JP2001056180A - 基板の乾燥機 - Google Patents
基板の乾燥機Info
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- JP2001056180A JP2001056180A JP11231594A JP23159499A JP2001056180A JP 2001056180 A JP2001056180 A JP 2001056180A JP 11231594 A JP11231594 A JP 11231594A JP 23159499 A JP23159499 A JP 23159499A JP 2001056180 A JP2001056180 A JP 2001056180A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板に塗布されたペーストを均一に乾燥させ
る。 【解決手段】 加熱室に接続された排気管の途
中にに熱交換器１０を設け、排気熱を給気に伝達して温
度が低下した排気１１を予備加熱室に供給し、熱交換
により加熱された給気１４を本加熱室に供給する
システムを構成するとともに、予備加熱室には溶剤の
濃度検出センサー２１を備えるとともにすべての加熱室
に温度センサー２０を設け、これらのセンサー
の検出値に基づいて吹き込む熱風の温度又は風量を制御
盤にて自動制御する。
る。 【解決手段】 加熱室に接続された排気管の途
中にに熱交換器１０を設け、排気熱を給気に伝達して温
度が低下した排気１１を予備加熱室に供給し、熱交換
により加熱された給気１４を本加熱室に供給する
システムを構成するとともに、予備加熱室には溶剤の
濃度検出センサー２１を備えるとともにすべての加熱室
に温度センサー２０を設け、これらのセンサー
の検出値に基づいて吹き込む熱風の温度又は風量を制御
盤にて自動制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板に塗布された
ペーストの乾燥装置に関する。
ペーストの乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、基板には回路が形成され、回路中
のはんだ付けをする部分以外の面にソルダーレジストの
層を形成してその部分にはんだが付着しないようにする
ことが行われている。このソルダレジストの層を形成す
るためには、例えば芳香族炭化水素、カルビトールアセ
テート、ジプロヒレングリコールモノメチルエーテル等
の溶剤を用いて練られたぺーストを基板の全面に塗布
し、乾燥機にて乾燥してから露光行程を施し、ぺースト
の不用部分を削除していた。
のはんだ付けをする部分以外の面にソルダーレジストの
層を形成してその部分にはんだが付着しないようにする
ことが行われている。このソルダレジストの層を形成す
るためには、例えば芳香族炭化水素、カルビトールアセ
テート、ジプロヒレングリコールモノメチルエーテル等
の溶剤を用いて練られたぺーストを基板の全面に塗布
し、乾燥機にて乾燥してから露光行程を施し、ぺースト
の不用部分を削除していた。
【０００３】このソルダレジストを乾燥させる乾燥機と
しては、例えば特開平１０−８２５８３号公報に開示さ
れた乾燥装置が公知である。
しては、例えば特開平１０−８２５８３号公報に開示さ
れた乾燥装置が公知である。
【０００４】この乾燥装置の構成は、厚膜印刷にてパタ
ーンを形成した大型基板をコンベヤー上に水平に載置し
て加熱室内に搬送し、複数の加熱室を経る過程で遠赤外
線の照射温度を徐々にあげつつ加熱することにより均一
に乾燥させようとするものである。
ーンを形成した大型基板をコンベヤー上に水平に載置し
て加熱室内に搬送し、複数の加熱室を経る過程で遠赤外
線の照射温度を徐々にあげつつ加熱することにより均一
に乾燥させようとするものである。
【０００５】また、その他の例として、ロールコーター
にて垂直上方に送りつつペーストを塗布した基板を、回
動するチェーンコンベヤーの下面に懸垂させ、チェーン
の回動により複数の加熱室内に間欠的に搬送し、加熱室
内にて停滞している間に上方から吹き込まれる熱風に
て、各加熱室を経る過程で徐々に温度を上げながら乾燥
させる乾燥装置が知られている。なお、各加熱室の上方
からは加熱室毎に温度の異なる熱風が吹き込まれるよう
になっており、熱風の吹き込み口それぞれの真下には熱
風の吸込口が設けられていて、加熱室内が所定温度に保
たれるように考慮されている。
にて垂直上方に送りつつペーストを塗布した基板を、回
動するチェーンコンベヤーの下面に懸垂させ、チェーン
の回動により複数の加熱室内に間欠的に搬送し、加熱室
内にて停滞している間に上方から吹き込まれる熱風に
て、各加熱室を経る過程で徐々に温度を上げながら乾燥
させる乾燥装置が知られている。なお、各加熱室の上方
からは加熱室毎に温度の異なる熱風が吹き込まれるよう
になっており、熱風の吹き込み口それぞれの真下には熱
風の吸込口が設けられていて、加熱室内が所定温度に保
たれるように考慮されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
開平１０−８２５８３号公報に開示された乾燥装置の場
合は、基板が複数の加熱室を経る過程で徐々に高い温度
にて加熱されることによりペーストの内部まで平均に乾
燥されるようになってはいるものの、各加熱室内の温度
や溶剤の乾燥程度が確認されないまま乾燥されるので、
加熱温度に過不足が生じやすく、所定の乾燥状態が得ら
れにくいという問題がある。
開平１０−８２５８３号公報に開示された乾燥装置の場
合は、基板が複数の加熱室を経る過程で徐々に高い温度
にて加熱されることによりペーストの内部まで平均に乾
燥されるようになってはいるものの、各加熱室内の温度
