。
【００５６】本発明の装置では、生産結果ライフサイク
ル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解
析を追加的に具備するように構成してもよい。
ル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解
析を追加的に具備するように構成してもよい。
【００５７】本発明の装置では、生産結果ライフサイク
ル活動フレームワーク・コンポーネントの前記一つ以上
の解析は、データ・マネージャ・コンポーネントを具備
するように構成してもよい。
ル活動フレームワーク・コンポーネントの前記一つ以上
の解析は、データ・マネージャ・コンポーネントを具備
するように構成してもよい。
【００５８】本発明の装置では、アプリケーション・コ
ンポーネントを含むデジタル・コード化された第二のデ
ータ構造を追加的に具備し、前記第一のデータ構造は前
記第二のデータ構造を管理するために適応するように構
成してもよい。
ンポーネントを含むデジタル・コード化された第二のデ
ータ構造を追加的に具備し、前記第一のデータ構造は前
記第二のデータ構造を管理するために適応するように構
成してもよい。
【００５９】本発明の装置では、前記フレームワーク・
コンポーネントの一つ以上を形成するためのソフトウェ
ア・ビルディング・ブロックを含むデジタル・コード化
された第三のデータ構造を追加的に具備するように構成
してもよい。
コンポーネントの一つ以上を形成するためのソフトウェ
ア・ビルディング・ブロックを含むデジタル・コード化
された第三のデータ構造を追加的に具備するように構成
してもよい。
【００６０】本発明の装置では、前記第一のデータ構造
は：ａ）ＧＵＩコンソール・コンポーネントを含むデジ
タル・コード化された第四のデータ構造と；及びｂ）構
築管理コンポーネントを含むデジタル・コード化された
第五のデータ構造とを具備するように構成してもよい。
は：ａ）ＧＵＩコンソール・コンポーネントを含むデジ
タル・コード化された第四のデータ構造と；及びｂ）構
築管理コンポーネントを含むデジタル・コード化された
第五のデータ構造とを具備するように構成してもよい。
【００６１】本発明の装置では、前記第四の及び第五の
データ構造は、相互干渉のために適応するように構成し
てもよい。
データ構造は、相互干渉のために適応するように構成し
てもよい。
【００６２】本発明の装置では、前記リンクは：（１）
ツール統合コンポーネント・アダプタと及び（２）ツー
ル・インターフェース・プログラムとを含むツール統合
コンポーネントを具備するように構成してもよい。
ツール統合コンポーネント・アダプタと及び（２）ツー
ル・インターフェース・プログラムとを含むツール統合
コンポーネントを具備するように構成してもよい。
【００６３】本発明の装置では、集積回路構造を処理す
るための装置を具備するように構成してもよい。
るための装置を具備するように構成してもよい。
【００６４】また、本発明の上記課題は、製品を処理す
るための装置であって、ａ）製品処理装置と；ｂ）少な
くとも一つの電子データ処理のための中央処理装置と；
ｃ）前記中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能に
リンクするためのリンクと；ｄ）デジタル・コード化さ
れたデータ構造を記録するためのメモリであって、前記
少なくとも一つの中央処理装置に動作可能にリンクされ
るメモリと；及びｅ）前記製品処理を管理するための分
散型ファクトリー・システム・フレームワークであっ
て：（１）デジタル・コード化されたフレームワーク・
コンポーネントを含むファクトリーオートメーションラ
イフサイクルを含む、デジタル・コード化された第一の
データ構造と、（２）デジタル・コード化された命令を
前記処理装置に通信するように適応したアプリケーショ
ン・コンポーネントを具備するデジタル・コード化され
た第二のデータ構造であって、前記第一のデータ構造は
前記第二のデータ構造を管理するように適応する前記第
二のデータ構造と、及び（３）前記デジタル・コード化
された命令を前記処理装置に通信するためのリンクとを
具備する分散型ファクトリー・システム・フレームワー
クとを具備する装置によって達成される。
るための装置であって、ａ）製品処理装置と；ｂ）少な
くとも一つの電子データ処理のための中央処理装置と；
ｃ）前記中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能に
リンクするためのリンクと；ｄ）デジタル・コード化さ
れたデータ構造を記録するためのメモリであって、前記
少なくとも一つの中央処理装置に動作可能にリンクされ
るメモリと；及びｅ）前記製品処理を管理するための分
散型ファクトリー・システム・フレームワークであっ
て：（１）デジタル・コード化されたフレームワーク・
コンポーネントを含むファクトリーオートメーションラ
イフサイクルを含む、デジタル・コード化された第一の
データ構造と、（２）デジタル・コード化された命令を
前記処理装置に通信するように適応したアプリケーショ
ン・コンポーネントを具備するデジタル・コード化され
た第二のデータ構造であって、前記第一のデータ構造は
前記第二のデータ構造を管理するように適応する前記第
二のデータ構造と、及び（３）前記デジタル・コード化
された命令を前記処理装置に通信するためのリンクとを
具備する分散型ファクトリー・システム・フレームワー
クとを具備する装置によって達成される。
【００６５】本発明の装置では、集積回路構造を処理す
るための装置を具備するように構成してもよい。
るための装置を具備するように構成してもよい。
【００６６】また、本発明の上記課題は、処理システム
を管理するための分散型ファクトリー・システム・フレ
ームワークであって：ａ）デジタル・コード化されたフ
レームワーク・コンポーネントを具備するデジタル・コ
ード化された第一のデータ構造と；ｂ） デジタル・コ
ード化された命令を前記処理システムに通信するように
適応したアプリケーション・コンポーネントを具備する
デジタル・コード化された第二のデータ構造で、前記第
一のデータ構造は、前記第二のデータ構造を管理するよ
うに適応する前記第二のデータ構造と；及びｃ） 前記
デジタル・コード化された命令を前記処理システムに通
信するためのリンクとを具備する分散型ファクトリー・
システム・フレームワークによって達成される。
を管理するための分散型ファクトリー・システム・フレ
ームワークであって：ａ）デジタル・コード化されたフ
レームワーク・コンポーネントを具備するデジタル・コ
ード化された第一のデータ構造と；ｂ） デジタル・コ
ード化された命令を前記処理システムに通信するように
適応したアプリケーション・コンポーネントを具備する
デジタル・コード化された第二のデータ構造で、前記第
一のデータ構造は、前記第二のデータ構造を管理するよ
うに適応する前記第二のデータ構造と；及びｃ） 前記
デジタル・コード化された命令を前記処理システムに通
信するためのリンクとを具備する分散型ファクトリー・
システム・フレームワークによって達成される。
【００６７】本発明のシステム・フレームワークでは、
前記フレームワーク・コンポーネントは、セキュリティ
・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネン
ト、実行並びにライセンス管理コンポーネント、サガ管
理コンポーネント、コンテクスト・レゾリューション・
コンポーネント、構築管理コンポーネント、カレンダ・
コンポーネント、視覚的ワークフロウ・コンポーネン
ト、リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポ
ーネント、リソース表コンポーネント、及びデータ・マ
ネージャ・コンポーネントを含むグループから選択され
た一つ以上のコンポーネントを具備するように構成して
もよい。
前記フレームワーク・コンポーネントは、セキュリティ
・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネン
ト、実行並びにライセンス管理コンポーネント、サガ管
理コンポーネント、コンテクスト・レゾリューション・
コンポーネント、構築管理コンポーネント、カレンダ・
コンポーネント、視覚的ワークフロウ・コンポーネン
ト、リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポ
ーネント、リソース表コンポーネント、及びデータ・マ
ネージャ・コンポーネントを含むグループから選択され
た一つ以上のコンポーネントを具備するように構成して
もよい。
【００６８】本発明のシステム・フレームワークでは、
前記アプリケーション・コンポーネントは、品質管理コ
ンポーネント、ツール統合コンポーネント、装置管理コ
ンポーネント、レシピ管理コンポーネント、発送並びに
スケジュール・コンポーネント、材料取り扱いコンポー
ネント、進行中作業コンポーネント、及びレガシー・シ
ステム・インターフェース・コンポーネントを含むグル
ープから選択された一つ以上のコンポーネントを具備す
るように構成してもよい。
前記アプリケーション・コンポーネントは、品質管理コ
ンポーネント、ツール統合コンポーネント、装置管理コ
ンポーネント、レシピ管理コンポーネント、発送並びに
スケジュール・コンポーネント、材料取り扱いコンポー
ネント、進行中作業コンポーネント、及びレガシー・シ
ステム・インターフェース・コンポーネントを含むグル
ープから選択された一つ以上のコンポーネントを具備す
るように構成してもよい。
【００６９】本発明のシステム・フレームワークでは、
前記リンクは、ツール統合コンポーネントを含む第四の
データ構造を具備するように構成してもよい。
前記リンクは、ツール統合コンポーネントを含む第四の
データ構造を具備するように構成してもよい。
【００７０】本発明のシステム・フレームワークでは、
前記第四のデータ構造は：ａ）ツール・インターフェー
ス・プログラム第五データ構造と；及びｂ）ツール統合
コンポーネント・アダプタ第六データ構造とを具備する
ように構成してもよい。
前記第四のデータ構造は：ａ）ツール・インターフェー
ス・プログラム第五データ構造と；及びｂ）ツール統合
コンポーネント・アダプタ第六データ構造とを具備する
ように構成してもよい。
【００７１】本発明のシステム・フレームワークでは、
サーバ構築ビルディング・ブロック、持続性ビルディン
グ・ブロック、共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブック、
パブリッシュ・サブスクライブ・メッセージ・ビルディ
ング・ブロック、ダイナミックＡＰＩ発見ビルディング
・ブロック、関連ビルディング・ブロック、履歴ビルデ
ィング・ブロック、汎用サービス実行者ビルディング・
ブロック、分類ビルディング・ブロック、顧客規定属性
ビルディング・ブロック、状態モデル・ビルディング・
ブロック、ネーム空間ビルディング・ブロック、スケジ
ュール／デートブック・ビルディング・ブロック、テン
プレート・ビルディング・ブロック、変形オブジェクト
・ビルディング・ブロック、及びナビゲーション・ビル
ディング・ブロックを含むグループから選択されたひと
つ以上のソフトウェア・ビルディング・ブロックを追加
的に具備するように構成してもよい。
サーバ構築ビルディング・ブロック、持続性ビルディン
グ・ブロック、共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブック、
パブリッシュ・サブスクライブ・メッセージ・ビルディ
ング・ブロック、ダイナミックＡＰＩ発見ビルディング
・ブロック、関連ビルディング・ブロック、履歴ビルデ
ィング・ブロック、汎用サービス実行者ビルディング・
ブロック、分類ビルディング・ブロック、顧客規定属性
ビルディング・ブロック、状態モデル・ビルディング・
ブロック、ネーム空間ビルディング・ブロック、スケジ
ュール／デートブック・ビルディング・ブロック、テン
プレート・ビルディング・ブロック、変形オブジェクト
・ビルディング・ブロック、及びナビゲーション・ビル
ディング・ブロックを含むグループから選択されたひと
つ以上のソフトウェア・ビルディング・ブロックを追加
的に具備するように構成してもよい。
【００７２】また、本発明の上記課題は、ａ）管理ライ
フサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと；
ｂ）ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネントと；及びｃ）生産制御及
び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネ
ントとを有するファクトリーオートメーションライフサ
イクルを含むデジタル・コード化された第一のデータ構
造を具備するデータ記憶装置によって達成される。
フサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと；
ｂ）ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネントと；及びｃ）生産制御及
び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネ
ントとを有するファクトリーオートメーションライフサ
イクルを含むデジタル・コード化された第一のデータ構
造を具備するデータ記憶装置によって達成される。
【００７３】本発明のデータ記憶装置では、前記管理ラ
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、
セキュリティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コ
ンポーネント、実行並びにライセンス管理コンポーネン
ト、及びサガ管理コンポーネントを具備するグループか
ら選択された一つ以上のフレームワーク・コンポーネン
トを具備するように構成してもよい。
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、
セキュリティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コ
ンポーネント、実行並びにライセンス管理コンポーネン
ト、及びサガ管理コンポーネントを具備するグループか
ら選択された一つ以上のフレームワーク・コンポーネン
トを具備するように構成してもよい。
【００７４】本発明のデータ記憶装置では、前記ファク
トリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワー
ク・コンポーネントは、コンテクスト・レゾリューショ
ン・コンポーネント、構築管理コンポーネント、及びカ
レンダ・コンポーネントを具備するグループから選択さ
れた一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを具備
するように構成してもよい。
トリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワー
ク・コンポーネントは、コンテクスト・レゾリューショ
ン・コンポーネント、構築管理コンポーネント、及びカ
レンダ・コンポーネントを具備するグループから選択さ
れた一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを具備
するように構成してもよい。
【００７５】本発明のデータ記憶装置では、前記生産制
御並びに追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コン
ポーネントは、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、
リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポーネ
ント、及びリソース表コンポーネントを具備するグルー
プから選択された一つ以上のフレームワーク・コンポー
ネントを具備するように構成してもよい。
御並びに追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コン
ポーネントは、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、
リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポーネ
ント、及びリソース表コンポーネントを具備するグルー
プから選択された一つ以上のフレームワーク・コンポー
ネントを具備するように構成してもよい。
【００７６】本発明のデータ記憶装置では、生産結果ラ
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントの一
つ以上の解析を追加的に具備するように構成してもよ
い。
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントの一
つ以上の解析を追加的に具備するように構成してもよ
い。
【００７７】本発明のデータ記憶装置では、前記生産結
果ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント
の一つ以上の解析は、データ・マネージャ・コンポーネ
ントを具備するように構成してもよい。
果ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント
の一つ以上の解析は、データ・マネージャ・コンポーネ
ントを具備するように構成してもよい。
【００７８】本発明のデータ記憶装置では、ＧＵＩコン
ソール・フレームワーク・コンポーネントと相互干渉す
るために適応する複数のフレームワーク・コンポーネン
トを具備するように構成してもよい。
ソール・フレームワーク・コンポーネントと相互干渉す
るために適応する複数のフレームワーク・コンポーネン
トを具備するように構成してもよい。
【００７９】本発明のデータ記憶装置では、アプリケー
ション・コンポーネントを含むデジタル・コード化され
た第二のデータ構造を追加的に具備し、前記第一のデー
タ構造は、前記第二のデータ構造を管理するために適応
するように構成してもよい。
ション・コンポーネントを含むデジタル・コード化され
た第二のデータ構造を追加的に具備し、前記第一のデー
タ構造は、前記第二のデータ構造を管理するために適応
するように構成してもよい。
【００８０】本発明のデータ記憶装置では、前記フレー
ムワーク・コンポーネントの一つ以上を形成するための
ソフトウェア・ビルディング・ブロックを含むデジタル
・コード化された第三のデータ構造を追加的に具備する
ように構成してもよい。
ムワーク・コンポーネントの一つ以上を形成するための
ソフトウェア・ビルディング・ブロックを含むデジタル
・コード化された第三のデータ構造を追加的に具備する
ように構成してもよい。
【００８１】本発明のデータ記憶装置では、前記第一
の、第二の、及び第三のデータ構造は、集積回路構造を
処理するために適応するように構成してもよい。
の、第二の、及び第三のデータ構造は、集積回路構造を
処理するために適応するように構成してもよい。
【００８２】また、本発明の上記課題は、ａ）デジタル
・コード化されたフレームワーク・コンポーネントを含
むファクトリーオートメーションライフサイクルを具備
するデジタル・コード化された第一のデータ構造と；及
びｂ）アプリケーション・コンポーネントを具備するデ
ジタル・コード化された第二のデータ構造で、前記第一
のデータ構造は、前記第二のデータ構造を変更するため
に適応する前記第二のデータ構造とを具備するデータ記
憶装置によって達成される。
・コード化されたフレームワーク・コンポーネントを含
むファクトリーオートメーションライフサイクルを具備
するデジタル・コード化された第一のデータ構造と；及
びｂ）アプリケーション・コンポーネントを具備するデ
ジタル・コード化された第二のデータ構造で、前記第一
のデータ構造は、前記第二のデータ構造を変更するため
に適応する前記第二のデータ構造とを具備するデータ記
憶装置によって達成される。
【００８３】本発明のデータ記憶装置では、前記フレー
ムワーク・コンポーネントは、セキュリティ・コンポー
ネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行並び
にライセンス管理コンポーネント、サガ管理コンポーネ
ント、コンテクスト・レゾリューション・コンポーネン
ト、構築管理コンポーネント、カレンダ・コンポーネン
ト、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調
整コンポーネント、イベント監視コンポーネント、リソ
ース表コンポーネント、及びデータ・マネージャ・コン
ポーネントを具備するグループから選択された一つ以上
のコンポーネントを具備するように構成してもよい。
ムワーク・コンポーネントは、セキュリティ・コンポー
ネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行並び
にライセンス管理コンポーネント、サガ管理コンポーネ
ント、コンテクスト・レゾリューション・コンポーネン
ト、構築管理コンポーネント、カレンダ・コンポーネン
ト、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調
整コンポーネント、イベント監視コンポーネント、リソ
ース表コンポーネント、及びデータ・マネージャ・コン
ポーネントを具備するグループから選択された一つ以上
のコンポーネントを具備するように構成してもよい。
【００８４】本発明のデータ記憶装置では、前記アプリ
ケーション・コンポーネントは、品質管理コンポーネン
ト、ツール統合コンポーネント、装置管理コンポーネン
ト、レシピ管理コンポーネント、発送並びにスケジュー
ル・コンポーネント、材料取り扱いコンポーネント、進
行中作業コンポーネント、及びレガシー・システム・イ
ンターフェース・コンポーネントを具備するグループか
ら選択された一つ以上のコンポーネントを具備するよう
に構成してもよい。
ケーション・コンポーネントは、品質管理コンポーネン
ト、ツール統合コンポーネント、装置管理コンポーネン
ト、レシピ管理コンポーネント、発送並びにスケジュー
ル・コンポーネント、材料取り扱いコンポーネント、進
行中作業コンポーネント、及びレガシー・システム・イ
ンターフェース・コンポーネントを具備するグループか
ら選択された一つ以上のコンポーネントを具備するよう
に構成してもよい。
【００８５】本発明のデータ記憶装置では、サーバ構築
ビルディング・ブロック、持続性ビルディング・ブロッ
ク、共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブック、パブリッシ
ュ・サブスクライブ・メッセージ・ビルディング・ブロ
ック、ダイナミックＡＰＩ発見ビルディング・ブロッ
ク、関連ビルディング・ブロック、履歴ビルディング・
ブロック、汎用サービス実行者ビルディング・ブロッ
ク、分類ビルディング・ブロック、顧客規定属性ビルデ
ィング・ブロック、状態モデル・ビルディング・ブロッ
ク、ネーム空間ビルディング・ブロック、スケジュール
／デートブック・ビルディング・ブロック、テンプレー
ト・ビルディング・ブロック、変形オブジェクト・ビル
ディング・ブロック、及びナビゲーション・ビルディン
グ・ブロックを含むグループから選択されたひとつ以上
