JP2000214407A - 光偏向子及びこれを用いた表示装置 - Google Patents

光偏向子及びこれを用いた表示装置

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JP2000214407A JP11208163A JP20816399A JP2000214407A JP 2000214407 A JP2000214407 A JP 2000214407A JP 11208163 A JP11208163 A JP 11208163A JP 20816399 A JP20816399 A JP 20816399A JP 2000214407 A JP2000214407 A JP 2000214407A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動手段の構成に大きな自由度があると共
に、高速で、且つ、広偏向角で振動するのに適した構成
の光偏向子を提供する。 【解決手段】 ベース２の一対の支持部３，４に、それ
ぞれ外側端部が固定され、内側端部が自由端である２本
のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂを有する一対の振動
子６，７と、この一対の振動子６，７の各２本のアーム
部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの間に配置された反射ミラー
部８と、反射ミラー部８の重心を通る軸Ｌに対し軸Ｌの
近傍の一対の軸対称位置の両端と一対の振動子６，７の
各アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの内側端部とをそれ
ぞれ連結する一対の捩じりバネ部９ａ，９ｂ，１０ａ，
１０ｂと、一対の振動子６，７に対し別個独立に駆動力
を作用し、各アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの内側端
部を上下方向に別個独立に移動できる駆動手段Ｄとを備
えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビーム等の
光を反射させて光偏向を行う光偏向子及びこの光偏向子
を用いた表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子写真式複写機、レーザビームプリン
タ、バーコードリーダ等の光学機器の走査装置や、光デ
ィスクのトラッキング制御装置の光偏向装置や、レーザ
光をスキャニングして映像を投影する表示装置などには
光偏向子が使用されている。
【０００３】一般に、機械的に光偏向を行う光偏向子と
しては、回転多面鏡（ポリゴンミラー）、騒動型反射鏡
（ガルバノミラー）等があるが、ガルバノミラー型のも
のはポリゴンミラー型のものに比べて機構が小型化で
き、又、最近の半導体プロセス技術ではシリコン基板を
用いたマイクロミラーの試作例なども報告されており、
さらに小型化、軽量化、低コスト化が期待できる。
【０００４】このようなガルバノミラー型の光偏向子の
従来例が図２２及び図２３にそれぞれ示されている。
【０００５】図２２は第１従来例の光偏向子の分解斜視
図である。図２２において、ベース５０には左右一対の
支持部５１，５２が設けられ、この一対の支持部５１，
５２上には振動体５３が配置されている。この振動体５
３は、外枠部５４と、この外枠部５４の開口部５４ａに
配置された反射ミラー部５５と、この反射ミラー部５５
の重心を通る軸上の位置で反射ミラー部５５と外枠部５
４とを連結する一対の梁部５６，５６とから一体的に形
成されている。外枠部５４の左右両端部分が一対の支持
部５１，５２上に固定されている。
【０００６】又、駆動手段Ｄは、ベース５０上に配置さ
れた左右一対の固定電極５７，５８を有し、この一対の
固定電極５７，５８は反射ミラー部５５の左右両端部に
対向する位置に配置されている。この一対の固定電極５
７，５８の相手側の電極として反射ミラー部５５が設け
られ、該一対の固定電極５７，５８のいずれか一方と反
射ミラー部５５との間には切替スイッチＳＷを介して選
択的に電圧を印加できるようになっている。尚、反射ミ
ラー部５５は外枠部５４と一対の梁部５６，５６を介し
て接続されているため、反射ミラー部５５への電圧印加
は外枠部５４に印加すれば良い。
【０００７】上記構成において、一方の固定電極５７と
反射ミラー部５５との間に電圧が印加されたときには反
射ミラー部５５の左側が静電力により吸引されて反射ミ
ラー部５５が一対の梁部５６，５６を軸として反時計方
向に回転し、又、他方の固定電極５８と反射ミラー部５
５との間に電圧が印加されたときには反射ミラー部５５
の右側が静電力により吸引されて反射ミラー部５５が一
対の梁部５６，５６を軸として時計方向に回転する。従
って、駆動手段Ｄによって一対の固定電極５７，５８に
交互に電圧が印加されることによって反射ミラー部５５
が左右に振動するものである。この反射ミラー部５５に
照射された光は、反射ミラー部５５の振動によって反射
角が変更され、これによって光偏向される。
【０００８】図２３は第２従来例の光偏向子の分解斜視
図である。図２３において、この第２従来例にあって前
記第１従来例と同一構成箇所は図面に同一符号を付して
その説明を省略し、異なる構成箇所のみを説明する。
【０００９】即ち、この第２従来例では駆動手段Ｄはベ
ース５０上に配置された左右一対の永久磁石６０，６１
と、反射ミラー部５５の外周部に配置された駆動用コイ
ル６２とを有し、この駆動用コイル６２に正逆交互の駆
動電流を通電するように構成されている。
【００１０】上記構成において、駆動手段Ｄにより駆動
用コイル６２に正逆交互の駆動電流が通電されると、一
対の永久磁石６０，６１の外部磁界と駆動用コイル６２
の電流とによるローレンツ力で反射ミラー部５５が一対
の梁部５６，５６を軸として振動するものである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記第
１従来例においては、反射ミラー部５５の振れ角（偏向
角）を大きくするには、反射ミラー部５５と固定電極５
７，５８とのギャップ間隔を大きく設定する必要があ
る。静電力は、ギャップの２乗に反比例するので、必要
な駆動力を得るには非常に大きな電圧を必要とするた
め、ほとんど実用的ではない。
【００１２】また、前記第２従来例においては、第１従
来例の静電駆動のように偏向角の規制がないので、大き
な偏向角を取ることができるが、反射ミラー部５５の外
周部に駆動コイル６２を配置するため、反射ミラー部５
５のサイズが大きくなり高速振動に適していないもので
あった。
【００１３】さらに、前記第１及び第２従来例において
は、反射ミラー部５５に直接に駆動力が作用する構成で
あるため、駆動手段Ｄは反射ミラー部５５の振動の障害
にならない構成とする必要があったため、駆動手段Ｄの
構成の自由度があまりなかった。
【００１４】そこで、本発明は、前記した課題を解決す
べくなされたものであり、駆動手段の構成に大きな自由
