KR101960805B1 - 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공정에서 사용하는 용액을 수용하는 용기를 식별하여, 용기 혹은 용액의 정보를 관리하고, 이동추적 관리를 수행하며, 필요시 잘못된 용액을 사용하는 경우 알림을 제공하는 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템에 관한 것이다.

Description

반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템 {Semiconductor Process in Module-Type Solution Management System}
본 발명은 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공정에서 사용하는 용액을 수용하는 용기를 식별하여, 용기 혹은 용액의 정보를 관리하고, 이동추적 관리를 수행하며, 필요시 잘못된 용액을 사용하는 경우 알림을 제공하는 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템에 관한 것이다.
반도체 공정을 수행하는데 있어 다양한 화학용액들이 사용되고 있다. 반도체를 생산하는 과정 중 포토 리소그래피(Photo Lithography) 공정에서는 감광액(Photo Resist) 및 디벨로퍼(Developer) 등이 사용되고, 웨이퍼를 평탄화 하기 위한 화학적 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing) 공정에서는 슬러리(Slurry) 용액을 사용하기도 한다. 특히, 웨이퍼에서 불필요한 부분을 선택적으로 제거하기 위한 식각(Etching) 공정에서는 다양한 부식액(Etchant)을 사용하고 있다.
이와 같은 용액은 특정 용기에 수용되어 반도체 공정 라인에서 이용이 되거나 이송, 관리가 수행된다. 이와 같은 용액에 대한 사용, 이송, 위치파악 등의 관리를 위하여 별도의 프로세스가 수행이 되었고, 이와 같은 별도의 프로세스에서 오류가 있는 경우 생산라인에 큰 피해를 주거나 혹은 전체 라인의 관리에 불편함을 초래한다는 문제점이 있다.
또한, 용기를 기타 다른 식별모듈을 이용하여 리더기로 읽는 경우에, 식별모듈 혹은 용기를 정확하게 리더기에 위치시키지 않는 경우, 리더기가 정확하게 동작하지 않는다는 문제점이 있다.
따라서, 반도체 공정에서 용액을 사용하는데 있어 발생할 수 있는 문제들을 해결하기 위한 기술이 요구되고 있다.
본 발명은 반도체 공정에서 사용하는 용액을 수용하는 용기를 식별하여, 용기 혹은 용액의 정보를 관리하고, 이동추적 관리를 수행하며, 필요시 잘못된 용액을 사용하는 경우 알림을 제공하는 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템으로서, 상기 용액 관리 시스템은, 용액을 수용하는 용기부에 부착되고, 수용된 상기 용액을 식별하기 위한 무선주파수 식별태그; 및 상기 용기부를 수용할 수 있고, 상기 무선주파수 식별태그를 인식하여 기저장된 식별정보와 일치하지 않는 경우 사용자에게 알림을 제공할 수 있는 케이스부;를 포함하고, 복수의 상기 케이스부는 1 이상의 수용공간을 갖는 트레이부에 거치될 수 있고, 상기 케이스부는, 상기 용기부를 거치할 수 있는 용기수용부; 상기 용기수용부의 상측에 배치되어, 상기 케이스부를 상기 트레이부에 거치할 수 있도록 하는 플랜지부; 상기 무선주파수 식별태그로부터 신호를 수신할 수 있는 안테나부; 및 상기 안테나부로부터 신호를 수신하여 사용자에게 알림을 제공할 수 있는 기판부;를 포함하는, 모듈형 용액 관리 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 용기수용부는, 하면에 개구부;를 포함하고,
용기부가 파손되어 상기 용액이 유출되는 경우, 상기 개구부를 통해 용액이 상기 용기수용부의 밑으로 빠져나가도록 하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 안테나부는, 상기 용기수용부의 외주면에 배치될 수 있는 가요성의 안테나기판부; 상기 무선주파수 식별태그와 신호를 송신 및 수신하는 제1안테나부; 및 제2안테나부; 상기 제1안테나부 및 상기 제2안테나부를 각각 상기 기판부에 전기적으로 접속하게 하는 제1기판접속부 및 제2기판접속부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 제1안테나부 및 상기 제2안테나부는 상기 안테나기판부의 내부에서 각각 독립된 루프형태의 안테나 패턴을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 무선주파수 식별태그는 안테나의 폐루프 평면의 법선은 상기 용기수용부의 중심축을 향하고, 상기 안테나부의 제1안테나부 및 제2안테나부의 폐루프 평면의 법선은 상기 용기수용부의 중심축을 향하여, 상기 안테나부에서 수신하기 위한 신호의 방향과 상기 무선주파수 식별태그에서 송신하기 위한 신호의 방향이 서로 마주보도록 하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 플랜지부는 플랜지상면부; 및 플랜지측면부;를 포함하고, 상기 플랜지상면부, 상기 플랜지측면부 및 상기 용기수용부의 외주면에 의해 형성되는 공간에 상기 기판부;가 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 기판부는, 상기 무선주파수 식별태그로부터 수신하는 태그정보와 기저장된 식별정보의 일치 여부를 판단하고, 상기 알림과 관련된 1 이상의 제어신호를 생성하는 MCU모듈; 상기 안테나부로부터 신호를 수신하거나 상기 안테나부로 신호를 송신하는 트랜시버모듈; 및 특성값이 가변될 수 있는 1 이상의 전기적 소자를 포함하고, 상기 MCU모듈의 제어명령에 따라 임피던스를 조절할 수 있는 매칭모듈;을 포함하고, 상기 매칭모듈은 상기 안테나부와 직접적 혹은 간접적으로 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 MCU모듈은, 기저장된 상기 식별정보 및 상기 태그정보에 기초하여 일치 여부를 판별하는 판별부; 상기 매칭모듈에서 임피던스를 가변하도록 하는 상기 제어명령을 생성하는 매칭모듈제어부; 및 상기 식별정보 및 상기 태그정보가 일치하지 않는 경우, 1 이상의 경고수단을 사용하여 경고를 표시하는 경고알림부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 안테나부는 2 이상의 안테나부를 포함하고, 상기 기판부는 상기 2 이상의 안테나부로부터 선택적으로 신호를 송수신할 수 있는 스위칭모듈;을 포함하고, 상기 스위칭모듈은 상기 매칭모듈에 직접적으로 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 상기 플랜지부는 플랜지상면부; 및 플랜지측면부;를 포함하고, 상기 케이스부는, 상기 플랜지상면부, 상기 플랜지측면부 및 상기 용기수용부의 외주면에 의해 형성되는 공간에 배치되는 무게센서부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 용기를 수용하는 케이스부는 하면에 개구부를 포함하여, 상기 용기가 파손되어 용액이 유출되는 경우 