JPH10224075A

JPH10224075A - 電磁波吸収材

Info

Publication number: JPH10224075A
Application number: JP9022666A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Matsuo; 誠一松尾; Hideki Komori; 秀樹古森
Original assignee: Nippon Paint Co Ltd
Current assignee: Nippon Paint Co Ltd
Priority date: 1997-02-05
Filing date: 1997-02-05
Publication date: 1998-08-21

Abstract

(57)【要約】【課題】特に薄型軽量で低周波数電磁波吸収性に優れ
る電磁波吸収材を提供すること。【解決手段】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、および導電性ループパターンを有する導電性パタ
ーン層を有する電磁波吸収材において；該導電性ループ
パターンが空間的に配置された複数の導電性ループ部か
ら成り；該導電性ループ部が該電磁波吸収材が吸収する
電磁波の波長の５０％を下回る外周長さを有し、各導電
性ループ部が絶縁しかつ隣接する導電性ループ部の外周
部同士が可及的に接近している、電磁波吸収材。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ループパタ
ーンを有する電磁波吸収材に関し、特に、薄型で軽量
な、低周波数電磁波吸収性の電磁波吸収材に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、携帯電話、無線ＬＡＮなどの通信
システムの発達により、オフィス情報保護、および通信
混線を防止する必要が生じている。そのため、建物およ
びその一部を電磁波シールド材で囲み、内外の電波を遮
断することが通常行われている。

【０００３】しかし、金属材料のような、一般に用いら
れる電磁波反射材は電磁波を１００％反射するため、電
磁波が室内に蓄積され、通信混線や電子機器の誤動作を
引き起こす恐れがある。また、建物に貼られた電磁波反
射材により電磁波が反射されると、その近隣でＴＶゴー
スト等が発生する。

【０００４】上記のような問題を解決するためには、電
磁波を反射する電磁波反射材の代わりに、電磁波を吸収
してその反射を抑える電磁波吸収材を使用すればよいこ
とが知られている。一般には、フェライトを含む電波吸
収材が用いられている。

【０００５】しかし、電磁波の中でも携帯電話、無線Ｌ
ＡＮに使用される通信波やＴＶ波は周波数が低く波長が
数センチから数メートルと長いため、一般に薄い電波吸
収材で効率良く吸収することが困難である。フェライト
系電波吸収材を用いる場合は、厚さ６〜８mmのフェライ
ト焼結体で足りるが、その重さは４０kg／m²以上にもな
る。これに耐える強度で、建物、特に高層建物を建築す
るには膨大なコストがかかる。

【０００６】電磁波吸収性能が悪く、重い、という従来
の電磁波吸収材料の問題を解決するため、本発明者ら
は、薄型で軽量の電磁波吸収材を発明し、特願平７−３
０７２４８号において提案した。この電磁波吸収材は、
（１）電磁波反射層、（２）絶縁性中間層、および
（３）導電性パターンを有する導電性パターン層、が順
次積層された積層体である。

【０００７】この電磁波吸収材では、電磁波反射層は一
般に金属薄膜であり、絶縁性中間層は厚さ０．１〜１０
ｍｍの空気や発泡樹脂であり、導電性パターン層はリソ
グラフィ法により導電性線分パターンを形成した金属蒸
着フィルムである。従って、この電磁波吸収材はフェラ
イト系吸収材と比較して非常に軽量である。

【０００８】この電磁波吸収材の導電性線分パターン
は、互いに電気的に絶縁された複数の導電性線分模様か
ら構成される。吸収する電磁波の波長は、個々の導電性
線分模様の大きさ、特にその線分の長さを調節すること
により調節される。つまり、長い線分を有する大サイズ
の模様は低周波領域（長波長領域）、短い線分を有する
少サイズの模様は高周波領域（短波長領域）の電磁波を
中心に吸収する。そして、この電磁波吸収材は周波数６
０〜０．１ＧＨｚ（波長０．５〜３００ｃｍ）の電磁波
を吸収する能力を有する。

