JP2001106086A - ボンベ搬送格納システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シリンダーキャビネット内へのボンベの格納
・取出し及び搬送を容易に行うことができるボンベ搬送
格納システムを提供する。 【解決手段】 シリンダーキャビネット１０、ボンベ搬
送台車２０、搬送用アダプタ３０を含むボンベ搬送格納
システムであって、搬送用アダプタ３０は、ボンベＢを
載置する底板部３１と、両側方に張り出した一対の鍔部
３２とを有し、シリンダーキャビネット１０は、格納ス
ペース１２の底部に内外方向に移動可能なテーブル１６
を有し、ボンベ搬送台車２０は、走行車輪２１ａ，２１
ｂを備えたフレーム２２に対して上下動可能に設けら
れ、ボンベに装着した搬送用アダプタの鍔部に係合して
昇降させるフォーク２４を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ボンベ搬送格納シ
ステムに関し、詳しくは、シリンダーキャビネットへの
ボンベの格納や取出しを容易に行うためのボンベ搬送格
納システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】各種ガスを供給するための設備として、
シリンダーキャビネットが広く用いられている。このよ
うなシリンダーキャビネットでは、各種ガスが充填され
たボンベを、ボンベ出し入れ用の扉を有する格納スペー
ス内に立設状態で格納するようにしているが、格納スペ
ース内にボンベを格納する際には、シリンダーキャビネ
ット底部の台座の高さ以上にボンベを持ち上げて格納ス
ペースの底板上に載置する必要があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、通常のボンベ
は１００ｋｇ程度の重量を有しているおり、上記格納作
業は、ボンベを抱え上げて行う状態になるため、作業者
にとって重労働となっていた。さらに、格納スペースの
狭い空間内にボンベを入れなければならないため、作業
性もよくなかった。

【０００４】このため、格納スペースの底部に前後方向
のレールを敷設し、該レール上に移動テーブルを備えた
シリンダーキャビネットが提案されている。この場合
は、広い空間で作業を行うことはできるものの、レール
等の分だけボンベ載置面が高くなってしまうため、ボン
ベを従来より高く抱え上げなければならないという不都
合があった。

【０００５】そこで本発明は、シリンダーキャビネット
内へのボンベの格納・取出し及び搬送を容易に行うこと
ができるボンベ搬送格納システムを提供することを目的
としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のボンベ搬送格納システムは、ボンベを立設
状態で格納する格納スペースを有するシリンダーキャビ
ネットと、ボンベを搬送するためのボンベ搬送台車と、
ボンベに装着する搬送用アダプタとを含むボンベ搬送格
納システムであって、前記搬送用アダプタは、ボンベを
立設状態で載置する底板と、該底板の上方でボンベの両
側方に張り出した一対の鍔部とを有し、前記シリンダー
キャビネットは、格納スペースの底部に、搬送用アダプ
タを装着したボンベを載置して格納スペース内外方向に
移動可能なテーブルを有し、前記ボンベ搬送台車は、走
行車輪を備えたフレームと、該フレームに対して上下動
可能に設けられ、前記ボンベに装着した搬送用アダプタ
の鍔部に係合して前記格納スペースの外部に移動させた
テーブル上で搬送用アダプタを昇降させるフォークとを
有していることを特徴としている。

【０００７】

【発明の実施の形態】図１乃至図３は、本発明のボンベ
搬送格納システムの一形態例を示すもので、図１は一部
断面側面図、図２は同じく平面図、図３はシリンダーキ
ャビネットの断面正面図である。

【０００８】このボンベ搬送格納システムは、半導体製
造装置にボンベＢ内のガスを供給するためのシリンダー
キャビネット１０と、ボンベＢを載置して搬送するため
のボンベ搬送台車２０と、シリンダーキャビネット１０
に格納されるボンベＢに装着する搬送用アダプタ３０と
により構成されている。