や溶剤の乾燥程度が確認されないまま乾燥されるので、
加熱温度に過不足が生じやすく、所定の乾燥状態が得ら
れにくいという問題がある。
【０００７】ところで未露光のぺースト内に含有される
溶剤は一般に、２２〜２３％が最適量とされており、加
熱の初期段階にて加熱温度が高過ぎた場合には表面に固
い膜が生じることにより、その後の加熱にて内部の溶剤
が均等に発散しにくくなってペースト内に気泡が生じる
場合がある。例えばスルーホール内に入り込んだぺース
ト内に気泡が生じると、その後の行程で加熱したときに
気泡が膨張して基板が破壊されるという問題がある。ま
た逆に、溶剤が全部乾燥してしまった場合には露光がで
きなくなってしまう恐れがある。
溶剤は一般に、２２〜２３％が最適量とされており、加
熱の初期段階にて加熱温度が高過ぎた場合には表面に固
い膜が生じることにより、その後の加熱にて内部の溶剤
が均等に発散しにくくなってペースト内に気泡が生じる
場合がある。例えばスルーホール内に入り込んだぺース
ト内に気泡が生じると、その後の行程で加熱したときに
気泡が膨張して基板が破壊されるという問題がある。ま
た逆に、溶剤が全部乾燥してしまった場合には露光がで
きなくなってしまう恐れがある。
【０００８】前記他の例の場合も、各加熱室内における
温度や乾燥の程度が上記と同様に確認されないまま加熱
されているためにぺースト内に気泡が発生したり乾燥し
すぎたりする問題があるとともに、各加熱室の上方から
吹き込まれる熱風をその下方にて吸い込ませる吸込口が
各部屋毎に明確に区分して吸い込むようになっていない
ために隣接する加熱室間における熱風の流線相互間が干
渉しあって乱れやすく、各加熱室における温度が所定の
温度に保たれにくいという問題がある。
温度や乾燥の程度が上記と同様に確認されないまま加熱
されているためにぺースト内に気泡が発生したり乾燥し
すぎたりする問題があるとともに、各加熱室の上方から
吹き込まれる熱風をその下方にて吸い込ませる吸込口が
各部屋毎に明確に区分して吸い込むようになっていない
ために隣接する加熱室間における熱風の流線相互間が干
渉しあって乱れやすく、各加熱室における温度が所定の
温度に保たれにくいという問題がある。
【０００９】いずれにしても、前記従来の乾燥機は各加
熱室内の温度や加熱室内に発散した溶剤の濃度が確認さ
れないまま乾燥される方式であるために上記問題が発生
しないようにすることは困難である。
熱室内の温度や加熱室内に発散した溶剤の濃度が確認さ
れないまま乾燥される方式であるために上記問題が発生
しないようにすることは困難である。
【００１０】よって本発明は、かかる問題点を解消し得
る基板の乾燥方法及び乾燥機の提供を目的とするもので
ある。
る基板の乾燥方法及び乾燥機の提供を目的とするもので
ある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１における基板の乾燥機は、ペース
トを塗布した基板を複数の加熱室内に搬送しつつ加熱・
乾燥する乾燥機において、前記加熱室から排出される排
気熱を給気に伝達する熱交換器を設けるとともに、熱交
換により温度が低下した排気を予備加熱室に供給し、熱
交換により加熱された給気を本加熱室に供給することを
特徴とするものである。
め、本発明の請求項１における基板の乾燥機は、ペース
トを塗布した基板を複数の加熱室内に搬送しつつ加熱・
乾燥する乾燥機において、前記加熱室から排出される排
気熱を給気に伝達する熱交換器を設けるとともに、熱交
換により温度が低下した排気を予備加熱室に供給し、熱
交換により加熱された給気を本加熱室に供給することを
特徴とするものである。
【００１２】請求項１によれば、熱交換器にて排気熱を
給気に熱交換することにより排気熱を基板の予備乾燥及
び本乾燥に再使用することにより消費電力を低減するこ
とが可能となる。
給気に熱交換することにより排気熱を基板の予備乾燥及
び本乾燥に再使用することにより消費電力を低減するこ
とが可能となる。
【００１３】本発明の請求項２における基板の乾燥機
は、前記熱交換器を通過して予備加熱室に供給する前の
排気流路に排気温度の調整手段を設けたことを特徴とす
るものである。
は、前記熱交換器を通過して予備加熱室に供給する前の
排気流路に排気温度の調整手段を設けたことを特徴とす
るものである。
【００１４】請求項２によれば、熱交換器にて熱交換し
た後の排気温度は４０℃前後になるため基板の予熱温度
としては高すぎるが、排気温度調整手段により予備加熱
室に供給する温度を適切に調整することが可能となる。
た後の排気温度は４０℃前後になるため基板の予熱温度
としては高すぎるが、排気温度調整手段により予備加熱
室に供給する温度を適切に調整することが可能となる。
【００１５】本発明の請求項３における基板の乾燥機
は、前記排気温度調整手段が、前記予備加熱室内に設け
た温度センサーと溶剤の濃度センサー及び予備加熱室内
に供給するめの排気流路に設けた大気取り入れダンパー
とから成り、温度センサーにて予備加熱室内の温度を検
出すると同時に溶剤の濃度センサーにて基板から発生す
る溶剤の濃度を検出し、それぞれのセンサーの検出値に
基づいて大気取り入れダンパーの開度を調整することを
特徴とするものである。
は、前記排気温度調整手段が、前記予備加熱室内に設け
た温度センサーと溶剤の濃度センサー及び予備加熱室内
に供給するめの排気流路に設けた大気取り入れダンパー
とから成り、温度センサーにて予備加熱室内の温度を検
出すると同時に溶剤の濃度センサーにて基板から発生す
る溶剤の濃度を検出し、それぞれのセンサーの検出値に
基づいて大気取り入れダンパーの開度を調整することを
特徴とするものである。
【００１６】請求項３によれば、予備加熱室内の温度及
び溶剤濃度を検出することによりこの基板の乾燥程度を