상기 개구부를 통하여 용액이 유출되도록 하여, 타 용기 및 주변 장비에 피해를 줄일 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 2 이상의 전기,전자적 특성을 갖는 소자를 포함하는 기판부를 플랜지부 하면에 배치하여, 외부 요인으로부터 오염에 대한 노출을 최소화 할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 시스템은 복수의 안테나를 포함하여, 용액을 식별하기 위한 신호를 수신하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 안테나는 폐루프 형태의 안테나 패턴을 형성하여, 신호를 수신하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 신호를 수신하는데 있어, 임피던스 매칭을 수행하므로 신호의 수신하거나 신호의 세기를 극대화하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 사용자가 용기를 정확하게 케이스부에 위치시키지 못하거나 혹은 무선주파수태그를 리더기에 정확하게 위치시키지 않더라도 정확하게 리더기가 무선주파수태그의 정보를 수신하여 사용자가 용기를 케이스부에 위치시키는 작업을 용이하게 수행할 수 있도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 용기의 정보를 케이스부에서 인식하고, 케이스부에서 인식된 정보가 중앙서버로 전송됨에 따라서, 해당 용기의 정보를 관리 및 추적할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 경고알림부를 통하여 잘못된 용액을 사용하는 경우, 이를 사용자에게 알리도록 하여 잘못된 용액을 사용하는 것을 방지하는 효과를 발휘할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스부를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 아래에서 바라본 케이스부를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 위에서 바라본 케이스부를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스부의 하면을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 안테나부를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 무선주파수 식별태그 및 안테나부의 배열을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스부의 단면을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스부 및 케이스부에 거치된 용기부의 단면을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판부의 내부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 MCU모듈의 내부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 무선주파수 식별태그 및 케이스부가 신호를 송수신하는 단계를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 매칭모듈의 회로를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하에서는, 다양한 실시예들 및/또는 양상들이 이제 도면들을 참조하여 개시된다. 하기 설명에서는 설명을 목적으로, 하나이상의 양상들의 전반적 이해를 돕기 위해 다수의 구체적인 세부사항들이 개시된다. 그러나, 이러한 양상(들)은 이러한 구체적인 세부사항들 없이도 실행될 수 있다는 점 또한 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 인식될 수 있을 것이다. 이후의 기재 및 첨부된 도면들은 하나 이상의 양상들의 특정한 예시적인 양상들을 상세하게 기술한다. 하지만, 이러한 양상들은 예시적인 것이고 다양한 양상들의 원리들에서의 다양한 방법들 중 일부가 이용될 수 있으며, 기술되는 설명들은 그러한 양상들 및 그들의 균등물들을 모두 포함하고자 하는 의도이다.
또한, 다양한 양상들 및 특징들이 다수의 디바이스들, 컴포넌트들 및/또는 모듈들 등을 포함할 수 있는 시스템에 의하여 제시될 것이다. 다양한 시스템들이, 추가적인 장치들, 컴포넌트들 및/또는 모듈들 등을 포함할 수 있다는 점 그리고/또는 도면들과 관련하여 논의된 장치들, 컴포넌트들, 모듈들 등 전부를 포함하지 않을 수도 있다는 점 또한 이해되고 인식되어야 한다.
본 명세서에서 사용되는 "실시예", "예", "양상", "예시" 등은 기술되는 임의의 양상 또는 설계가 다른 양상 또는 설계들보다 양호하다거나, 이점이 있는 것으로 해석되지 않을 수도 있다. 아래에서 사용되는 용어들 '~부', '컴포넌트', '모듈', '시스템', '인터페이스' 등은 일반적으로 컴퓨터 관련 엔티티(computer-related entity)를 의미하며, 예를 들어, 하드웨어, 하드웨어와 소프트웨어의 조합, 소프트웨어를 의미할 수 있다.
또한, "포함한다" 및/또는 "포함하는"이라는 용어는, 해당 특징 및/또는 구성요소가 존재함을 의미하지만, 하나이상의 다른 특징, 구성요소 및/또는 이들의 그룹의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
또한, 본 발명의 실시예들에서, 별도로 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 실시예에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 1에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템(10000)으로서, 상기 모듈형 용액 관리 시스템(10000)은, 용액을 수용하는 용기부(2000)에 부착되고, 수용된 상기 용액을 식별하기 위한 무선주파수 식별태그(2100); 및 상기 용기부(2000)를 수용할 수 있고, 상기 무선주파수 식별태그(2100)를 인식하여 기저장된 식별정보와 일치하지 않는 경우 사용자에게 알림을 제공할 수 있는 케이스부(1000);를 포함하고, 복수의 상기 케이스부(1000)는 1 이상의 수용공간을 갖는 트레이부(3000)에 거치될 수 있다.
구체적으로, 상기 용기부(2000)는 반도체 공정에서 사용되는 용액을 수용하기 위한 것으로써, 용액을 수용할 수 있는 몸체부, 상기 몸체부와 결합하는 용기캡부 및 상기 용기캡부를 관통하여 상기 몸체부 내부로 연결되어, 반도체 공정 장비에 용액을 공급하는 공급노즐부를 포함할 수 있다.
또한, 용액에 대한 태그정보를 포함하는 상기 무선주파수 식별태그(2100)를 상기 몸체부 바깥에 배치하기 위하여 상기 몸체부 바깥에는 상기 무선주파수 식별태그(2100)가 배치될 수 있는 영역을 포함할 수 있다.
상기 모듈형 용액 관리 시스템(10000)은 공정에 알맞은 용액을 식별하기 위하여, 상기 용기부(2000)에 배치되어 태그정보를 포함하는 신호를 송신할 수 있는 무선주파수 식별태그(2100)를 포함한다.
