JP2014137472A - 振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】ミラー部の歪みを十分に抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】このレーザ走査部１（振動ミラー素子）は、回転軸線Ａ周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部１１と、回転軸線Ａと直交する直交中心線Ｂ上に位置するミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂにそれぞれ接続され、変形可能な連結梁１２および１３と、電圧印加により変形する圧電体３ｂを含み、連結梁１２および１３にそれぞれ接続される駆動部１４および１５とを備える。レーザ走査部１は、駆動部１４の圧電体３ｂが変形することにより連結梁１２に接続された端部１１ａが変位するとともに、駆動部１５の圧電体３ｂが変形することにより連結梁１３に接続された端部１１ｂが変位することによって、ミラー部１１が回転軸線Ａ周りに傾斜されるように構成されている。
【選択図】図２

Description

この発明は、振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器に関し、特に、光を反射させるためのミラー部を備える振動ミラー素子およびその振動ミラー素子を備えるプロジェクタ機能を有する電子機器に関する。

従来、光を反射させるためのミラー部を備える振動ミラー素子が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、光を反射させる反射面を有する可動板（ミラー部）と、可動板の回転軸として可動板を回転可能に軸支する一対のトーション梁と、一対のトーション梁にねじり方向の駆動力（トルク）を作用させるための駆動部とを備える光走査装置が開示されている。この光走査装置の可動板には、一対のトーション梁から可動板に加えられるねじり方向の駆動力に起因して可動板が歪むのを抑制するためのリブが形成されている。なお、可動板と一対のトーション梁とは、可動板の回転軸線上で直接接続されている。

特開２０１０−１２８１１６号公報

しかしながら、上記特許文献１の光走査装置では、可動板と一対のトーション梁とが可動板の回転軸線上で直接接続されているため、一対のトーション梁のねじり方向の駆動力（トルク）が可動板に直接的に加えられてしまう。このため、可動部にリブを設けたとしても、比較的大きなトルクが可動板に加えられることに起因して、可動板（ミラー部）の歪みを十分に抑制することができない場合があるという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ミラー部の歪みを十分に抑制することが可能な振動ミラー素子およびその振動ミラー素子を備える電子機器を提供することである。

この発明の第１の局面による振動ミラー素子は、回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、回転軸線と交差する交差線上に位置するミラー部の第１ミラー端部および第２ミラー端部にそれぞれ接続され、変形可能な第１連結梁および第２連結梁と、電圧印加により変形する圧電体を含み、第１連結梁および第２連結梁にそれぞれ接続される第１駆動部および第２駆動部とを備え、第１駆動部の圧電体が変形することにより第１連結梁に接続された第１ミラー端部が変位するとともに、第２駆動部の圧電体が変形することにより第２連結梁に接続された第２ミラー端部が変位することによって、ミラー部が回転軸線周りに傾斜されるように構成されている。

この発明の第１の局面による振動ミラー素子では、上記のように、第１連結梁および第２連結梁を、それぞれ、回転軸線と交差する交差線上に位置するミラー部の第１ミラー端部および第２ミラー端部に接続するとともに、第１駆動部の圧電体が変形することにより第１連結梁に接続された第１ミラー端部が変位するとともに、第２駆動部の圧電体が変形することにより第２連結梁に接続された第２ミラー端部が変位することによって、ミラー部が回転軸線周りに傾斜されるように構成する。これにより、第１ミラー端部および第２ミラー端部と第１連結梁および第２連結梁とがそれぞれ回転軸線上で接続されている場合と異なり、第１連結梁および第２連結梁に回転軸線周りの駆動力（トルク）を生じさせなくとも、ミラー部を回転軸線周りに傾斜させることができる。これにより、ミラー端部にトルクが加えられるのを抑制することができるので、ミラー部の歪みを十分に抑制することができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、第１連結梁は、長手方向の両端部において、第１駆動部の長手方向の両端部近傍に接続されているとともに、長手方向の中央部近傍において、ミラー部の第１ミラー端部に接続されており、第２連結梁は、第１連結梁とは接続されないで、長手方向の両端部において、第２駆動部の長手方向の両端部近傍に接続されているとともに、長手方向の中央部近傍において、ミラー部の第２ミラー端部に接続されている。このように構成すれば、第１連結梁の両端部と第１駆動部の両端部近傍とがそれぞれ接続され、第２連結梁の両端部と第２駆動部の両端部近傍とがそれぞれ接続されていることによって、第１連結梁および第２連結梁を長手方向の両端部から中央部に向かって凸状または凹状に変形させることができる。これにより、第１連結梁および第２連結梁の中央部近傍の変位を大きくすることができるので、第１連結梁および第２連結梁の中央部近傍にそれぞれ接続された第１ミラー端部および第２ミラー端部の変位を大きくすることができる。この結果、ミラー部を回転軸線周りに大きく傾斜させることができる。また、第１連結梁と第２連結梁とを接続しないことによって、第１連結梁および第２連結梁の一方の変形が他方の変形に影響を及ぼすのを抑制することができるので、第１ミラー端部における変位と第２ミラー端部における変位とを容易に制御することができる。これにより、容易に、ミラー部を所定の角度に傾斜させることができる。

この場合、好ましくは、第１駆動部および第２駆動部は、長手方向の両端部を自由端とするとともに、長手方向の略中央部を固定端として変形するように構成されている。このように構成すれば、第１駆動部および第２駆動部における最も変位の大きい自由端である長手方向の両端部と、第１連結梁および第２連結梁の両端部とをそれぞれ接続することができるので、第１駆動部および第２駆動部の変形を、それぞれ、第１連結梁および第２連結梁に効果的に伝えることができる。