確認することができ、この検出値に基づいて予備加熱室
に供給する排気温度及び溶剤濃度を調整することが可能
となる。また、排気温度の調整は、温度センサー及び濃
度センサーの検出値に基づいて大気取り入れ量をダンパ
ーの開度にて調整することが可能となる。
び溶剤濃度を検出することによりこの基板の乾燥程度を
確認することができ、この検出値に基づいて予備加熱室
に供給する排気温度及び溶剤濃度を調整することが可能
となる。また、排気温度の調整は、温度センサー及び濃
度センサーの検出値に基づいて大気取り入れ量をダンパ
ーの開度にて調整することが可能となる。
【００１７】本発明の請求項４における基板の乾燥機
は、前記熱交換器により排気熱を受けて本加熱室に供給
される前の給気流路に給気温度の調整手段を設けたこと
を特徴とするものである。
は、前記熱交換器により排気熱を受けて本加熱室に供給
される前の給気流路に給気温度の調整手段を設けたこと
を特徴とするものである。
【００１８】請求項４によれば、熱交換器にて熱交換し
た後の給気温度は４０℃前後であるため基板の本乾燥の
温度としては不足する場合があり、その分は給気温度調
整手段にて温度調整することが可能となる。
た後の給気温度は４０℃前後であるため基板の本乾燥の
温度としては不足する場合があり、その分は給気温度調
整手段にて温度調整することが可能となる。
【００１９】本発明の請求項５における基板の乾燥機
は、前記給気温度調整手段が、複数の本加熱室それぞれ
の内部に設けた温度センサーと、本加熱室に供給する前
に給気を加熱するヒーターとから成り、温度センサーに
より本加熱室それぞれの内部の温度を検出し、その検出
値に基づいてヒーターの入力を調整することを特徴とす
るものである。
は、前記給気温度調整手段が、複数の本加熱室それぞれ
の内部に設けた温度センサーと、本加熱室に供給する前
に給気を加熱するヒーターとから成り、温度センサーに
より本加熱室それぞれの内部の温度を検出し、その検出
値に基づいてヒーターの入力を調整することを特徴とす
るものである。
【００２０】請求項５によれば、複数の本加熱室それぞ
れにおける温度を温度センサーにて検出することによ
り、この検出値に基づいて本加熱室のそれぞれに供給す
るべき適切な給気温度をヒーターにて追加加熱し調整す
ることが可能となる。
れにおける温度を温度センサーにて検出することによ
り、この検出値に基づいて本加熱室のそれぞれに供給す
るべき適切な給気温度をヒーターにて追加加熱し調整す
ることが可能となる。
【００２１】本発明の請求項６における基板の乾燥機
は、前記予備加熱室内に設けた温度センサー及び濃度セ
ンサーの検出値に基づく排気の温度調整、及び前記複数
の本加熱室内に設けた温度センサーの検出値に基づく給
気温度の調整を制御盤により制御する自動制御システム
を構成したことを特徴とするものである。
は、前記予備加熱室内に設けた温度センサー及び濃度セ
ンサーの検出値に基づく排気の温度調整、及び前記複数
の本加熱室内に設けた温度センサーの検出値に基づく給
気温度の調整を制御盤により制御する自動制御システム
を構成したことを特徴とするものである。
【００２２】請求項６によれば、予備加熱室及び本加熱
室に供給する熱量が濃度センサーや温度センサーにて検
出された数値に基づいて自動制御システムにて自動調整
することにより各加熱室内の乾燥状態を管理しつつぺー
ストの内部まで均等に乾燥することが可能となる。これ
によりぺーストの乾燥不良を防止することが可能とな
る。
室に供給する熱量が濃度センサーや温度センサーにて検
出された数値に基づいて自動制御システムにて自動調整
することにより各加熱室内の乾燥状態を管理しつつぺー
ストの内部まで均等に乾燥することが可能となる。これ
によりぺーストの乾燥不良を防止することが可能とな
る。
【００２３】なお、本請求項において各加熱室の温度制
御は１か所の制御盤に限らず、各加熱室毎に制御盤を設
けてもよい。
御は１か所の制御盤に限らず、各加熱室毎に制御盤を設
けてもよい。
【００２４】本発明の請求項７における基板の乾燥機
は、前記熱交換器が金属製の顕熱式熱交換器からなるこ
とを特徴とするものである。
は、前記熱交換器が金属製の顕熱式熱交換器からなるこ
とを特徴とするものである。
【００２５】請求項７１よれば、顕熱式熱交換器は金属
製であるので高温に耐えるとともに熱回収率が高いので
排気熱を有効に利用することができる。また長期間メン
テナンスが不用でありかつ構造が簡単なので保守管理が
容易である。なお給気側を排気側の圧力より高くするこ
とにより、排気側から給気側に溶剤が移行するすること
ができる。
製であるので高温に耐えるとともに熱回収率が高いので
排気熱を有効に利用することができる。また長期間メン
テナンスが不用でありかつ構造が簡単なので保守管理が
容易である。なお給気側を排気側の圧力より高くするこ
とにより、排気側から給気側に溶剤が移行するすること
ができる。
【００２６】本発明の請求項８における基板の乾燥機
は、ペーストを塗布した基板を複数の加熱室内に搬送し
つつ加熱・乾燥する乾燥機において、前記各加熱室の上
方から基板に向かって吹き下ろす熱風をその下方にて吸
い込む吸込口が、上方の熱風吹き出し口に対応した広さ
と形状の開口部を有するとともに前記開口部の広さを吸
込側に漸減した漏斗状に形成したことを特徴とするもの
である。
は、ペーストを塗布した基板を複数の加熱室内に搬送し
つつ加熱・乾燥する乾燥機において、前記各加熱室の上
方から基板に向かって吹き下ろす熱風をその下方にて吸
い込む吸込口が、上方の熱風吹き出し口に対応した広さ
と形状の開口部を有するとともに前記開口部の広さを吸
込側に漸減した漏斗状に形成したことを特徴とするもの
である。
【００２７】請求項８によれば、吸込口を漏斗状に形成
