JP2000068633A - 圧着方法および圧着装置 - Google Patents
圧着方法および圧着装置Info
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Abstract
あっても、圧着不良を発生させずに、これらの複数の被
圧着物を一括して圧着することのできる圧着方法および
圧着装置を実現すること。 【解決手段】 複数のセラミックコンデンサ50をフレ
キシブル基板29、あるいは液晶パネル10のガラス基
板2といった基板上に一括して熱圧着する際に、圧着ヘ
ッドT2で複数のセラミックコンデンサ50を直接、押
圧するのではなく、圧着ヘッドT2からの圧力を弾性シ
ートSDを介して複数のセラミックコンデンサ50の各
々に加える。従って、複数のセラミックコンデンサ50
の間に多少の高さ寸法のばらつきがあっても、このばら
つきに起因する押圧力のばらつきは弾性シートSDの弾
性変形などによって緩和、吸収される。
Description
子部品の実装などに適用される圧着方法および圧着装置
に関するものである。
ンデンサを回路基板を実装する方法としては、リフロー
方式が広く採用されてきたが、近年、異方性導電膜(A
nisotropic conductive fil
m/ACF)を用いる実装方法が採用されつつある。こ
の異方性導電膜を用いた実装方法は、ファインピッチへ
の対応が可能であるとともに、多接点を一括して電気的
に接続できるという利点がある。このような異方性導電
膜を用いてセラミックコンデンサを回路基板上に実装す
るには、回路基板上に配置したセラミックコンデンサを
圧着ヘッドによって加熱しながら回路基板に向けて押圧
する。その際に、セラミックコンデンサと回路基板との
間に異方性導電膜を挟んでおけば、異方性導電膜に含ま
れる樹脂分が溶融するとともに、異方性導電膜に含まれ
る導電粒子がセラミックコンデンサの電極と回路基板の
配線パターンとの間で押し潰され、セラミックコンデン
サの電極と回路基板の配線パターンとが導電粒子を介し
て電気的に接続する。
数のセラミックコンデンサを配置しておけば、これら複
数のセラミックコンデンサを一括して回路基板上に圧着
できる。
圧着方法で複数のセラミックコンデンサを一括して回路
基板上に圧着すると、これらの複数のセラミックコンデ
ンサの高さ寸法のばらつきに起因して、各セラミックコ
ンデンサに均等な圧力が加わらない。従って、高さ寸法
の低いセラミックコンデンサには十分な圧力が加わらな
いので、外観不良や接触抵抗大などといった圧着不良が
発生するという問題点がある。このようなセラミックコ
ンデンサの高さ寸法のばらつきは、同一定格のものであ
っても公差が存在する以上、避けることができない。た
とえば、サイズが0.8mm(幅寸法)×0.8(高さ
寸法)×1.6(長さ寸法)のセラミックコンデンサに
おいて、高さ寸法の公差は±0.1mmである。
の間で高さ寸法にばらつきがあっても、圧着不良を発生
させずに、これらの複数の被圧着物を一括して圧着する
ことのできる圧着方法および圧着装置を実現することに
ある。
に、本発明では、基板上に配置した複数の被圧着物を圧
着ヘッドによって加熱しながら前記基板に向けて押圧す
ることにより、該基板上に前記複数の被圧着物を一括し
て圧着する圧着方法において、前記圧着ヘッドと前記被
圧着物との間に弾性シートを介在させた状態で前記圧着
ヘッドによる加熱および押圧を行うことを特徴とする。
接、押圧するのではなく、圧着ヘッドの押圧力を弾性シ
ートを介して被圧着物に加える。従って、複数の被圧着
物の間に多少の高さ寸法のばらつきがあっても、このば
らつきに起因する圧力のばらつきは弾性シートの弾性変
