KR100804287B1 - 복수의 프로세스 제어기를 통합하는 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

제조 시스템 제어 방법은 복수의 툴들(120, 125)로 피가공물들들을 프로세스하는 단계; 상기 복수의 툴들(120, 125) 중 선택된 툴(120, 125)에 대한 기준선 제어 스크립트(152, 154)를 초기화하는 단계; 상기 기준선 제어 스크립트(152, 154)에 문맥 정보를 제공하는 단계; 상기 문맥 정보에 기초해서 툴 유형을 결정하는 단계; 상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴(120, 125)에 대한 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계; 상기 문맥 정보에 기초해서 상기 제어 루틴들의 그룹으로부터, 요구되는 제어 루틴들을 결정하는 단계; 및 상기 선택된 툴(120, 125)에 대한 제어 액션들을 발생하기 위해 상기 요구된 제어 루틴들을 실행하는 단계를 포함한다. 제조 시스템은 피가공물들들을 프로세스하는 복수의 툴들(120, 125), 제어 실행 관리자(150) 및 제어 실행기(220)를 포함한다. 상기 제어 실행 관리자(150)는 상기 복수의 툴들(120, 125) 중 선택된 툴(120, 125)에 대한 기준선 제어 스크립트(152, 154)를 초기화하고 상기 기준선 제어 스크립트(152, 154)에 문맥 정보를 제공한다. 상기 제어 실행기(220)는 상기 기준선 제어 스크립트(152, 154)를 실행하고, 상기 문맥 정보에 기초해서 툴 유형을 결정하고, 상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴(120, 125)에 대한 제어 루틴들의 그룹을 선택하고, 상기 문맥 정보에 기초해서 상기 제어 루틴들의 그룹으로부터, 요구되는 제어 루틴들을 결정하며, 상기 선택된 툴(120, 125)에 대한 제어 루틴들을 발생하기 위해 상기 요구된 제어 루틴들을 실행한다.
제조 시스템, 피가공물들, 툴, 기준선 제어 스크립트, 문맥 정보, 제어 실행 관리기, 제어 실행기

Description

복수의 프로세스 제어기를 통합하는 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR INTEGRATING MULTIPLE PROCESS CONTROLLERS}
본 발명은 일반적으로 반도체 디바이스 제조 분야에 관한 것이며, 특히 복수의 프로세스 제어기를 통합하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
반도체 산업에서는 예를 들어 마이크로프로세서, 메모리 디바이스 등의 집적회로 디바이스의 품질, 신뢰성 및 처리량을 증가시키기 위한 지속적인 추세에 있다. 이러한 추세는 보다 신뢰성 있게 동작하는 고품질의 컴퓨터 및 전자 디바이스에 대한 소비자 수요에 의해 촉진되고 있다. 이러한 수요로 인해 반도체 디바이스, 예를 들어 트랜지스터의 제조뿐만 아니라, 그러한 트랜지스터가 합체된 집적회로 디바이스의 제조에 있어서 지속적인 향상이 이루어져 왔다. 또한, 통상적인 트랜지스터의 콤포넌트의 제조 상의 결점을 줄이는 것 역시 트랜지스터당 총비용뿐만 아니라 그러한 트랜지스터가 합체된 집적회로 디바이스의 비용을 줄인다.
일반적으로, 일련의 프로세싱 단계들은 포토리소그래피 스테퍼, 에칭 툴, 증착 툴, 폴리싱 툴, 급속 열 프로세싱 툴, 주입 툴 등을 포함하는 다양한 프로세싱 툴을 사용해서 복수의 웨이퍼 상에서 수행된다. 반도체 프로세싱 툴의 기초가 되는 기술은 지난 수년간 많은 주목을 받았으며, 그 결과 상당한 개선이 이루어졌다. 그 렇지만, 이 분야에서 이루어진 진보에도 불구하고, 현재 시판되고 있는 많은 프로세싱 툴은 일부 결함이 있다. 특히, 이러한 툴은 종종 내력 파라메트릭 데이터(historical parametric data)를 사용하기 쉬운 방식으로 제공하는 능력뿐만 아니라, 이벤트 로깅(event logging), 현재의 프로세싱 파라미터와 전체 실행의 프로세싱 파라미터 양자에 대한 실시간 그래픽 디스플레이, 및 원격 (즉, 로컬 사이트와 월드와이드) 모니터링과 같은, 고도의 프로세스 데이터 모니터링 성능(advanced process data monitoring capabilities)이 결여되어 있다. 이러한 결함은 처리량, 정밀성, 안정성 및 신뢰성과 같은 임계 프로세싱 파라미터(critical processing parameters), 프로세싱 온도, 및 기계적 툴 파라미터 등에 대한 적절치 못한 제어를 야기할 수 있다. 이러한 가변성은 제품 품질 및 성능에 있어서 편차를 유발할 수 있는 런중의 불일치(within-run disparities), 런간의 불일치(run-to-run disparities) 및 툴간의 불일치(tool-to-tool disparities)로서 나타내는 바, 그러한 툴에 대한 이상적인 모니터링 및 진단 시스템은 이러한 가변성을 모니터링하는 수단을 제공할 뿐만 아니라, 임계 파라미터의 제어를 최적화하는 수단을 제공할 수 있을 것이다.
반도체 프로세싱 라인의 동작을 개선하는 한 기술은 공장 전역 제어 시스템(factory wide control system)을 사용하여 다양한 프로세싱 툴의 동작을 자동으로 제어하는 것을 포함한다. 제조 툴은 제조 프레임워크나 프로세싱 모듈의 네트워크와 통신한다. 장비 인터페이스는 머신 인터페이스와 연결되어 있고 이 머신 인터페이스는 제조 툴과 제조 프레임워크간의 통신을 용이하게 한다. 머신 인터페 이스는 일반적으로 개량형 프로세스 제어(APC) 시스템의 일부가 될 수 있다. APC 시스템은 제조 모델에 기초해서 제어 스크립트를 초기화하며, 상기 제조 모델은 제조 프로세스를 실행하는 데 필요한 데이터를 자동으로 검색하는 소프트웨어 프로그램이 될 수 있다. 종종, 반도체 디바이스들은 복수의 프로세스를 위한 복수의 제조 툴을 거치게 되며, 이 툴들은 프로세스된 반도체 디바이스들의 품질에 관한 데이터를 발생한다.
제조 프로세스 동안, 제조되는 디바이스의 성능에 영향을 미치는 다양한 이벤트가 발생할 수 있다. 즉, 제조 프로세스 단계에서의 편차에 의해 디바이스 성능에 편차를 일으킨다. 배선폭의 임계 치수, 도핑 레벨, 접촉 저항, 입자 오염 등과 같은 요인들은 모두 디바이스의 최종 성능에 잠재적으로 영향을 미칠 수 있다. 프로세싱 라인에서의 다양한 툴은 프로세싱 편차를 감소시키도록 성능 모델에 따라 제어된다. 일반적으로 제어 툴은 포토리소그래피 스테퍼, 폴리싱 툴, 에칭 툴, 및 증착 툴을 포함한다. 프리-프로세싱(pre-processing) 계측 데이터 및/또는 포스트-프로세싱(post-processing) 계측 데이터가 상기 툴에 대한 프로세스 제어기들에 제공된다. 프로세싱 시간과 같은 동작 레시피(operating recipe) 파라미터가 가능한 한 목표값에 가까운 포스트-프로세싱 결과를 얻기 위한 목적으로 성능 모델과 계측 정보에 기초해서 프로세스 제어기에 의해 계산된다. 이러한 방식으로 편차를 감소시킴으로써 처리량을 증가시키고 비용을 줄이며 디바이스 성능을 높이는 바, 이들 모두는 수익성의 증가에 필적한다.
구성 제어 및 효율에 관한 문제들이 공장-전역 APC 시스템과 같은 분산 컴퓨 팅 환경에서 많아 나타나고 있다. 일반적으로, 많은 소프트웨어 개발자들은 프로세스 제어기를 구성하기 위해 제어 코드를 기록한다. 어떤 특정 개발자는 소정 유형의 제어기들을 개발하는데 광범위하게 일하기도 한다. 각 개발자들은 고유한 프로그래밍 스타일을 가지고 스스로 생성한 루틴에 의존하는 것이 일반적이다. 예를 들어, 각 개발자는 데이터베이스나 APC 프레임워크 내의 다른 엔티티(other entities)와 인터페이스하여 다양한 수학적 기능 및 기본적인 유틸리티 기능을 수행하는 일련의 루틴을 가질 수 있다.
