JP7424914B2 - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開2000-133744号公報
第1有機材料部および第1金属部の高さの差は、第1有機材料部の高さの1/2未満であってよい。
Claims (14)
- 第1金属部と、少なくとも一部において前記第1金属部と表面上の高さの異なる第1有機材料部と、を有する第1半導体パッケージと、
第2金属部と、少なくとも一部において前記第2金属部と表面上の高さの異なる第2有機材料部と、を有し、前記第1半導体パッケージの上方に積層される、第2半導体パッケージとを備え、
前記第1金属部および前記第2金属部が電気的に接続され、
前記第1有機材料部は、前記第1金属部より表面上の高さが低く、
前記第1有機材料部は、本体部と、前記本体部と前記第1金属部との間に設けられ、前記本体部より表面上の高さの低い溝部とを有する、
半導体装置。 - 前記第1有機材料部および前記第1金属部の高さの差は、100μm以上である、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1有機材料部は、部材を内部に封止する封止樹脂であり、
前記第1有機材料部および前記第1金属部の高さの差は、前記部材のうち表面上の高さが最も高い部分と前記第1金属部との高さの差の1/2未満である、
請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記溝部は、100μm以上の幅を有する、
請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第1半導体パッケージは、複数の前記第1金属部を備え、
前記溝部の幅は、前記第1半導体パッケージの表面上における、複数の前記第1金属部の間の距離のうち最小の距離の1/2未満である、
請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 第1金属部と、少なくとも一部において前記第1金属部と表面上の高さの異なる第1有機材料部と、を有する第1半導体パッケージと、
第2金属部と、少なくとも一部において前記第2金属部と表面上の高さの異なる第2有機材料部と、を有し、前記第1半導体パッケージの上方に積層される、第2半導体パッケージとを備え、
前記第1金属部および前記第2金属部が電気的に接続され、
前記第1有機材料部は、前記第1金属部より表面上の高さが高く、
前記第1有機材料部は、本体部と、前記本体部と前記第1金属部との間に設けられ、前記本体部より表面上の高さの低い溝部とを有する、
半導体装置。 - 前記第1有機材料部および前記第1金属部の高さの差は、100μm以上である、請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第1有機材料部は、第1半導体ダイを内部に封止する封止樹脂であり、
前記第1有機材料部および前記第1金属部の高さの差は、前記第1有機材料部の高さの1/2未満である、
請求項6または7に記載の半導体装置。 - 前記溝部は、100μm以上の幅を有する、
請求項6から8のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記溝部は、前記第1半導体パッケージの上面視における前記第1金属部の短手方向の幅の10%未満の幅を有する、
請求項6から9のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記溝部は、前記第1半導体パッケージの上面視における前記第1金属部の長手方向の幅の5%未満の幅を有する、
請求項6から10のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第1金属部と前記第2金属部との間に塗布された導電材を備え、
前記第1金属部および前記第2金属部は、前記導電材を介して電気的に接続される、
請求項1から11のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第1半導体パッケージまたは前記第2半導体パッケージのうち少なくとも1つは、赤外線センサを有する、
請求項1から12のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 第1金属部と、少なくとも一部において前記第1金属部と表面上の高さの異なる第1有機材料部と、を有する第1半導体パッケージを提供する段階と、
第2金属部と、少なくとも一部において前記第2金属部と表面上の高さの異なる第2有機材料部と、を有し、前記第1半導体パッケージの上方に積層される、第2半導体パッケージを提供する段階と
を備え、
前記第1金属部および前記第2金属部が電気的に接続され、
前記第1半導体パッケージを提供する段階は、
犠牲材料の上面に前記第1金属部を提供する段階と、
前記犠牲材料の上面に第1半導体ダイを提供する段階と、
前記第1金属部と前記第1半導体ダイとを電気的に接続する段階と、
前記第1半導体ダイを前記第1有機材料部の内部に封止する段階とを有し、
前記第1半導体パッケージを提供する段階は、前記封止する段階の後に、
前記第1有機材料部をエッチングして、前記第1有機材料部の上面に溝部を形成する段階を有する、
半導体装置の製造方法。
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