JP2000183685A - 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 厚み縦振動モードの高調波を利用した厚み縦
圧電共振子であって、小型化を進めることができ、電気
的容量が大きく、回路基板の浮遊容量などの影響を受け
難く、さらに共振特性のばらつきが小さい、厚み縦圧電
共振子を得る。 【解決手段】 ストリップ型の矩形板状の圧電体２と、
圧電体２の両面に形成された第１，第２の励振電極３，
４と、圧電体２内に形成された内部電極６とを備え、第
１，第２の励振電極３，４及び内部電極６が対向してい
る部分が共振部を構成しており、圧電体２の長さ方向に
おいては共振部の両側に振動減衰部が構成されており、
幅方向においては両側に振動減衰部が構成されておら
ず、励振電極３，４と内部電極６との間で挟まれた圧電
体層２Ａ，２Ｂの厚みをＤｒとし、圧電体の厚みをＴと
し、Ｄｉ＝Ｔ／Ｎとしたときに、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜≦Ｄｉ
／１０とされている、厚み縦圧電共振子１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、種々の共振子や発
振子等に用いられる圧電共振子及び圧電共振部品に関
し、より詳細には、厚み縦振動モードの高調波を利用し
た厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電共振子は、圧電発振子や圧電フィル
タなどの種々の圧電共振部品に用いられており、この種
の圧電共振子としては、使用周波数に応じて種々の圧電
振動モードを利用したものが知られている。

【０００３】特開平１−１１７４０９号公報には、厚み
縦振動モードの２倍波を利用したエネルギー閉じ込め型
圧電共振子が開示されている。この圧電共振子を、図９
及び図１０を参照して説明する。

【０００４】上記圧電共振子は、図９に分解斜視図で示
すように、圧電材料よりなるセラミックグリーンシート
５１，５２を積層し、一体焼成することにより得られて
いる。セラミックグリーンシート５１上には、中央に円
形の励振電極５３が形成されており、該励振電極５３
は、引き出し電極５４によりセラミックグリーンシート
５１の端縁に引き出されている。また、セラミックグリ
ーンシート５２の上面には、中央に円形の励振電極５５
が形成されており、励振電極５５は引き出し電極５６に
よりセラミックグリーンシート５２の端縁に引き出され
ている。また、セラミックグリーンシート５２の下面に
は、下方に投影して示すように、励振電極５７が形成さ
れており、励振電極５７は引き出し電極５８によりセラ
ミックグリーンシート５２の端縁に引き出されている。

【０００５】上記セラミックグリーンシート５１，５２
を積層し、厚み方向に加圧した後焼成することにより、
焼結体を得、該焼結体を分極処理することにより、図１
０により圧電共振子６０が得られる。

【０００６】圧電共振子６０では、圧電体層６１，６２
が図示の矢印方向に、すなわち焼結体が厚み方向に一様
に分極処理されている。駆動に際しては、励振電極５
３，５７を共通接続し、励振電極５３，５７と、励振電
極５５との間で交流電圧を印加することにより、圧電共
振子６０を共振させることができる。この場合、振動エ
ネルギーは、励振電極５３，５５，５７が重なり合って
いる領域、すなわち共振部Ａに閉じ込められる。

【０００７】従来の厚み縦振動モードの高調波を利用し
た圧電共振子６０は、上記のようにエネルギー閉じ込め
型圧電共振子として構成されており、従って、共振部Ａ
の周囲に振動を減衰させるための振動減衰部を必要とし
ていた。すなわち、共振部の面積に比べて大きな振動減
衰部を必要としていた。従って、圧電共振子６０では小
型化を進めることが困難であった。

【０００８】他方、特開平２−２３５４２２号公報に
は、共振部の周囲に余分な圧電基板部分をあまり必要と
しない、ストリップ型の圧電セラミックスを用いたエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子が開示されている。

【０００９】ここでは、図１１に示すように、細長い圧
電基板７１の上面に励振電極７２ａが、下面に励振電極
７２ｂが形成されている。励振電極７２ａ，７２ｂは、
それぞれ、圧電基板７１の一対の長辺に至るように、す
なわち全幅に至るように形成されており、かつ圧電基板
７１の長さ方向中央において表裏対向されて共振部を構
成している。また、これらの励振電極７２ａ，７２ｂ
は、それぞれ、圧電基板７１の長さ方向端部７１ａ，７
１ｂに至るように延ばされている。

