JP2000264621A - 疎水性シリカの製造方法 - Google Patents

疎水性シリカの製造方法

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JP2000264621A JP11074815A JP7481599A JP2000264621A JP 2000264621 A JP2000264621 A JP 2000264621A JP 11074815 A JP11074815 A JP 11074815A JP 7481599 A JP7481599 A JP 7481599A JP 2000264621 A JP2000264621 A JP 2000264621A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高く且つ均一な疎水化度を有する疎水性シリカ
を、凝集粒子を生じさせることなく製造すること。 【解決手段】シリカとトリメチルシリル化剤とを、分圧
が4〜20kPaの水蒸気の存在下、好適にはトリメチ
ルシリル化剤の分圧が30〜150kPaの条件で反応
させることを特徴とする疎水性シリカの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、疎水性シリカ粉末
の製法に関する。
【0002】
【従来の技術】シリカの表面は、シラノール基で覆われ
ており、親水性を示す。そのため、シリカは、液体樹脂
やゴム等の充填材として使用した際に、分散性が悪かっ
たり、加工後において吸湿し機械的強度を低下させるこ
とがあった。また、こうした吸湿性の高さから、粘度の
経時安定性が悪い問題もあった。従って、シリカの表面
を各種有機化合物で処理して疎水化し、上記問題点を改
善することが広く試みられている。
【0003】例えば、シリカの表面をシリコーンオイル
で被覆すると、極めて疎水性の強いシリカが得られるこ
とが知られている。この方法によれば、水−メタノール
の比を変えて該溶液に対する粉体の浮遊割合を測定する
方法によって求められる疎水化度において、浮遊量0%
となるメタノール濃度が70容量%程度という極めて高
い疎水性を有するシリカを得ることが可能である。しか
しながら、この方法では、シリコーンオイルの大部分は
シリカ表面に物理的な吸着により付着しているだけであ
るため、これらはシリカ表面から離脱し易く、樹脂の充
填材等として使用した際において、上記優れた疎水性の
効果が思うように発揮されないことが多かった。
【0004】こうしたことから、シリカ表面のシラノー
ル基に有機化合物を反応させ、該有機化合物から導かれ
る疎水性基をシリカ表面に化学的に結合させることが、
有利な方法として行われている。例えば、特公昭38−
22129号公報には、シリカと低沸点のオルガノシロ
キサン類とを反応させることが記載され、その反応条件
として、加温や加圧下で該オルガノシロキサン類を気体
の状態で反応させることも記載されている。しかしなが
ら、こうしたシリカと有機珪素化合物との反応は反応性
が低く、得られるシリカは、十分な疎水性を有していな
いものであった。
【0005】そのため、シリカと有機珪素化合物との反
応性を向上させるために、該反応を水の存在下で行うこ
とが特開昭56−41263号公報等により提案されて
いる。その際、水の存在量は、十分な反応性で反応を行
うためには、かなりの量存在させることが有利であると
考えられていたため、実施例等では分圧として40〜1
00kPa程度存在する量で反応を行うのが一般的であ
った。しかして、このような条件で上記疎水化反応を行
った場合、得られる疎水性シリカは、部分的には前記方
法により測定される疎水化度において浮遊量0%となる
メタノール濃度が60容量%以上になるような高い疎水
性を有するシリカを得ることが可能であるが、一方でこ
うした疎水化の反応性にバラツキが生じ、充分に疎水化
されていないものも相当量含まれてしまうものであっ
た。従って、上記方法による疎水化度の測定において、
浮遊量0%のときのメタノール濃度と浮遊量90%のと
きのメタノール濃度の差が10%以上になる広い疎水化
度分布を有するものが得られていた。そうして、このよ
うに得られる疎水性シリカの疎水化度が均一でない場
