JP2006128221A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 本発明は、ボード上にチップを実装しチップ間を配線した後の状態で、チップの入出力インターフェース部分において信号遅延を補正することにより、正常にデータを受信することが可能な半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 半導体装置は、入力データ信号が供給される外部端子に結合され、入力データ信号と内部クロック信号との相対的なタイミングを段階的に異ならせた複数の相対的ラッチタイミングで一方の信号を他方の信号に応じてラッチし、ラッチ結果に応じて最適な相対的タイミングを選択するタイミング補正回路と、タイミング補正回路に結合され最適な相対的ラッチタイミングで入力データ信号をラッチするラッチ回路を含む。
【選択図】 図1

Description

本発明は一般に半導体装置に関し、詳しくは外部から供給される信号をタイミング信号に応じて取り込む半導体装置に関する。
LSI(Large Scale Integrated Circuit:大規模集積回路)の半導体装置を設計する場合、製品仕様に従いセットアップ時間やホールド時間等を含むAC規格を予め規定しておき、設計段階においてCAD(Computer Aided Design)を用いたタイミング検証を行う。具体的には、設計対象の論理回路のレイアウトに基づいてタイミング検証を行い、問題が発見されると、タイミングに問題がある回路部分のレイアウトを変更する。レイアウト変更後に再びタイミング検証を行い、このタイミング検証でまた問題が発見されれば、問題がある回路部分のレイアウトを変更する。このようにタイミング検証及びレイアウト変更を繰り返すことによって、タイミング違反がなくなるように論理回路の設計を収束させる。
しかし半導体装置の動作速度が高速になるに伴い、AC規格に対して十分なマージンを確保することが難しくなっている。マージンが十分でない状態では、僅かな製品バラツキにより製品が不良となってしまうために、製品の歩留り率を上げることが難しくなる。
不良としてリジェクトされなかった製品であっても、データ信号を入出力するための入出力インターフェースには、製造ばらつきによる何らかの遅延変動が存在する。動作周波数が高い条件ではAC規格について十分なマージンが存在しないので、入出力インターフェースの遅延変動が存在すると、チップ間のデータ送受信において入力のセットアップ時間、ホールド時間、出力の最大遅延等の要件が満たされない場合が生じる。特にチップ間の配線経路の長さの違いによる信号の伝播時間の違いの影響や、1つの出力に複数のチップを接続することによる負荷の増大等の影響があると、チップ間のデータ送受信がうまくいかない場合がある。
以上を鑑みて本発明は、ボード上にチップを実装しチップ間を配線した後の状態で、チップの入出力インターフェース部分において信号遅延を補正することにより、正常にデータを受信することが可能な半導体装置を提供することを目的とする。
本発明による半導体装置は、入力データ信号が供給される外部端子に結合され、該入力データ信号と内部クロック信号との相対的なタイミングを段階的に異ならせた複数の相対的ラッチタイミングで一方の信号を他方の信号に応じてラッチし、該ラッチ結果に応じて最適な相対的タイミングを選択するタイミング補正回路と、該タイミング補正回路に結合され該最適な相対的ラッチタイミングで該入力データ信号をラッチするラッチ回路を含むことを特徴とする。
本発明の少なくとも1つの実施例によれば、入力データ信号と内部クロック信号との相対的なタイミング差を段階的に変化させて複数のタイミング関係を生成し、それら複数のタイミング関係におけるラッチ動作の結果に応じて最適なタイミング関係を選択する。これにより、入力データ信号と内部クロック信号との相対的なタイミングが最適な状態で、入力データをラッチする。この際、内部クロック信号を相対的に遅らせていくことで、十分なセットアップ時間を確保することが可能となるとともに、内部クロック信号を相対的に進めていくことで、十分なホールド時間を確保することが可能となる。これにより、ボード上にチップを実装しチップ間を配線した後において、チップの入出力インターフェース部分において信号遅延を補正して、正常なデータ受信を実現することができる。