【００１０】圧電共振子７０では、厚み縦振動モードを
励振した場合、圧電基板７１の幅Ｗと厚みＴの寸法関係
に起因する不要振動が発生する。そこで、特開平２−２
３５４２２号公報では、基本波を利用する場合には、共
振周波数１６ＭＨｚにおいてＷ／Ｔ＝５．３３付近とす
ればよいこと、３倍波を利用する場合には、共振周波数
約１６ＭＨｚにおいてＷ／Ｔ＝２．８７付近とすれば、
共振周波数−反共振周波数間における不要スプリアスを
低減し得るとされている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述した通り、厚み縦
振動モードの２倍波を利用した特開平１−１１７４０９
号公報に開示されているエネルギー閉じ込め型圧電共振
子では、共振部の周囲に大きな振動減衰部を構成する必
要があるため、小型化が困難であるという問題があっ
た。

【００１２】また、特開平２−２３５４２２号公報に開
示されているエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共
振部の側方に振動減衰部を必要としないため、小型化を
果たし得るものの、実際に厚み縦振動モードの高調波を
利用しようとした場合には、共振周波数−反共振周波数
間のスプリアス以外に、様々な不要スプリアスが現れ、
有効な共振特性を得られないという問題があった。

【００１３】また、特開平２−２３５４２２号公報に開
示されている圧電共振子では、その電気的容量が比較的
小さく、回路基板の浮遊容量などの影響を受けやすかっ
た。よって、本発明の目的は、厚み縦振動モードの高調
波を利用した厚み縦圧電共振子であって、小型化を進め
ることができ、かつ電気的容量が大きく、回路基板の浮
遊容量などの影響を受け難く、さらに共振特性のばらつ
きが小さい厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品を提供す
ることにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、共振部の両側
に振動減衰部を有し、厚み縦振動モードのＮ次高調波を
利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子であって、矩
形板状の圧電体と、前記圧電体の両面に形成されてお
り、圧電体を介して対向された第１，第２の励振電極
と、前記圧電体内に配置されており、圧電体層を介して
第１，第２の励振電極と少なくとも部分的に対向された
少なくとも一層の内部電極とを備え、第１，第２の励振
電極及び内部電極が厚み方向に重ねられている部分によ
り前記共振部が構成されており、共振部の両側の振動減
衰部を結ぶ方向を第１の方向としたときに、第１の方向
と直交する方向において圧電体の端部または端部近傍ま
で第１，第２の励振電極が至るように第１，第２の励振
電極が形成されており、前記励振電極と内部電極との間
で挟まれた圧電体層または内部電極間に挟まれた圧電体
層の厚みをＤｒとし、圧電体の厚みをＤとし、Ｄｉ＝Ｔ
／Ｎとしたときに、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜≦Ｄｉ／１０とされ
ていることを特徴とする。

【００１５】本発明に係る厚み縦圧電共振子では、好ま
しくは、上記圧電体として細長いストリップ状圧電体が
用いられる。また、本発明に係る圧電共振部品は、ケー
スを構成する第１，第２のケース材と、振動を妨げない
ための空域を確保した状態で、第１のケース材に取り付
けられた本発明に係る厚み縦圧電共振子とを備え、第１
のケース材に取り付けられた厚み縦圧電共振子を囲繞す
るように、第２のケース材が第１のケース材に固定され
ていることを特徴とする。

【００１６】さらに、本発明に係る圧電共振部品では、
好ましくは、第１のケース材としてコンデンサ基板が用
いられる。すなわち、誘電体基板と、誘電体基板に形成
された複数の電極とを有するコンデンサ基板に、厚み縦
圧電共振子が固定され、かつその場合には、厚み縦圧電
共振子がコンデンサ基板に構成されたコンデンサに電気
的に接続される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の非限定的な実施例
を挙げることにより、本発明をより具体的に説明する。