上記第１駆動部および第２駆動部が両端部を自由端とし略中央部を固定端とする構成において、好ましくは、第１連結梁は、長手方向の両端部における変位方向と、長手方向の中央部における変位方向とが逆方向になるように変形するように構成されており、第２連結梁は、第１連結梁とは独立して変形するとともに、長手方向の両端部における変位方向と、長手方向の中央部における変位方向とが逆方向になるように変形するように構成されている。このように構成すれば、凸状または凹状に変形する第１連結梁および第２連結梁の長手方向の中央部における変位をより大きくすることができるので、第１連結梁および第２連結梁の中央部近傍にそれぞれ接続された第１ミラー端部および第２ミラー端部の変位をより大きくすることができる。これにより、ミラー部を回転軸線周りにより大きく傾斜させることができる。また、第２連結梁が第１連結梁とは独立して変形することによって、第１連結梁および第２連結梁の一方の変形が他方の変形に影響を与えるのを抑制することができるので、第１ミラー端部における変位と第２ミラー端部における変位とをより容易に制御することができる。これにより、容易に、ミラー部を所定の角度に傾斜させることができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、第１駆動部の変形の方向と、第１連結梁の変形の方向とが同じ方向になるとともに、第２駆動部の変形の方向と、第２連結梁の変形の方向とが同じ方向になるように構成されている。このように構成すれば、変形の方向が互いに逆方向である場合と異なり、第１駆動部と第１連結梁とが互いに引き合うのを抑制することができるとともに、第２駆動部と第２連結梁とが互いに引き合うのを抑制することができる。これにより、ミラー部を回転軸線周りに大きく傾斜させることができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、第１連結梁および第２連結梁は、ミラー部の回転軸線と直交する直交中心線近傍に位置する第１ミラー端部および第２ミラー端部にそれぞれ接続されている。このように構成すれば、ミラー部の回転軸線と直交する直交中心線近傍に位置する第１ミラー端部および第２ミラー端部を変位させることができるので、直交中心線に沿ってミラー部を確実に傾斜させることができる。これにより、確実に、ミラー部を回転軸線周りに傾斜させることができる。

この場合、好ましくは、第１連結梁と第２連結梁とは、直交中心線の延びる方向からミラー部を挟み込むように形成されている。このように構成すれば、ミラー部の直交中心線の延びる方向の両側から第１ミラー端部および第２ミラー端部を変位させることができるので、容易に、ミラー部を回転軸線周りに傾斜させることができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、第１駆動部および第２駆動部は、平面視において、ミラー部側が窪むように湾曲または屈曲している。このように構成すれば、第１駆動部および第２駆動部をミラー部側に近づけて形成することができるので、振動ミラー素子が大型化するのを抑制することができる。また、第１駆動部および第２駆動部を湾曲または屈曲させることによって、第１駆動部および第２駆動部が直線状に形成されている場合と比べて、第１駆動部および第２駆動部の長さをより大きくすることができるので、第１駆動部および第２駆動部の面積をより大きくすることができる。これにより、第１駆動部および第２駆動部に生じる駆動力を容易に大きくすることができる。

上記第１の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、第１ミラー端部近傍の第１連結梁と、第２ミラー端部近傍の第２連結梁とを接続するように形成された補強部をさらに備える。このように構成すれば、補強部によって、第１ミラー端部近傍の第１連結梁および第２ミラー端部近傍の第２連結梁の過度の変形を抑制することができるので、第１ミラー端部および第２ミラー端部が意図しない方向に変位するのを抑制することができる。これにより、確実に、ミラー部を回転軸線周りに傾斜させることができる。

この発明の第２の局面によるプロジェクタ機能を有する電子機器は、レーザ光を発するレーザ光発生部と、入力された映像を解析して、画素情報を認識する制御部と、レーザ光を走査する振動ミラー素子とを備え、振動ミラー素子は、回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、回転軸線と交差する交差線上に位置するミラー部の第１ミラー端部および第２ミラー端部にそれぞれ接続され、変形可能な第１連結梁および第２連結梁と、電圧印加により変形する圧電体を含み、第１連結梁および第２連結梁にそれぞれ接続される第１駆動部および第２駆動部とを含み、第１駆動部の圧電体が変形することにより第１連結梁に接続された第１ミラー端部が変位するとともに、第２駆動部の圧電体が変形することにより第２連結梁に接続された第２ミラー端部が変位することによって、ミラー部が回転軸線周りに傾斜されるように構成されている。

この発明の第２の局面によるプロジェクタ機能を有する電子機器では、上記のように、振動ミラー素子において、第１連結梁および第２連結梁を、それぞれ、回転軸線と交差する交差線上に位置するミラー部の第１ミラー端部および第２ミラー端部に接続する。また、振動ミラー素子を、第１駆動部の圧電体が変形することにより第１連結梁に接続された第１ミラー端部が変位するとともに、第２駆動部の圧電体が変形することにより第２連結梁に接続された第２ミラー端部が変位することによって、ミラー部が回転軸線周りに傾斜されるように構成する。これにより、第１ミラー端部および第２ミラー端部と第１連結梁および第２連結梁とがそれぞれ回転軸線上で接続されている場合と異なり、第１連結梁および第２連結梁に回転軸線周りの駆動力（トルク）を生じさせなくとも、ミラー部を回転軸線周りに傾斜させることができる。これにより、ミラー端部にトルクが加えられるのを抑制することができるので、ミラー部の歪みを十分に抑制することができる。この結果、ミラー部により反射されたレーザ光の幅が変化する（レーザ光が収束したり広がったりする）のを十分に抑制することができる。したがって、振動ミラー素子により幅の変化が抑制されたレーザ光を走査させることができるので、電子機器により、鮮明な投影画像を投影することができる。

本発明によれば、上記のように、ミラー部の歪みを十分に抑制することができる。

本発明の第１実施形態による携帯型電子機器の構成を示したブロック図である。 本発明の第１実施形態によるレーザ走査部を示した平面図である。 図２の４００−４００線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態によるレーザ走査部の駆動部の構造を説明するための拡大断面図である。 本発明の第１実施形態によるレーザ走査部のミラー部が回転軸線周りに傾斜している状態を示した斜視図である。 図５のＹ１側から見た、本発明の第１実施形態による第１駆動部および第１連結梁が同じ方向に撓み変形した状態を示した側面図である。 図５のＹ２側から見た、本発明の第１実施形態による第２駆動部および第２連結梁が同じ方向に撓み変形した状態を示した側面図である。 本発明の第２実施形態によるレーザ走査部を示した平面図である。 本発明の第１実施形態の第１変形例による第１駆動部および第１連結梁が逆方向に撓み変形した状態を示した側面図である。 本発明の第１実施形態の第１変形例による第２駆動部および第２連結梁が逆方向に撓み変形した状態を示した側面図である。 本発明の第１実施形態の第２変形例によるレーザ走査部を示した平面図である。