度があると共に、高速で、且つ、広偏向角で振動するの
に適した構成の光偏向子及びこれを用いた表示装置を提
供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、間隔
を置いて設けられた一対の支持部の一方に外側端部が固
定され、内側端部が自由端である２本のアーム部を有す
る一方の振動子と、前記一対の支持部の他方に外側端部
が固定され、内側端部が自由端である２本のアーム部を
有する他方の振動子と、この一対の振動子の前記各２本
のアーム部の間に配置された反射ミラー部と、この反射
ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の一方の軸
対称位置の両端と前記一方の振動子の前記各アーム部の
内側端部とをそれぞれ連結する一方の捩じりバネ部と、
前記反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の
他方の軸対称位置の両端と前記他方の振動子の前記各ア
ーム部の内側端部とをそれぞれ連結する他方の捩じりバ
ネ部と、前記一対の振動子の少なくとも一方に対し別個
独立に駆動力を作用し、前記各アーム部の内側端部を上
下方向に別個独立に移動できる駆動手段とを備えたこと
を特徴とする光偏向子である。
【００１６】請求項２の発明は、間隔を置いて設けられ
た一対の支持部の一方に外側端部が固定され、内側端部
が自由端である２本のアーム部を有する一方の振動子
と、前記一対の支持部の他方に外側端部が固定され、内
側端部が自由端である２本のアーム部を有する他方の振
動子と、この一対の振動子の前記各２本のアーム部の間
に配置された反射ミラー部と、この反射ミラー部の重心
を通る軸に対しこの軸の近傍の一方の軸対称位置の両端
と前記一方の振動子の前記各アーム部の内側端部とをそ
れぞれ連結する一方の捩じりバネ部と、前記反射ミラー
部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の他方の軸対称位
置の両端と前記他方の振動子の前記各アーム部の内側端
部とをそれぞれ連結する他方の捩じりバネ部と、前記一
対の振動子の４本のアーム部に対し別個独立に駆動力を
作用し、前記各アーム部の内側端部を上下方向に別個独
立に移動できる駆動手段とを備えたことを特徴とする光
偏向子である。
【００１７】請求項３の発明は、前記請求項１又は請求
項２に記載の光偏向子において、前記駆動手段は、前記
各振動子の内側端部にそれぞれ駆動力を作用させる構成
であることを特徴とする光偏向子である。
【００１８】請求項４の発明は、前記請求項１又は請求
項２に記載の光偏向子において、前記駆動手段は前記各
支持部に配置され、前記各振動子の外側端部に駆動力を
作用させる構成であることを特徴とする光偏向子であ
る。
【００１９】請求項５の発明は、間隔を置いて設けられ
た一対の支持部の一方に外側端部が固定され、内側端部
が自由端である２本のアーム部を有する一方の振動子
と、前記一対の支持部の他方に外側端部が固定され、内
側端部が自由端である２本のアーム部を有する他方の振
動子と、この一対の振動子の前記各２本のアーム部の間
に配置された反射ミラー部と、この反射ミラー部の重心
を通る軸に対しこの軸の近傍の一方の軸対称位置の両端
と前記一方の振動子の前記各アーム部の内側端部とをそ
れぞれ連結する一方の捩じりバネ部と、前記反射ミラー
部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の他方の軸対称位
置の両端と前記他方の振動子の前記各アーム部の内側端
部とをそれぞれ連結する他方の捩じりバネ部と、前記一
対の振動子に対し別個独立に駆動力を作用し、前記各ア
ーム部の内側端部を上下方向に別個独立に移動できる駆
動手段とを備えた光偏向子を設け、この光偏向子の前記
反射ミラー部にレーザ光を照射し、この照射されたレー
ザ光の反射光の方向を前記反射ミラー部の回転角度を前
記駆動手段にて変化させて投影画像を得ることを特徴と
する表示装置である。
【００２０】請求項６の発明は、前記請求項５に記載の
表示装置において、前記反射ミラー部からの反射光は、
光アドレス型空間光変調素子に照射することによって書
き込み、この光アドレス型空間光変調素子に書き込んだ
光情報を投影したことを特徴とする表示装置である。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
【００２２】図１〜図３は本発明の第１実施形態を示
し、図１（Ａ）は光偏向子１Ａの分解斜視図、図１
（Ｂ）は光偏向子１Ａの側面図、図２は振動体５の平面
図、図３は光偏向子１Ａの側面図である。
【００２３】図１〜図３において、光偏向子１Ａのベー
ス２上には一定の間隔を置いて平行に左右一対の支持部
３，４が一体的に構成されており、この一対の支持部
３，４の間の上面はその前後両端部２ａ，２ａに対しそ
の中央部が凹部２ｂとして構成されている。このように
構成されたベース２上に振動体５が配置されている。
【００２４】この振動体５は、左外側端部が一方の支持
部３に固定され、内側端部が自由端である２本のアーム
部６ａ，６ｂを有する一方（左側）の振動子６と、右外
側端部が一方の支持部４に固定され、内側端部が自由端
である２本のアーム部７ａ，７ｂを有する他方（右側）
の振動子７と、左右一対の振動子６，７の各２本のアー
ム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの間のスペースに配置され
た反射ミラー部８と、この反射ミラー部８と一方の振動
子６の２本のアーム部６ａ，６ｂとをそれぞれ連結する
一方（左側）の捩じりバネ部９ａ，９ｂと、反射ミラー
部８と他方の振動子７の２本のアーム部７ａ，７ｂとを
それぞれ連結する他方（右側）の捩じりバネ部１０ａ，
１０ｂとから構成されている。従って、振動体５は、左
側の振動子６と右側の振動子７とが互いに対向して外枠
部を形成していると共に、左右の振動子６，７は左右の
捩じりバネ部９ａ，９ｂ、１０ａ，１０ｂを介して反射
ミラー部８と一体に接続されている。この光偏向子１Ａ
を共振モードで動作させる時は、捩じりバネ部９ａ，９
ｂ、１０ａ，１０ｂと反射ミラー部８で構成される振動
系の共振モードの中で軸Ｌを中心とした回転を生ずるモ
ード（第１次回転モード）を用いる。
【００２５】図２に示すように、反射ミラー部８の表面
には光反射膜８ａが構成され、反射ミラー部８はその最
も低次な共振周波数が前記した第１次回転モードより高
くなるように設定されている。反射ミラー部８の共振周
波数は、反射ミラー部８の目的とする振動周波数にほぼ
一致するように設定するのが好ましい。
【００２６】この一対の捩じりバネ部９ａ，９ｂ、１０
ａ，１０ｂは、反射ミラー部８の重心を通る軸Ｌ線上の
前後に凹状の切り込みを入れることで梁形状に形成し、
且つ、一対の捩じりバネ部９ａ，９ｂ、１０ａ，１０ｂ
は軸Ｌに対し、この軸Ｌの近傍の一対の軸対称位置で各
アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの自由端と連結してい
る。