のソフトウェア・ビルディング・ブロックを含む、デジ
タル・コード化された第三のデータ構造を追加的に具備
するように構成してもよい。
ビルディング・ブロック、持続性ビルディング・ブロッ
ク、共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブック、パブリッシ
ュ・サブスクライブ・メッセージ・ビルディング・ブロ
ック、ダイナミックＡＰＩ発見ビルディング・ブロッ
ク、関連ビルディング・ブロック、履歴ビルディング・
ブロック、汎用サービス実行者ビルディング・ブロッ
ク、分類ビルディング・ブロック、顧客規定属性ビルデ
ィング・ブロック、状態モデル・ビルディング・ブロッ
ク、ネーム空間ビルディング・ブロック、スケジュール
／デートブック・ビルディング・ブロック、テンプレー
ト・ビルディング・ブロック、変形オブジェクト・ビル
ディング・ブロック、及びナビゲーション・ビルディン
グ・ブロックを含むグループから選択されたひとつ以上
のソフトウェア・ビルディング・ブロックを含む、デジ
タル・コード化された第三のデータ構造を追加的に具備
するように構成してもよい。
【００８６】
【発明の実施の形態】本発明の一つの実施形態におい
て、開発及び統合、インストール及び管理、ファクトリ
ー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡の
ためのライフサイクル活動、及び生産結果を解析するた
めのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しいフ
ァクトリーオートメーションライフサイクルが供給され
る。生産結果ライフサイクル活動の解析からの出力は、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動等の他
のライフサイクル活動への入力を供給することができ
る。フレームワーク・コンポーネントは、様々なライフ
サイクル活動と関連する。
て、開発及び統合、インストール及び管理、ファクトリ
ー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡の
ためのライフサイクル活動、及び生産結果を解析するた
めのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しいフ
ァクトリーオートメーションライフサイクルが供給され
る。生産結果ライフサイクル活動の解析からの出力は、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動等の他
のライフサイクル活動への入力を供給することができ
る。フレームワーク・コンポーネントは、様々なライフ
サイクル活動と関連する。
【００８７】本発明の他の実施形態においては、フレー
ムワーク・ソフトウェア・コンポーネント、アプリケー
ション・ソフトウェア・コンポーネント及びソフトウェ
ア・ビルディング・ブロックの利用を含む、処理システ
ムの管理をするための新しい方法が供給される。前記ア
プリケーション・コンポーネントは、前記システムを管
理するための命令を供給する一方で、前記フレームワー
ク・コンポーネントは、前記アプリケーション・コンポ
ーネントを管理するために使用される。前記ビルディン
グ・ブロックは、フレームワーク及びアプリケーション
・コンポーネントを形成し又は変更するために適応す
る。ファクトリーオートメーションライフサイクルは、
フレームワーク・コンポーネントを含む。新しいツール
統合コンポーネントは、命令を前記システムの処理ツー
ルに通信するための新しい方法によって使用される。前
記ツール統合コンポーネントは、ツール・インターフェ
ース・プログラム及びツール統合コンポーネント・アダ
プタを具備する。前記システムを管理するための命令
は、データを入力することによって変更されることがで
きる。
ムワーク・ソフトウェア・コンポーネント、アプリケー
ション・ソフトウェア・コンポーネント及びソフトウェ
ア・ビルディング・ブロックの利用を含む、処理システ
ムの管理をするための新しい方法が供給される。前記ア
プリケーション・コンポーネントは、前記システムを管
理するための命令を供給する一方で、前記フレームワー
ク・コンポーネントは、前記アプリケーション・コンポ
ーネントを管理するために使用される。前記ビルディン
グ・ブロックは、フレームワーク及びアプリケーション
・コンポーネントを形成し又は変更するために適応す
る。ファクトリーオートメーションライフサイクルは、
フレームワーク・コンポーネントを含む。新しいツール
統合コンポーネントは、命令を前記システムの処理ツー
ルに通信するための新しい方法によって使用される。前
記ツール統合コンポーネントは、ツール・インターフェ
ース・プログラム及びツール統合コンポーネント・アダ
プタを具備する。前記システムを管理するための命令
は、データを入力することによって変更されることがで
きる。
【００８８】本発明のさらに他の実施形態においては、
製品を処理するための新しい方法は、前記製品を処理
し、そしてフレームワーク・コンポーネント、アプリケ
ーション・コンポーネント、及びＳＷビルディング・ブ
ロックを含む新しい分散型ファクトリー・システム・フ
レームワークの手段によって、前記処理を管理するため
の仕様を決定する段階を含む。前記新しい分散型ファク
トリー・システムは、必要であれば、データを入力する
ことによって変更されることができる。管理のためのコ
ンピュータ実行型命令は、アプリケーション・コンポー
ネントによって形成される。これらの命令は、例えばツ
ール統合コンポーネントを利用することによって、製品
を生産するための処理に通信される。前記命令はそれか
ら、例えば集積回路構造を組み立てるための処理におい
て実行される。
製品を処理するための新しい方法は、前記製品を処理
し、そしてフレームワーク・コンポーネント、アプリケ
ーション・コンポーネント、及びＳＷビルディング・ブ
ロックを含む新しい分散型ファクトリー・システム・フ
レームワークの手段によって、前記処理を管理するため
の仕様を決定する段階を含む。前記新しい分散型ファク
トリー・システムは、必要であれば、データを入力する
ことによって変更されることができる。管理のためのコ
ンピュータ実行型命令は、アプリケーション・コンポー
ネントによって形成される。これらの命令は、例えばツ
ール統合コンポーネントを利用することによって、製品
を生産するための処理に通信される。前記命令はそれか
ら、例えば集積回路構造を組み立てるための処理におい
て実行される。
【００８９】本発明のさらに他の実施形態においては、
ウェーハ・ファブ・ランを起動するための新しい方法
は、処理段階のシーケンスを決定し、及びその後視覚的
ワークフロウ・コンポーネントにおいてこのシーケンス
を規定するワークフロウを形成する段階を含む。前記視
覚的ワークフロウ・コンポーネントは、フレーム・コン
ポーネント及びアプリケーション・コンポーネントを具
備する新しい分散型ファクトリー・システム・フレーム
ワークに含まれる。進行中作業管理コンポーネント又は
ＧＵＩの手段によってランを起動させるために、前記視
覚的ワークフロウ・コンポーネントに対して要求がなさ
れる。
ウェーハ・ファブ・ランを起動するための新しい方法
は、処理段階のシーケンスを決定し、及びその後視覚的
ワークフロウ・コンポーネントにおいてこのシーケンス
を規定するワークフロウを形成する段階を含む。前記視
覚的ワークフロウ・コンポーネントは、フレーム・コン
ポーネント及びアプリケーション・コンポーネントを具
備する新しい分散型ファクトリー・システム・フレーム
ワークに含まれる。進行中作業管理コンポーネント又は
ＧＵＩの手段によってランを起動させるために、前記視
覚的ワークフロウ・コンポーネントに対して要求がなさ
れる。
【００９０】本発明の他の実施形態においては、製品処
理装置、中央処理装置、前記処理装置を前記中央処理装
置に動作可能にリンクするためのリンク、デジタル・コ
ード化されたデータ構造を記憶するためのメモリ、及び
新しいファクトリーオートメーションライフサイクルを
具備するデータ構造を含む装置が供給される。本実施形
態はまた、アプリケーション・コンポーネント及びビル
ディング・ブロック・コンポーネントを含むデータ構造
を備える。
理装置、中央処理装置、前記処理装置を前記中央処理装
置に動作可能にリンクするためのリンク、デジタル・コ
ード化されたデータ構造を記憶するためのメモリ、及び
新しいファクトリーオートメーションライフサイクルを
具備するデータ構造を含む装置が供給される。本実施形
態はまた、アプリケーション・コンポーネント及びビル
ディング・ブロック・コンポーネントを含むデータ構造
を備える。
【００９１】本発明のさらに他の実施形態において、フ
レームワーク・コンポーネントを具備するデジタル・コ
ード化された第一のデータ構造、アプリケーション・コ
ンポーネントを含む第二のデータ構造、及びデジタル・
コード化された命令を前記処理システムに通信するため
のリンクを含む、処理システムを管理するための分散型
ファクトリー・システム・フレームワークが供給され
る。
レームワーク・コンポーネントを具備するデジタル・コ
ード化された第一のデータ構造、アプリケーション・コ
ンポーネントを含む第二のデータ構造、及びデジタル・
コード化された命令を前記処理システムに通信するため
のリンクを含む、処理システムを管理するための分散型
ファクトリー・システム・フレームワークが供給され
る。
【００９２】本発明のさらに他の実施形態においては、
処理装置及び処理システムを管理するための新しい分散
型ファクトリー・システム・フレームワークを具備する
新しい装置が供給される。
処理装置及び処理システムを管理するための新しい分散
型ファクトリー・システム・フレームワークを具備する
新しい装置が供給される。
【００９３】本発明の追加の実施形態においては、新し
いファクトリーオートメーションライフサイクル活動デ
ータ構造、フレームワーク・コンポーネント・データ構
造、アプリケーション・コンポーネント・データ構造及
びビルディング・ブロック・データ構造等のデータ構造
を具備する新しいデータ記憶装置が供給される。
いファクトリーオートメーションライフサイクル活動デ
ータ構造、フレームワーク・コンポーネント・データ構
造、アプリケーション・コンポーネント・データ構造及
びビルディング・ブロック・データ構造等のデータ構造
を具備する新しいデータ記憶装置が供給される。
【００９４】
【実施例】本発明及びその実施形態を説明する一方で、
明確にする目的で、一定の専門用語が使用されるであろ
う。前記専門用語は、列挙された実施形態をすべての相
当するもの（equivalents）と同様に含むことを意図す
る。
明確にする目的で、一定の専門用語が使用されるであろ
う。前記専門用語は、列挙された実施形態をすべての相
当するもの（equivalents）と同様に含むことを意図す
る。
【００９５】本発明の一つの実施形態において、ＩＣ
（集積回路）構造等の半導体構造を処理又は組み立てる
ためのウェーハ・ファブ等のシステム又は設備を処理、
生産又は組み立てにおいて存在することができる装置段
階、決定段階及びデータ段階を具備するファクトリー・
ＭＥＳ（manufacturing execution system(s)、生産実
行システム）を自動化し、統合し及び調整するためのＤ
ＦＳ／Ｆ（distributedfactory system framework、分
散型ファクトリー・システム・フレームワーク）ＳＷ
（software、ソフトウェア）が供給される。ここで規定
されている「ＦＷ（framework、フレームワーク）」と
いう表現は、機能性又は一組のサービスを供給するリン
クされたＳＷ構造、コンポーネント又はクラスの集合を
含む。ここで規定されている「ＭＥＳ」という表現は、
処理関連タスクを起動させ、進行中作業を管理及び／又
は制御し、及び任意で試験及びデータ収集タスクを含
む、処理／生産／組み立てタスクの実行のための材料、
装置、情報及び履歴データ等のリソースの使用を容易に
するためのＳＷデータ構造の集まりを含む。ここで規定
されている「ＩＣ構造」という表現は、完全に形成され
たＩＣ及び部分的に形成されたＩＣを含む。
（集積回路）構造等の半導体構造を処理又は組み立てる
ためのウェーハ・ファブ等のシステム又は設備を処理、
生産又は組み立てにおいて存在することができる装置段
階、決定段階及びデータ段階を具備するファクトリー・
ＭＥＳ（manufacturing execution system(s)、生産実
行システム）を自動化し、統合し及び調整するためのＤ
ＦＳ／Ｆ（distributedfactory system framework、分
散型ファクトリー・システム・フレームワーク）ＳＷ
（software、ソフトウェア）が供給される。ここで規定
されている「ＦＷ（framework、フレームワーク）」と
いう表現は、機能性又は一組のサービスを供給するリン
クされたＳＷ構造、コンポーネント又はクラスの集合を
含む。ここで規定されている「ＭＥＳ」という表現は、
処理関連タスクを起動させ、進行中作業を管理及び／又
は制御し、及び任意で試験及びデータ収集タスクを含
む、処理／生産／組み立てタスクの実行のための材料、
装置、情報及び履歴データ等のリソースの使用を容易に
するためのＳＷデータ構造の集まりを含む。ここで規定
されている「ＩＣ構造」という表現は、完全に形成され
たＩＣ及び部分的に形成されたＩＣを含む。
【００９６】本発明のＤＦＳ／Ｆは、図６に記載の、統
合ファクトリーオートメーションＭＥＳのための全体の
構造を形成するための新しいＦＡＬＣ（factory automa
tion lifecycle、ファクトリーオートメーションライフ
サイクル）を含む。ＦＡＬＣ２００は、処理、生産、又
は組み立てシステムあるいは設備の様々な生産関連する
特徴を統合し、自動化し、管理し、又は制御し、それに
よってファクトリー・モデルを形成するために適応す
る。これらの特徴は、ウェーハ・ファブ・ツール等のウ
ェーハ・ファブ関連装置、ウェーハ・ファブ処理・プロ
シージャ（wafer fab processing procedures）等の方
法、ウェーハ・ファブ処理ガス等の材料、処理中ウェー
ハ在庫管理等の在庫管理、処理中作業状態決定、処理中
試験データの評価、ＳＰＣ（statistical process cont
rol、統計処理制御）等の装置機能及び品質管理特性の
監視を含むことができる。新しいライフサイクルは追加
的に、いくつかのツールが統合されている場合に、調整
された生産又は組み立て設備を供給するための異なるツ
ール、装置、又はソフトウェア供給者からのツール、装
置又はソフトウェアの統合を容易にする。
合ファクトリーオートメーションＭＥＳのための全体の
構造を形成するための新しいＦＡＬＣ（factory automa
tion lifecycle、ファクトリーオートメーションライフ
サイクル）を含む。ＦＡＬＣ２００は、処理、生産、又
は組み立てシステムあるいは設備の様々な生産関連する
特徴を統合し、自動化し、管理し、又は制御し、それに
よってファクトリー・モデルを形成するために適応す
る。これらの特徴は、ウェーハ・ファブ・ツール等のウ
ェーハ・ファブ関連装置、ウェーハ・ファブ処理・プロ
シージャ（wafer fab processing procedures）等の方
法、ウェーハ・ファブ処理ガス等の材料、処理中ウェー
ハ在庫管理等の在庫管理、処理中作業状態決定、処理中
試験データの評価、ＳＰＣ（statistical process cont
rol、統計処理制御）等の装置機能及び品質管理特性の
監視を含むことができる。新しいライフサイクルは追加
的に、いくつかのツールが統合されている場合に、調整
された生産又は組み立て設備を供給するための異なるツ
ール、装置、又はソフトウェア供給者からのツール、装
置又はソフトウェアの統合を容易にする。
【００９７】図６に記載の新しいＦＡＬＣ２００は、Ｓ
Ｗ開発及び統合ライフサイクル活動２１０、インストー
ル及び管理ライフサイクル活動２２０、ファクトリー・
モデリング・ライフサイクル活動２３０、生産計画ライ
フサイクル活動２４０、生産制御、監視及び追跡ライフ
サイクル活動２５０、及び生産結果ライフサイクル活動
の解析２６０を含む。図６に図示されたとおり、生産結
果ライフサイクル活動の解析２６０からの選択された出
力は、ＳＷ開発及び統合ライフサイクル活動２１０、フ
ァクトリー・モデリング・ライフサイクル活動２３０及
び生産計画ライフサイクル活動２４０等のライフサイク
ルの他のライフサイクル活動へフィードバックを供給す
ることができる。これらのライフサイクル活動の間の出
力及び入力相互干渉は、生産結果を解析するためのライ
フサイクル活動２６０の記載を参照して、より詳細に記
載されるであろう。
Ｗ開発及び統合ライフサイクル活動２１０、インストー
ル及び管理ライフサイクル活動２２０、ファクトリー・
モデリング・ライフサイクル活動２３０、生産計画ライ
フサイクル活動２４０、生産制御、監視及び追跡ライフ
サイクル活動２５０、及び生産結果ライフサイクル活動
の解析２６０を含む。図６に図示されたとおり、生産結
果ライフサイクル活動の解析２６０からの選択された出
力は、ＳＷ開発及び統合ライフサイクル活動２１０、フ
ァクトリー・モデリング・ライフサイクル活動２３０及
び生産計画ライフサイクル活動２４０等のライフサイク
ルの他のライフサイクル活動へフィードバックを供給す
ることができる。これらのライフサイクル活動の間の出
力及び入力相互干渉は、生産結果を解析するためのライ
フサイクル活動２６０の記載を参照して、より詳細に記
載されるであろう。
【００９８】本発明のＦＡＬＣ２００の様々なライフサ
イクル活動は、ＳＷを具備する。ハードウェア部品、装
置又はアセンブリは、ＦＡＬＣ２００の６のライフサイ
クル活動の機能性を供給する、ＳＷをサポートし、操作
し、又は利用するために必要である。前記ＦＡＬＣ２０
０ソフトウェアは、ＦＷＳＷコンポーネントを含む。前
記ＦＷコンポーネントは、共通のシステム又はファクト
リー・操業規則及びサービスを規定し、及びオン・ボー
ド・ウェーハ・ファブ・ツール・コントローラ（on-boa
rd wafer fab tool controllers）等の処理装置の制御
システムとの相互干渉を通して、処理機能又はシステ
ム、例えば組み立て設備及び様々なウェーハ・ファブ・
ツールの組み合わせを含むファクトリー・を管理／制御
するアプリケーションＳＷコンポーネントへとサービス
を供給するためにそれらは使用される。アプリケーショ
ン・コンポーネントは、ウェーハ・ファブ・レシピ等の
処理及び処理装置の特定の要求に適合するように適応す
る。言い換えれば、同じ処理状態を使用する、同じ装置
における同じ種類の製品の反復処理ランは、アプリケー
ション・コンポーネントにおける変更を必要としない。
しかしながら、材料、製品、装置又は処理状態における
変更は、典型的には一つ以上のアプリケーション・コン
ポーネントのデータの変更を必要とする。例えば、処理
状態における変更は、変更された命令を前記装置に供給
するために、一つ以上のアプリケーション・コンポーネ
ントにおける対応する変更を必要とする。ＦＷコンポー
ネントは、ユーザが、新しいＤＦＳ／Ｆを新しい処理状
態に、又は異なる材料あるいはツールに適合するよう
に、一つ以上のアプリケーション・コンポーネントを変
更することができるようにするサービスを供給する。Ｆ
ＡＬＣ２００等の新しいＦＡＬＣは、前記適合が、実質
的に異なる処理システムへの変更を必要としない場合
に、データ入力を通して新しい処理状態、材料又は装置
へと適合されることができる。例えば、ウェーハ・ファ
ブＦＡＬＣのいくつかのアプリケーション・コンポーネ
ントのＳＷコードは、医薬品のバッチ生産処理のための
ＦＡＬＣの対応するコンポーネントのＳＷコードとは異
なる。新しいＤＦＳ／Ｆのアプリケーション・コンポー
ネントは、ＴＩＣ（tool integration component、ツー
ル統合コンポーネント）を参照してより完全に記載され
るように、個別のウェーハ・ファブ・ツール等の装置と
プロコトル及びインターフェースを通して通信する。
イクル活動は、ＳＷを具備する。ハードウェア部品、装
置又はアセンブリは、ＦＡＬＣ２００の６のライフサイ
クル活動の機能性を供給する、ＳＷをサポートし、操作
し、又は利用するために必要である。前記ＦＡＬＣ２０
０ソフトウェアは、ＦＷＳＷコンポーネントを含む。前
記ＦＷコンポーネントは、共通のシステム又はファクト
リー・操業規則及びサービスを規定し、及びオン・ボー
ド・ウェーハ・ファブ・ツール・コントローラ（on-boa
rd wafer fab tool controllers）等の処理装置の制御
システムとの相互干渉を通して、処理機能又はシステ
ム、例えば組み立て設備及び様々なウェーハ・ファブ・
ツールの組み合わせを含むファクトリー・を管理／制御
するアプリケーションＳＷコンポーネントへとサービス
を供給するためにそれらは使用される。アプリケーショ
ン・コンポーネントは、ウェーハ・ファブ・レシピ等の
処理及び処理装置の特定の要求に適合するように適応す
る。言い換えれば、同じ処理状態を使用する、同じ装置
における同じ種類の製品の反復処理ランは、アプリケー
ション・コンポーネントにおける変更を必要としない。
しかしながら、材料、製品、装置又は処理状態における
変更は、典型的には一つ以上のアプリケーション・コン
ポーネントのデータの変更を必要とする。例えば、処理
状態における変更は、変更された命令を前記装置に供給
するために、一つ以上のアプリケーション・コンポーネ
ントにおける対応する変更を必要とする。ＦＷコンポー
ネントは、ユーザが、新しいＤＦＳ／Ｆを新しい処理状
態に、又は異なる材料あるいはツールに適合するよう
に、一つ以上のアプリケーション・コンポーネントを変
更することができるようにするサービスを供給する。Ｆ
ＡＬＣ２００等の新しいＦＡＬＣは、前記適合が、実質
的に異なる処理システムへの変更を必要としない場合
に、データ入力を通して新しい処理状態、材料又は装置
へと適合されることができる。例えば、ウェーハ・ファ
ブＦＡＬＣのいくつかのアプリケーション・コンポーネ
ントのＳＷコードは、医薬品のバッチ生産処理のための
ＦＡＬＣの対応するコンポーネントのＳＷコードとは異
なる。新しいＤＦＳ／Ｆのアプリケーション・コンポー
ネントは、ＴＩＣ（tool integration component、ツー
ル統合コンポーネント）を参照してより完全に記載され
るように、個別のウェーハ・ファブ・ツール等の装置と
プロコトル及びインターフェースを通して通信する。
【００９９】ＦＷ及びアプリケーションＳＷエレメント
は、個別のＳＷエンティティであり、各々はそれ自身の
データベース、サーバ、及び標準ＧＵＩを伴っているの
で、コンポーネントと称される。前記コンポーネント
は、ＤＣＯＭ（ＭＩＣＲＯＳＯＦＴTM−Ｍｉｃｒｏｓｏ
ｆｔは、レッドモンド、ワシントン州のマイクロソフト
株式会社の登録商標である−分散共通オブジェクト・モ
デル）ＡＰＩｓ（application programming interfac
e、アプリケーション・プログラミング・インターフェ
ース）、又はＣＯＲＢＡ（common object request brok
er architecture、共通オブジェクト要求ブローカ・ア
ーキテクチャ）等の公共の一組の通信基準を通して共同
して動作する。ＳＷ共通ビルディング・ブロックは、新
しいＦＷ及びアプリケーション・コンポーネントの生成
を容易にするために、及び現存するＦＷ及びアプリケー