（第１実施形態）
まず、図１〜図５を参照して、本発明の第１実施形態による携帯型電子機器１００の構成について説明する。なお、携帯型電子機器１００は、本発明の「プロジェクタ機能を有する電子機器」の一例である。

本発明の第１実施形態による携帯型電子機器１００は、図１に示すように、外部から映像信号が入力される入力端子１０１と、入力端子１０１から入力された映像信号を解析して、画素情報を認識する制御部１０２と、画素情報を映像として出力するためのレーザ制御部１０３、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５、青色レーザダイオード１０６およびレーザ走査部１とを備えている。つまり、携帯型電子機器１００は、入力された映像情報を映像として出力可能なプロジェクタ機能を有している。なお、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６は、本発明の「レーザ光発生部」の一例であり、レーザ走査部１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。

また、レーザ制御部１０３は、制御部１０２によって認識された画素情報に基づいて、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６の発光を制御するように構成されている。また、赤色レーザダイオード１０４は、赤色のレーザ光を発することが可能に構成されており、緑色レーザダイオード１０５は、緑色のレーザ光を発することが可能に構成されており、青色レーザダイオード１０６は、青色のレーザ光を発することが可能に構成されている。また、レーザ走査部１は、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６からのレーザ光を反射することによって、所定の投影位置に映像を投影するように構成されている。

レーザ走査部１は、図２に示すように、ミラー部１１と、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂにそれぞれ接続される連結梁１２および１３と、連結梁１２および１３にそれぞれ接続される駆動部１４および１５と、固定部１６および１７とを含んでいる。なお、連結梁１２および１３は、それぞれ、本発明の「第１連結梁」および「第２連結梁」の一例であり、駆動部１４および１５は、それぞれ、本発明の「第１駆動部」および「第２駆動部」の一例である。

また、レーザ走査部１は、ミラー部１１の回転軸線Ａおよび回転軸線Ａと直交する直交中心線Ｂの各々に対して、略鏡像対称になるように形成されている。なお、直交中心線Ｂは、ミラー部１１の中心Ｏを通るように延びている。また、図３に示すように、ミラー部１１と、連結梁１２および１３（図２参照）と、駆動部１４および１５と、固定部１６および１７とは、Ｓｉ、ＳＵＳおよびＴｉのいずれか１つ、または、それらの複合材からなる基材２により一体的に形成されている。ここで、図３では、レーザ走査部１の厚み方向（Ｚ方向）の長さが誇張された状態で図示されている。なお、直交中心線Ｂは、本発明の「交差線」の一例である。

ミラー部１１は、図２に示すように、レーザ走査部１の略中央部に中心Ｏが位置するように平面視において円状に形成されているとともに、回転軸線Ａ周りに傾斜可能なように形成されている。また、直交中心線Ｂ上に位置するミラー部１１の端部１１ａと連結梁１２とが、ミラー部１１の回転軸線方向（Ｘ方向）と直交する直交線方向（Ｙ方向）の一方側（Ｙ１側）において接続されている。また、直交中心線Ｂ上に位置するミラー部１１の端部１１ｂと連結梁１３とが、Ｙ方向の他方側（Ｙ２側）において接続されている。また、ミラー部１１は、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６（図１参照）からのレーザ光を反射する機能を有している。なお、端部１１ａは、本発明の「第１ミラー端部」の一例であり、端部１１ｂは、本発明の「第２ミラー端部」の一例である。

連結梁１２および１３は、ミラー部１１のＹ１側およびＹ２側にそれぞれ配置されていることにより、Ｙ方向からミラー部１１を挟み込むように構成されている。また、連結梁１２および１３は、上方（Ｚ１側）に突出する凸状（これ以降、凸状とだけ記載する）、または、凸状とは逆方向の撓み方向である、下方（Ｚ２側）に凹む凹状（これ以降、凹状とだけ記載する）に撓み（曲げ）変形可能に形成されている。また、連結梁１２および１３とは、互いに接続されていないとともに、互いに独立して撓み変形するように構成されている。

Ｙ１側の連結梁１２は、ミラー部１１のＹ１側の端部１１ａに接続される接続部１２ａと、接続部１２ａに接続される梁部１２ｂとを有している。また、Ｙ２側の連結梁１３は、ミラー部１１のＹ２側の端部１１ｂに接続される接続部１３ａと、接続部１３ａに接続される梁部１３ｂとを有している。接続部１２ａおよび１３ａは、共に、回転軸線Ａと直交する直交中心線Ｂ上に形成されているとともに、それぞれ、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂと直交中心線Ｂ上で接続されている。梁部１２ｂおよび１３ｂは、それぞれ、ミラー部１１のＹ１側およびＹ２側において、回転軸線方向（Ｘ方向、長手方向）に延びるように形成されている。

梁部１２ｂは、Ｘ方向の中央部１２ｃおよびその周辺に形成された湾曲梁部１２ｄと、湾曲梁部１２ｄのＸ方向の両端部にそれぞれ接続された一対の直線梁部１２ｅとを有している。また、梁部１３ｂは、Ｘ方向の中央部１３ｃおよびその周辺に形成された湾曲梁部１３ｄと、湾曲梁部１３ｄのＸ方向の両端部にそれぞれ接続された一対の直線梁部１３ｅとを有している。

湾曲梁部１２ｄおよび１３ｃは、それぞれ、ミラー部１１の外縁部に沿うように湾曲している。また、一対の直線梁部１２ｅは、それぞれ、湾曲梁部１２ｄ側からＸ１側の端部１２ｆ側、および、Ｘ２側の端部１２ｇ側に向かって直線状に延びている。また、直線梁部１３ｅは、それぞれ、湾曲梁部１３ｄ側からＸ１側の端部１３ｆ側、および、Ｘ２側の端部１３ｇ側に向かって直線状に延びている。