合、これを前記した用途に使用しても、今一歩満足でき
る効果が得られなかった。
【0006】一方、高い反応性で均一に疎水化された疎
水性シリカを得る方法として、特開平4−204750
号公報において、溶媒で希釈したヘキサメチルジシラザ
ンを沸点以下の温度でシリカに噴霧し、乾燥する方法が
知られている。この方法によれば、条件によっては均一
且つ高い疎水化度を有する疎水性シリカを得ることが可
能であるが、この反応は、液体−固体反応であるため、
乾燥工程において、液に触れたシリカが凝集し易いもの
であった。従って、十分な解砕工程を設けなければ、こ
れを樹脂に分散させた場合などには、粗大な凝集粒子に
より樹脂組成物に白濁が生じる大きな問題があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上から、高く且つ均
一な疎水化度を有する疎水性シリカを、凝集粒子を生じ
させることなく製造することが大きな課題であった。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
に鑑み鋭意研究を続けてきた。その結果、シリカとトリ
メチルシリル化剤とを、水蒸気の存在下で反応させるに
際して、該水蒸気の分圧を特定の範囲にすれば、上記の
課題が解決できることを見出し本発明を完成するに至っ
た。
【0009】即ち、本発明は、シリカとトリメチルシリ
ル化剤とを、分圧が4〜20kPaの水蒸気の存在下で
反応させることを特徴とする疎水性シリカの製造方法で
ある。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明においてシリカは、特に制
限されるものではなく公知のものが使用され、通常、湿
式法又は乾式法により得られる無定形シリカが使用され
る。好適には、ハロゲノシランの火炎分解や加水分解で
製造される乾式シリカであるのが好ましい。また、これ
らのシリカは溶融されたものであっても良い。こうした
シリカは、比表面積が5〜500m2/gであり、見掛
比重が15〜200g/l、平均一次粒子径が7〜50
0nmのものが好適に使用できる。また、これらのシリ
カは、含水率が0.1〜10重量%のものが好ましい。
さらに、単位面積当たりの表面のOH基が、1.0〜
5.0個/nm2、好適には1.0〜2.5個/nm2
ものを用いるのが好ましい。
【0011】また、本発明において、上記シリカと反応
させるトリメチルシリル化剤は、シリカ表面にトリメチ
ルシリル基が導入可能なものが制限なく使用できる。具
体的には、 ((CH33Si)2NR 〔式中、Rは水素または低級アルキル基である〕、又は (CH33SiY 〔式中、Yはハロゲン原子、−OH、−OR’、または
−NR’2、から選ばれる基(R’は上記Rと同じであ
る)である〕で示される化合物が好ましい。ここで、上
記化合物において、Rの低級アルキル基は、メチル基、
エチル基、プロピル基等の炭素数1〜5、好適には炭素
数1〜3のもの、特にメチル基が好ましい。また、Yの
ハロゲン原子は、塩素、フッ素、臭素、ヨウ素等が挙げ
られ、特に塩素が好ましい。上記((CH33Si)2
NRで示されるトリメチルシリル化剤を例示すれば、ヘ
キサメチルジシラザン、N−メチル−ヘキサメチルジシ
ラザン、N−エチル−ヘキサメチルジシラザン、ヘキサ
メチル−N−プロピルジシラザン等が挙げられ、反応性
の良さからヘキサメチルジシラザンを用いるのが特に好
適である。
【0012】他方、(CH33SiYで示されるトリア
ルキルシリル化剤を例示すれば、トリメチルクロロシラ
ン、トリメチルシラノール、メトキシトリメチルシラ
ン、エトキシトリメチルシラン、プロポキシトリメチル
シラン、ジメチルアミノトリメチルシラン、ジエチルア
ミノトリメチルシラン等が挙げられ、反応性の良さから
トリメチルシラノールを用いるのが特に好適である。
【0013】ここで、使用する疎水化剤が、上記トリメ
チルシリル化剤以外の、さらに高炭素数のトリアルキル
シリル基を導入させるものの場合、シリカ表面への反応
性が低下し、十分な疎水化度を有するシリカを得ること
が難しくなる。
【0014】本発明では、上記シリカとトリメチルシリ
ル化剤とを、水蒸気の存在下で反応させる。本発明は、