したことにより、加熱室の上方から吹き込む給気を、そ
の下方に設けられた漏斗状の吸込口にて効率的に吸い込
んで給気の流れをウォーターカーテン状にすることが可
能となる。これにより流線の乱れがなくなり、隣接する
加熱室相互間における流線の干渉が防止され、各加熱室
の温度が一定に保たれる。
したことにより、加熱室の上方から吹き込む給気を、そ
の下方に設けられた漏斗状の吸込口にて効率的に吸い込
んで給気の流れをウォーターカーテン状にすることが可
能となる。これにより流線の乱れがなくなり、隣接する
加熱室相互間における流線の干渉が防止され、各加熱室
の温度が一定に保たれる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００２９】
【実施の形態１】図１から図５は本発明の実施の形態１
に係り、図１は乾燥機の給気及び排気の経路を示す図、
図２は乾燥機の正面図、図３は乾燥機の上面図、図４は
乾燥機の側面図、図５は顕熱式熱交換器である。
に係り、図１は乾燥機の給気及び排気の経路を示す図、
図２は乾燥機の正面図、図３は乾燥機の上面図、図４は
乾燥機の側面図、図５は顕熱式熱交換器である。
【００３０】本発明を適用する乾燥機は、図２から図４
に示すように、中央に複数の加熱室１が連設され、この
加熱室１の左側にロールコーター５が設けられていて、
このロールコーター５によりぺーストが塗布された基板
が搬送ロボット６により加熱室１側に搬送され、加熱室
１の上方に配設されたチェーンコンベヤー７の下面に懸
垂されて、チェーンコンベヤー７の間欠的作動により各
加熱室１内に一定時間停滞しつつ搬送されるようになっ
ている。基板４はこの停滞時間帯に加熱室１の上方から
ブロワー１６の作動によりフィルター２を通して吹き込
まれる熱風３にて加熱され、各加熱室１を経る過程にお
いて徐々に高い温度にて加熱・乾燥されて右側に搬出さ
れる構成となっている。
に示すように、中央に複数の加熱室１が連設され、この
加熱室１の左側にロールコーター５が設けられていて、
このロールコーター５によりぺーストが塗布された基板
が搬送ロボット６により加熱室１側に搬送され、加熱室
１の上方に配設されたチェーンコンベヤー７の下面に懸
垂されて、チェーンコンベヤー７の間欠的作動により各
加熱室１内に一定時間停滞しつつ搬送されるようになっ
ている。基板４はこの停滞時間帯に加熱室１の上方から
ブロワー１６の作動によりフィルター２を通して吹き込
まれる熱風３にて加熱され、各加熱室１を経る過程にお
いて徐々に高い温度にて加熱・乾燥されて右側に搬出さ
れる構成となっている。
【００３１】この構成において、本発明では、連設され
た加熱室１の最初の加熱室１を予備加熱室とし、予備加
熱室以外を本加熱室として、各加熱室から排出される排
気を通す排気管に熱交換器を接続して排気熱を給気に伝
達させるものであり、熱交換を通過することにより熱交
換されて温度が低下した排気は予備加熱室に供給され、
熱交換により排気から熱を受けて加熱された給気は本加
熱室に供給されるものである。
た加熱室１の最初の加熱室１を予備加熱室とし、予備加
熱室以外を本加熱室として、各加熱室から排出される排
気を通す排気管に熱交換器を接続して排気熱を給気に伝
達させるものであり、熱交換を通過することにより熱交
換されて温度が低下した排気は予備加熱室に供給され、
熱交換により排気から熱を受けて加熱された給気は本加
熱室に供給されるものである。
【００３２】次に本発明を実現するための構成を図１に
従って説明する。
従って説明する。
【００３３】図においては予備加熱室、が本加
熱室で、１個の予備加熱室と４つの本加熱室の場合を例
にしたものである。本加熱室のそれぞれに対し
てはブロワー１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄが接続さ
れ、これらから吐き出される熱風は一部がフィルター２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを通して本加熱室のそれ
ぞれに吹き込まれ、その他はフィルター２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄを通過せずに予備加熱室では排出口１７から
大気中に放出され、本加熱室では排気管９に送ら
れる。
熱室で、１個の予備加熱室と４つの本加熱室の場合を例
にしたものである。本加熱室のそれぞれに対し
てはブロワー１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄが接続さ
れ、これらから吐き出される熱風は一部がフィルター２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを通して本加熱室のそれ
ぞれに吹き込まれ、その他はフィルター２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄを通過せずに予備加熱室では排出口１７から
大気中に放出され、本加熱室では排気管９に送ら
れる。
【００３４】排気管９には本発明により熱交換機１０が
連結されていて、排気１１は熱交換機１０のＢ１−Ｂ２
間を経る過程でブロワー１２から供給された給気に対し
て熱交換が行われて４０℃前後の温度に低下する。温度
が低下した排気１１は予備加熱室側に送られる。
連結されていて、排気１１は熱交換機１０のＢ１−Ｂ２
間を経る過程でブロワー１２から供給された給気に対し
て熱交換が行われて４０℃前後の温度に低下する。温度
が低下した排気１１は予備加熱室側に送られる。
【００３５】予備加熱室側における排気１１入口には
排気温度調整手段として大気を吸入する電動式バタフラ
イダンパー１３が設けられており、排気１１はバタフラ
イダンパー１３から取り入れられる外気にて予備加熱室