상기 무선주파수 식별태그(2100)는 무선주파수를 매체로 하여 상호간 통신을 할 수 있는 RFID(Radio Frequency Identification) 기술을 수행하기 위하여 사용된다. 또한, 상기 무선주파수 식별태그(2100)가 송신하는 상기 태그정보는 용기부(2000)에 수용된 용액에 대한 정보를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 무선주파수 식별태그(2100)는 상기 태그정보를 포함하는 신호를 상기 케이스부로 송신하여, 상기 수신단에서 태그정보를 기초하여 용기부(2000)에 수용된 용액을 식별하게 할 수 있다.
또한, 상기 케이스부는 용기의 정보를 인식하고, 케이스부에서 인식된 정보가 중앙서버로 전송됨에 따라서, 해당 용기의 정보를 관리 및 추적할 수 있다. 이 경우, 케이스부(1000) 자체에 대한 정보 및 상기 케이스부에서 인식한 무선주파수 식별태그(2100)의 정보가 상기 중앙서버로 전송됨에 따라서, 상기 용액의 위치이력을 상기 중앙서버에서 관리할 수 있다.
바람직하게는, 상기 케이스부(1000)는 상기 용기의 무게를 센싱하고, 이와 같이 센싱된 무게 정보도 같이 중앙서버로 전송되어 용기의 사용에 대한 이력도 중앙서버에서 관리될 수 있다.
한편, 상기 케이스부(1000)는 상기 용기부(2000)를 수용하고, 상기 무선주파수 식별태그(2100)와 신호를 송수신하여 상기 케이스부(1000)에 기저장된 식별정보와 상기 무선주파수 식별태그(2100)가 송신한 태그정보가 일치하지 않는 경우, 사용자에게 알림을 제공할 수 있다.
또한, 상기 케이스부(1000)의 상측에는 플랜지부(1200)를 포함하여, 상기 케이스부(1000)가 상기 트레이부(3000)에 거치하는데 있어 용이하게 할 수 있다.
또한, 상기 트레이부(3000)는 복수의 상기 케이스부(1000)를 거치할 수 있도록 복수의 수용공간을 포함하고, 상기 케이스부(1000)의 상측에 배치된 플랜지부(1200)의 크기를 고려하여 상기 트레이부(3000)의 수용공간의 크기가 결정될 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스부를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2 및 도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 케이스부(1000)는, 상기 용기부(2000)를 거치할 수 있는 용기수용부(1100); 상기 용기수용부(1100)의 상측에 배치되어, 상기 케이스부(1000)를 상기 트레이부(3000)에 거치할 수 있도록 하는 플랜지부(1200); 상기 무선주파수 식별태그(2100)로부터 신호를 수신할 수 있는 안테나부(1300); 및 상기 안테나부(1300)로부터 신호를 수신하여 사용자에게 알림을 제공할 수 있는 기판부(1400);를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 용기수용부(1100)는 상기 용기부(2000)를 거치하기 위하여 용기부(2000) 하단 형상의 직경보다 큰 직경을 가질 수 있다. 또한 상기 용기수용부(1100)의 외주면에는 상기 안테나부(1300)가 배치될 수 있으며, 상기 용기수용부(1100)의 외주면을 따라서 트랜치 형상의 홈을 포함하여, 상기 안테나부(1300)가 상기 트렌치 형상의 홈에 배치될 수 있다. 또한, 상기 안테나부(1300)가 상기 용기수용부(1100)에 배치되는 위치는 상기 용기부(2000)에 배치되는 상기 무선주파수 식별태그(2100)의 위치를 고려하여, 상기 안테나부(1300) 및 상기 무선주파수 식별태그(2100)가 신호를 송수신하는데 용이한 위치에 배치될 수 있다.
한편, 상기 플랜지부(1200)는 상기 용기수용부(1100)가 상기 트레이부(3000)에 거치될 수 있도록 상기 케이스부(1000)의 상측에 배치되고, 하기 기술하는 플랜지부(1200) 하면의 일부 영역이 내부방향으로 파여있어, 상기 기판부(1400) 및 하기 기술하는 무게센서부(1500)가 상기 영역에 배치될 수 있다. 따라서 플랜지부(1200) 하면 일부에 상기 기판부(1400) 및 무게센서부(1500)가 배치되어 외부 환경으로부터 오염과 같은 영향이 최소화될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 위에서 바라본 케이스부를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 4에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 용기수용부(1100)는, 하면에 개구부(1110);를 포함하고, 용기부(2000)가 파손되어 상기 용액이 유출되는 경우, 상기 개구부(1110)를 통해 용액이 상기 용기수용부(1100)의 밑으로 빠져나가도록 하는 것을 특징으로 할 수 있다.
구체적으로 상기 용기수용부(1100) 하면은 개구부(1110)를 포함하고, 상기 개구부(1110)는 유출된 용액이 용이하게 빠져나갈 수 있도록, 충분히 큰 반경을 가지는 천공이 형성될 수 있다. 따라서, 상기 용기부(2000)가 파손되어 수용되어 있던 용액이 유출되는 경우, 상기 개구부(1110)를 통하여 상기 용액이 유출되도록 하여, 상기 용액이 상기 케이스부(1000)의 상면까지 역류하는 것을 방지해 인접한 타 케이스부(1000), 타 용기부(2000) 및 장비에 피해를 최소화 할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스부의 하면을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 5에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 플랜지부(1200)는 플랜지상면부(1210); 및 플랜지측면부(1220);를 포함하고, 상기 케이스부(1000)는, 상기 플랜지상면부(1210), 상기 플랜지측면부(1220) 및 상기 용기수용부(1100)의 외주면에 의해 형성되는 공간에 배치되는 무게센서부(1500);를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 플랜지부(1200) 하면의 일부 영역은 상기 플랜지부(1200)의 내부방향으로 파여있는 영역, 즉, 플랜지부(1200)의 측면, 플랜지부(1200)의 상면 및 상기 용기수용부(1100)의 외주면에 의해 형성되는 영역에 해당하고, 상기 영역은 상기 기판부(1400) 및 무게센서부(1500)가 배치될 수 있다. 상기 무게센서부(1500)는 상기 케이스부(1000)에 거치되는 상기 용기부(2000)의 무게정보를 도출하여, 사용자에게 용액의 잔여량을 알려주는 역할을 수행할 수 있다.
