KR20150116194A

KR20150116194A - 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템

Info

Publication number: KR20150116194A
Application number: KR1020140041065A
Authority: KR
Inventors: 서강래; 김영준
Original assignee: 서강래
Priority date: 2014-04-07
Filing date: 2014-04-07
Publication date: 2015-10-15
Also published as: KR101589678B1

Abstract

본 발명은 근거리 통신을 이용하여 캐비닛에 설치되는 반도체 제조 공정용 가스 실린더의 정보를 제공할 수 있는 시스템에 관한 것으로, 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템은 가스 보틀에 부착되며 가스 정보가 저장된 무선식별 태그(Tag)와; 무선식별 태그에 저장된 가스 정보를 수신하는 리더모듈과 상기 리더모듈에서 수신된 가스 정보를 송신하는 라이터모듈을 포함하는 무선 송수신장치; 및 근접에 따라 무선 송수신장치에 저장된 가스 정보를 수신하는 무선식별 리더기를 포함하는 컨트롤러장치; 를 포함하여 구성되며, 컨트롤러장치는 수신된 가스 정보를 표시하는 것을 기술적 특징으로 한다.

Description

근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템{GAS CYLINDER INFORMATION PROVIDING SYSTEM USING SHORT RANGE WIRELESS COMMUNICATION FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE}

본 발명은 근거리 통신을 이용하여 캐비닛에 설치되는 반도체 제조 공정용 가스 보틀(bottle)의 정보를 제공할 수 있는 시스템에 관한 것이다.

더욱 상세하게는 반도체 제조 공정용 가스 캐비닛(cabinet)에 설치되어 각종 공정에 사용되는 가스를 공급하는 가스 보틀(bottle)의 정보를 취득하고, 취득된 정보를 컨트롤러에 제공하여 가스 보틀을 원격에서 관리할 수 있는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에 관한 것이다.

반도체 제조공정에서는 많은 종류의 공정가스가 반도체 제조장치 내부로 공급되어 웨이퍼와 상호 반응됨으로써 제조공정이 진행된다.

이와 같이 각각의 반도체 장치로 공정가스를 공급하는 것은 하나의 공정가스 공급 캐비닛에서 여러 대의 반도체 제조장치로 공정가스를 공급하는 방식으로 이루어지거나, 복수의 캐비닛에서 반도체 제조장치로 공정가스를 공급하는 방식으로 이루어진다.

이러한 반도체 제조 공정에 사용되는 공정가스를 공급하는 캐비닛의 구성을 살펴보면 크게, 도 1에 도시된 바와 같이, 공급되는 가스의 종류, 압력, 무게 및 밸브 등을 제어하는 컨트롤러(1)와 가스가 충전된 보틀(3)이 수용되는 보틀 수용부(2)로 구성되며, 컨트롤러(1)와 보틀 수용부(2)는 구획된다.

캐비닛의 보틀 수용부(2)는 통상 2~4개 정도의 보틀(3)이 수용되며, 일반적으로 가스 보틀 중 어느 하나를 사용하여 반도체 제조 장치에 가스를 공급하고 있다. 또한, 반도체 제조 장치에 가스를 공급하고 있는 동안에 가스 잔류 중량, 압력이 측정된다. 이때, 연결되어 공급되는 가스 보틀 내의 가스 잔류 중량 및 가스의 압력이 안전하게 공급할 수 있는 하한의 잔류 중량 또는 하한의 압력에 도달하면, 연결된 제1 가스 보틀로부터 제2 가스 보틀로 전환하여 가스 공급을 계속한다.

공개특허공보 제10-2004-0035387호에 기재된 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치는 가스 라인의 압력을 감지하여 제공하는 압력 센서와 세팅된 압력과 비교하여 기준치 이하일 경우 이를 음성 및 시각으로 표시하는 마이컴을 포함하여 구성되어 실시간으로 가스의 압력을 검출하여 모니터링 할 수 있는 시스템을 제공한다.

이에 제1 가스 보틀은 충전된 가스 보틀로 교환되어 장착된다.

이러한 구성에서 보틀(3)에 충전된 가스는 배관의 노후화 또는 연결 부속의 마모 등에 따라 가스가 누설될 수 있으며, 가스 사용량을 지속적으로 모니터링 할 수 있는 장치(시스템) 등이 개발되었다. 즉, 수용부(2)의 가스 누설 상태를 검출하거나 사용량(무게, 압력)을 모니터링할 수 있는 시스템은 마련되어 있다.