内の乾燥条件に適した温度及び溶剤濃度に調整された
後、ブロワー１６ａによりフィルター２ａを通して一部
が予備加熱室内に吹き込まれ、その他が排出口１７か
ら大気中に放出される。
排気温度調整手段として大気を吸入する電動式バタフラ
イダンパー１３が設けられており、排気１１はバタフラ
イダンパー１３から取り入れられる外気にて予備加熱室
内の乾燥条件に適した温度及び溶剤濃度に調整された
後、ブロワー１６ａによりフィルター２ａを通して一部
が予備加熱室内に吹き込まれ、その他が排出口１７か
ら大気中に放出される。
【００３６】一方、ブロワー１２により供給された給気
１４は熱交換器１０のＡ１−Ａ２間を経る過程で排気熱
により４０℃前後に加熱され、本加熱室それぞれ
の底部に送り込まれる。ここでは加熱室の吸込口
８ｂ，８ｃ，８ｄに吸い込まれた熱風３と合流し、ヒタ
ー１５ｂ，１５ｃ，１５ｄにより所要の温度に加熱され
た後、ブロワー１６ｂ，１６ｃ，１６ｄのそれぞれによ
りフィルター２ｂ，２ｃ，２ｄを通して一部が加熱室
内に吹き込まれ、その他が排気管９に送り込まれる
て再度熱交換器１０に至るようになっている。
１４は熱交換器１０のＡ１−Ａ２間を経る過程で排気熱
により４０℃前後に加熱され、本加熱室それぞれ
の底部に送り込まれる。ここでは加熱室の吸込口
８ｂ，８ｃ，８ｄに吸い込まれた熱風３と合流し、ヒタ
ー１５ｂ，１５ｃ，１５ｄにより所要の温度に加熱され
た後、ブロワー１６ｂ，１６ｃ，１６ｄのそれぞれによ
りフィルター２ｂ，２ｃ，２ｄを通して一部が加熱室
内に吹き込まれ、その他が排気管９に送り込まれる
て再度熱交換器１０に至るようになっている。
【００３７】また、乾燥機の排気側に取り付けられた熱
交換機１０は、図５に示すように立方体の密閉箱１８内
に金属製、即ちアルミニウム、あるいはステンレス等か
らなる顕熱式熱交換機１９がその相互間が４５度回転し
た状態にして挿入されたものであり、高熱に耐えること
ができるものである。
交換機１０は、図５に示すように立方体の密閉箱１８内
に金属製、即ちアルミニウム、あるいはステンレス等か
らなる顕熱式熱交換機１９がその相互間が４５度回転し
た状態にして挿入されたものであり、高熱に耐えること
ができるものである。
【００３８】顕熱式熱交換機１９は構造的に、平行する
複数の溝が形成された方形の板の溝が交互に直交する方
向に重ね合わせられたものであることにより、密閉箱１
８の四隅に形成された三角形の空間部分Ａ１，Ａ２，Ｂ
１，Ｂ２のうち対角線方向のＡ１からＡ２に給気が、Ｂ
１からＢ２に排気が流れるようになっている。
複数の溝が形成された方形の板の溝が交互に直交する方
向に重ね合わせられたものであることにより、密閉箱１
８の四隅に形成された三角形の空間部分Ａ１，Ａ２，Ｂ
１，Ｂ２のうち対角線方向のＡ１からＡ２に給気が、Ｂ
１からＢ２に排気が流れるようになっている。
【００３９】なお重合部分には多少の隙間が生じること
によりその隙間を通って気流が混じりあうことになる
が、本装置においては給気側の圧力を排気側より高くす
ることにより給気側に排気側の溶剤がが混じることが防
止することができる。
によりその隙間を通って気流が混じりあうことになる
が、本装置においては給気側の圧力を排気側より高くす
ることにより給気側に排気側の溶剤がが混じることが防
止することができる。
【００４０】更にこの構成の加熱室の上方に設
けられたフィルター２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの入口部分
に温度センサー（熱電対）２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２
０ｄが配設されており、さらに予備加熱室の熱風吸込
口８ａ側には溶剤濃度センサー（トルエン検知器）２１
が配設されていて、これらのセンサー２０及び２１とヒ
ーター１５その他の作動部分の全てが図示しない制御盤
に接続され、制御盤による自動制御システムが構成され
ている。
けられたフィルター２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの入口部分
に温度センサー（熱電対）２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２
０ｄが配設されており、さらに予備加熱室の熱風吸込
口８ａ側には溶剤濃度センサー（トルエン検知器）２１
が配設されていて、これらのセンサー２０及び２１とヒ
ーター１５その他の作動部分の全てが図示しない制御盤
に接続され、制御盤による自動制御システムが構成され
ている。
【００４１】以下この自動制御システムによる装置の作
動について説明する。
動について説明する。
【００４２】予備加熱室内に吹き込まれる前の熱風３
は、排気温度調整手段として室内に配設された温度セン
サー及び溶剤の濃度センサー２１により予備加熱室内
の温度及び溶剤濃度が検出され、この検出値に基づいて
制御盤の指令により電動式バタフライダンパー１３の開
度が自動調整されて外気が吸入されることにより予備加
熱に適した温度に調整され、ブロワー１６ａの駆動によ
りその一部がフィルター２ａを通して予備加熱室内に
吹き込まれ、その他が排気口１７から大気中に排出され
る。また吸込口８ａから吸い込まれた熱風３は熱交換器
１０からの排気１４と合流してブロワー１６ａに吸い込
まれ、再度給気として供給される。
は、排気温度調整手段として室内に配設された温度セン
サー及び溶剤の濃度センサー２１により予備加熱室内
の温度及び溶剤濃度が検出され、この検出値に基づいて
制御盤の指令により電動式バタフライダンパー１３の開
度が自動調整されて外気が吸入されることにより予備加
熱に適した温度に調整され、ブロワー１６ａの駆動によ