以下に、本発明の実施例を添付の図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明による半導体装置の第1の実施例を示す図である。図1の例では、半導体記憶装置にアクセスして読み出したデータを受信するCPUやメモリコントローラ等のメモリドライバ装置を想定しているが、クロック信号に同期してデータを受信する機能が設けられる半導体装置であれば、如何なる種類の半導体装置であっても本発明を適用することが可能である。
図1の半導体装置10は、RAM制御部11、タイミング補正回路12、入力バッファ13、及びラッチ回路14を含む。半導体装置10は、半導体記憶装置(RAM)100に接続される。半導体装置10のRAM制御部11は、半導体記憶装置100にアドレス信号とリードイネーブル信号とを供給して、アドレス信号が示すアドレスからデータを読み出す。読み出されたデータは、データバスを介して半導体装置10の入力バッファ13に供給される。入力バッファ13は、受信した読み出しデータをタイミング補正回路12に供給するとともにラッチ回路14に供給する。ラッチ回路14は、例えば各ビット毎にクロック入力CKに応答してデータを取り込むフリップフロップにより構成される。
タイミング補正回路12は、RAM制御部11から供給されるバスクロック信号と入力バッファ13から供給される入力データ(RAM読み出しデータ)を受け取る。タイミング補正回路12は、入力データに応じてバスクロック信号のタイミングを補正することにより、ラッチ回路14のラッチ動作をトリガするための補正後クロック信号を生成する。補正後クロック信号はラッチ回路14にクロック入力CKとして供給される。
タイミング補正回路12は、遅延バッファ21乃至24、フリップフロップ25乃至28(遅延値格納レジスタ)、比較データ格納レジスタ29、比較器30、デコーダ31、及びセレクタ32を含む。遅延バッファ21乃至24は直列に接続される。先頭の遅延バッファ21にRAM制御部11から供給されるバスクロック信号が入力され、各遅延バッファによりバスクック信号が順次遅延されていく。各遅延バッファ21乃至24の出力は、遅延バスクロック信号1乃至4として、フリップフロップ25乃至28にそれぞれ供給される。
入力バッファ13から供給される入力データは、比較器30の一方の入力に供給される。比較器30のもう一方の入力には、比較データ格納レジスタ29が格納するデータが供給される。比較器30は、入力バッファ13からの入力データと比較データ格納レジスタ29からのデータとが一致すると、その出力をHIGHにする。比較データ格納レジスタ29には所定のデータを格納しておき、また半導体記憶装置100の所定のアドレスにはこの所定のデータを予め書き込んでおく。
半導体記憶装置100の所定のアドレスは、例えばアドレスに応じてデータ読み出しタイミングにバラツキが存在する場合には、最も読み出しタイミングが遅くなるアドレスであってよい。アドレスに関わらずデータ読み出しタイミングが一定である場合には、半導体装置10のクロック補正動作用に使用するアドレスを適宜選定して当該所定のアドレスとすればよい。
比較器30は、入力バッファ13からの入力データ、即ち半導体記憶装置100から読み出した読み出しデータが、期待したとおりのデータ(比較データ格納レジスタ29に格納されるデータ)であるか否かを判断する。両データが一致するタイミングは、入力データが期待したとおりのデータとして受信されたタイミングである。この両データが一致するタイミングにおいて、比較器30はその出力をHIGHにする。従って比較器30の出力のHIGHへの変化は、入力データが正常に受信されたタイミングを示すものであると考えることができる。
比較器30の出力は、フリップフロップ25乃至28のクロック入力CKに供給される。フリップフロップ25乃至28は、クロック入力CKの立ち上がりに応答して、遅延バッファ21乃至24から供給される遅延バスクロック信号1乃至4を取り込む。クロック入力CKの立ち上がりは、比較器30の出力のHIGHへの変化であるので、入力データが正常に受信されたタイミングで各遅延バスクロック信号を取り込んでいることになる。この結果、フリップフロップ25乃至28の出力信号は、入力データが正常に受信されたタイミングを反映したタイミング指示信号となる。