【０００９】しかし、この電磁波吸収材の導電性線分パ
ターンでは、中間材の厚さが波長の１／４以上必要であ
ることが判明した。従って、その薄型で軽量であるとい
う特徴を損なわずに、特にＴＶ波のような周波数０．０
８〜０．８ＧＨｚ（波長４００〜４０ｃｍ）の低周波数
電磁波を吸収するには、薄い中間材でも長波長の電磁波
を吸収できるよう導電性パターンを改良することが望ま
れていた。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題を解決するものであり、その目的とするところは、特
に薄型軽量で低周波数電磁波吸収性に優れる電磁波吸収
材を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、順次積層され
た電磁波反射層、絶縁性中間層、および導電性ループパ
ターンを有する導電性パターン層を有する電磁波吸収材
において；該導電性ループパターンが空間的に配置され
た複数の導電性ループ部から成り；該導電性ループ部が
該電磁波吸収材が吸収する電磁波の波長の５０％を下回
る外周長さを有し、各導電性ループ部が絶縁しかつ隣接
する導電性ループ部の外周部同士が可及的に接近してい
る、電磁波吸収材を提供するものであり、そのことによ
り上記目的が達成される。

【００１２】本発明の電磁波吸収材で用いる導電性ルー
プパターンは、複数の導電性ループ部が規則性をもって
集合して成る模様である。ループとは、一般には、始点
と終点とが同一である閉じた曲線をいう。しかしなが
ら、本発明で用いるループは、始点と終点とが同一で閉
じられた線の任意の形状であり、曲線で構成されていて
も折れた直線で構成されていても良い。例えば、線で構
成された円形、および正６角形及び正８角形のような多
角形は本発明でいうループである。

【００１３】導電性ループとは、線の部分が導電性材料
で構成されたループをいう。導電性ループ部とは、導電
性材料の線の部分とこれに囲まれた内部との両方を含め
たループ全体をいう。導電性ループ部の外周部とは、導
電性ループ部のうち導電性材料の線の部分をいう。

【００１４】導電性材料としては、一般には通電能力が
ある金属を用いる。例えば、鉄、アルミニウム、銅、
金、クロム及びニッケルのような導電性金属、及びそれ
らの合金が挙げられる。経済性の観点から、特に好まし
いものはアルミニウム及び銅である。

【００１５】導電性ループ部の外周長さは、吸収しよう
とする電磁波の波長に依存して決定される。一般には吸
収しようとする電磁波の波長の５０％以下、好ましくは
３０〜０．１％、さらに好ましくは１０〜０．１％とす
る。本発明者らの検討によれば、導電性ループ部の外周
長さと電磁波吸収能力を最大にする中間材厚とは正の相
関関係にある。導電性ループ部の外周長さが波長の５０
％を上回ると必要となる中間材厚も波長の２５％以上と
なり、特にＴＶ波のような長波長の電磁波を吸収する場
合、薄型で軽量であるという本発明の電磁波吸収材料の
特徴が失われる。

【００１６】ＴＶ波のような周波数０.０８〜０.８ＧＨ
ｚ（波長４０〜４００ｃｍ）の低周波数電磁波を吸収す
る場合は導電性ループ部の外周長さを、一般に２×１０
³ｍｍ以下、好ましくは１.２×１０³〜０．３５ｍｍ、
さらに好ましくは４.０×１０²〜０.３５ｍｍとする。

【００１７】導電性ループ部の外周部の幅は、吸収しよ
うとする周波数の波長と必要とする吸収能力により決定
される。一般には、１×１０³〜０.０５ｍｍ、好ましく
は１×１０²〜０.１ｍｍ、さらに好ましくは１×１０〜
０.３ｍｍである。導電性ループ部の外周部の幅が０.０
５ｍｍを下回るか、又は１×１０³ｍｍを上回ると通信
波やＴＶ波のような電磁波の吸収能力が低下する。

【００１８】導電性ループ部の厚さは、導体としての機
能が害されない限り特に限定されないが、一般に、０．
００１〜２０μm、好ましくは０.１〜０.０１μm、更に
好ましくは０.０５〜０.０１μmである。導電性ループ
部の厚さが０．００１μｍを下回ると製造が困難とな
り、２０μｍを上回るとエッチングによるループ形成が
困難となる。

