JP2000322886A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】ライトリカバリためのの遅延時間を可変するこ
とでプリチャージ期間(tRP)の高速化を図るクロッ
ク同期型半導体記憶装置の提供。 【解決手段】プリチャージコマンド入力時の少なくとも
一クロックサイクル前がライト動作中であったか否かを
判定し該判定結果を保持する手段を備え、プリチャージ
コマンド入力時、前記判定結果に応じて、前記プリチャ
ージコマンド入力時点からワード線をリセットするまで
に所定の遅延時間を挿入するか否かを切替え制御する手
段を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
関し、特にクロック同期型の半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】CPUの動作周波数の高速化に伴い、D
RAM(ダイナミックランダムアクセスメモリ)等の半
導体記憶装置の高速化を要請する声も高まっており、1
00MHzを超える外部クロック(クロック周期tCK
<10ns)に同期して動作する同期型半導体記憶装置
も実用化されるに至っている。クロック同期型半導体記
憶装置は、外部から供給されるクロックで入出力、及び
各種制御回路の動作タイミングが制御され、コマンド
(信号の組み合せ)による動作コントロール、連続して
アクセスするバーストリード/バーストライトが可能と
される。
【0003】半導体記憶装置において、メモリセルアレ
イ上で選択されたメモリセルへ書き込み回路からデジッ
ト線を介してデータを書き込む際に、書き込みが行なわ
れた後に、所定の遅延時間を設けられており、その後、
プリチャージ回路からデジット線へのプリチャージ(及
びイコライズ)が行われ、デジット線は所定電位に設定
される。このように、書き込みが行なわれた後に、所定
の遅延時間の後にプリチャージを行うのは、メモリセル
へのデータ書き込み時において、データがメモリセルに
書き込まれる前にプリチャージ動作させると、誤データ
が入力されることを防止するためのものである。なおラ
イトリカバリ期間については、例えば特開平10−64
269号等の記載が参照される。
【0004】クロック同期型半導体記憶装置についてみ
ると、例えばバーストライト時に(シングルライト時も
同様)、最終データ書き込み時のクロックからプリチャ
ージコマンド入力までのクロックまでの間のサイクルが
ライトリカバリ期間(tWR)をなし、外部端子から制
御信号の組み合せによるプリチャージ(PRE)コマン
ド入力によりデジット線をプリチャージし、またロウア
ドレスラインをリセットすることでワード線もリセット
する。
【0005】その際、プリチャージコマンドが入力され
た後に、選択されたメモリセルへのデータ書き込みが終
了してから、該メモリセルに接続されるワード線がリセ
ットされるように、遅延回路によって、内部ロウアドレ
スストローブ信号(RASB)のリセットタイミング
(LowレベルからHighレベルへの遷移タイミン
グ)を遅延させ、これにより、Xデコーダで選択駆動さ
れるワード線のリセット(HighレベルからLowレ
ベルへの遷移)のタイミングを調整している。
【0006】まず図13を参照して、クロック同期型半
導体記憶装置として、従来のシンクロナスDRAMの一
例についてその構成の概略を説明しておく。なお、図1
3においては、本発明の主題と直接関係しない要素、例
えばDRAMコアのバンク構成、バースト制御のための
カラムアドレスカウンタ、バースト長、バーストタイ
プ、CASレーテンシ、オペレーションコードを記憶す
るモードレジスタ、リフレッシュ制御回路等は簡単のた
め図示されていない。
【0007】図13を参照すると、外部端子であるロウ
アドレスストローブ( ̄RAS)端子、カラムアドレス
ストローブ( ̄CAS)端子、ライトイネーブル( ̄W
E)端子、チップセレクト( ̄CS)端子から入力され
る制御信号を入力とし、これらの制御信号の値の組み合
わせからコマンドをデコードするコマンドデコーダ11
と、クロック入力(CLK)端子から入力される外部ク
ロック信号から内部クロック信号ICLKを生成する内
部クロック発生回路10と、入力マスク/出力イネーブ
ル(DQM)端子から入力されるDQM信号に基づき内
部DQM信号(入力信号のマスク、出力イネーブルを制
御する信号)を発生するマスク信号発生回路12と、ア
ドレス信号を入力してバッファリングしバンク選択をし
て内部アドレス信号を出力する内部アドレス信号生成回
路13と、データ入出力(DQ)端子からデータを入力
し及びDQ端子にデータを出力する入出力回路14と、
内部ロウアドレスストローブ信号(RASB)を出力す
る内部ロウアドレスストローブ信号発生回路(「内部R
ASB信号発生回路」という)15と、ワード線タイミ
ング調整回路16と、内部クロックICLKとコマンド
デコーダ11からのREAD信号とライトバースト信号
WBSTを入力とするCAS(カラムアドレスストロー
ブ)系制御回路17と、内部クロックICLKと内部R
ASB信号を入力とするRAS(ロウアドレスストロー
ブ)系制御回路18と、メモリセルアレイ21と、内部
アドレス信号生成回路13からのロウアドレス(行アド
レス)を入力してデコードしワード線を選択するXデコ
ーダ(XDEC)19と、内部アドレス信号生成回路1
3からのカラムアドレス(列アドレス)を入力してデコ
ードしてメモリセルアレイのデジット線を選択するカラ
ム選択信号を出力するYデコーダ(YDEC)20と、
を備えている。
【0008】またコマンドデコーダ11から出力される
ACT(バンクアクティブ)信号、PRE(プリチャー
ジ)信号は、内部RASB信号発生回路15に入力さ
れ、内部RASB信号発生回路15において内部RAS
B信号が生成される。なお、アドレス信号の所定ビット
によるバンク選択は、バンクアクティブ(ACT)コマ
ンドのとき行われ、このACTコマンドの後に、リード
(READ)、ライト(WRITE)、プリチャージ
(PRE)コマンドが実行できる。
【0009】この内部RASB信号発生回路15は、例
えばセット・リセット(SR)ラッチ回路から構成さ
れ、ACT信号がアサートされると、内部RASB信号
はアクティブ(Lowレベル)とされ、プリチャージ
(PRE)信号がアサートされると、それまでアクティ
ブであった内部RASB信号はインアクティブ(Hig
hレベル)にリセットされる。
【0010】この内部RASB信号は、ワード線タイミ
ング調整回路16に入力され、ワード線タイミング調整
回路16では、ワード線のストローブタイミングを制御
するRAS3B(第3のロウアドレスストローブ)信号
を生成して、Xデコーダ19に供給し、Xデコーダ19
はロウアドレス信号をデコードしてワード線を選択し、
RAS3B信号がアクティブとなると選択ワード線をア
クティブとし、RAS3B信号がインアクティブとなる
と、ロウアドレスをリセットし、ワード線をリセットす
る。
【0011】図14は、メモリセルアレイ21の構成の
一例を模式的に示す図であり、デジット線対(D/DB
_1、D/DB_2、…)に接続されたメモリセルトラ
ンジスタ22のゲートは、Xデコーダ19からのワード
線が接続され、デジット線対は、Yデコーダ20からの
カラム選択線でオン・オフ制御されるカラムスイッチを
介して読み出し・書き込み回路(センスアンプ)23に
接続され、読み出し・書き込み回路23は、I/O線
(リード/ライトデータバス)を介して入出力回路14
