JP2001085275A - コンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属焼結体を用いたコンデンサ素子または陽
極電極箔と陰極電極箔をセパレータを介して捲回したコ
ンデンサ素子に、重合性モノマー溶液と酸化剤溶液の混
合溶液を含浸させてから、化学重合により導電性高分子
層を形成するコンデンサの製造方法において、特性の優
れたコンデンサを得ることを目的とする。 【解決手段】 モノマー溶液と酸化剤溶液の混合溶液を
コンデンサ素子に含浸させた後、液状熱媒体により溶媒
の沸点以上に速やかに素子を加熱することによって、容
量達成率が高く、損失特性やインピーダンス特性の優れ
たコンデンサを得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、導電性高分子を用
いた小型大容量のコンデンサの製造方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、電気機器のデジタル化に伴って、
コンデンサについても小型大容量で高周波領域でのイン
ピーダンスの低いものが要求されている。

【０００３】従来、コンデンサの電解質に電気伝導度の
高い導電性高分子を用いて、高周波領域でのインピ−ダ
ンスを低くしたコンデンサが多く提案されている。

【０００４】例えば、特開平２−１５６１１号公報に
は、誘電体皮膜を設けたアルミニウムに３、４−エチレ
ンジオキシチオフェンを繰り返し単位としｐ−トルエン
スルホン酸アニオンをド−パントとして含む導電性高分
子を化学重合により形成したコンデンサが提案されてい
る。３，４−エチレンジオキシチオフェンモノマ−と酸
化剤を溶媒により溶解した溶液を、酸化が施されたアル
ミニウム電極に塗布し、次いで室温あるいは加熱して溶
媒を除去し、化学重合反応により導電性高分子層を形成
し、次いで水を用いて導電性高分子層から過剰な酸化剤
を洗い去り、最後に乾燥させてコンデンサを得る製造方
法が記述されている。

【０００５】また、特開平９−２９３６３９号公報に
は、３、４−エチレンジオキシチオフェンと酸化剤とを
混合した混合溶液を、陽極電極箔と陰極電極箔とをガラ
スペ−パ−からなるセパレ−タを介して巻回したコンデ
ンサ素子に含浸し、セパレ−タに浸透した混合溶液中の
重合反応により生成したポリエチレンジオキシチオフェ
ンを電解質層としてセパレ−タで保持した固体電解コン
デンサが提案されている。酸化剤にはｐ−トルエンスル
ホン酸第二鉄を、溶媒にはエチレングリコ−ルを用い、
混合溶液を含浸したコンデンサ素子を、２５℃ないし１
００℃の温度に放置して、重合反応によりポリエチレン
ジオキシチオフェンからなる導電性高分子層を生成さ
せ、次いで水、有機溶媒等を用いて洗浄し、最後に乾燥
させてコンデンサを得る製造方法が記述されている。

【０００６】さらに、特開平６−３２５９８４号公報に
は、冷却されたピロ−ルモノマ−と酸化剤とを混合した
混合溶液をタンタル焼結体からなるコンデンサ素子に含
浸してから、空気中２５℃で重合させる製造方法が提案
されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、誘電体
層が形成された焼結体金属からなるコンデンサ素子に、
室温の、あるいは冷却させた重合性モノマ−と酸化剤と
の混合溶液を含浸し、溶媒の沸点未満の温度で重合反応
させた場合、溶媒は焼結体金属表面の空孔から徐々に蒸
発する。そして素子表面の空孔には内部から少なからず
混合溶液が供給されるために、重合反応により形成され
た導電性高分子が表面近傍に集まる。その結果、混合溶
液の含浸、重合、洗浄のプロセスを少ない回数（極端な
場合には１回）繰り返すだけで、素子表面の空孔は導電
性高分子により塞がれ、詰まってしまう。素子表面の空
孔が詰まると、混合溶液を含浸させようとしてももはや
素子内部には浸透しないので、プロセスをより多く繰り
返して、素子内部に導電性高分子層を緻密に形成するこ
とができなくなるばかりでなく、導電性高分子層形成後
に十分な洗浄を施して酸化剤等の不純物を除去すること
も不可能になってしまうために、高い容量達成率と優れ
たコンデンサ特性が得られないという課題を抱えてい
た。

【０００８】また、陽極電極箔と陰極電極箔とをセパレ
−タを介して円筒状に巻回したコンデンサ素子に、室温
の、あるいは冷却させた混合溶液を含浸させた後に、溶
媒の沸点未満の温度で重合反応させた場合、溶媒は円筒
状の両側の開放された端面から徐々に蒸発する。そして
端面には内部から少なからず混合溶液が供給されるため
に、重合反応により形成された導電性高分子が端面近傍
に集まる。その結果、混合溶液の含浸、重合、洗浄のプ
ロセスを少ない回数（極端な場合には１回）繰り返すだ
けで、端面は導電性高分子により塞がれ、詰まってしま
う。端面が詰まると、混合溶液を含浸させようとしても
もはや素子内部に浸透しないので、プロセスをより多く
繰り返して、素子内部に導電性高分子層を緻密に形成す
ることができなくなるばかりでなく、導電性高分子層形
成後に十分な洗浄を施して酸化剤等の不純物を除去する
ことも不可能になってしまうために、高い容量達成率と
優れたコンデンサ特性が得られないという課題を抱えて
いた。

【０００９】さらに、導電性高分子層を電解質に用いた
場合、高い耐電圧特性が得られないという課題を抱えて
いた。

【００１０】本発明は、上記従来技術の課題を解決する
もので、高容量達成率で、コンデンサ特性に優れたコン
デンサを得ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するもので、本発明による第一のコンデンサの製造方
法は、重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合した混合
溶液を用意する工程と、焼結体金属に誘電体層を形成し
たコンデンサ素子を用意する工程と、前記コンデンサ素
子に前記混合溶液を含浸する工程と、前記混合溶液が含
浸されたコンデンサ素子を液状熱媒体により前記混合溶
液中の溶媒の沸点以上に速やかに加熱する工程と、前記
重合性モノマ−と前記酸化剤との化学重合反応により導
電性高分子層を形成する工程とを有する構成である。

