JP2000315397A - 活性化された多数本のワード線が順次ディスエーブルされる半導体メモリ装置 - Google Patents

活性化された多数本のワード線が順次ディスエーブルされる半導体メモリ装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 活性化された多数本のワード線を順次ディス
エーブルさせる半導体メモリ装置を提供する。 【解決手段】 多数個のメモリセルを有するメモリセル
アレイ、及び多数個のメモリセルに接続された多数本の
ワード線WL0〜WLmを具備する半導体メモリ装置1
01において、外部より入力されるローアドレスAiを
プリデコーディングするプリデコーディング部111
と、その出力をデコーディングしてワード線の一部を選
択しそのワード線を活性化させるローデコーディング及
びワード線駆動ブロック131と、ローアドレスAi
と、プリデコーディング信号及び少制御信号を入力され
て出力信号を発生させると共に、ローアドレス及び前記
プリデコーディング信号に応答して出力信号をイネーブ
ルさせて、活性化された一部のワード線を順次ディスエ
ーブルさせる制御部121とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体メモリ装置に
係り、特に、活性化された多数本のワード線を順次ディ
スエーブルさせる半導体メモリ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体メモリ装置は、その製造
が終わるとバーンインストレス試験及び機能試験を受け
る。ここで、バーンインストレス試験は半導体メモリ装
置の信頼性を保障するために行われる。また機能試験は
半導体メモリ装置が定まった製品仕様内で正常に動作す
るかどうか試験するために行われる。バーンインストレ
ス試験時には、半導体メモリ装置に昇圧された電圧を印
加することによりストレスを与える。バーンインストレ
ス試験または機能試験時には、その試験時間の短縮化を
図るために多数本のワード線を同時に活性化させたり、
または多数本のワード線を逐次活性化させる方法を用い
る。
【0003】ところが、従来には、前記多数本のワード
線を活性化させてからプリチャージ動作中に前記活性化
された多数本のワード線を同時にディスエーブルさせて
いた。このように、活性化された多数本のワード線を同
時にディスエーブルさせると、多数本のワード線の"ハ
イ"レバルから"ロー"レベルへの遷移中にプリチャージ
ノイズが発生する。前記プリチャージノイズは、半導体
メモリ装置の動作に致命的な影響を及ぼす。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、活性
化された多数本のワード線のディスエーブル中に発生さ
れるプリチャージノイズを防止するようにした半導体メ
モリ装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、多数個のメモリセルを有するメモリセル
アレイ、及び前記多数個のメモリセルに接続された多数
本のワード線を具備する半導体メモリ装置であって、こ
の装置は、プリデコーディング部、ローデコーディング
及びワード線駆動ブロック及び制御部を具備する。プリ
デコーディング部は、外部より入力されるローアドレス
をプリデコーディングする。
【0006】ローデコーディング及びワード線駆動ブロ
ックは、前記プリデコーディング部及び前記多数本のワ
ード線と接続され、前記プリデコーディング部の出力の
プリデコーディング信号をデコーディングして前記多数
本のワード線の一部を選択し、前記選択された一部のワ
ード線を活性化させる。
【0007】制御部は、前記プリデコーディング部及
び、前記ローデコーディング及びワード線駆動部ブロッ
クと接続され、前記ローアドレス、前記プリデコーディ
ング信号及び少なくとも1つの制御信号を入力されて少
なくとも1つの出力信号を発生させ、前記ローアドレス
及び前記プリデコーディング信号に応答して前記少なく
とも1つの出力信号をイネーブルさせることにより、前
記活性化された一部のワード線を順次ディスエーブルさ
せる。本発明によると、活性化された多数本のワード線
が順次ディスエーブルされることにより、プリチャージ
ノイズが発生しなくなる。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明と本発明の動作上の利点及
び本発明の実施によって達成される目的を十分に理解す
るためには、本発明の好適な実施例を例示する添付図面
及び添付図面に記載された内容を参照しなければならな
い。以下、添付した図面に基づき本発明の好適な実施例
を詳細に説明する。図面において、同一の部材には同一
の符号を使用した。
【0009】図1を参照すると、本発明の好適な実施例
による半導体メモリ装置101は、プリデコーディング
部111、制御部121、ローデコーディング及びワー
ド線駆動ブロック131及びメモリセルアレイ141を
具備する。前記制御部121は第1〜第3ローデコーデ
ィング制御部151〜153及びワード線駆動制御部1
61を具備する。
【0010】前記プリデコーディング部111はローア