【００２７】このような構成の振動体５の作製は、例え
ばシリコンウエハ上にパターン形成し、これをエッチン
グすることにより一体形成する。そして、反射ミラー部
８となるべき箇所の表面にＡｌ，Ａｕ等の材料より反射
膜８ａを形成すれば完成する。このように作製すること
によって複数のものを同時に作製できる。
【００２８】駆動手段Ｄは、ベース２の前後両端部２ａ
上に分割配置された左右一対の固定電極１１，１２を有
し、この各固定電極１１，１２は一対の振動子６，７の
各２本のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの自由端部に
対向する位置に配置されている。この各固定電極の相手
側の電極は各アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの自由端
部にて形成され、各アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂと
各固定電極１１，１２との間には切換えスイッチＳＷに
て選択的に電圧を印加できるように構成されている。つ
まり、駆動手段Ｄは切換えスイッチＳＷの切換え位置に
よって一対の振動子６，７を別個独立に駆動できる。そ
して、駆動手段Ｄは、切換えスイッチＳＷを順次切換え
制御することによって一対の固定電極１１，１２に交互
に電圧を印加するように構成されている。尚、振動子
６，７の各アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂへの電圧印
加は、前述した様に振動子６，７同士が接続されている
ため、いずれか一方の振動子をコモン電極として印加す
れば良い。
【００２９】上記構成において、図１（Ｂ）に示すよう
に、一方（左側）の固定電極１１に電圧が印加された時
には一方（左側）の振動子６のアーム部６ａ，６ｂの自
由端が静電力によって吸引されて下方に移動する。する
と、アーム部６ａ，６ｂの下方移動が一方（左側）の捩
じりバネ部９ａ，９ｂを介して反射ミラー部８に伝達さ
れ、これが回転トルクとなって反射ミラー部８が略重心
を通る軸Ｌを中心として反時計方向に回転する。
【００３０】又、図３に示すように、他方（右側）の固
定電極１２に電圧が印加された時には、一方（左側）の
アーム部６ａ，６ｂの吸引力が解除されて一方のアーム
部６ａ，６ｂが上方に戻ると共に、他方（右側）の振動
子７のアーム部７ａ，７ｂの自由端が静電力によって吸
引されて下方に移動する。すると、アーム部７ａ，７ｂ
の下方移動が他方（右側）の捩じりバネ部１０ａ，１０
ｂを介して反射ミラー部８に伝達され、これが回転トル
クとなって反射ミラー部８が略重心を通る軸Ｌを中心と
して時計方向に回転する。
【００３１】そして、駆動手段Ｄによって一対の固定電
極１１，１２に交互に電圧が印加されると、上記反射ミ
ラー部８の回転が繰り返され、これによって反射ミラー
部８が振動するものである。
【００３２】上記動作にあって、各アーム部６ａ，６
ｂ，７ａ，７ｂからの駆動力が捩じりバネ部９ａ，９
ｂ，１０ａ，０ｂを介して反射ミラー部８の振動（回
転）中心の近傍に作用するため、小さな駆動ストローク
で大きな振動角が得られる。又、反射ミラー部８には駆
動手段Ｄの部材を何等配置する必要がないため、反射ミ
ラー部８のサイズが小さくて良く高速振動が可能であ
る。
【００３３】特に、反射ミラー部８を前記した第１次回
転モードで共振振動させると、反射ミラー部８が最大変
位で振動すると共に、一対の振動子６，７の各アーム部
６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの共振周波数が前記第１次回転
モードの周波数と異なるためアーム部６ａ，６ｂ，７
ａ，７ｂの上下振幅を極めて小さくでき、低電力で大き
な回転力を得ることができる。
【００３４】また、駆動手段Ｄは、一対の振動子６，７
に対し別個独立に駆動力を作用するように構成されてい
るが、反射ミラー部８を共振振動によって振動させるの
であればいずれか一方の振動子６，７にのみ駆動力を作
用させるように構成し、この一方の振動子６，７を共振
周波数で振動させても良い。更には、一方の振動子６，
７のいずれか１本のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂに
対し駆動力を作用させるように構成させても良い。尚、
このことは以下の各実施形態でも同様である。つまり、
反射ミラー部８を共振振動によって振動させる場合に
は、一対の振動子６，７の４本のアーム部６ａ，６ｂ，
７ａ，７ｂの少なくとも１本に対し駆動力を作用させる
ように構成すれば良い。
【００３５】図４及び図５はそれぞれ本発明の第２実施
形態を示す光偏向子１Ｂの側面図である。図４及び図５
において、この第２実施形態にあって前記第１実施形態
と同一構成箇所は図面に同一符号を付してその説明を省
略し、異なる構成のみを説明する。
【００３６】即ち、ベース２の上には振動体５が配置さ
れているが、この振動体５の上にさらに上ベース１５が
配置されている。この上ベース１５には一対の固定電極
１６，１７が固定されており、この一対の固定電極１
６，１７はベース２上のものと同様な配置パターンで配
置されている。そして、一方（左側）の固定電極１６
は、ベース２上の他方（右側）の固定電極１２と同一タ
イミングで、他方（右側）の固定電極１７は、ベース２
上の一方（左側）の固定電極１１と同一タイミングで電
圧が印加されるように構成されている。
【００３７】この第２実施形態によれば、図４に示すよ
うに、一方（下の左側）の固定電極１１に電圧が印加さ
れた時には他方（上の右側）の固定電極１７にも電圧が
印加される。従って、一方（左側）の振動子６のアーム
部６ａ，６ｂの自由端が静電力によって吸引されて下方
に移動すると共に、他方（右側）の振動子７のアーム部
７ａ，７ｂの自由端が静電力によって吸引されて上方に
移動する。すると、アーム部６ａ，６ｂの下方移動が一
方（左側）の捩じりバネ部９ａ，９ｂを介して反射ミラ
ー部８に伝達され、且つ、アーム部７ａ，７ｂの上方移
動が他方（右側）の捩じりバネ部１０ａ，１０ｂを介し
て反射ミラー部８に伝達され、これらが同一方向の回転
トルクとなって反射ミラー部８が略重心を通る軸Ｌを中
心として反時計方向に回転する。
【００３８】又、図５に示すように、他方（下の右側）
の固定電極１２に電圧が印加された時には、一方（上の
左側）の固定電極１６にも電圧が印加される。従って、
他方（右側）の振動子７のアーム部７ａ，７ｂの自由端
が静電力によって吸引されて下方に移動すると共に、一
方（左側）の振動子６のアーム部６ａ，６ｂの自由端が
静電力によって吸引されて上方に移動する。すると、ア
ーム部７ａ，７ｂの下方移動が他方（右側）の捩じりバ
ネ部１０ａ，１０ｂを介して反射ミラー部８に伝達さ
れ、且つ、アーム部６ａ，６ｂの上方移動が一方（左
側）の捩じりバネ部９ａ，９ｂを介して反射ミラー部８
に伝達され、これらが同一方向の回転トルクとなって反
射ミラー部８が略重心を通る軸Ｌを中心として時計方向
に回転する。つまり、この第２実施形態では前記第１実