한편, 상기 플랜지부(1200)의 측면에는 좌, 우 방향으로 돌출된 복수의 영역을 포함할 수 있고, 사용자는 돌출된 상기 영역을 파지하여 상기 케이스부(1000)를 용이하게 운반할 수 있다. 또한 상기 영역은 LED부(1600)와 같이 알림수단을 포함하여 잘못된 용기부(2000)가 수용되는 것으로 판별되는 경우, 상기 알림수단을 사용하여 사용자에게 알림을 제공할 수도 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 안테나부를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 6에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 안테나부(1300)는, 상기 용기수용부(1100)의 외주면에 배치될 수 있는 가요성의 안테나기판부(1310); 상기 무선주파수 식별태그(2100)와 신호를 송신 및 수신하는 제1안테나부(1320); 및 제2안테나부(1330); 상기 제1안테나부(1320) 및 상기 제2안테나부(1330)를 각각 상기 기판부(1400)에 전기적으로 접속하게 하는 제1기판접속부(1321) 및 제2기판접속부(1331);를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 안테나부(1300)는 상기 용기수용부(1100)의 외주면에 형성된 트렌치 형상의 홈에 배치되고, 배치된 상기 안테나부(1300)의 바깥에는 외부 환경으로부터 상기 안테나부(1300)를 보호할 수 있는 안테나덮개부(미도시)가 배치될 수 있다. 상기 안테나부(1300)가 배치되는 위치는 상기 용기부(2000)에 배치된 상기 무선주파수 식별태그(2100)가 배치되는 위치를 고려하여 결정될 수 있다.
또한, 상기 안테나부(1300)는 상기 용기수용부(1100)의 외주면에 배치되어야 하므로, 구부러져 휘어질 수 있어야 한다. 따라서 상기 안테나기판부(1310)는 가요성을 갖는 소재로 제작될 수 있다.
상기 안테나부(1300)에 포함되는 상기 제1안테나부(1320) 및 상기 제2안테나부(1330)는 상기 무선주파수 식별태그(2100)와 신호를 송수신 할 수 있도록 도체를 재료로 사용할 수 있다. 또한 단일 안테나를 사용하는 것과 비교하여 본 발명에서는 복수의 안테나를 사용하므로, 상기 케이스부(1000)에 상기 용기부(2000)가 거치되는 각도에 따른 신호 감도의 편차가 작아질 수 있다.
한편, 상기 제1안테나부(1320) 및 상기 제2안테나부(1330)에서 수신하는 신호를 상기 기판부(1400)에서 처리하거나, 상기 기판부(1400)에서 생성된 신호를 송신하기 위하여 상기 제1안테나부(1320) 및 상기 제2안테나부(1330)에 각각 대응하여 상기 기판부(1400)에 포함된 접속모듈(미도시)에 접속하게 하는 제1기판접속부(1321) 및 제2기판접속부(1331)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1안테나부(1320) 및 상기 제2안테나부(1330)는 상기 안테나기판부(1310)의 내부에서 각각 독립된 루프형태의 안테나 패턴을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
구체적으로, 상기 제1안테나부(1320) 및 상기 제2안테나부(1330)는 서로 독립된 형태로 구성되고, 각각 루프형태의 안테나 패턴을 갖는다. 상기 루프형태는 일반적으로 모서리가 둥근 직사각형 형태이나, 상기 안테나부(1300)의 형태를 고려하여 다른 루프형태의 안테나 패턴을 가질 수도 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 무선주파수 식별태그 및 안테나부의 배열을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따르면 도 7에 도시된 상기 안테나부(1300)는 상기 무선주파수 식별태그(2100)와의 배열을 개략적으로 도시하기 위하여 안테나부(1300)의 일부 구성으로써 상기 제1안테나부(1320) 또는 상기 제2안테나부(1330)만을 포함하여 도시하였다.
한편, 상기 무선주파수 식별태그(2100)는 안테나의 폐루프 평면의 법선은 상기 용기수용부(1100)의 중심축을 향하고, 상기 안테나부(1300)의 제1안테나부(1320) 및 제2안테나부(1330)의 폐루프 평면의 법선은 상기 용기수용부(1100)의 중심축을 향하여, 상기 안테나부(1300)에서 수신하기 위한 신호의 방향과 상기 무선주파수 식별태그(2100)에서 송신하기 위한 신호의 방향이 서로 마주보도록 하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 무선주파수 식별태그(2100)와 상기 제1안테나부(1320) 또는 상기 제2안테나부(1330)는 서로 마주보도록 위치하여, 각 안테나에서 방사하는 최대방사 방향이 상기 용기수용부(1100)의 중심축을 향하여 서로 마주볼 수 있게 된다.
따라서, 상기 무선주파수 식별태그(2100)와 상기 제1안테나부(1320) 또는 상기 제2안테나부(1330)가 신호를 송수신하는데 있어 원활하게 수행할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스부의 단면을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 8에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 플랜지부(1200)는 플랜지상면부(1210); 및 플랜지측면부(1220);를 포함하고, 상기 플랜지상면부(1210), 상기 플랜지측면부(1220) 및 상기 용기수용부(1100)의 외주면에 의해 형성되는 공간에 상기 기판부(1400);가 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
구체적으로,상기 용기수용부(1100)의 외주면에는 상기 안테나부(1300)가 배치될 수 있으며, 상기 용기수용부(1100)의 외주면을 따라서 트랜치 형상의 홈을 포함하여, 상기 안테나부(1300)가 상기 트렌치 형상의 홈에 배치될 수 있고, 상기 안테나부(1300)의 바깥에는 외부 환경으로부터 상기 안테나부(1300)를 보호할 수 있는 안테나덮개부(미도시)가 배치될 수 있다.
또한, 상기 안테나부(1300)가 상기 용기수용부(1100)에 배치되는 위치는 상기 용기부(2000)에 배치되는 상기 무선주파수 식별태그(2100)의 위치를 고려하여, 상기 안테나부(1300) 및 상기 무선주파수 식별태그(2100)가 신호를 송수신하는데 용이한 위치에 배치될 수 있다.
