KR20210029423A - 가스 실린더 보관 장치 - Google Patents

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Abstract

가스 실린더 보관 장치가 개시된다. 상기 가스 실린더 보관 장치는, 가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버와, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들과, 상기 보관 챔버의 일측에 구비되며 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어와, 상기 가스 실린더들의 이송을 위한 이송 장치와 통신이 가능하도록 구성되며 상기 이송 장치가 상기 도어에 근접하는 경우 상기 도어의 개폐를 제어하기 위한 제어 유닛을 포함한다.

Description

가스 실린더 보관 장치{Apparatus for storing gas cylinders}
본 발명의 실시예들은 가스 실린더 보관 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 사용되는 공정용 가스들의 공급을 위한 가스 실린더들의 보관을 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 개별화될 수 있으며 다이 본딩 공정과 패키징 공정을 통해 반도체 패키지들로서 제조될 수 있다.
상기 반도체 소자들의 제조를 위한 제조 공정들에는 다양한 종류의 공정 가스들이 공급될 수 있다. 상기 공정 가스들은 실린더 형태의 저장 용기들에 저장된 상태로 각 공정 설비들에 공급될 수 있으며, 상기 공정 가스들의 저장을 위한 가스 실린더들은 별도의 보관 장치를 통해 보관 및 관리될 수 있다. 그러나, 상기 가스 실린더들의 보관 및 관리에 대한 자동화가 충분하지 않음에 따라 작업자에 의한 수작업으로 보관 및 관리가 이루어지고 있으며, 이에 따라 상기 가스 실린더들의 보관을 위한 이동 중 안전 사고의 위험이 있으며 아울러 가스 누설에 의한 작업자의 위험 노출에 대한 대응 방안이 요구되고 있다.
본 발명의 실시예들은 가스 실린더들의 보관 및 관리를 자동화할 수 있는 가스 실린더 보관 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치는, 가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버와, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들과, 상기 보관 챔버의 일측에 구비되며 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어와, 상기 가스 실린더들의 이송을 위한 이송 장치와 통신이 가능하도록 구성되며 상기 이송 장치가 상기 도어에 근접하는 경우 상기 도어의 개폐를 제어하기 위한 제어 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더들에는 상기 가스 실린더들의 이력 정보가 저장된 정보 태그가 각각 부착되고, 상기 보관 챔버에는 상기 가스 실린더들의 정보 태그들로부터 상기 이력 정보를 획득하기 위한 적어도 하나의 정보 획득 유닛이 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 표시하기 위한 디스플레이 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버의 내부 공간은 상기 서포트 부재들이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들을 포함하며, 상기 제어 유닛은 가스 실린더의 수납을 위해 상기 수납 공간들 중 빈 수납 공간에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버에 보관된 가스 실린더들 중 반출하고자 하는 가스 실린더의 위치 정보를 상기 이송 장치로 전송할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버의 일측에는 복수의 도어들이 구비되고, 상기 제어 유닛은 상기 도어들 중 상기 빈 수납 공간 또는 상기 반출하고자 하는 가스 실린더에 인접하는 도어를 개방할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 압력 조절 유닛은 상기 보관 챔버의 내부 압력을 외부 압력보다 낮게 유지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 가스 실린더들의 수납 및 반출을 위해 상기 그리퍼들의 동작을 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버와 상기 도어 사이에는 가스 누설을 방지하기 위한 밀봉 부재가 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버 내에는 상기 가스 실린더로부터 누설된 가스를 검출하기 위한 가스 센서가 배치될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더들은 상기 이송 장치에 의해 상기 보관 챔버 내부에 수납되거나 상기 보관 챔버로부터 반출될 수 있다. 이때, 상기 제어 유닛은 상기 가스 실린더들의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어 및 상기 그리퍼들을 개폐할 수 있으며 아울러 상기 도어가 개방되는 경우에도 상기 보관 챔버 내부의 압력을 일정하게 유지하기 위해 상기 압력 조절 유닛의 동작을 제어할 수 있다. 또한, 상기 가스 실린더들의 이력 정보는 상기 정보 획득 유닛에 의해 획득될 수 있으며 획득된 정보는 상기 제어 유닛으로 전송되어 별도의 메모리 장치에 저장될 수 있으며 아울러 상기 디스플레이 유닛에 의해 사용자에게 제공될 수 있다.