形によって緩和、吸収される。それ故、複数の被圧着物
を一括して圧着する場合でも、各圧着物に略均等な圧力
が加わるので、圧着不良が発生しない。
ば表面実装タイプの電子部品である。この場合には、前
記被圧着物と前記基板との間に異方性導電膜を介在させ
た状態で前記圧着ヘッドによる加熱および押圧を行え
ば、配線パターンのファインピッチへの対応が可能であ
る。
圧着物との間に弾性シートを介在させる方法としては、
前記弾性シートを前記複数の被圧着物と前記圧着ヘッド
との間に向けてロールから間欠的に繰り出すことが好ま
しい。前記圧着ヘッドと前記被圧着物との間に弾性シー
トを介在させる方法として、圧着ヘッドの押圧面に弾性
シートを貼り付けておく方法があるが、被圧着物と圧着
ヘッドとの間に向けてロールから間欠的に繰り出す構成
であれば、圧着ヘッドの押圧面に弾性シートを貼り付け
ておく方法と違って、弾性シートが破損しても貼り替え
る必要がないので、メンテナンスが容易である。また、
複数の被圧着物と圧着ヘッドとの間に向けてロールから
間欠的に繰り出す構成であれば、新しい弾性シートが圧
着ヘッドと被圧着物との間に所定のタイミングで供給さ
れるので、圧着ヘッドの押圧面に弾性シートを貼り付け
ておく方法と違って、圧着痕がついた弾性シートを使用
しないで済むので、常に安定した圧力を被圧着物に加え
ることができる。また、被圧着物と圧着ヘッドとの間に
向けてロールから間欠的に繰り出す構成であれば、使用
済の弾性シートを再使用する場合でも、圧着ヘッドの押
圧面に弾性シートを貼り付けておく方法と違って、被圧
着物が弾性シートの同じ箇所に繰り返し当たるという事
態を避けることができる。
さ寸法にばらつきがあっても、圧着不良をより確実に防
止するには、前記弾性シートの厚さ寸法を、前記複数の
被圧着物の高さ寸法のばらつき範囲(最大値と最小値と
の差)よりも厚くすることが好ましい。また、前記弾性
シートの厚さは、前記複数の被圧着物の高さ寸法の最大
値よりも薄くすることが好ましい。
充填材が配合されたゴムシートであることが好ましい。
このようなゴムシートであれば十分な弾性を有するとと
もに、無機充填材が配合されている分、熱伝導率が高
い。従って、圧着ヘッドの熱を被圧着物と基板との間に
効率よく伝達することができる。
に対して、基板を載置するステージと、該ステージ上の
前記基板上に配置した複数の被圧着物を加熱しながら前
記基板に向けて一括して押圧する圧着ヘッドと、該圧着
ヘッドと前記被圧着物との間に配置された弾性シートと
を設ける。ここで、前記圧着ヘッドと前記被圧着物との
間に前記弾性シートをロールから間欠的に繰り出すシー
ト供給装置を設けておくことが好ましい。
施の形態を説明する。
す斜視図であり、図2は、その分解斜視図である。これ
らの図において、配線パターンや入出力端子について
は、一部のみを示し、それらの大部分を省略してある。
電子機器に搭載されている液晶表示装置の液晶パネル1
0は、透明ガラスなどによって形成された第1の基板1
と、同じく透明ガラスなどによって形成された第2の基
板2とを有している。これらの基板の一方にはシール剤
3が印刷等によって形成され、このシール剤3を挟んで
第1の基板1と第2の基板2とが接着固定されている。
第1の基板1と第2の基板2との間の間隙のうち、シー
ル剤3で区画形成された液晶封入領域41内には液晶4
0が封入されている。第1の基板1の外側表面には偏光
板4aが粘着剤などによって貼られ、第2の基板2の外
側表面にも偏光板4bが粘着剤などで貼られている。液
晶パネル10を反射型として構成する際には、第2の基
板2に貼られている偏光板4bの外側表面に反射板(図
示せず。)が貼られる。