【００１２】コンデンサ素子に混合溶液を含浸させた
後、コンデンサ素子を液状熱媒体により溶媒の沸点以上
に速やかに加熱することによって、溶媒が瞬時に蒸発し
て体積が膨張し、焼結体金属表面の空孔から噴出する。
重合反応により生成された導電性高分子層が表面近傍に
集まって空孔を塞ごうとしても、噴出する力により押し
破り、導電性高分子層によって焼結体金属表面の空孔が
塞がれることを防止できるので、混合溶液の含浸、重
合、洗浄のプロセスを繰り返してコンデンサ素子内部に
導電性高分子層を緻密に形成することができるばかりで
なく、導電性高分子層形成後に十分な洗浄を施して酸化
剤等の不純物を除去することができるために、容量達成
率が高く、損失特性やインピ−ダンス特性の優れたコン
デンサが得られる。

【００１３】本発明による第二のコンデンサの製造方法
は、重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合した混合溶
液を用意する工程と、誘電体層を形成した陽極電極箔と
陰極電極箔とをセパレ−タを介して巻回したコンデンサ
素子を用意する工程と、前記コンデンサ素子に前記混合
溶液を含浸する工程と、前記コンデンサ素子を液状熱媒
体により前記混合溶液中の溶媒の沸点以上に速やかに加
熱する工程と、前記重合性モノマ−と前記酸化剤との化
学重合反応により、前記コンデンサ素子内に導電性高分
子層を形成する工程とを有する構成である。

【００１４】コンデンサ素子に混合溶液を含浸させた
後、コンデンサ素子を液状熱媒体により溶媒の沸点以上
に速やかに加熱することによって、溶媒が瞬時に蒸発し
て体積が膨張し、陽極電極箔、セパレ−タ、及び陰極電
極箔の間隙を通って端面から噴出する。重合反応により
生成された導電性高分子層が端面近傍に集まって端面を
塞ごうとしても、噴出する力により押し破り、導電性高
分子層によって端面が塞がれることを防止できるので、
混合溶液の含浸、重合、洗浄のプロセスを繰り返してコ
ンデンサ素子内部に導電性高分子層を緻密に形成するこ
とができるばかりでなく、導電性高分子層形成後に十分
な洗浄を施して酸化剤等の不純物を除去することができ
るために、容量達成率が高く、損失特性やインピ−ダン
ス特性の優れたコンデンサが得られる。

【００１５】本発明による第三のコンデンサの製造方法
は、重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合した混合溶
液を用意する工程と、誘電体層を形成した陽極電極箔と
陰極電極箔とをセパレ−タを介して巻回したコンデンサ
素子を用意する工程と、前記コンデンサ素子に前記混合
溶液を含浸する工程と、前記コンデンサ素子を液状熱媒
体により前記混合溶液中の溶媒の沸点以上に速やかに加
熱する工程と、前記重合性モノマ−と前記酸化剤との化
学重合反応により、前記コンデンサ素子内に導電性高分
子層を形成する工程と、前記導電性高分子層に電解液を
含浸する工程とを有する構成である。

【００１６】コンデンサ素子内部に導電性高分子層を緻
密に形成した後、導電性高分子層に電解液を含浸させる
ことにより、誘電体層欠陥の修復能力を高めることがで
きるために、耐電圧特性の優れたコンデンサが得られ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載の発明は、
重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合して混合溶液を
用意する工程と、焼結体金属に誘電体層を形成してコン
デンサ素子を用意する工程と、前記コンデンサ素子に前
記混合溶液を含浸する工程と、前記混合溶液が含浸され
たコンデンサ素子を前記混合溶液中の溶媒の沸点以上に
急加熱する工程と、前記重合性モノマ−と前記酸化剤と
の化学重合反応により導電性高分子層を形成する工程と
を有するコンデンサの製造方法である。

【００１８】この方法により、コンデンサ素子に混合溶
液を含浸させた後、コンデンサ素子を液状熱媒体等によ
り溶媒の沸点以上に速やかに加熱することによって、溶
媒が瞬時に蒸発して体積が膨張し、焼結体金属表面の空
孔から噴出する。重合反応により生成された導電性高分
子層が表面近傍に集まって空孔を塞ごうとしても、噴出
する力により押し破り、導電性高分子層によって焼結体
金属表面の空孔が塞がれることを防止できるので、混合
溶液の含浸、重合、洗浄のプロセスを繰り返してコンデ
ンサ素子内部に導電性高分子層を緻密に形成することが
できるばかりでなく、導電性高分子層形成後に十分な洗
浄を施して酸化剤等の不純物を除去することができるた
めに、容量達成率が高く、損失特性やインピ−ダンス特
性の優れたコンデンサを実現できる。

【００１９】ここで、重合性モノマー溶液に関しては、
重合性モノマーとしてはピロール、チオフェン、アニリ
ンもしくはそれらの誘導体等が、また溶媒としては、
水、メタノ−ル、エタノ−ル、イソプロパノ−ル、ブタ
ノ−ル等がそれぞれ挙げられるが、これらに限定される
ものではない。前記重合性モノマー及び溶媒は、それぞ
れ単独で用いても、また二種類以上を混合して用いても
よい。また、重合性モノマー溶液のかわりに、溶媒を用
いない重合性モノマー原液を用いてもよい。

【００２０】また、酸化剤溶液に関しては、酸化剤とし
ては、アルキルベンゼンスルホン酸第二鉄、ナフタレン
スルホン酸第二鉄、アルキルナフタレンスルホン酸第二
鉄、アントラキノンスルホン酸第二鉄等が、また溶媒と
しては、水、メタノ−ル、エタノ−ル、イソプロパノ−
ル、ブタノ−ル等がそれぞれ挙げられるが、これらに限
定されるものではない。前記酸化剤及び溶媒は、それぞ
れ単独で用いても、また二種類以上を混合して用いても
よい。

【００２１】本発明の請求項２記載の発明は、重合性モ
ノマ−溶液と酸化剤溶液を冷却する工程と、冷却された
前記重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合して混合溶
液を用意する工程と、焼結体金属に誘電体層を形成して
コンデンサ素子を用意する工程と、前記コンデンサ素子
に前記混合溶液を含浸する工程と、前記混合溶液が含浸
されたコンデンサ素子を前記混合溶液中の溶媒の沸点以
上に急加熱する工程と、前記重合性モノマ−と前記酸化
剤との化学重合反応により導電性高分子層を形成する工
程とを有するコンデンサの製造方法である。

【００２２】この方法により、容量達成率が高く、損失
特性やインピ−ダンス特性の優れたコンデンサを実現で
きるのに加えて、混合溶液を冷却して重合速度を遅くす
ることにより、混合溶液の使用時間を長くしてコストを
低減したり、また、ピロ−ルを重合性モノマ−として使
用することができる。