に接続されている。なお、図14において、24はデジ
ット線対のプリチャージ・イコライズ回路であり、図1
3のRAS系制御回路18からの信号を受けてデジット
線対をプリチャージ・及びイコライズする。ここでは、
デジット線対(D/DB_1、D/DB_2、…)のプ
リチャージ電位は、電源電位(デジット線の振幅)の中
間レベルとする。
【0012】図15は、ワード線タイミング調整回路1
6の構成の一例を示す図である。内部RASB信号はN
AND回路302の一の入力端に入力されるとともに遅
延回路301に入力され、遅延回路301の出力がNA
ND回路302の他の入力端に入力されNAND回路3
02の出力をインバータ303て反転した信号が、ワー
ド線のストローブタイミングを制御する信号RASB3
(第3のロウアドレスストローブ)として出力される。
【0013】図15に示す構成のワード線タイミング調
整回路は、入力した内部RASB信号のHighレベル
からLowレベルへの遷移はそのまま遅延なく同一タイ
ミングで出力し、PRE信号のアサートによる内部RA
SB信号のLowレベルからHighレベルへの遷移タ
イミングについては、遅延回路301の遅延時間td分
遅延してなる信号RAS3Bを出力する。
【0014】Xデコーダ19では、このRASB3信号
のLowレベルからHighレベルへのリセットを受け
て、ロウアドレスをリセットし、その結果、選択ワード
線もHighレベルからLowレベルにリセットされ、
メモリセルを非選択とする。
【0015】図16は、クロック同期型半導体記憶装置
の動作の概略を説明するための図であり、バースト長4
のシンクロナスDRAMのタイミング動作を説明するた
めの模式図である。図16には、バンクアクティブ(A
CT)コマンド(「ACTコマンド」という)、ライト
(WRITE)コマンド、プリチャージコマンド(「P
REコマンド」という)、バンクアクティブコマンドの
一連の動作における外部CLK端子、コマンド、アドレ
ス、入力データ、内部カラムアドレス、ワード線が模式
的に示されている。
【0016】図16(a)では、ライトリカバリ期間
(tWR)は1クロックサイクルとされ、PREコマン
ドが入力されてから、PRE信号がアクティブとなり、
内部RASB信号がHighレベルに変化した際に、ワ
ード線タイミング調整回路16において遅延回路301
で遅延時間td遅延された信号が、内部RAS3B信号
として出力され、これより、メモリセルへのライト動作
が終了してから、ワード線がリセットされるように、ワ
ード線のHighからLowへの立ち下がりのタイミン
グを調整している。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】ところで、動作周波数
が例えば100MHz等と高速化するに伴い、クロック
周期tCKが短くなり、デジット線をプリチャージする
期間であるプリチャージ期間(tRP)としては、図1
6(a)に示したように、例えば3クロックサイクル分
が必要とされている。
【0018】この場合、ライトリカバリ期間(tWR)
として、1クロックサイクルの代わりに2クロックサイ
クルとった場合でも、プリチャージ期間tRPは、3ク
ロックサイクルとされ、元のままである。例えば図16
(b)に示すように、バーストライト時の最後のデータ
DIN4については、DQM信号によりマスクされてお
り、この場合、ライトリカバリ期間(tWR)は2クロ
ックサイクル(2tCK)とされている。しかしなが
ら、この場合でも、PREコマンドが入力されてから、
ワード線タイミング調整回路16内の遅延回路301の
遅延時間(td)分遅れてワード線がリセットされるこ
とになり、プリチャージ期間tRPは、3クロックサイ
クルとされ、2クロックサイクルとすることはできな
い。
【0019】これは、PREコマンド入力時点の一クロ
ックサイクル前にメモリセルへライト動作が終了してい
ても、PREコマンドが入力されてからワード線タイミ
ング調整回路16において遅延回路301で遅延時間t
d分遅延させた後に、ワード線がリセットされる構成と
されており、選択ワード線がリセットされてから、デジ
ット線のプリチャージが行われ、この遅延時間tdが、
後続するプリチャージ期間tRPにずれ込むためであ
る。
【0020】このため、ライトリカバリ期間(tWR)
を2クロックサイクルとした場合にも、従来のシンクロ
ナスDRAMにおいては、プリチャージ期間tRPの高
速化を図ることはできない。
【0021】近時、シンクロナスDRAMを、ユーザの
適用システムに応じて、ライトリカバリ期間tWR=2
クロックサイクル、及びプリチャージ期間tRP=2ク
ロックサイクルで使用する要求と、ライトリカバリ期間
tWR=1クロックサイクル、プリチャージ期間tRP
=3クロックサイクルで使用する要求がある。
【0022】しかしながら、上記した従来のシンクロナ
スDRAMでは、ライトリカバリ期間tWR=2クロッ
クサイクルの場合にも、プリチャージ期間tRP=3ク
ロックサイクル確保することが必要とされており、この
ため、1つのシンクロナスDRAMチップで、上記ユー
ザの要求にこたえることは不可能である。またこれら2
つの要求をみたすためには、2種類のシンクロナスDR
AM製品を開発しなければならず、半導体記憶装置の製
造コストを押し上げることになる。
【0023】したがって、本発明は上記問題点に鑑みて
なされたものであって、その目的は、プリチャージ期間
(tRP)の高速化を図る半導体記憶装置を提供するこ
とにある。
【0024】また本発明の他の目的は、1品種のチップ
で、ライトリカバリ期間tWR=2クロックサイクル、
及びプリチャージ期間tRP=2クロックサイクルと、
tWR=1クロックサイクル、tRP=3クロックサイ
クルを実現する半導体記憶装置を提供することにある。
【0025】さらに本発明の他の目的は、アクティブコ
マンド入力からリードコマンド入力までのRAS/CA
S遅延時間の高速化を図る半導体記憶装置を提供するこ
とにある。これ以外の本発明の目的、特徴等は以下の説
明で容易に明らかとされるであろう。
【0026】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明は、プリチャージコマンド入力時の少なくとも一つ前
のクロックサイクルがライト動作中であったか否かに基
づき、プリチャージコマンド入力時点からワード線をリ
セットするまでの時間を可変に制御する手段を備えたも
のである。
【0027】本発明においては、例えばライトリカバリ
時間(tWR)がクロックサイクルで使われている時
は、プリチャージコマンド入力後のワード線のHigh
からLowレベルへの立ち下がりのタイミングを速め、
ライトリカバリ時間(tWR)が1クロックサイクルで
使われている時は、プリチャージコマンド入力後のワー
ド線のHighからLowレベルへの立ち下がりのタイ
ミングを遅延させるように制御する。
【0028】また本発明は、バンクアクティブコマンド
入力時の予め定められた所定クロックサイクル前の内部
ロウアドレスストローブ信号がアクティブであるか否か
の判定結果に基づき、バンクアクティブコマンドの入力
時からワード線をアクティブにするまでの時間を可変に
制御する手段を備えている。
【0029】本発明においては、バンクアクティブコマ
ンド入力時の予め定められた所定クロックサイクルより
も前にプリチャージコマンドが入力されているものであ
るか否かを判定し、バンクアクティブコマンド入力時の
前記所定クロックサイクルよりも前にすでにプリチャー
ジコマンドが入力されている場合には、バンクアクティ