【００１９】このような導電性ループ部は空間的に配置
される。本明細書において「空間的」という用語は、平
面的及び立体的を両方含む意である。例えば、２次元平
面における不規則的又は規則的な配置、及び３次元空間
における不規則的又は規則的な配置は共に空間的な配置
である。好ましくは、導電性ループ部は一の平面上又は
互いに平行な複数の平面上に規則的に配置される。規則
的な配置は、上記平面と垂直な方向からみた場合に実現
されていれば足りる。つまり、導電性ループ部を複数の
平面上に形成する場合、個々の平面上の配置にまで厳密
な規則性は要求されず、それを複数枚重ねて平面と垂直
な方向からみた場合に規則性のあるパターンが実現され
ていればよいのである。

【００２０】そして、平面と垂直な方向から見て隣接す
る導電性ループ部同士は互いに接近させることを要す
る。そのことにより、低周波数電磁波を吸収する性能が
増大するからである。より具体的には、隣接する導電性
ループ部の外周部同士が可及的に接近していることを要
する。

【００２１】但し、導電性ループ部の外周部同士は接触
してはならない。すなわち、各導電性ループ部は電気的
に絶縁する必要がある。各導電性ループ部が電気的に導
通されると導電性ループパターンの電磁波吸収特性が失
われ、電磁波反射性が生じる。

【００２２】導電性ループ部の外周部は図１Ａ、外周部
間距離ｄ、に示すように２次元的に接近させてもよく、
図１Ｂ、外周部間距離ｄ、に示すように３次元的に接近
させてもよい。ただし、導電性ループ部の外周部を３次
元的に接近させる場合に、平面と垂直な方向から見て導
電性ループ部の外周部同士を完全に重複させることは好
ましくない。

【００２３】配置の様式は特に限定されない。例えば、
図２Ａ及びＢに示すような配置が挙げられ、格子状や最
密充填状に個々の導電性ループ部を配置させうる。導電
性ループ部の数を増やせば導電性ループパターンの電磁
波吸収能が高まる。また、導電性ループ部の外周部の可
及的に近接した部分が多いほど電磁波吸収能が高まる。
従って、好ましい配置の態様は最密充填状でる。更に好
ましい導電性ループパターンは、正６角形の導電性ルー
プ部を最密充填状に配置したものである。

【００２４】本発明の一態様では、個々の導電性ループ
部は、一の平面上に配置される。この場合、導電性ルー
プ部の外周部間距離は、一般に１ｍｍ以下、好ましくは
１００μm以下、さらに好ましくは２０μm以下とする。
導電性ループ間距離が１ｍｍを上回ると低周波電磁波の
吸収が困難となる。

【００２５】別の態様では、個々のループ部は、互いに
平行な複数の平面上にそれぞれ配置される。具体的に
は、例えば、導電性ループ部を設けた絶縁性フィルム
（例えば、樹脂フィルム）を複数枚重ねて、上記平面と
垂直な方向からみた場合に規則的に配置された複数の導
電性ループ部から成るパターンを形成することができ
る。

【００２６】この場合の利点は、導電性ループ部の外周
部間距離がフィルムの厚さとなることである。すなわ
ち、各導電性ループ部は樹脂フィルムにより電気的に絶
縁され、しかもフィルムの厚さ程度という微小な導電性
ループ部の外周部間距離が実現できる。

【００２７】この場合、導電性ループ部の外周部間距離
は、一般に１００μｍ以下、好ましくは２５μｍ以下で
ある。尚、一般に厚さ５μｍ以下の樹脂フィルムの作製
は困難であるが、リソグラフィ法を用いて導電性ループ
パターンを形成する逐次積層法により、導電性ループ部
の外周部間に５μｍ以下の樹脂層を形成することができ
る。

【００２８】上述の導電性ループパターンを用いて、特
に薄型軽量で低周波数電磁波吸収性に優れる電磁波吸収
材を形成できる。好ましい一態様では、図３に示すよう
に、電磁波反射層３０１、絶縁性中間層３０２、および
上述の導電性ループパターンを有する導電性パターン層
３０３、を順次積層することにより、電磁波吸収材が得
られる。

