JPH10239386A - バーンイン装置 - Google Patents
バーンイン装置Info
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- JPH10239386A JPH10239386A JP9045613A JP4561397A JPH10239386A JP H10239386 A JPH10239386 A JP H10239386A JP 9045613 A JP9045613 A JP 9045613A JP 4561397 A JP4561397 A JP 4561397A JP H10239386 A JPH10239386 A JP H10239386A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 バーンイン装置に係り、とくにバーンイン槽
内の風速や温度分布を均一にする構造に関し、装置サイ
ズを大きくすることなくバーンイン槽の風速、温度分布
を均一化することを目的とする。 【解決手段】 バーンイン槽１１内で均一な風速分布に
なるように、該バーンイン槽内に空気を循環する送風源
１２からの送風及び該送風源への還流を複数に分割して
前記バーンイン槽の槽壁から分配送入し、他方から分配
送出して前記送風源へ還流する第１，第２の分配手段
１，２を具備し構成する。
内の風速や温度分布を均一にする構造に関し、装置サイ
ズを大きくすることなくバーンイン槽の風速、温度分布
を均一化することを目的とする。 【解決手段】 バーンイン槽１１内で均一な風速分布に
なるように、該バーンイン槽内に空気を循環する送風源
１２からの送風及び該送風源への還流を複数に分割して
前記バーンイン槽の槽壁から分配送入し、他方から分配
送出して前記送風源へ還流する第１，第２の分配手段
１，２を具備し構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バーンイン装置に
係り、とくにバーンイン槽内の風速や温度分布を均一に
する構造に関する。
係り、とくにバーンイン槽内の風速や温度分布を均一に
する構造に関する。
【０００２】近年の電子機器の高速化、高機能化に伴
い、それらに使用されているＩＣなどの半導体装置など
の高性能、高信頼化が要求されている。バーンイン装置
は、熱風が循環するバーンイン槽内に被試験半導体装置
を入れ、一定時間動作状態にしてバーンインを行い良否
判定の試験を行うものであるが、バーンイン槽内の温度
が不均一になっていると正常な試験ができないため、バ
ーンイン槽内の風速や温度分布を均一にすることが要望
されている。
い、それらに使用されているＩＣなどの半導体装置など
の高性能、高信頼化が要求されている。バーンイン装置
は、熱風が循環するバーンイン槽内に被試験半導体装置
を入れ、一定時間動作状態にしてバーンインを行い良否
判定の試験を行うものであるが、バーンイン槽内の温度
が不均一になっていると正常な試験ができないため、バ
ーンイン槽内の風速や温度分布を均一にすることが要望
されている。
【０００３】
【従来の技術】図２の模式図に示すように、従来のバー
ンイン装置は、被試験半導体装置１０ａを実装するソケ
ット（図示略）を列設したバーンインボード１０を入れ
る（紙面の垂直方向に複数枚が並設されている）バーン
イン槽１１、即ちボード収納槽と、このボード収納槽１
１の上方に配設されてボード収納槽１１内に空気（熱
風）を循環する送風機（シロッコファン）１２と、この
送風機１２の吸気口側に取着されて循環空気を加熱し或
る一定温度の熱風とする電熱ヒータ１３と、ボード収納
槽１１内に設けられて熱風の温度を検出する温度センサ
１４の出力により電熱ヒータ１３をオン／オフ制御する
温度調節器１５とで構成され、熱風はボード収納槽１１
と送風機１２との間の送風空間部１６及び還流空間部１
７を通って循環する。また、ボード収納槽１１の送入口
には吹き込みをガイドする風向板１６ａが設けられてい
る。
ンイン装置は、被試験半導体装置１０ａを実装するソケ
ット（図示略）を列設したバーンインボード１０を入れ
る（紙面の垂直方向に複数枚が並設されている）バーン
イン槽１１、即ちボード収納槽と、このボード収納槽１
１の上方に配設されてボード収納槽１１内に空気（熱
風）を循環する送風機（シロッコファン）１２と、この
送風機１２の吸気口側に取着されて循環空気を加熱し或
る一定温度の熱風とする電熱ヒータ１３と、ボード収納