한편, 상기 플랜지부(1200)에 상기 기판부(1400) 및 상기 무게센서부(1500)가 배치되기 위하여 상기 플랜지부(1200)에 포함되는 상기 플랜지상면부(1210), 상기 플랜지측면부(1220) 및 상기 용기수용부(1100)의 외주면에 의해 형성되는 공간에 상기 기판부(1400) 및 상기 무게센서부(1500)를 배치할 수 있다. 따라서, 상기 기판부(1400) 및 상기 무게센서부(1500)는 상측과 양측이 상기 플랜지상면부(1210), 상기 플랜지측면부(1220) 및 상기 용기수용부(1100)의 외주면에 의해 보호될 수 있다. 또한 상기 기판부(1400)의 하측에는 기판덮개부(미도시)가 별도로 배치되어 상기 기판부(1400)를 더욱 용이하게 보호할 수 있다.
따라서, 2 이상의 전기, 전자적 특성을 갖는 소자를 포함하는 상기 기판부(1400) 및 무게를 센싱하는 상기 무게센서부(1500)를 외부환경의 오염 요인으로부터 보호하여, 상기 모듈형 용액 관리 시스템(10000)을 원활하게 수행하도록 하는 효과를 발휘할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스부 및 케이스부에 거치된 용기부의 단면을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 9에서 도시된 바와 같이, 상기 용기수용부(1100)에 배치된 상기 안테나부(1300)의 위치와 상기 케이스부(1000)에 거치된 상기 용기부(2000)의 무선주파수 식별태그(2100)의 위치가 서로 마주보도록 하여, 각 안테나에서 방사하는 최대방사 방향이 서로 마주보도록 할 수 있다.
따라서, 상기 무선주파수 식별태그(2100) 및 상기 안테나부(1300)가 신호를 송수신 하는데 있어서 감도를 극대화할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판부의 내부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10에서 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 기판부(1400)는, 상기 무선주파수 식별태그(2100)로부터 수신하는 태그정보와 기저장된 식별정보의 일치 여부를 판단하고, 상기 알림과 관련된 1 이상의 제어신호를 생성하는 MCU모듈(1410); 상기 안테나부(1300)로부터 신호를 수신하거나 상기 안테나부(1300)로 신호를 송신하는 트랜시버모듈(1420); 및 특성값이 가변될 수 있는 1 이상의 전기적 소자를 포함하고, 상기 MCU모듈(1410)의 제어명령에 따라 임피던스를 조절할 수 있는 매칭모듈(1430);을 포함하고, 상기 매칭모듈(1430)은 상기 안테나부(1300)와 직접적 혹은 간접적으로 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
구체적으로, 상기 기판부(1400)는 상기 플랜지부(1200)의 하측에 배치되고, 상기 MCU모듈(1410), 상기 트랜시버모듈(1420) 및 상기 매칭모듈(1430)을 포함하고, 상기 제1안테나부(1320) 및 상기 제2안테나부(1330)로부터 선택적으로 신호를 송수신할 수 있는 스위칭모듈(1440)을 포함하여 상기 각 모듈이 서로 직접적 혹은 간접적으로 전기적으로 접속되도록 할 수 있다.
또한, 상기 안테나부(1300)에 포함되는 상기 제1기판접속부(1321), 상기 제2기판접속부(1331) 및 상기 무게센서부(1500)를 전기적으로 접속하는 상기 접속모듈(미도시)을 포함할 수 있다.
한편, 상기 매칭모듈(1430)은 상기 안테나부(1300)에서 상기 무선주파수 식별태그(2100)로 신호를 송신하는 경우, 상기 신호를 생성하여 상기 안테나부(1300)로 신호를 입력하는 입력단과 상기 안테나부(1300) 사이의 임피던스를 매칭하기 위한 모듈에 해당한다.
일반적으로, 임피던스 매칭이 이루어지지 않는 경우 상기 입력단에서 상기 안테나부(1300)로 신호를 입력할 때 반사파가 발생하여 상기 안테나부(1300)에서 출력되는 신호의 에너지 손실이 발생할 수 있으므로, 출력신호의 에너지를 최대로 송신하기 위해서는 임피던스 매칭이 수행되어야 한다.
한편, 상기 매칭모듈(1430)은 임피던스 매칭을 수행하기 위하여 특성값이 가변될 수 있는 1 이상의 전기적 소자를 포함한다.
더 구체적으로는, 상기 특성값은 정전용량(Capacitance), 유도용량(Inductance) 및 저항값(Resistance)를 포함하고, 상기 전기적 소자는 정전용량(Capacitance)를 가변할 수 있는 가변 축전기, 유도용량(Inductance)를 가변할 수 있는 가변 인덕터 및 저항값(Resistance)를 가변할 수 있는 가변 저항이 해당될 수 있다. 따라서, 상기 매칭모듈(1430)은 상기 특성값을 가변할 수 있는 가변소자들을 제어하여 임피던스 매칭을 수행할 수 있다.
한편, 상기 트랜시버모듈(1420)은 신호를 송신하기 위한 기능과 수신하기 위한 기능을 포함하는 모듈에 해당한다. 따라서 상기 트랜시버모듈(1420)은 상기 MCU모듈(1410)에서 도출된 신호를 변조하여 상기 안테나부(1300)를 통해 신호를 송신할 수 있고, 상기 안테나부(1300)에서 수신받아 상기 MCU모듈(1410)이 처리 또는 제어할 수 있도록 신호를 복조하는 역할을 수행할 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 MCU모듈의 내부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 MCU모듈(1410)은, 기저장된 상기 식별정보 및 상기 태그정보에 기초하여 일치 여부를 판별하는 판별부(1411); 상기 매칭모듈(1430)에서 임피던스를 가변하도록 하는 상기 제어명령를 생성하는 매칭모듈제어부(1412); 및 상기 식별정보 및 상기 태그정보가 일치하지 않는 경우, 1 이상의 경고수단을 사용하여 경고를 표시하는 경고알림부(1413);를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 판별부(1411)는 상기 무선주파수 식별태그(2100)에 포함된 태그정보를 포함하는 신호를 상기 안테나부(1300)를 통해 수신하여, 상기 태그정보와 기저장된 식별정보가 일치하는지 판단하는 역할을 수행한다. 상기 무선주파수 식별태그(2100)에 포함된 상기 태그정보는 용액에 대한 정보를 포함하고, 상기 식별정보에는 해당 반도체 공정에서 사용해야 하는 용액의 정보를 포함하여 상기 케이스부(1000)에 수용된 용액이 해당 반도체 공정에서 사용해야 하는 용액에 해당하는지 상기 판별부(1411)에서 판별하게 된다.