ション・コンポーネントを変更するために、ＤＦＳ／Ｆ
において供給される。これらのビルディング・ブロック
は、典型的にはＧＵＩ（graphical user interface、グ
ラフィカル・ユーザ・インターフェース）、サーバ及び
ＤＢ（database、データベース）エレメントを含む。典
型的には、ＤＦＳ／Ｆ及びＦＡＬＣ２００コンポーネン
ト及びＳＷビルディング・ブロックは、データ処理又は
一つ以上のコンピュータのための一つ以上の中央処理装
置によって処理される。本発明の実施形態に適した中央
処理装置及びコンピュータは、通常の当業者には公知で
ある。
は、個別のＳＷエンティティであり、各々はそれ自身の
データベース、サーバ、及び標準ＧＵＩを伴っているの
で、コンポーネントと称される。前記コンポーネント
は、ＤＣＯＭ（ＭＩＣＲＯＳＯＦＴTM−Ｍｉｃｒｏｓｏ
ｆｔは、レッドモンド、ワシントン州のマイクロソフト
株式会社の登録商標である−分散共通オブジェクト・モ
デル）ＡＰＩｓ（application programming interfac
e、アプリケーション・プログラミング・インターフェ
ース）、又はＣＯＲＢＡ（common object request brok
er architecture、共通オブジェクト要求ブローカ・ア
ーキテクチャ）等の公共の一組の通信基準を通して共同
して動作する。ＳＷ共通ビルディング・ブロックは、新
しいＦＷ及びアプリケーション・コンポーネントの生成
を容易にするために、及び現存するＦＷ及びアプリケー
ション・コンポーネントを変更するために、ＤＦＳ／Ｆ
において供給される。これらのビルディング・ブロック
は、典型的にはＧＵＩ（graphical user interface、グ
ラフィカル・ユーザ・インターフェース）、サーバ及び
ＤＢ（database、データベース）エレメントを含む。典
型的には、ＤＦＳ／Ｆ及びＦＡＬＣ２００コンポーネン
ト及びＳＷビルディング・ブロックは、データ処理又は
一つ以上のコンピュータのための一つ以上の中央処理装
置によって処理される。本発明の実施形態に適した中央
処理装置及びコンピュータは、通常の当業者には公知で
ある。
【０１００】図６に記載のＦＡＬＣ２００の６のライフ
サイクル活動は、次の機能を含む。ＳＷ開発及び統合ラ
イフサイクル活動２１０は、ファクトリー・オブジェク
ト及びサーバのための共通構造を規定するために適応す
る。この共通構造は、ＤＦＳ／Ｆ適合アプリケーション
の形成を単純化する。インストール及び管理ライフサイ
クル活動２２０は、ＭＥＳアプリケーションをインスト
ールする。ＭＥＳアプリケーションを他のアプリケーシ
ョンの能力と接続して統合することを可能にするため
に、ＭＥＳアプリケーションの能力をＤＦＳ／Ｆと記録
することが必要である。ライフサイクル活動２２０はま
た、ファクトリー・のＭＥＳを具備するソフトウェアを
監視し及び制御する。さらに、それはＭＥＳ能力へのア
クセスを調整し、共通のセキュリティ・サービスを供給
する。ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動
２３０は、複数の生産関連アプリケーションにおける一
貫したファクトリー・モデルの形成を調整するために適
応する。例えば、新しい製品の導入は、典型的にはＷＩ
Ｐ（work in progress、進行中作業）及び計画アプリケ
ーションの両方において前記製品を追加する等、複数の
アプリケーションにおける変更を必要とする。ライフサ
イクル活動２３０はまた、複数のアプリケーションが協
同して稼動する方法を規定するため、例えば正しい装置
が一定の製品を生産するために使用されることを保証す
るために、どのようにＷＩＰアプリケーション及び装置
アプリケーションが協同して動作することができるかを
規定するためにも適応する。ファクトリー・モデリング
・ライフサイクル活動２３０のＳＷは、ファクトリー・
のＭＥＳ機能のモデルが、ファクトリー・モデリング関
連のＳＷを使用することによって一度構築されると、前
記生産を計画し、制御し、及び追跡するために適応す
る。
サイクル活動は、次の機能を含む。ＳＷ開発及び統合ラ
イフサイクル活動２１０は、ファクトリー・オブジェク
ト及びサーバのための共通構造を規定するために適応す
る。この共通構造は、ＤＦＳ／Ｆ適合アプリケーション
の形成を単純化する。インストール及び管理ライフサイ
クル活動２２０は、ＭＥＳアプリケーションをインスト
ールする。ＭＥＳアプリケーションを他のアプリケーシ
ョンの能力と接続して統合することを可能にするため
に、ＭＥＳアプリケーションの能力をＤＦＳ／Ｆと記録
することが必要である。ライフサイクル活動２２０はま
た、ファクトリー・のＭＥＳを具備するソフトウェアを
監視し及び制御する。さらに、それはＭＥＳ能力へのア
クセスを調整し、共通のセキュリティ・サービスを供給
する。ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動
２３０は、複数の生産関連アプリケーションにおける一
貫したファクトリー・モデルの形成を調整するために適
応する。例えば、新しい製品の導入は、典型的にはＷＩ
Ｐ（work in progress、進行中作業）及び計画アプリケ
ーションの両方において前記製品を追加する等、複数の
アプリケーションにおける変更を必要とする。ライフサ
イクル活動２３０はまた、複数のアプリケーションが協
同して稼動する方法を規定するため、例えば正しい装置
が一定の製品を生産するために使用されることを保証す
るために、どのようにＷＩＰアプリケーション及び装置
アプリケーションが協同して動作することができるかを
規定するためにも適応する。ファクトリー・モデリング
・ライフサイクル活動２３０のＳＷは、ファクトリー・
のＭＥＳ機能のモデルが、ファクトリー・モデリング関
連のＳＷを使用することによって一度構築されると、前
記生産を計画し、制御し、及び追跡するために適応す
る。
【０１０１】図６に記載の生産計画ライフサイクル活動
２４０は、計画アプリケーション・コンポーネントを供
給するために、複数のアプリケーションから状態情報を
収集する。さらにライフサイクル活動２４０は、生産計
画／スケジュールを開発し、及びファクトリー・リソー
スを管理するアプリケーション・コンポーネントに分配
する。生産制御、監視、及び追跡ライフサイクル活動２
５０は、ファクトリー・モデルにおいて規定される段階
に従って製品を製造するために、生産計画／スケジュー
ルの実行において生産アプリケーション・コンポーネン
トの機能を調整するために供給される。解析生産結果ラ
イフサイクル活動２６０は、解析のためのアプリケーシ
ョン・コンポーネントからの情報を結合させるために適
応する。データ解析のための異なるアプリケーション・
コンポーネントにおけるデータを相関させ、及び特定の
ファクトリー・イベント（event）を規定し、検出し、
及び応答する。このライフサイクル活動は、実際の生産
を計画された生産と比較し、及びＳＷ開発及び統合ライ
フサイクル活動２１０、ファクトリー・モデリング・ラ
イフサイクル活動２３０、及び／又は生産計画ライフサ
イクル活動２４０への入力を通して、いつ更新された計
画が必要となるかを示すために適応する。図６に図示さ
れたとおり、ライフサイクル活動２６０からこれらのラ
イフサイクル活動へのフィードバック・ループ（feedba
ck loop）は、次のＦＡＬＣ２００フィードバック・サ
イクルを形成する。ライフサイクル活動２６０からライ
フサイクル活動２１０へのフィードバックは、ＳＷ開発
サイクル２７０を形成する一方で、ライフサイクル活動
２６０からライフサイクル活動２８０へのフィードバッ
クは、モデリング・サイクル２８０を供給する。実行サ
イクル２９０は、ライフサイクル活動２６０からライフ
サイクル活動２４０へのフィードバック・ループにおい
て形成される。新しいＦＡＬＣ２００の前記６のライフ
サイクル活動が、一連の方法で図示され及び記載された
一方で、これらのライフサイクル活動の各々と関連する
ＳＷは、典型的にはその他のライフサイクル活動の一つ
以上と同時に進行することが理解されるであろう。
２４０は、計画アプリケーション・コンポーネントを供
給するために、複数のアプリケーションから状態情報を
収集する。さらにライフサイクル活動２４０は、生産計
画／スケジュールを開発し、及びファクトリー・リソー
スを管理するアプリケーション・コンポーネントに分配
する。生産制御、監視、及び追跡ライフサイクル活動２
５０は、ファクトリー・モデルにおいて規定される段階
に従って製品を製造するために、生産計画／スケジュー
ルの実行において生産アプリケーション・コンポーネン
トの機能を調整するために供給される。解析生産結果ラ
イフサイクル活動２６０は、解析のためのアプリケーシ
ョン・コンポーネントからの情報を結合させるために適
応する。データ解析のための異なるアプリケーション・
コンポーネントにおけるデータを相関させ、及び特定の
ファクトリー・イベント（event）を規定し、検出し、
及び応答する。このライフサイクル活動は、実際の生産
を計画された生産と比較し、及びＳＷ開発及び統合ライ
フサイクル活動２１０、ファクトリー・モデリング・ラ
イフサイクル活動２３０、及び／又は生産計画ライフサ
イクル活動２４０への入力を通して、いつ更新された計
画が必要となるかを示すために適応する。図６に図示さ
れたとおり、ライフサイクル活動２６０からこれらのラ
イフサイクル活動へのフィードバック・ループ（feedba
ck loop）は、次のＦＡＬＣ２００フィードバック・サ
イクルを形成する。ライフサイクル活動２６０からライ
フサイクル活動２１０へのフィードバックは、ＳＷ開発
サイクル２７０を形成する一方で、ライフサイクル活動
２６０からライフサイクル活動２８０へのフィードバッ
クは、モデリング・サイクル２８０を供給する。実行サ
イクル２９０は、ライフサイクル活動２６０からライフ
サイクル活動２４０へのフィードバック・ループにおい
て形成される。新しいＦＡＬＣ２００の前記６のライフ
サイクル活動が、一連の方法で図示され及び記載された
一方で、これらのライフサイクル活動の各々と関連する
ＳＷは、典型的にはその他のライフサイクル活動の一つ
以上と同時に進行することが理解されるであろう。
【０１０２】上述の本発明のＦＡＬＣ２００は、新しい
ＤＦＳ／Ｆの一つの側面である。ＤＦＳ／Ｆの二つの他
の側面は：システム層及びＮの段として規定される。新
しいＤＦＳ／Ｆの前記システム層の特徴は、テーブル１
に記載されている。
ＤＦＳ／Ｆの一つの側面である。ＤＦＳ／Ｆの二つの他
の側面は：システム層及びＮの段として規定される。新
しいＤＦＳ／Ｆの前記システム層の特徴は、テーブル１
に記載されている。
【０１０３】テーブル１ ＤＦＳ／Ｆシステム層 １． 基礎技術：これは、メッセージ、グラフィカル・
ユーザ・インターフェース（ＧＵＩ）構築、例えばサー
バ構築のためのＭＴＳ（Microsoft transaction manage
r、マイクロソフト・トランザクション・マネージャ）
の使用、及び持続性のための関連データベースへのオブ
ジェクトのマッピング等、ＤＦＳ／Ｆのための基本技術
ビルディング・ブロックを含む。 共通ビルディング・ブロック：これは、ユーザ規定属
性、バージョニング（versioning）、履歴及び分類方式
等の共通アイテムを含む。典型的な共通ビルディング・
ブロックは、テーブル２に列挙され及び記載されてい
る。 フレームワーク・コンポーネント：ＦＷコンポーネント
は、ファクトリー・デモルを構築し、前記モデルに従っ
て製品を生産し、及びそれから改良の必要性を決定する
ためにその結果を評価する処理を通して、前記ファクト
リー・システムの全体的な操作を管理する。ＦＡＬＣ２
００は、これらのコンポーネントを含む。典型的なＦＷ
コンポーネントは、テーブル３に列挙され及び記載され
ている。 アプリケーション・コンポーネント：これらのコンポー
ネントは、材料管理、装置管理及びツールとのＶＦＥＩ
（virtual factory equipment interface、仮想ファク
トリー・装置インターフェース）レベル通信等のツール
統合等、ファクトリー・リソース管理機能を具備する。
典型的なアプリケーション・コンポーネントは、テーブ
ル５に列挙され及び記載されている。
ユーザ・インターフェース（ＧＵＩ）構築、例えばサー
バ構築のためのＭＴＳ（Microsoft transaction manage
r、マイクロソフト・トランザクション・マネージャ）
の使用、及び持続性のための関連データベースへのオブ
ジェクトのマッピング等、ＤＦＳ／Ｆのための基本技術
ビルディング・ブロックを含む。 共通ビルディング・ブロック：これは、ユーザ規定属
性、バージョニング（versioning）、履歴及び分類方式
等の共通アイテムを含む。典型的な共通ビルディング・
ブロックは、テーブル２に列挙され及び記載されてい
る。 フレームワーク・コンポーネント：ＦＷコンポーネント
は、ファクトリー・デモルを構築し、前記モデルに従っ
て製品を生産し、及びそれから改良の必要性を決定する
ためにその結果を評価する処理を通して、前記ファクト
リー・システムの全体的な操作を管理する。ＦＡＬＣ２
００は、これらのコンポーネントを含む。典型的なＦＷ
コンポーネントは、テーブル３に列挙され及び記載され
ている。 アプリケーション・コンポーネント：これらのコンポー
ネントは、材料管理、装置管理及びツールとのＶＦＥＩ
（virtual factory equipment interface、仮想ファク
トリー・装置インターフェース）レベル通信等のツール
統合等、ファクトリー・リソース管理機能を具備する。
典型的なアプリケーション・コンポーネントは、テーブ
ル５に列挙され及び記載されている。
【０１０４】前記新しいＤＦＳ／Ｆの前記共通ビルディ
ング・ブロックは、典型的にはＦＷ及びアプリケーショ
ン・コンポーネントを形成し又は変更するために利用さ
れる。代表的なビルディング・ブロックは、テーブル２
に示されている。
ング・ブロックは、典型的にはＦＷ及びアプリケーショ
ン・コンポーネントを形成し又は変更するために利用さ
れる。代表的なビルディング・ブロックは、テーブル２
に示されている。
【０１０５】テーブル２ 共通ビルディング・ブロック サーバＡＰＩ（application programming interface、
アプリケーション・プログラミング・インターフェー
ス）とファクトリー・オブジェクト例示（オブジェクト
例（object instance）の構築）との間の接続を含むサ
ーバ構築ビルディング・ブロック。ＳＱＬ／ＯＤＢＣ
（structure query language/open DB connection、構
造照会言語／オープンＤＢ接続）マッピングへのオブジ
ェクトを生成するための持続性ビルディング・ブロッ
ク。ＧＵＩｓの構築のための共通制御を供給するための
ＤＦＳ／Ｆ共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブロック。同
期のＤＣＯＭメッセージとは異なる、パブリッシュ・サ
ブスクライブ（publish subscribe）メッセージのため
のパブリッシュ及びサブスクライブ・メッセージ・ビル
ディング・ブロック。ＤＦＳ／Ｆコンポーネントによっ
て供給されるサービスを発見するためにＦＷコンポーネ
ントによって使用される動的ＡＰＩ発見ビルディング・
ブロック。オブジェクトをＤＦＳ／Ｆコンポーネントを
渡って接続するための関連ビルディング・ブロック。代
表的な使用は、「どこで使用されたか」の質問に答える
ためのモデリング・データのリンク及び品質データ等の
ＭＥＳ実行情報の装置履歴へのリンクを含む。ファクト
リー・イベントの履歴を記憶し及び検索するための共通
サービスを供給するための履歴ビルディング・ブロッ
ク。 （１）同期のサービス、（２）完了コールバック・プロ
トコル（completioncallback protocol）を通して実行
される長期のサービス、及び（３）他のサービスと対象
となるコンピュータ・デスクトップとの間のリンクを通
して実行されるＧＵＩベース・サービスを含む、異なる
種類のＤＦＳ／Ｆサービスを実行するための包括的サー
ビス実行者ビルディング・ブロック。照会及び解析のた
めのファクトリー・オブジェクトを分類するための共通
のサービスを供給する分類ビルディング・ブロック。 １０．ＤＦＳ／Ｆコンポーネント・ベース・オブジェク
ト・モデルを拡張するためのカスタマ規定属性ビルディ
ング・ブロック。ＤＦＳ／Ｆは、典型的には、前記ユー
ザの必要性に基づいた前記モデルの拡張をサポートする
ユーザ拡張可能属性モデルを供給する。 １１．装置に対する追跡状態等の状態モデル、材料及び
ＥＣＮｓ（engineeringchange notice、エンジニアリン
グ変更通知）を規定し及びそれから操作するためのサー
ビスを含む。状態モデル・ビルディング・ブロックは、
クラスタ・ツールの様々なチャンバの予定されていない
動作不可能時間を追跡するように規定されることができ
る。 １２． ネーム空間ビルディング・ブロックは、ＤＦＳ
／Ｆデータ・モデル内の管理領域を規定する。 １３． 今後のイベント及び特定のスケジュールがどの
ように続いたのかを示すための履歴増強機能（history
enhancements）を示すデートブック（datebook）を有す
るために、各ファクトリー・オブジェクトに対するスケ
ジューリングをサポートし、及び能力を追加するための
スケジュール／デートブック・ビルディング・ブロッ
ク。 １４． テンプレート・ビルディング・ブロックは、フ
ァクトリー・オブジェクトの間で共有されることができ
る基本の規定を規定するためのサービスを供給する。例
えば、このビルディング・ブロックは、すべてのメモリ
製品に対する共通の特性を規定するために使用されるこ
とができる。 １５． 変形（versioned）オブジェクト・ビルディン
グ・ブロックは、例えば時間が経つにつれて特定の製品
の規定における変化を管理及び追跡する等、時間が経つ
につれてファクトリー・モデル・オブジェクトにおける
変化を管理及び追跡するためのサービスを含む。 １６． 材料ロット履歴等、ファクトリー・オブジェク
トの間での関係を参照するためのナビゲーション・ビル
ディング・ブロック。
アプリケーション・プログラミング・インターフェー
ス）とファクトリー・オブジェクト例示（オブジェクト
例（object instance）の構築）との間の接続を含むサ
ーバ構築ビルディング・ブロック。ＳＱＬ／ＯＤＢＣ
（structure query language/open DB connection、構
造照会言語／オープンＤＢ接続）マッピングへのオブジ
ェクトを生成するための持続性ビルディング・ブロッ
ク。ＧＵＩｓの構築のための共通制御を供給するための
ＤＦＳ／Ｆ共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブロック。同
期のＤＣＯＭメッセージとは異なる、パブリッシュ・サ
ブスクライブ（publish subscribe）メッセージのため
のパブリッシュ及びサブスクライブ・メッセージ・ビル
ディング・ブロック。ＤＦＳ／Ｆコンポーネントによっ
て供給されるサービスを発見するためにＦＷコンポーネ
ントによって使用される動的ＡＰＩ発見ビルディング・
ブロック。オブジェクトをＤＦＳ／Ｆコンポーネントを
渡って接続するための関連ビルディング・ブロック。代
表的な使用は、「どこで使用されたか」の質問に答える
ためのモデリング・データのリンク及び品質データ等の
ＭＥＳ実行情報の装置履歴へのリンクを含む。ファクト
リー・イベントの履歴を記憶し及び検索するための共通
サービスを供給するための履歴ビルディング・ブロッ
ク。 （１）同期のサービス、（２）完了コールバック・プロ
トコル（completioncallback protocol）を通して実行
される長期のサービス、及び（３）他のサービスと対象
となるコンピュータ・デスクトップとの間のリンクを通
して実行されるＧＵＩベース・サービスを含む、異なる
種類のＤＦＳ／Ｆサービスを実行するための包括的サー
ビス実行者ビルディング・ブロック。照会及び解析のた
めのファクトリー・オブジェクトを分類するための共通
のサービスを供給する分類ビルディング・ブロック。 １０．ＤＦＳ／Ｆコンポーネント・ベース・オブジェク
ト・モデルを拡張するためのカスタマ規定属性ビルディ
ング・ブロック。ＤＦＳ／Ｆは、典型的には、前記ユー
ザの必要性に基づいた前記モデルの拡張をサポートする
ユーザ拡張可能属性モデルを供給する。 １１．装置に対する追跡状態等の状態モデル、材料及び
ＥＣＮｓ（engineeringchange notice、エンジニアリン
グ変更通知）を規定し及びそれから操作するためのサー
ビスを含む。状態モデル・ビルディング・ブロックは、
クラスタ・ツールの様々なチャンバの予定されていない
動作不可能時間を追跡するように規定されることができ
る。 １２． ネーム空間ビルディング・ブロックは、ＤＦＳ
／Ｆデータ・モデル内の管理領域を規定する。 １３． 今後のイベント及び特定のスケジュールがどの
ように続いたのかを示すための履歴増強機能（history
enhancements）を示すデートブック（datebook）を有す
るために、各ファクトリー・オブジェクトに対するスケ
ジューリングをサポートし、及び能力を追加するための
スケジュール／デートブック・ビルディング・ブロッ
ク。 １４． テンプレート・ビルディング・ブロックは、フ
ァクトリー・オブジェクトの間で共有されることができ
る基本の規定を規定するためのサービスを供給する。例
えば、このビルディング・ブロックは、すべてのメモリ
製品に対する共通の特性を規定するために使用されるこ
とができる。 １５． 変形（versioned）オブジェクト・ビルディン
グ・ブロックは、例えば時間が経つにつれて特定の製品
の規定における変化を管理及び追跡する等、時間が経つ
につれてファクトリー・モデル・オブジェクトにおける
変化を管理及び追跡するためのサービスを含む。 １６． 材料ロット履歴等、ファクトリー・オブジェク
トの間での関係を参照するためのナビゲーション・ビル
ディング・ブロック。
【０１０６】新しいＦＡＬＣ２００において利用される
ＦＷコンポーネントは、ＦＡＬＣ２００における段階を
通して、テーブル４に記載のとおり、アプリケーション
・コンポーネントによって利用される共通の規則及びサ
ービスを規定する。
ＦＷコンポーネントは、ＦＡＬＣ２００における段階を
通して、テーブル４に記載のとおり、アプリケーション
・コンポーネントによって利用される共通の規則及びサ
ービスを規定する。
【０１０７】テーブル３ フレームワーク・コンポーネント １． ＳＣ（security component、セキュリティ・コン
ポーネント）は、３のセキュリティ・モード：（１）ユ
ーザの役割を規定し、（２）ユーザを役割に割り当て、
及び（３）ＤＦＳ／Ｆオブジェクト及び役割による方法
へのアクセスを規定することを有する基本のセキュリテ
ィを供給する。 ２． ＧＣＣ（ＧＵＩ console component、ＧＵＩコ
ンソール・コンポーネント）は、ＤＦＳ／ＦのＧＵＩｓ
の間のデータのナビゲーション及び表示をサポートする
コンテナである。カスタムの（custom）及び／又はサー
ド・パーティ（third party）アプリケーションは、前
記コンソール・ツールバーに追加されることができる。
カスタム環境は、ＧＵＩｓ及びファクトリー・オブジェ
クトを追加することによって生成されることができる。
前記コンソールは、トランザクション表示、すなわち、