施形態のものと比較して約２倍の回転トルクが作用する
ため、さらに、広偏向角で振動させるのに適している。
【００３９】図６は本発明の第３実施形態を示す光偏向
子１Ｃの分解斜視図である。図６において、この第３実
施形態にあって前記第１実施形態と比較して駆動手段Ｄ
の構成のみが相違し、他の構成は同一であるため、駆動
手段Ｄの構成のみを説明し、その他の構成は図面に同一
符号を付してその説明を省略する。
【００４０】つまり、駆動手段Ｄは、ベース２の前後両
端部２ａ上に分割配置された左右一対の駆動コイル２
０，２１と、この各駆動コイル２０，２１の対向位置
で、且つ、一対の振動子６，７の各２本のアーム部６
ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの自由端部に設けられた永久磁石
膜２２，２３とを有する。この永久磁石膜２２，２３は
全て厚み方向で同一方向に着磁されている。そして、一
対の駆動コイル２０，２１には互いに逆相の駆動電流を
周期的に通電するように構成されている。つまり、一方
の駆動コイル２０の通電により発生する磁界の方向と、
他方の駆動コイル２１の通電により発生する磁界の方向
とが常に逆になるように通電される。
【００４１】一方の駆動コイル２０により発生する磁界
で一方（左側）のアーム部６ａ，６ｂが電磁力で下方に
吸引されると、他方の駆動コイル２１により発生する磁
界で他方（右側）のアーム部７ａ，７ｂが電磁力で上方
に反発される。又、他方の駆動コイル２１により発生す
る磁界で他方（右側）のアーム部７ａ，７ｂが電磁力で
下方に吸引されると、一方の駆動コイル２０により発生
する磁界で一方（左側）のアーム部６ａ，６ｂが電磁力
で上方に反発される。以上より、第２実施形態と同様な
回転トルクが反射ミラー部８に作用するため、上記通電
が交互に繰り返されることによって反射ミラー部８が振
動するものである。
【００４２】図７は本発明の第４実施形態を示す光偏向
子１Ｄの側面図である。図７において、この第４実施形
態にあって前記第１実施形態と比較して駆動手段Ｄの構
成のみが相違し、他の構成は同一であるため、駆動手段
Ｄの構成のみを説明し、その他の構成は図面に同一符号
を付してその説明を省略する。
【００４３】つまり、駆動手段Ｄは、ベース２の前後両
端部２ａと、一対の振動子６，７の各２本のアーム部６
ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの自由端部との間に配置されたピ
エゾ積層アクチュエータ部２４，２５をそれぞれ有し、
この各ピエゾ積層アクチュエータ部２４，２５の上下端
面はベース２と各アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂにそ
れぞれ固定されている。そして、一対のピエゾ積層アク
チュエータ部２４，２５には互いに逆位相の電圧を周期
的に印加するように構成されている。
【００４４】ピエゾ積層アクチュエータ部２４，２５は
印加される電圧によって積層方向に体積変動するため、
一対の捩じりバネ部９ａ，９ｂ、１０ａ，１０ｂを介し
て第１実施形態と同様な回転トルクを反射ミラー部８に
作用させることができる。
【００４５】図８は本発明の第５実施形態を示す光偏向
子１Ｅの側面図である。図８において、この第５実施形
態にあって前記第１実施形態と比較して駆動手段Ｄの構
成のみが相違し、他の構成は同一であるため、駆動手段
Ｄの構成のみを説明し、その他の構成は図面に同一符号
を付してその説明を省略する。
【００４６】つまり、駆動手段Ｄは、一対の振動子６，
７の各２本のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの上下面
にＰＺＴ等からなる圧電体２６ａ，２６ｂ、２７ａ，２
７ｂがそれぞれ配置されている。この上下一対の圧電体
２６ａ，２６ｂ、２７ａ，２７ｂによってピエゾバイモ
ルフ２６，２７が構成されている。そして、一対のピエ
ゾバイモルフ２６，２７には互いに逆位相の電圧を周期
的に印加するように構成されている。
【００４７】このピエゾバイモルフ２６，２７は一対の
圧電体２６ａ，２６ｂ、２７ａ，２７ｂ間に電圧が印加
されると、圧電材料が分極してアーム部６ａ，６ｂ，７
ａ，７ｂが撓むため、一対の捩じりバネ部９ａ，９ｂ、
１０ａ，１０ｂを介して第１実施形態と同様な回転トル
クを反射ミラー部８に作用させることができる。
【００４８】尚、圧電体はアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，
７ｂの上下面の少なくとも一方だけ配置してもよく、こ
の場合にはピエゾユニモルフとして作用し、ピエゾバイ
モルフの場合に比べて発生力は低下するものの、同様な
動作で行うことが可能である。
【００４９】図９及び図１０は本発明の第６実施形態を
示し、図９は光偏向子１Ｆの分解斜視図、図１０は光偏
向子１Ｆの側面図である。図９及び図１０において、こ
の第６実施形態にあって前記第１実施形態と比較して同
一構成箇所は図面に同一符号を付してその説明を省略
し、異なる構成箇所のみを説明する。
【００５０】即ち、一対の支持部３，４はそれぞれピエ
ゾ積層アクチュエータ部２４，２５にて構成されてお
り、各ピエゾ積層アクチュエータ部２４，２５の上面に
振動体５の一対の振動子６，７の外側端部が固定されて
いる。そして、この一対のピエゾ積層アクチュエータ部
２４，２５には互いに逆位相の電圧を周期的に印加する
ように構成されている。つまり、一対のピエゾ積層アク
チュエータ部２４，２５が一対の振動子６，７の支持を
していると共に駆動手段Ｄの一部をも兼用している。
【００５１】ピエゾ積層アクチュエータ部２４，２５は
印加される電圧によって積層方向に体積変動するため、
図１０に示すように、一方（左側）のピエゾ積層アクチ
ュエータ部２４が下方に移動すると一方（左側）の振動
子６全体が下方に変位するため、一方（左側）の捩じり
コイルバネ部９ａ，９ｂを介して反射ミラー部８に反時
計方向の回転トルクが作用する。又、他方（右側）のピ
エゾ積層アクチュエータ部２５が下方に移動すると他方
（右側）の振動子７全体が下方に変位するため、他方
（右側）の捩じりコイルバネ部１０ａ，１０ｂを介して
反射ミラー部８に時計方向の回転トルクが作用する。そ
して、駆動手段Ｄによって一対のピエゾ積層アクチュエ
ータ部２４、２５に互いに逆位相の電圧が周期的に印加
されると、上記反射ミラー部８の正逆回転が繰り返さ
れ、これによって反射ミラー部８が振動するものであ
る。
【００５２】この第６実施形態では一対の振動子６，７
の外側端部に駆動手段Ｄの駆動力が作用する構成であ
り、第１〜第５実施形態では一対の振動子６，７の各ア
ーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの内側端部（自由端）に
駆動手段Ｄの駆動力が作用する構成である点で相違す
る。第１〜第５実施形態では、駆動手段Ｄの駆動力が各
一対のアーム部６ａ，６ｂ、７ａ，７ｂの内側端部（自
由端）に作用するため、一対の捩じりバネ部を介して直
接反射ミラー部８に作用させることができ振動伝達の応