ブコマンド入力時に選択ワード線を直ちにアクティブと
し、バンクアクティブコマンド入力時点からリードコマ
ンド入力時までの間のRAS/CAS(ロウアドレスス
トローブ/カラムアドレスストローブ)遅延期間(tR
CD)を短縮し、一方、バンクアクティブコマンド入力
時の前記所定クロックサイクル前にプリチャージコマン
ドが入力される場合には、バンクアクティブコマンド入
力時から所定の遅延時間遅らせて選択ワード線をアクテ
ィブとし、バンクアクティブコマンドからリードコマン
ド入力までのRAS/CAS遅延期間(tRCD)を延
ばすように切り替え制御する構成とされる。
【0030】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について説明
する。本発明のクロック同期型半導体記憶装置は、その
好ましい実施の形態において、プリチャージコマンド
(「PREコマンド」と略記する)入力の前のクロック
サイクルが、ライト動作であったか否かで、ワード線の
リセットのタイミングを変え、メモリセルへの最適なラ
イトカバリ時間を設定することを可能としている。
【0031】図1は、本発明の一実施の形態に係るクロ
ック同期型半導体記憶装置の動作原理を説明するための
タイミング図である。なお、図1において、ICLKは
内部クロック、内部WEは内部ライトイネーブル信号、
D/DBはメモリセルアレイのデジット線対である。ま
た、ライトリカバリ期間tWRとは、最後のライト時の
クロックからPREコマンド入力時までのクロックサイ
クルをいう。
【0032】図1(A)に示すように、ライトリカバリ
期間tWRが2クロックサイクルもしくは2クロックサ
イクル以上の状態でPREコマンドが入力される場合、
PREコマンド入力サイクルの前のクロックサイクルは
ライト動作ではなく(内部ライトイネーブル信号WEが
インアクティブ)、PREコマンドの入力時点では、メ
モリセルへのライトは概ね終了しているため、ワード線
のHighレベルからLowレベルへの立ち下がりは早
くしてもよい。すなわち、ライトリカバリ時間は十分確
保されており、PREコマンドの入力からさらにワード
線のリセットタイミングを遅延させることはない。これ
により、プリチャージ期間tRPを2クロックサイクル
に短縮し、高速化している。
【0033】一方、図1(B)に示すように、ライトリ
カバリ期間tWRが1クロックサイクルの時、PREコ
マンド入力前にメモリセルへのライト動作は終了してい
ないため、PREコマンドの入力時点から、ワード線を
Lowレベルに立ち下げるまでの間に遅延時間(td
1)を設ける。この場合、プリチャージ期間tRPは、
3クロックサイクル必要とされるが、ライトリカバリ期
間tWRは1クロックサイクルですむ。
【0034】図2は、本発明の一実施の形態のワード線
タイミング調整回路の構成を示す図である。このワード
線タイミング調整回路は、本発明の実施例の説明で後に
参照される図5のワード線タイミング調整回路16Aに
対応するものである。
【0035】図2を参照すると、このワード線タイミン
グ調整回路は、制御信号の組み合せからコマンドをデコ
ードするコマンドデコーダより出力されるプリチャージ
(PRE)信号と、バンクアクティブ(ACT)信号と
を入力して内部ロウアドレスストローブ信号を生成する
内部ロウアドレスストローブ信号発生回路(「内部PR
SB信号発生回路」という)から出力される内部ロウア
ドレスストローブ信号(「内部RASB信号」という)
を入力し、ワード線のアクティブ及びインアクティブの
ストローブタイミングを制御する信号RASB3を生成
するものである。なお、RASB3信号はロウアクティ
ブ信号とされており、これがHighレベル(インアク
ティブ)になると、ロウアドレスがリセットされ、Xデ
コーダからのワード線がリセットされる。
【0036】図2を参照すると、ワード線タイミング調
整回路は、内部RASB信号を入力する遅延回路101
と、遅延回路101からの出力信号をインバータ(IN
V1)102で反転した信号と、内部ライトイネーブル
信号(WE)を入力とし否定論理積をとるNAND回路
103と、内部RASB信号生成回路から出力される内
部RASB信号RASBとNAND回路103からの出
力信号を入力し、これらの否定論理積をとるAND回路
104とを備える。
【0037】図3、及び図4は、図2に示した回路の動
作を説明するためのタイミングであり、(a)は内部ラ
イトイネーブル信号WE、(b)は内部RASB信号、
(c)はインバータINV1の出力、(d)はNAND
回路103の出力、(e)はAND回路104の出力
(RAS3B)の信号波形をそれぞれ示している。
【0038】PREコマンド入力時点で内部ライトイネ
ーブル信号WEの値がアクティブの(Highレベル)
ときは、図3に示すように、RAS3B信号のアクティ
ブ(Lowレベル)からインアクティブ(Highレベ
ル)への遷移エッジを、内部RASB信号のアクティブ
(Lowレベル)からインアクティブ(Highレベ
ル)への遷移エッジのタイミングから、遅延回路101
の遅延時間分td1遅延させたタイミングとする。
【0039】一方、PREコマンド入力時点で、内部ラ
イトイネーブル信号WEの値がインアクティブ(Low
レベル)のときは、図4に示すように、RAS3B信号
のアクティブからインアクティブへの遷移エッジとイン
アクティブからアクティブへの遷移エッジを、ともに内
部RASB信号のアクティブからインアクティブへの遷
移エッジとインアクティブからアクティブへの遷移エッ
ジの同一タイミングとするように切り替える。
【0040】本発明によれば、1品種のチップで、ライ
トリカバリ期間tWR=2クロック、及びプリチャージ
期間tRP=2クロックと、tWR=1クロック、tR
P=3クロックを実現しており、チップセットに対応し
たtWR/tRP制御を可能としている。
【0041】また本発明においては、PREコマンド入
力時点の直前のクロックサイクルにおいて、ライトバー
スト信号(WBST)がアクティブであり、データマス
ク信号(DQM)でマスクされていなければ、遅延回路
を活し、そうでなければ、遅延回路のパスを飛ばしてワ
ード線をリセットするように構成してもよい。
【0042】このように、本発明においては、PREコ
マンド入力サイクル時の前クロックサイクルが、ライト
動作であったかなかったか、すなわち、tWRが1クロ
ックでPREコマンドが入力されたか、tWRが2クロ
ックまたは2クロック以上でPREコマンドが入力され
たかによって、ワード線のリセットタイミングを変え、
メモリセルへの最適なライトカバリ時間を設定すること
を可能としている。
【0043】次に本発明の第2の実施の形態について説
明する。図9は、本発明の第2の実施の形態を説明する
ためのタイミング図である。本発明の第2の実施の形態
においては、2クロック前の内部RASB信号の状態を
監視することで、バンクアクティブコマンド(「ACT
コマンド」という)入力時の、予め定められた所定クロ
ックサイクル(図9に示す例では、2クロックサイクル
としている)よりも前に、PREコマンドが入力されて
いるか否か、すなわちプリチャージ期間tRPが2クロ
ックサイクルよりも大であるか否かを判定し、tRPが
所定クロックサイクルよりも大である場合、図9(A)
に示すように、ACTコマンド入力時の内部RASB信
号のLowからHighレベルへの遷移エッジすなわち
ワード線をアクティブとするタイミングを速くし、AC
Tコマンド入力時からREADコマンド入力時までのt