りその一部がフィルター２ａを通して予備加熱室内に
吹き込まれ、その他が排気口１７から大気中に排出され
る。また吸込口８ａから吸い込まれた熱風３は熱交換器
１０からの排気１４と合流してブロワー１６ａに吸い込
まれ、再度給気として供給される。
【００４３】一方、本加熱室に対しては、給気温
度の調整手段として温度センサー２０ｂ，２０ｃ，２０
ｄにて加熱室それぞれに吹き込む前の熱風温度を
検出し、この検出値に基づいて制御盤の指令によりヒー
ター１５ｂ，１５ｃ，１５ｄの入力が調整され、各加熱
室に最も適した温度に加熱されたうえでブロワー１６
ｂ，１６ｃ，１６ｄの駆動によりフィルター２ｂ，２
ｃ，２ｄを通して一部が加熱室内に吹き込まれ、
その他が排気管９を介して熱交換器１０に送られる。
度の調整手段として温度センサー２０ｂ，２０ｃ，２０
ｄにて加熱室それぞれに吹き込む前の熱風温度を
検出し、この検出値に基づいて制御盤の指令によりヒー
ター１５ｂ，１５ｃ，１５ｄの入力が調整され、各加熱
室に最も適した温度に加熱されたうえでブロワー１６
ｂ，１６ｃ，１６ｄの駆動によりフィルター２ｂ，２
ｃ，２ｄを通して一部が加熱室内に吹き込まれ、
その他が排気管９を介して熱交換器１０に送られる。
【００４４】以上において、各加熱室に吹き込
まれる熱風の温度調整は、温度調整のみに限らず温度調
整に加えて風量の調整を行ってもよい。
まれる熱風の温度調整は、温度調整のみに限らず温度調
整に加えて風量の調整を行ってもよい。
【００４５】本実施の形態によれば、熱交換器にて排気
熱を給気に熱交換することにより排気熱を基板の予備乾
燥及び本乾燥に有効利用することが可能となる他、自動
制御システムにより予備加熱室の温度及び溶剤濃度を検
出した検出値に基づき予備加熱として最も適した温度及
び溶剤濃度に自動調整したうえで予備加熱室内に吹き込
むことができるので初期加熱時における加熱の過不足が
なくなる。従って、加熱のしすぎによって表面に固い膜
を形成することがなく、また予備乾燥後の複数の本加熱
室内に吹き込まれる熱風も同様にして温度センサーにて
温度を検知しつつ最も適切な温度に調整されることによ
り乾燥の過不足がなくなり内部まで均一に乾燥させるこ
とが可能となる。
熱を給気に熱交換することにより排気熱を基板の予備乾
燥及び本乾燥に有効利用することが可能となる他、自動
制御システムにより予備加熱室の温度及び溶剤濃度を検
出した検出値に基づき予備加熱として最も適した温度及
び溶剤濃度に自動調整したうえで予備加熱室内に吹き込
むことができるので初期加熱時における加熱の過不足が
なくなる。従って、加熱のしすぎによって表面に固い膜
を形成することがなく、また予備乾燥後の複数の本加熱
室内に吹き込まれる熱風も同様にして温度センサーにて
温度を検知しつつ最も適切な温度に調整されることによ
り乾燥の過不足がなくなり内部まで均一に乾燥させるこ
とが可能となる。
【００４６】因みに、本発明の乾燥機により乾燥した基
板を２００〜３００°の半田ペースト中に２０回出し入
れした結果、基板に破壊等の変化が見られなかった。こ
れにより乾燥されたはんだぺースト中に問題になる気泡
が存在しないことが確認された。
板を２００〜３００°の半田ペースト中に２０回出し入
れした結果、基板に破壊等の変化が見られなかった。こ
れにより乾燥されたはんだぺースト中に問題になる気泡
が存在しないことが確認された。
【００４７】また、インクを塗布する前の基板の重量を
計測し、かつ塗布後の重量を計測し、さらに乾燥後の重
量を計測した結果、ぺースト内の溶剤濃度が２２〜２３
％の最適含有量となっていることが確認された。
計測し、かつ塗布後の重量を計測し、さらに乾燥後の重
量を計測した結果、ぺースト内の溶剤濃度が２２〜２３
％の最適含有量となっていることが確認された。
【００４８】
【実施の形態２】以下、本発明の実施の形態２について
説明する。
説明する。
【００４９】図６は本発明の実施の形態２に係る各加熱
室内の温度分布を示す線図である。本実施の形態では、
加熱室内に吹き込まれる熱風の吸い込み口を、漏斗状に
形成したものでありその他の構成は前記実施の形態１と
同様であるのでその説明を省略する。
室内の温度分布を示す線図である。本実施の形態では、
加熱室内に吹き込まれる熱風の吸い込み口を、漏斗状に
形成したものでありその他の構成は前記実施の形態１と
同様であるのでその説明を省略する。
【００５０】図１に示すように内部が連通された各加熱
室の下方には、上方から吹き込まれる熱風３の
吹き込み口に対向して吸込口８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄが
設けられている。
室の下方には、上方から吹き込まれる熱風３の
吹き込み口に対向して吸込口８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄが
設けられている。
【００５１】本発明では、この吸込口８の形状を上方の
熱風吹き出し口に対応した広さと形状にてその開口部の
広さが吸込側に漸減した漏斗状に形成されたものであ
る。
熱風吹き出し口に対応した広さと形状にてその開口部の
広さが吸込側に漸減した漏斗状に形成されたものであ
る。
【００５２】図５は、本発明の吸込口８又は従来の吸込
口にて熱風を吸い込んだ場合の各加熱室内の温度状況を
比較したものである。
口にて熱風を吸い込んだ場合の各加熱室内の温度状況を
比較したものである。
【００５３】例えば６個の加熱室における
室内温度の分布状況を比較してみると、従来の吸込口の
場合の温度分布は点線にて示すように各加熱室を通して
略直線状に上昇又は下降しており、個々の加熱室内にお
ける温度が入口から出口に至る間に大きく変化している
ことが判る。この点、本発明の吸込口の場合は、実線に