이러한 방식과 관련된 한가지 문제는 프로세스 제어 스크립트들간에 일관성이 거의 없다는 것이다. 많은 수의 주문식 스크립트(custom scripts) 역시 구성 제어 문제와 효율성 문제를 나타낸다. 개발자들은 아마도 다른 개발자가 생성한 다른 유형의 프로세스 제어기용으로서, 이미 개발된 코드를 복사하는 데 상당한 시간을 소비할 수 있다. 비표준화된 코드를 디버깅하는 것 역시 많은 시간을 소비하고 효율성을 더욱 떨어뜨린다.
본 발명은 전술한 문제들 중 하나 이상의 영향을 극복하거나 적어도 감소시키는 것에 관한 것이다.
본 발명의 한 양상은 제조 시스템을 제어하는 방법에서 보여진다. 상기 방법은 복수의 툴들로 피가공물들들을 프로세스하는 단계; 상기 복수의 툴들 중 선택된 툴에 대한 기준선 제어 스크립트(baseline control script)를 초기화하는 단계; 상기 기준선 제어 스크립트에 문맥 정보를 제공하는 단계; 상기 문맥 정보에 기초해 서 툴 유형을 결정하는 단계; 상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴에 대한 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계; 상기 문맥 정보에 기초해서 상기 제어 루틴들의 그룹으로부터, 요구되는 제어 루틴들을 결정하는 단계; 및 상기 선택된 툴에 대한 제어 액션들을 발생하기 위해 상기 요구된 제어 루틴들을 실행하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 양상은 피가공물들들을 프로세스하는 복수의 툴들, 제어 실행 관리기 및 제어 실행기를 포함하는 제조 시스템에서 보여진다. 상기 제어 실행 관리기는 상기 복수의 툴들에 대한 기준선 제어 스크립트를 초기화하고 상기 기준선 제어 스크립트에 문맥 정보를 제공한다. 상기 실행기는 상기 기준선 제어 스크립트를 실행하고, 상기 문맥 정보에 기초해서 툴 유형을 결정하고, 상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴에 대한 제어 루틴들의 그룹을 선택하고, 상기 문맥 정보에 기초해서 상기 제어 루틴들의 그룹으로부터, 요구되는 제어 루틴들을 결정하며, 상기 선택된 툴에 대한 제어 루틴들을 발생하기 위해 상기 요구된 제어 루틴들을 실행한다.
본 발명은 첨부된 도면과 함께 서술되는 이하의 설명과 관련해서 이해될 수 있을 것이며, 도면에서 동일한 도면 부호는 동일한 소자를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 하나의 예시적인 실시예에 따른 개량형 프로세스 제어(APC) 시스템에 대한 개략 블록도.
도 2는 도 1의 시스템에서의 기준선 제어 스크립트와 다양한 공유 기준선 라 이브러리 사이의 링크를 나타내는 블록도.
도 3은 기준선 프로세스 스크립트의 조직을 나타내는 개략 블록도.
도 4는 기준선 계측 스크립트의 조직을 나타내는 개략 블록도.
도 5는 복수의 제어기 기준선 프로세스 스크립트의 조직을 나타내는 개략 블록도.
도 6은 본 발명의 다른 예시적 실시예에 따른 복수의 제어기들을 집적하는 방법에 대한 개략 흐름도.
본 발명은 다양한 수정들과 변형들을 갖지만, 본원에서는 특정 실시예들을 예시적으로 도면들에 도시하여 상세하게 설명하였다. 그러나, 이러한 특정 실시예들은 본 발명을 개시된 특정 형태들로만 한정하지 않음을 이해해야 한다. 본 발명은 첨부된 청구항들에 의해 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 수정물, 등가물 및 대안들을 포함한다.
하기에 본 발명의 예시적인 실시예들이 설명된다. 명확함을 위하여, 본 발명에서는 실제 구현 시의 모든 특징들을 다 설명하지는 않다. 물론, 어떠한 실제 실시예의 전개에 있어서, 실행마다 변하게 되는 시스템 관련 및 사업 관련 제약들과의 호환성과 같은 개발자의 특정한 목표들을 달성하기 위해서는 많은 실시별 특정한 결정들이 이루어져야 한다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, 이러한 개발 노력은 복잡하고 시간 소모적이기는 하지만, 그럼에도 불구하고 본원의 개시의 이익을 갖는 당업자에게 있었서는 일상적인 일이라는 것을 알 수 있을 것이다.
도면들에 관하여, 먼저 도 1을 참조하면, 개량형 프로세스 제어(APC) 시스템(100)의 개략 블록도가 도시되어 있다. APC 시스템(100)은 런간 제어 및 결함 검출/분류를 할 수 있는 교환가능의 표준화된 소프트웨어 콤포넌트의 분산 소프트웨어 시스템이다. 상기 소프트웨어 콤포넌트는 반도체 장비 및 재료 국제(Semiconductor Equipment and Material International)(SEMI) 반도체 집적 제조(CIM) 프레임워크 호환 시스템 기술 사양서 및 개량형 프로세스 제어(APC) 프레임워크에 기초해서 아키텍처 표준을 구현한다. CIM(SEMI E81-0699 - CIM 프레임워크 도메인 아키텍처를 위한 예비 사양서) 및 APC(SEMI E93-0999 - CIM 프레임워크 개량형 프로세스 제어 콤포넌트를 위한 예비 사양서) 사양서들은 SEMI로부터 공중에게 이용가능하다. 이 특별한 아키텍처는 객체 지향 프로그래밍을 활용하는 소프트웨어에 많이 의존하며 객체 관리 그룹(Object Management Group's)(OMG) 공통 객체 요청 브로커 아키텍처(Common Object Request Broker Architecture)(CORBA) 및 분산 객체 시스템(distributed object systems)을 위한 CORBA_Services 사양서를 사용한다. OMG CORBA 아키텍처를 위한 정보 및 사양서 역시 용이하게 공중에게 이용가능하다. 여기에 서술된 바와 같은 APC 시스템(100)의 기능들을 수행할 수 있는 예시적인 소프트웨어 시스템은 KAL-Tensor, Inc에 의해 제공되는 카탈리스트 시스템(Catalyst system)이다.
상기 콤포넌트들은 CORBA 인터페이스 정의 언어(Interface Definition Language)(IDL)를 사용해서 서로 통신하며 공통 세트의 서비스에 따라 자신들의 상호작용을 지원한다. 표준 세트의 분산-객체 서비스는 OMG에 의해 정의된다. 이러한 서비스 중에는 다음과 같은 것들이 있다.
CORBA - 모든 직접적인 콤포넌트간 상호작용에 사용되는, 표준에 기반한 통신 프로토콜. 표준 인터페이스들은 객체 지향의 원격 호출(remote invocation) 통신 모델에 따라 정의될 수 있다. 이러한 인터페이스들 및 모든 APC 통신은 IDL을 사용해서 정의된다. 콤포넌트들은 서로의 인터페이스를 통해 동작들을 호출함으로써 통신한다. 데이터는 동작 파라미터들 및 복귀값들로서 콤포넌트들간에 전달된다.
OMG 이벤트 서비스 - 콤포넌트들간의 비동기 통신을 지원한다. 많은 APC 객체는 자신들이 상태를 변화시킬 때 이벤트들을 생성한다. 이러한 이벤트들은 관심 있는 이벤트 가입자들에 의해 수신된다. APC 시스템 내에서 이벤트 사용의 예로는 (에러 상태를 포함하는) 통신 콤포넌트 상태, 결함 검출 및 분류 소프트웨어에 의해 검출되는 결함 경고 통지, 및 머신 상태와 수집된 데이터에 대한 보고가 있지만, 이에 제한되지는 않는다.
OMG 거래 서비스 - 콤포넌트가 상호작용할 다른 콤포넌트를 찾을 수 있게 해준다. 콤포넌트가 설치되면, 그 서비스들에 대한 설명(서비스 제안)이 거래 서비스에 전해진다. 다른 콤포넌트는 소정의 범주에 해당하는 서비스 제공자의 목록을 나중에 요청할 수 있다. 거래 서비스는 그 요청된 서비스를 제공할 수 있는 다른 콤포넌트의 목록을 공급한다. 이러한 성능은 콤포넌트 스타트업(component startup) 시에 사용되어, 하나의 콤포넌트가 상호작용해야 할 다른 콤포넌트를 찾을 수 있게 해준다. 또한 계획 스타트업(Plan Startup) 시에 사용되어, 계획 실행 콤포넌트가 성능 제공자(Capability Providers)를 찾아야 할 때 계획에 지정된 그 요청된 성능들을 제공한다.
이러한 서비스들은 당분야에 잘 알려져 있다. OMG의 CORBA/IIOP 사양서 문헌 및 CORBA 서비스 사양서 문헌은 당업자들에게 폭넓게 배급되어 있으며 매우 상세한 설명을 제공한다.