全面スクリーン、カスケード、タイル及びアイコンを含
むことができる。ＧＵＩコンソール・ナビゲータは、Ｄ
ＦＳ／Ｆファクトリー・オブジェクトの走査検索及び選
択を許可し、及びサーバ供給検索基準に基づいた検索能
力を有する。例えばそれは、ナビゲーション及びアクテ
ィブＸＧＵＩｓの間でのデータ共有を供給する。コンポ
ーネントのシステム使用を追跡し及び調整するためのＰ
ＬＭＣ（performance & license management componen
t、実行及びライセンス管理コンポーネント）。ＳＭＣ
（saga management component、サガ管理コンポーネン
ト）は、一単位として取り扱われるべき「長期（long r
unning）」だが、時間がかかりすぎて標準ＤＢロッキン
グ技術に依存することができないトランザクションに対
するサポートを供給する。ＣＲＣ（context resolution
component、コンテクスト・レゾリューション・コンポ
ーネント）は、ユーザがリソース選択をどのようにする
かを柔軟にモデル化できるようにすることによって、適
切な命令があらゆるリソースに届けられることを保証し
て、コンテクストを結果へとリンクすることによって、
ＭＥＳ実行の支援をする。ＣＭＣ（configuration mana
gement component、構築管理コンポーネント）は、コン
ポーネントを渡ってファクトリー・モデル変更の管理を
供給する。 ７． ＣＣ（calendar component、カレンダ・コンポー
ネント）は、スケジュール及び報告のためのカレンダ及
びシフト規定を供給する。 ８． ＶＷＣ（visual workflow component、視覚的ワ
ークフロウ・コンポーネント）は、生産処理を規定し並
びに実行し、及び予め決められたビジネス処理を実行す
ることができる。ＶＷＣは、ＤＦＳ／Ｆサービスのパレ
ットからサービス引用のシーケンス／ネットワークとし
て、ビジネス処理を図で規定する。他のＤＦＳ／Ｆコン
ポーネントは、処理規定のためのＶＷＣを利用する。例
えば、ＷＩＰ管理コンポーネントは、どのように製品が
生産され、及びそれを使用して材料ロットの処理を実行
するかを規定するためにＶＷＣサービスを使用する。Ｖ
ＷＣ処理規定能力は、サービス引用と及び予め規定され
たビジネス処理を通るパス（path）を決定し／選択する
ための制御構造との間のデータの交換を含む。ＶＷＣ
は、自主的にビジネス処理を実行するため、すなわち他
のＳＷコンポーネントから独立して機能するために適応
され、及びユーザ入力へと同様に自動化入力へと応答す
ることができる。ＲＣＣ（resource coordination comp
onent、リソース調整コンポーネント）は、発送ステー
ション（dispatch station）において使用可能である有
効リソースを有する役割を果たす。リソースを、ＢＲＣ
を使用する共通のジョブ／バッチと適合する。ＢＲＣと
ともに、それは有効な及び受動的なリソースのランデブ
（rendezvous）を調整する。 １０．ＥＶＭＣ（event monitor component、イベント
監視コンポーネント）は、ＤＦＳ／Ｆサービスによって
パブリッシュ（publish）されるイベントを監視し／前
記イベントにサブスクライブ（subscribe）する。ＤＦ
Ｓ／Ｆサービスは、監視されたイベントが発生する場合
に、（ＶＷＣジョブの起動を含み）実行されることがで
きる。ＥＶＭＣは、ファクトリー・監視の生成を通し
て、用心深い生産をサポートする。 １１．ＢＲＣ（bill of resources component、リソー
ス表コンポーネント）は、バッチ処理、すなわち複数の
リソースの調整された動作に関与するバッチ処理を起動
させるために必要となる複数のＤＦＳ／Ｆコンポーネン
トにわたってリソースを確立する。 １２．ＤＭＣ（data manager component、データ・マネ
ージャ・コンポーネント）は、報告及び解析のためのＦ
Ｗコンポーネント及びアプリケーション・コンポーネン
トからのデータを統合する。それはＤＷ（data warehou
se、データウェアハウス）技術に基づいており、及びサ
ンプルのＤＷスター型スキーマ（DW starschema）及び
報告を供給することができる。ＤＭＣは、未構築データ
解析のためのＤＢｓにアクセスすることができる。
ポーネント）は、３のセキュリティ・モード：（１）ユ
ーザの役割を規定し、（２）ユーザを役割に割り当て、
及び（３）ＤＦＳ／Ｆオブジェクト及び役割による方法
へのアクセスを規定することを有する基本のセキュリテ
ィを供給する。 ２． ＧＣＣ（ＧＵＩ console component、ＧＵＩコ
ンソール・コンポーネント）は、ＤＦＳ／ＦのＧＵＩｓ
の間のデータのナビゲーション及び表示をサポートする
コンテナである。カスタムの（custom）及び／又はサー
ド・パーティ（third party）アプリケーションは、前
記コンソール・ツールバーに追加されることができる。
カスタム環境は、ＧＵＩｓ及びファクトリー・オブジェ
クトを追加することによって生成されることができる。
前記コンソールは、トランザクション表示、すなわち、
全面スクリーン、カスケード、タイル及びアイコンを含
むことができる。ＧＵＩコンソール・ナビゲータは、Ｄ
ＦＳ／Ｆファクトリー・オブジェクトの走査検索及び選
択を許可し、及びサーバ供給検索基準に基づいた検索能
力を有する。例えばそれは、ナビゲーション及びアクテ
ィブＸＧＵＩｓの間でのデータ共有を供給する。コンポ
ーネントのシステム使用を追跡し及び調整するためのＰ
ＬＭＣ（performance & license management componen
t、実行及びライセンス管理コンポーネント）。ＳＭＣ
（saga management component、サガ管理コンポーネン
ト）は、一単位として取り扱われるべき「長期（long r
unning）」だが、時間がかかりすぎて標準ＤＢロッキン
グ技術に依存することができないトランザクションに対
するサポートを供給する。ＣＲＣ（context resolution
component、コンテクスト・レゾリューション・コンポ
ーネント）は、ユーザがリソース選択をどのようにする
かを柔軟にモデル化できるようにすることによって、適
切な命令があらゆるリソースに届けられることを保証し
て、コンテクストを結果へとリンクすることによって、
ＭＥＳ実行の支援をする。ＣＭＣ（configuration mana
gement component、構築管理コンポーネント）は、コン
ポーネントを渡ってファクトリー・モデル変更の管理を
供給する。 ７． ＣＣ（calendar component、カレンダ・コンポー
ネント）は、スケジュール及び報告のためのカレンダ及
びシフト規定を供給する。 ８． ＶＷＣ（visual workflow component、視覚的ワ
ークフロウ・コンポーネント）は、生産処理を規定し並
びに実行し、及び予め決められたビジネス処理を実行す
ることができる。ＶＷＣは、ＤＦＳ／Ｆサービスのパレ
ットからサービス引用のシーケンス／ネットワークとし
て、ビジネス処理を図で規定する。他のＤＦＳ／Ｆコン
ポーネントは、処理規定のためのＶＷＣを利用する。例
えば、ＷＩＰ管理コンポーネントは、どのように製品が
生産され、及びそれを使用して材料ロットの処理を実行
するかを規定するためにＶＷＣサービスを使用する。Ｖ
ＷＣ処理規定能力は、サービス引用と及び予め規定され
たビジネス処理を通るパス（path）を決定し／選択する
ための制御構造との間のデータの交換を含む。ＶＷＣ
は、自主的にビジネス処理を実行するため、すなわち他
のＳＷコンポーネントから独立して機能するために適応
され、及びユーザ入力へと同様に自動化入力へと応答す
ることができる。ＲＣＣ（resource coordination comp
onent、リソース調整コンポーネント）は、発送ステー
ション（dispatch station）において使用可能である有
効リソースを有する役割を果たす。リソースを、ＢＲＣ
を使用する共通のジョブ／バッチと適合する。ＢＲＣと
ともに、それは有効な及び受動的なリソースのランデブ
（rendezvous）を調整する。 １０．ＥＶＭＣ（event monitor component、イベント
監視コンポーネント）は、ＤＦＳ／Ｆサービスによって
パブリッシュ（publish）されるイベントを監視し／前
記イベントにサブスクライブ（subscribe）する。ＤＦ
Ｓ／Ｆサービスは、監視されたイベントが発生する場合
に、（ＶＷＣジョブの起動を含み）実行されることがで
きる。ＥＶＭＣは、ファクトリー・監視の生成を通し
て、用心深い生産をサポートする。 １１．ＢＲＣ（bill of resources component、リソー
ス表コンポーネント）は、バッチ処理、すなわち複数の
リソースの調整された動作に関与するバッチ処理を起動
させるために必要となる複数のＤＦＳ／Ｆコンポーネン
トにわたってリソースを確立する。 １２．ＤＭＣ（data manager component、データ・マネ
ージャ・コンポーネント）は、報告及び解析のためのＦ
Ｗコンポーネント及びアプリケーション・コンポーネン
トからのデータを統合する。それはＤＷ（data warehou
se、データウェアハウス）技術に基づいており、及びサ
ンプルのＤＷスター型スキーマ（DW starschema）及び
報告を供給することができる。ＤＭＣは、未構築データ
解析のためのＤＢｓにアクセスすることができる。
【０１０８】アプリケーション・コンポーネントは、特
定のツール及び処理を管理及び制御するために、ＭＥＳ
命令を生産装置に供給する。適切なアプリケーション・
コンポーネントの例は、テーブル４に記載されている。
定のツール及び処理を管理及び制御するために、ＭＥＳ
命令を生産装置に供給する。適切なアプリケーション・
コンポーネントの例は、テーブル４に記載されている。
【０１０９】テーブル４ アプリケーション・コンポーネント １． ＱＭＣ（quality management component、品質管
理コンポーネント）は、品質解析及び柔軟なデータ収集
を供給する。それは、予め決められたビジネス規則に準
拠するように、修正生産方策を決定することができる。
ＤＦＳ／Ｆと様々な装置種類との間に双方向通信を供給
するＴＩＣ （tool integration component、ツール統
合コンポーネント）。それはＳＥＣＳ（ＳＥＭＩ−Semi
conductor Equipment and Materials International−E
quipment Communication Standard、ＳＥＭＩ装置通信
基準）、ＧＥＭ（genericequipment model、包括装置モ
デル）、及びＶＦＥＩ（virtual factory equipment in
terface、仮想ファクトリー・装置インターフェース）
等のツール・プロトコルを通して通信するために適応す
る。ＳＥＣＳ、ＧＥＭ及びＶＦＥＩは、通常の当業者に
は公知であるツール・プロトコルである。 ３． ＥＭＣ（equipment management component、装置
管理コンポーネント）は、クラスタ・ツールにおけるチ
ャンバにおいて個別のツールを追跡するための新しい階
層的モデルを使用して、ＳＥＭＩ Ｅ１０状態における
異なる装置状態を解決する。 ４． レシピの規定、選択及び分散を、ファブ・ツール
等の装置に供給するＲＭＣ（recipe management compon
ent、レシピ管理コンポーネント）。 ５． 処理及び保全を含むファクトリー・タスクのスケ
ジュール及び発送のためのＤＳＣ（dispatching and sc
heduling component、発送及びスケジュール・コンポン
ーネント）。 ６． 材料取り扱い装置と接続するためのＭＨＣ（mate
rial handling component、材料取り扱いコンポーネン
ト）。 ７． ＷＭＣ（WIP -work in progress- management co
mponent、進行中作業管理コンポーネント）は、ウェー
ハ、ロット、バッチ及びキャリア（carrier）の追跡を
サポートするために供給され、例えば「もしも〜なら」
という事前の事業決定をサポートする。ＷＩＰは、クラ
スタ・ツールの視認性（visibility）を提供し、及びそ
れによってＭＥＳを前記クラスタ・ツールの内側のウェ
ーハ・ロットに供給することによって制御する。 ８． 現存するファクトリー・ソフトウェアへアクセス
するためのコンポーネントであるレガシー・システム・
インターフェース（Legacy system interface）。
理コンポーネント）は、品質解析及び柔軟なデータ収集
を供給する。それは、予め決められたビジネス規則に準
拠するように、修正生産方策を決定することができる。
ＤＦＳ／Ｆと様々な装置種類との間に双方向通信を供給
するＴＩＣ （tool integration component、ツール統
合コンポーネント）。それはＳＥＣＳ（ＳＥＭＩ−Semi
conductor Equipment and Materials International−E
quipment Communication Standard、ＳＥＭＩ装置通信
基準）、ＧＥＭ（genericequipment model、包括装置モ
デル）、及びＶＦＥＩ（virtual factory equipment in
terface、仮想ファクトリー・装置インターフェース）
等のツール・プロトコルを通して通信するために適応す
る。ＳＥＣＳ、ＧＥＭ及びＶＦＥＩは、通常の当業者に
は公知であるツール・プロトコルである。 ３． ＥＭＣ（equipment management component、装置
管理コンポーネント）は、クラスタ・ツールにおけるチ
ャンバにおいて個別のツールを追跡するための新しい階
層的モデルを使用して、ＳＥＭＩ Ｅ１０状態における
異なる装置状態を解決する。 ４． レシピの規定、選択及び分散を、ファブ・ツール
等の装置に供給するＲＭＣ（recipe management compon
ent、レシピ管理コンポーネント）。 ５． 処理及び保全を含むファクトリー・タスクのスケ
ジュール及び発送のためのＤＳＣ（dispatching and sc
heduling component、発送及びスケジュール・コンポン
ーネント）。 ６． 材料取り扱い装置と接続するためのＭＨＣ（mate
rial handling component、材料取り扱いコンポーネン
ト）。 ７． ＷＭＣ（WIP -work in progress- management co
mponent、進行中作業管理コンポーネント）は、ウェー
ハ、ロット、バッチ及びキャリア（carrier）の追跡を
サポートするために供給され、例えば「もしも〜なら」
という事前の事業決定をサポートする。ＷＩＰは、クラ
スタ・ツールの視認性（visibility）を提供し、及びそ
れによってＭＥＳを前記クラスタ・ツールの内側のウェ
ーハ・ロットに供給することによって制御する。 ８． 現存するファクトリー・ソフトウェアへアクセス
するためのコンポーネントであるレガシー・システム・
インターフェース（Legacy system interface）。
【０１１０】本発明のＤＦＳ／Ｆの第三の面は、ＦＷコ
ンポーネント、アプリケーション・コンポーネント及び
共通ビルディング・ブロックに存在することができる様
々な段を具備する。例えば、これは以下のような３段面
でもよい。第一の段は、他のＳＷプログラム又はコンポ
ーネント、例えば視覚的ＷＦジョブ、ＶＢ（virtualbas
ic、バーチャル・ベーシック）等のＧＵＩｓ及び顧客プ
ログラムからのサービスを使用する顧客を含む。第二の
段は、例えばＤＣＯＭと通信するためのＭＴＳ／ＤＣＯ
Ｍを使用するアプリケーション又はＦＷサーバを具備す
る。第三の段は、ＯＤＢ（open database connectivit
y、オープン・データベース接続）インターフェースを
使用するオラクル（Oracle）等の、ＤＢエンジンを含
む。すべてのＤＦＳ／Ｆコンポーネントは、これら三つ
の段を使用する一方で、共通ビルディング・ブロック
は、前記ビルディング・ブロックの構造及び機能によっ
て、これらの段の一つ以上において使用されることがで
きる。
ンポーネント、アプリケーション・コンポーネント及び
共通ビルディング・ブロックに存在することができる様
々な段を具備する。例えば、これは以下のような３段面
でもよい。第一の段は、他のＳＷプログラム又はコンポ
ーネント、例えば視覚的ＷＦジョブ、ＶＢ（virtualbas
ic、バーチャル・ベーシック）等のＧＵＩｓ及び顧客プ
ログラムからのサービスを使用する顧客を含む。第二の
段は、例えばＤＣＯＭと通信するためのＭＴＳ／ＤＣＯ
Ｍを使用するアプリケーション又はＦＷサーバを具備す
る。第三の段は、ＯＤＢ（open database connectivit
y、オープン・データベース接続）インターフェースを
使用するオラクル（Oracle）等の、ＤＢエンジンを含
む。すべてのＤＦＳ／Ｆコンポーネントは、これら三つ
の段を使用する一方で、共通ビルディング・ブロック
は、前記ビルディング・ブロックの構造及び機能によっ
て、これらの段の一つ以上において使用されることがで
きる。
【０１１１】ＦＷコンポーネントは、ＦＡＬＣ２００の
様々なライフサイクル活動と関連する。これらの関連の
代表的な例は、テーブル５に記載されている。
様々なライフサイクル活動と関連する。これらの関連の
代表的な例は、テーブル５に記載されている。
【０１１２】 テーブル５ ＦＡＬＣ２００ライフサイクル活動と関連のあるＦＷコンポーネント ＦＡＬＣ２００ ＦＷコンポーネント ライフサイクル活動 ２２０ ＳＣ、ＧＣＣ、ＰＬＭＣ、ＳＭＣ ２３０ ＣＲＣ、ＣＭＣ、ＣＣ ２５０ ＶＷＣ、ＲＣＣ、ＥＶＭＣ、ＢＲＣ ２６０ ＤＭＣ
【０１１３】本発明のＦＡＬＣのＦＷコンポーネント、
例えばＦＡＬＣ２００は、互いに接続するために適応
し、それによって協同して稼動する。例えば、ファクト
リー・モデルは、ＧＣＣ（GUI console component、Ｇ
ＵＩコンソール・コンポーネント）３１０、ＣＭＣ（co
nfiguration management component、構築管理コンポー
ネント）３１２及びＶＷＣ（visual workflow componen
t、視覚的ワークフロウ・コンポーネント）３１４の間
のメッセージ交換を利用することによって、図７に記載
されたように変更されることができる。ファクトリー・
モデルの変更は、図７に記載されたＣＭＣ３１２等のＣ
ＭＣにおいてＥＣＮ（engineering changenotice、エン
ジニアリング変更通知）を形成するために集められる。
前記ＥＣＮは、ファクトリー・モデルにおける変更を集
めるために、開かれる３１６（図７）。その結果のＥＣ
Ｎデータ３１８は、ＶＷＣワークフロウ３２０の編集の
間にＧＣＣ３１０によって使用される。前記ワークフロ
ウは、ＧＣＣ３１０の中に含まれるＧＵＩ３２２を通し
て、表示され及び編集される。前記変更されたＶＷＣワ
ークフロウは、段階３２４においてＶＷＣに戻され、及
びＶＷＣ３１４はそれから変更されたワークフロウを段
階３２６においてＣＭＣ ＥＣＮに加える。
例えばＦＡＬＣ２００は、互いに接続するために適応
し、それによって協同して稼動する。例えば、ファクト
リー・モデルは、ＧＣＣ（GUI console component、Ｇ
ＵＩコンソール・コンポーネント）３１０、ＣＭＣ（co
nfiguration management component、構築管理コンポー
ネント）３１２及びＶＷＣ（visual workflow componen
t、視覚的ワークフロウ・コンポーネント）３１４の間
のメッセージ交換を利用することによって、図７に記載
されたように変更されることができる。ファクトリー・
モデルの変更は、図７に記載されたＣＭＣ３１２等のＣ
ＭＣにおいてＥＣＮ（engineering changenotice、エン
ジニアリング変更通知）を形成するために集められる。
前記ＥＣＮは、ファクトリー・モデルにおける変更を集
めるために、開かれる３１６（図７）。その結果のＥＣ
Ｎデータ３１８は、ＶＷＣワークフロウ３２０の編集の
間にＧＣＣ３１０によって使用される。前記ワークフロ
ウは、ＧＣＣ３１０の中に含まれるＧＵＩ３２２を通し
て、表示され及び編集される。前記変更されたＶＷＣワ
ークフロウは、段階３２４においてＶＷＣに戻され、及
びＶＷＣ３１４はそれから変更されたワークフロウを段
階３２６においてＣＭＣ ＥＣＮに加える。
【０１１４】新しいＤＦＳ／Ｆのあらゆるアプリケーシ
ョン・コンポーネントは、適切なＦＷコンポーネントか
らの必要なサービスを実行することによってＤＦＳ／Ｆ
に加わることができ、それによってメッセージ交換を通
して協同して稼動するＦＷ又はアプリケーション・サー
バを使用して、図８に図示されたとおり、プラグ・アン
ド・プレイ・タイプ（plug and play type）のＳＷフレ
ームワークを形成する。図８に記載のとおり、ＣＭＣ４
１０、ＶＷＣ４１２、ＤＭＣ４１４、ＥＭＣ４１６、Ｇ
ＣＣ４１８及びＳＣ４１９のためのＦＷコンポーネント
・サーバを使用するＦＷコンポーネントは、ＥＭＣ４２
０、ＷＭＣ４２２、ＤＳＣ４２４、ＱＭＣ４２６、ＴＩ
Ｃ４２８及びゲートウェイ・コンポーネント４２９のた
めのアプリケーション・コンポーネント・サーバを使用
して、アプリケーション・コンポーネントにサービスを
供給するために共通サービス・プロトコルを使用する。
これらのサービスは、例えばＤＣＯＭ通信を使用して、
共通サービス・プロトコル４３０を通して通信する。本
発明のこのＳＷ技術によって、ユーザはコード化しそし
て専門技術を必要とし、時間を消耗するプログラミング
変更をする必要性を排除するよりも、データ入力を通し
て処理及び装置ＭＥＳ命令を修正することができる。前
記アプリケーション・コンポーネントは、ウェーハ・フ
ァブ・ツール及び／又は他の装置のコントローラへのＭ
ＥＳ命令を実行するために、例えばウェーハ・ファブ・
ツール及び材料取り扱い装置等の統合された装置との効
果的な通信を必要とする。典型的なコントローラは、例
えばオンボオード・コンピュータ等のマイクロプロセッ
サ、例えばポテンショメータ（potentiometer）等の可
変レジスタを使用するスイッチ及び電気回路等のコンピ
ュータ操作ソフトウェア及び機械／電気コントローラの
ためのプロセッサを含む。
ョン・コンポーネントは、適切なＦＷコンポーネントか
らの必要なサービスを実行することによってＤＦＳ／Ｆ
に加わることができ、それによってメッセージ交換を通
して協同して稼動するＦＷ又はアプリケーション・サー
バを使用して、図８に図示されたとおり、プラグ・アン
ド・プレイ・タイプ（plug and play type）のＳＷフレ
ームワークを形成する。図８に記載のとおり、ＣＭＣ４
１０、ＶＷＣ４１２、ＤＭＣ４１４、ＥＭＣ４１６、Ｇ
ＣＣ４１８及びＳＣ４１９のためのＦＷコンポーネント
・サーバを使用するＦＷコンポーネントは、ＥＭＣ４２
０、ＷＭＣ４２２、ＤＳＣ４２４、ＱＭＣ４２６、ＴＩ
Ｃ４２８及びゲートウェイ・コンポーネント４２９のた
めのアプリケーション・コンポーネント・サーバを使用
して、アプリケーション・コンポーネントにサービスを
供給するために共通サービス・プロトコルを使用する。
これらのサービスは、例えばＤＣＯＭ通信を使用して、
共通サービス・プロトコル４３０を通して通信する。本
発明のこのＳＷ技術によって、ユーザはコード化しそし
て専門技術を必要とし、時間を消耗するプログラミング