또한, 상기 식별정보는 상기 케이스부(1000)에 포함되며, 더 구체적으로 상기 MCU모듈(1410) 또는 상기 기판부(1400)에 메모리부(미도시)를 별도로 포함하여 저장될 수 있다.
한편, 상기 매칭모듈제어부(1412)는 상기 매칭모듈(1430)이 임피던스 매칭을 수행하도록 명령하는 상기 제어명령을 생성하는 역할을 수행한다. 상기 제어명령은 임피던스 값을 순차적으로 증가 또는 감소하게 하는 명령을 포함하여, 상기 가변소자의 특성값을 순차적으로 증가 또는 감소하게 하여 임피던스 매칭을 수행하도록 하거나, 상기 안테나부(1300)의 임피던스 기준값을 고려하여 상기 매칭모듈(1430)의 임피던스 값이 기준값과 동일하도록 상기 특성값을 변경하도록 하는 명령을 포함할 수 있다.
상기 임피던스 기준값은 일반적으로 양단의 임피던스 매칭을 용이하게 하도록 설정해 놓은 기준값으로써 50옴(Ohm)을 기준값으로 설정한다.
따라서, 상기 제어명령에 의해 임피던스 매칭이 수행되면, 도 6을 참조하여 상기 용기부(2000)에 포함된 상기 무선주파수 식별태그(2100)가 상기 제1안테나부(1320) 또는 제2안테나부(1330)와 마주보지 않고, 상기 제1기판접속부(1321) 및 상기 제2기판접속부(1331)와 마주보는 위치에 거치되는 경우에도 신호의 송수신이 원활하게 이루어질 수 있다.
한편, 상기 경고알림부(1413)는 상기 판별부(1411)에서 도출한 결과를 고려하여, 상기 태그정보 및 상기 식별정보가 일치하지 않는 경우, 사용자에게 알림을 제공하는 역할을 수행한다. 상기 경고알림부(1413)는 상기 판별부(1411)에서 호출하여 알림을 제공하는 형태로 구현될 수 있으며, 알림을 제공하기 위하여 상기 플랜지부(1200)에 포함된 상기 LED부(1600)를 사용하여 발광 형태로 알림을 제공하거나, 상기 케이스부(1000)에 포함된 스피커부(미도시)를 통해 소리 형태로 알림을 제공할 수 있다.
또한, 상기 MCU모듈(1410)은 상기 트랜시버모듈(1420)을 제어하는 트랜시버제어부(1415)를 포함하고, 상기 무게센서부(1500)를 제어하고, 상기 무게센서부(1500)에서 생성한 상기 무게정보에 기초하여, 상기 용액의 잔여량을 도출하는 무게센서제어부(1414)를 포함할 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 무선주파수 식별태그 및 케이스부가 신호를 송수신하는 단계를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 12에 도시된 바와 같이, 상기 무선주파수 식별태그(2100)는 상기 태그정보를 포함하는 신호를 상기 안테나부(1300)로 송신한다.
상기 안테나부(1300)는 2 이상의 안테나부를 포함하고, 상기 기판부(1400)는 상기 2 이상의 안테나부로부터 선택적으로 신호를 송수신할 수 있는 스위칭모듈(1440);을 포함하고, 상기 스위칭모듈(1440)은 상기 매칭모듈(1430)에 직접적으로 전기적으로 접속될 수 있다.
구체적으로, 상기 안테나부(1300)는 복수의 안테나부를 포함하여, 상기 무선주파수 식별태그(2100)가 어느 위치에 거치되더라도 신호를 원활하게 송수신할 수 있도록 한다. 또한, 상기 스위칭모듈(1440)은 상기 안테나부(1300)에 포함된 복수의 안테나부 가운데 신호를 수신하는 안테나부를 선택하거나, 복수의 안테나부 가운데 신호의 세기가 가장 큰 안테나부를 선택할 수 있다. 혹은 상기 스위칭모듈(1440)은 주기적으로 신호입력을 수행하는 안테나부를 스위칭할 수 있다.
한편, 상기 매칭모듈(1430)은 상기 안테나부(1300)와 상기 안테나부(1300)에서 수신받은 신호를 처리하는 처리단 사이의 임피던스 매칭을 수행하고, 상기 안테나부(1300)에서 신호를 송신하는 경우에는 상기 안테나부(1300)와 상기 신호를 생성하는 입력단 사이의 임피던스 매칭을 수행한다. 즉, 상기 매칭모듈(1430)은 상기 안테나부(1300)의 임피던스와 상기 매칭모듈(1430)의 임피던스 혹은 매칭모듈(1430) 및 이와 전기적으로 접속된 전기적 소자의 임피던스의 차이를 최소화하여 보다 신호 송수신을 원활하게 하는 역할을 수행한다.
또한, 임피던스 매칭을 수행하는 경우, 상기 MCU모듈(1410)에 포함된 상기 매칭모듈제어부(1412)에서 상기 제어명령을 생성하여 상기 매칭모듈(1430)로 전송하고, 상기 매칭모듈(1430)은 상기 제어명령에 기초하여 임피던스 매칭을 수행하게 된다.