그런데 보틀 수용부(2)에 장착된 가스 재료, 충전한 가스업체, 제품번호, 보틀 번호, 가스 재료의 순도 및 충전 가스의 사용 만기일자 등은 보틀(3)에 부착된 태그(Tag)를 확인하여 수기(手記)로 작성하는 데이터베이스(DB)에 저장하거나 데이터 테이블에 기입하는 실정이다.

이때, 반도체 공정에서 사용되는 가스 재료의 종류만 수 ~ 수십 가지 종류로 분류되는데, 공급되어야 할 가스 재료가 충전된 보틀이 해당 캐비닛의 보틀 수용부에 정확하게 장착되어야 함은 물론, 보틀에 충전된 가스는 사용 만기일자 범위에 있어야 하는바, 사용자가 직접 확인하여 보틀을 장착하는 방법으로는 작업 능률이 저하되는 단점과 잘못된 가스 재료가 공급될 수 있는 문제점이 발생될 수 있다.

한편, 일부 유해 가스 재료의 경우, 가스의 누설은 근처 작업자의 생명을 위협할 뿐만 아니라 폭발성이 있는 가스의 누설은 작업장의 폭발을 야기시킬 수 있는 문제점이 있다.

즉, 폭발 가능성이 있는 가스를 충전한 가스 보틀은 스파크(spark) 및 화기 등과 단절되어 있도록 구성되어야 하는 것으로, 보틀 수용부는 일반적으로 금속 재질로 구성되며, 그 내부는 밀폐된다.

따라서 이러한 보틀 수용부의 특성에 따라 가스 보틀의 정보를 취득하는 과정에서 스파크 등이 발생되지 않아야 하며 금속 재질에 따른 통신 장애를 극복해야 한다.

공개특허공보 제10-2004-0035387호(2004. 04. 29.)

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하고 보틀 교환에 따른 작업을 용이하게 하기 위한 요구에 부응하여 안출된 것으로, 본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 캐비닛의 보틀 수용부에 교환된 보틀의 정보를 용이하게 습득하여 컨트롤러부에 전송할 수 있는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템을 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명에서 해결하고자 하는 또 다른 과제는 보틀의 정보를 용이하게 습득하여 컨트롤러부에 전송하는 과정에서 폭발의 위험성을 최소화할 수 있는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템을 제공하는 데 있다.

위와 같은 과제를 수행하기 위한 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템은 가스 보틀에 부착되며 가스 정보가 저장된 무선식별 태그(Tag)와; 무선식별 태그에 저장된 가스 정보를 수신하는 리더모듈과 상기 리더모듈에서 수신된 가스 정보를 송신하는 라이터모듈을 포함하는 무선 송수신장치; 및 근접에 따라 무선 송수신장치에 저장된 가스 정보를 수신하는 무선식별 리더기를 포함하는 컨트롤러장치; 를 포함하여 구성되며, 컨트롤러장치는 수신된 가스 정보를 표시하는 것을 기술적 특징으로 한다.

여기서, 가스 정보는 가스 재료 코드 및 사용 만기일자를 포함하여 구성된다.

이 구성에서 컨트롤러장치는 무선식별 리더기에서 수신된 가스 재료 코드와 사용 만기일자를 포함하는 가스 정보를 수신하고, 수신된 가스 정보와 저장된 가스 정보와 비교하여 가스 재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 출력하도록 구성된다.

또한, 무선 송수신장치는 모바일기기로 구성될 수 있으며, 리더모듈 및 라이터모듈은 모바일기기에 설치 가능한 애플리케이션으로 제작될 수 있다.

또한, 무선식별 태그는 NFC 태그로 구성될 수 있다.

본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템은 교체된 보틀의 정보를 용이하게 컨트롤러부에 전송할 수 있으므로, 교환에 따른 시간이 단축되며, 입력된 정보에 따라 가스 재료의 공급 오류를 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 교체 주기에 따른 가스 사용량을 집계하여 교환 시점을 미리 판단할 수 있으며, 가스 교환에 따른 예산을 미리 가늠할 수 있는 효과가 있다.

뿐만 아니라 가스 정보의 습득 및 가스 정보를 입력하는 과정에서 스파크의 발생을 억제하여 폭발의 위험성을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래 반도체 가스 보틀 캐비넷의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 구성 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에서 가스 보틀의 정보를 취득하여 전송하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 개략적인 구성도이다.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.