また、梁部１２ｂは、Ｘ方向の端部１２ｆおよび１２ｇにおいてＹ１側の駆動部１４に接続されているとともに、Ｘ方向の中央部１２ｃにおいて接続部１２ａに接続されている。また、梁部１３ｂは、Ｘ方向の端部１３ｆおよび１３ｇにおいてＹ２側の駆動部１５に接続されているとともに、Ｘ方向の中央部１３ｃにおいて接続部１３ａに接続されている。この結果、連結梁１２および１３は、それぞれ、駆動部１４および１５からの撓み変形によって、Ｘ方向の両端部（端部１２ｆ、１２ｇ、１３ｆおよび１３ｇ）から中央部１２ｃおよび１３ｃに向かって凸状または凹状に撓み（曲げ）変形可能なように構成されている。

駆動部１４および１５は、回転軸線方向（Ｘ方向、長手方向）に延びるように形成されている。また、駆動部１４および１５は、ミラー部１１のＹ１側およびＹ２側にそれぞれ配置されていることにより、Ｙ方向からミラー部１１を挟み込むように構成されている。また、Ｙ１側の駆動部１４は、連結梁１２よりもＹ１側（外側）に形成されているとともに、Ｙ２側の駆動部１５は、連結梁１３よりもＹ２側（外側）に形成されている。

また、駆動部１４および１５は、それぞれ、平面視において、ミラー部１１側（Ｙ２側およびＹ１側）が窪むように屈曲するように形成されている。すなわち、駆動部１４および１５のミラー部１１側には、それぞれ、凹部１４ａおよび１５ａが形成されている。この凹部１４ａには、平面視において、連結梁１２とミラー部１１のＹ１側の一部とが収容されている。また、凹部１５ａには、平面視において、連結梁１３とミラー部１１のＹ２側の一部とが収容されている。

また、駆動部１４は、Ｘ１側の端部１４ｂ近傍において、連結梁１２のＸ１側の端部１２ｆに接続されているとともに、Ｘ２側の端部１４ｃ近傍において、連結梁１２のＸ２側の端部１２ｇに接続されている。また、駆動部１５は、Ｘ１側の端部１５ｂ近傍において、連結梁１３のＸ１側の端部１３ｆに接続されているとともに、Ｘ２側の端部１５ｃ近傍において、連結梁１３のＸ２側の端部１３ｇに接続されている。また、駆動部１４および１５は、それぞれ、ミラー部１１側（Ｙ２側およびＹ１側）の側面において、連結梁１２および１３に接続されている。

また、駆動部１４および１５は、図４に示すように、基材２の上面（Ｚ１側の面）上に形成された駆動機構部３を有している。この駆動機構部３は、下方（Ｚ２側）から順に、下部電極３ａ、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電効果を奏することが可能な材料からなる圧電体３ｂおよび上部電極３ｃが積層された構造を有している。そして、駆動機構部３では、下部電極３ａと上部電極３ｃとの間に電位差を生じさせることにより圧電体３ｂに電圧が印加されることによって、圧電体３ｂを凸状または凹状に撓み変形させるように構成されている。この結果、図２に示すように、駆動部１４および１５は、それぞれ、Ｘ方向の中央部１４ｄおよび１５ｄを固定端とし、Ｘ方向の両端部（端部１４ｂ、１４ｃ、１５ｂおよび１５ｃ）を自由端として、自由端から固定端に向かって凸状または凹状に撓み（曲げ）変形可能なように構成されている。

また、駆動部１４と駆動部１５とには逆位相の正弦波電圧が印加されるように構成されている。つまり、駆動部１４および１５の一方が凸状に撓み変形した場合には、他方が凹状に撓み変形するように構成されている。また、駆動部１４および１５は、約３０ｋＨｚの駆動周波数で、凸状への撓み変形と凹状への撓み変形とを交互に繰り返すように構成されており、この駆動周波数に合うように、レーザ走査部１のミラー部１１の大きさや揺動動作が設計されている。これにより、駆動部１４および１５は、ミラー部１１を共振させることによって、ミラー部１１を通常の傾斜における振れ角よりも大きな振れ角で回転軸線Ａ（図２参照）周りに揺動させる（連続的に傾斜させる）ことが可能である。なお、ミラー部１１の具体的な揺動動作に関しては、後述する。

固定部１６および１７は、それぞれ、駆動部１４および１５を図示しない固定枠に固定するために設けられている。また、固定部１６は、図２に示すように、駆動部１４のＸ方向の中央部１４ｄで、かつ、ミラー部１１とは反対側（Ｙ１側）の側面に接続されているとともに、固定部１７は、駆動部１５のＸ方向の中央部１５ｄで、かつ、ミラー部１１とは反対側（Ｙ２側）の側面に接続されている。また、固定部１６および１７により、駆動部１４の中央部１４ｄおよび駆動部１５の中央部１５ｄが固定端となるように構成されている。

次に、図１および図４〜図７を参照して、本発明の第１実施形態によるレーザ走査部１におけるミラー部１１の揺動動作、および、レーザ走査部１によるレーザ光の走査動作について説明する。

図５に示すように、Ｙ１側の駆動部１４の圧電体３ｂ（図４参照）が凸状に撓み変形され、Ｙ２側の駆動部１５の圧電体３ｂが凹状に撓み変形された際には、Ｙ１側の駆動部１４において、端部１４ｂおよび１４ｃが共に下方（Ｚ２側）に移動されるとともに、Ｙ２側の駆動部１５において、端部１５ｂおよび１５ｃが共に上方（Ｚ１側）に移動される。

これにより、駆動部１４の端部１４ｂおよび１４ｃにそれぞれ接続された連結梁１２の端部１２ｆおよび１２ｇが下方に移動されて、梁部１２ｂが凸状に撓み変形される。そして、梁部１２ｂの中央部１２ｃおよび接続部１２ａが上方に移動（変位）される。この結果、図６に示すように、梁部１２ｂの撓み変形の方向（Ｚ１側に凸状）と駆動部１４の撓み変形の方向（Ｚ１側に凸状）とが同じ方向になるとともに、端部１２ｆおよび１２ｇの変位方向（下方、Ｚ２方向）と中央部１２ｃの変位方向（上方、Ｚ１方向）とが逆方向になる。

