JP2000036685A

JP2000036685A - 電磁波吸収材

Info

Publication number: JP2000036685A
Application number: JP10330985A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Matsuo; 誠一松尾; Hideki Komori; 秀樹古森; Masato Morimoto; 眞人森本
Original assignee: Nippon Paint Co Ltd
Current assignee: Nippon Paint Co Ltd
Priority date: 1998-05-15
Filing date: 1998-11-20
Publication date: 2000-02-02

Abstract

(57)【要約】【課題】特に薄型軽量で低周波数電磁波吸収性に優れ
る電磁波吸収材を提供すること。【解決手段】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、およびローパスシールド層、を有する電磁波吸収
材。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電磁波吸収材に関
し、特に、レーダー偽像防止用、無線通信環境整備用等
に使用できる薄型軽量で高い吸収力を有する電磁波吸収
材に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、携帯電話、無線ＬＡＮなどの通信
システムの発達により、オフィス情報保護、および通信
混線を防止する必要が生じている。そのため、建物およ
びその一部を電磁波シールド材で囲み、内外の電波を遮
断することが通常行われている。

【０００３】しかし、金属材料のような、一般に用いら
れる電磁波反射材は電磁波を１００％反射するため、電
磁波が室内に蓄積され、通信混線や電子機器の誤動作を
引き起こす恐れがある。また、建物に貼られた電磁波反
射材により電磁波が反射されると、その近隣でＴＶゴー
ストやレーダー偽像等が発生する。

【０００４】上記のような問題を解決するためには、電
磁波を反射する電磁波反射材の代わりに、電磁波を吸収
してその反射を抑える電磁波吸収材を使用すればよいこ
とが知られている。一般には、フェライトを含む電磁波
吸収材が用いられている。

【０００５】しかし、電磁波の中でも携帯電話、無線Ｌ
ＡＮに使用される通信波やＴＶ波は周波数が低く波長が
数センチから数メートルと長いため、一般に薄い電磁波
吸収材で効率良く吸収することが困難である。例えば、
レーダー偽像防止及び無線ＬＡＮ用に市販されているフ
ェライト系吸収材は厚さ１．５〜６ｍｍ、重さ５〜２０
ｋｇ／ｍ²で、この様な形態の吸収材を広面積に適用す
るのは、作業性及び被着構造物の荷重負荷限界の点で非
常に困難である。

【０００６】電磁波吸収性能が悪く、厚くかつ重い、と
いう従来の電磁波吸収材料の問題を解決するため、特公
平８−２５４５７２１号では、レーダー用の薄型吸収材
として金属製の市松模様パターンを反射物体表面に貼る
提案がなされている。しかしながら、この電磁波吸収材
は厚さが１．２ｍｍ程度必要であり、レーダー偽像防止
用として充分な薄さではない。又、この電磁波吸収材を
用いて無線ＬＡＮに使用される通信波のような低周波数
域の電磁波を吸収させるためには、模様径を極端に大き
くする必要があるため、高い吸収能力を得るのは困難で
ある。

【０００７】また、本発明者らは、特願平７−３０７２
４６号、特願平７−３０７２４８号及び特願平９−２２
６６６号において、薄型で軽量の電磁波吸収材を発明し
た。この電磁波吸収材は、（１）電磁波反射層、（２）
絶縁性中間層、および（３）導電性パターン層、が順次
積層された積層体である。

【０００８】これらの電磁波吸収材では、電磁波反射層
は一般に金属薄膜であり、絶縁性中間層は厚さ０．１〜
１０ｍｍの空気や発泡樹脂であり、導電性パターン層は
リソグラフィ法により導電性パターンを形成した金属蒸
着フィルムである。従って、この電磁波吸収材はフェラ
イト系吸収材と比較して非常に軽量である。

【０００９】しかし、特に、低周波域の電磁波に対し
て、これらの電磁波吸収材よりも更に薄型で高い吸収能
を示す電磁波吸収材が望まれている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題を解決するものであり、その目的とするところは、特
に薄型軽量で低周波数電磁波吸収性に優れる電磁波吸収
材を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、順次積層され
た電磁波反射層、絶縁性中間層、およびローパスシール
ド層を有する電磁波吸収材を提供するものであり、その
ことにより上記目的が達成される。

【００１２】「ローパスシールド層」とは低周波の電磁
波は透過させるが高周波電磁波は透過させない周波数選
択性のシールド機能を有する層、つまり、シールド力が
低周波側になるほど弱くなる傾向を持つ電磁波シールド
層のことである。ローパスシールド層は、一般に、導電
性材料でなる複数の一定形状を電気的に絶縁された状態
で相互に接近させて規則的な模様とすることにより得ら
れる。

【００１３】つまり、導電性形状が絶縁された状態で相
互に接近した規則的な模様はコンデンサーを多数接続し
た回路になっている。この回路は高周波電流には導電性
であるが、低周波電流には非導電性である。従って、導
電性形状が絶縁された状態で相互に接近した規則的な模
様は高周波電磁波に対してのみ選択的にシールドする能
力を有する。