상기와 같이 상기 가스 실린더들의 보관 및 관리가 상기 가스 실린더 보관 장치에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들의 취급 과정에서 발생될 수 있는 안전 사고가 크게 감소될 수 있다. 또한, 가스 누설에 대비하여 상기 보관 챔버의 내부 압력을 기 설정된 압력으로 유지함으로써 상기 보관 챔버 외부로 가스가 유출되는 것을 충분히 방지할 수 있으며, 상기 가스가 상기 보관 챔버 내에서 누설되는 경우 상기 가스 센서를 통해 상기 누설된 가스를 검출하고 상기 압력 조절 유닛을 통해 상기 누설된 가스를 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 가스 실린더 보관 장치에 대한 가스 실린더의 수납 및 반출 방법을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들은 가스 실린더 보관 장치(100)에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 사용되는 공정용 가스의 공급을 위한 가스 실린더들(10)의 보관을 위한 장치(100)에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는, 가스 실린더들(10)의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버(102)와, 상기 보관 챔버(102) 내에 배치되며 상기 가스 실린더들(10)을 지지하기 위한 서포트 부재들(110)과, 상기 보관 챔버(102) 내에 배치되며 상기 가스 실린더들(10)을 고정하기 위한 그리퍼들(120)과, 상기 보관 챔버(102)의 일측에 구비되며 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어들(130)과, 상기 가스 실린더들(10)의 이송을 위한 이송 장치(20)와 통신이 가능하도록 구성되며 상기 이송 장치(20)가 상기 도어(130)에 근접하는 경우 상기 도어(130)의 개폐를 제어하기 위한 제어 유닛(140)을 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 보관 챔버(102)의 내부 공간은 상기 서포트 부재들(110)이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들(104)을 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면 상기 수납 공간들(104)을 구획하기 위한 별도의 격벽이 구비되지는 않고 있으나 필요에 따라 복수의 격벽들이 상기 보관 챔버(102) 내에 구비될 수도 있다.
상기 가스 실린더들(10)에는 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보가 저장되는 정보 태그(12)가 각각 부착될 수 있다. 예를 들면, 상기 정보 태그(12)에는 각각의 가스 실린더(10)에 저장되는 가스 재료를 나타내는 자재 코드, 제조 번호, 충전 가스의 순도, 제조 일자, 만기 일자 등 일련의 정보들이 저장될 수 있으며, 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 가스 실린더들(10)의 정보 태그들(12)로부터 상기 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛(150)이 구비될 수 있다.
일 예로서, 상기 가스 실린더(10)에 바코드가 부착될 수 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 바코드의 정보를 읽기 위한 바코드 리더기가 구비될 수 있다. 또한, 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 바코드 리더기를 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(152)가 구비될 수 있으며, 상기 수평 구동부(152)는 상기 바코드 리더기가 상기 가스 실린더들(10)의 상부에 위치되도록 상기 바코드 리더기를 이동시킬 수 있다. 그러나, 상기와 다르게, 복수의 바코드 리더기들이 상기 가스 실린더들(10)의 상부에 배치될 수도 있다.
다른 예로서, 상기 가스 실린더(10)에는 QR(Quick Response) 코드가 부착될 수도 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 하나의 QR 스캐너와 수평 구동부(152) 또는 복수의 QR 스캐너들이 구비될 수 있다. 또 다른 예로서, 상기 가스 실린더(10)에는 NFC(Near Field Communication) 태그, RFID(Radio Frequency Identification) 태그 등과 같은 전자 태그가 부착될 수 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 NFC 태그, RFID 태그 등과 무선 통신이 가능한 무선 단말기가 구비될 수 있다.
상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 제어 유닛(140)과 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 상기 제어 유닛(140)으로 전송할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버(102)의 외측에는 사용자에게 보관된 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 제공하기 위한 디스플레이 유닛(160)이 배치될 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 전송된 이력 정보를 별도의 메모리 장치(미도시)에 저장하여 관리할 수 있으며 또한 상기 디스플레이 유닛(160)을 통해 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 사용자에게 제공할 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 가스 실린더 보관 장치에 대한 가스 실린더의 수납 및 반출 방법을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 가스 실린더들(10)은 무인 반송 로봇과 같은 이송 장치(20)에 의해 상기 보관 챔버(102) 내에 수납되거나 상기 보관 챔버(102)로부터 반출될 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 이송 장치(20)와 무선 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 가스 실린더(10)의 수납을 위해 상기 수납 공간들(104) 중 빈 수납 공간(104)에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버(102)에 보관된 가스 실린더들(10) 중 반출하고자 하는 가스 실린더(10)의 위치 정보를 상기 이송 장치(20)로 전송할 수 있다.