또한, 본 발명을 설명하기에 앞서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기 설명에서는 구체적인 구성 소자 등과 같은 특정 사항들이 나타나고 있는데 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐 이러한 특정 사항들이 본 발명의 범위 내에서 소정의 변형이나 혹은 변경이 이루어질 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다 할 것이다.

본 발명은 근거리 통신을 이용하여 캐비닛에 설치되는 반도체 제조 공정용 가스 실린더의 정보를 제공할 수 있는 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정용 가스 캐비닛(cabinet)에 설치되어 각종 공정에 사용되는 가스를 공급하는 가스 보틀(bottle)의 정보를 취득하고, 취득된 정보를 컨트롤러에 제공하여 가스 보틀을 원격에서 관리할 수 있는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에 관한 것이다.

도 2는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 구성 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 정면도이다.

본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템은 가스 보틀(10)에 부착 설치되는 무선식별 태그(11)와 무선 송수신장치(20) 및 컨트롤러부(30)를 포함하여 구성된다.

가스 보틀(10)은 반도체 공정에서 사용되는 가스가 충전되며, 캐비닛(cabinet)의 보틀 수용부(40)에 수용되고, 캐비닛에 구성된 배관에 연결되어 장착된다.

가스가 충전된 가스 보틀(10)에는 충전된 가스의 재료에 대한 가스재료 코드, 충전된 가스의 사용 가능한 일자 정보를 가지는 사용 만기일자, LOT 번호(제품 번호), 충전 가스의 순도, 충전된 업체의 제조사 코드, 충전일자 및 가스 보틀번호 등을 포함하는 가스 정보가 무선식별 태그(Tag, 11)에 저장되어 부착된다.

가스재료 코드는 충전된 가스의 재료를 의미하는 것으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 다양한 가스가 각각 충전된다.

이때, 충전되는 가스의 재료로는 HCl, HF, HBr, SF₆, Cl₂, SiF₄ 및 CF₄ 등 가스상 케이컬 재료 등 반도체 공정에서 사용되는 가스가 충전되며, 다양한 종류의 가스를 충전하는 것이 가능하다.

무선식별 태그(11)는 가스 정보가 저장되는 메모리칩과 안테나로 구성될 수 있으며, 근거리에서 가스 정보를 송출하도록 구성되는 NFC(Near Field Communication) 태그로 구성될 수 있다.

NFC는 ISO/IEC 18092, ISO/IEC 14443A 표준통신으로 주파수 13.56MHz에서 424Kbps의 전송속도를 정보를 주고 받을 수 있는 무선통신이다. 전송 거리는 20cm이내이나 통상 10cm이내로 접근하는 리더기로 정보를 전송한다.

NFC 통신방식에 따라 능동 통신 모드와 수동 통신 모드로 구분된다.

능동 통신 모드(Active Communication Mode)는 리더, 다른 하나는 태그가 되어 13.56 MHz의 RF 신호를 전송하는 것이며, 수동 통신 모드(Passive Communication Mode)는 리더가 명령어와 데이터를 송신하고 태그는 리더의 RF Field에 부하변조(Load Modulation) 방식으로 응답 데이터(Data)를 송신하는 방법이다.

본 발명에서는 능동 통신 모드 또는 수동 통신 모드 중에서 선택되어 구성될 수 있음은 물론이다.

무선 송수신장치(20)는 무선식별 태그(11)에 저장된 가스 정보를 수신하며, 수신된 가스 정보를 후술되는 무선식별 리더기(31)에 전송하는 것으로, 가스 정보를 수신하기 위한 리더모듈(21, 도 5 참조)과 리더모듈(21)에서 수신된 가스 정보를 송신하는 라이터모듈(23)을 포함하여 구성된다.

즉, 무선 송수신장치(20)는 가스 보틀(10)에 부착된 무선식별 태그(11)에 전송 가능한 거리로 근접시키면 리더모듈(21)에 의해서 무선식별 태그(11)에 저장된 가스 정보를 획득하여 이를 저장하고, 그 상태에서 컨트롤러부(30)의 무선식별 리더기(31)에 전송 가능한 거리로 근접시키면 저장된 가스 정보가 무선식별 리더기(31)로 전송된다.

무선 송수신장치(20)는 휴대용으로 제작될 수 있다.

또한, 모바일기기(스마트 폰 등)에는 NFC 태그를 읽고 쓸 수 있는 모듈이 구비되어 있는데, 리더모듈 및 라이터모듈은 모바일기기에 설치 가능한 애플리케이션으로 제작되어 이 애플리케이션을 모바일기기에 설치하는 것으로 무선 송수신장치는 모바일기기로 구성될 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에서 가스 보틀의 정보를 취득하여 전송하는 과정을 나타낸 도면이다.