【００１４】本発明で用いるローパスシールド層は、周
波数が増大するに伴って透過減衰量を減少させ、吸収対
象の周波数における透過減衰量とその１／１０の周波数
における透過減衰量との差が３ｄＢ以上、特に５ｄＢ以
上であることが好ましい。この差が３ｄＢを下回ると吸
収性能が低下してくる。

【００１５】尚、本明細書において単に「シールド層」
というときは、電磁波シールド層を意味する。シールド
層にはローパスシールド層およびハイパスシールド層が
共に含まれる。「ハイパスシールド層」とは、ローパス
シールド層とは逆に、高周波の電磁波は透過させるが低
周波電磁波は透過させない周波数選択性のシールド機能
を有する層をいう。

【００１６】本発明の電磁波吸収材で用いる導電性不連
続パターンは、複数の導電性ソリッド部が規則性をもっ
て集合して成る模様である。導電性ソリッド部とは、導
電性材料でベタ塗された平面形状をいう。例えば、導電
性材料で塗り潰された正方形および正六角形等は本発明
の導電性ソリッド部に含まれる。

【００１７】導電性材料としては、一般には通電能力が
ある金属を用いる。例えば、鉄、アルミニウム、銅、
金、クロム及びニッケルのような導電性金属、及びそれ
らの合金が挙げられる。経済性の観点から、特に好まし
いものはアルミニウム及び銅である。

【００１８】導電性ソリッド部の厚さは、導体としての
機能が害されない限り特に限定されないが、一般に、
０．００１〜２０μｍ、好ましくは０．１〜０．０１μ
ｍ、更に好ましくは０．０５〜０．０１μｍである。導
電性ソリッド部の厚さが０．００１μｍを下回ると製造
が困難となり、２０μｍを上回るとエッチングによる形
成が困難となる。

【００１９】このような導電性ソリッド部は一の平面上
又は互いに平行な二の平面上に規則的に配置される。導
電性ソリッド部間の距離とは、最も近い導電性ソリッド
部間の最短距離をいう。導電性ソリッド部間の距離は全
て等しいことが好ましい。

【００２０】一般には、導電性ソリッド部を一の平面上
に規則的に配置するか、又は規則的に配置された導電性
ソリッド部をそれぞれ有する二平面を重ねることによ
り、導電性不連続パターンを形成する。

【００２１】そして、導電性ソリッド部同士は互いに接
近させることが好ましい。そのことにより、低周波数電
磁波を吸収する性能が増大するからである。より好まし
くは、導電性ソリッド部同士は可及的に接近させる。

【００２２】但し、導電性ソリッド部同士は接触しては
ならない。すなわち、各導電性ソリッド部は電気的に絶
縁する必要がある。各導電性ソリッド部が電気的に導通
されるとローパスシールド層の電磁波吸収特性が失わ
れ、電磁波反射性が生じる。

【００２３】本発明の一態様では、個々の導電性ソリッ
ド部は、一の平面上に配置される。図１Ａおよび図１Ｂ
は、一の平面上に規則的に配置された複数の導電性ソリ
ッド部から成る導電性不連続パターンの例を示す上面図
である。

【００２４】この場合、導電性ソリッド部間の距離は、
一般に１ｍｍ以下、好ましくは１００μｍ以下、さらに
好ましくは２０μｍ以下とする。導電性ソリッド部間の
距離が１ｍｍを上回ると低周波電磁波の吸収が困難とな
る。

【００２５】導電性ソリッド部の形状は特に限定されな
いが、正方形および正六角形が好ましい。規則的な配置
を実現し易いからである。導電性ソリッド部の形状が正
多角形である場合は、その角を面取りしてもよい。配置
の態様によってはその方が相互の絶縁性を保ち易いから
である。

【００２６】また、導電性ソリッド部の大きさは、その
形状が正方形および正六角形の場合には、作成の容易さ
を考慮すると一辺が０．５〜１００ｍｍであることが好
ましく、それ以外の形状の場合には、上記正方形および
正六角形の面積に相当する大きさのものが好ましい。

【００２７】別の態様では、個々の導電性ソリッド部
は、互いに平行な複数の平面上にそれぞれ配置される。
図２Ａおよび図２Ｂは、互いに平行な二の平面上に規則
的に配置された複数の導電性ソリッド部から成る導電性
不連続パターンの例を示す上面図である。

【００２８】導電性ソリッド部は図１Ａおよび図１Ｂに
示すように２次元的に接近させてもよく、図２Ａおよび
図２Ｂに示すように、導電性ソリッド部が規則的に配置
された２平面を重ねることにより、３次元的に接近させ
てもよい。