ドレスAiを入力され、これらをプリデコーディングし
てプリデコーディング信号DRAijを出力する。図2
を参照すると、前記プリデコーディング部111は、第
1〜第5プリデコーダ211〜215を具備する。前記
第1〜第5プリデコーダ211〜215はそれぞれ複数
個のローアドレスビットRA0〜RA11を入力され、
第1〜第5プリデコーディング信号DRA01、DRA
234、DRA56、DRA78、DRA91011を
出力する。ここで、前記第1〜第5プリデコーディング
信号DRA01、DRA234、DRA56、DRA7
8、DRA91011は、1つのプリデコーディング信
号DRAijにて表わされる。第1〜第5プリデコーダ
211〜215は、前記半導体メモリ装置101の特性
に応じてその数が可変できる。例えば、前記ローアドレ
スビットRA0〜RA11を3組1群にして4つのプリ
デコーダを構成したり、あるいは前記ローアドレスビッ
トRA0〜RA11を2組1群にして6つのプリデコー
ダを構成することができる。さらに、前記第1〜第5プ
リデコーダ211〜215は、前記ローアドレスAiを
構成するローアドレスビットRA0〜RA11の数に応
じてもその数が可変できる。例えば、前記ローアドレス
ビットの数が増大すると、すなわち、前記半導体メモリ
装置101のメモリ容量が高まると、プリデコーダの数
は増大される。これに対し、ローアドレスビットの数が
減少すると、すなわち、前記半導体メモリ装置101の
メモリ容量が低まると、プリデコーダの数は減少され
る。
【0011】前記第1ローデコーディング制御部151
はローアドレスAiまたは高電圧のローアドレスAi
(図4)、モードレジスターセット信号PMRS、活性
化信号ACT及びプリチャージ信号PREを入力されて
第1及び第2ワード線制御信号WLOFF、WLOFF
Dを出力する。この第2ワード線制御信号WLOFFD
は、前記第1ワード線制御信号WLOFFが所定時間遅
延された信号である。図3を参照すると、本発明の第1
実施例による第1ローデコーディング制御部151は伝
送ゲート311、NMOSトランジスタ321、ラッチ
回路331、NORゲート341、342及び遅延器3
51を具備する。
【0012】前記伝送ゲート311はローアドレスAi
を入力され、モードレジスターセット信号PMRSによ
ってゲートされてローアドレスAiを出力する。すなわ
ち、モードレジスターセット信号PMRSが論理"ハイ"
にイネーブルされると、前記伝送ゲート311はローア
ドレスAiを通過させてラッチ回路に伝達し、モードレ
ジスターセット信号PMRSが論理"ロー"にディスエー
ブルされると、ローアドレスAiを遮断する。前記モー
ドレジスターセット信号PMRSは、主として同期式D
RAM半導体装置に組み込まれるモードレジスターにて
発生される。前記伝送ゲート311に入力されるローア
ドレスAiはメモリセルアレイ141に具備されるメモ
リセルを指定するためのアドレス信号ではなく、第1ワ
ード線制御信号WLOFFを発生させるための特定ロー
アドレスキー信号である。
【0013】前記NMOSトランジスタ321は、プリ
チャージ信号PREによってゲートされる。すなわち、
プリチャージ信号PREが論理"ハイ"にイネーブルされ
ると前記NMOSトランジスタ321はオンされ、プリ
チャージ信号PREが論理"ロー"にディスエーブルされ
るとNMOSトランジスタ321はオフされる。NMO
Sトランジスタ321がオンされると伝送ゲート311
の出力は接地電圧Vssレベルに下がり、NMOSトラ
ンジスタ321がオフされると伝送ゲート311の出力
はそのままラッチ回路331に送られる。プリチャージ
信号PREは、前記半導体メモリ装置101の待ち状態
時にイネーブルされる。
【0014】ラッチ回路331は、一度入力された伝送
ゲート311の出力を反転させてこれを継続して出力す
る。ラッチ回路331は、伝送ゲート311からの信号
の電圧レベルが変わらない限り、同じ信号を継続して出
力する。すなわち、伝送ゲート311の出力信号が一瞬
論理"ロー"であったなら、ラッチ回路331は継続して
論理"ハイ"を出力し、この状態は、伝送ゲート311の
出力が止まった場合にも続く。そして、伝送ゲート31
1の出力が論理"ハイ"にならない限り、ラッチ回路33
1は継続して論理"ハイ"を出力する。
【0015】NORゲート341は、活性化信号ACT
及びNORゲート342の出力を否定論理和して出力す
る。NORゲート342は、ラッチ回路331の出力及
びNORゲート341の出力を否定論理和して第1ワー
ド線制御信号WLOFFを出力する。遅延器351は、
第1ワード線制御信号WLOFFを入力され、これを所
定時間遅延させて第2ワード線制御信号WLOFFDを
出力する。遅延器351は偶数個のインバータで構成さ
れ、前記偶数個のインバータ数に応じて前記所定の遅延
時間が変わる。すなわち、前記偶数個のインバータ数が
増大すると、前記所定の遅延時間も増大する。NORゲ
ート341、342は各種の論理回路にて構成できる。
図4を参照すると、本発明の第2実施例による第1ロー
デコーディング制御部151は、NMOSトランジスタ
チェーン411、NMOSトランジスタ421、インバ
ータ431、432、フリップフロップ441、NOR