槽１１内に設けられて熱風の温度を検出する温度センサ
１４の出力により電熱ヒータ１３をオン／オフ制御する
温度調節器１５とで構成され、熱風はボード収納槽１１
と送風機１２との間の送風空間部１６及び還流空間部１
７を通って循環する。また、ボード収納槽１１の送入口
には吹き込みをガイドする風向板１６ａが設けられてい
る。
【０００４】このバーンイン装置は、ボード収納槽１１
内に被試験半導体装置１０ａを実装したバーンインボー
ド１０を入れ、それぞれの被試験半導体装置１０ａを図
示しない動作試験回路により一定時間動作状態に通電
し、送風機１２により或る一定温度の熱風を送風空間部
１６に通してボード収納槽１１内に送風し、被試験半導
体装置１０ａのバーンインを行い良否判定（スクリーニ
ング）を行っている。
内に被試験半導体装置１０ａを実装したバーンインボー
ド１０を入れ、それぞれの被試験半導体装置１０ａを図
示しない動作試験回路により一定時間動作状態に通電
し、送風機１２により或る一定温度の熱風を送風空間部
１６に通してボード収納槽１１内に送風し、被試験半導
体装置１０ａのバーンインを行い良否判定（スクリーニ
ング）を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな上記構造によれば、熱風の温度を精度よく制御して
も、送風空間部を通った熱風のボード収納槽の送入口位
置における風速は下方が大きく、上方が小さくなってい
た。熱風はそのままボード収納槽の送入口の風向板にガ
イドされて吹き込まれるが、吹き込まれた熱風はボード
収納槽の還流口位置の上部に向かって流れる傾向が強
く、ボード収納槽の左上部及び右下部の風速が他の部分
に比べて約３ｍ／ｓｅｃの差があり、被試験半導体装置
の温度に約４℃の差を生じていた。
うな上記構造によれば、熱風の温度を精度よく制御して
も、送風空間部を通った熱風のボード収納槽の送入口位
置における風速は下方が大きく、上方が小さくなってい
た。熱風はそのままボード収納槽の送入口の風向板にガ
イドされて吹き込まれるが、吹き込まれた熱風はボード
収納槽の還流口位置の上部に向かって流れる傾向が強
く、ボード収納槽の左上部及び右下部の風速が他の部分
に比べて約３ｍ／ｓｅｃの差があり、被試験半導体装置
の温度に約４℃の差を生じていた。
【０００６】その結果、バーンインボード上の被試験半
導体装置を均一に加熱できず、被試験半導体装置の温度
にばらつきを生じ、良品を不良品、またはその逆に判定
されるとか、あるいは良品と判定されてもエージングが
十分に行われていないという懸念があった。
導体装置を均一に加熱できず、被試験半導体装置の温度
にばらつきを生じ、良品を不良品、またはその逆に判定
されるとか、あるいは良品と判定されてもエージングが
十分に行われていないという懸念があった。
【０００７】そのため、図３の模式図に示すように、ボ
ード収納槽１１の熱風の入口側及び出口側のそれぞれに
複数の送風機（軸流ファン）１８を並設し熱風を直接、
ボード収納槽１１に吹き込んで循環させると、槽内のど
の位置においても風速を比較的均一にできて被試験半導
体装置１０ａの温度のばらつきをかなり改善できるが、
バーンイン装置の装置サイズが大きくなってしまうとい
う問題があった。
ード収納槽１１の熱風の入口側及び出口側のそれぞれに
複数の送風機（軸流ファン）１８を並設し熱風を直接、
ボード収納槽１１に吹き込んで循環させると、槽内のど
の位置においても風速を比較的均一にできて被試験半導
体装置１０ａの温度のばらつきをかなり改善できるが、
バーンイン装置の装置サイズが大きくなってしまうとい
う問題があった。
【０００８】上記問題点に鑑み、本発明は装置サイズを
大きくすることなくボード収納槽内の風速、温度分布を
均一化できるバーンイン装置を提供することを目的とす
る。
大きくすることなくボード収納槽内の風速、温度分布を
均一化できるバーンイン装置を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のバーンイン装置においては、バーンイン槽
内で均一な風速分布になるように、該バーンイン槽内に
空気を循環する送風源からの送風及び該送風源への還流
を複数に分割して前記バーンイン槽の槽壁から分配送入
し、他方から分配送出して前記送風源へ還流する第１，
第２の分配手段を具備し構成する。
に、本発明のバーンイン装置においては、バーンイン槽
内で均一な風速分布になるように、該バーンイン槽内に