また、駆動部１５の端部１５ｂおよび１５ｃにそれぞれ接続された連結梁１３の端部１３ｆおよび１３ｇが上方に移動されて、梁部１３ｂが凹状に撓み変形される。そして、梁部１３ｂの中央部１３ｃおよび接続部１３ａが下方に移動（変位）される。この結果、図７に示すように、梁部１３ｂの撓み変形の方向（Ｚ２側に凹状）と駆動部１５の撓み変形の方向（Ｚ２側に凹状）とが同じ方向になるとともに、端部１３ｆおよび１３ｇの変位方向（上方、Ｚ１方向）と中央部１３ｃの変位方向（下方、Ｚ２方向）とが逆方向になる。

ここで、第１実施形態では、図５に示すように、駆動部１４から連結梁１２の梁部１２ｂに対して、ねじり方向の駆動力（トルク）はほとんど加えられないとともに、駆動部１５から連結梁１３の梁部１３ｂに対して、トルクはほとんど加えられないので、ミラー部１１のＹ１側の端部１１ａおよびＹ２側の端部１１ｂは、ほとんどねじり変形されず、この結果、ミラー部１１を歪ませるようなトルクはほとんど発生しない。

そして、Ｙ１側の接続部１２ａが上方に変位されることによって、ミラー部１１の端部１１ａが上方に変位されるとともに、Ｙ２側の接続部１３ａが下方に変位されることによって、ミラー部１１の端部１１ｂが下方に変位される。この結果、端部１１ａおよび１１ｂの変位により、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａ側から端部１１ｂ側に向かって下方（Ｚ２方向）に傾斜するように、ミラー部１１が回転軸線Ａ周りのＡ１方向に回動されて傾斜される。

したがって、Ｙ１側の駆動部１４の圧電体３ｂ（図４参照）が凸状に撓み変形することにより連結梁１２に接続されたミラー部１１の端部１１ａが上方に変位するとともに、Ｙ２側の駆動部１５の圧電体３ｂが凹状に撓み変形することにより連結梁１３に接続されたミラー部１１の端部１１ｂが下方に変位することによって、ミラー部１１が回転軸線Ａ周りのＡ１方向に回動されて傾斜される。

また、Ｙ１側の駆動部１４が凹状に撓み変形され、Ｙ２側の駆動部１５が凸状に撓み変形された際には、上記回転軸線Ａ周りのＡ１方向の回動動作とは逆の動作が行われることによって、ミラー部１１は回転軸線Ａ周りのＡ２方向に回動されて傾斜される。具体的には、梁部１２ｂの撓み変形の方向（Ｚ２側に凹状）と駆動部１４の撓み変形の方向（Ｚ２側に凹状）とが同じ方向になるとともに、端部１２ｆおよび１２ｇの変位方向（上方、Ｚ１方向）と中央部１２ｃの変位方向（下方、Ｚ２方向）とが逆方向になる。また、梁部１３ｂの撓み変形の方向（Ｚ１側に凸状）と駆動部１５の撓み変形の方向（Ｚ１側に凸状）とが同じ方向になるとともに、端部１３ｆおよび１３ｇの変位方向（下方、Ｚ２方向）と中央部１３ｃの変位方向（上方、Ｚ１方向）とが逆方向になる。そして、駆動部１４の圧電体３ｂが凹状に撓み変形することにより連結梁１２に接続された端部１１ａが下方に変位するとともに、駆動部１５の圧電体３ｂが凸状に撓み変形することにより連結梁１３に接続された端部１１ｂが上方に変位することによって、ミラー部１１が回転軸線Ａ周りのＡ２方向に回動されて傾斜される。

そして、駆動部１４および１５において、凸状への撓み変形と凹状への撓み変形とが、レーザ走査部１全体の固有振動数と略等しい約３０ｋＨｚの駆動周波数で交互に繰り返すように行われる。これにより、ミラー部１１は、共振した状態で、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａ側から端部１１ｂ側に向かって上方または下方に交互に繰り返すように傾斜される。この結果、ミラー部１１は、通常の傾斜における振れ角よりも大きな振れ角で回転軸線Ａ周りに揺動される（連続的に傾斜される）。

したがって、揺動するミラー部１１において、赤色レーザダイオード１０４、緑色レーザダイオード１０５および青色レーザダイオード１０６（図１参照）からのレーザ光が反射されることによって、携帯型電子機器１００（図１参照）において、レーザ光が約３０ｋＨｚの駆動周波数で１軸方向に走査される。この際、ミラー部１１に歪みがほとんど発生していないので、ミラー部１１により反射されたレーザ光の幅はほとんど変化しない（レーザ光が収束したり広がったりしない）。これにより、レーザ走査部１により略均一な幅を有するレーザ光が走査されるので、携帯型電子機器１００により、鮮明な投影画像が投影される。

第１実施形態では、上記のように、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａと連結梁１２とをＹ１側において接続し、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ｂと連結梁１３とをＹ２側において接続する。また、Ｙ１側の駆動部１４の圧電体３ｂが撓み変形されることにより連結梁１２に接続された端部１１ａが上方または下方に変位されるとともに、Ｙ２側の駆動部１５の圧電体３ｂが撓み変形されることにより連結梁１３に接続された端部１１ｂが下方または上方に変位されることによって、ミラー部１１が回転軸線Ａ周りに傾斜されるように構成する。これにより、端部１１ａおよび１１ｂと連結梁１２および１３とがそれぞれ回転軸線Ａ上で接続されている場合と異なり、連結梁１２および１３に回転軸線Ａ周りの駆動力（トルク）を生じさせなくとも、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに傾斜させることができる。これにより、端部１１ａおよび１１ｂにトルクが加えられるのを抑制することができるので、ミラー部１１の歪みを十分に抑制することができる。この結果、ミラー部１１により反射されたレーザ光の幅が変化する（レーザ光が収束したり広がったりする）のを十分に抑制することができる。したがって、レーザ走査部１により幅の変化が抑制されたレーザ光を走査させることができるので、携帯型電子機器１００により、鮮明な投影画像を投影することができる。

また、第１実施形態では、レーザ走査部１に一般的なトーション梁を設けていないので、トーション梁における駆動力の損失がない。これにより、ミラー部１１を揺動させるための駆動力を大きく確保することができるので、駆動部１４および１５の駆動周波数を大きくした場合であっても、ミラー部１１を十分に揺動させることができる。この結果、駆動部１４および１５の駆動周波数の選択の幅を広くすることができるので、レーザ走査部１全体の固有周波数を、より広範な範囲から選択することができる。したがって、レーザ走査部１全体の固有周波数が変化する要因となるミラー部１１の大きさなどの選択の幅を広くすることができるので、レーザ走査部１全体の設計自由度を向上させることができる。