ゲート451、452及び遅延器461を具備する。
【0016】NMOSトランジスタチェーン411は直
列接続された多数個のNMOSトランジスタで構成さ
れ、個々のゲート及びドレインが相互接続してダイオー
ドの機能をする。従って、ローアドレスAiが高電圧に
入力される場合、ローアドレスAiはNMOSトランジ
スタチェーン411通過中に所定レベルに降圧されてイ
ンバータ431に印加される。NMOSトランジスタチ
ェーン411を構成するNMOSトランジスタが多数で
あればローアドレスAiの降圧の度合いが大きく、少数
であれば降圧の度合いが小さい。NMOSトランジスタ
チェーン411に入力されるローアドレスAiは、メモ
リセルアレイ(図1の141)に具備されるメモリセル
を指定するためのアドレス信号ではなく、第1ワード線
制御信号WLOFFを発生させるための特定ローアドレ
スキー信号である。
【0017】このとき、前記NMOSトランジスタチェ
ーン411に印加されるローアドレスAiの電圧は、外
部より半導体メモリ装置101に印加される電源電圧V
ccより遥かに高電圧である。図4には、NMOSトラ
ンジスタチェーン411を構成するNMOSトランジス
タ数が5であるから、ローアドレスAiの電圧はVcc
+5Vtnである。Vtnは、NMOSトランジスタチ
ェーン411に具備されるNMOSトランジスタのしき
い電圧である。ここでは、NMOSトランジスタチェー
ン411を構成する各NMOSトランジスタのしきい電
圧が同一と仮定する。従って、前記NMOSトランジス
タのしきい電圧を0.7V、且つ半導体メモリ装置に印
加される外部電源電圧を5Vとするとき、NMOSトラ
ンジスタチェーン411に印加されるローアドレスは
8.5Vとなる。このように、NMOSトランジスタチ
ェーンを具備することにより、Vcc+5Vtnよりも
低い任意の外部電圧によって第1ローデコーディング制
御部151が活性化されることが防止される。
【0018】NMOSトランジスタ421は、高電圧制
御信号C1によって制御される。すなわち、高電圧制御
信号C1が論理"ハイ"時にNMOSトランジスタ421
はオンされるので、インバータ431の入力は接地電圧
Vssレベルに下がり、高電圧制御信号C1が論理"ロ
ー"時にNMOSトランジスタ421はオフされるの
で、NMOSトランジスタチェーン411の出力がその
ままインバータ431に入力される。インバータ432
は、プリチャージ信号PREを反転させる。フリップフ
ロップ441は、インバータ431、432の出力を入
力され、これにより一定の電圧レベルを継続して出力す
る。すなわち、フリップフロップ441はプリチャージ
信号PREが論理"ハイ"時には論理"ハイ"を継続して出
力し、プリチャージ信号PREが論理"ロー"時にはイン
バータ431の出力に応じてその出力が決定される。
【0019】NORゲート451は、活性化信号ACT
及びNORゲート452の出力を否定論理和して出力す
る。NORゲート452は、フリップフロップ441の
出力及びNORゲート451の出力を否定論理和し、そ
の否定論理和の結果を第1ワード線制御信号WLOFF
として出力する。遅延器461は、第1ワード線制御信
号WLOFFを入力され、これを所定時間遅延させて第
2ワード線制御信号WLOFFDを出力する。遅延器4
61は偶数個のインバータで構成され、前記偶数個のイ
ンバータ数に応じて前記所定の遅延時間が変わる。NO
Rゲート451、452及びフリップフロップ441
は、各種の論理回路にて構成できる。
【0020】第2ローデコーディング制御部152は、
プリデコーディング部111、第1ローデコーディング
制御部151及びローデコーディング及びワード線駆動
ブロック131に接続される。第2ローデコーディング
制御部152は、プリデコーディング信号DRAij及
び第1ワード線制御信号WLOFFを入力されてワード
線イネーブル信号WLEを出力する。図5を参照する
と、第2ローデコーディング制御部152はNORゲー
ト511及びインバータ521を具備する。NORゲー
ト511は、プリデコーディング信号DRA91011
及び第1ワード線制御信号WLOFFを入力されてこれ
らを否定論理和する。インバータ521は、NORゲー
ト511の出力を反転させてワード線イネーブル信号W
LEとして出力する。プリデコーディング信号DRA9
1011は、プリデコーディング部111に入力される
ローアドレスAiを構成する多数個のローアドレスビッ
ト中、メモリセルアレイ141の多数個のメモリブロッ
クの一部を選択する上位ビットがプリデコーディングさ
れて出力されるプリデコーディング信号である。
【0021】第3ローデコーディング制御部153は、
プリデコーディング部111、第1ローデコーディング
制御部151及びローデコーディング及びワード線駆動
ブロック131に接続され、プリデコーディング信号D
RAij及び第1ワード線制御信号WLOFFを入力さ
れてブロック選択信号BLSiを出力する。図6を参照
すると、第3ローデコーディング制御部153は、イン
バータ611、612、インバータチェーン621及び
NANDゲート631を具備する。インバータ611
は、第1ワード線制御信号WLOFFを反転させる。イ