상기 이송 장치(20)는 상기 제어 유닛(140)으로부터 전송된 위치 정보를 이용하여 상기 빈 수납 공간(104) 또는 상기 반출하고자 하는 가스 실린더(10)에 인접한 위치로 이동할 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 이송 장치(20)가 상기 도어(130)에 근접하는 경우 상기 도어(130)를 개방할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 복수의 도어들(130)을 구비할 수 있으며, 상기 이송 장치(20)가 근접하는 경우 상기 도어들(130) 중 상기 빈 수납 공간(104) 또는 반출하고자 하는 가스 실린더(10)에 인접하는 도어(130)를 개방할 수 있다. 도시된 바에 의하면, 두 개의 도어들(130)이 구비되고 있으나, 상기 도어들(130)의 개수는 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기와 같이 빈 수납 공간(104)에 대한 상기 가스 실린더(10)의 수납이 완료된 후 또는 상기 반출하고자 하는 가스 실린더(10)의 반출이 완료된 후 상기 제어 유닛(140)은 상기 개방된 도어(130)를 닫을 수 있다. 일 예로서, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 도어들(130)의 개폐를 위한 도어 구동부(미도시)를 구비할 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 도어 구동부의 동작을 제어할 수 있다.
또한, 상기 제어 유닛(140)은 상기 보관 챔버(102) 내에서 상기 가스 실린더들(10)을 고정하기 위한 그리퍼들(120)의 동작을 제어할 수 있다. 일 예로서, 도시된 바와 같이 상기 그리퍼들(120)은 각각 집게 형태로 구성되는 한 쌍의 그리퍼 부재들과 상기 그리퍼 부재들을 구동하기 위한 그리퍼 구동부(122)를 포함할 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 실린더(10)의 수납 및 반출 동작에 따라 상기 그리퍼 부재들이 개폐되도록 상기 그리퍼 구동부(122)의 동작을 제어할 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 보관 챔버(102) 내부의 온도는 상기 가스 실린더들(10)로부터의 가스 누설을 방지하기 위하여 기 설정된 온도로 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위해 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 보관 챔버(102) 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛(170)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 온도 조절 유닛(170)은 상기 보관 챔버(102)의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서와 상기 보관 챔버(102)의 내부 온도를 조절하기 위한 히터와 냉각기 등을 구비할 수 있다.
아울러, 상기 보관 챔버(102)의 내부는 외부로부터 밀폐되는 것이 바람직하며, 이를 위해 도시되지는 않았으나 상기 도어들(130) 사이 그리고 상기 보관 챔버(102)와 상기 도어들(130) 사이에는 가스 누설을 방지하기 위한 밀봉 부재(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버(102)의 내부는 상기 가스 실린더들(10)로부터 가스가 누설되는 경우 상기 누설된 가스가 외부로 확산되지 않도록 항시 대기압보다 낮은 음압 상태로 유지되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛(180)을 포함할 수 있다. 상기 압력 조절 유닛(180)은 가스 누설을 방지하기 위하여 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력을 대기압보다 낮은 음압, 특히 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력을 외부 압력보다 낮게 유지할 수 있다. 일 예로서, 상기 보관 챔버(102)의 상부에는 팬 필터 유닛이 배치될 수 있으며, 상기 가스 실린더들(10)로부터 가스가 누설되는 경우 상기 누설된 가스는 상기 팬 필터 유닛에 의해 제거될 수 있다. 이 경우, 상기 팬 필터 유닛은 가스 정제를 위한 가스 스크러버 등의 장치와 연결될 수 있다. 그러나, 본 발명의 범위가 상기 팬 필터 유닛에 의해 한정되지는 않으며 다양한 변형이 가능하다. 상기와 다른 예로서, 상기 보관 챔버(102)는 상기 진공 펌프, 진공 이젝터 등의 진공 제공부와 연결될 수도 있으며, 상기 진공 제공부에 의해 배출되는 공기와 가스 등은 상기 가스 스크러버를 통해 정제된 후 외부로 배출될 수 있다.
상기 제어 유닛(140)은 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력이 기 설정된 압력으로 유지되도록 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있다. 특히, 상기 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어(130)가 개방되는 경우에도 상기 보관 챔버(102)의 외측에서 내측으로 기류가 형성되도록 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있으며 이를 통해 상기 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출 과정에서 혹시라도 있을 수 있는 가스 유출 방지할 수 있다.
또한, 상기 보관 챔버(102) 내부에는 가스 누설을 감지하기 위한 가스 센서(190)가 배치될 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 센서(190)의 출력 신호에 따라 가스 누설 여부를 판단하고 상기 가스 실린더(10)로부터 가스가 누설되는 경우 사용자에게 이를 알리는 경보 신호를 발생시킬 수 있다. 또한, 상기 압력 조절 유닛(180)을 통해 상기 누설된 가스를 배출할 수 있으며, 상기 보관 챔버(102) 내부에 누설된 가스가 모두 제거되기 전까지 상기 도어(130)가 개방되지 않도록 상기 도어 구동부의 동작을 제어할 수 있다.