また、第１実施形態では、連結梁１２の接続部１２ａおよび連結梁１３の接続部１３ａを、共に、回転軸線Ａと直交する直交中心線Ｂ上に形成するとともに、それぞれ、ミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂと直交中心線Ｂ上で接続する。また、連結梁１２の梁部１２ｂを、Ｘ方向の端部１２ｆおよび１２ｇにおいてＹ１側の駆動部１４に接続するとともに、Ｘ方向の中央部１２ｃにおいて接続部１２ａに接続する。また、連結梁１３の梁部１３ｂを、Ｘ方向の端部１３ｆおよび１３ｇにおいてＹ２側の駆動部１５に接続するとともに、Ｘ方向の中央部１３ｃにおいて接続部１３ａに接続する。このように構成することによって、連結梁１２および１３をＸ方向の両端部（端部１２ｆ、１２ｇ、１３ｆおよび１３ｇ）から中央部１２ｃおよび１３ｃに向かって凸状または凹状に撓み変形させることができるので、連結梁１２の中央部１２ｃおよび連結梁１３の中央部１３ｃ近傍の変位を大きくすることができる。これにより、中央部１２ｃおよび１３ｃ近傍にそれぞれ接続された端部１１ａおよび１１ｂの変位を大きくすることができるので、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに大きく傾斜させることができる。

また、第１実施形態では、連結梁１２および１３を互いに接続しないことによって、連結梁１２および１３の一方の撓み変形が他方の撓み変形に影響を及ぼすのを抑制することができるので、端部１１ａにおける変位と端部１１ｂにおける変位とを容易に制御することができる。これにより、容易に、ミラー部１１を所定の角度に傾斜させることができる。

また、第１実施形態では、駆動部１４および１５を、それぞれ、Ｘ方向の中央部１４ｄおよび１５ｄを固定端とし、Ｘ方向の両端部（端部１４ｂ、１４ｃ、１５ｂおよび１５ｃ）を自由端として、自由端から固定端に向かって凸状または凹状に撓み変形可能なように構成する。このように構成することによって、駆動部１４および１５における最も変位の大きい自由端であるＸ方向の両端部と、連結梁１２および１３の両端部（端部１２ｆ、１２ｇ、１３ｆおよび１３ｇ）とをそれぞれ接続することができるので、駆動部１４および１５の撓み変形を、それぞれ、連結梁１２および１３に効果的に伝えることができる。

また、第１実施形態では、端部１２ｆおよび１２ｇの変位方向と中央部１２ｃの変位方向とを逆方向にするとともに、端部１３ｆおよび１３ｇの変位方向と中央部１３ｃの変位方向とを逆方向にすることによって、凸状または凹状に撓み変形する連結梁１２のＸ方向の中央部１２ｃ、および、凸状または凹状に撓み変形する連結梁１３のＸ方向の中央部１３ｃにおける変位をより大きくすることができるので、中央部１２ｃおよび１３ｃ近傍にそれぞれ接続された端部１１ａおよび１１ｂの変位をより大きくすることができる。これにより、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りにより大きく傾斜させることができる。

また、第１実施形態では、連結梁１２および１３が独立して撓み変形することによって、連結梁１２および１３の一方の撓み変形が他方の撓み変形に影響を与えるのを抑制することができるので、端部１１ａにおける変位と端部１１ｂにおける変位とをより容易に制御することができる。これにより、容易に、ミラー部１１を所定の角度に傾斜させることができる。

また、第１実施形態では、梁部１２ｂの撓み変形の方向と駆動部１４の撓み変形の方向とを同じ方向にするとともに、梁部１３ｂの撓み変形の方向と駆動部１５の撓み変形の方向とを同じ方向にすることによって、撓み変形の方向が互いに逆方向である場合と異なり、駆動部１４と連結梁１２とが互いに引き合うのを抑制することができるとともに、駆動部１５と連結梁１３とが互いに引き合うのを抑制することができる。これにより、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに大きく傾斜させることができる。

また、第１実施形態では、連結梁１２および１３を、ミラー部１１の回転軸線Ａと直交する直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａおよび１１ｂにそれぞれ接続することによって、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａおよび１１ｂを変位させることができるので、直交中心線Ｂに沿ってミラー部１１を確実に傾斜させることができる。これにより、確実に、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに傾斜させることができる。

また、第１実施形態では、連結梁１２および１３をＹ方向（直交中心線Ｂの延びる方向）からミラー部１１を挟み込むように形成することによって、ミラー部１１のＹ方向の両側からミラー部１１の端部１１ａおよび１１ｂを変位させることができるので、容易に、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに傾斜させることができる。

また、第１実施形態では、駆動部１４および１５を、平面視において、ミラー部１１側が窪むように屈曲するように形成することによって、駆動部１４および１５をミラー部１１側に近づけて形成することができるので、レーザ走査部１が大型化するのを抑制することができる。また、駆動部１４および１５を屈曲させることによって、駆動部１４および１５が直線状に形成されている場合と比べて、駆動部１４および１５の長さをより大きくすることができるので、駆動部１４および１５の面積をより大きくすることができる。これにより、駆動部１４および１５に生じる駆動力を容易に大きくすることができる。

（第２実施形態）
次に、図８を参照して、本発明の第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、上記第１実施形態のレーザ走査部１に、さらに、連結梁２１２と連結梁２１３とを接続する補強フレーム部２１８および２１９を設けた場合について説明する。なお、連結梁２１２および２１３は、それぞれ、本発明の「第１連結梁」および「第２連結梁」の一例であり、補強フレーム部２１８および２１９は、本発明の「補強部」の一例である。

本発明の第２実施形態によるレーザ走査部２０１では、図８に示すように、連結梁２１２の梁部２１２ｂは、湾曲梁部１２ｄと、一対の直線梁部１２ｅと、Ｙ方向に沿って直線状に延びる一対の接続梁部２１２ｈとを有している。また、連結梁２１３の梁部２１３ｂは、湾曲梁部１３ｄと、一対の直線梁部１３ｅと、Ｙ方向に沿って直線状に延びる一対の接続梁部２１３ｈとを有している。なお、レーザ走査部２０１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。