무선 송수신장치(20)를 무선식별 태그(11)에 근접시키면, 무선 송수신장치(20)의 리더모듈(21)은 무선식별 태그(11)에 저장된 가스 정보를 획득하여 무선 송수신장치(20)에 구비된 저장수단에 기록한다.

다음으로, 컨트롤러부(30)의 무선식별 리더기(31)에 무선 송수신장치(20)를 근접시키면, 무선 송수신장치(20)에 저장된 가스 정보가 무선식별 리더기(31)로 전송된다.

컨트롤러부(30)는 무선식별 리더기(31)를 통해 수신된 가스 정보와 기 저장된 가스 공급정보를 관리서버(50)로 전송한다.

여기서 가스 공급정보는 캐비닛 ID, 캐비닛 위치정보, 공급가스정보, 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보, 시간 정보 및 누설(leak) 정보 등을 포함하여 구성될 수 있다.

설계조건에 따라서, 컨트롤러부(30)는 기 저장된 공급가스정보와 수신된 가스 정보를 비교하여 서로 가스 재료가 다른 경우, 경고음을 출력하거나 표시하도록 구성되며, 마찬가지로 수신된 가스 정보 중 사용 만기일자가 시간정보에 근거하여 경과한 경우에도 경고음을 출력하거나 표시하도록 구성될 수 있다.

이러한 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에서 전체적인 구성을 통해 설명한다.

도 5는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 개략적인 구성도이다.

충전된 가스 보틀(10)에는 해당 충전된 가스 재료에 대한 가스 정보가 저장된 무선식별 태그(11)가 부착된다.

무선식별 태그(11)가 부착된 가스 보틀(10)은 캐비닛의 소진된 가스 보틀과 교환되어 캐비닛에 수용 장착된다.

캐비닛 내부에 기 장착된 다른 가스 보틀을 통해 가스를 공급하고 있으므로, 새로 장착된 가스 보틀(10)은 장착된 상태를 유지하며, 장착된 가스 보틀(10)에 충전된 가스는 공급되지 않는다.

무선 송수신장치(20)를 무선식별 태그(11)에 근접하면, 무선 송수신장치(20)의 리더모듈(21)은 무선식별 태그(11)에 기록된 가스 정보를 읽어 와서 무선 송수신장치(20)에 저장한다.

이후, 무선 송수신장치(20)를 컨트롤러부(30)의 무선식별 리더기(31)에 근접시키면, 무선 송수신장치(20)에 기록된 가스 정보는 무선식별 리더기(31)에 전송된다. 무선식별 리더기(31)에 전송된 가스 정보는 자동으로 가스 정보를 삭제하도록 구성되거나 사용자의 조작(예를 들면, 리셋 버튼)에 의해서 삭제되도록 구성될 수 있다.

컨트롤러부(30)는 첨부된 도면의 도 5에 도시된 바와 같이, 무선식별 리더기(31), 출력부(32), 제어부(33), 메모리(34), 무게 검출부(35), 압력 검출부(36) 및 통신부(37)를 포함하여 구성된다.

무선식별 리더기(31)는 앞서 설명과 같이, 근접하는 무선 송수신장치(20)로부터 가스 정보를 읽어 들인다.

읽어 들인 가스 정보는 제어부(33)의 제어에 따라 메모리(34)에 저장된 가스 공급정보와 비교하여 출력부(32)에 출력한다.

여기서, 출력부(32)는 무선식별 리더기(31)에서 수신된 가스 재료 코드와 사용 만기일자를 포함하는 가스 정보를 수신하고, 수신된 가스 정보와 저장된 가스 정보와 비교하여 가스 재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 출력하는 것으로, 음성을 출력하기 위한 스피커와 이를 시각적으로 표시하기 위한 경광등(또는 디스플레이)으로 구성될 수 있다.

이에 따라 장착된 가스 보틀(10)과 공급되어야 하는 가스 재료가 상이할 경우 즉각적으로 이를 출력할 수 있으므로, 가스 재료의 공급 오류를 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 사용 만기일자가 경과된 가스 보틀(10)의 장착을 방지할 수 있으므로, 반도체 제조 공정에 공급되는 가스의 상태를 최상으로 하여 공급할 수 있는 효과도 발생된다.

