JP2000173483A - マグネトロン用陰極部及びそれを用いたマグネトロン装置 - Google Patents
マグネトロン用陰極部及びそれを用いたマグネトロン装置Info
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Abstract
グネトロン用陰極部のエンドハットと陰極リードとの溶
接強度を向上させること。 【解決手段】 溝状凹部が形成されたマグネトロン用エ
ンドハットと、このエンドハットを支持する陰極リード
とを備えたマグネトロン用陰極部において、前記エンド
ハットの溝状凹部に前記陰極リードの先端部を突き合わ
せ、この突き合わせた面で溶接した。
Description
られるマグネトロン用陰極部及びそれに使用されるマグ
ネトロン装置に関するものである。
ネトロン装置は、図10に示されるように、マグネトロ
ン本体1と、その外周に配設された複数枚の放熱フィン
2と、前記マグネトロン本体と同軸的に配設された一対
の磁石3と、この磁石を磁気的に継ぐ一対の枠状継鉄4
と、フィルター回路部5とから構成されている。
の陽極筒体の内面に放射状に配設された複数個の陽極ベ
イン7と、この陽極ベインの略中央部に同軸的に配設さ
れた陰極部8とから構成されている。陰極部8は、図1
1に示されるように、例えばモリブデン材で作られた上
及び下エンドハット9及び10と、これらのエンドハッ
トを支持する第1及び第2の陰極リード11及び12と
を備えており、上エンドハット9は外形が山型あるいは
T型をなし、中心部に通孔13が穿設され、この通孔に
第1の陰極リード11の上端部が挿入され溶接固着され
て第1の陰極構体14が形成されている。
部のカップ状で、中央部には通孔15が穿設されてお
り、下エンドハット10の下面の外周部付近と、第2の
陰極リード12の端面とを突き合わせて溶接するバット
溶接により固着され、第2の陰極構体16が形成されて
いる。下エンドハット10の下面には品種区分用の溝状
凹部18が形成されている。これら第1及び第2の陰極
リード11及び12も、モリブデン材で作られている。
なお、上及び下エンドハット9及び10の間には、トリ
エーテッドタングステン材よりなるフィラメントコイル
17が配設されている。
うな従来のマグネトロン装置において、図12に示され
るように、下エンドハット10の下面の外周部付近と第
2の陰極リード12の端面を突き合わせて溶接するバッ
ト溶接では、溶接面積Wが小さいため、離脱しやすいと
いう問題点があった。
する要求が強くなっており、これに伴って前述した陰極
部も小型化されつつあるが、部品を小型化すると強度が
低下する傾向にあり、前記の下エンドハット10と第2
の陰極リード12との溶接部の強度低下が問題となって
いた。このため、溶接部の強度低下の対策として、例え
ばニッケルメッキを施しておく方法や、溶接時の圧力を
上げる方法等が試みられているが、これらの対策では十
分満足できるものとはなっておらず、簡易な構成で下エ
ンドハット10と第2の陰極リード12との溶接強度を
向上させ、マグネトロン組立工程や完成品に要求される
強度を備える構成を得ることが課題となっていた。
め、本発明は次のような構成を採用した。すなわち、本
発明にかかるマグネトロン用陰極部は、溝状凹部が形成
されたマグネトロン用エンドハットと、このエンドハッ
トを支持する陰極リードとを備えたマグネトロン用陰極
部において、前記エンドハットの溝状凹部に前記陰極リ
ードの先端部が突き合わされ、この突き合わされた面で
溶接されていることを特徴としている。この構成によれ
ば、溶融部分がエンドハットの溝状凹部内に侵入して固
化するため、溶接面積が実質的に増大し、溶接強度も大
幅に向上したマグネトロン用陰極部を提供することがで
きる。
は、上記構成を有する陰極部を備えている。この構成に
より、マグネトロン組立工程や完成品に要求される溶接
強度を備えたマグネトロン装置を提供することができ
る。
て図面を用いて説明する。図1は、本発明による下エン
ドハット10の断面図を、図2は、この下エンドハット
を矢印A方向からみた下面図を、図3は、下エンドハッ
トを矢印A方向からみた面を上側にしたときの断面斜視
図をそれぞれ表すもので、図1〜3によれば、断面が略
凹型のカップ状をなし、中央部には通孔15が穿設さ
れ、下エンドハット10の下面には溝状凹部18が設け
られている。この溝状凹部の寸法は、幅0.5〜1.5
mm、深さ0.1〜1.0mm程度であり、溝の位置
は、この溝の幅の中心位置と第2の陰極リードの中心位
置とが略一致する場所に設けられている。
末の加圧成形体の焼結によって得られるもので、溝状凹
部18は、粉末成形時または予備焼結後におけるプレス
加工や、焼結後における切削加工で成形されたものであ
る。また、この溝状凹部は、長目の寸法に形成されてい
るものもあるが、リング状に形成されたものもある。リ
ング状に形成されたものは、エンドハット自体が対称形
であるから、溶接時に下エンドハット10の回転角度を
考慮することなく簡単に陰極リードとの位置合わせをす
ることができるという利点がある。また、溝状凹部18
をリング状にしておくことにより、下エンドハット10
が対称形となるから焼結時の変形を防止しやすいという
利点もある。
うに、複数個が放射状に配設されてもよい。また、図
5、図6に示されるように、多数個の凹部がリング状