デコーダ31は、フリップフロップ25乃至28の出力であるタイミング指示信号を受け取り、それをデコードする。このデコード処理により、バスクロック信号及び遅延バスクロック信号1乃至4のうちで、入力データをラッチするために最適なタイミングを有したクロック信号を決定する。デコーダ31は、最適なクロック信号を示すデコード結果をセレクタ32に供給する。
セレクタ32は、バスクロック信号及び遅延バスクロック信号1乃至4を受け取るとともに、デコーダ31から最適なクロック信号を示すデコード結果を受け取る。セレクタ32は、デコード結果に基づいて、バスクロック信号及び遅延バスクロック信号1乃至4のうちで最適なクロック信号を選択して出力する。出力されたクロック信号は、補正後クロック信号としてラッチ回路14に供給される。
以降、半導体記憶装置100からの読み出しデータが半導体装置10に到来するたびに、入力バッファ13を経由して読み込まれる入力データを、ラッチ回路14により補正後クロック信号が示すタイミングでラッチする。これにより、半導体記憶装置100の出力タイミングの誤差・変動、半導体記憶装置100及び半導体装置10間の信号伝達経路の変動をタイミング補正回路12によるタイミング補正により吸収して、適正なタイミングで入力データを読み込むことが可能となる。
このようにして、タイミング検出及び補正処理を実行したいときに、半導体装置10から半導体記憶装置100の所定のアドレスの所定のデータを読み出すことで、タイミング補正回路12によりタイミング検出及び補正処理を実行する。これによりタイミング補正回路12のフリップフロップ25乃至28に遅延バスクロック信号が一度取り込まれると、フリップフロップ25乃至28の格納データはそのまま保持され、その後のメモリ読み出し動作においては適正タイミングの補正後クロック信号が一貫して使用されることになる。
なお比較器30において、常に入力データと比較データ格納レジスタ29との比較を行う構成とすると、読み出したデータが偶然に比較データ格納レジスタ29の格納データと一致すると、タイミング補正回路12によるタイミング検出及び補正処理がそのたびに実行されることになる。これを避けるためには、比較器30をイネーブル信号により比較動作のオン/オフを制御可能な比較器として構成すればよい。タイミング検出及び補正処理を実行したいときにはイネーブル信号をオンにし、それ以外の時にはイネーブル信号をオフに設定しておくことで余計なタイミング検出及び補正処理を避けることができる。
図2は、図1の半導体装置10の動作を説明するためのタイミング図である。(a)に示されるバスクロック信号に同期して、半導体装置10のRAM制御部11が(b)に示すアドレス信号を出力するとともに、(c)に示すリードイネーブル信号をアサート(LOWでアサート)する。これに応答して、半導体記憶装置100からデータが読み出されて半導体装置10の入力バッファ13で受信され、入力バッファ13から(d)に示す入力読み出しデータが比較器30及びラッチ回路14に供給される。比較器30は、期待されるデータと入力読み出しデータとが一致すると、(e)に示すようにその出力信号であるデータ比較結果をHIGHにアサートする。
図2の(f)乃至(i)には、遅延バッファ21乃至24により遅延され段階的に遅延量が増大する遅延バスクロック1乃至4が示される。例示されるように、遅延バスクロック1乃至4は、遅延バスクロック1が最も小さい遅延、遅延バスクロック4が最も大きい遅延を有し、遅延バスクロック1から遅延バスクロック4に向けて遅延が段階的に大きくなる。この遅延バスクロック1乃至4(図2(f)乃至(i))をデータ比較結果(図2(e))の立ち上がりのタイミングでフリップフロップ25乃至28に取り込む。フリップフロップ25乃至28の格納データが、タイミング指示信号として(j)に示される。図2の例では、データ比較結果の立ち上がりのタイミングにおいて、遅延バスクロック1乃至4はそれぞれ、HIGH、HIGH、LOW、LOWである。従って、タイミング指示信号はバイナリデータ“0011”となる。