【００２３】本発明の請求項３記載の発明は、重合性モ
ノマ−溶液と酸化剤溶液を混合して混合溶液を用意する
工程と、誘電体層を形成した陽極電極箔と陰極電極箔と
をセパレ−タを介して巻回してコンデンサ素子を用意す
る工程と、前記コンデンサ素子に前記混合溶液を含浸す
る工程と、前記コンデンサ素子を前記混合溶液中の溶媒
の沸点以上に急加熱する工程と、前記重合性モノマ−と
前記酸化剤との化学重合反応により、前記コンデンサ素
子内に導電性高分子層を形成する工程とを有するコンデ
ンサの製造方法である。

【００２４】この方法により、コンデンサ素子に混合溶
液を含浸させた後、コンデンサ素子を液状熱媒体等によ
り溶媒の沸点以上に速やかに加熱することによって、溶
媒が瞬時に蒸発して体積が膨張し、陽極電極箔、セパレ
−タ、及び陰極電極箔の間隙を通って端面から噴出す
る。重合反応により生成された導電性高分子層が端面近
傍に集まって端面を塞ごうとしても、噴出する力により
押し破り、導電性高分子層によって端面が塞がれること
を防止できるので、混合溶液の含浸、重合、洗浄のプロ
セスを繰り返してコンデンサ素子内部に導電性高分子層
を緻密に形成することができるばかりでなく、導電性高
分子層形成後に十分な洗浄を施して酸化剤等の不純物を
除去することができるために、容量達成率が高く、損失
特性やインピ−ダンス特性の優れたコンデンサを実現で
きる。

【００２５】ここで、陽極電極箔と陰極電極箔には、ア
ルミニウム箔、タンタル箔、ニオブ箔、チタン箔等の弁
金属にエッチング処理が施され、陽極電極箔にはさらに
誘電体層が形成されたものが用いられるが、これらに限
定されるものではない。

【００２６】また、セパレ−タとしては、マニラ紙、ク
ラフト紙、合成繊維紙、ガラスペ−パ−等が用いられる
が、これらに限定されるものではない。

【００２７】本発明の請求項４記載の発明は、重合性モ
ノマ−溶液と酸化剤溶液を冷却する工程と、冷却された
前記重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合して混合溶
液を用意する工程と、誘電体層を形成した陽極電極箔と
陰極電極箔とをセパレ−タを介して巻回してコンデンサ
素子を用意する工程と、前記コンデンサ素子に前記混合
溶液を含浸する工程と、前記コンデンサ素子を前記混合
溶液中の溶媒の沸点以上に急加熱する工程と、前記重合
性モノマ−と前記酸化剤との化学重合反応により、前記
コンデンサ素子内に導電性高分子層を形成する工程とを
有するコンデンサの製造方法である。

【００２８】この方法により、容量達成率が高く、損失
特性やインピ−ダンス特性の優れたコンデンサを実現で
きるのに加えて、混合溶液を冷却して重合速度を遅くす
ることにより、混合溶液の使用時間を長くしてコストを
低減したり、また、ピロ−ルを重合性モノマ−として使
用することができる。

【００２９】本発明の請求項５記載の発明は、重合性モ
ノマ−溶液と酸化剤溶液を混合して混合溶液を用意する
工程と、誘電体層を形成した陽極電極箔と陰極電極箔と
をセパレ−タを介して巻回してコンデンサ素子を用意す
る工程と、前記コンデンサ素子に前記混合溶液を含浸す
る工程と、前記コンデンサ素子を前記混合溶液中の溶媒
の沸点以上に急加熱する工程と、前記重合性モノマ−と
前記酸化剤との化学重合反応により、前記コンデンサ素
子内に導電性高分子層を形成する工程と、前記導電性高
分子層に電解液を含浸する工程とを有するコンデンサの
製造方法である。

【００３０】この方法により、コンデンサ素子内部に導
電性高分子層を緻密に形成した後、導電性高分子層に電
解液を含浸させることにより、誘電体層欠陥の修復能力
を高めることができるために、耐電圧特性の優れたコン
デンサを実現できる。

【００３１】本発明の請求項６記載の発明は、重合性モ
ノマ−溶液と酸化剤溶液を冷却する工程と、冷却された
前記重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合して混合溶
液を用意する工程と、誘電体層を形成した陽極電極箔と
陰極電極箔とをセパレ−タを介して巻回してコンデンサ
素子を用意する工程と、前記コンデンサ素子に前記混合
溶液を含浸する工程と、前記コンデンサ素子を前記混合
溶液中の溶媒の沸点以上に急加熱する工程と、前記重合
性モノマ−と前記酸化剤との化学重合反応により、前記
コンデンサ素子内に導電性高分子層を形成する工程と、
前記導電性高分子層に電解液を含浸する工程とを有する
コンデンサの製造方法である。

【００３２】この方法により、耐電圧特性の優れたコン
デンサを実現できるのに加えて、混合溶液を冷却して重
合速度を遅くすることにより、混合溶液の使用時間を長
くしてコストを低減したり、また、ピロ−ルを重合性モ
ノマ−として使用することができる。

【００３３】また、請求項７に記載しているように、電
解液としてはγ−ブチロラクトンとフタル酸塩からなる
溶液を用いることができる。

【００３４】また、請求項８あるいは９に記載している
ように、誘電体層が、弁金属の酸化物皮膜あるいは高分
子であってもよい。

【００３５】また、請求項１０に記載しているように、
高分子としてはポリイミドまたはアクリル酸とメタクリ
ル酸とスチレンの共重合体を用いることができる。

【００３６】また、請求項１１に記載しているように、
コンデンサ素子を混合溶液中の溶媒の沸点以上に急加熱
する工程が、あらかじめ前記沸点以上に加熱された液状
熱媒体にコンデンサ素子を浸漬する工程を含んでもよ
い。