【０００９】まず、シリンダーキャビネット１０は、前
面に開閉扉１１を有し、後面，左右の三方の壁１２ａ及
び天板１２ｂ、底板１２ｃによって気密に囲まれた箱状
の格納スペース１２を有するものであって、該格納スペ
ース１２の背面にはボンベに接続するための配管（図示
せず）が設けられ、天板上部には各配管に設けられてい
る弁の開閉や圧力の監視、ガス漏れの監視等を行うため
の機器を収納した制御ボックス１３や半導体製造装置等
に接続するための配管を収納した配管用ボックス１４が
設置されている。また、格納スペース１２の中段部に
は、ボンベＢを格納状態に保持固定するめの固定バンド
（チェーン）１５が設けられている。

【００１０】さらに、格納スペース１２の底部には、格
納スペース１２の内外方向、すなわち、開閉扉１１を開
いた状態で、格納スペース１２内の実線位置と格納スペ
ース１２外の想像線とに移動可能なテーブル１６が設け
られている。このテーブル１６は、格納スペース１２の
底板上に設けられた複数のガイドブロック１７と、テー
ブル１６の下面に設けられて前記ガイドブロック１７に
よりガイドされてスライドするスライドレール１８によ
って移動可能に支持されている。

【００１１】なお、レールとブロックの位置関係を逆に
することもでき、適宜なローラーを使用することもでき
る。また、テーブル１６の移動や所定位置での固定は、
手動操作によっても行うことができるが、エアーシリン
ダーやモーター等の駆動部材を適宜に使用することがで
きる。さらに、ボンベＢと配管とが接続されているとき
にはテーブル１６を移動させないような安全装置を設け
ておくこともできる。

【００１２】前記搬送用アダプタ３０は、ボンベＢを載
置する底板部３１と、該底板３１の上方で両側方に張り
出した一対の鍔部３２を有する逆向きハット状の金属薄
板製基板３３と、該基板３３から上方に立ち上がって前
方が開口した平面視略コ字状の保持フレーム３５ａ，３
５ｂと、該保持フレーム３５ａ，３５ｂの上端部に設け
られたボンベ固定バンド３６とにより形成されている。
この搬送用アダプタ３０は、底板部３１上に載置したボ
ンベＢをボンベ固定バンド３６で固定することにより、
ボンベＢと一体化した状態となる。

【００１３】前記ボンベ搬送台車２０は、前記搬送用ア
ダプタ３０を装着した状態のボンベＢを搬送するための
ものであって、４個の走行車輪２１ａ，２１ｂを有する
平面視略コ字状のフレーム２２と、該フレーム２２の後
部側から立設したハンドルポスト２３と、該ハンドルポ
スト２３のメインポスト２３ａに沿って上下動可能にガ
イドされるフォーク２４と、該フォーク２４を昇降させ
るための駆動手段であるシリンダー２５等とにより形成
されている。

【００１４】フレーム２２の前方に突きだした左右一対
の脚部２２ａは、前記テーブル１６よりも十分に広い幅
を有しており、該脚部２２ａの前端に設けられる走行車
輪２１ａには方向固定車輪が用いられている。また、フ
レーム後部側の走行車輪２１ｂには方向可変車輪が用い
られており、その一方にはブレーキが装着されている。

【００１５】前記シリンダー２５は、メインポスト２３
ａに沿うように設けられており、ピストンロッド２５ａ
の先端には滑車２５ｂが設けられている。この滑車２５
ｂには、一端が前記フォーク２４に連結され、他端がハ
ンドルポスト２３に連結されたワイヤー２５ｃが掛け渡
されており、ピストンロッド２５ａを伸縮させることに
より、滑車２５ｂを介してフォーク２４を昇降させるこ
とができるように形成されている。また、シリンダー２
５には、ポンプペダル２５ｄと切換バルブ２５ｅとが設
けられており、切換バルブ２５ｅを上昇側に切換えてポ
ンプペダル２５ｄを操作し、シリンダー２５のピストン
ロッド２５ａを伸長させることにより滑車２５ｂを介し
てフォーク２４が上昇し、切換バルブ２５ｅを下降側に
切換えるとフォーク２４が下降するように形成されてい
る。