RCD(RAS/CAS遅延期間)を短縮し(図9では2
クロックサイクル)、一方、プリチャージ期間tRPが
前記所定クロックサイクルである場合、図9(B)に示
すように、ACTコマンド入力時の内部RASB信号の
LowからHighへの遷移エッジ、すなわちワード線
をアクティブとするタイミングに遅延(ディレイ)を設
け、ACTコマンド入力時からREADコマンド入力時
までのtRCD(RAS/CAS遅延期間)を、予め定め
られた所定のクロックサイクル(図9では3クロックサ
イクル)に延ばすように切り替える。
【0044】
【実施例】上記した本発明の実施の形態について更に詳
細に説明すべく、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図5は、本発明の一実施例のクロック同期
型半導体記憶装置の構成を示す図である。図5におい
て、図13に示した従来のクロック同期型半導体記憶装
置と同一又は同等の要素には同一の参照符号が付されて
いる。
【0045】図5を参照すると、本発明の一実施例にお
いては、制御信号の組み合せからコマンドをデコードす
るコマンドデコーダ11より出力されるプリチャージ信
号(PRE)と、バンクアクティブ信号(ACT)とを
入力して内部RASB信号を生成する内部RASB信号
発生回路15から出力される内部RASB信号を入力
し、RASB3を生成するワード線タイミング調整回路
16Aが、内部RASB信号に加え、コマンドデコーダ
11からのライトバースト信号(WBST)、マスク信
号発生回路12からのDQM信号、及び内部クロックI
CLKを入力する構成とされていることが、図13に示
した従来のクロック同期型半導体記憶装置と相違してい
る。
【0046】図6は、本発明の一実施例におけるワード
線タイミング調整回路16Aの構成を示す図である。図
6を参照すると、ワード線タイミング調整回路16A
は、内部RASB信号を入力する遅延回路101と、遅
延回路101の出力を反転する第1のインバータ回路
(INV1)102と、ライトバースト信号(WBS
T)と、データマスク信号(DQM)を負論理で入力と
するAND回路107と、AND回路107の出力(こ
れを「内部ライトイネーブル信号WE」という)をデー
タ入力端子に入力とし、内部クロックICKをクロック
端子に入力とするD型フリップフロップ108と、第1
のインバータ回路(INV1)102の出力とD型フリ
ップフロップ108の出力とを入力する第1のNAND
回路103と、内部RASB信号生成回路15から出力
される内部RASB信号と第1のNAND回路103の
出力を入力とする第2のNAND回路104と、第2の
NAND回路104の出力を反転する第2のインバータ
(INV2)106とを備えて構成される。
【0047】ライトバースト信号(WBST)がアクテ
ィブ(Highレベル)であり且つデータマスク信号
(DQM)がインアクティブ(Lowレベル)とされる
(入力データがマスクされていない状態である)場合
に、AND回路107はHighレベルを出力し、D型
フリップフロップ108は、内部クロック(ICLK)
に同期してアクティブ信号を出力保持する。
【0048】第1のNAND回路103は、D型フリッ
プフロップ108の出力(内部ライトイネーブル信号W
E)がHighレベルのとき、第1のインバータ102
からの信号を反転出力する。
【0049】すなわち、内部ライト許可信号WEの値が
Highレベルのときは、RAS3BのLowレベルか
らHighレベルへの立ち上がりを、図3に示すよう
に、RASBのLowレベルからHighレベルへの立
ち上がりのタイミングから遅延回路101の遅延時間t
d1分遅延させたタイミングとする。
【0050】一方、第1のNAND回路103は、D型
フリップフロップ108の出力信号(内部ライトイネー
ブル信号WE)がLowレベルのときHighレベルを
出力し、第1のインバータ102からの信号をマスクす
る。この時、第2のNAND回路104は、入力した内
部RASB信号を反転出力し、第2のインバータ回路1
06からは、内部RASB信号の立ち上がりエッジを遅
延させることなく、図4に示すように、そのままRAS
3B信号として出力される。
【0051】図7及び図8は、図5及び図6を参照して
説明した本発明の一実施例の半導体記憶装置の動作を示
すタイミング図である。
【0052】図7を参照すると、ACTコマンド入力
後、ライト(WRITE)コマンドが入力され、バース
ト長4でバーストライトが行われ、4ビット目のデータ
D4については内部DQM信号がアクティブとされ、マ
スクされている。すなわち、PREコマンド入力時点の
1クロックサイクル前のWBST信号とDQM信号の論
理値から内部ライトイネーブル信号WEはインアクティ
ブ(Lowレベル)となり、ワード線タイミング調整回
路16Aにおいて、RAS3B信号のアクティブからイ
ンアクティブへの遷移エッジとインアクティブからアク
ティブへの遷移エッジを、ともにRASBのアクティブ
からインアクティブへの遷移エッジとインアクティブか
らアクティブへの遷移エッジの同一タイミングとするよ
うに切り替える。
【0053】このため、図7の時刻t7から始まるクロ
ックサイクルに示すように、PREコマンド入力時点か
ら、ワード線のリセットまでの遅延時間は存在せず、プ
リチャージ期間tRPは2クロックサイクルとされる。
【0054】図7、図5及び図6を参照して、本発明の
一実施例における半導体記憶装置におけるデータ書き込
み動作を説明する。時刻t1で、外部クロックCLKが
立ち上がると、コマンドデコーダ11は、入力された制
御信号をデコードしてACT信号をアサートし、これを
受けて内部RASB信号発生回路15は内部RASB信
号をLowレベルとし、ワード線タイミング調整回路1
6Aから出力されるRAS3B信号もLowレベルとさ
れる。内部RASB信号の立ち下がりエッジで内部アド
レス生成回路13にロウ(行)アドレスADDが取り込
まれ、内部アドレス生成回路13は、ロウアドレス信号
をXデコーダ19に供給する。Xデコーダ19はこれを
デコードして複数のワード線のうち1つを選択し、選択
されたワード線の電位をLowレベルからHighレベ
ルとし、非選択のワード線の電位はLowレベルに維持
する。
【0055】時刻t2で、プリチャージが解除される
と、選択されたワード線に接続されたメモリセルへの書
き込みデータがデジット線対に出力される。
【0056】時刻t3において、ライト(WRITE)
コマンドがコマンドデコーダ11に入力されると、コマ
ンドデコーダ11はライトバースト信号WBSTをHi
ghレベルとする。カラム(列)アドレス信号ADDが
内部アドレス生成回路13に入力され、カラムアドレス
ADDはYデコーダ20に供給されてデコードされ、複
数のデジット線のうち一組を選択する。そしてデータ入
出力(DQ)端子から書き込みデータD1が入出力回路
14に入力されると、入出力回路14はI/O線にデー
タD1を出力する。
【0057】時刻t4において、書き込みデータD1は
選択されたデジット線対DB/DB_1に供給され、選
択されたワード線に接続するメモリセルにデータが書き
込まれる。これと同時に、内部アドレス生成回路13
は、カラムアドレスをインクリメントして、次に選択す
べきカラムアドレス信号をYデコーダ20に供給し、入
出力回路14はデータ入出力(DQ)端子から入力され
た次の書き込みデータD2を取り込みI/O線にデータ
D2を出力する。
【0058】時刻t5では、時刻t4と同様にして、I
/O線にはデータD3が出力される。
