JP2000188353A - ボールグリッドアレイ型半導体装置及びその製造方法 - Google Patents

ボールグリッドアレイ型半導体装置及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板実装後のパッケージ、基板間のフラック
ス洗浄を容易に行うことができ、かつ資材費・加工費を
大幅に低減すること。 【解決手段】 ボールグリッドアレイ型半導体装置１
は、ハーフエッチング加工により端子部１０ａが形成さ
れ接着テープ１２が設けられたリードフレーム１０上に
半導体素子１４が搭載されている。この半導体素子１４
はボンディングワイヤ１６によりリードフレーム１０と
半導体素子電極とを接続した後、樹脂１８により所定の
パッケージ形状になるように封止されている。樹脂封止
では端子部１０ａをパッケージ面より凸となるように形
成し、半田めっき１９をその端子凸部に施すことにより
そのまま端子として使用する構成となっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボールグリッドア
レイ型半導体装置及びその製造方法に係り、特にハーフ
エッチング加工を施し、端子部を導出するリードフレー
ムを用いたボールグリッドアレイ型半導体装置及びその
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の高集積化、小型化、薄型
化、多ピン化等の要請により製品化された半導体装置の
パッケージ形態の一つとしてリードフレームを用いたも
のがある。特開昭６０−５２０５０号公報（図２，３）
には、ボールグリッドアレイ型半導体装置に適用できる
リードフレームの製造方法についての発明が記載されて
いる。この発明は、金属板をエッチングしてリードフレ
ームを製造する過程で金属板の片面をハーフエッチング
してその面側に金属板の厚み方向に突出した外部端子用
突起部を形成することにより外部接続用の端子部を備え
たリードフレームを一工程で製造するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明では、外部端
子とパッケージ面が同一面となるように形成されるた
め、基板実装後に行われるパッケージ、基板間のフラッ
クス洗浄が困難であるという問題があった。
【０００４】またこの問題を解決するためにはリードフ
レーム上に半田ボールを搭載する必要があり、資材費・
加工費を低減することが困難であるという問題があっ
た。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、基板実装後のパッケージ、基板間のフラッ
クス洗浄を容易に行うことができ、かつ資材費・加工費
を大幅に低減することができるボールグリッドアレイ型
半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の発明は、ハーフエッチング加工を施
し端子部を導出するリードフレームを用いたボールグリ
ッドアレイ型半導体装置において、前記端子部をパッケ
ージ面より凸となるように形成し、該端子部の表面に半
田めっきを施すことによりそのまま端子として使用する
ように形成したことを特徴とする。
【０００７】請求項１に記載の発明によれば、ハーフエ
ッチング加工を施し端子部を導出するリードフレームを
用いたボールグリッドアレイ型半導体装置において、前
記端子部をパッケージ面より凸となるように形成し、該
端子部の表面に半田めっきを施すことによりそのまま端
子として使用するようにしたので、基板実装後のフラッ
クス洗浄を容易に行うことができる。また従来のボール
グリッドアレイ型半導体装置では、端子として半田ボー
ルをパッケージに搭載する必要が有るが、請求項１に記
載の発明では半田ボールをパッケージに搭載する必要が
ないので、資材費・加工費を大幅に低減することができ
る。
【０００８】また請求項２に記載の発明は、リードフレ
ームに半導体素子を搭載し該半導体素子電極とリードフ
レームとをボンディングワイヤにより接続した後、所定
のパッケージ形状になるように形成されたキャビティ部
を有する上金型と下金型により挟持してキャビティ部に
連通するゲート部より樹脂を流入させることにより樹脂
封止するボールグリッドアレイ型半導体装置の製造方法
において、前記リードフレームの底面にハーフエッチン
グ加工により凸状の端子部を形成すると共に、前記凸状
の端子部を収容する凹部を形成された前記下金型を用い
て樹脂封止することにより前記端子部をパッケージ面よ
り凸となるように形成することを特徴とする。
【０００９】請求項２に記載の発明によれば、リードフ
レームに半導体素子を搭載し該半導体素子電極とリード
フレームとをボンディングワイヤにより接続した後、所
定のパッケージ形状になるように形成されたキャビティ
部を有する上金型と下金型により挟持してキャビティ部
に連通するゲート部より樹脂を流入させることにより樹
脂封止するボールグリッドアレイ型半導体装置の製造方
法において、前記リードフレームの底面にハーフエッチ
ング加工により凸状の端子部を形成すると共に、前記凸
状の端子部を収容する凹部を形成された前記下金型を用
いて樹脂封止することにより前記端子部をパッケージ面
より凸となるように形成するようにしたので、請求項２
に記載の発明により得られるボールグリッドアレイ型半
導体装置の基板実装後のフラックス洗浄を容易に行うこ
とができる。また従来のボールグリッドアレイ型半導体