空気を循環する送風源からの送風及び該送風源への還流
を複数に分割して前記バーンイン槽の槽壁から分配送入
し、他方から分配送出して前記送風源へ還流する第１，
第２の分配手段を具備し構成する。
【００１０】そして、例えば前記第１の分配手段は、前
記送風源の吐出口とバーンイン槽の送入口とを接続する
複数に分割した送風ダクトであり、前記第２の分配手段
は、バーンイン槽の還流口と送風源の吸入口とを接続す
る複数に分割した還流ダクトにし、バーンイン槽の送入
口位置における前記複数の送風ダクトのそれぞれの吹き
込み風速を略同一にし、バーンイン槽の還流口位置にお
ける前記複数の還流ダクトのそれぞれの吐き出し風速を
略同一に設定する。
記送風源の吐出口とバーンイン槽の送入口とを接続する
複数に分割した送風ダクトであり、前記第２の分配手段
は、バーンイン槽の還流口と送風源の吸入口とを接続す
る複数に分割した還流ダクトにし、バーンイン槽の送入
口位置における前記複数の送風ダクトのそれぞれの吹き
込み風速を略同一にし、バーンイン槽の還流口位置にお
ける前記複数の還流ダクトのそれぞれの吐き出し風速を
略同一に設定する。
【００１１】このように構成することにより、送風源を
出た直後の熱風（気流）を乱すことなくバーンイン槽、
即ちボード収納槽の送入口まで複数に分割された送風ダ
クトで導き、それぞれの送風ダクトの形状、寸法を適切
に選定して、バーンイン槽の送入口位置におけるそれぞ
れの吹き込み風速を略同一にし、また複数に分割された
還流ダクトのバーンイン槽の還流口位置におけるそれぞ
れの還流風速も同様に略同一に設定することで、バーン
イン槽のどの位置においても均一な風速の熱風に晒して
槽内の温度を均一にすることができるため、被試験半導
体装置を均一にバーンインすることができる。
出た直後の熱風（気流）を乱すことなくバーンイン槽、
即ちボード収納槽の送入口まで複数に分割された送風ダ
クトで導き、それぞれの送風ダクトの形状、寸法を適切
に選定して、バーンイン槽の送入口位置におけるそれぞ
れの吹き込み風速を略同一にし、また複数に分割された
還流ダクトのバーンイン槽の還流口位置におけるそれぞ
れの還流風速も同様に略同一に設定することで、バーン
イン槽のどの位置においても均一な風速の熱風に晒して
槽内の温度を均一にすることができるため、被試験半導
体装置を均一にバーンインすることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面に示した実施例に基づ
いて本発明の要旨を詳細に説明する。なお、従来の図２
において説明した部分は同一符号を用い、その説明も省
略する。
いて本発明の要旨を詳細に説明する。なお、従来の図２
において説明した部分は同一符号を用い、その説明も省
略する。
【００１３】図１の模式図に示すように、バーンイン装
置は、従来同様に被試験半導体装置１０ａを実装したバ
ーンインボード１０を入れるバーンイン槽１１、即ちボ
ード収納槽と、このボード収納槽１１内に熱風を循環す
る送風機（シロッコファン）１２と、熱風を或る一定温
度に加熱する電熱ヒータ１３と、熱風の温度を検出する
温度センサ１４の出力で電熱ヒータ１３をオン／オフ制
御する温度調節器１５とで構成する。
置は、従来同様に被試験半導体装置１０ａを実装したバ
ーンインボード１０を入れるバーンイン槽１１、即ちボ
ード収納槽と、このボード収納槽１１内に熱風を循環す
る送風機（シロッコファン）１２と、熱風を或る一定温
度に加熱する電熱ヒータ１３と、熱風の温度を検出する
温度センサ１４の出力で電熱ヒータ１３をオン／オフ制
御する温度調節器１５とで構成する。
【００１４】そして更に、本発明のバーンイン装置は、
ボード収納槽１１とバーンイン槽内に空気（熱風）を循
環する送風源１２、即ち送風機との間の従来の送風空間
部内に、送風機１２の吐出口とボード収納槽１１の送入
口とを第１の分配手段１、即ち送風ダクトで接続する。
この送風ダクト１は複数に分割し、ダクトの形状、寸法
を適切に選定することにより、複数の送風ダクト１のボ
ード収納槽１１の送入口位置におけるそれぞれの吹き込
み風速を略同一にする。
ボード収納槽１１とバーンイン槽内に空気（熱風）を循
環する送風源１２、即ち送風機との間の従来の送風空間
部内に、送風機１２の吐出口とボード収納槽１１の送入
口とを第１の分配手段１、即ち送風ダクトで接続する。
この送風ダクト１は複数に分割し、ダクトの形状、寸法