変更をする必要性を排除するよりも、データ入力を通し
て処理及び装置ＭＥＳ命令を修正することができる。前
記アプリケーション・コンポーネントは、ウェーハ・フ
ァブ・ツール及び／又は他の装置のコントローラへのＭ
ＥＳ命令を実行するために、例えばウェーハ・ファブ・
ツール及び材料取り扱い装置等の統合された装置との効
果的な通信を必要とする。典型的なコントローラは、例
えばオンボオード・コンピュータ等のマイクロプロセッ
サ、例えばポテンショメータ（potentiometer）等の可
変レジスタを使用するスイッチ及び電気回路等のコンピ
ュータ操作ソフトウェア及び機械／電気コントローラの
ためのプロセッサを含む。
【０１１５】本発明のＤＦＳ／Ｆは、機械を制御するた
めのＶＷＣ（テーブル３）ワークフロウにおいて組み立
てられることができる基本的な装置制御ビルディング・
ブロックを供給することによって、ウェーハ・ファブ・
ツール等の様々なＤＦＳ／Ｆコンポーネント及び装置の
間の通信を容易にするための新しいＴＩＣアプリケーシ
ョン・コンポーネント（テーブル４）を含む。ＴＩＣ
は、装置への及び装置からのＶＦＥＩメッセージ又はコ
マンドを送信し及び受信することを含むサービスを供給
する。これらのコマンド又はメッセージのシーケンス
は、ツールを制御するためのコマンド等のビジネス・ロ
ジック（business logic）を表す。これらの種類のシー
ケンスは、ＶＷＣワークフロウにおいて規定されること
ができる。ＴＩＣは、ツールにコマンド又はメッセージ
を送信し、及び前記ツールからメッセージ又は情報を受
信し、及び受信されたメッセージ又は情報を他のＤＦＳ
／Ｆコンポーネントに通信するために使用される。ＴＩ
Ｃは、ウェーハ・ファブ・ツール等のＤＦＳ／Ｆ及び装
置の間の通信リンクの一部である。
めのＶＷＣ（テーブル３）ワークフロウにおいて組み立
てられることができる基本的な装置制御ビルディング・
ブロックを供給することによって、ウェーハ・ファブ・
ツール等の様々なＤＦＳ／Ｆコンポーネント及び装置の
間の通信を容易にするための新しいＴＩＣアプリケーシ
ョン・コンポーネント（テーブル４）を含む。ＴＩＣ
は、装置への及び装置からのＶＦＥＩメッセージ又はコ
マンドを送信し及び受信することを含むサービスを供給
する。これらのコマンド又はメッセージのシーケンス
は、ツールを制御するためのコマンド等のビジネス・ロ
ジック（business logic）を表す。これらの種類のシー
ケンスは、ＶＷＣワークフロウにおいて規定されること
ができる。ＴＩＣは、ツールにコマンド又はメッセージ
を送信し、及び前記ツールからメッセージ又は情報を受
信し、及び受信されたメッセージ又は情報を他のＤＦＳ
／Ｆコンポーネントに通信するために使用される。ＴＩ
Ｃは、ウェーハ・ファブ・ツール等のＤＦＳ／Ｆ及び装
置の間の通信リンクの一部である。
【０１１６】本発明のＴＩＣは、ＴＩＰ（tool interfa
ce program、ツール・インターフェース・プログラム）
と新しいＴＩＣアダプタとの新しい組み合わせを具備す
る。ＴＩＰは、ＶＦＥＩコマンド又はメッセージを、Ｓ
ＥＣＳ等の機械のインターフェース及び制御ＳＷ等、そ
れの制御へと変換するための各機械又はツール・タイプ
を備える。新しいＤＦＳ／Ｆと通信するために適応した
装置は、ＴＩＰインスタンス、すなわち前記装置に専用
のＳＷ処理を有し、前記装置と前記ＤＦＳ／Ｆとの間の
媒体としてランする。機械のためのＴＩＰインスタンス
とＤＦＳ／Ｆとの間の適切な通信プロトコルの一例は、
ＤＣＯＭプロトコルのＶＦＥＩである。さらに、ＶＥＦ
Ｉ＋が、管理のため、モデリングのため、及びＤＣＯＭ
のＲＰＣ（remote procedure call、遠隔プロシージャ
・コール）特性のための拡張を含む場合に、ＤＣＯＭプ
ロトコルの新しいＶＦＥＩ＋供給することが考えられ
る。例えばこれらのコンピュータが、ＴＩＰ ＳＷを使
用するコンピュータ統合ウェーハ・ファブにおいて利用
される場合に、ＴＩＰをいくつかのコンピュータに分配
することが考えられる。
ce program、ツール・インターフェース・プログラム）
と新しいＴＩＣアダプタとの新しい組み合わせを具備す
る。ＴＩＰは、ＶＦＥＩコマンド又はメッセージを、Ｓ
ＥＣＳ等の機械のインターフェース及び制御ＳＷ等、そ
れの制御へと変換するための各機械又はツール・タイプ
を備える。新しいＤＦＳ／Ｆと通信するために適応した
装置は、ＴＩＰインスタンス、すなわち前記装置に専用
のＳＷ処理を有し、前記装置と前記ＤＦＳ／Ｆとの間の
媒体としてランする。機械のためのＴＩＰインスタンス
とＤＦＳ／Ｆとの間の適切な通信プロトコルの一例は、
ＤＣＯＭプロトコルのＶＦＥＩである。さらに、ＶＥＦ
Ｉ＋が、管理のため、モデリングのため、及びＤＣＯＭ
のＲＰＣ（remote procedure call、遠隔プロシージャ
・コール）特性のための拡張を含む場合に、ＤＣＯＭプ
ロトコルの新しいＶＦＥＩ＋供給することが考えられ
る。例えばこれらのコンピュータが、ＴＩＰ ＳＷを使
用するコンピュータ統合ウェーハ・ファブにおいて利用
される場合に、ＴＩＰをいくつかのコンピュータに分配
することが考えられる。
【０１１７】本発明のＴＩＣアダプタは、例えば他のＤ
ＦＳ／Ｆコンポーネントが、ツールの特定のＴＩＰイン
スタンスの必要性に前記アダプタが適応する一般化され
たコマンドを通してツール機能にアクセスすることがで
きるようにすることによって、ＤＦＳ／Ｆと及びＴＩＰ
ｓとの間の媒体となる。これは、測定値を収集するため
に使用可能である異なるツールを有するウェーハ・ファ
ブにおける度量衡ツールを使用して測定値を収集するた
めの、以下の例で説明される。これらの新しい技術は、
収集処理を、処理技術者又はエンジニア等のユーザが同
一測定要求をＴＩＣに送信することができるようにする
ＶＷＣ ＷＦに埋め込むために適応する。前記ＴＩＣア
ダプタはそれから、前記要求を、ラン・タイム（run ti
me）に選択される特定のツールに基づいて、ツール固有
のＶＦＥＩ要求に変換する。前記ＴＩＣアダプタは、Ｑ
ＭＣ計画における総称からのデータ・パラメータ名を、
特定の装置の種類又はツールによって要求される特定名
に変換することができるので、本発明のこれらの技術
は、例えば同じ種類のデータを収集する、異なるツール
のために使用されることができる単一のＱＭＣ（qualit
y management component、品質管理コンポーネント）デ
ータ収集計画を規定することができる。
ＦＳ／Ｆコンポーネントが、ツールの特定のＴＩＰイン
スタンスの必要性に前記アダプタが適応する一般化され
たコマンドを通してツール機能にアクセスすることがで
きるようにすることによって、ＤＦＳ／Ｆと及びＴＩＰ
ｓとの間の媒体となる。これは、測定値を収集するため
に使用可能である異なるツールを有するウェーハ・ファ
ブにおける度量衡ツールを使用して測定値を収集するた
めの、以下の例で説明される。これらの新しい技術は、
収集処理を、処理技術者又はエンジニア等のユーザが同
一測定要求をＴＩＣに送信することができるようにする
ＶＷＣ ＷＦに埋め込むために適応する。前記ＴＩＣア
ダプタはそれから、前記要求を、ラン・タイム（run ti
me）に選択される特定のツールに基づいて、ツール固有
のＶＦＥＩ要求に変換する。前記ＴＩＣアダプタは、Ｑ
ＭＣ計画における総称からのデータ・パラメータ名を、
特定の装置の種類又はツールによって要求される特定名
に変換することができるので、本発明のこれらの技術
は、例えば同じ種類のデータを収集する、異なるツール
のために使用されることができる単一のＱＭＣ（qualit
y management component、品質管理コンポーネント）デ
ータ収集計画を規定することができる。
【０１１８】効果的に、ＴＩＣアダプタはまた、ＤＦＳ
／Ｆスタイル通信とＴＩＰｓとの間のプロトコル変換を
実行することもできる。多くのＤＦＳ／Ｆコンポーネン
トがＭＴＳを使用して構築されており、及びトランザク
ショナル（transactional）に並びにステートレス（sta
teless）に設計されているので、これは有用な機能であ
る。例えば、要求及び処理サービスの両方のＤＦＳ／Ｆ
サーバは、「同期であること」、すなわち１秒かそれ以
下の予想可能な短い完成時間内で完成されることが期待
されるサービス、及び長期のランであると考えられ並び
にＬＲＳＰ（long running service protocol、長期ラ
ン・サービス・プロトコル）を使用するサービスであ
る。ここで規定されているように、「長期ラン・サービ
ス」という用語は、予想することができず、及び典型的
には同期サービス等の従来のサービスとともに使用され
るＤＢロッキング技術には適切でない完成時間を有する
サービスを含む。比較的短期間のＭＴＳスレッド（thre
ad）を使用し、及びより長いターム状態は、ＤＢに保存
される場合に、ＭＴＳベース・サーバによって前記サー
ビスを処理することが考えられる。また、返答が後に続
くサービスが要求される場合、サービス要求は、ＤＣＯ
Ｍ ＲＰＣスタイル・モデルに基づくことができるとい
うことも考えられる。前記ＴＩＣアダプタは、ＤＦＳ／
ＦとＴＩＰｓとの間の媒体である
／Ｆスタイル通信とＴＩＰｓとの間のプロトコル変換を
実行することもできる。多くのＤＦＳ／Ｆコンポーネン
トがＭＴＳを使用して構築されており、及びトランザク
ショナル（transactional）に並びにステートレス（sta
teless）に設計されているので、これは有用な機能であ
る。例えば、要求及び処理サービスの両方のＤＦＳ／Ｆ
サーバは、「同期であること」、すなわち１秒かそれ以
下の予想可能な短い完成時間内で完成されることが期待
されるサービス、及び長期のランであると考えられ並び
にＬＲＳＰ（long running service protocol、長期ラ
ン・サービス・プロトコル）を使用するサービスであ
る。ここで規定されているように、「長期ラン・サービ
ス」という用語は、予想することができず、及び典型的
には同期サービス等の従来のサービスとともに使用され
るＤＢロッキング技術には適切でない完成時間を有する
サービスを含む。比較的短期間のＭＴＳスレッド（thre
ad）を使用し、及びより長いターム状態は、ＤＢに保存
される場合に、ＭＴＳベース・サーバによって前記サー
ビスを処理することが考えられる。また、返答が後に続
くサービスが要求される場合、サービス要求は、ＤＣＯ
Ｍ ＲＰＣスタイル・モデルに基づくことができるとい
うことも考えられる。前記ＴＩＣアダプタは、ＤＦＳ／
ＦとＴＩＰｓとの間の媒体である
【０１１９】新しいＴＩＣの一例は、図９に記載されて
おり、本発明のＴＩＣ５２０を含む新しいＤＦＳ／Ｆ５
００を示す。本例においては、ノードＡ，Ｂ及びＣを有
する分散型コンピュータが使用された。ＤＦＳ／Ｆコン
ポーネント５１０は、ＴＩＣ５２０の手段によってファ
ブ・ツール５３８及び５４８と通信した。ツール５３８
及び５４８のためのＭＥＳ命令は、コンポーネント５１
０によってＴＩＣ５２０の新しいＴＩＣアダプタ５２２
へと送信された。例えば、材料の処理を開始するための
命令は、ＶＷＣワークフロウ等のＤＦＳ／Ｆコンポーネ
ント５１０から、ＴＩＣ５２０を通してツール５３８へ
と通信されることができる。前記ＴＩＰアダプタは、ノ
ードＡでＭＴＳサーバを通してアクサスされた。ツール
５３８のための命令は、ＴＩＣアダプタ５２２から、Ｄ
ＣＯＭ５３２のＶＦＥＩプロトコルを通して、ノードＢ
のＴＩＰインスタンス５３４へと通信された。ＴＩＰイ
ンスタンス５３４はそれから、これらの命令をツール５
３８のＳＥＣＳプロトコル５３６を使用して、ツール５
３８へと通信した。同様に、ツール５４８のための命令
は、ＴＩＣアダプタ５２２から、ＤＣＯＭ５４２のＶＦ
ＥＩプロトコルを通して、ノードＣのＴＩＰインスタン
ス５４４へと通信された。ＴＩＰインスタンス５４４
は、前記命令を、ツール５４８のＳＥＣＳプロトコル５
４６を使用して、ツール５４８へと通信した。また、通
常の当業者には公知である前記方法及び技術を使用し
て、特定のＴＩＰｓのネットワーク・ロケーション（ne
twork location）等のＴＩＣデータを記憶し及び検索す
るために、ＴＩＣアダプタ５２２によってアクセスする
ことができるＤＢ（図示されていない）が供給されるこ
とができる。
おり、本発明のＴＩＣ５２０を含む新しいＤＦＳ／Ｆ５
００を示す。本例においては、ノードＡ，Ｂ及びＣを有
する分散型コンピュータが使用された。ＤＦＳ／Ｆコン
ポーネント５１０は、ＴＩＣ５２０の手段によってファ
ブ・ツール５３８及び５４８と通信した。ツール５３８
及び５４８のためのＭＥＳ命令は、コンポーネント５１
０によってＴＩＣ５２０の新しいＴＩＣアダプタ５２２
へと送信された。例えば、材料の処理を開始するための
命令は、ＶＷＣワークフロウ等のＤＦＳ／Ｆコンポーネ
ント５１０から、ＴＩＣ５２０を通してツール５３８へ
と通信されることができる。前記ＴＩＰアダプタは、ノ
ードＡでＭＴＳサーバを通してアクサスされた。ツール
５３８のための命令は、ＴＩＣアダプタ５２２から、Ｄ
ＣＯＭ５３２のＶＦＥＩプロトコルを通して、ノードＢ
のＴＩＰインスタンス５３４へと通信された。ＴＩＰイ
ンスタンス５３４はそれから、これらの命令をツール５
３８のＳＥＣＳプロトコル５３６を使用して、ツール５
３８へと通信した。同様に、ツール５４８のための命令
は、ＴＩＣアダプタ５２２から、ＤＣＯＭ５４２のＶＦ
ＥＩプロトコルを通して、ノードＣのＴＩＰインスタン
ス５４４へと通信された。ＴＩＰインスタンス５４４
は、前記命令を、ツール５４８のＳＥＣＳプロトコル５
４６を使用して、ツール５４８へと通信した。また、通
常の当業者には公知である前記方法及び技術を使用し
て、特定のＴＩＰｓのネットワーク・ロケーション（ne
twork location）等のＴＩＣデータを記憶し及び検索す
るために、ＴＩＣアダプタ５２２によってアクセスする
ことができるＤＢ（図示されていない）が供給されるこ
とができる。
【０１２０】本発明のＴＩＣｓは、本発明のＤＦＳ／Ｆ
コンポーネントとＴＩＣアダプタとの間、及びＴＩＣア
ダプタと本発明に従ったツール・インターフェース・プ
ログラム・インスタンスとの間のメッセージを送信する
ためのマイクロソフトＤＣＯＭメッセージ技術を使用す
る。ＴＩＣアダプタは、テーブル２に記載されたような
本発明の共通ビルディング・ブロックを使用して構築さ
れる。創作性のあるＴＩＣアダプタは、マイクロソフト
・トランザクション・サーバ（Microsoft transaction
server）を使用して構築されることができる。前記アダ
プタは、多くのＤＦＳ／Ｆコンポーネント及び多くのＴ
ＩＰインスタンスからのメッセージを同時に管理するこ
とができる。本発明のＴＩＣアダプタは、懸案イベント
要求、すなわちツールが特定の状態又は操作イベントを
報告するという要求に関するＴＩＰへの命令等の情報を
保存することができる。前記情報は例えば、通常の当業
者には公知である技術を使用するオラクル・データベー
ス技術を使用して、保存されることができる。
コンポーネントとＴＩＣアダプタとの間、及びＴＩＣア
ダプタと本発明に従ったツール・インターフェース・プ
ログラム・インスタンスとの間のメッセージを送信する
ためのマイクロソフトＤＣＯＭメッセージ技術を使用す
る。ＴＩＣアダプタは、テーブル２に記載されたような
本発明の共通ビルディング・ブロックを使用して構築さ
れる。創作性のあるＴＩＣアダプタは、マイクロソフト
・トランザクション・サーバ（Microsoft transaction
server）を使用して構築されることができる。前記アダ
プタは、多くのＤＦＳ／Ｆコンポーネント及び多くのＴ
ＩＰインスタンスからのメッセージを同時に管理するこ
とができる。本発明のＴＩＣアダプタは、懸案イベント
要求、すなわちツールが特定の状態又は操作イベントを
報告するという要求に関するＴＩＰへの命令等の情報を
保存することができる。前記情報は例えば、通常の当業
者には公知である技術を使用するオラクル・データベー
ス技術を使用して、保存されることができる。
【０１２１】図１０は、ＶＷＣ ＷＦにおいて規定され
るビジネス処理を実行するＶＷＣ６１０からＴＩＣアダ
プタ６１２への、及びそれからＴＩＰインスタンス６１
４へのメッセージのシーケンスを示す。このＴＩＰイン
スタンスは、集積回路構造を生産するためのウェーハ・
ファブ・ツール等の処理装置（図示されていない）と接
続するためのツール・インターフェース・プログラムを
含む。前記ＶＷＣビジネス処理は、命令をＴＩＣアダプ
タ６１２に送信し、装置イベントを報告する要求、例え
ばウェーハ組み立て処理の完成を報告する要求であるイ
ベント・セットアップ６１６を要求する。前記イベント
・セットアップ要求は、ＴＩＰインスタンス６１４へと
送られ６１８、それはその後ＶＷＣ６１０に承認される
６２０。ＶＷＣはそれからＴＩＣアダプタ６１２からの
前記イベント・セットアップ要求に関するイベント報告
６２２を要求する。イベント報告要求６２２は、段階６
２４において承認される。前記要求されたイベントが装
置で発生すると、前記イベントに関する報告が、ＴＩＰ
インスタンス６１４からＴＩＣアダプタ６１２に通信さ
れ、それは、懸案の報告要求があるかを決定することを
確認する。要求６２２等の懸案の報告要求がある場合、
ＴＩＣアダプタ６１２は、前記要求された報告６２８を
ＶＷＣ ＷＦに送信し、及びＴＩＰインスタンス６１４
へのイベント報告の送信６３０を承認する。任意で、前
記ＶＷＣビジネスＷＦは、追加のイベント報告を要求す
るループ（loop）を実行することができる。一度前記要
求された報告が、前記ツールから受信すると、前記ツー
ルは終了し、及びＶＷＣ ＷＦは、前記ツールにそのＴ
ＩＰを介して、要求されたイベント報告がもう送信され
ないことを通知するために、終わりのコマンドをＴＩＣ
に送信するであろう。ＴＩＰインスタンス６１４は、前
記装置と通信するために、ＳＥＣＳ等（図示されていな
い）のプロトコルを必要とするかもしれないことが注目
される。
るビジネス処理を実行するＶＷＣ６１０からＴＩＣアダ
プタ６１２への、及びそれからＴＩＰインスタンス６１
４へのメッセージのシーケンスを示す。このＴＩＰイン
スタンスは、集積回路構造を生産するためのウェーハ・
ファブ・ツール等の処理装置（図示されていない）と接
続するためのツール・インターフェース・プログラムを
含む。前記ＶＷＣビジネス処理は、命令をＴＩＣアダプ
タ６１２に送信し、装置イベントを報告する要求、例え
ばウェーハ組み立て処理の完成を報告する要求であるイ
ベント・セットアップ６１６を要求する。前記イベント
・セットアップ要求は、ＴＩＰインスタンス６１４へと
送られ６１８、それはその後ＶＷＣ６１０に承認される
６２０。ＶＷＣはそれからＴＩＣアダプタ６１２からの
前記イベント・セットアップ要求に関するイベント報告
６２２を要求する。イベント報告要求６２２は、段階６
２４において承認される。前記要求されたイベントが装
置で発生すると、前記イベントに関する報告が、ＴＩＰ
インスタンス６１４からＴＩＣアダプタ６１２に通信さ
れ、それは、懸案の報告要求があるかを決定することを
確認する。要求６２２等の懸案の報告要求がある場合、
ＴＩＣアダプタ６１２は、前記要求された報告６２８を
ＶＷＣ ＷＦに送信し、及びＴＩＰインスタンス６１４
へのイベント報告の送信６３０を承認する。任意で、前
記ＶＷＣビジネスＷＦは、追加のイベント報告を要求す
るループ（loop）を実行することができる。一度前記要
求された報告が、前記ツールから受信すると、前記ツー
ルは終了し、及びＶＷＣ ＷＦは、前記ツールにそのＴ
ＩＰを介して、要求されたイベント報告がもう送信され
ないことを通知するために、終わりのコマンドをＴＩＣ
に送信するであろう。ＴＩＰインスタンス６１４は、前
記装置と通信するために、ＳＥＣＳ等（図示されていな
い）のプロトコルを必要とするかもしれないことが注目
される。
【０１２２】上述の例に記載されたとおり、ＴＩＣ等の
アプリケーション・コンポーネントは、ＶＷＣ（テーブ
ル３）等のＦＷコンポーネントと通信し、及びＦＷコン
ポーネントを利用する。さらに、特定のＦＷコンポーネ
ントは、他のＦＷコンポーネントと通信することがで
き、及びそのサービスを利用する。例えば、すべてのＦ
Ｗコンポーネントは、図８に記載されたとおり、これら
のＦＷコンポーネントが供給するサービスへのアクセス
を規制するために、共通のセキュリティＦＷコンポーネ
ントを使用することができる。
アプリケーション・コンポーネントは、ＶＷＣ（テーブ
ル３）等のＦＷコンポーネントと通信し、及びＦＷコン
ポーネントを利用する。さらに、特定のＦＷコンポーネ
ントは、他のＦＷコンポーネントと通信することがで
き、及びそのサービスを利用する。例えば、すべてのＦ
Ｗコンポーネントは、図８に記載されたとおり、これら
のＦＷコンポーネントが供給するサービスへのアクセス
を規制するために、共通のセキュリティＦＷコンポーネ
ントを使用することができる。
【０１２３】ＶＷＣのプラグ・アンド・プレイ能力は、
例えば、前記ＶＷＣがビジネス処理を、その後ジョブと
して実行されるＷＦとして規定するための技術であるＷ
Ｆｓによって示される。ＷＦｓは、典型的には多くの処
理段階、装置段階、動作段階、決定段階及びデータ段階
を含む半導体構造等の製品を生産するために規定された
ビジネス処理を図で表したものである。これらの段階の
各々は、ＷＦにおける段階として規定される。ＷＦｓ
は、動作、決定、品質活動、及び装置コマンドを含むこ
とができる。ＷＦｓは、通常の当業者には公知である技
術を使用するコンピュータ・グラフィカル環境におい
て、ドラグ・アンド・ドロップ（drag and drop）技術
を使用して構築される。一度規定されると、ＷＦはジョ
ブとして実行される。例えば、ＷＦは多くの製品を製造
するために実行されることができる。
例えば、前記ＶＷＣがビジネス処理を、その後ジョブと
して実行されるＷＦとして規定するための技術であるＷ
Ｆｓによって示される。ＷＦｓは、典型的には多くの処
理段階、装置段階、動作段階、決定段階及びデータ段階
を含む半導体構造等の製品を生産するために規定された
ビジネス処理を図で表したものである。これらの段階の
各々は、ＷＦにおける段階として規定される。ＷＦｓ
は、動作、決定、品質活動、及び装置コマンドを含むこ
とができる。ＷＦｓは、通常の当業者には公知である技
術を使用するコンピュータ・グラフィカル環境におい
て、ドラグ・アンド・ドロップ（drag and drop）技術
を使用して構築される。一度規定されると、ＷＦはジョ
ブとして実行される。例えば、ＷＦは多くの製品を製造
するために実行されることができる。
【０１２４】本発明のＤＦＳ／Ｆは、以下のＷＩＰ管理
アプリケーション・コンポーネント（テーブル４）の手
段によって、ウェーハ・ファブ・ラン等の生産を開始す
るために利用されることができる。処理エンジニア等の
ユーザは、前記製品を作るために必要な段階のシーケン
スを規定するＶＷＣにおけるＷＦを作ることによって、
どのように特定の製品が作られるかを規定する。このシ
ーケンスは、例えば、ウェーハ・ファブ・レシピを含む
ことができる。前記ユーザは、ＷＩＰ管理アプリケーシ
ョン・コンポーネント・サービスを、又はＶＷＣにロッ
トのためのＷＦを開始するよう要求するＧＵＩを使用す
ることによって、ロットを開始する。要約すると、ＷＩ
ＰはＶＭＣを、前記処理段階を規定し、及びその後実際
に製造ロットを生産／組み立てするためのサービスとし
て使用する。
アプリケーション・コンポーネント（テーブル４）の手
段によって、ウェーハ・ファブ・ラン等の生産を開始す
