JPH10239386A - バーンイン装置 - Google Patents

バーンイン装置

Info

Publication number
JPH10239386A
JPH10239386A JP9045613A JP4561397A JPH10239386A JP H10239386 A JPH10239386 A JP H10239386A JP 9045613 A JP9045613 A JP 9045613A JP 4561397 A JP4561397 A JP 4561397A JP H10239386 A JPH10239386 A JP H10239386A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
burn
air
tank
ducts
air supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP9045613A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideaki Nakamura
英明 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP9045613A priority Critical patent/JPH10239386A/ja
Publication of JPH10239386A publication Critical patent/JPH10239386A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バーンイン装置に係り、とくにバーンイン槽
内の風速や温度分布を均一にする構造に関し、装置サイ
ズを大きくすることなくバーンイン槽の風速、温度分布
を均一化することを目的とする。 【解決手段】 バーンイン槽11内で均一な風速分布に
なるように、該バーンイン槽内に空気を循環する送風源
12からの送風及び該送風源への還流を複数に分割して
前記バーンイン槽の槽壁から分配送入し、他方から分配
送出して前記送風源へ還流する第1,第2の分配手段
1,2を具備し構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、バーンイン装置に
係り、とくにバーンイン槽内の風速や温度分布を均一に
する構造に関する。
【0002】近年の電子機器の高速化、高機能化に伴
い、それらに使用されているICなどの半導体装置など
の高性能、高信頼化が要求されている。バーンイン装置
は、熱風が循環するバーンイン槽内に被試験半導体装置
を入れ、一定時間動作状態にしてバーンインを行い良否
判定の試験を行うものであるが、バーンイン槽内の温度
が不均一になっていると正常な試験ができないため、バ
ーンイン槽内の風速や温度分布を均一にすることが要望
されている。
【0003】
【従来の技術】図2の模式図に示すように、従来のバー
ンイン装置は、被試験半導体装置10aを実装するソケ
ット(図示略)を列設したバーンインボード10を入れ
る(紙面の垂直方向に複数枚が並設されている)バーン
イン槽11、即ちボード収納槽と、このボード収納槽1
1の上方に配設されてボード収納槽11内に空気(熱
風)を循環する送風機(シロッコファン)12と、この
送風機12の吸気口側に取着されて循環空気を加熱し或
る一定温度の熱風とする電熱ヒータ13と、ボード収納
槽11内に設けられて熱風の温度を検出する温度センサ
14の出力により電熱ヒータ13をオン/オフ制御する
温度調節器15とで構成され、熱風はボード収納槽11
と送風機12との間の送風空間部16及び還流空間部1
7を通って循環する。また、ボード収納槽11の送入口
には吹き込みをガイドする風向板16aが設けられてい
る。
【0004】このバーンイン装置は、ボード収納槽11
内に被試験半導体装置10aを実装したバーンインボー
ド10を入れ、それぞれの被試験半導体装置10aを図
示しない動作試験回路により一定時間動作状態に通電
し、送風機12により或る一定温度の熱風を送風空間部
16に通してボード収納槽11内に送風し、被試験半導
体装置10aのバーンインを行い良否判定(スクリーニ
ング)を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな上記構造によれば、熱風の温度を精度よく制御して
も、送風空間部を通った熱風のボード収納槽の送入口位
置における風速は下方が大きく、上方が小さくなってい
た。熱風はそのままボード収納槽の送入口の風向板にガ
イドされて吹き込まれるが、吹き込まれた熱風はボード
収納槽の還流口位置の上部に向かって流れる傾向が強
く、ボード収納槽の左上部及び右下部の風速が他の部分
に比べて約3m/secの差があり、被試験半導体装置
の温度に約4℃の差を生じていた。
【0006】その結果、バーンインボード上の被試験半
導体装置を均一に加熱できず、被試験半導体装置の温度
にばらつきを生じ、良品を不良品、またはその逆に判定
されるとか、あるいは良品と判定されてもエージングが
十分に行われていないという懸念があった。
【0007】そのため、図3の模式図に示すように、ボ
ード収納槽11の熱風の入口側及び出口側のそれぞれに
複数の送風機(軸流ファン)18を並設し熱風を直接、
ボード収納槽11に吹き込んで循環させると、槽内のど
の位置においても風速を比較的均一にできて被試験半導
体装置10aの温度のばらつきをかなり改善できるが、
バーンイン装置の装置サイズが大きくなってしまうとい
う問題があった。
【0008】上記問題点に鑑み、本発明は装置サイズを
大きくすることなくボード収納槽内の風速、温度分布を
均一化できるバーンイン装置を提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のバーンイン装置においては、バーンイン槽
内で均一な風速分布になるように、該バーンイン槽内に
空気を循環する送風源からの送風及び該送風源への還流
を複数に分割して前記バーンイン槽の槽壁から分配送入
し、他方から分配送出して前記送風源へ還流する第1,
第2の分配手段を具備し構成する。
【0010】そして、例えば前記第1の分配手段は、前
記送風源の吐出口とバーンイン槽の送入口とを接続する
複数に分割した送風ダクトであり、前記第2の分配手段