板1よりも大きいので、第2の基板2に第1の基板1を
重ねた状態で、第2の基板2はその一部が第1の基板1
の下端縁から張り出す。この張り出し部分には液晶封入
領域41に隣接するようにIC実装領域9が形成され、
ここに駆動用IC13がCOG(Chip On Gl
ass)実装されている。
側では、IC実装領域9に隣接するように複数の入力端
子12が第2の基板2の縁に沿って形成され、これらの
入力端子12には、図1に二点鎖線で示すように、フレ
キシブル基板29が接続される。
および第2の基板2に形成した透明電極の配置パターン
を示す平面図である。
は、シール剤3(一点鎖線Lで示す領域)で区画形成さ
れた液晶封入領域41の内側で横方向に延びる複数のス
トライプ状電極6aと、液晶封入領域41の外側でスト
ライプ状電極6aを各端子に配線接続するための配線部
6bとからなる電極パターン6を有している。この電極
パターン6は、ITO膜(Indium Tin Ox
ide)などで形成されている。
は、シール剤3(一点鎖線Lで示す領域)で区画形成さ
れた液晶封入領域41の内側で縦方向に延びる複数のス
トライプ状電極7aと、液晶封入領域41の外側でスト
ライプ状電極7aをIC実装領域9に配線接続するため
の配線部7bとからなる電極パターン7を有している。
この電極パターン7もITO膜などで形成されている。
第1の基板1および第2の基板2の双方には、表面全体
に配向膜(図示せず。)が形成され、液晶40をSTN
(Super Twisted Nematic)方式
で用いるようになっている。
基板2とを図1に示すように貼り合わせた状態で、第1
の基板1のストライプ状電極6aと第2の基板2のスト
ライプ状電極7aとは互いに交差し、各交差部分に画素
が構成される。また、第1の基板1と第2の基板2とを
貼り合わせた状態で、第1の基板1の端子6cと第2の
基板2の端子7cとが対向する。従って、第1の基板1
の内側表面、または第2の基板2の内側表面に、ギャッ
プ材および導電粒子を含むシール剤3を塗布して第1の
基板1と第2の基板2とを貼り合わせれば、第1の基板
1の各端子6cと、第2の基板2の各端子7cとは、シ
ール剤3に含まれる導電粒子を介して導通することにな
る。ここで、導電粒子は、たとえば弾性変形可能なプラ
スチックビーズの表面にメッキを施したもので、その粒
径は約6.6μmである。これに対し、ギャップ材の粒
径は約5.6μmである。それ故、第1の基板1と第2
の基板2とを重ねた状態でその間隙を狭めるような力を
加えながらシール剤3を溶融、硬化させると、導電粒子
は、第1の基板1と第2の基板2との間で押し潰された
状態で第1の基板1の端子6cと第2の基板2の端子7
とを導通させる。従って、駆動用IC13に回路基板2
0を介して信号および電源を供給すると、駆動用IC1
3は、希望する適宜のストライプ状電極6a、7aに電
圧を印加することによって各画素における液晶40の配
向状態を制御し、液晶パネル10に希望の像を表示す
る。
うための画像信号などは、図1に示すフレキシブル基板
29の側から供給される。ここで、図5(D)に示すよ
うに、液晶パネル10の第2の基板2には複数のチップ
型(表面実装型)のセラミックコンデンサ50がCOG
実装されることがある。
ラミックコンデンサ50を実装するにあたって、本形態
では、図5(A)〜図5(D)を参照して以下に説明す
る圧着方法を用いる。
方法を示す工程斜視図である。
0の第2の基板2のうち、セラミックコンデンサ50を
実装する領域を覆うように異方性導電膜ACFを配置す
る。
次に、図5(B)に示すように、液晶パネル10をステ
ージ103の上に配置した後、第2の基板2に配置した