【００３７】また、請求項１２に記載しているように、
液状熱媒体としては、不活性フッ素系液体または水銀を
用いうることができる。

【００３８】以下、本発明の各実施の形態について詳細
に説明する。

【００３９】（実施の形態１）以下、本発明第１の実施
の形態について説明する。大きさ３．６ｍｍ×２．９ｍ
ｍ×１．４ｍｍ、重量約９０ｍｇのタンタル焼結体金属
からなる素子を、１０００ｍｌの脱イオン水にリン酸５
ｍｌを溶解した約９０℃のリン酸水溶液中に浸漬させ、
５ｍＶ／ｓｅｃの速度で０Ｖから４２Ｖまで電圧を印加
した後、更に３時間４２Ｖの定電圧を印加して陽極酸化
を行い、酸化皮膜誘電体層を形成した。このコンデンサ
素子をコンデンサと見立て、化成液中の容量を測定した
ところ、６８μＦであった。次に、３，４−エチレンジ
オキシチオフェン（ＥＤＯＴ）をメタノ−ルに溶解させ
た重合性モノマ−溶液と、ナフタレンスルホン酸第二鉄
をメタノ−ルに溶解させた酸化剤溶液を、それぞれ用意
し、両液を混合した。このとき、混合溶液中のモノマー
及び酸化剤の濃度については、ＥＤＯＴ１ｍｏｌ／ｌ、
ナフタレンスルホン酸第二鉄０．１８ｍｏｌ／ｌとなる
ように調合した。上記コンデンサ素子を上記混合溶液中
に２分間浸漬し、液を含浸させてから引き上げ、更にオ
イルバスで１５０℃に昇温しておいたフロリナートＦＣ
−７０（不活性フッ素系液体（住友スリーエム株式会社
製））中に２０秒間浸漬した後、１３０℃のオ−ブン中
に２０分間放置した。溶媒の沸点以上に速やかに加熱す
ることによって溶媒が瞬時に蒸発し、化学重合反応が進
行してコンデンサ素子の内部及び表面にポリ（３，４−
エチレンジオキシチオフェン）（ＰＥＤＯＴ）からなる
導電性高分子層が形成された。上記コンデンサ素子に対
して、エタノ−ルによる洗浄を１０分間、脱イオン水に
よる洗浄を１０分間施した後、１２０℃のオ−ブン中で
３０分間乾燥を行った。混合溶液中への浸漬から乾燥ま
での上記一連の工程を、コンデンサ素子内部に導電性高
分子層が充填され、かつ素子表面を導電性高分子層が覆
うまで、計１５回繰り返した。

【００４０】このようにして得られたコンデンサ素子に
おいて、導電性高分子層の上にカ−ボン層と銀ペイント
層で陰極層を形成すると共に陰極リ−ド線を取り付け、
エポキシ樹脂を用いて外装してから、エ−ジング処理を
行い、合計で１０個のコンデンサを完成させた。

【００４１】これら１０個のコンデンサについて、１ｋ
Ｈｚにおける容量、損失係数、４００ｋＨｚにおけるイ
ンピ−ダンスを各々測定した。それらの平均値を以下の
（表１）に示した。

【００４２】本実施の形態によれば、コンデンサ素子に
混合溶液を含浸させた後、液状熱媒体により溶媒の沸点
以上に速やかに加熱することによって、溶媒が瞬時に蒸
発して体積が膨張し、焼結体金属表面の空孔から噴出す
る。重合反応により生成された導電性高分子層が表面近
傍に集まって空孔を塞ごうとしても、噴出する力により
押し破り、導電性高分子層によって焼結体金属表面の空
孔が塞がれることを防止できるので、混合溶液の含浸、
重合、洗浄のプロセスを繰り返してコンデンサ素子内部
に導電性高分子層を緻密に形成することができるばかり
でなく、導電性高分子層形成後に十分な洗浄を施して酸
化剤等の不純物を除去することができるために、容量達
成率が高く、損失特性やインピ−ダンス特性の優れたコ
ンデンサを得ることができる。

【００４３】

【表１】

【００４４】（比較例１）比較例１として、素子をモノ
マー溶液と酸化剤溶液の混合液に浸漬した後の熱処理条
件を、溶媒の沸点より低い６０℃のオ−ブン中に６０分
間放置してから、１３０℃のオ−ブン中に２０分間放置
するように変更した以外、実施の形態１と同様の操作で
コンデンサを作製した場合の素子特性の測定結果を、前
述の（表１）に示す。

【００４５】比較例１では、コンデンサ素子に混合溶液
を含浸した後、溶媒の沸点以上に速やかに加熱しなかっ
たために、溶媒が徐々に蒸発し焼結体金属表面の空孔か
ら噴出する力が弱いので、表面の空孔が導電性高分子層
によって塞がれるのを防止できず、混合溶液の含浸、重
合、洗浄のプロセスを少ない回数（極端な場合には１
回）繰り返す内に表面の空孔が塞がれる。表面の空孔が
塞がれると、混合溶液を含浸させようとしてもコンデン
サ素子内部に浸透しないので、プロセスをより多く繰り
返して、コンデンサ素子内部に導電性高分子層を緻密に
形成することができないばかりでなく、導電性高分子層
形成後に十分な洗浄を施して酸化剤等の不純物を除去す
ることができないために、比較例１では（表１）に示す
ように、容量達成率が低く、損失特性やインピ−ダンス
特性が悪かった。

【００４６】この（表１）における比較例１と実施の形
態１との比較から明らかなように、実施の形態１では、
コンデンサ素子に混合溶液を含浸させた後、液状熱媒体
により溶媒の沸点以上に速やかに加熱することによっ
て、容量達成率が高く、損失特性やインピ−ダンス特性
の優れたコンデンサを得られたことが判明した。

【００４７】（実施の形態２）以下、本発明第２の実施
の形態について説明する。

【００４８】本実施の形態では、実施の形態１の構成に
おいて、ＥＤＯＴをメタノ−ルに溶解させたモノマ−溶
液とナフタレンスルホン酸第二鉄をメタノ−ルに溶解さ
せた酸化剤溶液を混合する際に、両液を−３０℃の恒温
槽内に入れて冷却するように変更した以外、実施の形態
１と同様にしてコンデンサを完成させ、特性評価を行っ
た。その結果を（表１）に示す。

【００４９】本実施の形態によれば、（表１）に示すよ
うに容量達成率が高く、損失特性やインピ−ダンス特性
の優れたコンデンサを実現できることが分かった。それ
に加えて、混合溶液を冷却して重合速度を遅くすること
により、混合溶液の使用時間を従来の１時間から約８時
間へと大幅に延長することができ、コストも低減でき
る。