るために利用されることができる。処理エンジニア等の
ユーザは、前記製品を作るために必要な段階のシーケン
スを規定するＶＷＣにおけるＷＦを作ることによって、
どのように特定の製品が作られるかを規定する。このシ
ーケンスは、例えば、ウェーハ・ファブ・レシピを含む
ことができる。前記ユーザは、ＷＩＰ管理アプリケーシ
ョン・コンポーネント・サービスを、又はＶＷＣにロッ
トのためのＷＦを開始するよう要求するＧＵＩを使用す
ることによって、ロットを開始する。要約すると、ＷＩ
ＰはＶＭＣを、前記処理段階を規定し、及びその後実際
に製造ロットを生産／組み立てするためのサービスとし
て使用する。
【０１２５】ビルディング・ブロックは、アプリケーシ
ョン及びＦＷコンポーネントの構築を容易にするため
に、共通機能を前記新しいＤＦＳ／Ｆ技術に供給する。
例えば、ＤＦＳ／Ｆ分類ビルディング・ブロック（テー
ブル２）は、装置を分類するために、ＥＭＣアプリケー
ション・コンポーネント（テーブル４）において使用さ
れることができる。それはまた、製品を分類するため
に、ＷＩＰ管理アプリケーション・コンポーネント（テ
ーブル４）においても使用されることができる。このビ
ルディング・ブロックは、前記三つのＤＦＳ／Ｆの段を
含む。第一の段は、分類情報を調べるため及び修正する
ため又は更新するために、ＧＣＣの中のＤＦＳ／Ｆ Ｇ
ＵＩを使用する。第二の段は、ＥＭＣ又はＷＭＣサーバ
等の、コンポーネント・サーバにおいて供給されるＳＷ
コード／ロジックを含む。この特定のＳＷは、分類がど
のように特定されるかを規定する。例えば、このＳＷに
よって、ユーザは特定のウェーハ・ファブ・ツールをエ
ッチャ（etcher）として分類することができる。前記分
類ビルディング・ブロックＳＷは、例えばＣ＋＋承継能
力、すなわちリソース又は属性を、コンポーネント・サ
ーバから特定の製品、処理、又は機械の詳細へと承継す
る能力を通して、コンポーネント・サーバにおいて使用
される。第三の段は、分類情報を記憶し及び検索するた
めに、前記コンピュータ・サーバ・ロジックによって使
用されるＤＢテーブル規定を具備する。
ョン及びＦＷコンポーネントの構築を容易にするため
に、共通機能を前記新しいＤＦＳ／Ｆ技術に供給する。
例えば、ＤＦＳ／Ｆ分類ビルディング・ブロック（テー
ブル２）は、装置を分類するために、ＥＭＣアプリケー
ション・コンポーネント（テーブル４）において使用さ
れることができる。それはまた、製品を分類するため
に、ＷＩＰ管理アプリケーション・コンポーネント（テ
ーブル４）においても使用されることができる。このビ
ルディング・ブロックは、前記三つのＤＦＳ／Ｆの段を
含む。第一の段は、分類情報を調べるため及び修正する
ため又は更新するために、ＧＣＣの中のＤＦＳ／Ｆ Ｇ
ＵＩを使用する。第二の段は、ＥＭＣ又はＷＭＣサーバ
等の、コンポーネント・サーバにおいて供給されるＳＷ
コード／ロジックを含む。この特定のＳＷは、分類がど
のように特定されるかを規定する。例えば、このＳＷに
よって、ユーザは特定のウェーハ・ファブ・ツールをエ
ッチャ（etcher）として分類することができる。前記分
類ビルディング・ブロックＳＷは、例えばＣ＋＋承継能
力、すなわちリソース又は属性を、コンポーネント・サ
ーバから特定の製品、処理、又は機械の詳細へと承継す
る能力を通して、コンポーネント・サーバにおいて使用
される。第三の段は、分類情報を記憶し及び検索するた
めに、前記コンピュータ・サーバ・ロジックによって使
用されるＤＢテーブル規定を具備する。
【０１２６】新しいＤＦＳ／Ｆ又はそのコンポーネント
のデジタル・コード化データ構造及びビルディング・ブ
ロックは、異なる処理場所において同じ技術の使用を容
易にするために、コンピュータ・フロッピ・ディスク、
脱着可能コンピュータ・ハード・ディスク、電磁テープ
及び光学ディスク等の脱着可能電子データ記憶媒体又は
装置に記憶されることができる。代替的には、データ構
造又は情報は、通常の当業者には公知である記憶装置を
使用して、前記ツールから離れた場所に配置された媒体
を含む、脱着不可能電子データ記憶媒体に記憶されるこ
とができる。前記データ構造又は情報は、ハード・ワイ
ア接続、ワイアレス接続及び一つ以上のモデム並びにサ
ーバとして一般的に知られている一つ以上のコンピュー
タを使用した技術を利用するデータ通信方法を含む、通
常の当業者には公知である通信技術を使用して、遠隔地
から、中央データ処理装置へ又はコンピュータへ通信さ
れることができる。ＤＦＳ／Ｆあるいはそのコンポーネ
ント又はビルディング・ブロックが一度インストールさ
れると、それらは、通常の当業者には公知である前記デ
ータ記憶技術を使用して、処理システム及びその装置と
統合された専用コンピュータ又は分散型コンピュータ・
システムのデータ記憶装置又はメモリに共通に記憶され
る。
のデジタル・コード化データ構造及びビルディング・ブ
ロックは、異なる処理場所において同じ技術の使用を容
易にするために、コンピュータ・フロッピ・ディスク、
脱着可能コンピュータ・ハード・ディスク、電磁テープ
及び光学ディスク等の脱着可能電子データ記憶媒体又は
装置に記憶されることができる。代替的には、データ構
造又は情報は、通常の当業者には公知である記憶装置を
使用して、前記ツールから離れた場所に配置された媒体
を含む、脱着不可能電子データ記憶媒体に記憶されるこ
とができる。前記データ構造又は情報は、ハード・ワイ
ア接続、ワイアレス接続及び一つ以上のモデム並びにサ
ーバとして一般的に知られている一つ以上のコンピュー
タを使用した技術を利用するデータ通信方法を含む、通
常の当業者には公知である通信技術を使用して、遠隔地
から、中央データ処理装置へ又はコンピュータへ通信さ
れることができる。ＤＦＳ／Ｆあるいはそのコンポーネ
ント又はビルディング・ブロックが一度インストールさ
れると、それらは、通常の当業者には公知である前記デ
ータ記憶技術を使用して、処理システム及びその装置と
統合された専用コンピュータ又は分散型コンピュータ・
システムのデータ記憶装置又はメモリに共通に記憶され
る。
【０１２７】脱着可能電子データ記憶媒体又は装置等の
メモリに記憶された、新しいＤＦＳ／Ｆあるいはそのコ
ンポーネント又はビルディング・ブロックのデジタル・
コード化されたデータ構造又は情報を具備する新しい製
品が供給されることが考えられる。また、電子的又はデ
ジタル・データの記録のためのメモリ又はデータ記憶装
置、中央処理装置又はコンピュータ、及びＤＦＳ／Ｆあ
るいはそのコンポーネント又はビルディング・ブロック
が前記データ記憶装置に記憶される処理装置を有する新
しいコンピュータ統合装置を供給することも考えられ
る。
メモリに記憶された、新しいＤＦＳ／Ｆあるいはそのコ
ンポーネント又はビルディング・ブロックのデジタル・
コード化されたデータ構造又は情報を具備する新しい製
品が供給されることが考えられる。また、電子的又はデ
ジタル・データの記録のためのメモリ又はデータ記憶装
置、中央処理装置又はコンピュータ、及びＤＦＳ／Ｆあ
るいはそのコンポーネント又はビルディング・ブロック
が前記データ記憶装置に記憶される処理装置を有する新
しいコンピュータ統合装置を供給することも考えられ
る。
【０１２８】本発明は、好ましい実施形態に関して記載
されてきた。当業者には、本発明の構成要素を様々な手
段から構築し、及びさまざまな方法でコンポーネントの
配置を変更することが可能であることが理解されるであ
ろう。本発明の実施形態が詳細に記載され、及び添付の
図面において図示された一方で、さらなる様々な変更
は、添付の請求の範囲で説明された本発明の範囲から逸
脱することなく可能である。
されてきた。当業者には、本発明の構成要素を様々な手
段から構築し、及びさまざまな方法でコンポーネントの
配置を変更することが可能であることが理解されるであ
ろう。本発明の実施形態が詳細に記載され、及び添付の
図面において図示された一方で、さらなる様々な変更
は、添付の請求の範囲で説明された本発明の範囲から逸
脱することなく可能である。
【０１２９】
【発明の効果】本発明の方法は、コンピュータ実行型フ
ァクトリーオートメーションライフサイクル（a comput
er implemented factory automation lifecycle）を規
定するための方法であって：ａ）ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネント（lifecycle activityfr
amework components）を規定し、インストールし、及び
管理する段階と；ｂ）ファクトリー・モデリング・ライ
フサイクル活動フレームワーク・コンポーネント（fact
ory modeling lifecycle activity framework componen
ts）を規定する段階と；及びｃ）生産制御、監視及び追
跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント
を規定する段階とを具備するので、開発及び統合、イン
ストール及び管理、ファクトリー・モデリング、生産計
画、生産制御、監視及び追跡のためのライフサイクル活
動、及び生産結果を解析するためのライフサイクル活動
のためのＳＷを含む、新しいファクトリーオートメーシ
ョンライフサイクルが供給される。生産結果ライフサイ
クル活動の解析からの出力は、ファクトリー・モデリン
グ・ライフサイクル活動等の他のライフサイクル活動へ
の入力を供給することができる。フレームワーク・コン
ポーネントは、様々なライフサイクル活動と関連する。
ァクトリーオートメーションライフサイクル（a comput
er implemented factory automation lifecycle）を規
定するための方法であって：ａ）ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネント（lifecycle activityfr
amework components）を規定し、インストールし、及び
管理する段階と；ｂ）ファクトリー・モデリング・ライ
フサイクル活動フレームワーク・コンポーネント（fact
ory modeling lifecycle activity framework componen
ts）を規定する段階と；及びｃ）生産制御、監視及び追
跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント
を規定する段階とを具備するので、開発及び統合、イン
ストール及び管理、ファクトリー・モデリング、生産計
画、生産制御、監視及び追跡のためのライフサイクル活
動、及び生産結果を解析するためのライフサイクル活動
のためのＳＷを含む、新しいファクトリーオートメーシ
ョンライフサイクルが供給される。生産結果ライフサイ
クル活動の解析からの出力は、ファクトリー・モデリン
グ・ライフサイクル活動等の他のライフサイクル活動へ
の入力を供給することができる。フレームワーク・コン
ポーネントは、様々なライフサイクル活動と関連する。
【０１３０】本発明の方法は、ひとつ以上のコンピュー
タを含む処理システムを管理するための方法であって、
ａ）一つ以上のコンピュータの手段によって一つ以上の
フレームワーク・ソフトウェア・コンポーネントを含む
ファクトリーオートメーションライフサイクルをランさ
せる段階と；ｂ）前記システムを管理するための一つ以
上のコンピュータ実行型命令を供給するための一つ以上
のアプリケーション・ソフトウェア・コンポーネントを
ランさせる段階であって、前記一つ以上のフレームワー
ク・コンポーネントが、前記アプリケーション・コンポ
ーネントを管理するために適応する前記段階と；ｃ）前
記一つ以上の命令が、変更される必要があるかを決定す
る段階と；ｄ）前記命令が変更される必要がない場合
に、前記一つ以上の命令を前記システムに通信する段階
と；ｅ）それによって変更された命令を形成する一つ以
上のフレームワーク・コンポーネントの手段によって、
それらが変更される必要がある場合に命令を変更する段
階と；及びｆ）前記変更された命令を前記システムに通
信する段階とを具備するので、開発及び統合、インスト
ール及び管理、ファクトリー・モデリング、生産計画、
生産制御、監視及び追跡のためのライフサイクル活動、
及び生産結果を解析するためのライフサイクル活動のた
めのＳＷを含む、新しいファクトリーオートメーション
ライフサイクルが供給される。生産結果ライフサイクル
活動の解析からの出力は、ファクトリー・モデリング・
ライフサイクル活動等の他のライフサイクル活動への入
力を供給することができる。フレームワーク・コンポー
ネントは、様々なライフサイクル活動と関連する。
タを含む処理システムを管理するための方法であって、
ａ）一つ以上のコンピュータの手段によって一つ以上の
フレームワーク・ソフトウェア・コンポーネントを含む
ファクトリーオートメーションライフサイクルをランさ
せる段階と；ｂ）前記システムを管理するための一つ以
上のコンピュータ実行型命令を供給するための一つ以上
のアプリケーション・ソフトウェア・コンポーネントを
ランさせる段階であって、前記一つ以上のフレームワー
ク・コンポーネントが、前記アプリケーション・コンポ
ーネントを管理するために適応する前記段階と；ｃ）前
記一つ以上の命令が、変更される必要があるかを決定す
る段階と；ｄ）前記命令が変更される必要がない場合
に、前記一つ以上の命令を前記システムに通信する段階
と；ｅ）それによって変更された命令を形成する一つ以
上のフレームワーク・コンポーネントの手段によって、
それらが変更される必要がある場合に命令を変更する段
階と；及びｆ）前記変更された命令を前記システムに通
信する段階とを具備するので、開発及び統合、インスト
ール及び管理、ファクトリー・モデリング、生産計画、
生産制御、監視及び追跡のためのライフサイクル活動、
及び生産結果を解析するためのライフサイクル活動のた
めのＳＷを含む、新しいファクトリーオートメーション
ライフサイクルが供給される。生産結果ライフサイクル
活動の解析からの出力は、ファクトリー・モデリング・
ライフサイクル活動等の他のライフサイクル活動への入
力を供給することができる。フレームワーク・コンポー
ネントは、様々なライフサイクル活動と関連する。
【０１３１】本発明の方法は、ソフトウェア・ウレーム
ワークを装置にリンクするための方法であって、ａ）ツ
ール・インターフェース・プログラムと；及びｂ）ツー
ル統合コンポーネント・アダプタとを含むツール統合コ
ンポーネントの手段によってリンクする段階を具備する
ので、開発及び統合、インストール及び管理、ファクト
リー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡
のためのライフサイクル活動、及び生産結果を解析する
ためのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しい
ファクトリーオートメーションライフサイクルが供給さ
れる。生産結果ライフサイクル活動の解析からの出力
は、ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動等
の他のライフサイクル活動への入力を供給することがで
きる。フレームワーク・コンポーネントは、様々なライ
フサイクル活動と関連する。
ワークを装置にリンクするための方法であって、ａ）ツ
ール・インターフェース・プログラムと；及びｂ）ツー
ル統合コンポーネント・アダプタとを含むツール統合コ
ンポーネントの手段によってリンクする段階を具備する
ので、開発及び統合、インストール及び管理、ファクト
リー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡
のためのライフサイクル活動、及び生産結果を解析する
ためのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しい
ファクトリーオートメーションライフサイクルが供給さ
れる。生産結果ライフサイクル活動の解析からの出力
は、ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動等
の他のライフサイクル活動への入力を供給することがで
きる。フレームワーク・コンポーネントは、様々なライ
フサイクル活動と関連する。
【０１３２】本発明の方法は、製品を処理するための方
法であって、ａ）前記製品を処理するための仕様を決定
する段階と；及びｂ）（１）一つ以上のフレームワーク
・コンポーネントを有するファクトリーオートメーショ
ンライフサイクルと（２）前記フレームワーク・コンポ
ーネントが、前記アプリケーション・コンポーネントを
管理するために適応する一つ以上のコンポーネントとを
含む分散型ファクトリー・システム・フレームワークの
手段によって、前記処理を管理する段階とを具備するの
で、開発及び統合、インストール及び管理、ファクトリ
ー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡の
ためのライフサイクル活動、及び生産結果を解析するた
めのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しいフ
ァクトリーオートメーションライフサイクルが供給され
る。生産結果ライフサイクル活動の解析からの出力は、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動等の他
のライフサイクル活動への入力を供給することができ
る。フレームワーク・コンポーネントは、様々なライフ
サイクル活動と関連する。
法であって、ａ）前記製品を処理するための仕様を決定
する段階と；及びｂ）（１）一つ以上のフレームワーク
・コンポーネントを有するファクトリーオートメーショ
ンライフサイクルと（２）前記フレームワーク・コンポ
ーネントが、前記アプリケーション・コンポーネントを
管理するために適応する一つ以上のコンポーネントとを
含む分散型ファクトリー・システム・フレームワークの
手段によって、前記処理を管理する段階とを具備するの
で、開発及び統合、インストール及び管理、ファクトリ
ー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡の
ためのライフサイクル活動、及び生産結果を解析するた
めのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しいフ
ァクトリーオートメーションライフサイクルが供給され
る。生産結果ライフサイクル活動の解析からの出力は、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動等の他
のライフサイクル活動への入力を供給することができ
る。フレームワーク・コンポーネントは、様々なライフ
サイクル活動と関連する。
【０１３３】本発明の方法は、ウェーハ・ファブ・ラン
を開始するための方法であって：ａ）前記ウェーハ・フ
ァブ・ランを処理するための処理段階のシーケンスを決
定する段階と；ｂ）（１）フレームワーク・コンポーネ
ント及び（２）アプリケーション・コンポーネントを有
する分散型ファクトリー・システム・フレームワークに
含まれる視覚的ワークフロウ・コンポーネントにおい
て、前記シーケンスを規定するワークフロウを形成する
段階と；及びｃ）進行中作業管理コンポーネント又はＧ
ＵＩコンソール・コンポーネントの中のＧＵＩであるサ
ービスの手段によって、前記視覚的ワークフロウ・コン
ポーネントがランを開始するように要求する段階とを具
備するので、開発及び統合、インストール及び管理、フ
ァクトリー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及
び追跡のためのライフサイクル活動、及び生産結果を解
析するためのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、
新しいファクトリーオートメーションライフサイクルが
供給される。生産結果ライフサイクル活動の解析からの
出力は、ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活
動等の他のライフサイクル活動への入力を供給すること
ができる。フレームワーク・コンポーネントは、様々な
ライフサイクル活動と関連する。
を開始するための方法であって：ａ）前記ウェーハ・フ
ァブ・ランを処理するための処理段階のシーケンスを決
定する段階と；ｂ）（１）フレームワーク・コンポーネ
ント及び（２）アプリケーション・コンポーネントを有
する分散型ファクトリー・システム・フレームワークに
含まれる視覚的ワークフロウ・コンポーネントにおい
て、前記シーケンスを規定するワークフロウを形成する
段階と；及びｃ）進行中作業管理コンポーネント又はＧ
ＵＩコンソール・コンポーネントの中のＧＵＩであるサ
ービスの手段によって、前記視覚的ワークフロウ・コン
ポーネントがランを開始するように要求する段階とを具
備するので、開発及び統合、インストール及び管理、フ
ァクトリー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及
び追跡のためのライフサイクル活動、及び生産結果を解
析するためのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、
新しいファクトリーオートメーションライフサイクルが
供給される。生産結果ライフサイクル活動の解析からの
出力は、ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活
動等の他のライフサイクル活動への入力を供給すること
ができる。フレームワーク・コンポーネントは、様々な
ライフサイクル活動と関連する。
【０１３４】本発明の装置は、製品を処理するための装
置であって、ａ）製品処理装置と；ｂ） 少なくとも一
つの電子データ処理のための中央処理装置と；ｃ）前記
中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能にリンクす
るためのリンクと；ｄ） デジタル・コード化されたデ
ータ構造を記録するためのメモリであって、前記少なく
とも一つの中央処理装置に動作可能にリンクされるメモ
リと；及びｅ） データ構造は：（１）管理ライフサイ
クル活動フレームワーク・コンポーネントと、（２）フ
ァクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレーム
ワーク・コンポーネントと、及び（３）生産制御及び追
跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント
とを含むファクトリーオートメーションライフサイクル
を具備することを特徴とする、メモリに記録されたデジ
タル・コード化された第一のデータ構造とを具備するの
で、開発及び統合、インストール及び管理、ファクトリ
ー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡の
ためのライフサイクル活動、及び生産結果を解析するた
めのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しいフ
ァクトリーオートメーションライフサイクルが供給され
る。生産結果ライフサイクル活動の解析からの出力は、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動等の他
のライフサイクル活動への入力を供給することができ
る。フレームワーク・コンポーネントは、様々なライフ