は、バーンイン槽の還流口と送風源の吸入口とを接続す
る複数に分割した還流ダクトにし、バーンイン槽の送入
口位置における前記複数の送風ダクトのそれぞれの吹き
込み風速を略同一にし、バーンイン槽の還流口位置にお
ける前記複数の還流ダクトのそれぞれの吐き出し風速を
略同一に設定する。
【0011】このように構成することにより、送風源を
出た直後の熱風(気流)を乱すことなくバーンイン槽、
即ちボード収納槽の送入口まで複数に分割された送風ダ
クトで導き、それぞれの送風ダクトの形状、寸法を適切
に選定して、バーンイン槽の送入口位置におけるそれぞ
れの吹き込み風速を略同一にし、また複数に分割された
還流ダクトのバーンイン槽の還流口位置におけるそれぞ
れの還流風速も同様に略同一に設定することで、バーン
イン槽のどの位置においても均一な風速の熱風に晒して
槽内の温度を均一にすることができるため、被試験半導
体装置を均一にバーンインすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面に示した実施例に基づ
いて本発明の要旨を詳細に説明する。なお、従来の図2
において説明した部分は同一符号を用い、その説明も省
略する。
【0013】図1の模式図に示すように、バーンイン装
置は、従来同様に被試験半導体装置10aを実装したバ
ーンインボード10を入れるバーンイン槽11、即ちボ
ード収納槽と、このボード収納槽11内に熱風を循環す
る送風機(シロッコファン)12と、熱風を或る一定温
度に加熱する電熱ヒータ13と、熱風の温度を検出する
温度センサ14の出力で電熱ヒータ13をオン/オフ制
御する温度調節器15とで構成する。
【0014】そして更に、本発明のバーンイン装置は、
ボード収納槽11とバーンイン槽内に空気(熱風)を循
環する送風源12、即ち送風機との間の従来の送風空間
部内に、送風機12の吐出口とボード収納槽11の送入
口とを第1の分配手段1、即ち送風ダクトで接続する。
この送風ダクト1は複数に分割し、ダクトの形状、寸法
を適切に選定することにより、複数の送風ダクト1のボ
ード収納槽11の送入口位置におけるそれぞれの吹き込
み風速を略同一にする。
【0015】また、従来の還流空間部内に、ボード収納
槽11の還流口と送風機12の吸入口とを第2の分配手
段2、即ち還流ダクト2で接続する。この還流ダクト2
も送風ダクト1と同様に複数に分割し、ダクトの形状、
寸法を適切に選定することにより、複数の還流ダクト2
のボード収納槽11の還流口位置における吐き出し風速
を略同一にする。
【0016】なお、それぞれのダクト内の熱風の流れを
紙面垂直方向にも均一にするため、熱風をガイドする図
示しない案内板をダクト内の要所に設ける。このように
構成することにより、送風機を出た直後の熱風をボード
収納槽の送入口まで複数に分割された送風ダクトで気流
を乱すことなく確実に導くことでボード収納槽の送入口
位置におけるそれぞれの吹き込み風速を略同一に設定で
きるため、また同様に複数に分割された還流ダクトはボ
ード収納槽の還流口位置におけるそれぞれの還流風速も
略同一にできるため、ボード収納槽のどの位置も均一な
風速の熱風に晒して槽内の温度分布を均一にでき、被試
験半導体装置を均一にバーンインして良否の判定を正し
く行うことができる。
【0017】また、この送風ダクト及び還流ダクトは、
送風機とボード収納槽との間の従来の送風空間部及び還
流空間部内に収容できるため、バーンイン装置の装置サ
イズを大きくする必要はない。
【0018】
【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
バーンイン槽(ボード収納槽)のどの位置においても均
一な風速の熱風に晒して槽内の温度分布を均一にできる
ため、被試験半導体装置を均一にバーンインできて良否
の判定を正しく行うことができるといった産業上極めて
有用な効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による一実施例の模式図
【図2】 従来技術による模式図
【図3】 従来技術による他の模式図
【符号の説明】
1:第1の分配手段(送風ダクト) 2:第2の分配手段(還流ダクト) 10:バーンインボード 10a:被試験半導体装置 11:バーンイン槽(ボード収納槽) 12:送風源(送風機)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 バーンイン槽内で均一な風速分布になる
    ように、該バーンイン槽内に空気を循環する送風源から
    の送風及び該送風源への還流を複数に分割して前記バー
    ンイン槽の槽壁から分配送入し、他方から分配送出して
    前記送風源へ還流する第1,第2の分配手段を具備した
    ことを特徴とするバーンイン装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の分配手段は、前記送風源の吐
    出口とバーンイン槽の送入口とを接続する複数に分割し
    た送風ダクトであり、前記第2の分配手段は、バーンイ
    ン槽の還流口と送風源の吸入口とを接続する複数に分割
    した還流ダクトであって、 バーンイン槽の送入口位置における前記複数の送風ダク
    トのそれぞれの吹き込み風速を略同一にし、バーンイン
    槽の還流口位置における前記複数の還流ダクトのそれぞ
    れの吐き出し風速を略同一に設定したことを特徴とする
    請求項1記載のバーンイン装置。
JP9045613A 1997-02-28 1997-02-28 バーンイン装置 Withdrawn JPH10239386A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9045613A JPH10239386A (ja) 1997-02-28 1997-02-28 バーンイン装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9045613A JPH10239386A (ja) 1997-02-28 1997-02-28 バーンイン装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10239386A true JPH10239386A (ja) 1998-09-11