図1を参照して説明したように、このタイミング指示信号をデコーダ31によりデコードすることにより、適正なタイミングの遅延バスクロック信号を選択する。図2の例では、(g)に示す遅延バスクロック信号2が最適なタイミングのクロック信号として選択される。選択されたクロック信号が補正後クロック信号として(k)に示される。
クロック選択について具体的に説明すると、データ比較結果の立ち上がりのタイミングにおいて、遅延バスクロック1乃至4はそれぞれ、HIGH、HIGH、LOW、LOWである。即ち、正常な入力データが受信されたタイミングにおいて、遅延バスクロック信号1及び2については既に立ち上がり済みであり、遅延バスクロック信号3及び4についてはまだ立ち上がっていない。ラッチ回路14はクロック入力CKの立ち上がりで入力データをラッチするので、遅延バスクロック信号3又は4をクロック入力CKとして用いれば、十分なセットアップ時間を確保して確実に入力データを取り込むことができる。またラッチ回路14がデータ入力とクロック入力CKとが同一タイミングであれば、問題なくデータ取り込み可能な回路構成であるとすると、図示の例の遅延バスクロック信号2を用いても入力データを取り込むことが可能である。
ラッチ用のクロック信号のタイミングを余り遅くすると、ホールド時間に問題が生じる可能性がある。従って、タイミング指示信号“0011”において“0”と“1”との境界の直前及び直後に位置する遅延バスクロック信号2及び遅延バスクロック信号3が、セットアップ時間及びホールド時間の両方を考慮したときに適切なタイミングのクロック信号であると考えられる。図2の例では、遅延バスクロック信号2及び遅延バスクロック信号3のうちで、タイミングが早いほうの遅延バスクロック信号2を適正なタイミングのクロックとして選択している。
図3は、本発明による半導体装置の第2の実施例を示す図である。図3の例では、半導体記憶装置にアクセスして読み出したデータを受信するCPUやメモリコントローラ等のメモリドライバ装置を想定しているが、クロック信号に同期してデータを受信する機能が設けられる半導体装置であれば、如何なる種類の半導体装置であっても本発明を適用することが可能である。第1の実施例では、セットアップ時間に着目してタイミングを調整する構成であったが、第2の実施例では、ホールド時間に着目してタイミングを調整する構成となっている。
図3の半導体装置10Aは、RAM制御部11、タイミング補正回路12A、入力バッファ13、及びラッチ回路14を含む。半導体装置10Aは、半導体記憶装置(RAM)100に接続される。半導体装置10AのRAM制御部11は、半導体記憶装置100にアドレス信号とリードイネーブル信号とを供給して、アドレス信号が示すアドレスからデータを読み出す。読み出されたデータは、データバスを介して半導体装置10Aの入力バッファ13に供給される。入力バッファ13は、受信した読み出しデータをタイミング補正回路12に供給する。
タイミング補正回路12は、RAM制御部11から供給されるクロック信号と入力バッファ13から供給される入力データ(RAM読み出しデータ)とを受け取る。タイミング補正回路12は、入力データとクロック信号との相対的なタイミング関係に基づいて入力データのタイミングを補正することにより、補正後入力データを生成する。補正後入力データはラッチ回路14に供給される。ラッチ回路14は、例えば各ビット毎にクロック入力CKに応答してデータを取り込むフリップフロップにより構成される。ラッチ回路14は、RAM制御部11からタイミング補正回路12Aに供給されたのと同一のクロック信号をクロック入力CKとして、タイミング補正回路12から供給される補正後入力データを取り込む。
タイミング補正回路12は、遅延バッファ41乃至44、フリップフロップ45乃至48(遅延値格納レジスタ)、デコーダ51、セレクタ52、及びデータ比較回路61乃至64を含む。データ比較回路61乃至64は各々同一の構成であり、比較データ格納レジスタ49及び比較器50を含む。遅延バッファ41乃至44は直列に接続される。先頭の遅延バッファ41に入力バッファ13から供給される入力データが入力され、各遅延バッファにより入力データが順次遅延されていく。各遅延バッファ41乃至44の出力は、遅延入力データ1乃至4として、データ比較回路61乃至64にそれぞれ供給される。