【0059】時刻t6では、マスク信号発生回路12
は、DQM端子からマスク信号を取り込み、内部DQM
信号をHighレベルとする。内部DQM信号がHig
hレベルとなると、入出力回路14は外部から入力され
る書き込みデータD4をマスクするため、I/O線には
データは出力されず(図7のI/O線のタイミング信号
でハッチングを施した部分)、デジットD/DB_4は
変化しない。
【0060】そして、時刻t7で、PREコマンドが入
力され、ライトバースト信号WBST、内部RASB、
RAS3Bの各信号はリセットされ、ワード線は非選択
状態となる。
【0061】一方、図8に示すように、時刻t1でAC
Tコマンドが入力された後、時刻t3でライト(WRI
TE)コマンドが入力され、バースト長4でバーストラ
イトが行われる場合、PREコマンド入力時点(時刻t
7)の1クロックサイクル前すなわち時刻t6での、W
BST信号と、内部DQM信号の論理値(Lowレベ
ル)から、内部ライトイネーブル信号WEはアクティブ
(Highレベル)となり、RAS3B信号のLowか
らHighレベルへの遷移エッジを、内部RASB信号
のLowからHighレベルへの遷移エッジのタイミン
グから遅延回路101の遅延時間td1分遅延させたタ
イミングとし、時刻t7でPREコマンドが入力されて
からワード線のリセットまでには、遅延時間(td1)
が挿入され、この結果、プリチャージ期間(tRP)は
3クロックサイクルとなる。
【0062】なお、図7に示したタイミングチャートで
は、時刻t6において内部DQM信号が一クロックサイ
クルHighレベルとされ、このため入力されたデータ
D4のメモリセルへの書き込みは行われなかったが、図
8に示す例では、内部DQM信号はLowレベルに維持
されており、このためバースト長4のバーストライトに
対応して書き込みデータD1〜D4がデジット線対DB
/DB_1〜DB/DB_4にそれぞれ供給される。
【0063】次に本発明の第2の実施例について説明す
る。図9は、本発明の第2の実施例を説明するための図
である。本発明の第2の実施例においては、2クロック
前の内部RASB信号の状態を監視することで、ACT
コマンド入力時の2クロックサイクルよりも前にPRE
コマンドが入力されたか否か、すなわちtRPが2クロ
ックサイクルよりも大であるか否かを判定し、tRPが
2クロックサイクルよりも大である場合、図9(A)に
示すように、ACTコマンド入力時において、内部RA
SB信号のLowからHighへの遷移エッジ、すなわ
ちワード線をアクティブとするタイミングを速くし、A
CTコマンド入力からREADコマンド入力までのtRC
D(RAS/CAS遅延期間)を短縮して2クロックサ
イクルとしとしている。一方、プリチャージ期間tRP
が2クロックサイクルである場合、図9(B)に示すよ
うにACTコマンド入力時の内部RASB信号のLow
からHighへの遷移エッジ、すなわちワード線をアク
ティブとするタイミングを遅らせ、ACTコマンド入力
からREADコマンド入力までのtRCD(RAS/CA
S遅延期間)を3クロックサイクルに切り替え制御する
ようにしている。
【0064】図10は、本発明の第2の実施例における
ワード線タイミング調整回路の構成の一例を示す図であ
る。なお、本発明の第2の実施例において、クロック同
期型半導体記憶装置の構成は、図5に示したものと同様
とされるが、ワード線タイミング調整回路には、前記実
施例のようにWBSTとDQM信号を用いず、内部RA
SB信号と内部クロック信号ICLKが入力される構成
とされる。
【0065】図10を参照すると、この実施例のワード
線タイミング調整回路は、内部RASB信号を入力する
遅延回路201と、遅延回路201の出力を反転する第
1のインバータ回路202と、内部RASB信号をデー
タ入力端子に入力し内部クロックICLKをクロック入
力端子に入力する第1のD型フリップフロップ205
と、第1のD型フリップフロップ205の出力をデータ
入力端子に入力し内部クロックICLKをクロック入力
端子に入力する第2のD型フリップフロップ206と、
第1のインバータ202の出力と第2のD型フリップフ
ロップ206の出力を入力とする第1のNOR回路20
3と、内部ロウアドレスストローブ(RASB)信号と
第1のNOR回路203の出力を入力とする第2のNO
R回路204と、第2のNOR回路204の出力を遅延
させる第2の遅延回路207と、第2のNOR回路20
4の出力と第2の遅延回路207の出力を入力とする第
3のNOR回路208とを備え、第3のNOR回路20
8からRAS3B信号が出力される。
【0066】第2のNOR回路204は、内部RASB
信号をそのまま出力するか、または、立ち上がりエッジ
を遅延回路201の遅延時間td1遅延させた信号を出
力し、第3のNOR回路208は、第2のNOR回路2
04からの出力より、立ち上がりエッジを、遅延回路2
07の遅延時間td2遅延させた信号を出力する。
【0067】図11及び図12は、本発明の第2の実施
例のクロック型同期型半導体記憶装置の構成を示す図で
ある。図11及び図12において、(a)は内部クロッ
クICLK、(b)は内部RASB信号、(c)はワー
ド線タイミング調整回路の第2のD型フリップフロップ
206の出力、(d)は第1のインバータ202の出
力、(e)は第1のNOR回路203の出力、(f)は
第2のNOR回路204の出力の信号波形を示してお
り、さらに、ワード線、デジット線のデータ対D/DB
が示されている。
【0068】図10、及び図11を参照して、ACTコ
マンド入力時点の2クロックサイクル前にPREコマン
ドが入力された場合について説明する。
【0069】PREコマンド入力により内部RASB信
号がインアクティブ(High)となり、ワード線がリ
セットされ、つづいてACTコマンドが入力された時点
では、2クロックサイクル前の内部RASB信号の状態
をラッチ出力する第2のD型フリップフロップ206の
出力はLowレベルとされている。第1のNOR回路2
03は、内部RASB信号を遅延時間td1遅延させた
信号を第2のNOR回路204に出力し、第2のNOR
回路204からは、LowへのHighへの立ち上りエ
ッジは内部RASB信号をtd1遅延させた信号が出力
され、これにより、RAS3B信号のHighからLo
wへの立ち下がりエッジがACTコマンド入力時点か
ら、td1遅延され、選択されたワード線は、ACTコ
マンド入力からtd1遅延されてアクティブとされ、t
RAS/CAS遅延時間(tRCD)は3クロックサイ
クルとなる。なお、PREコマンド入力時点からワード
線のリセットまでには、遅延回路207による遅延時間
td2が設けられている。
【0070】一方、ACTコマンド入力時から2クロッ
クサイクルよりも前にすでにPREコマンドが入力され
ている場合には、図12に示すように、2クロックサイ
クル前の内部RASB信号の状態をラッチ出力する第2
のD型フリップフロップ206の出力は、ACTコマン
ド入力時にHighレベルとなる。第1のNOR回路2
03からは、内部RASB信号の立ち上がりエッジを遅
延時間td1遅延させ、立ち下がりエッジが内部RAS
Bの立ち上がりエッジのタイミングとされる信号が出力
され、この信号を受けて、第2のNOR回路204から
は、内部RASB信号の立ち下がり、立ち上がりエッジ
と同一のタイミングからなる信号が出力され、これによ
り、第3のNOR回路208から出力されるRAS3B
信号のHighからLowレベルへの立ち下がりエッジ
はACTコマンド入力時点から遅延されず、ワード線