ンバータチェーン621は、第1ワード線制御信号WL
OFFを反転させ且つこれを所定時間遅延させる。イン
バータチェーン621は奇数個のインバータで構成さ
れ、前記奇数個のインバータ数に応じて前記所定の遅延
時間が変わる。NANDゲート631は、プリデコーデ
ィング信号DRA91011、インバータ611の出力
及びインバータチェーン621の出力を入力されてこれ
らを否定論理積する。インバータ612は、NANDゲ
ート631の出力を反転させてブロック選択信号BLS
iを出力する。プリデコーディング信号DRA9101
1は、第2ローデコーディング制御部152に入力され
るプリデコーディング信号DRA91011と同じ信号
である。
【0022】ワード線駆動制御部161は、プリデコー
ディング部111、第1ローデコーディング制御部15
1及びローデコーディング及びワード線駆動ブロック1
31に接続され、プリデコーディング信号DRAij及
び第2ワード線制御信号WLOFFDを入力されてワー
ド線駆動信号PXiを出力する。ワード線駆動信号PX
iはワード線WLiを高電圧に駆動するための信号であ
って、ワード線駆動信号PXiの"ハイ"レバルは半導体
メモリ装置101の電源電圧Vccよりも高い。図7を
参照すると、ワード線駆動制御部161は、NANDゲ
ート711、712、インバータ721〜724及び差
動増幅器731を具備する。
【0023】NANDゲート711は、プリデコーディ
ング信号DRA01、DRA91011を入力されてこ
れらを否定論理積する。インバータ721は、第2ワー
ド線制御信号WLOFFDを反転させる。NANDゲー
ト712は、NANDゲート711の出力及びインバー
タ721の出力を否定論理積する。インバータ722は
NANDゲート712の出力を反転させ、インバータ7
23はインバータ722の出力を反転させる。
【0024】差動増幅器731はインバータ722、7
23の出力を入力されてこれらの間の電圧差を増幅す
る。すなわち、インバータ722の出力が論理"ハイ"時
にNMOSトランジスタ741がオンされるので、ノー
ドN1は接地電圧Vssレベルに下がる。すると、PM
OSトランジスタ752はオンされ、差動増幅器731
は昇圧電圧Vppを出力する。これに対し、インバータ
722の出力が論理"ロー"時にインバータ723の出力
が論理"ハイ"となる。すると、NMOSトランジスタ7
42はオンされ、差動増幅器731は接地電圧Vssを
出力する。NMOSトランジスタ742がオンされる
と、PMOSトランジスタ751はオンされPMOSト
ランジスタ752はオフされるので、差動増幅器731
は継続して論理"ロー"を出力する。
【0025】インバータ724は差動増幅器731の出
力を反転させてワード線駆動信号PXiを出力する。イ
ンバータ724に印加される電源電圧は昇圧電圧Vpp
である。従って、インバータ724は、差動増幅器73
1の出力が論理"ロー"時にワード線駆動信号PXiを昇
圧電圧Vppとして出力する。このように、第2ワード
線制御信号WLOFFDが論理"ハイ"、或いはプリデコ
ーディング信号DRA01、DRA91011共に論
理"ハイ"時にワード線駆動信号PXiは昇圧電圧Vpp
として出力される。これに対し、第2ワード線制御信号
WLOFFDが論理"ロー"で、且つプリデコーディング
信号DRA01、DRA91011のいずれかが論理"
ロー"時には、ワード線駆動信号Pxiは接地電圧Vs
sとして出力される。
【0026】ローデコーディング及びワード線駆動ブロ
ック131は、プリデコーディング部111、第1〜第
3ローデコーディング制御部151〜153及びワード
線駆動制御部161に接続される。ローデコーディング
及びワード線駆動ブロック131はプリデコーディング
信号DRAij、ワード線イネーブル信号WLE、ブロ
ック選択信号BLSi、ワード線駆動信号PXi及び第
2ワード線制御信号WLOFFDを入力され、これらの
信号に応答してワード線WL0〜WLmを制御する。
【0027】図8を参照すると、ローデコーディング及
びワード線駆動ブロック131は、第1〜第nローデコ
ーダ及びワード線ドライバRD1〜RDnを具備する。
第1〜第nローデコーダ及びワード線ドライバRD1〜
RDnは、それぞれプリデコーディング信号DRAi
j、ワード線イネーブル信号WLE、ブロック選択信号
BLSi、ワード線駆動信号PXi及び第2ワード線制
御信号WLOFFDを入力されてそれぞれ4本のワード
線を制御する。第1〜第nローデコーダ及びワード線ド
ライバRD1〜RDnのそれぞれは、その構成及び動作
が全く同様なため、説明の重複を避けるために第1ロー
デコーダ及びワード線ドライバRD1についてのみ説明
する。
【0028】図9を参照すると、第1ローデコーダ及び
ワード線ドライバRD1は、ローデコーダ911及び第
1〜第4ワード線ドライバWD1〜WD4を具備する。
第1〜第4ワード線ドライバWD1〜WD4のそれぞれ
は、その構成及び動作が全く同様なため、説明の重複を
避けるために第1ワード線ドライバWD1についてのみ
説明する。第1ワード線ドライバWD1は、ラッチ回路
921、パストランジスタ931及び出力ドライバ94
1を具備する。
【0029】ローデコーダ911は、NMOSトランジ