【００１６】なお、フォーク２４の上下動の範囲は、床
面からテーブル１６の上面までの高さ寸法以上であれば
よく、通常は１００ｍｍ程度もあれば十分である。ま
た、シリンダー２５の作動は、油圧あるいは空圧シリン
ダーを使用して手動で行う以外に、搬送台車２０にバッ
テリーを搭載して電動で行うことも可能であり、昇降機
構の構造も任意に選定することができる。

【００１７】フォーク２４は、左右一対のフォーク爪２
４ａと、該フォーク爪２４ａの基部から立上がったボン
ベ保持枠２４ｂと、該ボンベ保持枠２４ｂの後部に設け
られたガイド部２４ｃとを有する側面視略Ｌ字状のもの
であって、ガイド部２４ｃが前記メインポスト２３ａに
ガイドされて上下動するように形成されている。前記フ
ォーク爪２４ａ同士の内法は、前記搬送用アダプタ３０
の底板３１より幅広で、鍔部３２の下面に係合可能な寸
法を有している。さらに、フォーク爪２４ａの先端上面
には、鍔部３２の下面へのフォーク爪２４ａの出し入れ
を円滑に行うための複数のローラー２６が設けられてお
り、ボンベ保持枠２４ｂの上部にはボンベを固定するた
めのベルト２７が設けられている。

【００１８】フォーク爪２４ａの高さと搬送用アダプタ
３０の鍔部３２の高さとの関係は、フォーク２４を下端
まで下降させたときに、鍔部３２の下面より下方にフォ
ーク爪２４ａの上面が位置するように設定されている。
これにより、搬送用アダプタ３０を装着して床面に置い
た状態のボンベＢを容易にボンベ搬送台車２０上に載置
することができる。

【００１９】ここで、図４乃至図７を参照してボンベＢ
をシリンダーキャビネット１０内に格納する手順を説明
する。図４及び図５は、搬送用アダプタ３０を装着した
ボンベＢを搬送台車２０からテーブル１６に移載する前
の状態を示すもので、図４は側面図、図５は平面図であ
る。また、図６及び図７は、搬送用アダプタ３０を装着
したボンベＢを搬送台車２０からテーブル１６に移載し
た後の状態を示すもので、図６は側面図、図７は平面図
である。

【００２０】まず、ボンベＢには、あらかじめ搬送用ア
ダプタ３０を装着してボンベ固定バンド３６で固定した
状態にしておく。この搬送用アダプタ３０は、ボンベＢ
に常時装着した状態としておいてもよく、搬送前にボン
ベＢの保管場所で装着するようにしてもよい。このと
き、ボンベＢを搬送用アダプタ３０の底板部３１上に載
置する作業は、底板部３１の厚さが数ｍｍ程度であるた
め、通常のボンベ搬送と同様にして行うことができ、重
量物であるボンベＢを抱え上げる必要はない。

【００２１】ボンベＢに装着した搬送用アダプタ３０の
鍔部３２を、搬送台車２０のフォーク爪２４ａ上に載置
してベルト２７で保持固定し、ボンベ保管場所からシリ
ンダーキャビネット１０の位置まで搬送する。このと
き、搬送台車２０のポンプペダル２５ｄを操作し、搬送
用アダプタ３０の底板部３１が適当な位置になるように
フォーク２４を上昇させておく。一方、シリンダーキャ
ビネット１０では、開閉扉１１を開き、テーブル１６を
手前に引き出して所定位置に固定しておく。この状態
で、図４及び図５に示すように、搬送用アダプタ３０が
テーブル１６の上方の所定位置になるように搬送台車２
０を前進させてフォーク２４間にテーブル１６を進入さ
せる。

【００２２】搬送台車２０の位置が確定したら、切換バ
ルブ２５ｅを操作してフォーク２４を下降させ、搬送用
アダプタ３０をテーブル１６上に降ろした後、ベルト２
７を解放して搬送台車２０を後退させる。これにより、
図６及び図７に示すように、ボンベＢが搬送用アダプタ
３０を介してテーブル１６上に載置された状態になる。
次いで、テーブル１６をスライドさせてボンベＢを格納
スペース１２内の所定位置まで押し込み、テーブル１６
をロックするとともにボンベＢの上部を固定バンド１５
で固定することにより、ボンベＢの格納作業が終了す
る。