サイクル活動と関連する。
置であって、ａ）製品処理装置と；ｂ） 少なくとも一
つの電子データ処理のための中央処理装置と；ｃ）前記
中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能にリンクす
るためのリンクと；ｄ） デジタル・コード化されたデ
ータ構造を記録するためのメモリであって、前記少なく
とも一つの中央処理装置に動作可能にリンクされるメモ
リと；及びｅ） データ構造は：（１）管理ライフサイ
クル活動フレームワーク・コンポーネントと、（２）フ
ァクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレーム
ワーク・コンポーネントと、及び（３）生産制御及び追
跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント
とを含むファクトリーオートメーションライフサイクル
を具備することを特徴とする、メモリに記録されたデジ
タル・コード化された第一のデータ構造とを具備するの
で、開発及び統合、インストール及び管理、ファクトリ
ー・モデリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡の
ためのライフサイクル活動、及び生産結果を解析するた
めのライフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しいフ
ァクトリーオートメーションライフサイクルが供給され
る。生産結果ライフサイクル活動の解析からの出力は、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動等の他
のライフサイクル活動への入力を供給することができ
る。フレームワーク・コンポーネントは、様々なライフ
サイクル活動と関連する。
【０１３５】本発明の装置は、製品を処理するための装
置であって、ａ）製品処理装置と；ｂ）少なくとも一つ
の電子データ処理のための中央処理装置と；ｃ）前記中
央処理装置を前記製品処理装置に動作可能にリンクする
ためのリンクと；ｄ）デジタル・コード化されたデータ
構造を記録するためのメモリであって、前記少なくとも
一つの中央処理装置に動作可能にリンクされるメモリ
と；及びｅ）前記製品処理を管理するための分散型ファ
クトリー・システム・フレームワークであって： （１）デジタル・コード化されたフレームワーク・コン
ポーネントを含むファクトリーオートメーションライフ
サイクルを含む、デジタル・コード化された第一のデー
タ構造と、（２）デジタル・コード化された命令を前記
処理装置に通信するように適応したアプリケーション・
コンポーネントを具備するデジタル・コード化された第
二のデータ構造であって、前記第一のデータ構造は前記
第二のデータ構造を管理するように適応する前記第二の
データ構造と、及び（３）前記デジタル・コード化され
た命令を前記処理装置に通信するためのリンクとを具備
する分散型ファクトリー・システム・フレームワークと
を具備するので、開発及び統合、インストール及び管
理、ファクトリー・モデリング、生産計画、生産制御、
監視及び追跡のためのライフサイクル活動、及び生産結
果を解析するためのライフサイクル活動のためのＳＷを
含む、新しいファクトリーオートメーションライフサイ
クルが供給される。生産結果ライフサイクル活動の解析
からの出力は、ファクトリー・モデリング・ライフサイ
クル活動等の他のライフサイクル活動への入力を供給す
ることができる。フレームワーク・コンポーネントは、
様々なライフサイクル活動と関連する。
置であって、ａ）製品処理装置と；ｂ）少なくとも一つ
の電子データ処理のための中央処理装置と；ｃ）前記中
央処理装置を前記製品処理装置に動作可能にリンクする
ためのリンクと；ｄ）デジタル・コード化されたデータ
構造を記録するためのメモリであって、前記少なくとも
一つの中央処理装置に動作可能にリンクされるメモリ
と；及びｅ）前記製品処理を管理するための分散型ファ
クトリー・システム・フレームワークであって： （１）デジタル・コード化されたフレームワーク・コン
ポーネントを含むファクトリーオートメーションライフ
サイクルを含む、デジタル・コード化された第一のデー
タ構造と、（２）デジタル・コード化された命令を前記
処理装置に通信するように適応したアプリケーション・
コンポーネントを具備するデジタル・コード化された第
二のデータ構造であって、前記第一のデータ構造は前記
第二のデータ構造を管理するように適応する前記第二の
データ構造と、及び（３）前記デジタル・コード化され
た命令を前記処理装置に通信するためのリンクとを具備
する分散型ファクトリー・システム・フレームワークと
を具備するので、開発及び統合、インストール及び管
理、ファクトリー・モデリング、生産計画、生産制御、
監視及び追跡のためのライフサイクル活動、及び生産結
果を解析するためのライフサイクル活動のためのＳＷを
含む、新しいファクトリーオートメーションライフサイ
クルが供給される。生産結果ライフサイクル活動の解析
からの出力は、ファクトリー・モデリング・ライフサイ
クル活動等の他のライフサイクル活動への入力を供給す
ることができる。フレームワーク・コンポーネントは、
様々なライフサイクル活動と関連する。
【０１３６】本発明のシステム・フレームワークは、処
理システムを管理するための分散型ファクトリー・シス
テム・フレームワークであって：ａ）デジタル・コード
化されたフレームワーク・コンポーネントを具備するデ
ジタル・コード化された第一のデータ構造と；ｂ）デジ
タル・コード化された命令を前記処理システムに通信す
るように適応したアプリケーション・コンポーネントを
具備するデジタル・コード化された第二のデータ構造
で、前記第一のデータ構造は、前記第二のデータ構造を
管理するように適応する前記第二のデータ構造と；及び
ｃ）前記デジタル・コード化された命令を前記処理シス
テムに通信するためのリンクとを具備するので、開発及
び統合、インストール及び管理、ファクトリー・モデリ
ング、生産計画、生産制御、監視及び追跡のためのライ
フサイクル活動、及び生産結果を解析するためのライフ
サイクル活動のためのＳＷを含む、新しいファクトリー
オートメーションライフサイクルが供給される。生産結
果ライフサイクル活動の解析からの出力は、ファクトリ
ー・モデリング・ライフサイクル活動等の他のライフサ
イクル活動への入力を供給することができる。フレーム
ワーク・コンポーネントは、様々なライフサイクル活動
と関連する。
理システムを管理するための分散型ファクトリー・シス
テム・フレームワークであって：ａ）デジタル・コード
化されたフレームワーク・コンポーネントを具備するデ
ジタル・コード化された第一のデータ構造と；ｂ）デジ
タル・コード化された命令を前記処理システムに通信す
るように適応したアプリケーション・コンポーネントを
具備するデジタル・コード化された第二のデータ構造
で、前記第一のデータ構造は、前記第二のデータ構造を
管理するように適応する前記第二のデータ構造と；及び
ｃ）前記デジタル・コード化された命令を前記処理シス
テムに通信するためのリンクとを具備するので、開発及
び統合、インストール及び管理、ファクトリー・モデリ
ング、生産計画、生産制御、監視及び追跡のためのライ
フサイクル活動、及び生産結果を解析するためのライフ
サイクル活動のためのＳＷを含む、新しいファクトリー
オートメーションライフサイクルが供給される。生産結
果ライフサイクル活動の解析からの出力は、ファクトリ
ー・モデリング・ライフサイクル活動等の他のライフサ
イクル活動への入力を供給することができる。フレーム
ワーク・コンポーネントは、様々なライフサイクル活動
と関連する。
【０１３７】本発明のデータ記憶装置は、ａ）管理ライ
フサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと；
ｂ）ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネントと；及びｃ）生産制御及
び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネ
ントとを有するファクトリーオートメーションライフサ
イクルを含むデジタル・コード化された第一のデータ構
造を具備するので、開発及び統合、インストール及び管
理、ファクトリー・モデリング、生産計画、生産制御、
監視及び追跡のためのライフサイクル活動、及び生産結
果を解析するためのライフサイクル活動のためのＳＷを
含む、新しいファクトリーオートメーションライフサイ
クルが供給される。生産結果ライフサイクル活動の解析
からの出力は、ファクトリー・モデリング・ライフサイ
クル活動等の他のライフサイクル活動への入力を供給す
ることができる。フレームワーク・コンポーネントは、
様々なライフサイクル活動と関連する。
フサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと；
ｂ）ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネントと；及びｃ）生産制御及
び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネ
ントとを有するファクトリーオートメーションライフサ
イクルを含むデジタル・コード化された第一のデータ構
造を具備するので、開発及び統合、インストール及び管
理、ファクトリー・モデリング、生産計画、生産制御、
監視及び追跡のためのライフサイクル活動、及び生産結
果を解析するためのライフサイクル活動のためのＳＷを
含む、新しいファクトリーオートメーションライフサイ
クルが供給される。生産結果ライフサイクル活動の解析
からの出力は、ファクトリー・モデリング・ライフサイ
クル活動等の他のライフサイクル活動への入力を供給す
ることができる。フレームワーク・コンポーネントは、
様々なライフサイクル活動と関連する。
【０１３８】本発明のデータ記憶装置は、ａ）デジタル
・コード化されたフレームワーク・コンポーネントを含
むファクトリーオートメーションライフサイクルを具備
するデジタル・コード化された第一のデータ構造と；及
びｂ）アプリケーション・コンポーネントを具備するデ
ジタル・コード化された第二のデータ構造で、前記第一
のデータ構造は、前記第二のデータ構造を変更するため
に適応する前記第二のデータ構造とを具備するので、開
発及び統合、インストール及び管理、ファクトリー・モ
デリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡のための
ライフサイクル活動、及び生産結果を解析するためのラ
イフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しいファクト
リーオートメーションライフサイクルが供給される。生
産結果ライフサイクル活動の解析からの出力は、ファク
トリー・モデリング・ライフサイクル活動等の他のライ
フサイクル活動への入力を供給することができる。フレ
ームワーク・コンポーネントは、様々なライフサイクル
活動と関連する。
・コード化されたフレームワーク・コンポーネントを含
むファクトリーオートメーションライフサイクルを具備
するデジタル・コード化された第一のデータ構造と；及
びｂ）アプリケーション・コンポーネントを具備するデ
ジタル・コード化された第二のデータ構造で、前記第一
のデータ構造は、前記第二のデータ構造を変更するため
に適応する前記第二のデータ構造とを具備するので、開
発及び統合、インストール及び管理、ファクトリー・モ
デリング、生産計画、生産制御、監視及び追跡のための
ライフサイクル活動、及び生産結果を解析するためのラ
イフサイクル活動のためのＳＷを含む、新しいファクト
リーオートメーションライフサイクルが供給される。生
産結果ライフサイクル活動の解析からの出力は、ファク
トリー・モデリング・ライフサイクル活動等の他のライ
フサイクル活動への入力を供給することができる。フレ
ームワーク・コンポーネントは、様々なライフサイクル
活動と関連する。
【図１】図１は、従来のウェーハ・ファブ処理を図示し
たフロウチャートである。
たフロウチャートである。
【図２】図２は、従来のウェーハ・ファブ・スパッタリ
ング金属化処理を図示したフロウチャートである。
ング金属化処理を図示したフロウチャートである。
【図３】図３は、従来の装置時間状態を図示する積み重
ねチャートである。
ねチャートである。
【図４】図４は、図３に記載の積み重ねチャートの従来
の装置時間状態を図示するブロック図である。
の装置時間状態を図示するブロック図である。
【図５】図５は、図３に記載の積み重ねチャートの従来
の装置時間状態を図示するブロック図である。
の装置時間状態を図示するブロック図である。
【図６】図６は、本発明のファクトリーオートメーショ
ンライフサイクルを図示したブロック図である。
ンライフサイクルを図示したブロック図である。
【図７】図７は、本発明のフレームワーク・コンポーネ
ント間の相互干渉を示した図である。
ント間の相互干渉を示した図である。
【図８】図８は、本発明のコンポーネント・サーバを図
示するブロック図である。
示するブロック図である。
【図９】図９は、本発明のツール統合コンポーネントを
図示するブロック図である。
図示するブロック図である。
【図１０】図１０は、本発明の視覚的ワークフロウ・コ
ンポーネントからツール統合プログラムへのメッセージ
のシーケンスを示した図である。
ンポーネントからツール統合プログラムへのメッセージ
のシーケンスを示した図である。
２００ ファクトリーオートメーションライフサイクル
（ＦＡＬ） ２１０ ＳＷ開発及び統合ライフサイクル活動 ２２０ インストール及び管理ライフサイクル活動 ２３０ ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活
動 ２４０ 生産計画ライフサイクル活動 ２５０ 生産制御、監視及び追跡ライフサイクル活動 ２６０ 生産結果ライフサイクル活動の解析 ２７０ ＳＷ開発サイクル ２８０ モデリング・サイクル ２９０ 実行サイクル
（ＦＡＬ） ２１０ ＳＷ開発及び統合ライフサイクル活動 ２２０ インストール及び管理ライフサイクル活動 ２３０ ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活
動 ２４０ 生産計画ライフサイクル活動 ２５０ 生産制御、監視及び追跡ライフサイクル活動 ２６０ 生産結果ライフサイクル活動の解析 ２７０ ＳＷ開発サイクル ２８０ モデリング・サイクル ２９０ 実行サイクル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョン アラッカパラムビル アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94010 サン カーロス チェスナット ストリート 628−エル (72)発明者 トム チー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95127 サン ホセ サウス ブレイニー アベニュー 1023 (72)発明者 ビリー チョウ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94025 メンロ パーク オーク ハロウ ウェイ 75 (72)発明者 パトリック エム ドスーザ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94043 マウンテン ヴィュー イースト ストリート 302−95 (72)発明者 パーリス ホーキンズ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94566 プレザントン ベネディクト コ ート 1362 (72)発明者 チャールズ ヒューアン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94587 ユニオン シティー カーメル ウェイ 5874 (72)発明者 ジェット ジェンセン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95008 キャンベル マラソン ドライヴ 627 (72)発明者 バドリー エヌ クリシュナムルティー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94043 マウンテン ヴィュー イースト ストリート 302−16 (72)発明者 プラディープ エム クルカルニー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94087 サニーヴェイル グレコ アベニ ュー 1069 (72)発明者 プラカシュ エム クルカルニー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94086 サニーヴェイル サウス フェア オークス 655−3094 (72)発明者 ウェン フォン リン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95129 サン ホセ ビング ドライヴ 1381 (72)発明者 シャンター モハーン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94306 パロ アルト パークサイド ド ライヴ 261 (72)発明者 ビシュヌ ハンディー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94587 ユニオン シティー ケイプ ヴ ィュー ドライヴ 31381 (72)発明者 ヒューイ シン ユーアン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95014 クーパーティノ マックリントッ ク レーン 10319
Claims (69)
- 【請求項１】コンピュータ実行型ファクトリーオートメ
ーション・ライフサイクルを規定するための方法であっ
て： ａ） ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネ
ントを規定し、インストールし、及び管理する段階と； ｂ） ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動
フレームワーク・コンポーネントを規定する段階と；及
び ｃ） 生産制御、監視及び追跡ライフサイクル活動フレ
ームワーク・コンポーネントを規定する段階とを具備す
ることを特徴とする方法。 - 【請求項２】管理ライフサイクル活動フレームワーク・
コンポーネントを規定する段階は、セキュリティ・コン
ポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行
並びにライセンス管理コンポーネント、及びサガ管理コ
ンポーネントを含むグループから選択された一つ以上の
フレームワーク・コンポーネントを規定する段階を具備
することを特徴とする、請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】ファクトリー・モデリング・ライフサイク
ル活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階
は、コンテクスト・レゾリューション・コンポーネン
ト、構築管理コンポーネント及びカレンダ・コンポーネ
ントを含むグループから選択された一つ以上のフレーム
ワーク・コンポーネントを規定する段階を具備すること
を特徴とする、請求項１に記載の方法。 - 【請求項４】生産、制御、監視及び追跡ライフサイクル
活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階
は、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調
整コンポーネント、イベント監視コンポーネント及びリ
ソース表コンポーネントを含むグループから選択された
一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを規定する
段階を具備することを特徴とする、請求項１に記載の方
法。 - 【請求項５】生産結果ライフサイクル活動フレームワー
ク・コンポーネントの一つ以上の解析を規定するための
方法を追加的に具備する、請求項１に記載の方法。 - 【請求項６】生産結果ライフサイクル活動フレームワー
ク・コンポーネントの一つ以上の解析を規定する段階
は、データ・マネージャ・コンポーネントの規定を具備
することを特徴とする、請求項５に記載の方法。 - 【請求項７】一つ以上の生産結果ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネントと、ファクトリー・モデ
リング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポー
ネントを含むグループから選択されたコンポーネントと
の間の相互干渉を規定するための方法を追加的に規定す
ることを特徴とする、請求項５に記載の方法。 - 【請求項８】ＳＷ開発及び統合ライフサイクル活動を追
加的に規定することを特徴とする、請求項１の方法。 - 【請求項９】生産計画ライフサイクル活動を追加的に規
定することを特徴とする、請求項１に記載の方法。 - 【請求項１０】ファクトリーオートメーションライフサ
イクルを規定する段階は、集積回路構造を処理するため
のファクトリーオートメーションライフサイクルを規定
する段階を具備することを特徴とする、請求項１に記載
の方法。 - 【請求項１１】ファクトリーオートメーションライフサ
イクルを規定する段階はさらに、前記フレームワーク・
コンポーネントが、ツール統合コンポーネントと通信す
るために適応するように、フレームワーク・コンポーネ
ントを規定する段階を追加的に具備し、前記フレームワ
ーク・コンポーネントは、インストール及び管理ライフ
サイクル活動フレームワーク・コンポーネント、ファク
トリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワー
ク・コンポーネント、及び生産、制御、監視及び追跡ラ
イフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを含
むグループから選択されることを特徴とする、請求項１
に記載の方法。 - 【請求項１２】生産制御、監視及び追跡ライフサイクル
活動コンポーネントを規定する段階は、視覚的ワークフ
ロウ・コンポーネントを規定する段階を具備することを
特徴とする、請求項１１に記載の方法。 - 【請求項１３】ひとつ以上のコンピュータを含む処理シ
ステムを管理するための方法であって、 ａ） 一つ以上のコンピュータの手段によって一つ以上
のフレームワーク・ソフトウェア・コンポーネントを含
むファクトリーオートメーションライフサイクルをラン
させる段階と； ｂ） 前記システムを管理するための一つ以上のコンピ
ュータ実行型命令を供給するための一つ以上のアプリケ
ーション・ソフトウェア・コンポーネントをランさせる
段階であって、前記一つ以上のフレームワーク・コンポ
ーネントが、前記アプリケーション・コンポーネントを
管理するために適応する前記段階と； ｃ） 前記一つ以上の命令が、変更される必要があるか
を決定する段階と； ｄ） 前記命令が変更される必要がない場合に、前記一