スタ951〜955及びPMOSトランジスタ961を
具備する。NMOSトランジスタ951は、第2ワード
線制御信号WLOFFDによってゲートされる。すなわ
ち、第2ワード線制御信号WLOFFDが論理"ハイ"に
イネーブルされるとNMOSトランジスタ951はオン
されるるので、ノードN4は電源電圧Vccレベルに上
がる。NMOSトランジスタ952は、ブロック選択信
号BLSiによってゲートされる。すなわち、ブロック
選択信号BLSiが論理"ハイ"にイネーブルされるとN
MOSトランジスタ952はオンされるので、ノードN
3は接地電圧Vssレベルに下がる。PMOSトランジ
スタ961は、ワード線イネーブル信号WLEによって
ゲートされる。すなわち、ワード線イネーブル信号WL
Eが論理"ロー"になるとPMOSトランジスタ961は
オンされるので、ノードN4は電源電圧Vccレベルに
上がり、ワード線イネーブル信号WLEが論理"ハイ"に
なるとPMOSトランジスタ961はオフされるので、
ノードN4の電圧レベルはNMOSトランジスタ951
〜955に応じて決定される。
【0030】NMOSトランジスタ953〜955は、
各々プリデコーディング信号DRA234、DRA5
6、DRA78によってゲートされる。すなわち、プリ
デコーディング信号DRA234、DRA56、DRA
78がいずれも論理"ハイ"にイネーブルされるとNMO
Sトランジスタ953〜955はいずれもオンされるの
で、ノードN4はノードN3の電圧レベルに近づく。
【0031】ローデコーダ911は、プリデコーディン
グ信号DRA234、DRA56、DRA78及びブロ
ック選択信号BLSiがいずれもイネーブルされると接
地電圧Vssを出力し、プリデコーディング信号DRA
234、DRA56、DRA78またはブロック選択信
号BLSiのいずれかがディスエーブルされ、且つワー
ド線イネーブル信号WLEが論理"ロー"にイネーブルさ
れると電源電圧Vccを出力する。もし、ワード線イネ
ーブル信号WLE及びブロック選択信号BLSi共にデ
ィスエーブルされ、第2ワード線制御信号WLOFFD
及びプリデコーディング信号DRA234、DRA5
6、DRA78がいずれもイネーブルされるとノードN
3はVCC-Vtnに上がり、ノードN4はラッチ回路
921によって電源電圧Vccレベルに上がる。ここ
で、VtnはNMOSトランジスタ953〜955のし
きい電圧である。ここで、NMOSトランジスタ953
〜955のそれぞれのしきい電圧は全く同様であると仮
定する。
【0032】図9には、ローデコーダ911に入力され
るプリデコーディング信号DRA234、DRA56、
DRA78が3個に示されているが、その構造はいろい
ろと可変できる。例えば、プリデコーディング信号DR
A234、DRA56、DRA78の内2つのプリデコ
ーディング信号DRA56、DRA78のみが使用で
き、あるいは4つのプリデコーディング信号DRA0
1、DRA234、DRA56、DRA78の全てが使
用できる。もし、2つのプリデコーディング信号DRA
56、DRA78のみを使用する場合、一括に活性化ま
たはディスエーブルされるワード線は多数となる。この
ときには、1つのローデコーダ及びワード線ドライバに
接続されるワード線も多数となる。もし、4つのプリデ
コーディング信号DRA01、DRA234、DRA5
6、DRA78を全て使用する場合、一括に活性化また
はディスエーブルされるワード線は1つだけである。こ
のとき、1つのローデコーダ及びワード線ドライバには
1本のワード線のみが接続される。
【0033】ローデコーダ911の出力はラッチ回路9
21によって反転且つ保存される。そしてラッチ回路9
21の出力はパストランジスタ931を介して出力ドラ
イバ941に印加される。出力ドライバ941は、NM
OSトランジスタ971、972を具備する。NMOS
トランジスタ971はパストランジスタ931の出力に
よってゲートされ、そのドレインにワード線駆動信号P
Xiが印加される。NMOSトランジスタ972はロー
デコーダ911の出力によってゲートされる。ノードN
5にワード線WL0が接続される。
【0034】このように、パストランジスタ931の出
力が論理"ハイ"時にNMOSトランジスタ971がオン
されるので、ワード線WL0はワード線駆動信号PXi
によって昇圧電圧Vppに活性化される。これに対し、
ローデコーダ911の出力が論理"ハイ"時にNMOSト
ランジスタ971はオフされNMOSトランジスタ97
2はオンされるので、ワード線WL0は接地電圧Vss
レベルに下がる。すなわち、ワード線WL0はディスエ
ーブルされる。メモリセルアレイ141には多数本のワ
ード線WL0〜WLmが具備され、前記多数本のワード
線WL0〜WLmに多数個のメモリセル(図示せず)が
接続される。
【0035】図10は、前記図1に示された信号のタイ
ミング図である。図10に基づき図1〜図9に示された
半導体メモリ装置101の動作について説明する。ワー
ド線イネーブルモード中に多数本のワード線WL0〜W
Lmが活性化される。活性化されたワード線WL0〜W
Lmを順次ディスエーブルさせるために、まず、モード
レジスターセット信号PMRS及びローアドレスキー信