データ比較回路61乃至64の各々において、遅延入力データは比較器50の一方の入力に供給される。比較器50のもう一方の入力には、比較データ格納レジスタ49が格納するデータが供給される。比較器50は、遅延入力データと比較データ格納レジスタ49からのデータとが一致すると、その出力をHIGHにする。比較データ格納レジスタ49には所定のデータを格納しておき、また半導体記憶装置100の所定のアドレスにはこの所定のデータを予め書き込んでおく。
比較器50は、遅延入力データが、期待したとおりのデータ(比較データ格納レジスタ49に格納されるデータ)であるか否かを比較して判断する。比較された両データが一致する期間、比較器50はその出力をHIGHに設定する。従って、比較器50の出力である比較結果信号がHIGHである期間は、遅延入力データが正常な値である期間、即ちデータ有効期間を示すものであると考えることができる。
データ比較回路61乃至64のそれぞれの比較器50の出力である比較結果信号は、フリップフロップ45乃至48のデータ入力Dに供給される。フリップフロップ45乃至48のクロック入力CKには、RAM制御部11からのクロック信号が供給される。このクロック信号の立ち上がりに応答して、フリップフロップ45乃至48はデータ比較回路61乃至64から供給される比較結果信号を取り込む。データ比較回路61乃至64からの比較結果信号は、それぞれ異なる遅延量を有する遅延入力データにおいてデータ有効期間中のみHIGHになる信号であるので、このデータ有効期間中にクロック入力CKが立ち上がったフリップフロップにおいてのみ格納値がHIGHになる。この結果、フリップフロップ45乃至48の出力信号は、クロック信号で取り込み可能な遅延入力データのタイミングを反映したタイミング指示信号となる。
デコーダ51は、フリップフロップ45乃至48の出力であるタイミング指示信号を受け取り、それをデコードする。このデコード処理により、入力データ及び遅延入力データ1乃至4のうちで、クロック信号でラッチする対象として最適なタイミングを有したデータ信号を決定する。デコーダ51は、最適なデータ信号を示すデコード結果をセレクタ52に供給する。
セレクタ52は、入力データ及び遅延入力データ1乃至4を受け取るとともに、デコーダ51から最適なデータ信号を示すデコード結果を受け取る。セレクタ52は、デコード結果に基づいて、入力データ及び遅延入力データ1乃至4のうちで最適なデータ信号を選択して出力する。出力されたデータ信号は、補正後入力データとしてラッチ回路14に供給される。
以降、半導体記憶装置100からの読み出しデータが半導体装置10Aに到来するたびに、入力バッファ13を経由して読み込まれタイミング補正回路12Aによりタイミング補正された補正後入力データを、ラッチ回路14においてクロック入力CKの立ち上がりタイミングでラッチする。これにより、半導体記憶装置100の出力タイミングの誤差・変動、半導体記憶装置100及び半導体装置10A間の信号伝達経路の変動をタイミング補正回路12Aによるタイミング補正により吸収して、適正なタイミングで入力データを読み込むことが可能となる。
第1の実施例同様に、タイミング補正回路12Aのフリップフロップ45乃至48に遅延入力データが一度取り込まれると、フリップフロップ45乃至48の格納データはそのまま保持され、その後のメモリ読み出し動作においては適正タイミングの補正後入力データが一貫して使用されることになる。またデータ比較回路61乃至64においては、比較器50をイネーブル信号により比較動作のオン/オフを制御可能なように構成してある。タイミング検出及び補正処理を実行したいときにはイネーブル信号をオンにし、それ以外の時にはイネーブル信号をオフに設定しておくことで余計なタイミング検出及び補正処理を避けることができる。
図4は、図3の半導体装置10Aの動作を説明するためのタイミング図である。(a)に示されるクロック信号に同期して、半導体装置10AのRAM制御部11が(b)に示すアドレス信号を出力するとともに、(c)に示すリードイネーブル信号をアサート(LOWでアサート)する。これに応答して、半導体記憶装置100からデータが読み出されて半導体装置10Aの入力バッファ13で受信され、入力バッファ13から(d)に示す入力読み出しデータがタイミング補正回路12Aに供給される。