예시적인 실시예에서, APC 시스템(100)은 반도체 제조 환경을 제어한다. 콤포넌트들은 CORBA 인터페이스 정의 언어(IDL)를 사용해서 서로 통신한다. 협동 소프트웨어 콤포넌트(cooperating software components)는 프로세스 제어 계획/전략을 관리하고; 프로세스 장비, 계측 툴, 및 애드-온 센서로부터 데이터를 수집하고; 이 정보를 이용해서 다양한 프로세스 제어 어플리케이션/알고리즘을 호출하며; 프로세스 모델들을 갱신하고 툴 동작 레시피(recipe) 파라미터를 필요에 따라 수정/다운로드한다. APC 시스템(100)은 반도체 생성 프로세스를 제어하는 공장-전역 소프트웨어 시스템이지만, 이것은 본 발명을 실행하는데 반드시 필요한 것은 아니다. 본 발명에서 개시하는 전략은 다른 컴퓨터 시스템에 임의의 축척으로 적용될 수 있다.
예시적인 구현에서, APC 시스템(100)은 APC 호스트 컴퓨터(110), 데이터베이스 서버(115, 117), 프로세싱 툴(120), 계측 툴(125), 하나 이상의 워크스테이션(130)을 포함한다. APC 시스템(100)의 콤포넌트들은 버스(135)를 통해 상호연결되어 있다. 버스(135)는 실제로 복수의 층을 포함하여 복수의 프로토콜을 사용한다. APC 시스템(100)의 전체 동작은 APC 호스트 컴퓨터(110)에 있는 APC 시스템 관리기(140)에 의해 통제된다. APC 시스템(100)은 APC 프레임워크를 위해 개 발되는 모든 서버들을 위한 관리 서비스, 구성 서비스, 이벤트 서비스 및 상태 서비스; APC 시스템(100) 내의 콤포넌트들의 정의, 그룹화, 설치 및 관리; 진단 및 모니터링 목적을 위한 액티비티(activity)와 트레이스 정보를 획득하는 중앙집중식 서비스; 셋업값(setup values) 및 시스템 환경 설정을 포함하는 콤포넌트의 구성정보의 중앙집중식 보관소; 및 종속 객체들과 이벤트 채널들의 목록을 제공한다. 그렇지만, 대안의 실시예에서, 이러한 기능들은 하나 이상의 소프트웨어 콤포넌트, 예를 들어 베이스 관리기, 시스템 관리기, 로거(logger) 및 레지스트리(registry)로 분할될 수 있다.
APC 시스템(100)은 프로세싱 모듈의 네트워크를 포함한다. 이러한 프로세싱 모듈들은 때로는 "통합 콤포넌트(integration components)"라 칭해진다. 통합 콤포넌트는 기존의 공장 시스템과의 인터페이스 역할을 하여 APC 계획들의 러닝(running)을 위한 성능을 제공한다. "APC 계획"은 이하에서 보다 완전하게 설명될 바와 같이, 어떤 특정한 작업을 수행하도록 호출되는 어플리케이션 프로그램이다. 통합 콤포넌트들은 APC 시스템 내의 다양한 프로세싱 자원에 의해 호스팅될 수 있는 것으로서 도시되어 있다. 이러한 특정한 호스팅 위치들은 예시적인 목적을 위해 제공된다. 프로세싱 자원들은 상호연결되어 있으며, 다양한 소프트웨어 콤포넌트들은 시스템의 복잡성에 따라, 여러 컴퓨터들에 분산되거나 중앙집중식으로 될 수 있다. 본 특정한 실시예에서 통합 콤포넌트들 각각은 소프트웨어로 구현된다. 이것들은 당기술분야에 공지된 바와 같이 객체 지향 프로그래밍 기술을 사용해서 C++로 프로그램된다. APC 시스템의 이점은 소프트웨어 콤포넌트의 이동성을 제공하 는 모듈러 구조라는 점이다. 통합 콤포넌트들은 APC 시스템 관리기(140); 센서 제어 실행 관리기(150); 툴(120, 125)과 관련된 장비 인터페이스(160, 165); 프로세싱 툴(120)과 관련된 센서 인터페이스(170); 어플리케이션 인터페이스(180); 머신 인터페이스(190, 195); 오퍼레이터 인터페이스(200); 및 데이터 핸들러(210)를 포함하지만, 이에 제한되지는 않는다.
제어 실행 관리기(150)는 APC 시스템(100)의 동작의 "안무(choreographing)"에 우선적으로 책임이 있는 콤포넌트이다. 제어 실행 관리기(150)는 APC 계획을 해석하고, 주요 스크립트 및 서브스크립트를 실행하며, 이벤트들이 지령할 때 이벤트 스크립트들을 호출한다. 다양한 계획, 스크립트, 및 서브스크립트가 다양한 구현에서 사용될 수 있다. 다양한 계획, 스크립트 및 서브스크립트의 특정한 번호와 기능은 구현에 특정될 것이다. 예를 들면, 본 실시예는 이하의 계획들을 포함하지만, 이에 제한되지는 않는다.
데이터 수집 계획 - 특정의 프로세싱 장비로부터 어떤 데이터가 수집되어야 하고 그 데이터가 다시 어떻게 보고되어야 하는지에 관한 요건을 정의하는 센서 인터페이스 및 머신 인터페이스에 의해 사용되는 데이터 구조;
지속기간 계획 - 센서들로 하여금 데이터 수집의 시작 및 데이터 수집의 중지와 같은 동작을 하게 하는 트리거 조건 및 트리거 지연을 정의하는 계획;
보고 계획 - 상기 수집된 데이터가 무엇을 해야하는지 뿐만 아니라, 데이터의 이용가능성을 언제 신호해야 하는지를 정의하는 계획;
샘플링 계획 - 외부 센서에 의해 데이터를 수집하는 빈도(frequency)를 정의하는 계획;
제어 계획 - APC 액티비티를 수행하기 위해 함께 사용되도록 설계된 제어 스크립트의 수집; 및
제어 스크립트 - 특별히 정의된 상황 하에서 APC 시스템이 실행할 액션/액티비티에 대한 시퀀스.
제어 실행 관리기(150)는 프로세싱 툴(120)과 같은 소정의 툴을 위한 모든 통합 콤포넌트들 사이에서 사용자-정의 프로세스 제어 계획의 실행과 협동한다. 명령이 내려지면, 제어 실행 관리기(150)는 계획 및 그 관련 스크립트들을 검색한다. 서브스크립들을 프리프로세스하여 메인 스크립트 및 이벤트 스크립트에 루틴을 제공한다. 그 계획을 실행하는데 필요한 성능에 대한 목록을 획득하여, 그 계획에 지정된 바대로, 그 필요한 성능을 제공하는 적절한 통합 콤포넌트들에 연결시킨다.
그런 다음 제어 실행 관리기(150)는 그 계획을 실행할 책임을 제어 실행기(220)에 위임한다. 예시적인 실시예에서, 제어 실행 관리기(150)는 실행될 제어 액션을 결정하기 위해 기준선 제어 스크립트를 사용한다. 기준선 프로세스 스크립트(152)는 프로세싱 툴(120)과 같은 프로세싱 툴과 함께 사용하기 위해 지정되며, 기준선 계측 스크립트(154)는 계측 툴(125)과 같은 계측 툴과 함께 사용하기 위해 지정된다. 기준선 스크립트들(152, 154)에 관한 보다 상세한 설명은 도 2 내지 도 6을 참조하여 후술된다.
제어 실행 관리기(150)는 적절한 기준선 프로세스 스크립트(152)나 기준선 계측 스크립트(154)에 기초하여 제어 실행기(220)를 생성하여 계획을 순차적으로 실행하고 계획의 완료 또는 계획의 실행 중에 발생한 에러를 제어 실행 관리기(150)에 보고한다. 그래서, 제어 실행 관리기(150)가 실행된 모든 계획들에 대한 전체적인 관리에 책임을 지는 반면, 각각의 제어 실행기(220)는 단지 하나의 계획의 수행에 책임을 진다. 제어 실행기(220)는 제어 실행 관리기(150)에 의해 생성되고 계획의 수명 동안 존재하며, 그 계획이 완료되거나 중지되었다는 보고를 한 후에는 제어 실행 관리기(150)에 의해 제거된다. 제어 실행 관리기(150)는 복수의 제어 실행기(220)를 통해 동시에 복수의 계획을 개시할 수 있다.