【００１８】（第１の実施例）図１（ａ）及び（ｂ）
は、本発明の第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子を示
す斜視図及び縦断面図である。厚み縦圧電共振子は、細
長いストリップ状の圧電体２を用いて構成されている。
圧電体２は、チタン酸鉛系セラミックスのような圧電セ
ラミックスで構成されており、厚み方向に一様に分極処
理されている。圧電体２の上面には、第１の励振電極３
が形成されており、下面には第２の励振電極４が形成さ
れている。励振電極３，４は、圧電体２の一方端面２ａ
から圧電体２の上面及び下面において他方端面２ｂ側に
向かって延ばされている。

【００１９】他方、励振電極３，４は、圧電体２の端面
２ａに形成された接続電極５により共通接続されてい
る。また、圧電体２の中間高さ位置には、内部電極６が
形成されている。内部電極６は、圧電体２の端面２ｂに
引き出されており、端面２ｂに形成された端子電極７に
電気的に接続されている。

【００２０】駆動に際しては、第１，第２の励振電極
３，４と、内部電極６との間に交流電圧を印加すること
により、厚み縦振動モードの２倍波が強く励振され、該
２倍波を利用した圧電共振子として動作させることがで
きる。

【００２１】なお、本実施例では、第１，第２の励振電
極３，４と、内部電極６とは、圧電体２の長さ方向、す
なわち第１の方向中央部分において圧電体層を介して重
なり合うように形成されている。従って、第１，第２の
励振電極３，４と内部電極６とが重なり合っている部分
において、エネルギー閉じ込め型の共振部が構成され、
この共振部が振動した場合のエネルギーは、共振部から
端面２ａ，２ｂ側の圧電体部分で減衰される。

【００２２】言い換えれば、上記共振部を中心として考
えると、圧電体２の長さ方向のみに振動減衰部が両側に
設けられており、第１，第２の励振電極は、長さ方向と
直交する方向（幅方向）において、圧電板の端部、すな
わち長手方向に延びる端縁に至るように形成されてい
る。

【００２３】この場合、第１，第２の励振電極３，４及
び内部電極６は、共振部においてのみ、圧電体２の全幅
に至るように形成されておればよく、共振部外では、同
じ幅に形成されている必要は必ずしもない。例えば、励
振電極３を例にとると、共振部においてのみ、励振電極
３は圧電体２の全幅に至るように形成されておればよ
く、励振電極３の共振部より端面２ａ側の部分は、単に
励振電極を接続電極５に電気的に接続する部分であるた
め、より細い幅で形成されていてもよい。

【００２４】本実施例の厚み縦圧電共振子１では、圧電
体２の長さ方向においてのみ振動部の両側に振動減衰部
が設けられており、圧電体２の幅方向には振動減衰部が
構成されていない。従って、厚み縦圧電共振子１ではそ
の幅方向寸法を小さくすることができ、圧電共振子の小
型化を図ることができる。

【００２５】加えて、第１，第２の励振電極３，４及び
内部電極６を圧電体層を介して積層した構造を有するた
め、内部電極を有しない従来の厚み縦圧電共振子７０に
比べて電気的容量が大きくなり、回路基板の浮遊容量な
どによる影響を受け難い。

【００２６】また、第１，第２の励振電極３，４が圧電
体２の幅方向両端に至るように形成されていることによ
っても、電気的容量が大きくなり、回路基板側の浮遊容
量による影響を受け難い。

【００２７】本実施例の厚み縦圧電共振子１では、励振
電極３，４と内部電極６との間で挟まれた圧電体層２
Ａ，２Ｂの厚みを、それぞれ、Ｄｒ₁ ，Ｄｒ₂ とし、圧
電体２の全体の厚みをＴとし、Ｄｉ＝Ｔ／Ｎとしたとき
に、｜Ｄｒ₁ −Ｄｉ｜≦Ｄｉ／１０及び｜Ｄｒ₂ −Ｄｉ
｜≦Ｄｉ／１０とされており、それによって共振特性の
ばらつきが低減されている。これを、図２を参照して説
明する。

【００２８】厚み縦圧電共振子１では、良好な共振特性
を得るには、内部電極６の両側の圧電体層２Ａ，２Ｂの
厚みが等しいことが理想である。しかしながら、実際に
厚み縦圧電共振子１を製造した場合、圧電体層２Ａ，２
Ｂの厚みがばらつきがちとなる。これは、圧電体２を得
るための圧電グリーンシートの厚みばらつきや圧電体２
を焼成する工程上のばらつき等に起因する。