を適切に選定することにより、複数の送風ダクト１のボ
ード収納槽１１の送入口位置におけるそれぞれの吹き込
み風速を略同一にする。
【００１５】また、従来の還流空間部内に、ボード収納
槽１１の還流口と送風機１２の吸入口とを第２の分配手
段２、即ち還流ダクト２で接続する。この還流ダクト２
も送風ダクト１と同様に複数に分割し、ダクトの形状、
寸法を適切に選定することにより、複数の還流ダクト２
のボード収納槽１１の還流口位置における吐き出し風速
を略同一にする。
槽１１の還流口と送風機１２の吸入口とを第２の分配手
段２、即ち還流ダクト２で接続する。この還流ダクト２
も送風ダクト１と同様に複数に分割し、ダクトの形状、
寸法を適切に選定することにより、複数の還流ダクト２
のボード収納槽１１の還流口位置における吐き出し風速
を略同一にする。
【００１６】なお、それぞれのダクト内の熱風の流れを
紙面垂直方向にも均一にするため、熱風をガイドする図
示しない案内板をダクト内の要所に設ける。このように
構成することにより、送風機を出た直後の熱風をボード
収納槽の送入口まで複数に分割された送風ダクトで気流
を乱すことなく確実に導くことでボード収納槽の送入口
位置におけるそれぞれの吹き込み風速を略同一に設定で
きるため、また同様に複数に分割された還流ダクトはボ
ード収納槽の還流口位置におけるそれぞれの還流風速も
略同一にできるため、ボード収納槽のどの位置も均一な
風速の熱風に晒して槽内の温度分布を均一にでき、被試
験半導体装置を均一にバーンインして良否の判定を正し
く行うことができる。
紙面垂直方向にも均一にするため、熱風をガイドする図
示しない案内板をダクト内の要所に設ける。このように
構成することにより、送風機を出た直後の熱風をボード
収納槽の送入口まで複数に分割された送風ダクトで気流
を乱すことなく確実に導くことでボード収納槽の送入口
位置におけるそれぞれの吹き込み風速を略同一に設定で
きるため、また同様に複数に分割された還流ダクトはボ
ード収納槽の還流口位置におけるそれぞれの還流風速も
略同一にできるため、ボード収納槽のどの位置も均一な
風速の熱風に晒して槽内の温度分布を均一にでき、被試
験半導体装置を均一にバーンインして良否の判定を正し
く行うことができる。
【００１７】また、この送風ダクト及び還流ダクトは、
送風機とボード収納槽との間の従来の送風空間部及び還
流空間部内に収容できるため、バーンイン装置の装置サ
イズを大きくする必要はない。
送風機とボード収納槽との間の従来の送風空間部及び還
流空間部内に収容できるため、バーンイン装置の装置サ
イズを大きくする必要はない。
【００１８】
【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
バーンイン槽（ボード収納槽）のどの位置においても均
一な風速の熱風に晒して槽内の温度分布を均一にできる
ため、被試験半導体装置を均一にバーンインできて良否
の判定を正しく行うことができるといった産業上極めて
有用な効果を発揮する。
バーンイン槽（ボード収納槽）のどの位置においても均
一な風速の熱風に晒して槽内の温度分布を均一にできる
ため、被試験半導体装置を均一にバーンインできて良否
の判定を正しく行うことができるといった産業上極めて
有用な効果を発揮する。
【図１】 本発明による一実施例の模式図
【図２】 従来技術による模式図
【図３】 従来技術による他の模式図
１：第１の分配手段（送風ダクト） ２：第２の分配手段（還流ダクト） １０：バーンインボード １０ａ：被試験半導体装置 １１：バーンイン槽（ボード収納槽） １２：送風源（送風機）
Claims (2)
- 【請求項１】 バーンイン槽内で均一な風速分布になる
ように、該バーンイン槽内に空気を循環する送風源から
の送風及び該送風源への還流を複数に分割して前記バー
ンイン槽の槽壁から分配送入し、他方から分配送出して
前記送風源へ還流する第１，第２の分配手段を具備した
ことを特徴とするバーンイン装置。 - 【請求項２】 前記第１の分配手段は、前記送風源の吐
出口とバーンイン槽の送入口とを接続する複数に分割し
た送風ダクトであり、前記第２の分配手段は、バーンイ
ン槽の還流口と送風源の吸入口とを接続する複数に分割
した還流ダクトであって、 バーンイン槽の送入口位置における前記複数の送風ダク
トのそれぞれの吹き込み風速を略同一にし、バーンイン
槽の還流口位置における前記複数の還流ダクトのそれぞ