머신 인터페이스들(190, 195)은 APC 프레임워크, 즉 APC 시스템 관리기(140)와 장비 인터페이스들(160, 165)간의 갭을 브릿지한다. 머신 인터페이스들(190, 195)은 프로세싱 툴 및 계측 툴(120, 125)과 APC 프레임워크를 인터페이스하며 머신 셋업, 활성화, 모니터링 및 데이터 수집을 지원한다. 이 특별한 실시예에서, 머신 인터페이스들(190, 195)은 장비 인터페이스들(160, 165)의 특정한 통신과 APC 프레임워크의 CORBA 통신 사이를 우선적으로 해석한다. 특히, 머신 인터페이스들(190, 195)은 장비 인터페이스들(160, 165)로부터 명령, 상태 이벤트, 및 수집된 데이터를 수신하여 다른 APC 콤포넌트들 및 이벤트 채널들에 필요에 따라 전송한다. 또한, 다른 APC 콤포넌트들로부터의 응답은 머신 인터페이스들(190, 195)에 수신되어 장비 인터페이스들(160, 165)로 라우팅된다. 머신 인터페이스들(190, 195) 역시 필요에 따라 메시지들 및 데이터를 재포맷하여 재구성한다. 머신 인터페이스들(190, 195)은 APC 시스템 관리기(140) 내에서 스타트업/셧다운 과정을 지원한다. 머신 인터페이스들(190, 195)은 또한 APC 데이터 수집기 의 역할을 하고, 장비 인터페이스들(160, 165)에 의해 수집된 데이터를 버퍼링하며, 적절한 데이터 수집 이벤트들을 방출한다.
센서 인터페이스(170)는 프로세싱 툴(120)의 동작을 모니터링하는 센서들에 의해 발생된다. 센서 인터페이스(170)는 랩뷰(LabVIEW)와 같은 외부 센서들이나 다른 센서, 즉 버스 기반의 데이터 획득 소프트웨어와 통신하기 위한 적절한 인터페이스 환경을 제공한다. 어플리케이션 인터페이스(180)는 랩뷰, 매스매티카(Mathematica), 모델웨어(ModelWare), 매트랩(MatLab), 심카 4000(Simca 4000), 및 엑셀(Excel)과 같은 제어 플러그-인 어플리케이션을 실행하기 위한 적절한 인터페이스 환경을 제공한다. 센서들은 원래의 장치 제조자(OEM)에 의해 프로세싱 툴(120)을 구비할 수 있거나 OEM으로부터의 획득에 후속하여 설치되는 "애드-온" 센서들이 될 수 있다. 센서 인터페이스(170)는 센서들에 의해 발생되는 데이터를 수집한다. 상기 센서들은 예를 들어 동작 조건의 압력 및 온도에 관한 데이터를 발생할 수 있다. 어플리케이션 인터페이스(180)는 제어 실행기(220)로부터 데이터를 취하여 그 데이터에 관한 계산 및 분석을 실행한다. 그런 다음 그 결과는 제어 실행기(220)로 복귀된다. 머신 인터페이스(190) 및 센서 인터페이스(170)는 공통 세트의 기능을 사용하여 사용될 데이터를 수집한다. 장비 인터페이스(160)는 센서들에 의해 수집된 각각의 데이터를 프로세싱 툴(120) 상에 모으고 그 모아진 데이터를 머신 인터페이스(190)에 전송한다.
오퍼레이터 인터페이스(200)는 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)(도시되지 않음)를 통해 웨이퍼 제조 기술자와 APC 시스템(100)간의 통신을 용이하게 한다. GUI 는 Windows?또는 UNIX 기반의 운영체제가 될 수 있다. 그렇지만, 이것은 본 발명에서 반드시 필요한 것은 아니다. 실제로 일부의 대안의 실시예는 GUI를 사용하지 않고 디스크 운용체제(DOS) 기반의 운영체제를 통해 통신할 수 있다. 오퍼레이터 인터페이스(200)는 정보를 제공하고 안내를 요청하며 추가의 데이터를 수집하는 다이얼로그 박스들을 디스플레이 한다. CORBA 인터페이스를 통해, 오퍼레이터 인터페이스(200) 콤포넌트는 기술자가 디스플레이 그룹들 중 임의 개수의 그룹들에 다양한 팝업 다이얼로그를 동시에 디스플레이 할 수 있게 한다. 오퍼레이터 인터페이스(200)는 또한 팝업이 나타날 수 있는 디스플레이 그룹을 유지한다. 오퍼레이터 인터페이스(200)는 고지 동작(announcement operation), 즉 메시지 및 "OK" 버튼이 있는 간단한 팝업을 디스플레이 하는 단방향 메시지를 제공한다.
데이터 핸들러(210)는 다른 APC 시스템(100) 콤포넌트들에 의해 발생된 데이터를 수신하고 그 데이터를 데이터베이스 서버들(115, 117) 상의 데이터 저장소(230, 232)(예를 들어, 관련 데이터베이스들)에 저장한다. 데이터 핸들러(210)는 표준 구성 질문 언어(standard structured query language)(SQL) 명령을 수신할 수 있거나, 대안적으로 데이터 핸들러(210)는 SQL 명령 또는 일부의 다른 프로토콜 명령을 발생하기 위해 다른 유형의 액세스 프로토콜을 해석할 수 있다. 데이터 저장 기능을 중앙집중식으로 하는 것은 다양한 콤포넌트들의 이동성을 증가시킨다.
기준선 제어 스크립트들(152, 154)의 일반적인 동작은 도 2에 도시된 개략적인 블록도를 참조해서 서술되며, 이 도면에는 기준선 제어 스크립트들(152, 154)과 다양한 공유 기준선 라이브러리들간의 링크가 도시되어 있다. 일반적으로, 기준선 제어 스크립트(152, 154)는 APC 시스템(100) 내의 제어 스크립트들을 생성하는 프레임워크를 제공한다. 기준선 제어 스크립트들은 라이브러리 내에 저장되어 있는 공유 기준선 콤포넌트들을 사용한다. 예시적인 실시예에서, 공유 기준선 콤포넌트들은 제어 알고리즘을 정의하는 제어 기준선 라이브러리(240); 공통적으로 사용되는 수학 기능들(예를 들어, 합, 평균, 중간값(median) 등)을 정의하는 수학 기준선 라이브러리(250); 스크립트 실행의 통신 양상들(예를 들어, 데이터 저장소(230, 232), 머신 인터페이스(195), 이 머신 인터페이스(195)를 통하는 장비 인터페이스(160), 오퍼레이터 인터페이스(200), 및 이와 같은 다른 외부 콤포넌트들과 상호작용)을 정의하는 상호작용 기준선 라이브러리(260); 공유 공통 기능들을 정의하는 유틸리티 기준선 라이브러리(270); 설비에 특정되어 있는 다른 라이브러리들(240, 250, 260, 270, 280, 290)에서의 루틴들에 대한 기능 또는 예외(exceptions)를 정의하는 설비 라이브러리(280); 기준선 제어 스크립트에 대한 호출에 포함되는 특정한 동작 ID로부터 층(예를 들어, 폴리 게이트 층)을 정의하는 층 라이브러리(290)를 포함한다. 기준선 라이브러리들(240, 250, 260, 270, 280, 290)은 제어 실행기(220)에 의해 기준선 제어 스크립트들(152, 154)의 동작 동안 링크될 수 있다.
일반적으로, 기준선 제어 스크립트(152, 154)는 상기 호출에 포함되는 정보 및 상기 설비 및 층 기준선 라이브러리들(280, 290) 내의 정보에 기초해서, 제어 액션의 특성을 결정한다. 기준선 제어 스크립트(152, 154)는 필요한 제어 기능들을 액세스 하기 위해 상호작용 기준선 라이브러리(260)에 링크한다. 기준선 제어 스크립트(152, 154)는 제어 액션을 실행하는 데 사용되는 데이터를 모으는 기능 및 툴(120, 125)의 동작 방법을 갱신하는 장비 인터페이스(160)와 통신하는 기능에 액세스 하기 위해 상호작용 기준선 라이브러리(260)에 링크한다. 수학 기준선 라이브러리(250)의 기능들은 기준선 제어 스크립트(152, 154)나 다른 라이브러리들 내의 다른 기능들에 의해 필요에 따라 호출될 수 있다.
이제 도 3을 참조하면, 기준선 프로세스 스크립트(152)의 조직을 설명하는 개략적인 블록도가 도시되어 있다. 기준선 프로세스 스크립트(152)는 어플리케이션 구성 블록(300), 기준선 어플리케이션 셋업 블록(310), 제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(320), 피드 포워드 데이터 분석 블록(330), 제어 스레드 블록(control thread block)(340), 위험 블록(350), 제어 액션 및 비즈니스 룰 블록(360) 및 결과 블록(370)을 포함한다.