【００２９】もっとも、上記内部電極６の厚み方向位置
が設計値からずれたとしても、共振周波数や反共振周波
数がさほどずれないことが確かめられた。本発明は、実
験的な知見に基づくものであり、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜をＤｉ
／１０以下とすれば、共振特性のばらつきを低減し得る
ことを特徴とするものである。

【００３０】長さ２．０×幅０．４×厚さ０．３ｍｍの
圧電体２を用い、厚み縦圧電共振子を種々作製し、得ら
れた厚み縦圧電共振子１における｜Ｄｒ−Ｄｉ｜／Ｄｉ
を測定した。すなわち、内部電極６が正しい位置に対し
て厚み方向にどの程度ずれているかを評価した。

【００３１】しかる後、これらの厚み縦圧電共振子につ
いて、共振周波数を測定した。結果を図２に示す。図２
の縦軸は、各条件で作製された圧電共振子１００個の共
振周波数のばらつき３ＣＶを示し、横軸は｜Ｄｒ−Ｄｉ
｜／Ｄｉ×１００（％）を示す。

【００３２】図２から明らかなように、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜
／Ｄｉ×１００（％）が１０％以内であれば、共振周波
数の変化率が非常に小さく、０．１％以下となることが
わかる。すなわち、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜／Ｄｉ×１００
（％）が、１０％以下であれば、共振特性のばらつきが
さほど大きくならないことがわかる。

【００３３】（第２の実施例）第１の実施例に係る厚み
縦圧電共振子１では、圧電体２が厚み方向に一様に分極
処理されており、各層に加える印加電界が逆方向とされ
るパラレル接続タイプの圧電共振子を示したが、本発明
は、複数の圧電体層を厚み方向に交互に逆方向に分極処
理してなるシリーズ接続型の圧電共振子としてもよい。
このようなシリーズ接続型の厚み縦圧電共振子を図３に
示す。

【００３４】図３に示す厚み縦圧電共振子１１は、細長
い矩形板状のストリップ型圧電体１２を用いて構成され
ている。圧電体１２の上面には、第１の励振電極１３が
形成されており、下面には第２の励振電極１４が形成さ
れている。第１，第２の励振電極１３，１４は圧電体１
２を介して表裏対向されている。また、第１，第２の励
振電極１３，１４は、圧電体１２の長さ方向中央部分に
おいて対向しており、この第１，第２の励振電極１３，
１４が対向している部分はエネルギー閉じ込め型の共振
部とされている。

【００３５】本実施例においても、第１，第２の励振電
極１３，１４は、それぞれ、圧電体１２の端面１２ａま
たは端面１２ｂに引き出されているが、共振部以外の部
分は圧電体１２の全幅に至るように形成されておらずと
もよい。

【００３６】従って、励振電極１３，１４についても、
見方を変えれば、圧電体１２の長さ方向に振動減衰部を
有するエネルギー閉じ込め型の共振部を構成するため
に、該長さ方向と直交する方向において第１，第２の励
振電極１３，１４が圧電体１２の長さ方向端縁に至るよ
うに形成されていることになる。

【００３７】圧電体１２の中間高さ位置には、内部電極
１６が形成されている。この内部電極１６は、圧電体１
２を分極処理するために設けられている。すなわち、分
極に際しては、内部電極１６に相対的に高い電圧を、励
振電極１３，１４には相対的に低い電圧を与えることに
より、圧電体層１２ｃ，１２ｄが図示の矢印で示すよう
に厚み方向に逆方向に分極処理される。また、圧電体層
１２ｃ，１２ｄは｜Ｄｒ−Ｄｉ｜≦Ｄｉ×１０を満たす
ように構成されている。

【００３８】駆動に際しては、第１，第２の励振電極１
３，１４間に交流電圧を印加することにより、すなわち
内部電極１６を用いることなく駆動することにより、厚
み縦振動モードの２倍波ＴＥ₂ を励振させることができ
る。

【００３９】第２の実施例に係る厚み縦圧電共振子１１
においても、振動減衰部が圧電体１２の幅方向において
は振動部の両側に設けられず、振動部の圧電体１２の長
さ方向両側にのみ振動減衰部が設けられているため、第
１の実施例に係る厚み縦圧電共振子１と同様に、小型の
厚み縦圧電共振子を構成することができる。また、第１
の実施例と同様に、内部電極１６を有するため、並びに
励振電極１３，１４が圧電体１２の幅方向両端に至るよ
うに形成されているので、電気的容量の増大を図ること
ができ、回路基板側の浮遊容量による影響を受け難い。