て示すように各加熱室の入口から出口に至る間の温度が
略一定に保たれていることが判る。
室内温度の分布状況を比較してみると、従来の吸込口の
場合の温度分布は点線にて示すように各加熱室を通して
略直線状に上昇又は下降しており、個々の加熱室内にお
ける温度が入口から出口に至る間に大きく変化している
ことが判る。この点、本発明の吸込口の場合は、実線に
て示すように各加熱室の入口から出口に至る間の温度が
略一定に保たれていることが判る。
【００５４】本実施の形態によれば、熱風の吸込口を漏
斗状に形成することにより熱風の流線がエアカーテン状
になり乱れないために隣接する加熱室相互間にて熱風の
干渉がなくなる。これにより各加熱室毎に異なる温度を
入口から出口まで一定に保つことができるので、加熱室
毎の温度管理が容易になり、加熱室内に搬送された複数
の基板の加熱室入口側から出口側に至る全数を同一の温
度条件にて平均的に加熱することが可能となる。
斗状に形成することにより熱風の流線がエアカーテン状
になり乱れないために隣接する加熱室相互間にて熱風の
干渉がなくなる。これにより各加熱室毎に異なる温度を
入口から出口まで一定に保つことができるので、加熱室
毎の温度管理が容易になり、加熱室内に搬送された複数
の基板の加熱室入口側から出口側に至る全数を同一の温
度条件にて平均的に加熱することが可能となる。
【００５５】
【発明の効果】本発明によれば、加熱室から排出される
排気熱を熱交換器にて給気に熱交換して排気熱を基板の
予備乾燥及び本乾燥に再利用することにより消費電力を
低減することが可能となる。
排気熱を熱交換器にて給気に熱交換して排気熱を基板の
予備乾燥及び本乾燥に再利用することにより消費電力を
低減することが可能となる。
【００５６】そして、熱交換器にて熱交換された排気及
び給気は、各加熱室に設けられた温度検出センサーや溶
剤濃度検出センサーの検出値に基づいて自動制御により
それぞれの加熱室に最も適した温度に調整したうえで供
給することが可能になるので、各加熱室内における乾燥
に過不足がなくなりペーストの内部まで均一に乾燥させ
ることが可能となる。
び給気は、各加熱室に設けられた温度検出センサーや溶
剤濃度検出センサーの検出値に基づいて自動制御により
それぞれの加熱室に最も適した温度に調整したうえで供
給することが可能になるので、各加熱室内における乾燥
に過不足がなくなりペーストの内部まで均一に乾燥させ
ることが可能となる。
【００５７】また、各加熱室内に吹き込まれた熱風を吸
引する吸込口の形状を漏斗状に形成したことにより吸引
効果が高まって熱風の気流がエアカーテン状となり、隣
接加熱室間にて気流の干渉がなくなる。これにより、そ
れぞれの加熱室の入口から出口まで間の温度が一定に保
たれ、加熱室内に搬入された基板の入口側から出口側ま
での全数が均一に加熱されて所望の乾燥状態を得ること
が可能となる。
引する吸込口の形状を漏斗状に形成したことにより吸引
効果が高まって熱風の気流がエアカーテン状となり、隣
接加熱室間にて気流の干渉がなくなる。これにより、そ
れぞれの加熱室の入口から出口まで間の温度が一定に保
たれ、加熱室内に搬入された基板の入口側から出口側ま
での全数が均一に加熱されて所望の乾燥状態を得ること
が可能となる。
【図１】本発明の実施の形態１に係る乾燥機の給気及び
排気の経路を示す図。
排気の経路を示す図。
【図２】乾燥機の正面図。
【図３】乾燥機の上面図。
【図４】乾燥機の側面図。
【図５】顕熱式熱交換器。
【図６】本発明の実施の形態２に係る各加熱室内の温度
分布を示す線図。
分布を示す線図。
１ 加熱室 ２ フィルター ３ 熱風 ４ 基板 ５ ロールコーター ６ 搬送ロボット ７ チェーンコンベヤー ８ 吸込口 ９ 排気管 １０ 熱交換器 １１ 排気 １２，１６ ブロワー １３ 電動式バタフライダンパー １４ 給気 １５ ヒーター １７ 排出口 １８ 密閉箱 １９ 顕熱式熱交換器 ２０ 温度センサー ２１ 濃度センサー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3L113 AA01 AB02 AC01 AC16 AC20 AC35 AC42 AC45 AC46 AC48 AC49 AC50 AC52 AC54 AC57 AC63 AC67 AC78 AC79 AC83 BA34 CA03 CA08 CA12 CB01 CB23 CB24 CB28 CB34 DA02 DA11 DA13 DA22
Claims (8)
- 【請求項１】 ペーストを塗布した基板を複数の加熱室
内に搬送しつつ加熱・乾燥する乾燥機において、前記加
熱室から排出される排気熱を給気に伝達する熱交換器を
設けるとともに、熱交換により温度が低下した排気を予
備加熱室に供給し、熱交換により加熱された給気を本加
熱室に供給することを特徴とする基板の乾燥機。 - 【請求項２】 前記熱交換器を通過して予備加熱室に供
給する前の排気流路に排気温度の調整手段を設けたこと
を特徴とする請求項１記載の基板の乾燥機。 - 【請求項３】 前記排気温度調整手段が、前記予備加熱
室内に設けた温度センサーと溶剤の濃度センサー及び予
備加熱室内に供給するめの排気流路に設けた大気取り入
れダンパーとから成り、温度センサーにて予備加熱室内
の温度を検出すると同時に溶剤の濃度センサーにて基板
から発生する溶剤の濃度を検出し、それぞれのセンサー
の検出値に基づいて大気取り入れダンパーの開度を調整
することを特徴とする請求項２記載の基板の乾燥機。 - 【請求項４】 前記熱交換器により排気熱を受けて本加
熱室に供給される前の給気流路に給気温度の調整手段を
設けたことを特徴とする請求項１記載の基板の乾燥機。 - 【請求項５】 前記給気温度調整手段が、複数の本加熱
室それぞれの内部に設けた温度センサーと、本加熱室に