【００２９】導電性ソリッド部を３次元的に接近させる
場合、第一の平面上の導電性ソリッド部と第二の平面上
の導電性ソリッド部とを一部重複させることが好まし
い。この重複する面積を調節することにより、電磁波吸
収材の吸収周波数を調節することができる。一般には、
重複する面積が大きいほど低い周波数の電磁波を吸収可
能となる傾向がある。

【００３０】導電性ソリッド部が規則的に配置された２
平面を重ねる場合、それぞれの平面に形成された導電性
ソリッド部は、同一形状でも異なる形状でもよい。図３
Ａおよび図３Ｂは、それぞれ、一の平面上に規則的に配
置された複数の導電性ソリッド部から成る導電性不連続
パターンの例を示す上面図である。これらは、それぞ
れ、異なる形状の導電性ソリッド部からなっている。

【００３１】図４は互いに平行な二の平面上に規則的に
配置された複数のそれぞれ異なる形状の導電性ソリッド
部から成る導電性不連続パターンの例を示す上面図であ
る。この導電性不連続パターンは例えば、図３Ａに示す
導電性ソリッド部の配置を第一の平面として用い、図３
Ｂに示す導電性ソリッド部の配置を第二の平面として用
いて、両者を位置決めして重ねることにより形成され
る。

【００３２】他の好ましい導電性不連続パターンとして
は、面取りされた正方形である同一寸法の複数の導電性
ソリッド部が市松模様状に配置された導電性不連続パタ
ーンを有する二の平面を、該平面と垂直な方向からみ
て、一の平面上の各導電性ソリッド部と他方の平面の各
導電性ソリッド部とが交互に配置されるように重ねて形
成したものが挙げられる。

【００３３】図５は面取りされた正方形である同一寸法
の複数の導電性ソリッド部が一の平面上に市松模様状に
配置された導電性不連続パターンの例を示す上面図であ
る。このパターン単独でも電磁波吸収材として使用する
ことが可能である。図６は、図５に示す平面を該平面と
垂直な方向からみて、一の平面上の各導電性ソリッド部
と他方の平面の各導電性ソリッド部とが交互に配置され
るように２面を重ねた状態を示す上面図である。この図
において、一の平面上の各導電性ソリッド部は他方の平
面の各導電性ソリッド部に辺を接した状態で囲まれてお
り、一の平面上の各導電性ソリッド部と他方の平面の各
導電性ソリッド部とが交互に配置されおり、そして相互
に接近している。

【００３４】この態様においても、第一の平面上の導電
性ソリッド部と第二の平面上の導電性ソリッド部とを一
部重複させることにより電磁波吸収材の吸収周波数を調
節することができる。

【００３５】なお、この態様によって、より低周波数電
磁波吸収性に優れる電磁波吸収材を得ることができる。

【００３６】第一の平面上の導電性ソリッド部と第二の
平面上の導電性ソリッド部とを一部重複させる場合は、
一の平面上の各導電性ソリッド部が他方の平面の各導電
性ソリッド部と隣接する４辺において、両者を一定幅重
複させることが好ましい。このような重複は、導電性ソ
リッド部の位置を固定したままその寸法を大きくするこ
とにより形成することができる。図７は、図６に示す導
電性不連続パターンにおいて第一の平面上の導電性ソリ
ッド部と第二の平面上の導電性ソリッド部とが一部重複
した状態を模式的に示す上面図である。

【００３７】その他の好ましい導電性不連続パターンと
しては、同一寸法の正方形である複数の導電性ソリッド
部が一定の間隔で配置された導電性不連続パターンを有
する一の平面と、該平面の正方形以下の大きさを有する
同一寸法の正方形である複数の導電性ソリッド部が該平
面の導電性ソリッド部同士の間隔以上の一定の間隔で配
置された導電性不連続パターンを有する他方の平面と
を、該平面と垂直な方向からみて、他方の平面の各導電
性ソリッド部が一の平面上の各導電性ソリッド部に完全
に含まれるように重ねて形成したものが挙げられる。

【００３８】図１４Ａおよび図１４Ｂは同一寸法の正方
形である複数の導電性ソリッド部が一定の間隔で配置さ
れた導電性不連続パターンの例を示す上面図である。図
１５は図１４Ａに示す平面と図１４Ｂに示す平面とを該
平面と垂直な方向からみて、図１４Ａに示す平面の各導
電性ソリッド部に図１４Ｂに示す平面の各導電性ソリッ
ド部が完全に含まれるように２面を重ねた状態を示す上
面図である。

【００３９】この態様においては、パターン形成の容易
さから、二の平面上に存在する正方形の大きさを異なる
ようにすることが好ましく、また二の平面上に存在する
正方形の中心を一致させるように配置することが好まし
い。また、この態様における電磁波吸収材の吸収周波数
は、大きい方の正方形を有する平面上の正方形の辺の長
さおよび間隔によって決定することができる。このと
き、他の一面、すなわち小さい方の正方形を有する平面
は、吸収能力を高める役割をしているものと考えられ
る。