図4の(f)乃至(i)には、遅延バッファ41乃至44により遅延され段階的に遅延量が大きくなる遅延入力データ1乃至4が示される。例示されるように、遅延入力データ1乃至4は、遅延入力データ1が最も小さい遅延、遅延入力データ4が最も大きい遅延を有し、遅延入力データ1から遅延入力データ4に向けて遅延が段階的に大きくなる。この遅延入力データ1乃至4(図4(f)乃至(i))をクロック信号(図4(e))の立ち上がりのタイミングでフリップフロップ45乃至48に取り込む。フリップフロップ45乃至48の格納データが、タイミング指示信号として(j)に示される。図4の例では、データ比較結果の立ち上がりのタイミングにおいて、遅延入力データ1乃至4はそれぞれ、LOW、LOW、HIGH、HIGHとなる。従って、タイミング指示信号はバイナリデータ“1100”となる。
図3を参照して説明したように、このタイミング指示信号をデコーダ51によりデコードすることにより、適正なタイミングの遅延入力データを選択する。図4の例では、(g)に示す遅延入力データ信号2が最適なタイミングのデータ信号として選択される。選択されたデータ信号が補正後入力データとして(k)に示される。
データ信号選択について具体的に説明すると、クロック信号の立ち上がりのタイミングにおいて、遅延入力データ1乃至4はそれぞれ、LOW、LOW、HIGH、HIGHである。即ち、クロック信号が立ち上がるタイミングにおいて、遅延入力データ1及び2については既にデータ有効期間が終了しており、遅延入力データ3及び4についてはまだ有効期間中である。ラッチ回路14はクロック入力CKの立ち上がりで入力データをラッチするので、遅延入力データ信号3又は4をクロック入力CKとして用いれば、十分なホールド時間を確保して確実に入力データを取り込むことができる。またラッチ回路14がデータ有効期間終了とクロック入力CKとが同一タイミングであれば、問題なくデータ取り込み可能な回路構成であるとすると、図示の例の遅延入力データ2を用いても入力データを取り込むことが可能である。
ラッチ対象であるデータ信号のタイミングを余り遅くすると、セットアップ時間に問題が生じる可能性がある。従って、タイミング指示信号“1100”において“1”と“0”との境界の直前及び直後に位置する遅延入力データ2及び遅延入力データ3が、セットアップ時間及びホールド時間の両方を考慮したときに適切なタイミングのデータ信号であると考えられる。図4の例では、遅延入力データ2及び遅延入力データ3のうちで、タイミングが早いほうの遅延入力データ2を適正なタイミングのクロックとして選択している。
以上のようにして、本発明においては、他のチップからデータが到来したときに、タイミング補正回路により入力データ信号と内部クロック信号との相対的なタイミングを補正することにより、適切なタイミングで入力データをラッチに取り込むことが可能となる。この際、入力データ信号と内部クロック信号との相対的なタイミング差を段階的に変化させて複数のタイミング関係を生成し、それら複数のタイミング関係におけるラッチ動作の結果に応じて最適なタイミング関係を選択する。これにより、入力データ信号と内部クロック信号との相対的なタイミングが最適な状態で、入力データをラッチする。この際、内部クロック信号を相対的に遅らせていくことで、十分なセットアップ時間を確保することが可能となるとともに、内部クロック信号を相対的に進めていくことで、十分なホールド時間を確保することが可能となる。
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形が可能である。
本発明による半導体装置の第1の実施例を示す図である。 図1の半導体装置の動作を説明するためのタイミング図である。 本発明による半導体装置の第2の実施例を示す図である。 図3の半導体装置の動作を説明するためのタイミング図である。
符号の説明
11 RAM制御部
12 タイミング補正回路
13 入力バッファ
14 ラッチ回路
21〜24 遅延バッファ
25〜28 フリップフロップ
29 比較データ格納レジスタ
30 比較器
31 デコーダ
32 セレクタ
100 半導体記憶装置

Claims (9)