Family

ID=12724235

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9045613A Withdrawn JPH10239386A (ja) 1997-02-28 1997-02-28 バーンイン装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10239386A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006308368A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 電子機器用テスト・チャンバ及び方法
JP2007225496A (ja) * 2006-02-24 2007-09-06 Espec Corp 環境試験装置
JP2020106465A (ja) * 2018-12-28 2020-07-09 株式会社カトー 試験槽装置
JP2021135290A (ja) * 2020-02-26 2021-09-13 エスペック株式会社 環境形成装置
CN117092841A (zh) * 2023-08-22 2023-11-21 深圳市中优图科技有限公司 一种老化设备用热风内循环机构及lcd老化设备

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006308368A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 電子機器用テスト・チャンバ及び方法
JP2007225496A (ja) * 2006-02-24 2007-09-06 Espec Corp 環境試験装置
JP4554535B2 (ja) * 2006-02-24 2010-09-29 エスペック株式会社 環境試験装置
JP2020106465A (ja) * 2018-12-28 2020-07-09 株式会社カトー 試験槽装置
JP2021135290A (ja) * 2020-02-26 2021-09-13 エスペック株式会社 環境形成装置
CN117092841A (zh) * 2023-08-22 2023-11-21 深圳市中优图科技有限公司 一种老化设备用热风内循环机构及lcd老化设备
CN117092841B (zh) * 2023-08-22 2024-05-17 深圳市中优图科技有限公司 一种老化设备用热风内循环机构及lcd老化设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5859409A (en) Oven for testing peripheral storage devices
US5259546A (en) Procedure and arrangement for reflow-soldering electronic components onto a printed board
JP2004509336A5 (ja)
JP2004509336A (ja) 多重送風機相対湿度制御テスト・チャンバ
US20030112025A1 (en) Temperature control system for burn-in boards
US6637637B2 (en) Reflow apparatus
JPH10239386A (ja) バーンイン装置
JP2603408B2 (ja) 恒温恒湿器
JP2018105786A (ja) 環境試験装置及び環境試験方法
JPH10141868A (ja) 昇華物対策付き熱処理装置
JP2021515880A (ja) ボードを乾燥するための方法及び装置
KR102332036B1 (ko) 풍량 조절장치 및 이를 구비한 반도체 테스트 장비
JPS63180368A (ja) リフロ−半田付け方法及び装置
JP3006756B2 (ja) バーンイン試験装置
KR20170057618A (ko) 어플리케이션 테스터의 공기흐름 조절 시스템 및 공기흐름 제어방법
JPH0546700B2 (ja)
JPH0634268A (ja) 箱形乾燥炉
KR102637254B1 (ko) 반도체 패키지 테스트 챔버
JP2007012874A (ja) 基板加熱方法、基板加熱装置および熱風式リフロー装置
KR100485975B1 (ko) 항온항습장치
JPH11294793A (ja) 試験室の空調方法及び空調設備
JPS62169065A (ja) バ−ンイン処理装置
JPS6125171B2 (ja)
JPH05248763A (ja) 乾燥装置
JP2001056180A (ja) 基板の乾燥機

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20040511