かかる反応に際して、該水蒸気の分圧を4〜20kP
a、好適には5〜15kPaにした点に最大の特徴を有
する。即ち、前記したとおり水蒸気の存在下でシリカと
トリメチルシリル化剤とを反応させた場合、反応性は大
きく向上するが、通常、該反応に際して行われているよ
うな高い水蒸気分圧とした場合では、疎水化反応の均一
性が充分でなくなる。これに対して、上記特定の水蒸気
分圧で反応を実施した場合、反応の均一性が大きく向上
し、得られる疎水性シリカは、高い疎水化度を有するだ
けでなく、こうした疎水化度の分布においても極めて均
一性の高いものになる。
【0015】ここで、水蒸気分圧が4kPaより小さい
と疎水化度が上がらず、かつ疎水化度の分布も広がる。
一方、水蒸気分圧が20kPaより大きくなっても、疎
水化度の分布が広がり、その均一性が損なわれる。
【0016】また、本発明において、上記シリカとトリ
メチルシリル化剤との反応は、短い反応時間でより疎水
化度の高いシリカを得る場合には、トリメチルシリル化
剤の気相の分圧が50〜200kPa、好適には80〜
150kPaになるような条件下で行うのが好ましい。
【0017】さらに、本発明において、上記反応は、ト
リメチルシリル化剤と水蒸気のみからなる雰囲気で反応
を実施しても良いが、通常は、これらを、窒素、ヘリウ
ム等の不活性ガスにより希釈して反応に供するのが一般
的である。その場合、反応雰囲気の全圧は、150〜5
00kPa、好適には150〜250kPaであるのが
一般的である。
【0018】なお、本発明においては、シリカとトリメ
チルシリル化剤との反応性をより高めるため、必要に応
じてアンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン等の塩
基性ガス、好適にはアンモニアを反応雰囲気中に共存さ
せても良い。こうした塩基性ガスの分圧は、1〜100
kPaであるのが好適である。
【0019】シリカとトリメチルシリル化剤との反応温
度は、疎水化反応の反応性の良好さやトリメチルシリル
化剤の分解の危険性を勘案すると130〜300℃、好
適には150〜250℃であるのが好ましい。一般に
は、上記範囲において反応温度が高いほど、得られるシ
リカの疎水性が高くなる傾向がある。
【0020】こうしたシリカの疎水化反応は、以上の各
反応条件が、各々満足されていれば如何なる形式で実施
されても良く、予め、上記要件が満足されるようにトリ
メチルシリル化剤と水とを、シリカが充填された反応器
に仕込み反応を実施しても良いし、上記要件が満足され
るようにトリメチルシリル化剤と水とを、シリカが充填
された反応器に連続的または間欠的に供給しながら反応
を実施しても良い。反応器は、通常、オートクレーブ等
の耐圧性の密閉容器を用いて反応を行うのが好適であ
る。また、シリカは、固定床式で反応させても良いが、
好適には撹拌により流動させた状態で反応させるのが好
ましい。
【0021】なお、上記水蒸気の分圧の要件は、その反
応期間の実質的全域に渡って満足されていれば、短期間
該要件を外れる期間があっても、本発明では許容され
る。好適には、反応開始から反応終了までの期間におい
て、その80%、好適には90%が上記条件で反応が行
われるのが好ましい。特に、炭素含有量が飽和量に達す
るまで疎水化反応を行う場合には、該飽和量の50%ま
で反応が進んだ段階から飽和量にほぼ達する段階までの
期間は、上記条件で反応を行うのが好適である。同様に
トリメチルシリル化剤も、前記好適な分圧が反応期間の
実質的全域に渡って満足されているのが好ましい。反応
時間は、通常、20〜120分、好適には30〜60分
から採択される。
【0022】反応終了後、過剰の処理剤及び副生物は、
混合機系を開放脱圧し、チッソガス洗浄するのが好まし
い。
【0023】以上により得られる疎水性シリカは、トリ
メチルシリル基が表面に化学結合しており、それにより
表面が疎水性を呈している。そして、疎水化度の分布の
均一性が極めて高く、前記した水−メタノールの比を変
えて該溶液に対する粉体の浮遊割合を測定する方法によ
って求められる、浮遊量0%と浮遊量90%のときのメ
タノール濃度の差が7%以下、好適には5%以下と著し
く小さい。また、該方法によって求められる、浮遊量0