【００４０】上述のような互いに平行な二の平面上に規
則的に配置された複数の導電性ソリッド部から成る導電
性不連続パターンは、具体的には、導電性ソリッド部を
規則的に設けた絶縁性フィルム（例えば、樹脂フィル
ム）を二枚重ねて形成することができる他、絶縁性フィ
ルムの両面にそれぞれ導電性ソリッド部を設けることに
より形成することができる。複数の導電性ソリッド部の
配置の容易性を考慮すると、絶縁性フィルムの両面にそ
れぞれ導電性ソリッド部を設けることが好ましい。

【００４１】この場合の利点は、導電性ソリッド部間の
距離が絶縁性フィルムの厚さとなることである。すなわ
ち、各導電性ソリッド部は絶縁性フィルムにより電気的
に絶縁され、しかも絶縁性フィルムの厚さ程度という微
小な導電性ソリッド部間距離が実現できる。

【００４２】この場合、導電性ソリッド部間の距離は、
一般に１００μｍ以下、好ましくは２５μｍ以下であ
る。尚、一般に厚さ５μｍ以下の樹脂フィルムの作製は
困難であるが、リソグラフィ法を用いて導電性不連続パ
ターンを形成する逐次積層法により、導電性ソリッド部
間が５μｍ以下の導電性不連続パターンを形成すること
ができる。

【００４３】上述の導電性不連続パターンを用いて、特
に薄型軽量で低周波数電磁波吸収性に優れる電磁波吸収
材を形成できる。好ましい一態様では、図８に示すよう
に、電磁波反射層８０１、絶縁性中間層８０２、および
上述の導電性不連続パターンを有するローパスシールド
層８０３、を順次積層することにより、電磁波吸収材が
得られる。

【００４４】本発明の電磁波反射層８０１は対象とする
電磁波を反射する能力のある層である。導電性材料の薄
膜又はこれを基材上に設けたものが一般に用いられる。
導電性材料の薄膜は基材上に箔ラミネート、蒸着、スパ
ッタリング、コーティングなどの手段で設けることがで
きる。導電性材料の薄膜の厚さは特に限定されないが、
一般に１×１０^-6〜１ｍｍ、好ましくは１×１０^-5〜２
×１０^-2ｍｍである。導電性材料としては、アルミ、
銅、クロム等の金属類、ＩＴＯ、酸化錫等の導電性金属
酸化錫が挙げられる。

【００４５】また、電磁波を反射する能力がある導電性
材料のパターン又はこれを基材上に設けたものを電磁波
反射層８０１として用いてもよい。

【００４６】その場合、導電性材料のパターンは電磁波
を反射する必要があるので、任意の２点において導通
し、最大隙間幅が対象とする電磁波の波長の１／１０を
下回ることを要する。好ましい導電性材料のパターン
は、図９に示すような導電性材料の格子又はメッシュで
ある。

【００４７】本発明で得られる電磁波吸収材が吸収する
電磁波の波長を考慮すれば、格子の線間距離は１００〜
２０００μｍ、好ましくは１００〜１０００μｍ、更に
好ましくは１００〜５００μｍである。また、格子を構
成する線幅は特に限定されないが、一般に４〜５００μ
ｍ、好ましくは３０〜３００μｍである。

【００４８】この導電性材料のパターンは、後述の、ロ
ーパスシールド層８０３上に導電性不連続パターンを形
成する方法と同様にして絶縁性基材の上に形成すること
ができる。

【００４９】本発明の絶縁性中間層８０２は絶縁性材料
である。プラスチックシート、その発泡製品、無機また
は有機の多孔質材料等が一般に用いられる。電子機器の
プラスチック製外壁、一般建材に用いられるボード類を
利用してもよい。

【００５０】絶縁性中間層の厚さは、得られる電磁波吸
収材が吸収する電磁波の波長、導電性ソリッド部の外周
長さ及び直径等を考慮して設計する。一般には、０．１
〜１０ｍｍ、好ましくは０．１〜４ｍｍである。絶縁性
中間層の厚さが０．１ｍｍを下回ると低周波の電磁波吸
収性が低下する可能性があり、１０ｍｍを上回ると得ら
れる電磁波吸収材が嵩高となり、その取扱いが困難とな
る。

【００５１】本発明の一態様では、ローパスシールド層
８０３は一の平面上に規則的に配置された複数の導電性
ソリッド部とそれを支持する材料とから構成される。こ
の材料としては一般に樹脂フィルムのような絶縁性フィ
ルムを用いる。導電性不連続パターンは種々の方法によ
り樹脂フィルム上に形成できる。例えば、導電性インキ
を用いて導電性ソリッド部を印刷する方法、樹脂フィル
ム上に積層された金属膜を選択的に除去して導電性ソリ
ッド部を残す方法等が挙げられる。