【００５０】（実施の形態３）以下、本発明第３の実施
の形態について説明する。

【００５１】まず、陽極電極箔及び陰極電極箔を、厚さ
４０μｍのマニラ紙からなるセパレ−タを介して巻回
し、直径約７ｍｍ，端面上部下部間寸法３．４ｍｍのコ
ンデンサ素子を得た。ここで陽極電極箔には、アルミニ
ウムエッチド箔の両面に陽極酸化によって誘電体層が設
けられたものを、幅２．３ｍｍ，長さ１５４ｍｍの大き
さに切断して用いた。また、陰極電極箔には、幅２．３
ｍｍ，長さ１８０ｍｍのアルミニウムエッチド箔を用い
た。更に、陽極電極箔及び陰極電極箔には、予め陽極リ
−ド線及び陰極リ−ド線が、陽極リ−ド用タブと陰極リ
−ド用タブを介して接続されており、各リード線は端面
上部から突出している。

【００５２】次に、陽極電極箔を形成したときの切断面
と陽極リ−ド用タブに陽極酸化処理を施した。陽極リ−
ド線を支持して、コンデンサ素子を７０℃の３％アジピ
ン酸アンモニウム水溶液中に浸漬させ、１０ｍＶ／ｓｅ
ｃの速度で０Ｖから１４Ｖまで電圧を印加した後、更に
１４Ｖの定電圧を１０分間印加して、切断面と陽極リ−
ド用タブに誘電体層を形成した。そして、脱イオン水に
よる洗浄を１０分間施してから、１０５℃で５分間乾燥
を行った。

【００５３】この構成をコンデンサと見立て、化成液中
の容量を測定したところ、２２０μＦであった。

【００５４】ＥＤＯＴをエタノ−ルに溶解させたモノマ
−溶液と、ナフタレンスルホン酸第二鉄とトリイソプロ
ピルナフタレンスルホン酸第二鉄をエタノ−ルに溶解さ
せた酸化剤溶液をそれぞれ用意し、両液を混合した。こ
のとき、混合溶液中のモノマー及び酸化剤の濃度につい
ては、ＥＤＯＴ１ｍｏｌ／ｌ，ナフタレンスルホン酸第
二鉄０．０６ｍｏｌ／ｌ，及びトリイソプロピルナフタ
レンスルホン酸第二鉄０．１２ｍｏｌ／ｌとなるように
調合した。

【００５５】上記コンデンサ素子を上記混合溶液中に２
分間浸漬し、液を含浸させてから引き上げ、更にオイル
バスで１５０℃に昇温しておいた水銀中に２０秒間浸漬
した後、１３０℃のオ−ブン中に２０分間放置した。溶
媒の沸点以上に速やかに加熱することによって溶媒が瞬
時に蒸発し、化学重合反応が進行してコンデンサ素子の
内部にポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）
（ＰＥＤＯＴ）からなる導電性高分子層が形成された。

【００５６】上記コンデンサ素子に対して、エタノ−ル
による洗浄を１５分間、脱イオン水による洗浄を１５分
間施した後、１２０℃のオ−ブン中で３０分間乾燥を行
った。

【００５７】混合溶液中への浸漬から乾燥までの上記一
連の工程を、コンデンサ素子内部に導電性高分子層が充
填されるまで、計１３回繰り返した。

【００５８】このようにして得られたコンデンサ素子を
有底筒状のアルミニウムケ−スに収納し、その開口部を
エポキシ樹脂により封口してからエ−ジング処理を行
い、合計で１０個のコンデンサを完成させ、実施の形態
１と同様の特性評価を行った。それらの平均値を（表
１）に示す。

【００５９】本実施の形態によれば、コンデンサ素子に
混合溶液を含浸させた後、液状熱媒体により溶媒の沸点
以上に速やかに加熱することによって、溶媒が瞬時に蒸
発して噴出する力で、導電性高分子層によって端面が塞
がれることを防止できるので、混合溶液の含浸、重合、
洗浄のプロセスを繰り返してコンデンサ素子内部に導電
性高分子層を緻密に形成することができるばかりでな
く、導電性高分子層形成後に十分な洗浄を施して酸化剤
等の不純物を除去することができるために、（表１）に
示すように容量達成率が高く、損失特性やインピ−ダン
ス特性の優れたコンデンサを得ることができる。

【００６０】（比較例２）比較例２として、素子をモノ
マー溶液と酸化剤溶液の混合液に浸漬した後の熱処理条
件を、溶媒の沸点より低い６０℃のオ−ブン中に６０分
間放置してから、１３０℃のオ−ブン中に２０分間放置
するように変更した以外、実施の形態３と同様の操作で
コンデンサを作製した場合の素子特性の測定結果を、前
述の（表１）に示す。

【００６１】比較例２では、コンデンサ素子に混合溶液
を含浸させた後、溶媒の沸点以上に速やかに加熱しなか
ったために、溶媒が徐々に蒸発し端面から噴出する力が
弱いので、端面が導電性高分子層によって塞がれるのを
防止できず、混合溶液の含浸、重合、洗浄のプロセスを
少ない回数（極端な場合には１回）繰り返す内に端面が
塞がれる。端面が塞がれると、混合溶液を含浸させよう
としてもコンデンサ素子内部に浸透しないので、プロセ
スをより多く繰り返して、コンデンサ素子内部に導電性
高分子層を緻密に形成することができないばかりでな
く、導電性高分子層形成後に十分な洗浄を施して酸化剤
等の不純物を除去することができないために、（表１）
に示すように、容量達成率が低く、損失特性やインピ−
ダンス特性が悪かった。

【００６２】この（表１）における比較例２と実施の形
態３との比較から明らかなように、実施の形態３では、
コンデンサ素子に混合溶液を含浸させた後、液状熱媒体
により溶媒の沸点以上に速やかに加熱することによっ
て、容量達成率が高く、損失特性やインピ−ダンス特性
の優れたコンデンサを得られたことが判明した。

【００６３】（実施の形態４）以下、本発明第４の実施
の形態について説明する。

【００６４】本実施の形態では、実施の形態３の構成に
おいて、混合溶液の組成とその調合条件、及び重合条件
を変更した以外、実施の形態３と同様にしてコンデンサ
を完成させた。

【００６５】まず、ピロ−ルをメタノ−ルに溶解させた
モノマ−溶液と、ナフタレンスルホン酸第二鉄をメタノ
−ルに溶解させた酸化剤溶液を、−３０℃の恒温槽内に
入れて冷却した後に混合した。このとき、混合溶液中の
モノマー及び酸化剤の濃度については、ピロ−ル０．６
２ｍｏｌ／ｌ、ナフタレンスルホン酸第二鉄０．３５ｍ
ｏｌ／ｌとなるように調合した。