答性が良い。又、第６実施形態では一対のピエゾ積層ア
クチュエータ部２４，２５が一対の振動子６，７の支持
部を兼用しているため、構成の簡略化になる。
【００５３】図１１は本発明の第７実施形態を示す光偏
光子１Ｇの概略斜視図である。図１１において、この第
７実施形態にあって前記第１実施形態と比較して駆動手
段Ｄの構成のみが相違し、他の構成は同一であるため、
駆動手段Ｄの構成のみを説明し、その他の構成は図面に
同一符号を付してその説明を省略する。
【００５４】つまり、駆動手段Ｄは、一方の振動子６の
２本のアーム部６ａ，６ｂの自由端部の表面側に設けら
れた磁歪素子２８と、ベース２の前後外側位置に配置さ
れ、この磁歪素子２８に磁界を発生する一対の磁界発生
コイル２９，２９とを有している。磁歪素子２８は磁歪
定数が大きい磁性材料にて形成され、磁界発生コイル２
９に電流を通電することにより、磁歪素子２８が磁化さ
れる。そして、一対の磁界発生コイル２９，２９には交
互に逆方向の電流を通電するように構成されている。
【００５５】つまり、一対の磁界発生コイル２９，２９
に通電されると、例えば磁歪素子２８が正の磁歪定数を
持つ場合は、発生した磁界により伸び、これによってア
ーム部６ａ，６ｂが下方向に撓むため、一対の捩じりバ
ネ部９ａ，９ｂを介して第１実施形態と同様な回転トル
クを反射ミラー部８に作用させることができる。
【００５６】ここで、磁歪素子２８は、その大きさを例
えば１００μｍ×２０００μｍ、その厚みを２μｍとす
れば、面内方向の反磁界が無視できる程度になり、磁歪
素子２８の透磁率が１０００であれば２００ｅ程度の磁
界で十分飽和磁化させることが可能である。又、アーム
部６ａ，６ｂの材質をポリシリコン、磁歪素子２８の材
質をニッケル（Ｎｉ）とし、アーム部６ａ，６ｂ及び磁
歪素子２８の長さを２ｍｍ、アーム部６ａ，６ｂの厚み
を５０μｍ、磁歪素子２８の厚みを２μｍとして、磁界
を印加したときのアーム部６ａ，６ｂの内側端部（自由
端）の変位量δを見積もると、およそδ＝０．３μｍと
なり、前記第１次回転モードの周波数でアーム部６ａ，
６ｂを駆動すれば、容易に±５度程度の偏向角を得るこ
とができる。
【００５７】また、磁歪素子２８を用いる駆動手段Ｄ
は、ベース２や振動体５から駆動用の引き出し線を形成
するプロセスが必要ないため、歩留まり低下、コストア
ップを招きにくいという利点がある。
【００５８】尚、一方の振動子６の２本のアーム部６
ａ，６ｂではなく、他方の振動子７の２本のアーム部７
ａ，７ｂの自由端部に磁歪素子２８を設けても良い。
又、前記第１実施形態でも説明したように、反射ミラー
部８を共振振動によって振動させる場合には、一対の振
動子６，７の４本のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの
いずれか１つに磁歪素子２８を設け、１本のアーム部６
ａ，６ｂ，７ａ，７ｂに対し駆動力を作用させるように
構成すれば良い。
【００５９】図１２は第７実施形態の変形例を示す光偏
光子１Ｇの概略斜視図である。図１２において、この第
７実施形態の変形例にあっては、磁歪素子２８が一対の
振動子６，７の全てのアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ
の表面側に設けられている。そして、一方の振動子６の
アーム部６ａ，６ｂの磁歪素子２８と、他方の振動子７
のアーム部７ａ，７ｂの磁歪素子２８とは、磁歪定数の
正負が逆に構成されている。但し、磁歪素子２８の形成
面をアーム部６ａ，６ｂとアーム部７ａ，７ｂで表裏逆
にすれば、磁歪定数を全て同一の符号で構成できる。
【００６０】つまり、一対の磁界発生コイル２９，２９
に通電されると、左右の磁歪素子２８が一方は伸び、他
方は縮むので、これによって左右のアーム部６ａ，６
ｂ，７ａ，７ｂが互いに逆相で上下方向に撓むため、一
対の捩じりバネ部９ａ，９ｂ、１０ａ，１０ｂを介して
第１実施形態と同様な回転トルクを反射ミラー部８に作
用させることができる。
【００６１】尚、前記第７実施形態及びその変形例で
は、磁歪素子２８は、アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ
の表面側に設けたが裏面側に設けても良く、又、表面側
と裏面側の両方に設けても良い。但し、その場合には表
面側と裏面側とで磁歪定数の正負を逆に構成する。
【００６２】図１３は前記第７実施形態の応用例を示
し、光偏光子１Ｇを筐体Ｋに組み込んだ状態の概略斜視
図である。図１３において、筐体Ｋの少なくとも反射ミ
ラー部８に対向する面Ｋ１は偏向する光ビームが透過す
る材質で形成されている。この筐体Ｋは反射ミラー部８
を単に保護するだけのものであっても良いが、密閉構造
として内部を真空若しくは不活性ガスの充填を行えば、
耐環境性が向上する。そして、このように構成する場合
にあって、磁界発生コイル２９を筐体Ｋの外周に配置す
れば、光偏向子１Ｇからリード線を引き出す必要がない
ので、真空封止やガス充填封止の信頼性が向上する。
【００６３】図１４は本発明の第８実施形態を示す光偏
向子１Ｈの側面図である。この第８実施形態は振動体５
を加振台２Ｇの一対の支持部３，４に載せて振動させる
ものである。即ち、それ自体駆動系を持たない反射ミラ
ー部８を有した振動体５を加振台２Ｇの外部回転振動面
Ｇ上で振動させることにより、反射ミラー部８を共振さ
せて振動面より十分大きな変位を得るものであり、他の
構成は前記第１実施形態と同一であるため、同一符号を
付して詳細な説明は省略する。尚、外部回転振動面Ｇの
駆動手段は問わない。
【００６４】図１５及び図１６は本発明の第９実施形態
を示し、図１５は光偏向子１Ｉの分解斜視図、図１６は
振動体５の平面図である。図１５及び図１６において、
この第９実施形態と前記第１実施形態とを比較して異な
るのは、駆動手段Ｄの電圧印加部分の構成のみである。
つまり、この第９実施形態では、一対の振動子６，７の
４本のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂに対応する各電
極１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂに対して別個独立に
電圧を印加できるように４つの切替スイッチＳＷ１〜Ｓ
Ｗ４が設けられている。そして、４本のアーム部６ａ，
６ｂ，７ａ，７ｂに別個独立に駆動力を作用し、各アー
ム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの内側端部を上下方向に別
個独立に移動できるように構成されている。他の構成は
同一であるため、図面に同一符号を付してその説明を省
略する。
【００６５】上記構成において、切替スイッチＳＷ１及
び切替スイッチＳＷ２を一つの組とし、切替スイッチＳ
Ｗ３及び切替スイッチＳＷ４を他の一つの組とし、この
２つの組を交互にオン・オフ制御することによって前記
第１実施形態と同様の動作をさせることができる。
【００６６】また、切替スイッチＳＷ１と切替スイッチ
ＳＷ４とをオフの状態とし、切替スイッチＳＷ２と切替
スイッチＳＷ３とを交互にオン・オフ制御することによ