【００５２】好ましい方法は、まず、樹脂フィルム上に
導電性金属薄膜層を全面に形成し、この金属薄膜を適当
な方法（例えば、リソグラフィ法等）でパターンを形成
する方法である。

【００５３】導電性金属薄膜層を樹脂フィルム上に形成
する方法は従来公知の方法でよい。例えば導電性金属箔
のラミネート方法や、金属薄膜の蒸着スパッタリングま
たは無電界メッキ方法等が一般的である。好ましくは金
属薄膜の蒸着（具体的には、真空蒸着）またはスパッタ
リング方法である。使用し得る金属はアルミニウム、
銅、ステンレス、クロム、ニッケルなどが挙げられる
が、これらに限定されない。

【００５４】金属薄膜層を有する樹脂フィルムは種々市
販されており、これらを用いてもよい。例えば、アルミ
ニウムを真空蒸着したポリエチレンテレフタレートフィ
ルム（アルミ蒸着フィルム）が食品包装材として、安価
かつ大量に市販されており、これを用いることが経済的
な面から最も好ましい。

【００５５】金属薄膜をパターン化する方法は公知の方
法を用いることができる。好適にはリソグラフィ法が挙
げられる。

【００５６】一般にリソグラフィ法は、エッチングレジ
ストを、グラビア印刷、平版印刷及びスクリーン印刷の
ような公知の印刷法で金属薄膜上に印刷し、その後、エ
ッチング液で非印刷部の金属を溶出してパターンを形成
する方法である。但し、導電性ソリッド部の外周部間の
距離が１００μｍ以下となるような微細な金属パターン
を形成する場合は、写真印刷法によるフォトリソグラフ
ィ法を用いることが好ましい。

【００５７】尚、ローパスシールド層８０３は、絶縁性
中間層８０２の表面上に導電性不連続パターンを直接設
けることにより省略することができる。例えば、導電性
材料を絶縁性中間層８０２の表面上に熱転写法等により
ソリッドパターン状に転写することができる。

【００５８】他の態様では、ローパスシールド層８０３
は、互いに平行な複数の平面上に規則的に配置された複
数の導電性ソリッド部と、それらを支持する材料から構
成される。導電性ソリッド部を支持する材料としては、
一般に樹脂フィルム及び樹脂組成物のような絶縁性材料
を用いる。

【００５９】上述の方法により、片面上に導電性不連続
パターンを形成した樹脂フィルムを位置を定めて２枚ラ
ミネートすることにより導電性不連続パターンを有する
ローパスシールド層８０３を作製できる。また、例え
ば、両面に導電膜を形成した絶縁性フィルム上に両面に
レジストインキで位置を決めて印刷し、リソグラフィー
法で導電性不連続パターンを形成し、ローパスシールド
層８０３としてもよい。こうすれば層間距離はフィルム
厚となり極めて均一な層間距離が実現できる。

【００６０】電磁波反射層８０１、絶縁性中間層８０
２、およびローパスシールド層８０３、を積層する方法
は当業者に周知である。例えば、絶縁性中間層８０２を
基材として用いて、電磁波反射層８０１をメッキ又は蒸
着させてよい。また、電磁波反射層８０１を別途作製
し、接着等の手段で絶縁性中間層８０２に適用してもよ
い。

【００６１】本発明の電磁波吸収材が吸収する周波数
は、ローパスシールド層の導電性ソリッド部の大きさ、
導電性ソリッド部間の距離、導電性ソリッド部の重複面
積および絶縁性中間材厚さで調整することができる。上
記のそれぞれの値を大きくすることで吸収する周波数を
低周波数側に移動するが、高い吸収能力を同時に得るた
めには、上記のそれぞれの値を特定化することが必要と
なる。この特定化は電磁波吸収材を実際に試作すること
により決定することができる。

【００６２】本発明の大きな意義は、フェライト系材料
に比べ大幅に薄型軽量化した電磁波吸収材ができること
にある。さらにシールドガラス、金属反射板、金属蒸着
シールド材、金属メッキシールド材等の既存電波波シー
ルド材上に本発明の電磁波吸収材を適用することで、容
易に電磁波吸収シールド構造体に変えることができる。
例えば本発明による適性厚みのプラスチック発泡シート
の両面に粘着剤を施し片面に本発明の導電性パターンフ
ィルムを貼り付けた粘着テープは電磁波吸収粘着シート
として電子機器金属性筐体内面、建物のシールド材表面
等に貼るだけで極めて簡単に電磁波吸収を実現できる。