%となるメタノール濃度が60容量%以上、好適には6
2容量%以上の高い疎水化度を有するものを得ることが
可能である。
【0024】本発明の方法により得られる疎水性シリカ
において、トリメチルシリル基の導入量は、1100℃
の温度下、酸素雰囲気でCO2に熱分解することにより
求められる炭素含有量が0.5〜10重量%、好適には
1〜5重量%であるのが好ましい。また、これらトリメ
チルシリル基は、トリメチルシリル化剤をシリカにさら
に反応させても、上記炭素含有量がそれ以上増加しない
飽和量に実質的に達するまで、導入されているのが好ま
しい。さらに、本発明の疎水性シリカは、単位面積当た
りの表面のOH基数が0.2〜0.5個/nm2程度で
あるのが一般的である。なお、上記飽和量まで疎水化さ
れた疎水性シリカは、トリメチルシリル基により、その
表面のほとんどが覆われていると推定される。従って、
上記数程度に表面にOH基が残存していたとしても、こ
れは、該疎水性基によりブロックされ、その高い疎水化
度には殆ど影響を及ぼさないと考えられる。
【0025】さらに、本発明の方法で得られる疎水性シ
リカは、粗大な凝集粒子をほとんど含んでいない。具体
的には、メタノール200mlにシリカ0.8gを混合
し超音波分散(125W)を30秒行った後、標準ふる
いにて20μm上に残ったシリカの割合を求めた場合、
粒子径20μm以上の粗大凝集粒子の含有量は15重量
%以下、より好適には10重量%以下のものを得ること
が可能である。
【0026】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、高い反応性
でシリカとトリメチルシリル基を反応させることが可能
であり、且つその反応の均一性も極めて良好である。し
かも、気相反応であるため、粗大な凝集粒子が過剰に生
じることもない。従って、得られる疎水性シリカは、高
い疎水化度と均一な疎水化度の分布を有し、且つ粗大凝
集粒子の含有量も極めて少ないものになる。
【0027】従って、このような疎水性シリカは、液体
樹脂やゴム等の増粘剤や補強充填剤として有用であり、
分散性が極めてよく、吸湿性の低さから保存時の粘度の
経時安定性が大きく改善される。また、粉体塗料や電子
写真用トナー等の粉体系においても、混合することによ
り、当該粉体の流動性の改善、固結防止、帯電調整等に
安定した効果を発揮する。
【0028】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明を具
体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に限定さ
れるものではない。なお、以下の実施例及び比較例にお
ける各種の物性の測定は以下の方法により実施した。
【0029】1)炭素含有量 疎水性シリカを、1100℃の温度下、酸素雰囲気中で
シリカ表面に化学結合する疎水性基をCO2に熱分解し
た後、微量炭素分析装置(Horiba製「EMIAー110」)によ
り、シリカの含有する炭素含有量を求めた。なお、疎水
化反応の再現性からみた炭素含有量の有効数字は0.1
重量%である。
【0030】2)疎水化度(F0) 試料0.5gに、メタノールと水の混合溶液(25℃)
100mlを加え、シエーカーで30分間振り混ぜた後
1晩静置し該溶液に対する粉体の浮遊割合を測定する。
水−メタノールの比を変えて上記操作を行い、浮遊量が
0%となるメタノール濃度(容量%)を疎水化度(F0
として求めた。
【0031】3)疎水化度分布(F0−F90) 試料0.5gに、メタノールと水の混合溶液(25℃)
100mlを加え、シェーカーで30分間振り混ぜた後
1晩静置し該溶液に対する粉体の浮遊割合を測定する。
水−メタノールの比を変えて上記操作を行ない、浮遊量
0%(F0)と浮遊量90%(F90)を測定し、その差
を疎水化度分布(F0−F90)として求めた。
【0032】4)粗大凝集粒子の含有量 メタノール200mlにシリカ0.8gを混合し超音波
分散(125W)を30秒行った後、標準ふるいにて2
0μm上に残ったシリカを乾燥し、その割合から求め
た。
【0033】3)増粘作用 疎水性シリカのエポキシ樹脂に対する増粘作用を調べ