って駆動力が対角上のアーム部６ｂとアーム部７ａにの
み与えられ、図１６のＬ１を回転軸とした回転となる。
又、切替スイッチＳＷ２と切替スイッチＳＷ３とをオフ
の状態とし、切替スイッチＳＷ１と切替スイッチＳＷ４
とて交互にオン・オフ制御することによって駆動力が対
角上のアーム部６ａとアーム部７ｂにのみ与えられ、図
１６のＬ２を回転軸とした回転となる。つまり、光偏向
軸の角度が可変されるので、光偏向の方向を可変でき
る。
【００６７】このように光偏向の方向を可変できること
によって、次のような利点がある。例えば、光偏向子を
バーコードリーダに用いる場合、１次元的なスキャンを
行うことで情報の読取りができるが、バーコードとスキ
ャナの角度がある一定範囲内にないと読取りエラーにな
る。しかし、上記した光偏向の方向を可変できる光偏向
子を用いれば、このような読取りエラーに対処できる。
又、近年バーコードの情報量を増大させるために２次元
バーコードの利用が増加しており、この読取りには一般
的にＣＣＤ素子を用いているが、上記した光偏向の方向
を可変できる光偏向子を用いれば、２次元バーコードの
読取りが可能になりスキャナの低コスト化になる。
【００６８】さらに、全ての切替スイッチＳＷ１〜ＳＷ
４を同時にオン状態とすることによって反射ミラー部８
が平行に下方に移動し、その移動量は電圧レベルによっ
て可変できる。つまり、このように反射ミラー部８の位
置を可変することによって光学系の焦点調整等を行うこ
とができる。又、このように全ての切替スイッチＳＷ１
〜ＳＷ４を同時にオン状態とした上で、反射ミラー部８
を振動させるための電圧を重畳して印加すればその位置
で反射ミラー部８を振動させることができる。更に、重
畳する電極を対角上の電極１１ａ及び電極１２ｂ、又
は、電極１１ｂ及び電極１２ａとして重畳電圧を印加す
れば光偏向軸の角度が可変された状態で、反射ミラー部
８を振動させることができる。更に、各電極に印加でき
る電圧レベルを可変可能に構成し、全ての切替スイッチ
ＳＷ１〜ＳＷ４を同時にオン状態とすると共に、切替ス
イッチＳＷ１，ＳＷ３と切替スイッチＳＷ２，ＳＷ４と
の電圧レベル（ゼロを含む）を可変することによって反
射ミラー部８が傾斜し、この状態で反射ミラー部８を振
動させるような電圧を重畳して印加すれば２次元走査が
可能である。
【００６９】図１７は本発明の第１０実施形態を示す光
偏向子１Ｊの分解斜視図である。図１７において、この
第１０実施形態と前記第３実施形態とを比較して異なる
のは、駆動手段Ｄの電流通電部分の構成のみである。つ
まり、この第１０実施形態では、一対の振動子６，７の
４本のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの永久磁石膜２
２，２３に対応する各駆動コイル２０ａ，２０ｂ，２１
ａ，２１ｂに対して別個独立に電流を通電できるように
４つの切替スイッチＳＷ１〜ＳＷ４が設けられている。
そして、４本のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂに別個
独立に駆動力を作用し、各アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，
７ｂの内側端部を上下方向に別個独立に移動できるよう
に構成されている。他の構成は同一であるため、図面に
同一符号を付してその説明を省略する。
【００７０】この第１０実施形態においても、前記第９
実施形態と同様に光偏向軸の角度可変による光偏向方向
の可変、及び、反射ミラー部８の平行移動による光学系
の焦点調整等を行うことができる。
【００７１】図１８及び図１９は本発明の第１１実施形
態を示し、図１８は光偏向子１Ｋの一方側の側面図、図
１９は光偏向子１Ｋの他方側の側面図である。図１８及
び図１９において、この第１１実施形態と前記第３実施
形態とを比較して異なるのは、駆動手段Ｄの電圧印加部
分の構成のみである。つまり、この第１１実施形態で
は、一対の振動子６，７の４本のアーム部６ａ，６ｂ，
７ａ，７ｂに対応する各電極１１ａ，１１ｂ，１２ａ，
１２ｂ，１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂに対して別個
独立に電圧を印加できるように８つの切替スイッチＳＷ
１〜ＳＷ８が設けられている。そして、４本のアーム部
６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂに別個独立に駆動力を作用し、
各アーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂの内側端部を上下方
向に別個独立に移動できるように構成されている。他の
構成は同一であるため、図面に同一符号を付してその説
明を省略する。
【００７２】この第１１実施形態によれば、前記第９実
施形態と同様に光偏向軸の角度可変による光偏向方向の
可変、及び、反射ミラー部８の平行移動による光学系の
焦点調整等を行うことができる。又、切替スイッチＳＷ
５〜ＳＷ８を同時にオン状態とすることによって反射ミ
ラー部８が平行に上方にも移動できるため、光学系の焦
点調整等の範囲を広く取ることができる。更に、同様の
理由により光偏向軸の角度を大きく可変できるため、２
次元的に光偏向の方向を大きく可変できる。
【００７３】図２０は上記各光偏向子１Ａ〜１Ｋを用い
た表示装置の概略構成図である。図２０において、レー
ザ光源３０より発射されたレーザ光は、水平走査用光偏
向子３１に照射される。水平走査用光偏向子３１は水平
周波数に同期して反射ミラー部が駆動手段にて振動さ
れ、この振動によって反射光が水平方向に走査される。
ここで反射されたレーザ光は垂直走査用光偏向子３２に
照射される。この垂直走査用光偏向子３２は垂直周波数
に同期して反射ミラー部が駆動手段にて振動され、この
振動によって反射光が垂直方向に走査される。ここで反
射されたレーザ光がスクリーン３３に照射される。
【００７４】水平走査用光偏向子３１として上記各光偏
向子１Ａ〜１Ｋが用いられており、上記したように高速
で、且つ、広偏向角で振動できるため、数十ｋＨｚの走
査周波数に同期させて振動させることができる。もちろ
ん、垂直走査用光偏向子３２にも上記各光偏向子１Ａ〜
１Ｋを用いても良い。
【００７５】図２１は、上記各光偏向子１Ａ〜１Ｋを用
いた他の表示装置の概略構成図である。図２１におい
て、レーザ光源３０より発射されたレーザ光は、水平走
査用光偏向子３１に照射される。水平走査用光偏向子３
１は水平周波数に同期して反射ミラー部が駆動手段にて
振動され、この振動によって反射光が水平方向に走査さ
れる。ここで反射されたレーザ光は垂直走査用光偏向子
３２に照射される。この垂直走査用光偏向子３２は垂直
周波数に同期して反射ミラー部が駆動手段にて振動さ
れ、この振動によって反射光が垂直方向に走査される。
ここで反射されたレーザ光が集束レンズ３４を通って光
アドレス型空間変調素子３５に照射されて、光情報が書
き込まれる。これを表面側に明度、輝度などを増幅して
液晶で表示する。
【００７６】一方、ランプ３６からの光は赤外線カット