어플리케이션 구성 블록(300) 내에서, 사용자 글로벌 구성 변수들은 장비 인터페이스(160)로부터의 호출에 포함되는 정보에 기초해서 제어기에 의한 사용을 위해 정의된다. 이것은 방법 관리 시스템(RMS)(예를 들어, 방법 설정의 글로벌 데이터베이스)로부터의 변수들의 값들과 그 요구된 문맥 변수들에 대한 값들을 포함한다. 문맥 변수 값들은 제어 스레드를 정의하며 전형적으로는, 툴 식별 코드, 로트 번호(lot number), 동작 번호 등과 같은 변수들에 대한 값으로 구성된다. 또한, 임의의 필요한 기준선 변수들에도 값들이 부여되어 있다. 그러한 예로서는, 에러 보고를 위한 이메일 목록, 타임아웃에 대한 값, "어린이" 로트로 간주되는 로트 내에 서 허용되는 웨이퍼의 최대 수, 제어기가 사용하는 이전의 층 정보(피드 포워드 정보) 등이 있다.
기준선 어플리케이션 셋업 블록(310)은 어플리케이션 구성 블록(300)에 설정된 바와 같은, 웨이퍼들의 로트 번호 및 품질에 대한 값들을 사용하여, 로트 번호, 훼밀리 명칭, 부모 명칭, 설비, 웨이퍼의 수, 및 상태(예를 들어, 로트가 부모 로트인지 어린이 로트인지)에 대한 값들을 복귀시킨다. 기준선 어플리케이션 셋업 블록(310)은 또한 단자들의 디폴트 목록을 설정하며, 이 단자들에 제어기는 팝업 윈도우뿐만 아니라, 모든 팝업 윈도우 타이틀의 첫 번째 부분을 전송한다.
제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(320)은 이전에 정의된 문맥 및 RMS 정보를 사용하여 제어기가 사용하는 값들을 설정함으로써 제어 이동을 계산한다. 예를 들어, 제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(320)은 문맥 정보(또는 "스레드" 지정)를 사용하여 RMS에 정의된 값에 따라 제어 모델 파라미터의 값을 설정한다. 특정한 예에서는, 특별한 각각의 챔버의 문맥에 따라 제어 모델에 사용되는 에칭 레이트에 대한 값 및 RMS에 정의된 바와 같은 그 각각의 챔버의 에칭 레이트에 대한 값이 설정된다. 또한, 제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(320)은 어플리케이션 구성 블록(300)에 설정된 바와 같은 로트 번호 및 층 명칭에 의한 질문을 사용해서, 데이터베이스로부터 피드 포워드 정보를 검색한다.
피드 포워드 데이터 분석 블록(330)은 소정의 로트와 관련된 데이터의 어레이에서 콤포넌트들을 체크하고 손실되는 값들에 대해 디폴트 값들을 채운다. 예를 들어, 이전 프로세스의 목표는 제어기에 의해 사용되는 피드 포워드 정보의 부분에 따라 필요한 손실 측정의 값을 설정하는 데 사용될 수 있다. 디폴트 값을 사용하는 대신에, 손실 피드 포워드 정보의 값을 설정하는 다른 방법들이 피드 포워드 데이터 분석 블록(330)에서 실행될 수 있다.
제어 스레드 블록(340)은 데이터 저장소(230, 232)에 질문하는 데 필요한 키들의 값 및 상태 구조들의 값을 설정하여 현재의 제어 스레드와 관련된 제어 상태들을 검색한다. 상기 키들은 데이터 저장소(230, 232)로부터 상기 스레드 상태 데이터를 검색하는 데 사용된다. 제어 스레드 블록(340)은 이 스레드 문맥과 함께 프로세스된 최근의 로트들의 경우에 있어서 지령된 데이터의 스택에 스레드 상태 데이터가 있는지를 탐색한다. 이러한 값들이 찾아지면, 그 값들은 제어 모델을 포함하는 사용자-정의 기능을 통과하며, 상기 제어 모델은 스레드 상태들에 대한 값들을 계산하고 복귀시킨다. 상기 스택에서 값들이 찾아지지 않으면, 제어 스레드 블록(340)은 계층을 탐색하고 상기 스레드 상태들에 대한 값들을 갖고 있는 제1 계층 레벨로부터 데이터를 검색한다. 스택 및 모든 계층 레벨들은 유사한 데이터를 포함하지만 정밀도는 서로 다른 것으로 가정된다.
위험 블록(350)은 데이터베이스에서 검색을 수행하고 위험 스택(즉, 최종 계측 동작 이후 소정의 스레드 상에서 수행된 로트들의 스택)에서 로트들의 번호에 대한 값을 검색한다. 이 값은 이 위험 카테고리 내의 로트들의 번호에 대한 임계값, 즉 전형적으로 RMS에 지정된 값과 비교된다. 이 임계값을 초과하지 않으면, 제어기는 계속 진행한다. 상기 임계값을 초과하면, 제어기는 상기 위험 스택 내의 로트들의 목록으로부터의 하나의 로트 상에서 오퍼레이터가 계측 이벤트를 수행하도 록 지시하는 팝업 디스플레이를 중지시킨다.
제어 액션 및 비즈니스 룰 블록(360)은 제어기의 핵심이다. 제어 액션 및 비즈니스 룰 블록(360)은 상태 및 목표 정보로부터 제어기 입력들(프로세스 방법 갱신)을 컴퓨팅한다. 그 결과들은 글로벌 제어 결과 어레이 내에 배치된다. 다음, 제어 액션 및 비즈니스 룰 블록(360)은 비즈니스 룰을 실행하고, 프로세스 방법 갱신에 대한 체크를 제한하며, 제어기의 사용자-입력 오버라이드(override)에 따라 프로세스 방법 갱신을 설정한다.
결과 블록(370)은 제어 액션 및 비즈니스 룰 블록(360)으로부터, 프로세스 방법 갱신, 데이터 계산/포맷팅 또는 이벤트를 포함하는 출력을 취하고, 그것을 서로 함께 버퍼링하며 그 데이터를 포맷한다. 결과 블록(370)은 상기 버퍼링된 데이터를 장비 인터페이스(160)에 전송하고 머신 인터페이스(195)에 의한 장비 인터페이스(160)로의 셋업/스타트 머신 호출을 초기화한다. 다음, 결과 블록(370)은 상기 로트 번호 및 현재의 문맥(스레드)에 대한 층에 대해서 데이터가 데이터 저장소(230, 232)에 저장되어 있다는 것을 저장한다. 위험 스택은 또한 최종 계측 이벤트 이후 프로세스되는 추가의 로트로서 현재의 로트에 의해 갱신된다.
이제 도 4를 참조하면, 기준선 계측 스크립트(154)의 조직을 나타내는 개략적인 블록도가 도시되어 있다. 기준선 계측 스크립트(154)는 계측 툴 셋업 블록(400), 어플리케이션 구성 블록(410), 기준선 어플리케이션 셋업 블록(420), 인입 툴 데이터 블록(430), 제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(440), 제어 스레드 블록(450), 모델 갱신 블록(460), 및 결과 블록(470)을 포함한다.
계측 툴 셋업 블록(400) 내에서, 데이터 수집이 초기화되고 임의의 버퍼링된 데이터가 제어 실행기(220)에 전송된다. 머신 인터페이스(190) 역시 초기화되어 셋업/스타트 머신 호출을 장비 인터페이스(165)로 전송한다.
어플리케이션 구성 블록(410) 및 기준선 어플리케이션 셋업 블록(420)은 기준선 프로세스 스크립트(152)와 관련해서 위에서 언급한 동일한 명칭의 블록들이 실행하는 기능들과 동일한 기능들을 실행한다.
인입 툴 데이터 블록(430)은 기준선 계측 스크립트(154)를 일시중지시켜 데이터 소스, 전형적으로는 계측 툴로부터의 데이터를 대기한다. 이러한 이벤트를 대기하는 시간 주기 및 스크립트 일시정지를 해제시킬 이벤트의 명칭은 인입 툴 데이터 블록(430)에 지정되어 있다.
제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(440) 역시 기준선 프로세스 스크립트(152)와 관련해서 위에서 언급한 동일한 명칭의 블록들이 실행하는 기능들과 동일한 기능들을 실행한다.
제어기 스레드 블록(450)은 현재의 스레드에 대한 계산된 제어 상태들을 데이터 저장소(230, 232)에 저장하는 데 필요한 키들의 값 및 상태 구조들의 값을 설정한다. 또한, 제어 스레드 블록(450)은 상기 스레드 상태들을 갱신하는 데 필요한 모든 값들을 컴퓨팅한다. 이 기능은 정의된 글로벌 변수들을 판독하여 그 필요한 결과들을 컴퓨팅한다. 상기 결과들은 로트 평균, 프로세스 레이트, 및 목표 또는 예측으로부터의 편차와 같은, 제어기를 갱신할 때 사용되는 통계 또는 값들을 포함한다. 이러한 기능의 결과들은 글로벌 제어 결과 어레이 내에 배치된다.