一対の接続梁部２１２ｈは、駆動部１４を挟み込むように、駆動部１４の端部１４ｂおよび１４ｃにそれぞれ接続されており、一対の直線梁部１２ｅと駆動部１４の端部１４ｂおよび１４ｃとをそれぞれ接続するように形成されている。また、一対の接続梁部２１３ｈは、駆動部１５を挟み込むように、駆動部１５の端部１５ｂおよび１５ｃにそれぞれ接続されており、一対の直線梁部１３ｅと駆動部１５の端部１５ｂおよび１５ｃとをそれぞれ接続するように形成されている。

ここで、第２実施形態では、ミラー部１１のＸ１側およびＸ２側には、それぞれ、連結梁２１２と連結梁２１３とを接続する補強フレーム部２１８および２１９が形成されている。この補強フレーム部２１８および２１９は、ミラー部１１の外縁部に沿うように、円弧状に形成されているとともに、ミラー部１１、連結梁２１２および連結梁２１３と一体的に形成されている。

また、補強フレーム部２１８は、ミラー部１１のＹ１側の端部１１ａ近傍で、かつ、連結梁２１２の湾曲梁部１２ｄのＸ１側寄りの部分に接続されているとともに、ミラー部１１のＹ２側の端部１１ｂ近傍で、かつ、連結梁２１３の湾曲梁部１３ｄのＸ１側寄りの部分に接続されている。また、補強フレーム部２１９は、端部１１ａ近傍で、かつ、湾曲梁部１２ｄのＸ２側寄りの部分に接続されているとともに、端部１１ｂ近傍で、かつ、湾曲梁部１３ｄのＸ２側寄りの部分に接続されている。この結果、補強フレーム部２１８および２１９は、共に、端部１１ａ近傍の連結梁２１２と、端部１１ｂ近傍の連結梁２１３とを接続している。なお、本発明の第２実施形態のその他の構造およびミラー部の揺動動作は、上記第１実施形態と同様である。

第２実施形態では、上記のように、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ａと連結梁２１２とをＹ１側において接続し、直交中心線Ｂ上に位置する端部１１ｂと連結梁２１３とをＹ２側において接続することによって、端部１１ａおよび１１ｂにトルクが加えられるのを抑制することができるので、ミラー部１１の歪みを十分に抑制することができる。

また、第２実施形態では、端部１１ａ近傍の連結梁２１２と、端部１１ｂ近傍の連結梁２１３とを接続する補強フレーム部２１８および２１９を設けることによって、補強フレーム部２１８および２１９によって、端部１１ａ近傍の連結梁２１２および端部１１ｂ近傍の連結梁２１３の過度の撓み変形を抑制することができるので、端部１１ａおよび１１ｂが意図しない方向に変位するのを抑制することができる。これにより、確実に、ミラー部１１を回転軸線Ａ周りに傾斜させることができる。なお、本発明の第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記第１実施形態では、駆動部１４および１５を、レーザ走査部１全体の固有振動数と略等しい約３０ｋＨｚの駆動周波数で、凸状への撓み変形と凹状への撓み変形とを交互に繰り返す例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１駆動部および第２駆動部の駆動周波数を約３０ｋＨｚとは異なる駆動周波数にしてもよい。この場合、ミラー部を共振させるためには、駆動周波数と振動ミラー素子全体の固有振動数とを一致させる必要がある。

具体的には、図９および図１０に示す第１実施形態の第１変形例のように、駆動部１４および１５の駆動周波数を小さくする場合には、図９に示すように、連結梁１２（第１連結梁）の梁部１２ｂの撓み変形の方向（図９では凸状）と、駆動部１４（第１駆動部）の撓み変形の方向（図９では凹状）とを逆方向にするとともに、図１０に示すように、連結梁１３（第２連結梁）の梁部１３ｂの撓み変形の方向（図１０では凹状）と、駆動部１５（第２駆動部）の撓み変形の方向（図１０では凸状）とを逆方向にすることによって、レーザ走査部１全体の固有振動数を小さくすることができ、その結果、ミラー部１１（図２参照）を共振させることが可能である。なお、図９および図１０に示すような駆動を行う場合（撓み変形の方向が逆方向の場合）には、駆動部１４と連結梁１２とが互いに引き合うとともに、駆動部１５と連結梁１３とが互いに引き合うことにより、上記第１実施形態に示すような駆動を行う場合（撓み変形の方向が同じ方向の場合）と比べて、ミラー部１１の振れ角は小さくなる。

また、ミラー部１１を大きくすることなどによっても、レーザ走査部１全体の固有振動数を小さくすることができる。一方、駆動部１４および１５の駆動周波数を大きくする場合には、ミラー部１１を小さくすることなどによって、レーザ走査部１全体の固有振動数を大きくすることができ、その結果、ミラー部１１を共振させることが可能である。

また、上記第１実施形態では、ミラー部１１と連結梁１２および１３とを直交中心線Ｂ上で接続させた例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１１に示す第１実施形態の第２変形例におけるレーザ走査部３０１のように、ミラー部３１１の交差線Ｃ上の端部３１１ｃと連結梁３１２の接続部３１２ｉとを接続させるとともに、ミラー部３１１の交差線Ｄ上の端部３１１ｄと連結梁３１２の接続部３１２ｊとを接続させてもよい。また、ミラー部３１１の交差線Ｄ上の端部３１１ｅと連結梁３１３の接続部３１３ｉとを接続させるとともに、ミラー部３１１の交差線Ｃ上の端部３１１ｆと連結梁３１３の接続部３１３ｊとを接続させてもよい。なお、レーザ走査部３０１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。また、端部３１１ｃおよび３１１ｄは、本発明の「第１ミラー端部」の一例であり、端部３１１ｅおよび３１１ｆは、本発明の「第２ミラー端部」の一例である。

