JP4243178B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
ベース金属の表面に半導体素子搭載部としての凹部を形成すると共に、該ベース金属の表面に接続パッド部を形成する工程と、
前記凹部の底面に半導体素子の裏面が接合するように、該半導体素子を前記半導体素子搭載部に搭載し、該半導体素子の表面の電極端子と前記接続パッド部との間をワイヤボンディングにより接続する工程と、
前記半導体素子、前記ボンディングワイヤ及び前記接続パッド部が含まれる領域を樹脂で封止する工程と、
前記ベース金属を除去する工程と、
前記半導体素子の裏面を含む封止樹脂の底部領域を、裏面に接続パッド部が露出するように研磨して底面を平坦化することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
2…半導体素子
3…凹部(半導体素子搭載部)
4…接続パッド部
6…ボンディングワイヤ
7…モールド樹脂
8…モールド樹脂の凸部
11…ベース金属と同じめっき部
12…パッドの凹部
Claims (7)
- ベース金属の表面に半導体素子搭載部としての凹部を形成すると共に、該ベース金属の表面に接続パッド部を形成する工程と、
前記凹部の底面に半導体素子の裏面が接合するように、該半導体素子を前記半導体素子搭載部に搭載し、該半導体素子の表面の電極端子と前記接続パッド部との間をワイヤボンディングにより接続する工程と、
前記半導体素子、前記ボンディングワイヤ及び前記接続パッド部が含まれる領域を樹脂で封止する工程と、
前記ベース金属を除去する工程と、
前記半導体素子の裏面を含む封止樹脂の底部領域を、裏面に前記接続パッド部が露出するように研磨して裏面を平坦化することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ベース金属は金属板であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 接続パッド部は金、パラジウム、ニッケル、パラジウムの4層のめっき膜により構成され、前記ベース金属の表面から隆起していることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 接続パッド部は、最初にベース金属と同じ金属によりめっきされ、その上に異なる金属がめっきされることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 研磨による前記平坦化工程の後、前記半導体接続パッド部に半田ペーストを塗布するか、又は半田ボールを付着する工程を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記凹部の底面に半導体素子の裏面を接合した時、該半導体素子の表面の高さは前記ベース金属の表面より上方に0.05mm以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体素子の裏面を研磨した後の該半導体素子の厚さは0.05mm以上であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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