모델 갱신 블록(460)은 비즈니스 룰, 사양서 제한 체크(spec limit checking), 및 제어기의 오버라이드를 실행하는 데 사용된다. 이 기능은 상기 정의된 글로벌 변수들을 판독하여 최종 결과를 설정한다. 모델 갱신 블록(460)은 제어기를 갱신하는 데 사용될 값들뿐만 아니라 제어 내력(control history)에 로그될 값들을 설정하는 책임이 있다. 이 기능의 결과들은 글로벌 제어 결과 어레이 내에 배치된다.
결과 블록(470)은 제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(360)으로부터 출력을 취하고, 그것을 버퍼링하며, 설비 인터페이스(165)와 호환될 데이터를 포맷한다. 기준선 계측 스크립트(154)에 의해 출력되는 데이터는 또한 제어 내력 파일에 기록된다. 제어 내력에 대한 헤더는 공급된 변수 명칭에 기초해서 발생된다. 로그 파일들은 상기 제어 내력 파일의 제1 라인에서 인코딩되는 헤더를 갖는다. 컴퓨팅된 헤더가 상기 제어 내력 파일의 제1 라인과 맞지 않으면, 기존의 파일은 명칭이 다시 부여되고 새로운 것이 시작된다.
이제 도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따라 단일 프로세싱 툴(120) 상에서 복수의 제어 액션들을 실현할 수 있는 복수의 제어기 기준선 프로세스 스크립트(500)에 대한 개략적인 블록도가 도시되어 있다. 예를 들어, 포토리소그래픽 스테퍼는 오버레이 제어기(overlay controller)와 임계 치수 제어기 모두를 가질 수 있다. 상기 제어기들은 프로세스된 웨이퍼들로부터의 피드백을 사용하여, 노출 도즈(exposure dose), 노출 시간, 초점 등과 같은 다양한 스테퍼 파라미터들을 조정할 수 있다. 폴리실리콘 층들을 형성하는 툴과 같은 증착 툴은 또한 폴 리실리콘 입자 크기 및 폴리실리콘 층 두께와 같은 파라미터들을 제어하는 복수의 제어기를 가질 수 있다.
기준선 프로세스 스크립트(500)가 호출될 때, 그 호출에 포함된 정보에 기초해서 필요한 제어 액션들을 결정한다. 하나의 로트가 프로세스되는 문맥은 상기 제어기들 중 어느 제어기가 러닝될 것인지를 결정한다. 상기 문맥은 동작 ID, 엔티티 ID, 제품 ID, 및 특별한 러닝에 대한 요건을 결정하는 다른 이산 식별기들에 의해 정의된다. 먼저, 엔티티 ID는 툴 유형(예를 들어, 스테퍼, 에칭기, 노(furnace) 등)의 일반적 분류를 결정하는 데 사용된다. 예를 들어, 엔티티 ID가 프로세싱 툴(120)을 스테퍼로서 식별하면, 스테퍼 제어 코드가 호출된다.
스테퍼 제어 코드 내에서, 그 스크립트 내의 문맥 변수들을 체크하여 어느 개별적인 제어기가 호출되어야 하는지를 결정한다. 동작 ID는 프로세스가 러닝될 것임을 나타낸다(예를 들어, 폴리 게이트 마스크 대 제2 레벨간 유전층 마스크(ILD)). 각각의 제어기는 일련의 문맥 상황에 적용되어 이러한 문맥 조건 모두가 부합되는 경우에만 러닝될 것이다. 예를 들어, CD 제어기는 폴리 게이트 마스크에 대해서는 러닝할 수 있지만 제2 ILD 마스크 프로세스에서는 러닝할 수 없다. 한편, 오버레이 제어기는 마스크 이벤트들 양쪽 모두에서 러닝될 수 있다.
기준선 프로세스 스크립트(500)는 툴 세트(예를 들어, 스테퍼들)에 기초해서 필요한 툴 코드에 부합하는 유연성을 제공하며, 모든 이용가능한 제어기(예를 들어, 오버레이, CD 등)를 러닝시킬 준비를 한다. 동일한 주요 스크립트가 러닝되고, 동일한 서브루틴들이 호출될 수 있지만, 현재의 문맥에 필요한 제어기들만이 활성 화된다.
복수의 제어기 기준선 프로세스 스크립트(500)는 어플케이션 구성 블록(510), 기준선 어플리케이션 셋업 블록(520), 제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(530), 피드 포워드 데이터 분석 블록(540), 제어 스레드 블록(550), 위험 블록(560), 제어 액션 및 비즈니스 룰 블록(570), 및 결과 블록(580)을 포함한다. 복수의 제어기 기준선 프로세스 스크립트(500)는 이하에 설명하는 것을 제외하고는, 기준선 프로세스 스크립트(152)와 동일한 방식으로 동작한다.
제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(530)은 상기 제어기들 중 어느 것(예를 들어, 제어기 A, 제어기 B, 또는 둘 모두)이 사용가능한지를 결정하며, 이전에 정의된 문맥 및 RMS 정보를 사용하여, 각각의 제어기가 사용하는 값들을 설정함으로써 제어 이동을 계산한다. 제어기 상수 및 문맥에 특정한 설정 블록(530)은 또한 어플리케이션 구성 블록(510)에 설정된 바와 같은 로트 번호 및 층 명칭에 의한 질문을 사용해서 데이터베이스로부터 요구된 제어기들 각각에 대한 피드 포워드 정보를 검색한다. 피드 포워드 데이터 분석 블록(540)은 소정의 로트와 관련된 데이터의 어레이에서 콤포넌트들을 체크하며 각각의 제어기에 대한 손실 값들에 디폴트 값들을 채운다.
제어기 스레드 블록(550)은 데이터 저장소(230, 232)에 질문하는 데 필요한 키들의 값 및 상태 구조들의 값을 설정하여 활성 제어기들 각각에 대한 현재의 제어 스레드와 관련된 제어 상태들을 검색한다. 상기 키들은 데이터 저장소(230, 232)로부터 스레드 상태 데이터를 검색하는 데 사용된다. 제어 스레드 블록(550)은 이 스레드 문맥과 함께 프로세스된 최근의 로트들의 경우에 있어서 지령된 데이터의 스택에 스레드 상태 데이터가 있는지를 탐색한다. 이러한 값들이 찾아지면, 그 값들은 제어 모델을 포함하는 사용자-정의 기능을 통과하며, 상기 제어 모델은 스레드 상태들에 대한 값들을 계산하고 복귀시킨다. 상기 스택에서 값들이 찾아지지 않으면, 제어 스레드 블록(340)은 계층을 탐색하고 상기 스레드 상태들에 대한 값들을 갖고 있는 제1 계층 레벨로부터 데이터를 검색한다. 스택 및 모든 계층 레벨들은 유사한 데이터를 포함하지만 정밀도는 서로 다른 것으로 가정된다.
제어 액션 및 비즈니스 룰 블록(570)은 제어기들 각각에 대한 상태 및 목표 정보로부터 제어기 입력들(프로세스 방법 갱신)을 컴퓨팅한다. 복수의 제어기들이 사용되기 때문에, 하나의 제어기는 그 제어 액션을 결정하는 다른 제어기에 의해 의존되는 상태 정보에 영향을 미칠 수 있다. 그러므로, 상기 제어기들에는 이들의 제어 액션들이 결정되는 순서를 결정하는 상대적 우선순위 값들이 할당될 수 있다. 보다 높은 우선순위 제어기는 그 제어 액션 결정에 기초해서 제2 제어기에 대한 상태 정보 데이터를 갱신할 수 있다. 그런 다음 제2 제어기는 수정된 상태 정보에 기초해서 그 제어 액션들 결정한다. 이러한 방식으로 협동함으로써, 제어기들은 동작 방식 변경과 관련해서 서로 경쟁하지 않는다.
결과 블록(580)은 활성 제어기들 모두로부터 제어 액션 출력을 모으고, 그 데이터를 버퍼링하며, 그 데이터를 포맷한다. 결과 블록(580)은 상기 버퍼링된 데이터를 장비 인터페이스(160)에 전송하여, 머신 인터페이스(195)에 의한 장비 인터페이스(160)로의 셋업/스타트 머신 호출들을 초기화한다. 다음, 결과 블록(580)은 상기 로트 번호 및 현재의 문맥(스레드)에 대한 층에 대해서 데이터가 데이터 저장소(230, 232)에 저장되어 있다는 것을 저장하고 위험 스택을 갱신된다.