装置では、端子として半田ボールをパッケージに搭載す
る必要が有るが、請求項２に記載の発明により得られる
ボールグリッドアレイ型半導体装置では半田ボールをパ
ッケージに搭載する必要がないので、資材費・加工費を
大幅に低減することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して詳細に説明する。図１は本発明の実施の形態に係る
ボールグリッドアレイ型半導体装置の構造を示す断面図
であり、図２は図１の底面図である。これらの図におい
て、本実施の形態に係るボールグリッドアレイ型半導体
装置１は、ハーフエッチング加工により端子部１０ａが
形成され接着テープ１２が設けられたリードフレーム１
０上に半導体素子１４が搭載されている。この半導体素
子１４はボンディングワイヤ１６によりリードフレーム
１０と半導体素子電極とを接続した後、樹脂１８により
所定のパッケージ形状になるように封止されている。樹
脂封止では端子部１０ａをパッケージ面より凸となるよ
うに形成し、半田めっき１９をその端子凸部に施すこと
によりそのまま端子として使用する構成となっている。
【００１１】端子部１０ａの形状は円柱や角柱型等ハー
フエッチング加工により様々な形状とすることが可能で
あるが、実装後の耐温度サイクル性を考慮すると応力が
発生しにくい円柱型が望ましい。またパッケージ面から
の端子高さは実装後のフラックス洗浄性を考慮し、０．
１〜０．３mm程度が望ましい。更に端子部１０ａに施す
半田めっき厚は、従来のクワッド・フラット・パック
（ＱＦＰ）型に代表される樹脂封止型半導体装置のアウ
ターリードに施される半田めっき厚：５〜１０μm程度
が望ましい。
【００１２】図３は本発明の実施の形態に係るボールグ
リッドアレイ型半導体装置の樹脂封止時の状態を示す断
面図である。図３に示すように片面にハーフエッチング
加工により凸状の端子部１０ａを形成したリードフレー
ム１０接着テープ１２を介して半導体素子１４を搭載
し、該半導体素子１４に形成された電極とリードフレー
ム１０とをボンディングワイヤ１６により接続する。そ
の後、所定のパッケージ形状になるように形成されたキ
ャビティ部２２ａを有する上金型２２と、前記凸状の端
子部１０ａを収容するキャビティ部としての凹部２０ａ
が形成された下金型２０により挟持してキャビティ部２
０ａ，２２ａに連通する図示してないゲート部より樹脂
を流入させることにより樹脂封止することによりリード
フレーム１０の端子部１０ａをパッケージ面より凸とな
るように形成する。
【００１３】またリードフレーム１０の端子部分には樹
脂封止後に薄バリが発生するため、レーザホーニングや
サンドブラスト、ウォ−タージェットホーニング等にて
この薄バリを除去し、リードフレーム１０の端子部１０
ａを露出させ、半田めっきを施す必要がある。
【００１４】本発明の実施の形態にによれば、ハーフエ
ッチング加工を施し端子部を導出するリードフレームを
用いたボールグリッドアレイ型半導体装置の端子部をパ
ッケージ面より凸となるように形成し、該端子部の表面
に半田めっきを施すことによりそのまま端子として使用
するようにしたので、基板実装後のフラックス洗浄を容
易に行うことができる。また従来のボールグリッドアレ
イ型半導体装置では、端子として半田ボールをパッケー
ジに搭載する必要が有るが、本発明の実施の形態では半
田ボールをパッケージに搭載する必要がないので、資材
費・加工費を大幅に低減することができる。
【００１５】
【発明の効果】請求項１に記載の請求項１に記載の発明
によれば、ハーフエッチング加工を施し端子部を導出す
るリードフレームを用いたボールグリッドアレイ型半導
体装置において、前記端子部をパッケージ面より凸とな
るように形成し、該端子部の表面に半田めっきを施すこ
とによりそのまま端子として使用するようにしたので、
基板実装後のフラックス洗浄を容易に行うことができ
る。また従来のボールグリッドアレイ型半導体装置で
は、端子として半田ボールをパッケージに搭載する必要
が有るが、請求項１に記載の発明では半田ボールをパッ
ケージに搭載する必要がないので、資材費・加工費を大
幅に低減することができる。
【００１６】また請求項２に記載の発明によれば、リー
ドフレームに半導体素子を搭載し該半導体素子電極とリ
ードフレームとをボンディングワイヤにより接続した
後、所定のパッケージ形状になるように形成されたキャ
ビティ部を有する上金型と下金型により挟持してキャビ
ティ部に連通するゲート部より樹脂を流入させることに
より樹脂封止するボールグリッドアレイ型半導体装置の
製造方法において、前記リードフレームの底面にハーフ
エッチング加工により凸状の端子部を形成すると共に、
前記凸状の端子部を収容する凹部を形成された前記下金
型を用いて樹脂封止することにより前記端子部をパッケ
ージ面より凸となるように形成するようにしたので、請
求項２に記載の発明により得られるボールグリッドアレ
イ型半導体装置の基板実装後のフラックス洗浄を容易に
行うことができる。また従来のボールグリッドアレイ型
半導体装置では、端子として半田ボールをパッケージに
搭載する必要が有るが、請求項２に記載の発明により得
られるボールグリッドアレイ型半導体装置では半田ボー
ルをパッケージに搭載する必要がないので、資材費・加
工費を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態に係るボールグリッドア