ここで、交差線ＣおよびＤは、共に、回転軸線Ａおよび直交中心線Ｂと交差する方向に延びるとともに、ミラー部３１１の中心Ｏを通るように延びている。また、端部３１１ｃ、３１１ｄ、３１１ｅおよび３１１ｆは、直交中心線Ｂ近傍に位置している。さらに、接続部３１２ｃと接続部３１２ｄとは、直交中心線Ｂに対して略鏡像対称になるように形成されているとともに、接続部３１３ｃと接続部３１３ｄとは、直交中心線Ｂに対して略鏡像対称になるように形成されている。これにより、安定的にミラー部３１１を傾斜させることが可能である。また、第１ミラー端部および第２ミラー端部を直交中心線近傍に設けずに、直交中心線から離間した位置で、かつ、回転軸線上以外の位置に設けてもよい。

また、上記第１実施形態では、レーザ光が１軸方向に走査される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、レーザ走査部の外側に、回転軸線と直交する直交軸線周りにレーザ走査部を傾斜させるための外側駆動部を設けることによって、レーザ光が２軸方向に走査されるように構成してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、駆動部１４（第１駆動部）および駆動部１５（第２駆動部）を、平面視において、ミラー部１１側が窪むように屈曲するように形成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１駆動部および第２駆動部を、ミラー部側が窪むように円弧状に湾曲するように形成してもよい。また、第１駆動部および第２駆動部を、直線状に延びるように形成してもよいし、ミラー部とは反対側が窪むように湾曲または屈曲するように形成してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、ミラー部１１が平面視において円形状である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ミラー部は、平面視において楕円形状や四角形状であってもよい。

１、２０１、３０１ レーザ走査部（振動ミラー素子）
３ｂ 圧電体
１１、３１１ ミラー部
１１ａ、３１１ｃ、３１１ｄ 端部（第１ミラー端部）
１１ｂ、３１１ｅ、３１１ｆ 端部（第２ミラー端部）
１２、２１２ 連結梁（第１連結梁）
１３、２１３ 連結梁（第２連結梁）
１４ 駆動部（第１駆動部）
１５ 駆動部（第２駆動部）
１００ 携帯型電子機器（プロジェクタ機能を有する電子機器）
１０２ 制御部
１０４ 赤色レーザダイオード（レーザ光発生部）
１０５ 緑色レーザダイオード（レーザ光発生部）
１０６ 青色レーザダイオード（レーザ光発生部）
２１８、２１９ 補強フレーム部（補強部）
Ａ 回転軸線
Ｂ 直交中心線（交差線）
Ｃ、Ｄ 交差線

Claims (10)

1. 回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、
   前記回転軸線と交差する交差線上に位置する前記ミラー部の第１ミラー端部および第２ミラー端部にそれぞれ接続され、変形可能な第１連結梁および第２連結梁と、
   電圧印加により変形する圧電体を含み、前記第１連結梁および前記第２連結梁にそれぞれ接続される第１駆動部および第２駆動部とを備え、
   前記第１駆動部の圧電体が変形することにより前記第１連結梁に接続された前記第１ミラー端部が変位するとともに、前記第２駆動部の圧電体が変形することにより前記第２連結梁に接続された前記第２ミラー端部が変位することによって、前記ミラー部が回転軸線周りに傾斜されるように構成されている、振動ミラー素子。
2. 前記第１連結梁は、長手方向の両端部において、前記第１駆動部の長手方向の両端部近傍に接続されているとともに、長手方向の中央部近傍において、前記ミラー部の前記第１ミラー端部に接続されており、
   前記第２連結梁は、前記第１連結梁とは接続されないで、長手方向の両端部において、前記第２駆動部の長手方向の両端部近傍に接続されているとともに、長手方向の中央部近傍において、前記ミラー部の前記第２ミラー端部に接続されている、請求項１に記載の振動ミラー素子。
3. 前記第１駆動部および前記第２駆動部は、前記長手方向の両端部を自由端とするとともに、長手方向の略中央部を固定端として変形するように構成されている、請求項２に記載の振動ミラー素子。
4. 前記第１連結梁は、前記長手方向の両端部における変位方向と、前記長手方向の中央部における変位方向とが逆方向になるように変形するように構成されており、
   前記第２連結梁は、前記第１連結梁とは独立して変形するとともに、前記長手方向の両端部における変位方向と、前記長手方向の中央部における変位方向とが逆方向になるように変形するように構成されている、請求項３に記載の振動ミラー素子。
5. 前記第１駆動部の変形の方向と、前記第１連結梁の変形の方向とが同じ方向になるとともに、前記第２駆動部の変形の方向と、前記第２連結梁の変形の方向とが同じ方向になるように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
6. 前記第１連結梁および第２連結梁は、前記ミラー部の前記回転軸線と直交する直交中心線近傍に位置する前記第１ミラー端部および前記第２ミラー端部にそれぞれ接続されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
7. 前記第１連結梁と前記第２連結梁とは、前記直交中心線の延びる方向から前記ミラー部を挟み込むように形成されている、請求項６に記載の振動ミラー素子。
8. 前記第１駆動部および前記第２駆動部は、平面視において、前記ミラー部側が窪むように湾曲または屈曲している、請求項１〜７のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
9. 前記第１ミラー端部近傍の前記第１連結梁と、前記第２ミラー端部近傍の前記第２連結梁とを接続するように形成された補強部をさらに備える、請求項１に記載の振動ミラー素子。
10. レーザ光を発するレーザ光発生部と、
    入力された映像を解析して、画素情報を認識する制御部と、
    レーザ光を走査する振動ミラー素子とを備え、
    前記振動ミラー素子は、
    回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、
    前記回転軸線と交差する交差線上に位置する前記ミラー部の第１ミラー端部および第２ミラー端部にそれぞれ接続され、変形可能な第１連結梁および第２連結梁と、
    電圧印加により変形する圧電体を含み、前記第１連結梁および前記第２連結梁にそれぞれ接続される第１駆動部および第２駆動部とを含み、
    前記第１駆動部の圧電体が変形することにより前記第１連結梁に接続された前記第１ミラー端部が変位するとともに、前記第２駆動部の圧電体が変形することにより前記第２連結梁に接続された前記第２ミラー端部が変位することによって、前記ミラー部が回転軸線周りに傾斜されるように構成されている、プロジェクタ機能を有する電子機器。

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