が、ACTコマンド入力から直ちにアクティブとなり、
tRAS/CAS遅延時間は2クロックサイクルとな
る。なお、PREコマンド入力からワード線がリセット
までには遅延時間td2が設けられている。
【0071】なお、本発明のクロック同期型半導体記憶
装置において、前記第1、第2の実施例のワード線タイ
ミング調整回路を兼ね備えてもよいことは勿論である。
【0072】また本発明は、上記各実施例で説明したよ
うに、ワード線のストローブタイミングを制御するRA
S3B信号がロウアクティブであるとする構成に限定さ
れるものでなく、必要とされる信号の遷移エッジの遅延
を可変制御する構成であれば、上記実施例の論理回路の
構成に限定されるものでないことは勿論である。
【0073】さらに、本発明において、WBST信号と
DQM信号の値をラッチするラッチ回路は前記実施例の
ように一段構成に限定されるものでなく、また同様にし
て内部RASB信号をラッチするためのフリップフロッ
プは2段構成に限定されるものでない。
【0074】また、本発明において、PREチャージコ
マンド入力時点の前のサイクルがライト動作であるか否
かの判定において、バーストライト以外にもシングルラ
イト動作についても適用可能であることは勿論である。
【0075】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ライトリカバリ時間(tWR)が2クロックサイクルで
用いられている時は、PREコマンドの後のワード線の
立ち下がりのタイミングを速めるようにしたことによ
り、プリチャージ期間(tRP)の高速化を図ることが
できる、という効果を奏する。
【0076】また本発明によれば、PREコマンド入力
前のサイクルがライト動作中であったか判定し、ライト
動作でなければ、PREコマンドの後のワード線の立ち
下がりタイミングを速め、ライト動作であれば、PRE
コマンドの後のワード線の立ち下がりタイミングを遅延
させるように切替制御する構成としたことにより、1品
種のチップ製品で、ライトリカバリ期間tWR=2クロ
ック及びプリチャージ期間tRP=2クロックと、tW
R=1クロック、及びtRP=3クロックの両方のスペ
ックを実現することができる。
【0077】さらに、本発明によれば、内部RASB
(ロウアドレスストローブ)信号を監視し、ACTコマ
ンド入力時にプリチャージ期間(tRP)が所定クロッ
クサイクル以上であるかを判別し、プリチャージ期間
(tRP)が所定クロックサイクル以上のときは、AC
Tコマンド入力時から遅延時間なく選択ワード線をアク
ティブとすることで、リードCAS/RAS遅延時間を
早めることができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の動作原理を説明するた
めの図である。
【図2】本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図3】本発明の一実施例の動作を説明するためのタイ
ミング図である。
【図4】本発明の一実施例の動作を説明するためのタイ
ミング図である。
【図5】本発明の一実施例のクロック同期型半導体記憶
装置の構成を示す図である。
【図6】本発明の一実施例におけるワード線タイミング
調整回路の構成を示す図である。
【図7】本発明の一実施例の動作を説明するためのタイ
ミング図である。
【図8】本発明の一実施例の動作を説明するためのタイ
ミング図である。
【図9】本発明の第2の実施の形態の動作原理を説明す
るための図である。
【図10】本発明の第2の実施例におけるワード線タイ
ミング調整回路の構成を示す図である。
【図11】本発明の第2の実施例の動作を説明するため
のタイミング図である。
【図12】本発明の第2の実施例の動作を説明するため
のタイミング図である。
【図13】従来のクロック同期型半導体記憶装置の構成
を示す図である。
【図14】従来のクロック同期型半導体記憶装置のメモ
リセルアレイの構成を示す図である。
【図15】従来のクロック同期型半導体記憶装置のワー
ド線タイミング調整回路の構成を示す図である。
【図16】従来のクロック同期型半導体記憶装置の動作
を説明するための図である。
【符号の説明】
10 内部クロック発生回路 11 コマンドデコーダ 12 マスク信号発生回路 13 内部アドレス生成回路 14 入出力回路 15 内部RASB信号発生回路 16、16A ワード線タイミング調整回路 17 CAS系制御回路 18 RAS系制御回路 19 Xデコーダ 20 Yデコーダ 21 メモリセルアレイ 22 メモリセル 23 読み出し・書き込み回路 24 プリチャージ回路 101、201、207、301 遅延回路 102、106、202、302 インバータ 103、303 NAND回路 104 AND回路 104、105 NAND回路 107 AND回路 108、205、206 D型フリップフロップ 203、204、205 NOR回路

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】クロック同期型半導体記憶装置において、 プリチャージコマンド入力時の少なくとも一つ前のクロ
    ックサイクルがライト動作中であったか否かに基づき、
    プリチャージコマンド入力時点からワード線をリセット
    するまでの時間を可変に制御する手段を備えたことを特
    徴とするクロック同期型半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】クロック同期型半導体記憶装置において、 プリチャージコマンド入力時の少なくとも一つ前のクロ
    ックサイクルがライト動作中である場合には、プリチャ
    ージコマンド入力時点からワード線をリセットするまで
    に所定の遅延時間を設け、一方、プリチャージコマンド
    入力時の少なくとも一つ前のクロックサイクルがライト
    動作でない場合には、前記プリチャージコマンド入力時
    点で直ちにワード線をリセットするように切替え制御す
    る手段を備えたことを特徴とするクロック同期型半導体
    記憶装置。
  3. 【請求項3】クロック同期型半導体記憶装置において、 プリチャージコマンド入力時の少なくとも一つ前のクロ
    ックサイクルおける内部ライトイネーブル信号の状態に
    基づき、プリチャージコマンド入力時点からワード線を
    リセットするまでに所定の遅延時間を挿入するか否かを
    切替え制御する手段を備えたことを特徴とするクロック
    同期型半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】クロック同期型半導体記憶装置において、 プリチャージコマンド入力時の少なくとも一つ前のクロ
    ックサイクルがライト動作中であったか否かを判定し該
    判定結果を保持する手段と、 プリチャージコマンド入力時、前記判定結果に応じて、
    前記プリチャージコマンド入力時点からワード線をリセ
    ットするまでの時間を可変に制御する手段と、を備えた
    ことを特徴とするクロック同期型半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】クロック同期型半導体記憶装置において、 プリチャージコマンド入力時の少なくとも一つ前のクロ
    ックサイクルがライト動作中であったか否かを判定し該
    判定結果を保持する手段を備え、 プリチャージコマンド入力時、前記判定結果が、プリチ