フィルタ３７、レンズ３８、波長フィルタ３９を通って
ポラリゼーション・ビームスプリッタ４０に入射され、
この反射光が光アドレス型空間変調素子３５に照射され
る。この光アドレス型空間変調素子３５を反射した光は
再びポラリゼーション・ビームスプリッタ４０に入射さ
れ、ここを透過した光がレンズ４１を介してスクリーン
３３に照射される。
【００７７】水平走査用光偏向子３１として上記各光偏
向子１Ａ〜１Ｋが用いられており、上記したように高速
で、且つ、広偏向角で振動できるため、数十ｋＨｚの走
査周波数に同期させて振動させることができる。もちろ
ん、垂直走査用光偏向子３２にも上記各光偏向子１Ａ〜
１Ｋを用いても良い。
【００７８】以上、第１〜第７実施形態の各光偏向子１
Ａ〜１Ｇによれば、駆動手段Ｄは一対の振動子６，７に
別個独立に駆動力を作用させる構成とすれば良いため、
駆動手段Ｄの構成として種々のものが適用でき自由度が
高い。また、駆動手段Ｄは一対の振動子６，７に別個独
立に駆動力を作用させることができれば良いので、第１
〜第７実施形態以外の構成でも良い。
【００７９】又、第９〜第１１実施形態の光偏向子１Ｉ
〜１Ｋによれば、駆動手段Ｄは一対の振動子６，７の４
本のアーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂに別個独立に駆動
力を作用させる構成とすれば良いため、駆動手段Ｄの構
成として種々のものが適用でき自由度が高い。尚、駆動
手段Ｄは一対の振動子６，７の４本のアーム部６ａ，６
ｂ，７ａ，７ｂに別個独立に駆動力を作用させることが
できれば良いので、第９〜第１１実施形態以外の構成で
も良い。
【００８０】尚、前記第１〜第６、第８〜第１１実施形
態において、図１３に示す第７実施形態の応用例のよう
に、反射ミラー部８を図示しないカバー等で覆って真空
状態に封止すれば、空気抵抗が減るので、反射ミラー部
８の振動をより高速に行うことができる。
【００８１】また、前記各実施形態によれば、各光偏向
子１Ａ〜１Ｋの適用例として表示装置を示したが、電子
写真式複写機、レーザビームプリンタ、バーコードリー
ダ等の光学機器の走査装置や、光ディスクのトラッキン
グ制御装置の光偏向装置等にも適用できることはもちろ
んである。
【００８２】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、間隔を置いて設けられた一対の支持部に、それ
ぞれ外側端部が固定され、内側端部が自由端である２本
のアーム部を有する一対の振動子と、この一対の振動子
の前記各２本のアーム部の間に配置された反射ミラー部
と、この反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近
傍の一対の軸対称位置の両端と前記一対の振動子の前記
各アーム部の内側端部とをそれぞれ連結する一対の捩じ
りバネ部と、前記一対の振動子の少なくとも一方に対し
別個独立に駆動力を作用し、前記各アーム部の内側端部
を上下方向に別個独立に移動できる駆動手段とを備えた
ので、一対の振動子の各アーム部からの駆動力が捩じり
バネ部を介して反射ミラー部の振動（回転）中心の近傍
に作用するため、小さな駆動ストロークで大きな振動角
が得られ、反射ミラー部には駆動手段の部材を何等配置
する必要がないため、反射ミラー部のサイズが小さくて
良く、以上より高速で、且つ、広偏向角の振動が可能で
ある。又、駆動手段が一対の振動子に別個独立に作用す
るよう構成するため、反射ミラー部を直接駆動する場合
のように反射ミラー部の振動を考慮する必要がなく駆動
手段の構成の自由度が高い。
【００８３】請求項２の発明によれば、間隔を置いて設
けられた一対の支持部に、それぞれ外側端部が固定さ
れ、内側端部が自由端である２本のアーム部を有する一
対の振動子と、この一対の振動子の前記各２本のアーム
部の間に配置された反射ミラー部と、この反射ミラー部
の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の一対の軸対称位置
の両端と前記一対の振動子の前記各アーム部の内側端部
とをそれぞれ連結する一対の捩じりバネ部と、前記一対
の振動子の４本のアーム部に対し別個独立に駆動力を作
用し、前記各アーム部の内側端部を上下方向に別個独立
に移動できる駆動手段とを備えたので、一対の振動子の
各アーム部からの駆動力が捩じりバネ部を介して反射ミ
ラー部の振動（回転）中心の近傍に作用するため、小さ
な駆動ストロークで大きな振動角が得られ、反射ミラー
部には駆動手段の部材を何等配置する必要がないため、
反射ミラー部のサイズが小さくて良く、より高速で、且
つ、広偏向角の振動が可能である。又、駆動手段が一対
の振動子に別個独立に作用するように構成するため、反
射ミラー部を直接駆動する場合のように反射ミラー部の
振動を考慮する必要がなく駆動手段の構成の自由度が高
い。更に、光偏向軸の角度可変による光偏向方向の可
変、及び、反射ミラー部の平行移動による光学系の焦点
調整等を行うことができる。
【００８４】請求項３の発明によれば、前記請求項１又
は請求項２に記載の光偏向子において、前記駆動手段
は、前記各振動子の内側端部にそれぞれ駆動力を作用さ
せる構成であるので、請求項１の発明の効果に加え、駆
動手段の駆動力が一対の捩じりバネ部を介して直接反射
ミラー部に作用させることができるため、振動伝達の応
答性が良い。
【００８５】請求項４の発明によれば、前記請求項１又
は請求項２に記載の光偏向子において、前記駆動手段は
前記各支持部に配置され、前記各振動子の外側端部に駆
動力を作用させる構成であるので、請求項１の発明の効
果に加え、駆動手段が一対の振動子の支持部を兼用して
いるため、構成の簡略化になる。
【００８６】請求項５の発明によれば、間隔を置いて設
けられた一対の支持部の一方に外側端部が固定され、内
側端部が自由端である２本のアーム部を有する一対の振
動子と、この一対の振動子の前記各２本のアーム部の間
に配置された反射ミラー部と、この反射ミラー部の重心
を通る軸に対しこの軸の近傍の一対の軸対称位置の両端
と前記一対の振動子の前記各アーム部の内側端部とをそ
れぞれ連結する一対の捩じりバネ部と、前記一対の振動
子に対し別個独立に駆動力を作用し、前記各アーム部の
内側端部を上下方向に別個独立に移動できる駆動手段と
を備えた光偏向子を設け、この光偏向子の前記反射ミラ
ー部にレーザ光を照射し、この照射されたレーザ光の反
射光の方向を前記反射ミラー部の回転角度を前記駆動手
段にて変化させて投影画像を得るように構成したので、
走査周波数の高い表示が可能である。
【００８７】請求項６の発明によれば、前記請求項５に
記載の表示装置において、前記反射ミラー部からの反射
光は、光アドレス型空間光変調素子に照射することによ
って書き込み、この光アドレス型空間光変調素子に書き
込んだ光情報を投影するように構成したので、光アドレ
ス型空間変調素子を用いた表示装置にあって、高解像度
の表示が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る光偏向子