供給する前に給気を加熱するヒーターとから成り、温度
センサーにより本加熱室それぞれの内部の温度を検出
し、その検出値に基づいてヒーターの入力を調整するこ
とを特徴とする請求項４記載の基板の乾燥機。 - 【請求項６】 前記予備加熱室内に設けた温度センサー
及び濃度センサーの検出値に基づく排気の温度調整、及
び前記複数の本加熱室内に設けた温度センサーの検出値
に基づく給気温度の調整を制御盤により制御する自動制
御システムを構成したことを特徴とする請求項１から５
記載のいづれか１項記載の基板の乾燥機。 - 【請求項７】 前記熱交換器が金属製の顕熱式熱交換器
からなることを特徴とする請求項１記載の基板の乾燥
機。 - 【請求項８】 ペーストを塗布した基板を複数の加熱室
内に搬送しつつ加熱・乾燥する乾燥機において、前記各
加熱室の上方から基板に向かって吹き下ろす熱風をその
下方にて吸い込む吸込口が、上方の熱風吹き出し口に対
応した広さと形状の開口部を有するとともに前記開口部
の広さを吸込側に漸減した漏斗状に形成したことを特徴
とする基板の乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23159499A JP4176249B2 (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | 基板の乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23159499A JP4176249B2 (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | 基板の乾燥機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001056180A true JP2001056180A (ja) | 2001-02-27 |
| JP4176249B2 JP4176249B2 (ja) | 2008-11-05 |
Family
ID=16925974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23159499A Expired - Fee Related JP4176249B2 (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | 基板の乾燥機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4176249B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002162163A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Nec Kagoshima Ltd | 溶剤乾燥装置 |
| JP2003004379A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-08 | Furness:Kk | 基板の乾燥機 |
| KR101384339B1 (ko) | 2012-06-21 | 2014-04-14 | 주식회사 부성엔지니어링 | 통풍건조를 위한 풍량 측정 및 제어 장치 |
| JP2017170427A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-28 | 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 揮発性有機化合物の除去装置及び揮発性有機化合物の除去方法 |
| KR101929928B1 (ko) | 2017-01-17 | 2018-12-18 | 주식회사 지에스나노셀 | 나노 셀룰로오스 건조장치 |
-
1999
- 1999-08-18 JP JP23159499A patent/JP4176249B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002162163A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Nec Kagoshima Ltd | 溶剤乾燥装置 |
| JP2003004379A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-08 | Furness:Kk | 基板の乾燥機 |
| KR101384339B1 (ko) | 2012-06-21 | 2014-04-14 | 주식회사 부성엔지니어링 | 통풍건조를 위한 풍량 측정 및 제어 장치 |
| JP2017170427A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-28 | 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 揮発性有機化合物の除去装置及び揮発性有機化合物の除去方法 |
| JP7017854B2 (ja) | 2016-03-18 | 2022-02-09 | 三星ディスプレイ株式會社 | 揮発性有機化合物の除去装置及び揮発性有機化合物の除去方法 |
| KR101929928B1 (ko) | 2017-01-17 | 2018-12-18 | 주식회사 지에스나노셀 | 나노 셀룰로오스 건조장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4176249B2 (ja) | 2008-11-05 |
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