【００２３】この後は、通常通り、ボンベＢと配管とを
接続すればよい。また、ボンベＢの取り出しは、上記手
順を逆に行うことによって行うことができるので、詳細
な説明は省略する。なお、通常は、空のボンベをシリン
ダーキャビネット１０から取り出して充填済みのボンベ
を格納する手順になる。

【００２４】このような作業において、適当な箇所に光
電センサーや磁気センサー、あるいはリミットスイッチ
等からなる位置検出手段を設けておいたり、シリンダー
キャビネット１０と搬送台車２０との間に適宜な通信手
段を設けておくことにより、シリンダーキャビネット１
０と搬送台車２０との間のボンベＢの受け渡しを自動的
にかつ安全性を確保した状態で行うことが可能となる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のボンベ搬
送格納システムによれば、ボンベ保管場所とシリンダー
キャビネットとの間のボンベの搬送から、シリンダーキ
ャビネットへのボンベの格納や取出しを、ボンベを抱え
上げる作業を必要とせずに行うことができるので、シリ
ンダーキャビネットにおけるボンベ交換等の作業性を大
幅に向上させることができる。また、搬送台車及び搬送
用アダプタは、ボンベの秤量の際にボンベを台秤の上に
載せるときにも使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のボンベ搬送格納システムの一形態例
を示す一部断面側面図である。

【図２】 同じく平面図である。

【図３】 シリンダーキャビネットの断面正面図であ
る。

【図４】 搬送用アダプタを装着したボンベを搬送台車
からテーブルに移載する前の状態を示す側面図である。

【図５】 同じく平面図である。

【図６】 搬送用アダプタを装着したボンベを搬送台車
からテーブルに移載した後の状態を示す側面図である。

【図７】 同じく平面図である。

【符号の説明】

１０…シリンダーキャビネット、１１…開閉扉、１２…
格納スペース、１２ａ…壁、１２ｂ…天板、１２ｃ…底
板、１３…制御ボックス、１４…配管用ボックス、１５
…固定バンド、１６…テーブル、１７…ガイドブロッ
ク、１８…スライドレール、２０…ボンベ搬送台車、２
１ａ，２１ｂ…走行車輪、２２…フレーム、２２ａ…脚
部、２３…ハンドルポスト、２３ａ…メインポスト、２
４…フォーク、２４ａ…フォーク爪、２４ｂ…ボンベ保
持枠、２４ｃ…ガイド部、２５…シリンダー、２５ａ…
ピストンロッド、２５ｂ…滑車、２５ｃ…ワイヤー、２
５ｄ…ポンプペダル、２５ｅ…切換バルブ、２６…ロー
ラー、２７…ベルト、３０…搬送用アダプタ、３１…底
板部、３２…鍔部、３３…金属薄板製基板、３５ａ，３
５ｂ…保持フレーム、３６…ボンベ固定バンド、Ｂ…ボ
ンベ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ボンベを立設状態で格納する格納スペー
   スを有するシリンダーキャビネットと、ボンベを搬送す
   るためのボンベ搬送台車と、ボンベに装着する搬送用ア
   ダプタとを含むボンベ搬送格納システムであって、前記
   搬送用アダプタは、ボンベを立設状態で載置する底板
   と、該底板の上方でボンベの両側方に張り出した一対の
   鍔部とを有し、前記シリンダーキャビネットは、格納ス
   ペースの底部に、搬送用アダプタを装着したボンベを載
   置して格納スペース内外方向に移動可能なテーブルを有
   し、前記ボンベ搬送台車は、走行車輪を備えたフレーム
   と、該フレームに対して上下動可能に設けられ、前記ボ
   ンベに装着した搬送用アダプタの鍔部に係合して前記格
   納スペースの外部に移動させたテーブル上で搬送用アダ
   プタを昇降させるフォークとを有していることを特徴と
   するボンベ搬送格納システム。