た。エポキシ樹脂「エピコートR819」(油化シエル
社製)180gに、疎水性シリカ7.2gを3000回
転/分で2分間、デイソルバーを用いて分散させ、分散
直後の初期粘度と30日後の粘度を、25℃でブルック
フイールド粘度計(スピンドル4)により測定した。
【0034】実施例1〜3 2リットルの撹拌機付きオートクレーブに、50gの乾
式シリカ(商品名:レオロシールQS30、比表面積3
00m2/g、吸着水分0.4%、表面OH数1.5個
/nm2、(株)トクヤマ製)を装入し、撹拌による流
動化状態において、200℃に加熱した。反応器内部を
窒素ガスで置換した後、水を水蒸気分圧が5、10、及
び15kPaとなるように各供給して(窒素ガスの各分
圧は93、88、及び83kPa)して反応器を密閉
し、さらにヘキサメチルジシラザンを分圧が130kP
aになるように内部に各噴霧し、シリカの流動化状態で
トリメチルシリル化反応を開始した。なお、上記反応に
おいて、反応開始当初の雰囲気の全圧はそれぞれ228
kPaであった。この反応は、いずれも反応開始7分
で、シリカの炭素含有量がそれ以上ほとんど増加しない
飽和量にほぼ達した。
【0035】上記反応を60分間継続した後、反応を終
了した。反応終了時のヘキサメチルジシラザンの分圧は
70kPaであり、水蒸気分圧はほとんど変化しなかっ
た。
【0036】反応終了後、疎水性シリカからの過剰のヘ
キサメチルジシラザン及び副生物の除去は、オートクレ
ーブを開放脱圧した後、チッソ気流による洗浄を行うこ
とにより実施した。得られた疎水性シリカの物性を測定
し表1に示した。
【0037】なお、水蒸気分圧が5kPaであった疎水
性シリカについて、疎水化度分布(F0−F90)を測定
する際に求めた水−メタノールの比と浮遊量の関係を、
図1として示した。
【0038】
【表1】
【0039】比較例1〜4 2リットルの撹拌機付きオートクレーブに50gの乾式
シリカ(商品名:レオロシールQS30)を装入し、撹
拌による流動化状態において、200℃に加熱した。反
応器内部を窒素ガスで置換した後、水を水蒸気分圧が
2、30、50、及び98kPaとなるように各供給し
て(窒素ガスの各分圧は96、68、48、及び0kP
a)して反応器を密閉し、さらにヘキサメチルジシラザ
ンを分圧が130kPaになるように内部に各噴霧し、
シリカの流動化状態でトリメチルシリル化反応を開始し
た。なお、上記反応において、反応開始当初の雰囲気の
全圧はそれぞれ228kPaであった。この反応は、い
ずれも反応開始7分で、それぞれシリカの炭素含有量が
それ以上ほとんど増加しない飽和量にほぼ達した。
【0040】上記反応を60分間継続した後、反応を終
了した。反応終了時のヘキサメチルジシラザンの分圧は
70kPaであり、水蒸気分圧はほとんど変化しなかっ
た。
【0041】反応終了後、疎水性シリカからの過剰のヘ
キサメチルジシラザン及び副生物の除去は、オートクレ
ーブを開放脱圧した後、チッソ気流による洗浄を行うこ
とにより実施した。得られた疎水性シリカの物性を測定
し表2に示した。
【0042】なお、上記比較例1〜4と前記実施例1〜
3の結果における、水蒸気分圧と疎水化度分布(F0
90)の関係を、図2として示した。図2に示されるよ
うに、水蒸気分圧が本願発明での範囲において、得られ
る疎水性シリカの疎水化度分布(F0−F90)は特異的
に小さくなる結果であった。
【0043】
【表2】
【0044】比較例5 2リットルの撹拌機付きオートクレーブに50gの乾式
シリカ(商品名:レオロシールQS30)を装入し、撹
拌による流動化状態において、120℃に加熱し、2時
間保持した。反応器内部を窒素ガスで置換した後、ヘキ
サメチルジシラザン5.0gをテトラヒドロフラン20
gに溶解した混合液を5分かけて徐々に加え、10分間
撹拌後120℃の恒温槽で2時間処理した。得られた疎
水性シリカの物性を測定し表3に示した。
【0045】
【表3】
【0046】実施例4 2リットルの撹拌機付きオートクレーブに50gの乾式
シリカ(商品名:レオロシールQS30)を装入し、撹
拌による流動化状態において、200℃に加熱した。反
応器内部を窒素ガスで置換した後、水を水蒸気分圧が1
5kPaとなるように供給して(窒素ガスの分圧は83