바람직하게는, 케이스부(1000)에서 무선주파수 식별태그(2100)을 리딩하려고 하는 경우, 상기 트랜시버모듈(1420)에서 상기 매칭모듈(1430) 및 스위칭모듈(1440), 및 제1안테나부(1320) 혹은 제2안테나부(1330)를 통하여 무선주파수 식별태그(2100)에 신호를 전송하고, 이에 응답하여 무선주파수 식별태그(2100)에서 신호를 송신한다. 이렇게 송신된 신호는 트랜시버모듈(1420)으로 전송되고, 수신된 신호의 세기가 기설정된 기준에 해당하지 않거나 혹은 수신된 신호를 복조한 결과가 기설정된 기준에 해당하지 않는 경우, 상기 매칭모듈제어부(1412)는 상기 매칭모듈(1430)에 대하여 임피던스를 변경하라는 제어명령을 내리고, 이에 따라 매칭모듈(1430)은 내부 임피던스를 변경하고, 이후 다시 트랜시버모듈(1420)이 동작하여 무선주파수 식별태그(2100)와 신호를 송수신한다. 이런 방식으로, 매칭모듈제어부(1412)는 매칭모듈(1430)의 임피던스를 변경하면서 최적의 임피던스를 스캐닝함으로써, 사용자가 무선주파수 식별태그(2100)의 위치를 정확하게 안테나부에 매칭되도록 용기를 거치하지 않더라도 케이스부(1000)는 용기의 정보를 정확하게 리딩할 수 있다.
즉, 매칭모듈제어부(1412)는 기설정된 구간에서의 임피던스를 점진적으로 변화시키는 제어명령을 생성하고, 이에 따라 상기 매칭모듈(1430)은 내부의 임피던스를 변화하면서, 상기 트랜시버모듈(1420)은 안테나부를 통하여 상기 무선주파수 식별태그(2100)와 데이터를 송수신하고, 이에 따라 최적의 매칭모듈(1430)의 임피던스를 스캐닝할 수 있다.여기서, 매칭모듈제어부(1412)는 상기 트랜시버모듈(1420)에서 수신한 신호의 세기 혹은 복조된 데이터의 형태를 판별하여, 기설정된 기준에 해당하는지 여부를 판별하고, 기설정된 기준에 도달할때까지 상기 매칭모듈(1430)에 대해 임피던스를 변화하는 제어명령을 송신한다.
또한, 상기 트랜시버모듈(1420)은 상기 안테나부(1300)로부터 신호를 수신하여 상기 MCU모듈(1410)로 전송하거나, 상기 MCU모듈(1410)에서 생성된 신호를 상기 안테나부(1300)로 송신하는 역할을 수행한다. 상기 트랜시버모듈(1420)에서 상기 MCU모듈(1410)로 송신한 신호는 상기 무선주파수 식별태그(2100)의 태그정보를 포함하고, 상기 MCU모듈(1410)은 상기 태그정보와 기저장된 상기 식별정보의 일치 여부를 판별하여, 상기 용액이 해당 반도체 공정에서 사용하는 용액과 일치하는지 판별하게 된다.
한편, 상기 태그정보와 상기 식별정보가 일치하지 않는 경우, 상기 판별부(1411)는 상기 경고알림부(1413)를 호출하여, 상기 LED부(1600)혹은상기 스피커부(미도시) 등을 통해 발광 및 소리의 형태로 사용자에게 알림을 제공할 수 있다. 따라서, 상기 경고알림부(1413)를 통하여 잘못된 용액을 사용하는 경우, 이를 사용자에게 알리도록 하여 잘못된 용액을 사용하는 것을 방지하는 효과를 발휘할 수 있다. 혹은, 상기 경고알림부(1413)는 상기 기판부(1400)과 통신하는 관리서버(미도시)에 대하여 알림정보를 송신할 수 있다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 매칭모듈의 회로를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 13에 도시된 바와 같이, 상기 매칭모듈(1430)은 전기적 회로로 구성되어 있고, 특성값이 가변될 수 있는 1 이상의 전기적 소자를 포함하여, 상기 매칭모듈제어부(1412)에서 생성한 상기 제어명령에 기초하여 임피던스를 조절하는 역할을 수행한다.
구체적으로, 상기 특성값은 정전용량(Capacitance), 유도용량(Inductance) 및 저항값(Resistance)를 포함하고, 상기 전기적 소자는 정전용량(Capacitance)를 가변할 수 있는 가변 축전기, 유도용량(Inductance)를 가변할 수 있는 가변 인덕터 및 저항값(Resistance)를 가변할 수 있는 가변 저항이 해당될 수 있다. 따라서, 상기 매칭모듈(1430)은 상기 특성값을 가변할 수 있는 가변소자들을 제어하여 임피던스 매칭을 수행할 수 있다.
한편, 상기 제어명령은 임피던스 값을 순차적으로 증가 또는 감소하게 하는 명령을 포함하여, 상기 가변소자의 특성값을 순차적으로 증가 또는 감소하게 하여 임피던스 매칭을 수행하도록 하거나, 상기 안테나부(1300)의 임피던스 기준값을 고려하여 상기 매칭모듈(1430)의 임피던스 값이 기준값과 동일하도록 상기 특성값을 변경하도록 하는 명령을 포함할 수 있다.
상기 임피던스 기준값은 일반적으로 양단의 임피던스 매칭을 용이하게 하도록 설정해 놓은 기준값으로써 50옴(Ohm)을 기준값으로 설정한다.
따라서, 상기 무선주파수 식별태그(2100)에서 송신한 신호를 상기 케이스부(1000)에서 수신하는데 있어, 상기 매칭모듈(1430)에서 임피던스 매칭을 수행하므로 신호의 세기를 극대화하는 효과를 발휘할 수 있다.