  1. 入力データ信号が供給される外部端子に結合され、該入力データ信号と内部クロック信号との相対的なタイミングを段階的に異ならせた複数の相対的ラッチタイミングで一方の信号を他方の信号に応じてラッチし、該ラッチ結果に応じて最適な相対的タイミングを選択するタイミング補正回路と、
    該タイミング補正回路に結合され該最適な相対的ラッチタイミングで該入力データ信号をラッチするラッチ回路
    を含むことを特徴とする半導体装置。
  2. 該タイミング補正回路は、
    該内部クロック信号を入力として該内部クロック信号を段階的に異なる遅延量で遅らせた複数の遅延クロック信号を出力する遅延回路と、
    該遅延回路及び該外部端子に結合され該入力データ信号に応じたタイミングで該複数の遅延クロック信号をラッチする遅延値格納レジスタと、
    該遅延値格納レジスタ及び該内部クロック信号及び該複数の遅延クロック信号に入力が結合され該遅延値格納レジスタの格納値に応じて該内部クロック信号及び該複数の遅延クロック信号のうちの1つを選択して出力するセレクタ回路
    を含み、該ラッチ回路は、該セレクタ回路から出力される該選択されたクロック信号が示すタイミングで該入力データ信号をラッチすることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  3. 該セレクタ回路は、該遅延値格納レジスタの格納値における0と1との間の境界位置に対応するクロック信号を該選択されたクロック信号として選択して出力することを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
  4. 該セレクタ回路は、該内部クロック信号及び該複数の遅延クロック信号のうちで必要最小限のセットアップ時間を有するクロック信号を該選択されたクロック信号として選択して出力することを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
  5. 所定のデータを格納する比較データ格納レジスタと、
    該比較データ格納レジスタと該外部端子とに結合され該所定のデータと該入力データ信号とが一致すると出力信号をアサートする比較器
    を更に含み、該遅延値格納レジスタは該比較器の該出力信号に応答して該複数の遅延クロック信号をラッチすることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
  6. 該タイミング補正回路は、
    該入力データ信号を入力として該入力データ信号を段階的に異なる遅延量で遅らせた複数の遅延データ信号を出力する遅延回路と、
    該遅延回路に結合され該内部クロック信号に応じたタイミングで該複数の遅延データ信号をラッチする遅延値格納レジスタと、
    該遅延値格納レジスタ及び該入力データ信号及び該複数の遅延データ信号に入力が結合され該遅延値格納レジスタの格納値に応じて該入力データ信号及び該複数の遅延データ信号のうちの1つを選択して出力するセレクタ回路
    を含み、該ラッチ回路は、該セレクタ回路から出力される該選択されたデータ信号を該内部クロック信号が示すタイミングでラッチすることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  7. 該セレクタ回路は、該遅延値格納レジスタの格納値における0と1との間の境界位置に対応するデータ信号を該選択されたデータ信号として選択して出力することを特徴とする請求項6記載の半導体装置。
  8. 該セレクタ回路は、該入力データ信号及び該複数の遅延データ信号のうちで必要最小限のホールド時間を有するデータ信号を該選択されたデータ信号として選択して出力することを特徴とする請求項6記載の半導体装置。
  9. 所定のデータを格納する比較データ格納レジスタと、
    該比較データ格納レジスタに第1の入力端が結合され該外部端子に第2の入力端が結合され該所定のデータと該第2の入力端のデータ信号とが一致すると出力信号をアサートする比較器
    を更に含み、該遅延値格納レジスタのデータ入力は該比較器の出力に結合されることを特徴とする請求項6記載の半導体装置。


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