つ以上の命令を前記システムに通信する段階と； ｅ） それによって変更された命令を形成する一つ以上
のフレームワーク・コンポーネントの手段によって、そ
れらが変更される必要がある場合に命令を変更する段階
と；及び ｆ） 前記変更された命令を前記システムに通信する段
階とを具備する方法。 - 【請求項１４】前記システムにおいて前記一つ以上の命
令を実行することによって、前記処理システムを管理す
る段階を追加的に具備することを特徴とする、請求項１
３に記載の方法。 - 【請求項１５】前記フレームワーク・コンポーネントの
一つ以上をランする段階は、セキュリティ・コンポーネ
ント、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行並びに
ライセンス管理コンポーネント、サガ管理コンポーネン
ト、コンテクスト・レゾリューション・コンポーネン
ト、構築管理コンポーネント、カレンダ・コンポーネン
ト、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調
整コンポーネント、イベント監視コンポーネント、リソ
ース表コンポーネント、及びデータ・マネージャ・コン
ポーネントを含むグループから選択された一つ以上のコ
ンポーネントをランさせる段階を具備することを特徴と
する、請求項１３に記載の方法。 - 【請求項１６】一つ以上のアプリケーション・コンポー
ネントをランさせる段階は、品質管理コンポーネント、
ツール統合コンポーネント、装置管理コンポーネント、
レシピ管理コンポーネント、発送並びにスケジュール・
コンポーネント、材料取り扱いコンポーネント、進行中
作業コンポーネント、及びレガシー・システム・インタ
ーフェース・コンポーネントを含むグループから選択さ
れた一つ以上のコンポーネントをランさせる段階を具備
することを特徴とする、請求項１３に記載の方法。 - 【請求項１７】通信段階は、ツール統合コンポーネント
の手段によって通信する段階を具備することを特徴とす
る、請求項１３に記載の方法。 - 【請求項１８】通信段階は、 ａ） ツール・インターフェース・プログラムと；及び ｂ） ツール統合コンポーネント・アダプタとの手段に
よる通信段階を具備することを特徴とする、請求項１７
に記載の方法。 - 【請求項１９】前記一つ以上のコンピュータ実行型命令
は、視覚的フレームワーク・コンポーネント命令である
ことを特徴とする、請求項１７に記載の方法。 - 【請求項２０】サーバ構築ビルディング・ブロック、持
続性ビルディング・ブロック、共通ＧＵＩ制御ビルディ
ング・ブック、パブリッシュ・サブスクライブ・メッセ
ージ・ビルディング・ブロック、ダイナミックＡＰＩ発
見ビルディング・ブロック、関連ビルディング・ブロッ
ク、履歴ビルディング・ブロック、汎用サービス実行者
ビルディング・ブロック、分類ビルディング・ブロッ
ク、顧客規定属性ビルディング・ブロック、状態モデル
・ビルディング・ブロック、ネーム空間ビルディング・
ブロック、スケジュール／デートブック・ビルディング
・ブロック、テンプレート・ビルディング・ブロック、
変形オブジェクト・ビルディング・ブロック、及びナビ
ゲーション・ビルディング・ブロックを含むグループか
ら選択されたひとつ以上のソフトウェア・ビルディング
・ブロックの手段によって、一つ以上のフレームワーク
・コンポーネントを形成する段階を追加的に具備するこ
とを特徴とする、請求項１３に記載の方法。 - 【請求項２１】一つ以上のフレームワーク・コンポーネ
ントをランさせる段階は、前記一つ以上のフレームワー
ク・コンポーネントの一つのデータ構造を、フレームワ
ーク・コンポーネント及びアプリケーション・コンポー
ネントを含むグループから選択された前記一つ以上のコ
ンポーネントの一つのデータ構造に通信する手段を追加
的に具備することを特徴とする、請求項１３に記載の方
法。 - 【請求項２２】前記命令を変更する段階は、データを入
力する段階を具備することを特徴とする、請求項１３に
記載の方法。 - 【請求項２３】処理システムを管理する段階は、集積回
路構造を処理するためのシステムを管理する段階を具備
することを特徴とする、請求項１３に記載の方法。 - 【請求項２４】前記システムは、一つ以上のウェーハ組
み立てツールを具備することを特徴とする、請求項２３
に記載の方法。 - 【請求項２５】ソフトウェア・ウレームワークを装置に
リンクするための方法であって、 ａ） ツール・インターフェース・プログラムと；及び ｂ） ツール統合コンポーネント・アダプタとを含むツ
ール統合コンポーネントの手段によってリンクする段階
を具備する方法。 - 【請求項２６】リンク段階は、 ａ） 前記一つ以上のフレームワーク・コンポーネント
と； ｂ） 前記ツール統合コンポーネント・アダプタと；及
び ｃ） 前記ツール・インターフェース・プログラムとの
間のメッセージの交換段階を具備することを特徴とす
る、請求項２５に記載の方法。 - 【請求項２７】前記一つ以上のフレームワーク・コンポ
ーネントは、視覚的ワークフロウ・コンポーネントを具
備することを特徴とする、請求項２６に記載の方法。 - 【請求項２８】製品を処理するための方法であって、 ａ） 前記製品を処理するための仕様を決定する段階
と；及び ｂ） （１）一つ以上のフレームワーク・コンポーネン
トを有するファクトリーオートメーションライフサイク
ルと（２）前記フレームワーク・コンポーネントが、前
記アプリケーション・コンポーネントを管理するために
適応する一つ以上のコンポーネントとを含む分散型ファ
クトリー・システム・フレームワークの手段によって、
前記処理を管理する段階とを具備する方法。 - 【請求項２９】管理段階は： ａ） 前記仕様に適合するために、前記分散型ファクト
リー・システム・フレームワークが変更される必要があ
るかを決定する段階と；及び ｂ） 前記分散型ファクトリー・システム・フレームワ
ークが変更される必要がある場合、一つ以上のアプリケ
ーション・コンポーネントを変更する段階とを追加的に
具備することを特徴とする、請求項２８に記載の方法。 - 【請求項３０】変更段階は、データを入力する段階を具
備することを特徴とする請求項２９に記載の方法。 - 【請求項３１】管理段階は、一つ以上のソフトウェア・
ビルディング・ブロックの手段によって、一つ以上のフ
レームワーク・コンポーネントを形成する段階を追加的
に具備することを特徴とする、請求項２８に記載の方
法。 - 【請求項３２】管理段階は： ａ） 前記一つ以上のアプリケーション・コンポーネン
トの手段によって、管理のための一つ以上のコンピュー
タ実行型命令を形成する段階と； ｂ） 前記一つ以上の命令を、前記製品を処理するため
の装置に通信する段階と；及び ｃ） 前記一つ以上の命令を前記装置で実行する段階と
を追加的に具備することを特徴とする、請求項２８に記
載の方法。 - 【請求項３３】通信段階は、ツール統合コンポーネント
の手段による通信段階を具備し、前記ツール統合コンポ
ーネントは：（１）ツール統合コンポーネント・アダプ
タ及び （２）ツール・インターフェース・プログラムを具備す
ることを特徴とする、請求項３２に記載の方法。 - 【請求項３４】製品を処理する段階は、集積回路構造を
処理する段階を具備することを特徴とする、請求項２８
に記載の方法。 - 【請求項３５】ウェーハ・ファブ・ランを開始するため
の方法であって： ａ） 前記ウェーハ・ファブ・ランを処理するための処
理段階のシーケンスを決定する段階と； ｂ） （１）フレームワーク・コンポーネント及び
（２）アプリケーション・コンポーネントを有する分散
型ファクトリー・システム・フレームワークに含まれる
視覚的ワークフロウ・コンポーネントにおいて、前記シ
ーケンスを規定するワークフロウを形成する段階と；及
び ｃ） 進行中作業管理コンポーネント又はＧＵＩコンソ
ール・コンポーネントの中のＧＵＩであるサービスの手
段によって、前記視覚的ワークフロウ・コンポーネント
がランを開始するように要求する段階とを具備する方
法。 - 【請求項３６】製品を処理するための装置であって、 ａ） 製品処理装置と； ｂ） 少なくとも一つの電子データ処理のための中央処
理装置と； ｃ） 前記中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能
にリンクするためのリンクと； ｄ） デジタル・コード化されたデータ構造を記録する
ためのメモリであって、前記少なくとも一つの中央処理
装置に動作可能にリンクされるメモリと；及び ｅ） データ構造は：（１）管理ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネントと、（２）ファクトリー
・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コ
ンポーネントと、及び（３）生産制御及び追跡ライフサ
イクル活動フレームワーク・コンポーネントとを含むフ
ァクトリーオートメーションライフサイクルを具備する
ことを特徴とする、メモリに記録されたデジタル・コー
ド化された第一のデータ構造とを具備する装置。 - 【請求項３７】前記管理ライフサイクル活動フレームワ
ーク・コンポーネントは、セキュリティ・コンポーネン
ト、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行並びにラ
イセンス管理コンポーネント及びサガ管理コンポーネン
トを含むグループから選択された一つ以上のフレームワ
ーク・コンポーネントを具備することを特徴とする、請
求項３６に記載の装置。 - 【請求項３８】前記ファクトリー・モデリング・ライフ
サイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、コン
テクスト・レゾリューション・コンポーネント、構築管
理コンポーネント及びカレンダ・コンポーネントを含む
グループから選択されたひとつ以上のフレームワーク・
コンポーネントを具備することを特徴とする、請求項３
６に記載の装置。 - 【請求項３９】生産制御及び追跡ライフサイクル活動フ
レームワーク・コンポーネントは、視覚的ワークフロウ
・コンポーネント、リソース調整コンポーネント、イベ
ント監視コンポーネント及びリソース表コンポーネント
を含むグループから選択された一つ以上のフレームワー
ク・コンポーネントを具備することを特徴とする、請求
項３６に記載の装置。 - 【請求項４０】生産結果ライフサイクル活動フレームワ
ーク・コンポーネントの一つ以上の解析を追加的に具備
することを特徴とする、請求項３６に記載の装置。 - 【請求項４１】生産結果ライフサイクル活動フレームワ
ーク・コンポーネントの前記一つ以上の解析は、データ
・マネージャ・コンポーネントを具備することを特徴と
する、請求項４０に記載の装置。 - 【請求項４２】アプリケーション・コンポーネントを含
むデジタル・コード化された第二のデータ構造を追加的
に具備し、前記第一のデータ構造は前記第二のデータ構
造を管理するために適応することを特徴とする、請求項
３６に記載の装置。 - 【請求項４３】前記フレームワーク・コンポーネントの
一つ以上を形成するためのソフトウェア・ビルディング
・ブロックを含むデジタル・コード化された第三のデー
タ構造を追加的に具備する、請求項４２に記載の装置。 - 【請求項４４】前記第一のデータ構造は： ａ） ＧＵＩコンソール・コンポーネントを含むデジタ
ル・コード化された第四のデータ構造と；及び ｂ） 構築管理コンポーネントを含むデジタル・コード
化された第五のデータ構造とを具備することを特徴とす
る、請求項３６に記載の装置。 - 【請求項４５】前記第四の及び第五のデータ構造は、相
互干渉のために適応することを特徴とする、請求項４４
に記載の装置。 - 【請求項４６】前記リンクは：（１）ツール統合コンポ
ーネント・アダプタと及び（２）ツール・インターフェ
ース・プログラムとを含むツール統合コンポーネントを
具備することを特徴とする、請求項３６に記載の装置。 - 【請求項４７】集積回路構造を処理するための装置を具
備することを特徴とする、請求項３６に記載の装置。 - 【請求項４８】製品を処理するための装置であって、 ａ） 製品処理装置と； ｂ） 少なくとも一つの電子データ処理のための中央処
理装置と； ｃ） 前記中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能
にリンクするためのリンクと； ｄ） デジタル・コード化されたデータ構造を記録する
ためのメモリであって、前記少なくとも一つの中央処理
装置に動作可能にリンクされるメモリと；及び ｅ） 前記製品処理を管理するための分散型ファクトリ
ー・システム・フレームワークであって：（１）デジタ
ル・コード化されたフレームワーク・コンポーネントを
含むファクトリーオートメーションライフサイクルを含
む、デジタル・コード化された第一のデータ構造と、
（２）デジタル・コード化された命令を前記処理装置に
通信するように適応したアプリケーション・コンポーネ
ントを具備するデジタル・コード化された第二のデータ
構造であって、前記第一のデータ構造は前記第二のデー
タ構造を管理するように適応する前記第二のデータ構造
と、及び（３）前記デジタル・コード化された命令を前
記処理装置に通信するためのリンクとを具備する分散型
ファクトリー・システム・フレームワークとを具備する
装置。 - 【請求項４９】集積回路構造を処理するための装置を具
備することを特徴とする、請求項４８に記載の装置。 - 【請求項５０】処理システムを管理するための分散型フ
ァクトリー・システム・フレームワークであって： ａ） デジタル・コード化されたフレームワーク・コン
ポーネントを具備するデジタル・コード化された第一の
データ構造と； ｂ） デジタル・コード化された命令を前記処理システ
ムに通信するように適応したアプリケーション・コンポ
ーネントを具備するデジタル・コード化された第二のデ
ータ構造で、前記第一のデータ構造は、前記第二のデー
タ構造を管理するように適応する前記第二のデータ構造
と；及び ｃ） 前記デジタル・コード化された命令を前記処理シ
ステムに通信するためのリンクとを具備する分散型ファ
クトリー・システム・フレームワーク。 - 【請求項５１】前記フレームワーク・コンポーネント
は、セキュリティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール
・コンポーネント、実行並びにライセンス管理コンポー
ネント、サガ管理コンポーネント、コンテクスト・レゾ
リューション・コンポーネント、構築管理コンポーネン
ト、カレンダ・コンポーネント、視覚的ワークフロウ・
コンポーネント、リソース調整コンポーネント、イベン
ト監視コンポーネント、リソース表コンポーネント、及
びデータ・マネージャ・コンポーネントを含むグループ
から選択された一つ以上のコンポーネントを具備するこ
とを特徴とする、請求項５０に記載の分散型ファクトリ
ー・システム・フレームワーク。 - 【請求項５２】前記アプリケーション・コンポーネント
は、品質管理コンポーネント、ツール統合コンポーネン
ト、装置管理コンポーネント、レシピ管理コンポーネン
ト、発送並びにスケジュール・コンポーネント、材料取
り扱いコンポーネント、進行中作業コンポーネント、及
びレガシー・システム・インターフェース・コンポーネ
ントを含むグループから選択された一つ以上のコンポー
ネントを具備することを特徴とする、請求項５０に記載
の分散型ファクトリー・システム・フレームワーク。 - 【請求項５３】前記リンクは、ツール統合コンポーネン
トを含む第四のデータ構造を具備することを特徴とす
る、請求項５０に記載の分散型ファクトリー・システム
・フレームワーク。 - 【請求項５４】前記第四のデータ構造は： ａ） ツール・インターフェース・プログラム第五デー
タ構造と；及び ｂ） ツール統合コンポーネント・アダプタ第六データ
構造とを具備することを特徴とする、請求項５３に記載
の分散型ファクトリー・システム・フレームワーク。 - 【請求項５５】サーバ構築ビルディング・ブロック、持
続性ビルディング・ブロック、共通ＧＵＩ制御ビルディ
ング・ブック、パブリッシュ・サブスクライブ・メッセ
ージ・ビルディング・ブロック、ダイナミックＡＰＩ発
見ビルディング・ブロック、関連ビルディング・ブロッ
ク、履歴ビルディング・ブロック、汎用サービス実行者
ビルディング・ブロック、分類ビルディング・ブロッ
ク、顧客規定属性ビルディング・ブロック、状態モデル
・ビルディング・ブロック、ネーム空間ビルディング・
ブロック、スケジュール／デートブック・ビルディング
・ブロック、テンプレート・ビルディング・ブロック、
変形オブジェクト・ビルディング・ブロック、及びナビ
ゲーション・ビルディング・ブロックを含むグループか
ら選択されたひとつ以上のソフトウェア・ビルディング
・ブロックを追加的に具備することを特徴とする、請求
項５０に記載の方法。 - 【請求項５６】ａ） 管理ライフサイクル活動フレーム
ワーク・コンポーネントと； ｂ） ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動
フレームワーク・コンポーネントと；及び ｃ） 生産制御及び追跡ライフサイクル活動フレームワ
ーク・コンポーネントとを有するファクトリーオートメ
ーションライフサイクルを含むデジタル・コード化され
た第一のデータ構造を具備するデータ記憶装置。 - 【請求項５７】前記管理ライフサイクル活動フレームワ
ーク・コンポーネントは、セキュリティ・コンポーネン
ト、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行並びにラ
イセンス管理コンポーネント、及びサガ管理コンポーネ
ントを具備するグループから選択された一つ以上のフレ
ームワーク・コンポーネントを具備することを特徴とす
る請求項５６に記載の装置。 - 【請求項５８】前記ファクトリー・モデリング・ライフ
サイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、コン
テクスト・レゾリューション・コンポーネント、構築管
理コンポーネント、及びカレンダ・コンポーネントを具
備するグループから選択された一つ以上のフレームワー
ク・コンポーネントを具備することを特徴とする、請求
項５６に記載の装置。 - 【請求項５９】前記生産制御並びに追跡ライフサイクル
活動フレームワーク・コンポーネントは、視覚的ワーク
フロウ・コンポーネント、リソース調整コンポーネン
ト、イベント監視コンポーネント、及びリソース表コン
ポーネントを具備するグループから選択された一つ以上
のフレームワーク・コンポーネントを具備することを特
徴とする、請求項５６に記載の装置。 - 【請求項６０】生産結果ライフサイクル活動フレームワ
ーク・コンポーネントの一つ以上の解析を追加的に具備
することを特徴とする、請求項５６に記載の装置。 - 【請求項６１】前記生産結果ライフサイクル活動フレー
ムワーク・コンポーネントの一つ以上の解析は、データ
・マネージャ・コンポーネントを具備することを特徴と
する請求項６０に記載の装置。 - 【請求項６２】ＧＵＩコンソール・フレームワーク・コ
ンポーネントと相互干渉するために適応する複数のフレ
ームワーク・コンポーネントを具備することを特徴とす
る、請求項５６に記載の装置。 - 【請求項６３】アプリケーション・コンポーネントを含
むデジタル・コード化された第二のデータ構造を追加的
に具備し、前記第一のデータ構造は、前記第二のデータ
構造を管理するために適応することを特徴とする、請求
項５６に記載の装置。 - 【請求項６４】前記フレームワーク・コンポーネントの
一つ以上を形成するためのソフトウェア・ビルディング
・ブロックを含むデジタル・コード化された第三のデー
タ構造を追加的に具備することを特徴とする、請求項６
３に記載の装置。 - 【請求項６５】前記第一の、第二の、及び第三のデータ
構造は、集積回路構造を処理するために適応することを
特徴とする、請求項６４に記載の装置。 - 【請求項６６】ａ） デジタル・コード化されたフレー
ムワーク・コンポーネントを含むファクトリーオートメ
ーションライフサイクルを具備するデジタル・コード化
された第一のデータ構造と；及び ｂ） アプリケーション・コンポーネントを具備するデ
ジタル・コード化された第二のデータ構造で、前記第一
のデータ構造は、前記第二のデータ構造を変更するため
に適応する前記第二のデータ構造とを具備するデータ記
憶装置。 - 【請求項６７】前記フレームワーク・コンポーネント
は、セキュリティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール
・コンポーネント、実行並びにライセンス管理コンポー
ネント、サガ管理コンポーネント、コンテクスト・レゾ
リューション・コンポーネント、構築管理コンポーネン
ト、カレンダ・コンポーネント、視覚的ワークフロウ・
コンポーネント、リソース調整コンポーネント、イベン
ト監視コンポーネント、リソース表コンポーネント、及
びデータ・マネージャ・コンポーネントを具備するグル
ープから選択された一つ以上のコンポーネントを具備す
ることを特徴とする、請求項６６に記載の装置。 - 【請求項６８】前記アプリケーション・コンポーネント
は、品質管理コンポーネント、ツール統合コンポーネン
ト、装置管理コンポーネント、レシピ管理コンポーネン
ト、発送並びにスケジュール・コンポーネント、材料取
り扱いコンポーネント、進行中作業コンポーネント、及
びレガシー・システム・インターフェース・コンポーネ
ントを具備するグループから選択された一つ以上のコン
ポーネントを具備することを特徴とする、請求項６６に
記載の装置。 - 【請求項６９】サーバ構築ビルディング・ブロック、持
続性ビルディング・ブロック、共通ＧＵＩ制御ビルディ
ング・ブック、パブリッシュ・サブスクライブ・メッセ
ージ・ビルディング・ブロック、ダイナミックＡＰＩ発
見ビルディング・ブロック、関連ビルディング・ブロッ
ク、履歴ビルディング・ブロック、汎用サービス実行者
ビルディング・ブロック、分類ビルディング・ブロッ
ク、顧客規定属性ビルディング・ブロック、状態モデル
・ビルディング・ブロック、ネーム空間ビルディング・
ブロック、スケジュール／デートブック・ビルディング
・ブロック、テンプレート・ビルディング・ブロック、
変形オブジェクト・ビルディング・ブロック、及びナビ
ゲーション・ビルディング・ブロックを含むグループか
ら選択されたひとつ以上のソフトウェア・ビルディング
・ブロックを含む、デジタル・コード化された第三のデ
ータ構造を追加的に具備することを特徴とする、請求項
６６に記載の装置。
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|---|---|---|---|
| US09/363,966 US7069101B1 (en) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | Computer integrated manufacturing techniques |
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|---|---|
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ID=23432479
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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