한편, 상기 매칭모듈(1430)은 상기 스위칭모듈(1440)과 상기 트랜시버모듈(1420) 사이에 배치되어 상기 스위칭모듈(1440)에 의해 선택된 상기 제1안테나부(1320) 또는 상기 제2안테나부(1330)의 임피던스 값과 일치하도록 임피던스 매칭이 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 용기를 수용하는 케이스부는 하면에 개구부를 포함하여, 상기 용기가 파손되어 용액이 유출되는 경우 상기 개구부를 통하여 용액이 유출되도록 하여, 타 용기 및 주변 장비에 피해를 줄일 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 2 이상의 전기, 전자적 특성을 갖는 소자를 포함하는 기판부를 플랜지부 하면에 배치하여, 외부 요인으로부터 오염에 대한 노출을 최소화 할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 시스템은 복수의 안테나를 포함하여, 용액을 식별하기 위한 신호를 수신하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 안테나는 폐루프 형태의 안테나 패턴을 형성하여, 신호를 수신하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 신호를 수신하는데 있어, 임피던스 매칭을 수행하므로 신호의 수신하거나 신호의 세기를 극대화하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 경고알림부를 통하여 잘못된 용액을 사용하는 경우, 이를 사용자에게 알리도록 하여 잘못된 용액을 사용하는 것을 방지하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 용기를 수용하는 케이스부는 하면에 개구부를 포함하여, 상기 용기가 파손되어 용액이 유출되는 경우 상기 개구부를 통하여 용액이 유출되도록 하여, 타 용기 및 주변 장비에 피해를 줄일 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 2 이상의 전기, 전자적 특성을 갖는 소자를 포함하는 기판부를 플랜지부 하면에 배치하여, 외부 요인으로부터 오염에 대한 노출을 최소화 할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 시스템은 복수의 안테나를 포함하여, 용액을 식별하기 위한 신호를 수신하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 안테나는 폐루프 형태의 안테나 패턴을 형성하여, 신호를 수신하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 신호를 수신하는데 있어, 임피던스 매칭을 수행하므로 신호의 수신하거나 신호의 세기를 극대화하는데 있어 용이하게 하는 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 경고알림부를 통하여 잘못된 용액을 사용하는 경우, 이를 사용자에게 알리도록 하여 잘못된 용액을 사용하는 것을 방지하는 효과를 발휘할 수 있다.
제시된 실시예들에 대한 설명은 임의의 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 이용하거나 또는 실시할 수 있도록 제공된다. 이러한 실시예들에 대한 다양한 변형들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이며, 여기에 정의된 일반적인 원리들은 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 다른 실시예들에 적용될 수 있다. 그리하여, 본 발명은 여기에 제시된 실시예들로 한정되는 것이 아니라, 여기에 제시된 원리들 및 신규한 특징들과 일관되는 최광의의 범위에서 해석되어야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템으로서,
    상기 모듈형 용액 관리 시스템은,
    용액을 수용하는 용기부에 부착되고, 수용된 상기 용액을 식별하기 위한 무선주파수 식별태그; 및
    상기 용기부를 수용할 수 있고, 상기 무선주파수 식별태그를 인식할 수 있는 케이스부;를 포함하고,
    복수의 상기 케이스부는 1 이상의 수용공간을 갖는 트레이부에 거치될 수 있고,
    상기 케이스부는,
    상기 용기부를 거치할 수 있는 용기수용부;
    상기 용기수용부의 상측에 배치되어, 상기 케이스부를 상기 트레이부에 거치할 수 있도록 하는 플랜지부;
    상기 용기수용부의 외주면을 따라 형성된 트렌치부;에 배치되는
    상기 무선주파수 식별태그로부터 신호를 수신할 수 있는 안테나부; 및
    상기 안테나부로부터 신호를 수신하는 기판부;를 포함하고,
    상기 안테나부는,
    상기 용기수용부의 외주면에 배치될 수 있는 가요성의 안테나기판부;
    상기 무선주파수 식별태그와 신호를 송신 및 수신하는 제1안테나부; 및 제2안테나부;
    상기 제1안테나부 및 상기 제2안테나부를 각각 상기 기판부에 전기적으로 접속하게 하는 제1기판접속부 및 제2기판접속부;
    상기 용기수용부의 외주면을 따라 상기 안테나기판부와 결합되는 안테나덮개부;를 포함하고,
    상기 제1안테나부 및 상기 제2안테나부는 상기 안테나기판부의 내부에서각각 독립된 루프형태의 안테나 패턴을 포함하고,
    상기 플랜지부는 플랜지상면부; 및 플랜지측면부;를 포함하고,
    상기 플랜지상면부, 상기 플랜지측면부 및 상기 용기수용부의 외주면에 의해 형성되는 공간에 상기 기판부;가 배치되고,
    상기 기판부의 하측으로 결합하는 기판덮개부;를 포함하는, 모듈형 용액 관리 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 용기수용부는,
    하면에 개구부;를 포함하고,
    용기부가 파손되어 상기 용액이 유출되는 경우, 상기 개구부를 통해 용액이 상기 용기수용부의 밑으로 빠져나가도록 하는 것을 특징으로 하는 모듈형 용액 관리 시스템.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 무선주파수 식별태그는 안테나의 폐루프 평면의 법선은 상기 용기수용부의 중심축을 향하고,
    상기 안테나부의 제1안테나부 및 제2안테나부의 폐루프 평면의 법선은 상기 용기수용부의 중심축을 향하여,
    상기 안테나부에서 수신하기 위한 신호의 방향과 상기 무선주파수 식별태그에서 송신하기 위한 신호의 방향이 서로 마주보도록 하는 것을 특징으로 하는, 모듈형 용액 관리 시스템.
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판부는,
    상기 무선주파수 식별태그로부터 수신하는 태그정보를 수신하고, 내부 회로들의 제어신호를 생성하는 MCU모듈;
    상기 안테나부로부터 신호를 수신하거나 상기 안테나부로 신호를 송신하는 트랜시버모듈; 및
    특성값이 가변될 수 있는 1 이상의 전기적 소자를 포함하고, 상기 MCU모듈의 제어명령에 따라 임피던스를 조절할 수 있는 매칭모듈;을 포함하고,
    상기 매칭모듈은 상기 안테나부와 직접적 혹은 간접적으로 전기적으로 접속되어 있는, 모듈형 용액 관리 시스템.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 MCU모듈은,
    상기 매칭모듈에서 임피던스를 가변하도록 하는 상기 제어명령을 생성하는 매칭모듈제어부;를 포함하는 모듈형 용액 관리 시스템.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 안테나부는 2 이상의 안테나부를 포함하고,
    상기 기판부는 상기 2 이상의 안테나부로부터 선택적으로 신호를 송수신할 수 있는 스위칭모듈;을 포함하고,
    상기 스위칭모듈은 상기 매칭모듈에 직접적으로 전기적으로 접속되는, 모듈형 용액 관리 시스템.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 케이스부는,
    상기 플랜지상면부, 상기 플랜지측면부 및 상기 용기수용부의 외주면에 의해 형성되는 공간에 배치되는 무게센서부;를 더 포함하는, 모듈형 용액 관리 시스템.
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