号Aiを論理"ハイ"にイネーブルさせる。すると、伝送
ゲート(図3の311)がオンされるのでラッチ回路
(図3の331)の入力は論理"ハイ"となる。このと
き、プリチャージ信号PRE は論理"ロー"であるか
ら、NMOSトランジスタ(図3の321)はオフされ
た状態である。次に、活性化信号ACTが論理"ハイ"に
イネーブルされると、NORゲート(図3の341)は
論理"ハイ"を出力する。すなわち、第1ローデコーディ
ング制御部151は、第1及び第2ワード線制御信号W
LOFF及びWLOFFDを論理"ハイ"にイネーブルさ
せる。これにより、ブロック選択信号BLSiは論理"
ロー"にディスエーブルされ、ワード線イネーブル信号
WLEは論理"ハイ"にディスエーブルされる。第2ワー
ド線制御信号WLOFFD及びワード線イネーブル信号
WLEは論理"ハイ"で、且つブロック選択信号BLSi
は論理"ロー"であるから、図9のNMOSトランジスタ
951はオンされ、NMOSトランジスタ952及びP
MOSトランジスタ961はオフされる。この状態で、
プリデコーディング信号DRA234、DRA56、D
RA78がいずれも論理"ハイ"になると、ノード(図9
のN4)は電源電圧Vccレベルに上がる。ノードN4
が電源電圧Vccレベルになると、NMOSトランジス
タ971はオフされ、NMOSトランジスタ972はオ
ンされる。これにより、ワード線WL0はディスエーブ
ルされる。すなわち、ローアドレスAiによって指定さ
れたワード線がディスエーブルされる。ローアドレスA
iが可変されると、これに対応するワード線がディスエ
ーブルされる。
【0036】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によると、ロ
ーアドレスAiが可変されると、これに対応するワード
線が順次ディスエーブルされる。また、活性化されたワ
ード線が順次ディスエーブルされるので、半導体メモリ
装置101にはプリチャージノイズが発生しなくなる。
【0037】図面及び明細書には最適の実施例が開示さ
れている。ここで、特定の用語が使われたが、これは単
に本発明を説明するための目的で使われたものであっ
て、意味限定や請求範囲に記載された本発明の範囲を制
限するものではない。よって、本技術分野の通常の知識
を有した者にとってこれより様々な変形及び他の実施例
が可能なのは言うまでもない。よって、本発明の真の技
術的保護範囲は請求範囲の技術的思想によって定まるべ
きである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の好適な実施例による半導体メモリ装
置の概略ブロック図である。
【図2】 図1に示されたプリデコーディング部の回路
図である。
【図3】 図1に示された第1ローデコーディング制御
部を本発明の第1実施例に従い示した回路図である。
【図4】 図1に示された第1ローデコーディング制御
部を本発明の第2実施例に従い示した回路図である。
【図5】 図1に示された第2ローデコーディング制御
部の回路図である。
【図6】 図1に示された第3ローデコーディング制御
部の回路図である。
【図7】 図1に示されたワード線駆動部の回路図であ
る。
【図8】 図1に示されたローデコーディング及びワー
ド線駆動ブロックのブロック図である。
【図9】 図8に示された第1ローデコーダ及びワード
線ドライバの回路図である。
【図10】 図1に示された信号のタイミング図であ
る。
【符号の説明】
101・・・半導体メモリ装置 121・・・制御部 ACT・・・活性化信号 Ai・・・ローアドレス BLSi・・・ブロック選択信号 DRAij・・・プリデコーディング信号 PXi・・・ワード線駆動信号 PMRS・・・モードレジスタセット信号 PRE・・・プリチャージ信号 WL0〜WLm・・・ワード線 WLOFF、WLOFFD・・・第1、第2ワード線制
御信号 WLE・・・ワード線イネーブル信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11C 11/401 G11C 11/34 341D 17/00 354D 16/06 362S 371A 17/00 633A

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多数個のメモリセルを有するメモリセル
    アレイ、及び前記多数個のメモリセルに接続された多数
    本のワード線を具備する半導体メモリ装置において、 外部より入力されるローアドレスをプリデコーディング
    してプリデコーディング信号を出力するプリデコーディ
    ング部と、 前記プリデコーディング部及び前記多数本のワード線と
    接続され、前記プリデコーディング信号をデコーディン
    グして前記多数本のワード線の一部を選択し、前記選択
    された一部のワード線を活性化させるローデコーディン
    グ及びワード線駆動ブロックと、 前記プリデコーディング部及び、前記ローデコーディン
    グ及びワード線駆動部ブロックと接続され、前記ローア
    ドレスと、前記プリデコーディング信号及び少なくとも
    1つの制御信号を入力されて少なくとも1つの出力信号