【００６６】実施の形態３で使用したものと同様の陽極
酸化処理済みコンデンサ素子を上記混合溶液中に１０秒
間浸漬し、液を含浸させてから引き上げ、更にオイルバ
スで１１０℃に昇温しておいたフロリナートＦＣ−４３
（不活性フッ素系液体（住友スリーエム株式会社製））
中に２０秒間浸漬した後、２５℃で２０分間放置して、
コンデンサ素子の内部にポリピロ−ルからなる導電性高
分子層を形成した。

【００６７】上記コンデンサ素子に対して、エタノ−ル
による洗浄を１５分間、脱イオン水による洗浄を１５分
間施した後、１２０℃のオ−ブン中で３０分間乾燥を行
った。

【００６８】混合溶液中への浸漬から乾燥までの上記一
連の工程を、コンデンサ素子内部に導電性高分子層が充
填されるまで、計１０回繰り返した。

【００６９】このようにして得られたコンデンサ素子に
ついて、実施の形態３と同様の特性評価を行った。その
結果を（表１）に示す。

【００７０】本実施の形態によれば、コンデンサ素子に
冷却された混合溶液を含浸させた後、液状熱媒体により
溶媒の沸点以上に速やかに加熱することにより、容量達
成率が高く、損失特性やインピ−ダンス特性の優れたコ
ンデンサを実現することができるばかりでなく、混合溶
液を冷却して重合速度を遅くすることにより、ピロ−ル
を重合性モノマ−として使用することができる。

【００７１】（実施の形態５）以下、本発明第５の実施
の形態について説明する。

【００７２】本実施の形態では、陽極酸化の化成電圧を
１４Ｖから８０Ｖに変更したことと、導電性高分子層に
電解液を含浸する以外、実施の形態３と同様にしてコン
デンサを完成させた。陽極酸化の化成電圧の変更に伴
い、化成液中の容量は３９μＦとなった。

【００７３】また、実施の形態３と同様にして導電性高
分子層を形成した後、フタル酸モノメチルトリエチルア
ンモニウムを２０％含むγ−ブチロラクトン溶液からな
る電解液中にコンデンサ素子を浸漬し、減圧して電解液
を導電性高分子層に含浸した。

【００７４】このようにして得られたコンデンサ素子に
ついて、実施の形態３と同様の特性評価を行った。それ
らの平均値を（表１）に示す。

【００７５】コンデンサを完成させた後、素子の耐電圧
特性を調べたところ、導電性高分子層に電解液を含浸さ
せた場合の耐電圧は、約３８Ｖであった。ちなみに、電
解液を導電性高分子層に電解液を含浸させない場合の耐
電圧は、約２６Ｖであった。

【００７６】本実施の形態によれば、コンデンサ素子に
混合溶液を含浸させた後、液状熱媒体により溶媒の沸点
以上に速やかに加熱することによって、容量達成率が高
く、損失特性やインピ−ダンス特性の優れたコンデンサ
を実現できるばかりでなく、コンデンサ素子内部に導電
性高分子層を緻密に形成した後、導電性高分子層に電解
液を含浸させることにより、誘電体層欠陥の修復能力を
高めることができるために、耐電圧特性の優れたコンデ
ンサを実現することができる。

【００７７】（実施の形態６）以下、本発明の第６の実
施の形態について説明する。

【００７８】本実施の形態では、陽極酸化の化成電圧を
１４Ｖから８０Ｖに変更したことと、導電性高分子層に
電解液を含浸する以外、実施の形態４と同様にしてコン
デンサを完成させた。実施の形態５と同様に、陽極酸化
の化成電圧の変更に伴い、化成液中の容量は３９μＦと
なった。

【００７９】また、実施の形態４と同様にして導電性高
分子層を形成した後、フタル酸モノメチルトリエチルア
ンモニウムを２０％含むγ−ブチロラクトン溶液からな
る電解液中にコンデンサ素子を浸漬し、減圧して電解液
を導電性高分子層に含浸した。

【００８０】このようにして得られたコンデンサ素子に
ついて、実施の形態３と同様の特性評価を行った。その
結果を（表１）に示す。

【００８１】コンデンサを完成させた後、素子の耐電圧
特性を調べたところ、導電性高分子層に電解液を含浸さ
せた場合の耐電圧は、約４０Ｖであった。ちなみに、電
解液を導電性高分子層に電解液を含浸させない場合の耐
電圧は、約２７Ｖであった。

【００８２】本実施の形態によれば、コンデンサ素子に
冷却された混合溶液を含浸させた後、液状熱媒体により
溶媒の沸点以上に速やかに加熱することによって、容量
達成率が高く、損失特性やインピ−ダンス特性の優れた
コンデンサを実現できるばかりでなく、混合溶液を冷却
して重合速度を遅くすることにより、ピロ−ルを重合性
モノマ−として使用することができる。更に、コンデン
サ素子内部に導電性高分子層を緻密に形成した後、導電
性高分子層に電解液を含浸させることにより、誘電体層
欠陥の修復能力を高めることができるために、耐電圧特
性の優れたコンデンサを実現できる。

【００８３】（実施の形態７）以下、本発明第７の実施
の形態について説明する。

【００８４】本実施の形態では、誘電体層として陽極酸
化皮膜に替えて高分子のポリイミドを用いた以外、実施
の形態３と同様にしてコンデンサを完成させた。

【００８５】まず、アルミニウムエッチド箔の両面に電
着によってポリイミドからなる誘電体層を設け、ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物とｐ−フェニレンジアミ
ンをＮ−メチルピロリドン中、窒素還流化で反応させて
ポリアミック酸を得た。このポリアミック酸をＮ，Ｎ−
ジメチルアミドに希釈し、トリエチルアミンを加えてポ
リアミック酸塩溶液を得、メタノ−ルを添加して最終的
にポリアミック酸を０．１５％含むように調整し電着液
とした。

【００８６】この電着液にアルミニウムエッチド箔を浸
してこれを陽極とし、隔離して設けた電極との間に３０
Ｖの電圧を印加してポリアミック酸膜を電着させた後、
２５０℃で１時間加熱してポリアミック酸をポリイミド
化した。この電着並びに加熱を３回繰り返してポリイミ
ドからなる誘電体層を形成した。