kPa)して反応器を密閉し、さらにヘキサメチルジシ
ラザンを分圧が90kPaになるように内部に各噴霧
し、シリカの流動化状態でトリメチルシリル化反応を開
始した。なお、上記反応において、反応開始当初の雰囲
気の全圧は188kPaであった。この反応は、反応開
始7分で、シリカの炭素含有量がそれ以上ほとんど増加
しない飽和量にほぼ達した。
【0047】上記反応を60分間継続した後、反応を終
了した。反応終了時のヘキサメチルジシラザンの分圧は
30kPaであり、水蒸気分圧はほとんど変化しなかっ
た。
【0048】反応終了後、疎水性シリカからの過剰のヘ
キサメチルジシラザン及び副生物の除去は、オートクレ
ーブを開放脱圧した後、チッソ気流による洗浄を行うこ
とにより実施した。得られた疎水性シリカの物性を測定
し表4に示した。
【0049】
【表4】
【0050】実施例5、6 2リットルの撹拌機付きオートクレーブに50gの乾式
シリカ(商品名:レオロシールQS30)を装入し、撹
拌による流動化状態において、それぞれ150と250
℃に加熱した。反応器内部を窒素ガスで置換した後、水
を水蒸気分圧が15kPaとなるように供給して(窒素
ガスの分圧は83kPa)して反応器を密閉し、さらに
ヘキサメチルジシラザンを分圧が90kPaになるよう
に内部に各噴霧し、シリカの流動化状態でトリメチルシ
リル化反応を開始した。なお、上記反応において、反応
開始当初の雰囲気の全圧は188kPaであった。この
反応は、それぞれ反応開始10分と5分で、シリカの炭
素含有量がそれ以上ほとんど増加しない飽和量にほぼ達
した。
【0051】上記反応を60分間継続した後、反応を終
了した。反応終了時のヘキサメチルジシラザンの分圧は
30kPaであり、水蒸気分圧はほとんど変化しなかっ
た。
【0052】反応終了後、疎水性シリカからの過剰のヘ
キサメチルジシラザン及び副生物の除去は、オートクレ
ーブを開放脱圧した後、チッソ気流による洗浄を行うこ
とにより実施した。得られた疎水性シリカの物性を測定
し表5に示した。
【0053】
【表5】
【0054】実施例7、8 実施例2において、乾式シリカとして「レオロシールQ
S10」(比表面積130m2/g、吸着水分0.3重
量%、表面OH数1.5個/nm2、見掛比重50g/
l、平均一次粒子径が16nm、(株)トクヤマ製)及
び「レオロシールQS40」(比表面積380m2
g、吸着水分0.5重量%、表面OH数1.5個/nm
2、見掛比重50g/l、平均一次粒子径が7nm、
(株)トクヤマ製)を用いて、実施例2と同様に実施し
た。いずれの反応も、反応開始7分でシリカの炭素含有
量がそれ以上増加しない飽和量に達した。得られた疎水
性シリカの物性を測定し表6に示した。
【0055】
【表6】
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、実施例1で製造された疎水性シリカに
ついて、疎水化度分布(F0−F90)を測定する際に求
めた水−メタノールの比と浮遊量の関係を示す図であ
る。
【図2】図2は、実施例1〜3及び比較例1〜4で製造
された各疎水性シリカにおける、水蒸気分圧と疎水化度
分布(F0−F90)の関係をを示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G072 AA25 AA41 BB05 GG03 HH14 HH29 LL06 MM01 MM23 QQ07 RR20 UU07 UU08

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】シリカとトリメチルシリル化剤とを、分圧
    が4〜20kPaの水蒸気の存在下で反応させることを
    特徴とする疎水性シリカの製造方法。
  2. 【請求項2】トリメチルシリル化剤の分圧が30〜15
    0kPaであることを特徴とする請求項1記載の疎水性
    シリカ粉末の製造方法。
  3. 【請求項3】トリメチルシリル化剤が、ヘキサメチルジ
    シラザンである請求項1または請求項2記載の疎水性シ
    リカの製造方法。
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