    を発生させると共に、前記ローアドレス及び前記プリデ
    コーディング信号に応答して前記少なくとも1つの出力
    信号をイネーブルさせて、前記活性化された一部のワー
    ド線を順次ディスエーブルさせる制御部と、を具備する
    ことを特徴とする半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】 前記少なくとも1つの制御信号は、前記
    半導体メモリ装置の動作モードを制御するモードレジス
    ターセット信号であることを特徴とする請求項1に記載
    の半導体メモリ装置。
  3. 【請求項3】 前記少なくとも1つの制御信号は、前記
    半導体メモリ装置の電源電圧より高電圧を有することを
    特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  4. 【請求項4】 前記制御部は、前記半導体メモリ装置の
    プリチャージモードを制御するプリチャージ信号を入力
    され、前記プリチャージ信号がイネーブルされると、前
    記少なくとも1つの出力信号をディスエーブルさせて前
    記半導体メモリ装置をプリチャージモードに動作させる
    ことを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  5. 【請求項5】 前記制御部は、 前記ローアドレス、モードレジスターセット信号、プリ
    チャージ信号及び活性化信号を入力されて第1及び第2
    ワード線制御信号を出力させ、前記プリチャージ信号が
    ディスエーブルされた状態で前記モードレジスターセッ
    ト信号及び前記活性化信号がイネーブルされると前記第
    1及び第2ワード線制御信号をイネーブルさせ、前記プ
    リチャージ信号がイネーブルされると前記第1及び第2
    ワード線制御信号をディスエーブルさせる第1ローデコ
    ーディング制御部と、 前記第1ローデコーディング制御部、前記プリデコーデ
    ィング部及び、前記ローデコーディング及びワード線駆
    動ブロックに接続され、前記第1ワード線制御信号及び
    前記プリデコーディング信号に応答して前記ワード線イ
    ネーブル信号を前記ローデコーディング及びワード線駆
    動ブロックに供給する第2ローデコーディング制御部
    と、 前記第1ローデコーディング制御部、前記プリデコーデ
    ィング部及び、前記ローデコーディング及びワード線駆
    動ブロックに接続され、前記第1ワード線制御信号及び
    前記プリデコーディング信号に応答してブロック選択信
    号を前記ローデコーディング及びワード線駆動ブロック
    に供給する第3ローデコーディング制御部と、 前記第1ワード線制御信号及び前記プリデコーディング
    信号を入力され、それに応答してワード線駆動信号を前
    記ローデコーディング及びワード線駆動ブロックに供給
    するワード線駆動制御部と、を具備することを特徴とす
    る請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  6. 【請求項6】 前記第2ワード線制御信号は、前記第1
    ワード線制御信号より所定時間遅延されることを特徴と
    する請求項5に記載の半導体メモリ装置。
  7. 【請求項7】 前記第1ローデコーディング制御部は、 前記モードレジスタセット信号に応答して前記ローアド
    レスを伝送する伝送ゲートと、 前記伝送ゲートの出力及び前記活性化信号に対して論理
    動作を行い前記第1ワード線制御信号を出力するロジッ
    ク回路と、 前記伝送ゲートと前記ロジック回路との間に接続され、
    前記プリチャージ信号によってゲートされ、前記プリチ
    ャージ信号に応答して前記伝送ゲートの出力を前記ロジ
    ック回路に伝送するトランジスタと、 前記第1ワード線制御信号を所定時間遅延させて前記第
    2ワード線制御信号を出力する遅延回路とを具備するこ
    とを特徴とする請求項5に記載の半導体メモリ装置。
  8. 【請求項8】 前記第1ローデコーディング制御部は、 前記半導体メモリ装置への印加電源電圧よりも高電圧の
    ローアドレス、プリチャージ信号及び活性化信号を入力
    されて前記第1及び第2ワード線制御信号を出力し、前
    記プリチャージ信号がディスエーブルされた状態で前記
    高電圧のローアドレスが印加され前記活性化信号がイネ
    ーブルされると前記第1及び第2ワード線制御信号をイ
    ネーブルさせ、前記プリチャージ信号がイネーブルされ
    ると前記第1及び第2ワード線制御信号をディスエーブ
    ルさせることを特徴とする請求項5に記載の半導体メモ
    リ装置。
  9. 【請求項9】 前記第1ローデコーディング制御部は高
    電圧制御信号をさらに入力され、この高電圧制御信号に
    応答して前記高電圧のローアドレスを入力されることを
    特徴とする請求項8に記載の半導体メモリ装置。
  10. 【請求項10】 前記第1ローデコーディング制御部
    は、 多数個のトランジスタを具備し、前記多数個のトランジ