제어부(33)는 수신된 가스 정보와 저장된 가스 공급정보를 비교 판단하여 가스 재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 출력하도록 제어한다.

또한, 제어부(33)는 연결되어 공급되는 가스 보틀 내의 가스 잔류 중량 및/또는 가스의 압력이 안전하게 공급할 수 있는 하한의 잔류 중량 또는 하한의 압력에 도달하면 이를 관리서버(50)로 전송하도록 제어한다. 이때, 가스 공급의 단속은 전자밸브를 통해 이루어질 수 있다.

메모리(34)에는 캐비닛 ID, 캐비닛 위치정보, 공급가스정보, 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보, 시간 정보 및 누설 정보 등을 포함하는 가스공급 정보가 저장된다.

이 가스 공급정보 중에서, 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보, 시간 정보 및 누설 정보 등은 실시간 또는 일정 주기로 검출하여 저장되며, 특히 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보 및 누설정보는 설계조건에 따라서 실시간으로 관리서버(50)에 전송될 수 있다.

특히 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보는 각각 무게검출센서(로드 셀, road cell)를 이용한 무게 검출부(35) 및 압력센서(pressure sensor)를 이용한 압력 검출부(36)를 통해 검출되며, 누설정보는 도면에 도시하지 않았으나 가스검출센서 등으로 검출할 수 있도록 구성될 수 있다.

통신부(37)는 제어부(330의 제어에 따라서 통신을 통해 가스 정보 및 가스 공급정보를 관리서버(50)에 전송한다.

관리서버(50)는 각 캐비닛에서 전송된 정보를 취합하여 출력하는 것으로, 교체 주기에 따른 가스 사용량을 집계하여 교환 시점을 미리 판단할 수 있으며, 가스 교환에 따른 예산을 미리 가늠할 수 있다.

이와 같이, 가스 보틀(10)에 부착된 무선식별 태그(11)를 읽어오는 과정 및 읽어 들인 정보를 컨트롤러부에 입력하는 과정에서 단순히 무선 송수신장치(20)의 동작에 의해서만 정보를 송수신할 수 있으므로 스파크의 발생을 억제하여 폭발의 위험성을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

또한, 교체된 가스 보틀의 정보를 용이하게 컨트롤러부에 전송할 수 있으므로, 교환에 따른 시간이 단축되는 효과도 있다.

한편, 상기에서 도 2 내지 도 5를 이용하여 서술한 것은, 본 발명의 주요 사항만을 서술한 것으로, 그 기술적 범위 내에서 다양한 설계가 가능한 만큼, 본 발명이 도 2 내지 도 5의 구성에 한정되는 것이 아님은 자명하다.

10: 가스 보틀 11: 무선식별 태그
20: 무선 송수신장치 21: 리더모듈
23: 라이터모듈 30: 컨트롤러부
31: 무선식별 리더기 32: 출력부
33: 제어부 34: 메모리
35: 무게 검출부 36: 압력 검출부
37: 통신부 40: 보틀 수용부
50: 관리서버

Claims

캐비닛(cabinet)에 장착되는 반도체 제조 공정용 가스 보틀(bottle)의 정보를 제공할 수 있는 시스템으로서,
상기 가스 보틀에 부착되며 가스 정보가 저장된 무선식별 태그(Tag)와;
상기 무선식별 태그에 저장된 가스 정보를 수신하는 리더모듈과 상기 리더모듈에서 수신된 가스 정보를 송신하는 라이터모듈을 포함하는 무선 송수신장치; 및
근접에 따라 상기 무선 송수신장치에 저장된 가스 정보를 수신하는 무선식별 리더기를 포함하는 컨트롤러장치; 를 포함하여 구성되며,
상기 컨트롤러장치는 수신된 가스 정보를 표시하고 관리서버로 전송하는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 가스 정보는,
가스 재료 코드 및 사용 만기일자를 포함하는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템.
청구항 2에 있어서,
상기 컨트롤러장치는,
상기 무선식별 리더기에서 수신된 가스 재료 코드와 사용 만기일자를 포함하는 가스 정보를 수신하고, 수신된 가스 정보와 저장된 가스 정보와 비교하여 가스 재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 표시하는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 무선 송수신장치는 모바일기기로 구성되며,
상기 리더모듈 및 라이터모듈은 상기 모바일기기에 설치 가능한 애플리케이션으로 제작되어 상기 모바일기기에 설치되는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 무선식별 태그는 NFC(Near Field Communication) 태그인 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템.