【００６３】

【実施例】以下実施例により本発明を具体的に説明す
る。本発明はこれら実施例に限定されるものと解しては
ならない。

【００６４】実施例１メイワパックス製両面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム
（蒸着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚３８μｍ）上に日本ペイ
ント社製ポジ型液状レジストＰ−６００を乾燥膜厚２μ
ｍになるように両面に塗布した後熱風オーブンで乾燥せ
しめた。この片面に図５に示す導電性不連続パターンに
対応するパターンマスクを重ね１００ｍＪ／ｃｍ²両面
露光した後１％苛性ソーダ水で現像し、同時に露出した
アルミ蒸着膜部分をエッチングし、片面に図５に示す導
電性不連続パターンを有するローパスシールド層を得
た。

【００６５】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、５枚のＰＥＴ
フィルム（厚さ１００μｍ）、および得られたローパス
シールド層を積層することにより電磁波吸収材を得た。

【００６６】以下の方法により、得られた電磁波吸収材
の吸収強度を評価した。結果を表１に示す。

【００６７】電磁波が試料に対してＴＭ３０°で入射す
るように送信側ガイドホーンアンテナを設置した。受信
側は、光学反射の方向に同一のガイドホーンアンテナを
設置した。ネットワークアナライザー（ヒューレッド・
パッカード社製「８５１０Ｂ」）をアンテナに接続し、
フリースペースタイムドメイン法により、試料に反射し
て電送された電磁波のみを抽出してＳパラメータ（Ｓ２
１）を測定した。

【００６８】実施例２異なるパターンマスクを使用すること以外は実施例１と
同様の方法で片面に図１Ａに示す導電性不連続パターン
を有するローパスシールド層を得た。

【００６９】シールド性能の測定方法対向させて設置した１対のガイドホーンアンテナにネッ
トワークアナライザー（ヒューレッド・パッカード社製
「８５１０Ｂ」）を接続し、フリースペースタイムドメ
イン法により、アンテナ間の直接伝送波のＳパラメータ
（Ｓ２１）を測定した。これを透過減衰量０ｄＢとし
た。次に試料をアンテナ間に設置し、同様にしてＳ２１
を測定した。得られた透過減衰量をシールド性能とし
た。

【００７０】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、６枚のＰＥＴ
フィルム（１枚の厚さ１００μｍ）、および得られたロ
ーパスシールド層を積層することにより電磁波吸収材を
得た。実施例１と同様にして、得られた電磁波吸収材の
吸収強度を評価した。結果を表１に示す。

【００７１】実施例３異なるパターンマスクを使用すること以外は実施例１と
同様の方法で片面に図１Ｂに示す導電性不連続パターン
を有するローパスシールド層を得た。実施例２と同様に
して得られたローパスシールド層のシールド特性を評価
した。結果を図１０に示す。

【００７２】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、２枚のＰＥＴ
フィルム（１枚の厚さ１００μｍ）、および得られたロ
ーパスシールド層を積層することにより電磁波吸収材を
得た。実施例１と同様にして、得られた電磁波吸収材の
吸収強度を評価した。結果を表１に示す。

【００７３】実施例４図５に示す導電性不連続パターンに対応するパターンマ
スクを２枚用いて、フィルムと垂直方向からみて、一の
平面上の各ソリッド部と他方の平面の各導電性ソリッド
部とが交互に配置されるように両面に重ねたこと以外は
実施例１と同様にして、図６に示す導電性不連続パター
ンを有するローパスシールド層を得た。

【００７４】実施例２と同様にして得られたローパスシ
ールド層のシールド特性を評価した。結果を図１０に示
す。

【００７５】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、ポリエチレン
発泡シート（厚さ１．８ｍｍ）、および得られたローパ
スシールド層を積層することにより電磁波吸収材を得
た。実施例１と同様にして、得られた電磁波吸収材の吸
収強度を評価した。結果を表１に示す。

【００７６】実施例５図３Ａおよび図３Ｂに示す導電性不連続パターンに対応
する２枚のパターンマスクを用いて、フィルムと垂直方
向からみて、一の平面上の各ソリッド部と他方の平面の
各導電性ソリッド部とが交互に配置されるように両面に
重ねたこと以外は実施例１と同様にして、図２Ｂに示す
導電性不連続パターンを有するローパスシールド層を得
た。

【００７７】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、ポリエチレン
発泡シート（厚さ２．６ｍｍ）、および得られたローパ
スシールド層を積層することにより電磁波吸収材を得
た。実施例１と同様にして、得られた電磁波吸収材の吸
収強度を評価した。結果を表１に示す。

【００７８】実施例６図１Ｂに示す導電性不連続パターンに対応するパターン
マスクを２枚用いて、フィルムと垂直方向からみて、一
の平面上の各ソリッド部と他方の平面の各導電性ソリッ
ド部とが交互に配置されるように両面に重ねたこと以外
は実施例１と同様にして、図４に示す導電性不連続パタ
ーンを有するローパスシールド層を得た。

【００７９】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、ポリエチレン
発泡シート（厚さ２．０ｍｍ）、および得られたローパ
スシールド層を積層することにより電磁波吸収材を得
た。実施例１と同様にして、得られた電磁波吸収材の吸
収強度を評価した。結果を表１に示す。