    スタ数に基づき前記入力される高電圧のローアドレスの
    電圧を降圧するトランジスタチェーンと、 前記トランジスタチェーンの出力及び前記プリチャージ
    信号に対して論理動作を行う第1ロジック回路と、 高電圧制御信号によってゲートされ、前記高電圧制御信
    号に応答して前記トランジスタチェーンの出力の前記第
    1ロジック回路への伝送を制御するトランジスタと、 前記第1ロジック回路の出力及び前記活性化信号に対し
    て論理動作を行い前記第1ワード線制御信号を出力する
    第2ロジック回路と、 前記第1ワード線制御信号を所定時間遅延させて前記第
    2ワード線制御信号を出力する遅延回路と、を具備する
    ことを特徴とする請求項8に記載の半導体メモリ装置。
  11. 【請求項11】 前記遅延回路は、前記第1ワード線制
    御信号を所定時間遅延させる偶数個のインバータを含む
    ことを特徴とする請求項10に記載の半導体メモリ装
    置。
  12. 【請求項12】 前記第2ローデコーディング制御部
    は、前記ローアドレスの上位ビットをプリデコーディン
    グして発生されたプリデコーディング信号がイネーブル
    されると、前記ワード線イネーブル信号をイネーブルさ
    せることを特徴とする請求項5に記載の半導体メモリ装
    置。
  13. 【請求項13】 前記第3ローデコーディング制御部
    は、前記ローアドレスの上位ビットをプリデコーディン
    グして発生された前記プリデコーディング信号がイネー
    ブルされると、前記ブロック選択信号をイネーブルさせ
    ることを特徴とする請求項5に記載の半導体メモリ装
    置。
  14. 【請求項14】 前記第3ローデコーディング制御部
    は、 多数個のインバータを具備し、前記第1ワード線制御信
    号を反転且つ遅延させるインバータチェーンと、 前記第1ワード線制御信号、前記インバータチェーンの
    出力及び前記プリデコーディング信号に対して論理動作
    を行い前記ブロック選択信号を出力するロジック回路
    と、を具備することを特徴とする請求項13に記載の半
    導体メモリ装置。
  15. 【請求項15】 前記ワード線駆動制御部に入力される
    前記プリデコーディング信号は、前記多数個のセルの一
    部を選択するローアドレスの上位ビットであることを特
    徴とする請求項5に記載の半導体メモリ装置。
  16. 【請求項16】 前記ワード線駆動制御部は、 前記第2ワード線制御信号及び前記プリデコーディング
    信号に対して論理動作を行うロジック回路と、 前記ロジック回路の出力を反転させるインバータと、電
    源電圧を入力され、前記ロジック回路の出力及び前記イ
    ンバータの出力の差動増幅を行い前記ワード線駆動信号
    を出力する差動増幅器と、を具備することを特徴とする
    請求項5に記載の半導体メモリ装置。
  17. 【請求項17】 前記ローデコーディング及びワード線
    駆動ブロックは多数個のローデコーダ及びワード線ドラ
    イバを具備し、前記各ローデコーダ及びワード線ドライ
    バーは前記プリデコーディング信号、前記ワード線イネ
    ーブル信号、前記ブロック選択信号、前記ワード線駆動
    信号及び前記第2ワード線制御信号を入力され、前記多
    数本のワード線の一部を選択して前記選択されたワード
    線を活性化またはディスエーブルさせることを特徴とす
    る請求項5に記載の半導体メモリ装置。
  18. 【請求項18】 前記ローデコーダ及び前記ワード線ド
    ライバは、 前記プリデコーディング信号、前記ワード線イネーブル
    信号、前記ブロック選択信号及び前記第2ワード線制御
    信号を入力されて、前記プリデコーディング信号及び前
    記ブロック選択信号がイネーブルされる時に接地電圧を
    出力し、前記ワード線イネーブル信号がイネーブルされ
    前記プリデコーディング信号及び前記ブロック選択信号
    がディスエーブルされる時に電源電圧を出力するローデ
    コーダと、 ワード線にそれぞれ接続され、前記ワード線駆動信号及
    び前記ローデコーダの出力にそれぞれ応答して前記ワー
    ド線を活性化またはディスエーブルさせる多数個のワー
    ド線ドライバと、を具備することを特徴とする請求項1
    7に記載の半導体メモリ装置。
  19. 【請求項19】 前記ワード線ドライバは、 前記ローデコーダの出力をラッチさせるラッチ回路と、 前記ワード線駆動信号及び前記ラッチ回路の出力の入力
    端間に直列接続される多数個のトランジスタを具備し、
    前記多数個の各トランジスタは前記ローデコーダの出力
    または前記ラッチ回路の出力のいずれかによってゲート
    され、前記ローデコーダの出力に応答して前記ワード線
    を活性化またはディスエーブルさせる出力ドライバと、
    を具備することを特徴とする請求項18に記載の半導体
    メモリ装置。
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