이제 도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 예시적인 실시예에 따라 복수의 제어기들을 집적하는 방법에 대한 개략적인 흐름도가 도시되어 있다. 블록(600)에서, 복수의 툴들로 피가공물들들이 프로세스된다. 블록(610)에서, 기준선 제어 스크립트는 (예를 들어, 제어 실행 관리기(150)에 의해) 상기 복수의 툴들 중 선택된 툴에 대해 초기화된다. 상기 기준선 제어 스크립트의 초기화 후, 제어 실행기(220)는 잔여의 작업을 실행한다. 블록(620)에서, 상기 선택된 툴에 대해 요구된 제어 루틴들의 그룹이 식별된다. 블록(630)에서, 제어 상태 정보는 상기 요구된 제어 루틴들의 그룹에 있어서 선택된 툴과 관련된 이전의 제어 액션들과 관련해서 검색된다. 블록(640)에서, 상기 요구된 제어 액션들의 그룹으로부터 제1 제어 루틴은 제1 제어 액션이 발생하도록 실행된다. 블록(650)에서, 상기 요구된 제어 루틴들의 그룹으로부터 제2 제어 루틴과 관련된 제어 상태 정보는 제1 제어 액션에 기초해서 변경된다. 블록(660)에서, 제2 제어 루틴은 그 변경된 제어 상태 정보에 기초해서 실행되어 제2 제어 액션을 발생한다.
전술한 특별한 실시예들은 단지 예시일 뿐이며, 본 발명은 여기에 개시한 이점과 관련해서 당업자에게 분명한 등가의 방법으로 변형되어 다르게 실행될 수 있다. 또한, 이하의 청구범위에 서술된 바와는 달리, 여기에 설명된 구성 및 설계에 대한 상세한 설명에 제한을 두지 않는다. 그러므로, 전술한 특별한 실시예들은 변형 및 수정될 수 있으며, 모든 그러한 변형은 본 발명의 범주 내에 있는 것으로 간 주된다는 것은 자명하다. 따라서, 여기에서 추구하는 보호사항은 이하의 청구범위에 기재된 바와 같다.

Claims (58)

  1. 제조 시스템 제어 방법에 있어서,
    복수의 툴들로 피가공물들을 프로세스하는 단계와;
    상기 복수의 툴들 중 적어도 하나의 선택된 툴에 대한 기준선 제어 스트립트를 초기화하는 단계와;
    상기 선택된 툴에 대해 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 식별하는 단계와;
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹에 대한 상기 선택된 툴과 관련된 이전의 제어 액션들에 관한 제어 상태 정보를 검색하는 단계와;
    제 1 제어액션을 발생시키도록, 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹으로부터의 제 1 제어루틴을 실행하는 단계와;
    상기 제 1 제어 액션에 근거하여 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹으로부터의 제 2 제어루틴과 관련된 상기 제어 상태 정보를 수정하는 단계와; 그리고
    상기 수정된 제어상태 정보에 근거하여 상기 제 2 제어루틴을 실행하여 제 2 제어액션을 발생시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 요구되는 제어루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    제어 루틴들의 라이브러리에 링크하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기준선 제어 스크립트에 문맥 정보를 제공하는 단계와;
    상기 문맥 정보에 기초해서 툴 유형을 결정하는 단계와; 그리고
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹이 선택되는 상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴을 위해 잠재적인 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 잠재적인 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    제어 루틴들의 라이브러리에 링크하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    상기 문맥정보에 근거하여 상기 잠재적인 제어 루틴들의 그룹으로부터 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    동작 식별 코드를 포함하여 이루어지며,
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    상기 툴 유형과 상기 동작 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    제품 식별 코드를 포함하여 이루어지며,
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    상기 툴 유형과 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    엔티티 식별 코드, 동작 식별 코드 및 제품 식별 코드를 포함하여 이루어지고,
    상기 툴 유형을 결정하는 단계는
    상기 엔티티 식별 코드에 근거하여 상기 툴 유형을 결정하는 단계를 더 포함하여 이루어지며,
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    상기 툴 유형, 상기 동작 식별 코드 및 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    상기 선택된 툴과 관련된 엔티티 식별 코드를 포함하여 이루어지고,
    상기 툴 유형을 결정하는 단계는 상기 엔티티 식별 코드에 기초해서 상기 툴 유형을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 선택된 툴은 동작 레시피를 갖고,
    상기 방법은 상기 제 1 제어 액션들과 제 2 제어 액션들에 근거하여 상기 선택된 툴의 상기 동작 레시피를 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  11. 제조 시스템 제어 방법에 있어서,
    복수의 툴들로 피가공물들을 프로세스하는 단계와;
    상기 복수의 툴들 중 선택된 툴에 대한 기준선 제어 스크립트를 초기화하는 단계와, - 여기서, 상기 선택된 툴은 동작 레시피를 가지며 - ;
    상기 기준선 제어 스크립트에 문맥 정보를 제공하는 단계와;
    상기 문맥 정보에 기초해서 툴 유형을 결정하는 단계와;
    상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴에 대한 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계와;
    상기 문맥 정보에 기초해서 상기 제어 루틴들의 그룹에서부터, 요구되는 제어루틴들을 결정하는 단계와;
    상기 요구된 제어 루틴들을 실행하여 상기 선택된 툴에 대한 제어 액션들을 발생시키는 단계와; 그리고
    선택된 툴에 대한 동작 레시피를 상기 제어액션들에 기초해서 변경하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 요구된 제어 루틴들 각각에 대한 상기 선택된 툴과 관련된 이전의 제어 액션들에 관한 제어 상태 정보를 검색하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 요구되는 제어 루틴들 중 하나의 루틴과 관련된 상기 제어 상태 정보를, 상기 요구된 제어 루틴들 중 다른 루틴과 관련된 제어 액션에 기초해서 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는 제어 루틴들의 라이브러리에 링크하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    상기 선택된 툴과 관련된 엔티티 식별 코드를 포함하고,
    상기 툴 유형을 결정하는 단계는 상기 엔티티 식별 코드에 기초해서 상기 툴 유형을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 동작 식별 코드를 포함하고,
    상기 요구된 제어 루틴들을 결정하는 단계는
    상기 툴 유형과 상기 동작 식별 코드에 기초해서 상기 요구된 제어 루틴들을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 제품 식별 코드를 포함하고,
    상기 요구된 제어 루틴들을 결정하는 단계는
    상기 툴 유형과 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구된 제어 루틴들을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 엔티티 식별 코드, 동작 식별 코드 및 제품 식별 코드를 포함하고,
    상기 툴 유형을 결정하는 단계는
    상기 엔티티 식별 코드에 근거하여 상기 툴 유형을 결정하는 단계를 더 포함하며,
    상기 요구된 제어 루틴들을 결정하는 단계는
    상기 툴 유형, 상기 동작 식별 코드 및 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  19. 피가공물들을 프로세스하는 복수의 툴들과;
    상기 복수의 툴들 중 선택된 툴에 대한 기준선 제어 스크립트를 초기화하는 제어 실행 관리기와; 그리고
    상기 선택된 툴에 대해 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 식별하고, 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹에 대해 상기 선택된 툴과 관련된 이전의 제어 액션들에 관한 제어 상태 정보를 검색하고, 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹로부터 제 1 제어 루틴을 실행하여 제 1 제어 액션을 발생시키고, 상기 제 1 제어 액션에 근거하여 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹로부터의 제 2 제어 루틴과 관련된 상기 제어 상태 정보를 변경하고, 그리고 상기 수정된 제어 상태 정보에 근거하여 상기 제 2 제어 루틴을 실행하여 제 2 제어 액션을 발생시키는 제어 실행기를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 제어 루틴들의 라이브러리에 링크하여 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  21. 제19항에 있어서,
    상기 제어 실행 관리기는 또한 기준선 제어 스크립트에 문맥 정보를 제공하고, 상기 제어 실행기는 또한 상기 문맥 정보에 근거하여 툴 유형을 결정하고, 상기 툴 유형에 근거하여 상기 선택된 툴에 대한 잠재적인 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 제어 루틴들의 라이브러리에 링크함으로써 상기 잠재적인 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  23. 제21항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 상기 문맥 정보에 근거하여 상기 잠재적인 제어 루틴들의 그룹으로부터 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 동작 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형과 상기 동작 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  25. 제23항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 제품 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형과 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  26. 제23항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 엔티티 식별 코드, 동작 식별 코드 및 제품 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 엔티티 식별 코드에 근거하여 상기 툴 유형을 결정하고, 그리고 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형, 상기 동작 식별 코드 및 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  27. 제21항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 상기 선택된 툴과 관련된 엔티티 식별 코드를 포함하며, 상기 제어 실행기는 상기 엔티티 식별코드에 기초하여 툴 유형을 결정하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  28. 제19항에 있어서,
    상기 선택된 툴은 동작 레시피를 갖고, 상기 제어 실행기는 또한 상기 제 1 과 제 2 제어 액션들에 근거하여 상기 선택된 툴의 상기 동작 레시피를 변경하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  29. 피가공물들을 프로세스하는 복수의 툴들과;
    상기 복수의 툴들 중 선택된 툴에 대한 기준선 제어 스크립트를 초기화하고 상기 기준선 제어 스크립트에 문맥 정보를 제공하는 제어 실행 관리기와 - 여기서, 상기 선택된 툴은 동작 레시피를 가지며 - ; 그리고