【００８０】実施例７図１４Ａおよび図１４Ｂに示す導電性不連続パターンに
対応するパターンマスクを用いて、フィルムと垂直方向
からみて、図１４Ａに示す平面の各導電性ソリッド部に
図１４Ｂに示す平面の各導電性ソリッド部が完全に含ま
れるように両面に重ねたこと以外は実施例１と同様にし
て、図２Ｂに示す導電性不連続パターンを有するローパ
スシールド層を得た。

【００８１】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、不織布シート
（厚さ０．３ｍｍ）、および得られたローパスシールド
層を積層することにより電磁波吸収材を得た。実施例１
と同様にして、得られた電磁波吸収材の吸収強度を評価
した。結果を表１に示す。

【００８２】比較例１異なるパターンマスクを用いること以外は実施例１と同
様にして、片面に図１１に示す導電性連続パターン（市
松模様状）を有するシールド層を得た。

【００８３】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、ＰＥＴフィル
ム（厚さ１００μｍ）、および得られたシールド層を積
層することにより電磁波吸収材を得た。実施例１と同様
にして、得られた電磁波吸収材の吸収強度を評価した。
結果を表１に示す。

【００８４】比較例２異なるパターンマスクを用いること以外は実施例１と同
様にして、片面に図１２に示す導電性連続パターン（メ
ッシュ状）を有するシールド層を得た。実施例２と同様
にして得られたシールド層のシールド特性を評価した。
結果を図１０に示す。

【００８５】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、ＰＥＴフィル
ム（厚さ１００μｍ）、および得られたローパスシール
ド層を積層することにより電磁波吸収材を得た。実施例
１と同様にして、得られた電磁波吸収材の吸収強度を評
価した。結果を表１に示す。

【００８６】比較例３異なるパターンマスクを用いること以外は実施例１と同
様にして、片面に図１３に示す導電性ソリッド部が相互
に接近していない導電性不連続パターンを有するシール
ド層を得た。実施例２と同様にして得られたシールド層
のシールド特性を評価した。結果を図１０に示す。

【００８７】片面アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸
着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μｍ）、ＰＥＴフィル
ム（厚さ１００μｍ）、および得られたローパスシール
ド層を積層することにより電磁波吸収材を得た。実施例
１と同様にして、得られた電磁波吸収材の吸収強度を評
価した。結果を表１に示す。

【００８８】比較例４市販のフェライト系電磁波吸収材（富士電気化学社製ゴ
ムフェライト系電磁波吸収材「ＪＢ２」）を用いた。実
施例１と同様にして、この電磁波吸収材の吸収強度を評
価した。結果を表１に示す。

【００８９】比較例５市販のフェライト系電磁波吸収材（ＴＤＫ社製複合フェ
ライト系薄型電磁波吸収材「ＩＲ−Ｊ０９５」）を用い
た。実施例１と同様にして、この電磁波吸収材の吸収強
度を評価した。結果を表１に示す。

【００９０】

【表１】

【００９１】

【発明の効果】本発明のローパスシールド層を用いた電
磁波吸収材では、従来のフェライト系材料に比べ大幅な
薄型軽量化が可能である。例えば、本発明の実施例３と
従来の９．５ＧＨｚレーダー偽像防止用フェライト系吸
収材を用いた比較例４とを比較すれば、１／６の薄型化
と１／１１の軽量化とが実現されていることが認められ
る。

【００９２】また、中間材に発泡シートを用いることに
より、さらに大幅な軽量化が可能となる。例えば、本発
明の実施例２と２．５ＧＨｚ無線ＬＡＮ用フェライト系
吸収材の比較例４とを比較すると、１／３．４の薄型化
と同時に、１／１００もの大幅な軽量化が実現できてい
ることがわかる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一の平面上に規則的に配置された複数の導電
性ソリッド部から成る導電性不連続パターンの例を示す
上面図である。

【図２】互いに平行な二の平面上に規則的に配置され
た複数の導電性ソリッド部から成る導電性不連続パター
ンの例を示す上面図である。

【図３】一の平面上に規則的に配置された複数の導電
性ソリッド部から成る導電性不連続パターンの例を示す
上面図である。

【図４】互いに平行な二の平面上に規則的に配置され
た複数のそれぞれ異なる形状の導電性ソリッド部から成
る導電性不連続パターンの例を示す上面図である。

【図５】面取りされた正方形である同一寸法の複数の
導電性ソリッド部が一の平面上に市松模様状に配置され
た導電性不連続パターンの例を示す上面図である。

【図６】図５に示す平面を、該平面と垂直な方向から
みて、一の平面上の各導電性ソリッド部と他方の平面の
各導電性ソリッド部とが交互に配置されるように２枚重
ねた状態を示す上面図である。

【図７】図６に示す導電性不連続パターンにおいて第
一の平面上の導電性ソリッド部と第二の平面上の導電性
ソリッド部とが一部重複した状態を模式的に示す上面図
である。