    ャージコマンド入力時の少なくとも一つ前のクロックサ
    イクルがライト動作を示している場合には、プリチャー
    ジコマンド入力時点からワード線をリセットするまでに
    所定の遅延時間を設け、一方、前記判定結果が、プリチ
    ャージコマンド入力時の少なくとも一つ前のクロックサ
    イクルがライト動作でないことを示している場合には、
    前記プリチャージコマンド入力時点で直ちにワード線を
    リセットするように切替え制御する手段と、 を備えたことを特徴とするクロック同期型半導体記憶装
    置。
  6. 【請求項6】クロック同期型半導体記憶装置において、 プリチャージコマンド入力時の少なくとも一つ前のクロ
    ックサイクルがライトサイクルであり、且つ入力データ
    がマスク状態に設定されているか否かを判定し該判定結
    果を保持する手段を備え、 プリチャージコマンド入力時、前記判定手段の判定結果
    に応じて、プリチャージコマンド入力時点からワード線
    をリセットするまでに所定の遅延時間を挿入するか否か
    を切替え制御する手段を備えたことを特徴とするクロッ
    ク同期型半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】制御信号の組み合せからコマンドをデコー
    ドするコマンドデコーダと、 前記コマンドデコーダから出力されるプリチャージ信号
    と、バンクアクティブ信号とを入力して内部ロウアドレ
    スストローブ信号を生成出力する内部ロウアドレススト
    ローブ信号生成回路と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力しワード線
    のストローブタイミングを制御するためのワード線スト
    ローブ制御信号を生成出力するワード線タイミング調整
    回路と、を備え、 前記ワード線ストローブ制御信号がアクティブからイン
    アクティブ状態へ変化するとアクティブ状態とされてい
    たワード線がインアクティブ状態にリセットされる構成
    とされてなるクロック同期型半導体記憶装置において、 前記ワード線タイミング調整回路が、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力しこれを遅
    延させて出力する遅延手段と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号と、前記遅延手段
    からの遅延出力信号とを入力とし、一クロックサイクル
    前の内部ライトイネーブル信号の論理値に応じて、前記
    ワード線ストローブ制御信号のアクティブからインアク
    ティブ状態への遷移を遅延させるか否か制御する回路手
    段と、 を備え、 前記回路手段が、前記プリチャージコマンド入力時の一
    クロックサイクル前の前記内部ライトイネーブル信号の
    値がアクティブのときは、前記ワード線ストローブ制御
    信号のアクティブからインアクティブへの遷移のタイミ
    ングを、入力した前記内部ロウアドレスストローブ信号
    のアクティブからインアクティブへの遷移のタイミング
    に対して、前記遅延手段での遅延時間分遅延させたタイ
    ミングに設定し、 プリチャージコマンド入力時の一クロックサイクル前の
    前記内部ライトイネーブル信号の値がインアクティブの
    ときは、前記ワード線ストローブ制御信号のアクティブ
    からインアクティブへの遷移タイミングを、前記内部ロ
    ウアドレスストローブ信号のアクティブからインアクテ
    ィブへの遷移と同一のタイミングとするように切り替え
    制御する、 ことを特徴とするクロック同期型半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】制御信号の組み合せからコマンドをデコー
    ドするコマンドデコーダと、 前記コマンドデコーダから出力されるプリチャージ信号
    と、バンクアクティブ信号とを入力して内部ロウアドレ
    スストローブ信号を生成出力する内部ロウアドレススト
    ローブ信号生成回路と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力しワード線
    のストローブタイミングを制御するためのワード線スト
    ローブ制御信号を生成出力するワード線タイミング調整
    回路と、を備え、 前記ワード線ストローブ制御信号がアクティブからイン
    アクティブ状態へ変化するとアクティブ状態とされてい
    たワード線がインアクティブ状態にリセットされるクロ
    ック同期型半導体記憶装置において、 前記ワード線タイミング調整回路が、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力しこれを遅
    延させて出力する遅延回路と、 ライトバースト信号とデータマスク信号とを入力とし、
    前記ライトバースト信号がアクティブであり、且つ、前
    記データマスク信号がインアクティブとされ入力データ
    がマスクされていない状態である場合にのみ、内部クロ
    ック信号に同期してアクティブ信号を出力保持するラッ
    チ回路と、 前記遅延回路からの遅延出力信号の反転信号と、前記ラ
    ッチ回路の出力信号とを入力とし、前記ラッチ回路の出
    力信号がアクティブのとき、前記遅延回路からの遅延出
    力信号を出力し、一方、前記ラッチ回路の出力信号がイ
    ンアクティブのとき固定値を出力して前記遅延回路から
    の遅延出力信号をマスクする第1の論理回路と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号生成回路から出力
    される前記内部ロウアドレスストローブ信号と前記第1
    の論理回路からの出力信号とを入力し、前記第1の論理
    回路の出力信号の値に応じて、アクティブからインアク
    ティブへの遷移が前記内部ロウアドレスストローブ信号
    のアクティブからインアクティブへの遷移と同一のタイ
    ミングとされる信号を前記ワード線ストローブ制御信号
    として出力するか、もしくは、アクティブからインアク
    ティブへの遷移のタイミングが前記内部ロウアドレスス
    トローブ信号のアクティブからインアクティブへの遷移
    のタイミングから前記遅延手段での遅延時間分遅延させ
    てなる信号を前記ワード線ストローブ制御信号として出
    力する第2の論理回路と、 を備えたことを特徴とするクロック同期型半導体記憶装
    置。
  9. 【請求項9】プリチャージコマンド入力時の直前のクロ
    ックサイクルがライト動作でない場合には、ライトリカ
    バリ期間を2クロックサイクル、及び、プリチャージ期
    間を2クロックサイクルとし、 プリチャージコマンド入力時の直前のクロックサイクル
    がライト動作である場合には、ライトリカバリ期間を1
    クロックサイクル、及び、プリチャージ期間を3クロッ
    クサイクルとするように切替え制御する、ことを特徴と
    する請求項1乃至8のいずれか一に記載のクロック同期
    型半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】クロック同期型半導体記憶装置におい
    て、 バンクアクティブコマンド入力時の予め定められた所定