に、あるいは、ランダムに点在させられたものでもよい
ことはいうまでもない。
リード12とが溶接されるために配設された状態を示す
断面図である。図7において、下エンドハット10の溝
状凹部18に第2の陰極リード12の先端面を突き合わ
せた後、バット溶接することにより下エンドハット10
と第2の陰極リード12とを固着するものである。この
溶接により、図8に示されるように、溶融部19が溝状
凹部18内に楔状に侵入して固化するため、実質的な溶
接面積が増大し、溶接強度が向上することとなる。
陰極リード12とが結合した第2の陰極構体16が得ら
れる。この第2の陰極構体と、上エンドハット9と第1
の陰極リード11とが溶接等により固着され構成された
第1の陰極構体14と、フィラメントコイル17とを組
み付けることによりマグネトロン陰極部8が得られる。
なお、上エンドハット9と第1の陰極リード11との結
合をバット溶接で行う場合は、上エンドハット9の中央
部に凹部(溝状である必要はない)を形成しておき、こ
の凹部に第1の陰極リード11の先端部を突き合わせて
バット溶接をすればよい。
て説明する。外径7.5×内径3.0×高さ3.0mm
のモリブデン焼結体からなる下エンドハット10を製造
し、この下エンドハットに第2の陰極リード12が溶接
される位置に、リング状の溝状凹部18を形成させた。
この溝状凹部の寸法は、深さ0.3×幅0.7mmとし
た。そして、下エンドハット10の溝状凹部18に直径
が1.5mmのモリブデン材よりなる第2の陰極リード
12の先端部を突き合わせてバット溶接し、第2の陰極
構体16を形成させた。
体16のエンドハット10を工具等で固定し、このエン
ドハットの溶接部から所定距離離れた位置で第2の陰極
リード12に直角方向の荷重(曲げモーメント)を負荷
して破壊強度を求めた。その結果は、図9に示される通
り、従来の構成による第2の陰極構体の破壊強度分布を
χ1、本発明の構成による第2の陰極構体の破壊強度分
布をχ2で示しており、従来の構成による破壊強度分布
χ1の平均値を1とすれば、本発明の構成による破壊強
度分布χ2の平均値は1.4となり、約40%破壊強度
が向上している。同図から本発明のものが強度的に優れ
ていることがわかる。
にかかるマグネトロン用陰極部は、その構成部品である
エンドハットと陰極リードとの溶接強度が高いものとな
った。この陰極部を構成するエンドハットは、従来のエ
ンドハットの陰極リードとの溶接位置にリング状の溝状
凹部が形成されたもので溶接強度が高く、製造も容易
で、しかも高価なモリブデン材料を節約することができ
るものである。
面図である。
面図である。
面図である。
面図である。
る。
面断面図である。
断面図である。
断面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 溝状凹部が形成されたマグネトロン用エ
ンドハットと、このエンドハットを支持する陰極リード
とを備えたマグネトロン用陰極部において、前記エンド
ハットの溝状凹部に前記陰極リードの先端部が突き合わ
され、この突き合わされた面で溶接されていることを特
徴とするマグネトロン用陰極部。 - 【請求項2】 溝状凹部が形成されたマグネトロン用エ
ンドハットと、このエンドハットの溝状凹部に陰極リー
ドの先端部が突き合わされ、この突き合わされた面で前
記エンドハットと前記陰極リードとが溶接されてなるマ
グネトロン用陰極部を備えたことを特徴とするマグネト
ロン装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36192298A JP4122100B2 (ja) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | マグネトロン用陰極部及びそれを用いたマグネトロン装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP4122100B2 JP4122100B2 (ja) | 2008-07-23 |
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Family Applications (1)
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KR (1) | KR100769749B1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104275576A (zh) * | 2013-07-05 | 2015-01-14 | 佛山市海欣光电科技有限公司 | 一种磁控管电极支持用部件的生产方法 |
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-
1998
- 1998-12-03 JP JP36192298A patent/JP4122100B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-04-12 KR KR1020000019203A patent/KR100769749B1/ko active IP Right Grant
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