【００４０】第２の実施例に係る厚み縦圧電共振子１１
においても、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜≦Ｄｉ／１０とされている
ので、第１の実施例と同様に、共振特性のばらつきが効
果的に低減される。

【００４１】（変形例）第１，第２の実施例は、何れも
厚み縦振動モードの２倍波を利用した圧電共振子１，１
１であるが、本発明に係る圧電共振子は、厚み縦振動モ
ードの２倍波以外の高調波を利用したものであってもよ
い。図４〜図６は、これらの他の高調波を利用した圧電
共振子を説明するための断面図であり、第１の実施例に
ついて示した図２に相当する図である。

【００４２】図４は、厚み縦振動モードの３倍波を利用
したパラレル接続型厚み縦圧電共振子２１を示す。すな
わち、圧電体２内に２枚の内部電極２２，２３を配置
し、矢印で示すように圧電体２を厚み方向に一様に分極
処理することにより、厚み縦振動モードの３倍波を利用
した圧電共振子２１を構成することができる。

【００４３】また、図５（ａ）に示す厚み縦圧電共振子
２４は、厚み縦振動モードの４倍波を利用したパラレル
接続型圧電共振子２４を示す断面図である。厚み縦圧電
共振子２４では、圧電体２が厚み方向に一様に分極処理
されており、内部に３枚の内部電極２５〜２７が厚み方
向に等間隔を隔てて配置されており、それによって厚み
縦振動モードの４倍波が効果的に励振される。

【００４４】図５（ｂ）は、厚み縦振動モードの３倍波
を利用したシリーズ接続型の厚み縦圧電共振子２８を示
す断面図である。厚み縦圧電共振子２８では、圧電体１
２内に２枚の内部電極２９，３０が配置されており、圧
電体１２内が３層の圧電体層１２ｅ〜１２ｇに分割され
ており、これらの内部電極２９，３０を用いて分極処理
することにより、厚み方向において隣合う圧電体層が逆
方向となるように分極処理されている。従って、第１，
第２の励振電極１３，１４に交流電圧を印加することに
より、厚み縦振動モードの３倍波を励振することができ
る。

【００４５】同様に、図６は、厚み縦振動モードの４倍
波を利用したシリーズ接続型圧電共振子３１を示す断面
図である。ここでは、圧電体１２内に、３枚の内部電極
３２〜３４が配置されており、これらの内部電極３２〜
３４を用いて分極処理することにより、図示のように隣
接する圧電体層が相互に逆方向になるように厚み方向に
分極処理されている。

【００４６】従って、第１，第２の励振電極１３，１４
から交流電圧を印加することにより、厚み縦振動の４倍
波を利用した圧電共振子として動作させ得る。図４〜図
６に示した各厚み縦圧電共振子においても、上記のよう
に、一方向のみに振動減衰部を有し、該一方向と直交す
る方向において、圧電体の端部または端部近傍まで第
１，第２の励振電極が至るように第１，第２の励振電極
が形成されているので、小型の厚み縦圧電共振子を構成
することができる。また、いずれも、内部電極を有する
ため、電気的容量の増大を図ることができ、回路基板の
浮遊容量の影響を受け難い。

【００４７】さらに、図４〜図６に示した各厚み縦圧電
共振子においても、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜≦Ｄｉ／１０とされ
ているので、第１の実施例の厚み縦圧電共振子１と同様
に、共振特性のばらつきを効果的に低減することが可能
とされている。

【００４８】（第３の実施例）図７は、本発明の第３の
実施例としての圧電共振部品を説明するための分解斜視
図である。

【００４９】本実施例の圧電共振部品では、図１に示し
た厚み縦圧電共振子１が、第１のケース材としてのコン
デンサ基板４１上に接合されている。コンデンサ基板４
１は、誘電体セラミックスなどの誘電体材料からなる誘
電体基板４１ａを有する。誘電体基板４１ａには、電極
４１ｂ〜４１ｄが形成されている。電極４１ｂ，４１ｄ
は、誘電体基板４１ａの上面に至るように形成されてお
り、電極４１ｂ，４１ｄの誘電体基板４１ａの上面に至
っている部分において、導電性接着剤４２，４３を介し
て、圧電共振子１が接合されている。すなわち、圧電共
振子１の端子電極５，７は、導電性接着剤４２，４３に
より、電極４１ｂ，４１ｄに接合されるとともに、電気
的に接続されている。なお、上記接合に際しては、圧電
共振子１の振動を妨げない空域を隔てて、圧電共振子１
が誘電体基板４１ａ上に固定されている。