추가적으로, 상기 보관 챔버(102) 내부의 상기 누설된 가스가 충분히 제거되고 안전이 확보된 후 상기 제어 유닛(140)은 상기 경보 신호의 중지와 함께 상기 디스플레이 유닛(160) 등을 통해 누설된 가스의 제거 상태를 사용자에게 알릴 수 있다. 특히, 여러 종류의 가스들을 검출할 수 있도록 복수의 가스 센서들(190)을 상기 보관 챔버(102) 내에 배치할 수 있으며, 가스 누설이 발생되는 경우 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 센서들(190)에 의해 검출된 상기 누설된 가스의 종류, 상기 보관 챔버(102) 내부의 가스 농도, 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력, 상기 누설된 가스의 제거 상태 등을 상기 디스플레이 유닛(160)을 통해 사용자에게 알릴 수 있다. 특히, 누설된 가스의 무게에 따라 공기보다 무거운 가스와 공기보다 가벼운 가스를 모두 검출하기 위하여 상기 보관 챔버(102)의 바닥과 천장 부위에 각각 가스 센서들(190)이 배치될 수도 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더들(10)은 상기 이송 장치(20)에 의해 상기 보관 챔버(102) 내부에 수납되거나 상기 보관 챔버(102)로부터 반출될 수 있다. 이때, 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 실린더들(10)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어(130) 및 상기 그리퍼들(120)을 개폐할 수 있으며 아울러 상기 도어(130)가 개방되는 경우에도 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력을 일정하게 유지하기 위해 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있다. 또한, 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보는 상기 정보 획득 유닛(150)에 의해 획득될 수 있으며 획득된 정보는 상기 제어 유닛(140)으로 전송되어 별도의 메모리 장치에 저장될 수 있으며 아울러 상기 디스플레이 유닛(160)에 의해 사용자에게 제공될 수 있다.
상기와 같이 상기 가스 실린더들(10)의 보관 및 관리가 본 발명의 상기 실시예들에 따른 상기 가스 실린더 보관 장치(100)에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들(10)의 취급 과정에서 발생될 수 있는 안전 사고가 크게 감소될 수 있다. 또한, 가스 누설에 대비하여 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력을 기 설정된 압력으로 유지함으로써 상기 보관 챔버(102) 외부로 가스가 유출되는 것을 충분히 방지할 수 있으며, 상기 가스가 상기 보관 챔버(102) 내에서 누설되는 경우 상기 가스 센서(190)를 통해 상기 누설된 가스를 검출하고 상기 압력 조절 유닛(180)을 통해 상기 누설된 가스를 제거할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 가스 실린더 12 : 정보 태그
20 : 이송 장치 100 : 가스 실린더 보관 장치
102 : 보관 챔버 104 : 수납 공간
110 : 서포트 부재 120 : 그리퍼
130 : 도어 140 : 제어 유닛
150 : 정보 획득 유닛 160 : 디스플레이 유닛
170 : 온도 조절 유닛 180 : 압력 조절 유닛
190 : 가스 센서

Claims (11)

  1. 가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버;
    상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들;
    상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들;
    상기 보관 챔버의 일측에 구비되며 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어; 및
    상기 가스 실린더들의 이송을 위한 이송 장치와 통신이 가능하도록 구성되며 상기 이송 장치가 상기 도어에 근접하는 경우 상기 도어의 개폐를 제어하기 위한 제어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가스 실린더들에는 상기 가스 실린더들의 이력 정보가 저장된 정보 태그가 각각 부착되고,
    상기 보관 챔버에는 상기 가스 실린더들의 정보 태그들로부터 상기 이력 정보를 획득하기 위한 적어도 하나의 정보 획득 유닛이 구비되는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 표시하기 위한 디스플레이 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버의 내부 공간은 상기 서포트 부재들이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들을 포함하며,
    상기 제어 유닛은 가스 실린더의 수납을 위해 상기 수납 공간들 중 빈 수납 공간에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버에 보관된 가스 실린더들 중 반출하고자 하는 가스 실린더의 위치 정보를 상기 이송 장치로 전송하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 보관 챔버의 일측에는 복수의 도어들이 구비되고,
    상기 제어 유닛은 상기 도어들 중 상기 빈 수납 공간 또는 상기 반출하고자 하는 가스 실린더에 인접하는 도어를 개방하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 압력 조절 유닛은 상기 보관 챔버의 내부 압력을 외부 압력보다 낮게 유지하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제어 유닛은 상기 가스 실린더들의 수납 및 반출을 위해 상기 그리퍼들의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버와 상기 도어 사이에는 가스 누설을 방지하기 위한 밀봉 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버 내에는 상기 가스 실린더로부터 누설된 가스를 검출하기 위한 가스 센서가 배치되는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.
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