異方性導電膜ACFの上の所定位置に複数のセラミック
コンデンサ50を配置する。そして、ステージ103あ
るいは仮圧着ヘッド(矢印Qで示す。)の側から異方性
導電膜ACFを加熱しながら、仮圧着ヘッドによって複
数のセラミックコンデンサ50を一括して第2の基板2
の方に押圧する。このとき行う加熱圧着条件は、圧着時
の時間が短い、あるいは圧着時の温度が低いなど、あく
まで仮圧着用の穏やか条件である(仮圧着工程)。
103および圧着ヘッドT2の双方から異方性導電膜A
CFを加熱しながら、圧着ヘッドT2によって複数のセ
ラミックコンデンサ50を一括して第2の基板2の方に
押圧する。このとき行う加熱圧着条件は、圧力が40k
gf/cm2 、温度が180℃〜190℃、時間が10
秒と本圧着用の厳しい条件であり、この本圧着を行った
後は、図5(D)に示すように、複数のセラミックコン
デンサ50は第2の基板2に形成されている配線パター
ン(図示せず。)上に十分な接着強度をもって電気的に
接続する。
(C)に示すように、圧着ヘッドT2とセラミックコン
デンサ50との間に弾性シートSDを介在させる。従っ
て、圧着ヘッドT2は、弾性シートSDを介してセラミ
ックコンデンサ50を加熱しながら第2の基板2の方に
押圧することになる。
このような圧着方法を行うにあたって、本形態では、液
晶パネル10を載置するステージ103、および液晶パ
ネル10の第2の基板2の上に配置した複数のセラミッ
クコンデンサ50を第2の基板2の側(ステージ103
の側)に向けて一括して押圧する圧着ヘッドT2に加え
て、圧着ヘッドT2とセラミックコンデ
ンサ50との間に弾性シートSDをロールから繰り出す
シート供給装置150を有する圧着装置100を用いる
。この圧着装置100において、シート供給装置150
としては、ロール状に巻回された弾性シートSDが仕掛
けられる給材ローラ101、使用済の弾性シートSDを
巻き上げる巻き上げローラ102、およびテンションロ
ーラ105、106を備えたものが使用される。この圧
着装置100では、ステージ103上への液晶パネル1
0の搬送と、圧着ヘッドT2の昇降と、給材ローラ10
1からの弾性シートSDの間欠的な繰り出しと、巻き上
げローラ102による使用済の弾性シートSDの間欠的
な回収とがそれぞれ連動して除給が行われ、液晶パネル
10の第2の基板2に対するセラミックコンデンサ50
の実装が連続して行われる。
ン酸化物が配合されたシリコンゴムシートなど、無機充
填材の配合によって熱伝導性が高く、かつ、柔らかいゴ
ムシートが用いられる。たとえば、富士高分子工業株式
会社製の商品名サーコンを用いることができる。このサ
ーコン(商品名)からなる弾性シートSDは、硬さ(J
IS−Aによる測定)が79と柔らかく、かつ、熱伝導
率が22.0×10-4cal/cm・sec・℃〜7
0.0×10-4cal/cm・sec・℃と通常のシリ
コンゴム(熱伝導率が3.7×10-4cal/cm・s
ec・℃〜5.4×10-4cal/cm・sec・℃)
と比較してかなり高い。
50の高さ寸法にばらつきがあっても、圧着不良をより
確実に防止できるように、弾性シートSDとして、厚さ
寸法がセラミックコンデンサ50の高さ寸法のばらつき
範囲(最大値と最小値との差)よりも厚く、かつ、セラ
ミックコンデンサ50の高さ寸法よりも薄いゴムシート
を用いている。たとえば、サイズが0.8mm(幅寸
法)×0.8(高さ寸法)×1.6(長さ寸法)のセラ
ミックコンデンサ50では、高さ寸法の公差が±0.1
mmであるので、弾性シートSDとしては、厚さ寸法が
0.2mm(公差の範囲)〜0.7mm(公差を考慮し
た高さ寸法の最小値)のもの、好ましくは厚さ寸法が