    クロックサイクル前の内部ロウアドレスストローブ信号
    がアクティブであるか否かの判定結果に基づき、バンク
    アクティブコマンドの入力時からワード線をアクティブ
    にするまでの時間を可変に制御する手段を備えたことを
    特徴とするクロック同期型半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】クロック同期型半導体記憶装置におい
    て、 バンクアクティブコマンド入力時の予め定められた所定
    クロックサイクルよりも前にプリチャージコマンドが入
    力されているものであるか否かを判定し、バンクアクテ
    ィブコマンド入力時の前記所定クロックサイクルよりも
    前にすでにプリチャージコマンドが入力されている場合
    には、バンクアクティブコマンド入力時に選択ワード線
    を直ちにアクティブとして、バンクアクティブコマンド
    入力時点からリードコマンド入力時までの間のRAS/
    CAS(ロウアドレスストローブ/カラムアドレススト
    ローブ)遅延期間(tRCD)を短縮し、 一方、バンクアクティブコマンド入力時の前記所定クロ
    ックサイクル前にプリチャージコマンドが入力される場
    合には、バンクアクティブコマンド入力時から所定の遅
    延時間遅らせて選択ワード線をアクティブとし、バンク
    アクティブコマンドからリードコマンド入力までのRA
    S/CAS遅延期間(tRCD)を延ばすように切り替
    え制御する手段を備えたことを特徴とするクロック同期
    型半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】バンクアクティブコマンド入力時の前記
    所定のクロックサイクル前の内部ロウアドレスストロー
    ブ信号がアクティブであるか否かを判定し該判定結果を
    前記所定のクロックサイクル後に出力する手段を備えた
    ことを特徴とする請求項10又は11記載のクロック同
    期型半導体記憶装置。
  13. 【請求項13】制御信号の組み合せからコマンドをデコ
    ードするコマンドデコーダと、 前記コマンドデコーダから出力されるプリチャージコマ
    ンド信号と、バンクアクティブ信号とを入力して内部ロ
    ウアドレスストローブ信号を生成出力する内部ロウアド
    レスストローブ信号生成回路と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力しワード線
    のストローブタイミングを制御するワード線ストローブ
    制御信号を生成出力するワード線タイミング調整回路
    と、を備え、 前記ワード線ストローブ制御信号がインアクティブから
    アクティブへ変化すると選択ワード線がアクティブ状態
    にセットされるクロック同期型半導体記憶装置におい
    て、 前記ワード線タイミング調整回路が、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力しこれを遅
    延させて出力する遅延手段と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力とし所定ク
    ロックサイクル前の前記内部ロウアドレスストローブ信
    号を出力するラッチ手段と、 前記ラッチ手段の出力信号と、前記遅延手段からの遅延
    出力信号とを入力とし、前記所定クロックサイクル前の
    前記内部ロウアドレスストローブ信号の値に応じて、前
    記内部ロウアドレスストローブ信号を前記遅延手段で遅
    延させた信号を通過させるか、又はマスクするかを制御
    する第1の回路手段と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号と前記第1の回路
    手段の出力とを入力し、所定クロックサイクル前の前記
    内部ロウアドレスストローブ信号がアクティブの時に
    は、インアクティブからアクティブ状態への遷移のタイ
    ミングが、前記内部ロウアドレスストローブ信号のイン
    アクティブからアクティブ状態への遷移のタイミングか
    ら前記遅延手段の遅延時間分遅延させてなる信号を前記
    ワード線ストローブ制御信号として出力することで前記
    ワード線のインアクティブからアクティブ状態への遷移
    を遅延させ、前記所定クロックサイクル前の前記内部ロ
    ウアドレスストローブ信号がインアクティブの時には、
    インアクティブからアクティブ状態への遷移のタイミン
    グが、前記内部ロウアドレスストローブ信号のインアク
    ティブからアクティブ状態への遷移のタイミングと同一
    の信号を前記ワード線ストローブ制御信号として出力す
    ることでワード線のインアクティブからアクティブへの
    遷移を遅延させないように制御する第2の回路手段と、 を備えたことを特徴とするクロック同期型半導体記憶装
    置。
  14. 【請求項14】制御信号の組み合せからコマンドをデコ
    ードするコマンドデコーダと、 前記コマンドデコーダから出力されるプリチャージコマ
    ンド信号と、バンクアクティブ信号とを入力して内部ロ
    ウアドレスストローブ信号を生成出力する内部ロウアド
    レスストローブ信号生成回路と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力しワード線
    のストローブタイミングを制御するワード線ストローブ
    制御信号を生成出力するワード線タイミング調整回路
    と、を備え、 前記ワード線ストローブ制御信号がインアクティブから
    アクティブへ変化すると選択ワード線がアクティブ状態
    にセットされるクロック同期型半導体記憶装置におい
    て、 前記ワード線タイミング調整回路が、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力する第1の
    遅延回路と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号を入力し内部クロ
    ック信号でラッチする第1のラッチ回路と、 前記第1のラッチ回路の出力を前記内部クロック信号で
    ラッチする第2のラッチ回路と、 前記第1の遅延回路からの遅延出力信号をインバータを
    介して反転した信号と前記第2のラッチ回路の出力信号
    とを入力とし前記第2のラッチ回路の出力信号がアクテ
    ィブのとき、前記第1の遅延回路前記遅延回路から前記
    インバータを介して出力される反転信号を反転出力し、
    前記第2のラッチ回路の出力信号がインアクティブのと
    き固定値を出力し前記インバータからの反転信号をマス
    クする第1の論理回路と、 前記内部ロウアドレスストローブ信号生成回路から出力
    される前記内部ロウアドレスストローブ信号と前記第1
    の論理回路からの出力信号を入力し、これらの否定論理
    和を出力する第2の論理回路と、 前記第2の論理回路の出力を入力しこれを遅延させて出
    力する第2の遅延回路と、 前記第2の論理回路の出力と前記第2の遅延回路との出
    力の否定論理和を出力する第3の論理回路と、を備えた
    ことを特徴とするクロック同期型半導体記憶装置。
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