【００５０】また、上記導電性接着剤４２，４３は、圧
電共振子１の端子電極５，７のうち、端面２ａ，２ｂの
下辺の全長に沿う部分を含むようにして接合されてい
る。すなわち、端面２ａ，２ｂの下辺がコンデンサ基板
４１に対して機械的に接合されており、それによって、
厚み縦圧電共振子１は、長さ方向両端で支持されてい
る。

【００５１】コンデンサ基板４１では、電極４１ｂ，４
１ｄと、電極４１ｃとの間でそれぞれコンデンサが構成
されている。従って、電極４１ｂ〜４１ｄ間には、図８
に示すように、共振子と２個のコンデンサとを含む発振
回路が構成される。

【００５２】第１のケース材としてのコンデンサ基板４
１上では、第２のケース材としてのキャップ４４が絶縁
性接着剤（図示せず）を用いて接合され、それによって
厚み縦圧電共振子１が、第１，第２のケース材から構成
されるケース材に囲繞される。よって、本実施例の圧電
共振部品では、他の電子部品と同様に、プリント回路基
板などに電極４１ｂ〜４１ｄを利用して面実装すること
ができる。

【００５３】また、圧電共振子と、２個のコンデンサが
図８に示した回路を構成するように接続されているの
で、単一の部品で、負荷容量内蔵型圧電発振子を構成す
ることができる。

【００５４】なお、第１，第２のケース材としては、図
７に示したコンデンサ基板４１及びキャップ４４以外の
構造のものを用いることも可能である。例えば、第１の
ケース材として、上方に開口が開いた容器本体を用い、
該容器本体内に厚み縦圧電共振子１を収納し、容器本体
の開口を平板状の第２のケース材で閉成することによ
り、圧電共振部品を構成してもよい。

【００５５】

【発明の効果】本発明では、矩形板状の圧電体と、圧電
体の両面に形成された第１，第２の励振電極と、圧電体
内に配置されており、第１，第２の励振電極と少なくと
も部分的に対向された少なくとも１層の内部電極とを有
する厚み縦圧電共振子が構成されるため、内部電極を有
しない従来の厚み縦圧電共振子に比べ、内部電極を有す
る分だけ電気的容量の増大を図ることができ、それによ
って取り付けられる回路基板などの浮遊容量による悪影
響を低減することができ、良好な共振特性を有する厚み
縦圧電共振子を提供することができる。

【００５６】加えて、一方向のみに振動減衰部が設けら
れており、該一方向と直交する方向においては、振動部
の両側に振動減衰部が設けられないため、前記一方向と
直交する方向における厚み縦圧電共振子の寸法を小さく
することができ、従って小型の厚み縦圧電共振子を提供
することが可能となる。

【００５７】さらに、前述したように、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜
≦Ｄｉ／１０とされているので、共振特性のばらつきを
効果的に低減することができる。従って、本発明に係る
厚み縦圧電共振子を量産する場合、内部電極の位置が若
干ばらついた場合であっても、｜Ｄｒ−Ｄｉ｜が上記特
定の範囲とされている限り、良好な共振特性を有する厚
み縦圧電共振子を提供することができる。

【００５８】また、圧電体として、細長いストリップ型
の圧電体を用いた場合には、幅方向寸法を小さくするこ
とができるので、厚み縦圧電共振子の小型化をより一層
進めることができる。

【００５９】また、本発明に係る圧電共振部品では、第
１，第２のケース材により構成されるケース内に本発明
に係る厚み縦圧電共振子が収納されているため、従来の
チップ型圧電部品と同様にして、プリント回路基板など
に面実装可能な圧電共振部品とすることができる。ま
た、第１，第２のケース材の一方に、リード端子を接合
することににより、リード付き電子部品とすることも可
能である。