0.3mm〜0.4mmのゴムシートを用いる。
2とセラミックコンデンサ50との間に介在させた状態
で圧着を行った場合でも、図6に示すように、セラミッ
クコンデンサ50と第2の基板2との間では異方性導電
膜ACFに含まれる樹脂分Rが圧着ヘッドT2からの熱
によって溶融するとともに、異方性導電膜ACFに含ま
れる導電粒子Dがセラミックコンデンサ50の電極51
と第2の基板2の配線パターン201(ランド)との間
で押し潰され、セラミックコンデンサ50の電極51と
第2の基板2の配線パターン201とが導電粒子Dを介
して電気的に接続する。従って、複数のセラミックコン
デンサ50を一括して第2の基板2上に圧着できる。
数のセラミックコンデンサ50を直接、押圧するのでは
なく、圧着ヘッドT2からの圧力を弾性シートSDを介
して複数のセラミックコンデンサ50の各々に加える。
従って、複数のセラミックコンデンサ50の間に多少の
高さ寸法のばらつきがあっても、このばらつきに起因す
る押圧力のばらつきは弾性シートSDの弾性変形などに
よって緩和、吸収される。それ故、複数のセラミックコ
ンデンサ50を一括して熱圧着する場合でも、各セラミ
ックコンデンサ50に均等な圧力が加わるので、外観不
良や接触抵抗大などといった圧着不良が発生しない。
の配合によって熱伝導率が高いゴムシートを用いている
ので、圧着ヘッドT2の熱をセラミックコンデンサ50
と第2の基板2との間に効率よく伝達することができ
る。それ故、圧着ヘッドT2とセラミックコンデンサ5
0との間に弾性シートSDを介在させても、熱圧着をス
ムーズに行うことができる。
のセラミックコンデンサ50は、図7に模式的に示すよ
うに、フレキシブル基板29の方に実装される場合もあ
る。このフレキシブル基板29に対して複数のセラミッ
クコンデンサ50を実装するにあたって、本形態では、
図8を参照して以下に説明する圧着方法を用いる。
方法を示す工程断面図である。
29には、各種電子部品を配線接続するための配線パタ
ーン(図示せず。)が形成されている。この配線パター
ン上にセラミックコンデンサ50を実装するには、ま
ず、セラミックコンデンサ50を実装する領域290を
覆うように、セパレータSPに積層された異方性導電膜
ACFを配置した後、図8(B)に示すように、セパレ
ータSPに積層された異方性導電膜ACFを転着ヘッド
T1を用い、圧力24kgf/cm2 、温度50℃〜8
0℃の条件でフレキシブル基板29の側に転着する。
ば、高温の切断ツールCTをセパレータSPの側からフ
レキシブル基板29の方に押し当てて、異方性導電膜A
CFを残したい領域290の輪郭に沿って溶断する。
げるようにして、セパレータSPを引き剥がし、図8
(D)に示すように、フレキシブル基板29の所定領域
290に異方性導電膜ACFを貼り付けた状態で残す。
ブル基板29の異方性導電膜ACFの上の所定位置に複
数のセラミックコンデンサ50を配置する。そして、複
数のセラミックコンデンサ50を仮圧着した後、圧着ヘ
ッドT2によってセラミックコンデンサ50を加熱しな
がらフレキシブル基板29の方に押圧する。本形態で
は、この工程を行う際に、圧着ヘッドT2とセラミック
コンデンサ50との間に弾性シートSDを介在させる。
従って、圧着ヘッドT2は弾性シートSDを介してセラ
ミックコンデンサ50を加熱しながらフレキシブル基板
29の方に押圧することになる。
このような圧着方法を行うにあたって、本形態でも、フ
レキシブル基板29を載置するステージ103、および
フレキシブル基板29上に配置した複数のセラミックコ
ンデンサ50を加熱しながらフレキシブル基板29に向
けて一括して押圧する圧着ヘッドT2に加えて、圧着ヘ