れの吐き出し風速を略同一に設定したことを特徴とする
請求項１記載のバーンイン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9045613A JPH10239386A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | バーンイン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9045613A JPH10239386A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | バーンイン装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239386A true JPH10239386A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12724235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9045613A Withdrawn JPH10239386A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | バーンイン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10239386A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006308368A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 電子機器用テスト・チャンバ及び方法 |
| JP2007225496A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Espec Corp | 環境試験装置 |
| JP2020106465A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 株式会社カトー | 試験槽装置 |
| JP2021135290A (ja) * | 2020-02-26 | 2021-09-13 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
| CN117092841A (zh) * | 2023-08-22 | 2023-11-21 | 深圳市中优图科技有限公司 | 一种老化设备用热风内循环机构及lcd老化设备 |
-
1997
- 1997-02-28 JP JP9045613A patent/JPH10239386A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006308368A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 電子機器用テスト・チャンバ及び方法 |
| JP2007225496A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Espec Corp | 環境試験装置 |
| JP4554535B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2010-09-29 | エスペック株式会社 | 環境試験装置 |
| JP2020106465A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 株式会社カトー | 試験槽装置 |
| JP2021135290A (ja) * | 2020-02-26 | 2021-09-13 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
| CN117092841A (zh) * | 2023-08-22 | 2023-11-21 | 深圳市中优图科技有限公司 | 一种老化设备用热风内循环机构及lcd老化设备 |
| CN117092841B (zh) * | 2023-08-22 | 2024-05-17 | 深圳市中优图科技有限公司 | 一种老化设备用热风内循环机构及lcd老化设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040511 |