    상기 기준선 제어 스크립트를 실행하고, 상기 문맥 정보에 기초해서 툴 유형을 결정하고, 상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴에 대한 제어 루틴들의 그룹을 선택하고, 상기 문맥 정보에 기초해서 상기 제어 루틴들의 그룹으로부터, 요구되는 제어루틴들을 결정하고, 상기 요구된 제어 루틴들을 실행하여 상기 선택된 툴에 대한 제어 액션들을 발생시키고, 그리고 상기 제어 액션들에 기초하여 선택된 툴에 대한 동작 레시피를 변경하는 제어 실행기를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  30. 제29항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 또는 상기 요구된 제어 루틴들 각각에 대해 상기 선택된 툴과 관련된 이전의 제어 액션들에 관한 제어 상태 정보를 검색하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 또한 상기 요구된 제어 루틴들 중 한 루틴과 관련된 상기 제어 상태 정보를, 상기 요구된 제어 루틴들 중 다른 루틴과 관련된 제어 액션에 기초해서 변경하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  32. 제29항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 제어 루틴들의 라이브러리에 링크함으로써 상기 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  33. 제29항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 상기 선택된 툴과 관련된 엔티티 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 엔티티 식별 코드에 기초해서 상기 툴 유형을 결정하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  34. 제29항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 동작 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형과 상기 동작 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 결정하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  35. 제29항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 제품 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형과 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구된 제어 루틴들을 결정하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  36. 제29항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 엔티티 식별 코드, 동작 식별 코드 및 제품 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 엔티티 식별 코드에 근거하여 상기 툴 유형을 결정하고, 그리고 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형, 상기 동작 식별 코드 및 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구된 제어 루틴들을 결정하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  37. 피가공물들을 프로세스하는 복수의 툴들과;
    상기 복수의 툴들 중 하나의 선택된 툴에 대한 기준선 제어 스크립트를 초기화하는 수단과;
    상기 선택된 툴에 대해 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 식별하는 수단과;
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 위해 상기 선택된 툴과 관련된 이전의 제어 액션들에 관한 제어 상태 정보를 검색하는 수단과;
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹로부터의 제 1 제어 루틴을 실행하여 제 1 제어 액션을 발생시키는 수단과;
    상기 제 1 제어 액션에 근거하여 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹으로부터의 제 2 제어 루틴과 관련된 상기 제어 상태 정보를 수정하는 수단과; 그리고
    상기 수정된 제어 상태 정보에 근거하여 상기 제 2 제어 루틴을 실행하여 제 2 제어 액션을 발생시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  38. 피가공물들을 프로세스하는 복수의 툴들과;
    상기 복수의 툴들 중 하나의 선택된 툴에 대한 기준선 제어 스크립트를 초기화하는 수단과, - 여기서 상기 선택된 툴은 동작 레시피를 가지며 -;
    상기 기준선 제어 스크립트에 문맥 정보를 제공하는 수단과;
    상기 문맥 정보에 기초하여 툴 유형을 결정하는 수단과;
    상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴에 대한 한 그룹의 제어 루틴들을 선택하는 수단과;
    상기 문맥 정보에 기초해서 상기 그룹의 제어 루틴들로부터, 요구되는 제어 루틴들을 결정하는 수단과;
    상기 요구된 제어 루틴들을 실행하여 상기 선택된 툴에 대한 제어 액션들을 발생시키는 수단과; 그리고
    상기 제어 액션들에 근거하여 상기 선택된 툴에 대한 상기 동작 레시피를 변경하는 수단
    을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  39. 툴의 피가공물들을 프로세스하는 단계와;
    복수의 툴들과;
    상기 툴을 위해 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 식별하는 단계와;
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 위해 상기 선택된 툴과 관련된 이전의 제어 액션들에 관한 제어 상태 정보를 검색하는 단계와;
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹로부터의 제 1 제어 루틴을 실행하여 제 1 제어 액션을 발생시키는 단계와;
    상기 제 1 제어 액션에 근거하여 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹으로부터의 제 2 제어 루틴과 관련된 상기 제어 상태 정보를 수정하는 단계와; 그리고
    상기 수정된 제어 상태 정보에 근거하여 상기 제 2 제어 루틴을 실행하여 제 2 제어 액션을 발생시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어방법.
  40. 제39항에 있어서,
    상기 요구되는 제어루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    제어 루틴들의 라이브러리에 링크하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어방법.
  41. 제39항에 있어서,
    문맥 정보를 제공하는 단계와;
    상기 문맥 정보에 기초해서 툴 유형을 결정하는 단계와; 그리고
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹이 선택되는 상기 툴 유형에 기초해서 상기 선택된 툴을 위해 잠재적인 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  42. 제41항에 있어서,
    상기 잠재적인 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    제어 루틴들의 라이브러리에 링크하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  43. 제41항에 있어서,
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    상기 문맥정보에 근거하여 상기 잠재적인 제어 루틴들의 그룹으로부터 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  44. 제43항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    동작 식별 코드를 포함하여 이루어지며,
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    상기 툴 유형과 상기 동작 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  45. 제43항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    제품 식별 코드를 포함하여 이루어지며,
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    상기 툴 유형과 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  46. 제43항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    엔티티 식별 코드, 동작 식별 코드 및 제품 식별 코드를 포함하여 이루어지고,
    상기 툴 유형을 결정하는 단계는
    상기 엔티티 식별 코드에 근거하여 상기 툴 유형을 결정하는 단계를 더 포함하여 이루어지며,
    상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계는
    상기 툴 유형, 상기 동작 식별 코드 및 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  47. 제41항에 있어서,
    상기 문맥 정보는
    상기 선택된 툴과 관련된 엔티티 식별 코드를 포함하여 이루어지고,
    상기 툴 유형을 결정하는 단계는 상기 엔티티 식별 코드에 기초해서 상기 툴 유형을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  48. 제39항에 있어서,
    상기 선택된 툴은 동작 레시피를 갖고,
    상기 방법은 상기 제 1 제어 액션들과 제 2 제어 액션들에 근거하여 상기 선택된 툴의 상기 동작 레시피를 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템 제어 방법.
  49. 피가공물들을 프로세스하는 복수의 툴 들과; 그리고
    상기 선택된 툴에 대해 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 식별하고, 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹에 대해 상기 선택된 툴과 관련된 이전의 제어 액션들에 관한 제어 상태 정보를 검색하고, 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹로부터 제 1 제어 루틴을 실행하여 제 1 제어 액션을 발생시키고, 상기 제 1 제어 액션에 근거하여 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹로부터의 제 2 제어 루틴과 관련된 상기 제어 상태 정보를 변경하고, 그리고 상기 수정된 제어 상태 정보에 근거하여 상기 제 2 제어 루틴을 실행하여 제 2 제어 액션을 발생시키는 제어 실행기를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  50. 제49항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 제어 루틴들의 라이브러리에 링크하여 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  51. 제49항에 있어서,
    상기 제어 실행 관리기는 또한 기준선 제어 스크립트에 문맥 정보를 제공하고, 상기 제어 실행기는 또한 상기 문맥 정보에 근거하여 툴 유형을 결정하고, 상기 툴 유형에 근거하여 상기 선택된 툴에 대한 잠재적인 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  52. 제51항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 제어 루틴들의 라이브러리에 링크함으로써 상기 잠재적인 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  53. 제51항에 있어서,
    상기 제어 실행기는 상기 문맥 정보에 근거하여 상기 잠재적인 제어 루틴들의 그룹으로부터 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  54. 제53항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 동작 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형과 상기 동작 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  55. 제53항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 제품 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형과 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  56. 제53항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 엔티티 식별 코드, 동작 식별 코드 및 제품 식별 코드를 포함하고, 상기 제어 실행기는 상기 엔티티 식별 코드에 근거하여 상기 툴 유형을 결정하고, 그리고 상기 제어 실행기는 상기 툴 유형, 상기 동작 식별 코드 및 상기 제품 식별 코드에 기초해서 상기 요구되는 제어 루틴들의 그룹을 선택하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  57. 제51항에 있어서,
    상기 문맥 정보는 상기 선택된 툴과 관련된 엔티티 식별 코드를 포함하며, 상기 제어 실행기는 상기 엔티티 식별코드에 기초하여 툴 유형을 결정하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
  58. 제49항에 있어서,
    상기 선택된 툴은 동작 레시피를 갖고, 상기 제어 실행기는 또한 상기 제 1 과 제 2 제어 액션들에 근거하여 상기 선택된 툴의 상기 동작 레시피를 변경하는 것을 특징으로 하는 제조 시스템.
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