ッドT2とセラミックコンデンサ50との間に弾性シー
トSDをロールから繰り出すシート供給装置150を有
する圧着装置100を用いる。この圧着装置100にお
いて、シート供給装置150としては、ロール状に巻回
された弾性シートSDが仕掛けられる給材ローラ101
、使用済の弾性シートSDを巻き上げる巻き上げローラ
102、およびテンションローラ105、106を備え
たものが使用される。この圧着装置100では、ステー
ジ103上へのフレキシブル基板29の搬送と、圧着ヘ
ッドT2の昇降と、給材ローラ101からの弾性シート
SDの間欠的な繰り出しと、巻き上げローラ102によ
る使用済の弾性シートSDの間欠的な回収とがそれぞれ
連動して除給が行われ、フレキシブル基板29に対する
セラミックコンデンサ50の実装が連続して行われる。
ても、図8(E)に示すように、圧着ヘッドT2とセラ
ミックコンデンサ50との間に弾性シートSDを介在さ
せた状態で、圧着ヘッドT2は、図8(F)に示すよう
に、セラミックコンデンサ50を圧力40kgf/cm
2 、圧着ヘッドT2の温度300℃、セラミックコンデ
ンサ50の温度180℃〜190℃の条件でフレキシブ
ル基板29に向けて熱圧着する(圧着工程)。ここで用
いる弾性シートSDは、実施の形態1で説明したよう
に、シリコン酸化物が配合されたシリコンゴムシートな
ど、無機充填材の配合によって熱伝導性が高く、かつ、
柔らかいゴムシートである。また、本形態でも、セラミ
ックコンデンサ50の高さ寸法にばらつきがあっても、
圧着不良をより確実に防止できるように、弾性シートS
Dとして、厚さ寸法がセラミックコンデンサ50の高さ
寸法のばらつき範囲(最大値と最小値との差)よりも厚
く、かつ、セラミックコンデンサ50の高さ寸法よりも
薄いゴムシートを用いている。
2とセラミックコンデンサ50との間に介在させた状態
で圧着を行った場合でも、図9に示すように、セラミッ
クコンデンサ50とフレキシブル基板29との間では異
方性導電膜ACFに含まれる樹脂分Rが圧着ヘッドT2
からの熱によって溶融するとともに、異方性導電膜AC
Fに含まれる導電粒子Dがセラミックコンデンサ50の
電極51とフレキシブル基板29の配線パターン291
との間で押し潰され、セラミックコンデンサ50の電極
51とフレキシブル基板29の配線パターン291とが
導電粒子Dを介して電気的に接続する。従って、複数の
セラミックコンデンサ50を一括してフレキシブル基板
29上に圧着できる。
数のセラミックコンデンサ50を直接、押圧するのでは
なく、圧着ヘッドT2からの圧力を弾性シートSDを介
して複数のセラミックコンデンサ50の各々に加える。
従って、複数のセラミックコンデンサ50の間に多少の
高さ寸法のばらつきがあっても、このばらつきに起因す
る押圧力のばらつきは弾性シートSDの弾性変形などに
よって緩和、吸収される。それ故、複数のセラミックコ
ンデンサ50を一括して熱圧着する場合でも、各セラミ
ックコンデンサ50に均等な圧力が加わるので、外観不
良や接触抵抗大などといった圧着不良が発生しない。
の配合によって熱伝導率が高いゴムシートを用いている
ので、圧着ヘッドT2の熱をセラミックコンデンサ50
とフレキシブル基板29との間に効率よく伝達すること
ができる。それ故、圧着ヘッドT2とセラミックコンデ
ンサ50との間に弾性シートSDを介在させても、熱圧
着をスムーズに行うことができる。
は、セラミックコンデンサ50を液晶パネル10のガラ
ス基板(第2の基板2)およびフレキシブル基板29に
実装する例を説明したが、たとえば、複数の電子部品を
ガラス−エポキシ基板やセラミックス基板、あるいはフ
レキシブル配線基板に実装する場合、複数の駆動用IC