【００６０】さらに、本発明に係る圧電共振部品におい
て、上記第１のケース材として、コンデンサ基板を用
い、厚み縦圧電共振子と、コンデンサ基板に構成された
コンデンサとを電気的に接続した場合には、単一の部品
で容量内蔵型圧電発振子を構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施例に
係る厚み縦圧電共振子を示す斜視図及び縦断面図。

【図２】｜Ｄｒ−Ｄｉ｜／Ｄｉ×１００（％）と、共振
周波数のばらつき３ＣＶとの関係を示す図。

【図３】第２の実施例に係る厚み縦圧電共振子を示す斜
視図。

【図４】本発明に係る厚み縦圧電共振子の変形例を示す
縦断面図。

【図５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明に係る厚み縦圧電
共振子のさらに他の変形例を示す各縦断面図。

【図６】本発明に係る厚み縦圧電共振子のさらに他の変
形例を示す縦断面図。

【図７】本発明に係る圧電共振部品の一実施例を示す分
解斜視図。

【図８】図７に示した圧電共振部品における回路構成を
示す回路図。

【図９】従来の厚み縦圧電共振子の一例を説明するため
の分解斜視図。

【図１０】図９に示した厚み縦圧電共振子の断面図。

【図１１】従来の厚み縦圧電共振子の他の例を説明する
ための斜視図。

【符号の説明】

１…厚み縦圧電共振子 ２…圧電体 ２Ａ，２Ｂ…圧電体層 ３，４…第１，第２の励振電極 ６…内部電極 １１…厚み縦圧電共振子 １２…圧電体 １３，１４…第１，第２の励振電極 １６…内部電極 ２１…厚み縦圧電共振子 ２２，２３…内部電極 ２４…厚み縦圧電共振子 ２５〜２７…内部電極 ２８…厚み縦圧電共振子 ２９，３０…内部電極 ３１…厚み縦圧電共振子 ３２〜３４…内部電極 ４１…コンデンサ基板 ４１ａ…誘電体基板 ４１ｂ〜４１ｄ…電極 ４２，４３…導電性接着剤 ４４…第２のケース材としてのキャップ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 共振部の両側に振動減衰部を有し、厚み
   縦振動モードのＮ次の高調波を利用した厚み縦圧電共振
   子であって、 矩形板状の圧電体と、 前記圧電体の両面に形成されており、圧電体を介して対
   向された第１，第２の励振電極と、 前記圧電体内に配置されており、圧電体層を介して第
   １，第２の励振電極と少なくとも部分的に対向された少
   なくとも一層の内部電極とを備え、 第１，第２の励振電極及び内部電極が厚み方向に重ねら
   れている部分により前記共振部が構成されており、共振
   部の両側の振動減衰部を結ぶ方向を第１の方向としたと
   きに、第１の方向と直交する方向において圧電体の端部
   または端部近傍まで第１，第２の励振電極が至るように
   第１，第２の励振電極が形成されており、 前記励振電極と内部電極との間で挟まれた圧電体層また
   は内部電極間に挟まれた圧電体層の厚みをＤｒとし、圧
   電体の厚みをＴとし、Ｄｉ＝Ｔ／Ｎとしたときに、｜Ｄ
   ｒ−Ｄｉ｜≦Ｄｉ／１０とされていることを特徴とす
   る、厚み縦圧電共振子。
2. 【請求項２】 前記圧電体が細長いストリップ状圧電体
   により構成されている、請求項１に記載の厚み縦圧電共
   振子。
3. 【請求項３】 ケースを構成する第１，第２のケース材
   と、 振動を妨げないための空域を確保した状態で、第１のケ
   ース材に取り付けられた請求項１または２に記載の厚み
   縦圧電共振子とを備え、 第１のケース材に取り付けられた厚み縦圧電共振子を囲
   繞するように、第２のケース材が第１のケース材に固定
   されていることを特徴とする、圧電共振部品。
4. 【請求項４】 前記第１のケース材が、誘電体基板と、
   誘電体基板に形成された複数の電極とを有するコンデン
   サ基板からなり、厚み縦圧電共振子と、前記コンデンサ
   基板に構成されたコンデンサとが電気的に接続されてい
   る、請求項３に記載の圧電共振部品。