【００８７】陽極電極箔には、誘電体層が設けられたア
ルミニウムエッチド箔を、幅２．３ｍｍ、長さ１５４ｍ
ｍの大きさに切断して用いた。また、陰極電極箔には、
幅２．３ｍｍ、長さ１８０ｍｍのアルミニウムエッチド
箔を用いた。

【００８８】次に、陽極電極箔及び陰極電極箔を、厚さ
４０μｍのマニラ紙からなるセパレ−タを介して巻回
し、コンデンサ素子を得た。なお、陽極電極箔、陰極電
極箔には、予め陽極リ−ド線と陰極リ−ド線が陽極リ−
ド用タブと陰極リ−ド用タブを介して接続されており、
端面上部から突出している。

【００８９】次に、陽極リ−ド線を支持して、コンデン
サ素子を上記と同様の電着液の中に浸漬させ、陽極電極
箔を陽極とし、隔離して設けた電極との間に３０Ｖの電
圧を印加してポリアミック酸膜を電着させた。その後、
２５０℃で１時間加熱してポリアミック酸をポリイミド
化した。このようにして、陽極電極箔を形成したときの
切断面と陽極リ−ド用タブにポリイミドからなる誘電体
層を形成した。

【００９０】この構成をコンデンサと見立て、アジピン
酸水溶液からなる化成液中の容量を測定したところ、９
μＦであった。

【００９１】以降、実施の形態３と同様に導電性高分子
層を形成し、コンデンサを完成させた後、特性評価をっ
た。その結果を（表１）に示す。本実施の形態によれ
ば、誘電体層として高分子のポリイミドを用いた場合に
も、（表１）に示すように、容量達成率が高く、損失特
性やインピ−ダンス特性の優れたフィルムコンデンサを
実現できることが分かった。

【００９２】（実施の形態８）以下、本発明第８の実施
の形態について説明する。

【００９３】本実施の形態では、誘電体層として陽極酸
化皮膜に替えて高分子のアクリル酸とメタクリル酸とス
チレンの共重合体を用いた以外、実施の形態４と同様に
してコンデンサを完成させた。

【００９４】まず、アルミニウムエッチド箔の両面に電
着によってアクリル酸とメタクリル酸とスチレンの共重
合体からなる誘電体層を設けた。用いた電着液組成は、
固形分１０重量％、脱イオン水８６重量％、ブチルセロ
ソルブ４重量％である。その中の固形分は、分子量約３
万のアクリル酸とメタクリル酸とスチレンの共重合体と
ベンゾクアナミン系樹脂を７対３で混合し、電着液中に
分散させるため、カルボン酸基の５０％をトリメチルア
ミンにより中和したものを用いた。

【００９５】この電着液にアルミニウムエッチド箔を浸
してこれを陽極とし、隔離して設けた電極との間に電圧
を印加し、０．３ｍＡ／ｃｍ²の電流密度で１０Ｖに達
するまで定電流電着を行い、さらに１０Ｖで１５分間定
電圧電着を行った。

【００９６】次に、８０℃の脱イオン水による洗浄を２
０分間行ってから、１８０℃で３０分間熱処理すること
により、ベンゾグアナミン系樹脂との間で架橋反応させ
た。これら一連の処理を３回繰り返して誘電体層を形成
した。

【００９７】陽極電極箔には、誘電体層が設けられたア
ルミニウムエッチド箔を、幅２．３ｍｍ、長さ１５４ｍ
ｍの大きさに切断して用いた。また、陰極電極箔には、
幅２．３ｍｍ、長さ１８０ｍｍのアルミニウムエッチド
箔を用いた。

【００９８】次に、陽極電極箔及び陰極電極箔を、厚さ
４０μｍのマニラ紙からなるセパレ−タを介して巻回
し、コンデンサ素子を得た。なお、陽極電極箔、陰極電
極箔には、予め陽極リ−ド線と陰極リ−ド線が陽極リ−
ド用タブと陰極リ−ド用タブを介して接続されており、
端面上部から突出している。

【００９９】次に、陽極リ−ド線を支持して、コンデン
サ素子を上記と同様の電着液の中に浸漬させ、陽極電極
箔を陽極とし、隔離して設けた電極との間に電圧を印加
し、０．３ｍＡ／ｃｍ²の電流密度で１０Ｖに達するま
で定電流電着を行い、さらに１０Ｖで１５分間定電圧電
着を行った。次に、８０℃の脱イオン水による洗浄を２
０分間行ってから、１８０℃で３０分間熱処理すること
により、ベンゾグアナミン系樹脂との間で架橋反応させ
た。このようにして、陽極電極箔を形成したときの切断
面と陽極リ−ド用タブにアクリル酸とメタクリル酸とス
チレンの共重合体からなる誘電体層を形成した。

【０１００】この構成をコンデンサと見立て、アジピン
酸水溶液からなる化成液中の容量を測定したところ、
９．５μＦであった。

【０１０１】以降、実施の形態４と同様に導電性高分子
層を形成し、コンデンサを完成させた後、特性評価をっ
た。その結果を（表１）に示す。

【０１０２】本実施の形態によれば、誘電体層として高
分子のアクリル酸とメタクリル酸とスチレンの共重合体
を用いた場合にも、（表１）に示すように、容量達成率
が高く、損失特性やインピ−ダンス特性の優れたフィル
ムコンデンサを実現できることが分かった。

【０１０３】なお、上記第１〜第８の実施の形態では、
金属としてタンタルとアルミニウムを用いる場合につい
てのみ述べたが、その他ジルコニウム、ニオブ、ハフニ
ウム、チタン等の金属やそれらの金属間化合物等も使用
可能である。

【０１０４】なお、上記第１〜第８の実施の形態では、
重合性モノマーとして３，４−エチレンジオキシチオフ
ェンとピロールを用いる場合についてのみ述べたが、そ
の他チオフェン、アニリン等のモノマーやそれらの誘導
体等も使用可能である。

【０１０５】なお、上記第１〜第８の実施の形態では、
酸化剤としてナフタレンスルホン酸第二鉄及びナフタレ
ンスルホン酸第二鉄とトリイソプロピルナフタレンスル
ホン酸第二鉄との混合系を用いる場合についてのみ述べ
たが、その他アルキルベンゼンスルホン酸第二鉄、アル
キルナフタレンスルホン酸第二鉄、アントラキノンスル
ホン酸第二鉄等の酸化剤やそれらの混合系も使用可能で
ある。