を液晶パネルの基板上に実装する場合等々にも適用でき
る。また、複数の被圧着物については、高さ寸法が同等
であれば、種類が同一のものである場合に限らず、セラ
ミックコンデンサ以外の異種のものであってもよい。
ヘッドで被圧着物を直接、押圧するのではなく、圧着ヘ
ッドの押圧力を弾性シートを介して被圧着物に加える。
従って、複数の被圧着物の間に多少の高さ寸法のばらつ
きがあっても、このばらつきに起因する圧力のばらつき
は弾性シートの弾性変形によって緩和、吸収される。そ
れ故、複数の被圧着物を一括して圧着する場合でも、各
圧着物に略均等な圧力が加わるので、圧着不良が発生し
ない。
斜視図である。
分解斜視図である。
透明電極の配置パターンを示す平面図である。
透明電極の配置パターンを示す平面図である。
第1の形態に係る製造工程のうち、異方性導電膜を用い
て液晶パネルの第2の基板(ガラス基板)に複数のセラ
ミックコンデンサを一括して圧着する様子を示す工程斜
視図である。
板とセラミックコンデンサとの間の様子を拡大して示す
断面図である。
式的に示す斜視図である。
製造工程のうち、異方性導電膜を用いてフレキシブル基
板に複数のセラミックコンデンサを一括して圧着する様
子を示す工程断面図である。
シブル基板とセラミックコンデンサとの間の様子を拡大
して示す断面図である。
ン 291 フレキシブル基板の配線パターン ACF 異方性導電膜 D 異方性導電膜に含まれる導電粒子 SD 弾性シート T1 転着ヘッド T2 圧着ヘッド
Claims (9)
- 【請求項1】 基板上に配置した複数の被圧着物を圧着
ヘッドによって加熱しながら前記基板に向けて押圧する
ことにより、該基板上に前記複数の被圧着物を一括して
圧着する圧着方法において、 前記圧着ヘッドと前記被圧着物との間に弾性シートを介
在させた状態で前記圧着ヘッドによる加熱および押圧を
行うことを特徴とする圧着方法。 - 【請求項2】 請求項1において、前記被圧着物は表面
実装タイプの電子部品であることを特徴とする圧着方
法。 - 【請求項3】 請求項2において、前記電子部品と前記
基板との間に異方性導電膜を介在させた状態で前記圧着
ヘッドによる加熱および押圧を行うことを特徴とする圧
着方法。 - 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記弾性シートを前記複数の被圧着物と前記圧着ヘッド
との間に向けてロールから間欠的に繰り出すことを特徴
とする圧着方法。 - 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記弾性シートの厚さは、前記複数の被圧着物の高さ寸
法のばらつき範囲よりも厚いことを特徴とする圧着方
法。 - 【請求項6】 請求項1ないし5のいずれかにおいて、
前記弾性シートの厚さは、前記複数の被圧着物の高さ寸
法の最大値よりも薄いことを特徴とする圧着方法。 - 【請求項7】 請求項1ないし6のいずれかにおいて、
前記弾性シートは、無機充填材が配合されたゴムシート
であることを特徴とする圧着方法。 - 【請求項8】 基板を載置するステージと、該ステージ
上の前記基板上に配置した複数の被圧着物を加熱しなが
ら前記基板に向けて一括して押圧する圧着ヘッドと、該
圧着ヘッドと前記被圧着物との間に配置された弾性シー
トとを有することを特徴とする圧着装置。 - 【請求項9】 請求項8において、前記圧着ヘッドと前
記被圧着物との間に前記弾性シートをロールから間欠的
に繰り出すシート供給装置を有していることを特徴とす
る圧着装置。
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