レイ型半導体装置の構造を示す断面図。
【図２】 図１に示したボールグリッドアレイ型半導体
装置の底面図。
【図３】 本発明の実施の形態に係るボールグリッドア
レイ型半導体装置の樹脂封止時の状態を示す断面図。
【符号の説明】
１ ボールグリッドアレイ型半導体装置 １０ リードフレーム １０ａ 端子部 １２ 接着テープ １４ 半導体素子 １６ ボンディングワイヤ １８ 樹脂 １９ 半田めっき ２０ 下金型 ２０ａ 凹部 ２２ 上金型 ２２ａ キャビティ部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年１０月４日（１９９９．１０．
４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】また請求項２に記載の発明は、リードフレ
ームに半導体素子を搭載し、前記半導体素子の電極とリ
ードフレームとをボンディングワイヤにより接続した
後、所定のパッケージ形状になるように形成されたキャ
ビティ部を有する上金型と下金型により挟持してキャビ
ティ部に連通するゲート部より樹脂を流入させることに
より樹脂封止するボールグリッドアレイ型半導体装置の
製造方法において、前記リードフレームの底面にハーフ
エッチング加工により凸状の端子部を形成すると共に、
前記凸状の端子部を収容する凹部を形成された前記下金
型を用いて樹脂封止することにより前記端子部をパッケ
ージ面より凸となるように形成することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】請求項２に記載の発明によれば、リードフ
レームに半導体素子を搭載し、前記半導体素子の電極と
リードフレームとをボンディングワイヤにより接続した
後、所定のパッケージ形状になるように形成されたキャ
ビティ部を有する上金型と下金型により挟持してキャビ
ティ部に連通するゲート部より樹脂を流入させることに
より樹脂封止するボールグリッドアレイ型半導体装置の
製造方法において、前記リードフレームの底面にハーフ
エッチング加工により凸状の端子部を形成すると共に、
前記凸状の端子部を収容する凹部を形成された前記下金
型を用いて樹脂封止することにより前記端子部をパッケ
ージ面より凸となるように形成するようにしたので、請
求項２に記載の発明により得られるボールグリッドアレ
イ型半導体装置の基板実装後のフラックス洗浄を容易に
行うことができる。また従来のボールグリッドアレイ型
半導体装置では、端子として半田ボールをパッケージに
搭載する必要が有るが、請求項２に記載の発明により得
られるボールグリッドアレイ型半導体装置では半田ボー
ルをパッケージに搭載する必要がないので、資材費・加
工費を大幅に低減することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】また請求項２に記載の発明によれば、リー
ドフレームに半導体素子を搭載し、前記半導体素子の電
極とリードフレームとをボンディングワイヤにより接続
した後、所定のパッケージ形状になるように形成された
キャビティ部を有する上金型と下金型により挟持してキ
ャビティ部に連通するゲート部より樹脂を流入させるこ
とにより樹脂封止するボールグリッドアレイ型半導体装
置の製造方法において、前記リードフレームの底面にハ
ーフエッチング加工により凸状の端子部を形成すると共
に、前記凸状の端子部を収容する凹部を形成された前記
下金型を用いて樹脂封止することにより前記端子部をパ
ッケージ面より凸となるように形成するようにしたの
で、請求項２に記載の発明により得られるボールグリッ
ドアレイ型半導体装置の基板実装後のフラックス洗浄を
容易に行うことができる。また従来のボールグリッドア
レイ型半導体装置では、端子として半田ボールをパッケ
ージに搭載する必要が有るが、請求項２に記載の発明に
より得られるボールグリッドアレイ型半導体装置では半
田ボールをパッケージに搭載する必要がないので、資材
費・加工費を大幅に低減することができる。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ハーフエッチング加工を施し端子部を導出
    するリードフレームを用いたボールグリッドアレイ型半
    導体装置において、 前記端子部をパッケージ面より凸となるように形成し、
    該端子部の表面に半田めっきを施すことによりそのまま
    端子として使用するように形成したことを特徴とするボ
    ールグリッドアレイ型半導体装置。
  2. 【請求項２】リードフレームに半導体素子を搭載し該半
    導体素子電極とリードフレームとをボンディングワイヤ
    により接続した後、所定のパッケージ形状になるように
    形成されたキャビティ部を有する上金型と下金型により
    挟持してキャビティ部に連通するゲート部より樹脂を流
    入させることにより樹脂封止するボールグリッドアレイ
    型半導体装置の製造方法において、 前記リードフレームの底面にハーフエッチング加工によ
    り凸状の端子部を形成すると共に、前記凸状の端子部を
    収容する凹部を形成された前記下金型を用いて樹脂封止
    することにより前記端子部をパッケージ面より凸となる
    ように形成することを特徴とするボールグリッドアレイ
    型半導体装置の製造方法。
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