【０１０６】なお、上記第１〜第８の実施の形態では、
溶媒としてメタノールとエタノールを用いる場合につい
てのみ述べたが、その他水、イソプロパノール、ブタノ
ール等の溶媒やそれらの混合溶媒も使用可能である。

【０１０７】なお、上記第１〜第８の実施の形態では、
誘電体層となる高分子としてポリイミド及びアクリル酸
とメタクリル酸とスチレンの共重合体を用いる場合につ
いてのみ述べたが、薄膜を形成できればそれ以外の高分
子材料も使用可能であり、本発明はその種類に限定され
ない。

【０１０８】なお、上記第１〜第８の実施の形態では、
液状熱媒体として不活性フッ素系液体と水銀を用いる場
合についてのみ述べたが、熱伝導度が高く、コンデンサ
素子を形成している各要素に対して不活性であれば、そ
れ以外の液状熱媒体も使用可能であり、本発明はその種
類に限定されない。

【０１０９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、コンデン
サ素子に混合溶液を含浸させた後、液状熱媒体により溶
媒の沸点以上に速やかに加熱することによって、容量達
成率が高く、損失特性やインピ−ダンス特性の優れたコ
ンデンサを得ることができるという有利な効果が得られ
る。また、導電性高分子層に電解液を含浸させることに
よって、誘電体層欠陥の修復能力を高めることができる
ために、耐電圧特性の優れたコンデンサを得ることがで
きるという有利な効果が得られる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 工藤 康夫 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 松家 安恵 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合
   して混合溶液を用意する工程と、焼結体金属に誘電体層
   を形成してコンデンサ素子を用意する工程と、前記コン
   デンサ素子に前記混合溶液を含浸する工程と、前記混合
   溶液が含浸されたコンデンサ素子を前記混合溶液中の溶
   媒の沸点以上に急加熱する工程と、前記重合性モノマ−
   と前記酸化剤との化学重合反応により導電性高分子層を
   形成する工程とを有するコンデンサの製造方法。
2. 【請求項２】 重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を冷却
   する工程と、冷却された前記重合性モノマ−溶液と酸化
   剤溶液を混合して混合溶液を用意する工程と、焼結体金
   属に誘電体層を形成してコンデンサ素子を用意する工程
   と、前記コンデンサ素子に前記混合溶液を含浸する工程
   と、前記混合溶液が含浸されたコンデンサ素子を前記混
   合溶液中の溶媒の沸点以上に急加熱する工程と、前記重
   合性モノマ−と前記酸化剤との化学重合反応により導電
   性高分子層を形成する工程とを有するコンデンサの製造
   方法。
3. 【請求項３】 重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合
   して混合溶液を用意する工程と、誘電体層を形成した陽
   極電極箔と陰極電極箔とをセパレ−タを介して巻回して
   コンデンサ素子を用意する工程と、前記コンデンサ素子
   に前記混合溶液を含浸する工程と、前記コンデンサ素子
   を前記混合溶液中の溶媒の沸点以上に急加熱する工程
   と、前記重合性モノマ−と前記酸化剤との化学重合反応
   により、前記コンデンサ素子内に導電性高分子層を形成
   する工程とを有するコンデンサの製造方法。
4. 【請求項４】 重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を冷却
   する工程と、冷却された前記重合性モノマ−溶液と酸化
   剤溶液を混合して混合溶液を用意する工程と、誘電体層
   を形成した陽極電極箔と陰極電極箔とをセパレ−タを介
   して巻回してコンデンサ素子を用意する工程と、前記コ
   ンデンサ素子に前記混合溶液を含浸する工程と、前記コ
   ンデンサ素子を前記混合溶液中の溶媒の沸点以上に急加
   熱する工程と、前記重合性モノマ−と前記酸化剤との化
   学重合反応により、前記コンデンサ素子内に導電性高分
   子層を形成する工程とを有するコンデンサの製造方法。
5. 【請求項５】 重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を混合
   して混合溶液を用意する工程と、誘電体層を形成した陽
   極電極箔と陰極電極箔とをセパレ−タを介して巻回して
   コンデンサ素子を用意する工程と、前記コンデンサ素子
   に前記混合溶液を含浸する工程と、前記コンデンサ素子
   を前記混合溶液中の溶媒の沸点以上に急加熱する工程
   と、前記重合性モノマ−と前記酸化剤との化学重合反応
   により、前記コンデンサ素子内に導電性高分子層を形成
   する工程と、前記導電性高分子層に電解液を含浸する工
   程とを有するコンデンサの製造方法。
6. 【請求項６】 重合性モノマ−溶液と酸化剤溶液を冷却
   する工程と、冷却された前記重合性モノマ−溶液と酸化
   剤溶液を混合して混合溶液を用意する工程と、誘電体層
   を形成した陽極電極箔と陰極電極箔とをセパレ−タを介
   して巻回してコンデンサ素子を用意する工程と、前記コ
   ンデンサ素子に前記混合溶液を含浸する工程と、前記コ
   ンデンサ素子を前記混合溶液中の溶媒の沸点以上に急加
   熱する工程と、前記重合性モノマ−と前記酸化剤との化
   学重合反応により、前記コンデンサ素子内に導電性高分
   子層を形成する工程と、前記導電性高分子層に電解液を
   含浸する工程とを有するコンデンサの製造方法。
7. 【請求項７】 電解液がγ−ブチロラクトンとフタル酸
   塩を含む請求項５または６記載のコンデンサの製造方
   法。
8. 【請求項８】 誘電体層が弁金属の酸化物皮膜である請
   求項１ないし７のいずれか記載のコンデンサの製造方
   法。
9. 【請求項９】 誘電体層が高分子膜である請求項３ない
   し８のいずれか記載のコンデンサの製造方法。
10. 【請求項１０】 高分子膜がポリイミドまたはアクリル
    酸とメタクリル酸とスチレンの共重合体を含む請求項８
    に記載のコンデンサの製造方法。
11. 【請求項１１】 コンデンサ素子を混合溶液中の溶媒の
    沸点以上に急加熱する工程が、あらかじめ前記沸点以上
    に加熱された液状熱媒体にコンデンサ素子を浸漬する工
    程を含む請求項１ないし１０のいずれか記載のコンデン
    サの製造方法。
12. 【請求項１２】 液状熱媒体が不活性フッ素系液体また
    は水銀である請求項１１記載のコンデンサの製造方法。