の分解斜視図、（Ｂ）は本発明の第１実施形態に係る光
偏向子の側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る振動体の平面図で
ある。
【図３】本発明の第１実施形態に係る光偏向子の側面図
である。
【図４】本発明の第２実施形態を示す光偏向子の側面図
である。
【図５】本発明の第２実施形態を示す光偏向子の側面図
である。
【図６】本発明の第３実施形態を示す光偏向子の分解斜
視図である。
【図７】本発明の第４実施形態を示す光偏向子の側面図
である。
【図８】本発明の第５実施形態を示す光偏向子の側面図
である。
【図９】本発明の第６実施形態を示す光偏向子の分解斜
視図である。
【図１０】本発明の第６実施形態を示す光偏向子の側面
図である。
【図１１】本発明の第７実施形態を示す光偏向子の斜視
図である。
【図１２】本発明の第７実施形態の変形例を示す光偏向
子の斜視図である。
【図１３】本発明の第７実施形態の応用例を示し、光偏
向子を筐体に組み込んだ状態の斜視図である。
【図１４】本発明の第８実施形態を示す光偏光子の側面
図である。
【図１５】本発明の第９実施形態を示す光偏光子の分解
斜視図である。
【図１６】本発明の第９実施形態を示す振動体の平面図
である。
【図１７】本発明の第１０実施形態を示す光偏光子の分
解斜視図である。
【図１８】本発明の第１１実施形態を示す光偏光子の一
方側の側面図である。
【図１９】本発明の第１１実施形態を示す光偏光子の他
方側の側面図である。
【図２０】光偏向子を用いた表示装置の概略構成図であ
る。
【図２１】光偏向子を用いた他の表示装置の概略構成図
である。
【図２２】第１従来例の光偏向子の分解斜視図である。
【図２３】第２従来例の光偏向子の分解斜視図である。
【符号の説明】
１Ａ〜１Ｋ 光偏向子 ３，４ 支持部 ６ 一方の振動子 ６ａ，６ｂ アーム部 ７ 他方の振動子 ７ａ，７ｂ アーム部 ８ 反射ミラー部 ９ａ，９ｂ 一方の捩じりバネ部 １０ａ，１０ｂ 他方の捩じりバネ部 ３５ 光アドレス型空間変調素子 Ｄ 駆動手段 Ｌ 重心を通る軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小栗 克彦 神奈川県横浜市神奈川区守屋町３丁目12番 地 日本ビクター株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 間隔を置いて設けられた一対の支持部の
    一方に外側端部が固定され、内側端部が自由端である２
    本のアーム部を有する一方の振動子と、 前記一対の支持部の他方に外側端部が固定され、内側端
    部が自由端である２本のアーム部を有する他方の振動子
    と、 この一対の振動子の前記各２本のアーム部の間に配置さ
    れた反射ミラー部と、 この反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の
    一方の軸対称位置の両端と前記一方の振動子の前記各ア
    ーム部の内側端部とをそれぞれ連結する一方の捩じりバ
    ネ部と、 前記反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の
    他方の軸対称位置の両端と前記他方の振動子の前記各ア
    ーム部の内側端部とをそれぞれ連結する他方の捩じりバ
    ネ部と、 前記一対の振動子の少なくとも一方に対し別個独立に駆
    動力を作用し、前記各アーム部の内側端部を上下方向に
    別個独立に移動できる駆動手段とを備えたことを特徴と
    する光偏向子。
  2. 【請求項２】 間隔を置いて設けられた一対の支持部の
    一方に外側端部が固定され、内側端部が自由端である２
    本のアーム部を有する一方の振動子と、 前記一対の支持部の他方に外側端部が固定され、内側端
    部が自由端である２本のアーム部を有する他方の振動子
    と、 この一対の振動子の前記各２本のアーム部の間に配置さ
    れた反射ミラー部と、 この反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の
    一方の軸対称位置の両端と前記一方の振動子の前記各ア
    ーム部の内側端部とをそれぞれ連結する一方の捩じりバ
    ネ部と、 前記反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の
    他方の軸対称位置の両端と前記他方の振動子の前記各ア
    ーム部の内側端部とをそれぞれ連結する他方の捩じりバ
    ネ部と、 前記一対の振動子の４本のアーム部に対し別個独立に駆
    動力を作用し、前記各アーム部の内側端部を上下方向に
    別個独立に移動できる駆動手段とを備えたことを特徴と
    する光偏向子。
  3. 【請求項３】 前記請求項１又は請求項２に記載の光偏
    向子において、 前記駆動手段は、前記各振動子の内側端部にそれぞれ駆
    動力を作用させる構成であることを特徴とする光偏向
    子。
  4. 【請求項４】 前記請求項１又は請求項２に記載の光偏
    向子において、 前記駆動手段は前記各支持部に配置され、前記各振動子
    の外側端部に駆動力を作用させる構成であることを特徴
    とする光偏向子。
  5. 【請求項５】 間隔を置いて設けられた一対の支持部の
    一方に外側端部が固定され、内側端部が自由端である２
    本のアーム部を有する一方の振動子と、前記一対の支持
    部の他方に外側端部が固定され、内側端部が自由端であ
    る２本のアーム部を有する他方の振動子と、この一対の
    振動子の前記各２本のアーム部の間に配置された反射ミ
    ラー部と、この反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの
    軸の近傍の一方の軸対称位置の両端と前記一方の振動子
    の前記各アーム部の内側端部とをそれぞれ連結する一方
    の捩じりバネ部と、前記反射ミラー部の重心を通る軸に
    対しこの軸の近傍の他方の軸対称位置の両端と前記他方
    の振動子の前記各アーム部の内側端部とをそれぞれ連結
    する他方の捩じりバネ部と、前記一対の振動子に対し別
    個独立に駆動力を作用し、前記各アーム部の内側端部を
    上下方向に別個独立に移動できる駆動手段とを備えた光
    偏向子を設け、 この光偏向子の前記反射ミラー部にレーザ光を照射し、
    この照射されたレーザ光の反射光の方向を前記反射ミラ
    ー部の回転角度を前記駆動手段にて変化させて投影画像
    を得ることを特徴とする表示装置。
  6. 【請求項６】 前記請求項５に記載の表示装置におい
    て、 前記反射ミラー部からの反射光は、光アドレス型空間光
    変調素子に照射することによって書き込み、この光アド
    レス型空間光変調素子に書き込んだ光情報を投影したこ
    とを特徴とする表示装置。
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