【図８】本発明の電磁波吸収材の一例を示す断面図で
ある。

【図９】本発明で電磁波反射層として用いうる導電性
材料のパターンの一例を示す上面図である。

【図１０】導電性パターンを有するシールド層のシー
ルド特性を示すグラフ図である。

【図１１】従来のシールド層の導電性パターンの一例
を示す上面図である。

【図１２】従来のシールド層の導電性パターンの一例
を示す上面図である。

【図１３】従来のシールド層の導電性パターンの一例
を示す上面図である。

【図１４】一の平面に規則的に配置された複数の導電
性ソリッド部から成る導電性不連続パターンの例を示す
上面図である。

【図１５】図１４Ａに示す平面と図１４Ｂに示す平面
とを該平面と垂直な方向からみて、図１４Ａに示す平面
の各導電性ソリッド部に図１４Ｂに示す平面の各導電性
ソリッド部が完全に含まれるように２面を重ねた状態を
示す上面図である。

【符号の説明】

８０１…電磁波反射層、８０２…絶縁性中間層、８０３…ローパスシールド層。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、およびローパスシールド層、を有する電磁波吸収
材。
【請求項２】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、および導電性不連続パターンを有するローパスシ
ールド層、を有する電磁波吸収材において；該導電性不
連続パターンが一の平面上又は互いに平行な二の平面上
に規則的に配置された複数の導電性ソリッド部から成
り；各導電性ソリッド部が絶縁しかつ導電性ソリッド部
同士が可及的に接近している、電磁波吸収材。
【請求項３】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、および導電性不連続パターンを有するローパスシ
ールド層、を有する電磁波吸収材において；該導電性不
連続パターンが一の平面上に規則的に配置された複数の
導電性ソリッド部から成り；各導電性ソリッド部が絶縁
しかつ導電性ソリッド部同士が可及的に接近している、
電磁波吸収材。
【請求項４】前記複数の導電性ソリッド部間の距離が
１ｍｍ以下である請求項３記載の電磁波吸収材。
【請求項５】前記複数の導電性ソリッド部が同一寸法
同一形状である請求項３記載の電磁波吸収材。
【請求項６】前記複数の導電性ソリッド部が正方形で
ある請求項５記載の電磁波吸収材。
【請求項７】前記複数の導電性ソリッド部が正六角形
である請求項５記載の電磁波吸収材。
【請求項８】前記導電性不連続パターンが、面取りさ
れた正方形である同一寸法の複数の導電性ソリッド部が
市松模様上に配置された導電性不連続パターンである、
請求項３記載の電磁波吸収材。
【請求項９】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、および導電性不連続パターンを有するローパスシ
ールド層、を有する電磁波吸収材において；該導電性不
連続パターンが互いに平行な二の平面上に規則的に配置
された複数の導電性ソリッド部から成り；各導電性ソリ
ッド部が絶縁しかつ導電性ソリッド部同士が可及的に接
近しており；該平面と垂直な方向からみて、一の平面上
の各導電性ソリッド部が他方の平面の各導電性ソリッド
部と一部重複した状態で配置されている電磁波吸収材。
【請求項１０】前記複数の導電性ソリッド部間の距離
が０.１ｍｍ以下である請求項９記載の電磁波吸収材。
【請求項１１】前記複数の導電性ソリッド部が同一寸
法同一形状である請求項９記載の電磁波吸収材。
【請求項１２】前記複数の導電性ソリッド部が正方形
である請求項１１記載の電磁波吸収材。
【請求項１３】前記複数の導電性ソリッド部が正六角
形である請求項１１記載の電磁波吸収材。
【請求項１４】前記導電性不連続パターンが、面取り
された正方形である同一寸法の複数の導電性ソリッド部
が市松模様状に配置された導電性不連続パターンを有す
る二の平面を、該平面と垂直な方向からみて、一の平面
上の各導電性ソリッド部と他方の平面の各導電性ソリッ
ド部とが交互に配置されるように重ねて形成されるもの
であり、一の平面上の各導電性ソリッド部が他方の平面
の各導電性ソリッド部と隣接する４辺において、両者が
一定幅重複している請求項９記載の電磁波吸収材。
【請求項１５】前記導電性不連続パターンが、同一寸
法の正方形である複数の導電性ソリッド部が一定の間隔
で配置された導電性不連続パターンを有する一の平面
と、該平面の正方形以下の大きさを有する同一寸法の正
方形である複数の導電性ソリッド部が該平面の導電性ソ
リッド部同士の間隔以上の一定の間隔で配置された導電
性不連続パターンを有する他方の平面とを、該平面と垂
直な方向からみて、他方の平面の各導電性ソリッド部が
一の平面上の各導電性ソリッド部に完全に含まれるよう
に重ねて形成される請求項９記載の電磁波吸収材。