【００２９】本発明の電磁波反射層３０１は対象とする
電磁波を反射する能力のある層である。導電性材料の薄
膜又はこれを基材上に設けたものが一般に用いられる。
導電性材料の薄膜は基材上に箔ラミネート、蒸着、スパ
ッタリング、コーティングなどの手段で設けることがで
きる。導電性材料の薄膜の厚さは特に限定されないが、
一般に１×１０^-6〜１ｍｍ、好ましくは１×１０^-5〜２
×１０^-2ｍｍである。導電性材料としては、アルミ、
銅、クロム等の金属類、ＩＴＯ、酸化錫等の導電性金属
酸化錫が挙げられる。

【００３０】また、電磁波を反射する能力がある導電性
材料のパターン又はこれを基材上に設けたものを電磁波
反射層３０１として用いてもよい。基材を透明とするこ
とにより、透視性を有する電磁波吸収材が得られるから
である。

【００３１】その場合、導電性材料のパターンは電磁波
を反射する必要があるので、任意の２点において導通
し、最大隙間幅が対象とする電磁波の波長の１／１０を
下回ることを要する。好ましい導電性材料のパターン
は、図８に示すような導電性材料の格子又はメッシュで
ある。

【００３２】本発明で得られる電磁波吸収材が吸収する
電磁波の波長を考慮すれば、格子の線間距離は１００〜
２０００μm、好ましくは１００〜１０００μm、更に好
ましくは１００〜５００μmである。また、格子を構成
する線幅は特に限定されないが、一般に４〜５００μ
m、好ましくは３０〜３００μmである。

【００３３】この導電性材料のパターンは、後述の、導
電性パターン層３０３上に導電性ループパターンを形成
する方法と同様にして絶縁性基材の上に形成することが
できる。

【００３４】本発明の絶縁性中間層３０２は絶縁性材料
である。空気、プラスチックシート、その発泡製品、無
機または有機の多孔質材料等が一般に用いられる。電子
機器のプラスチック製外壁、一般建材に用いられるボー
ド類を利用してもよい。

【００３５】絶縁性中間層の厚さは、得られる電磁波吸
収材が吸収する電磁波の波長、導電性ループ部の外周長
さ及び直径等を考慮して設計する。一般には、０．１〜
１０ｍｍ、好ましくは０．１〜４ｍｍである。絶縁性中
間層の厚さが０．１ｍｍを下回ると低周波の電磁波吸収
性が低下する可能性があり、１０ｍｍを上回ると得られ
る電磁波吸収材が嵩高となり、その取扱いが困難とな
る。

【００３６】常識的なループアンテナ理論から言えば、
導電性ループに電磁波吸収性を持たせるためには、その
外周長さを吸収する電磁波の波長の１／２とすることが
好ましい。他方、本発明者らの経験則では、電磁波反射
層、絶縁性中間層および導電性パターン層を有する電磁
波吸収材の導電性パターン層として導電性ループを用い
る場合、電磁波吸収材の電磁波吸収性を高めるために
は、ループの直径と絶縁性中間層の厚さとをほぼ同等と
することが好ましい。

【００３７】従って、この関係から、ＴＶ波のような波
長数メートルの低周波電磁波を効率良く吸収するために
は、外周長さ数メートルの導電性ループを用い、厚さ数
十センチメートル以上の絶縁性中間層が必要となる。

【００３８】ところが、本発明の導電性ループパターン
では、導電性ループの外周長さが吸収する電磁波の波長
の５０％未満であるため、絶縁性中間層もその直径と同
等の厚さで足りる。すなわち、本発明では、ＴＶ波のよ
うな波長数メートルの低周波電磁波を直径数ミリ程度の
導電性ループで吸収できるため、絶縁性中間層もこれに
対応して数ミリ程度と非常に薄くすることができる。

【００３９】本発明の一態様では、導電性パターン層３
０３は一の平面上に規則的に配置された複数の導電性ル
ープ部とそれを支持する材料とから構成される。この材
料としては一般に樹脂フィルムのような絶縁性フィルム
を用いる。導電性ループパターンは種々の方法により樹
脂フィルム上に形成できる。例えば、導電性インキを用
いて導電性ループを印刷する方法、樹脂フィルム上に積
層された金属膜を選択的に除去して導電性ループを残す
方法等が挙げられる。

【００４０】好ましい方法は、まず、樹脂フィルム上に
導電性金属薄膜層を全面に形成し、この金属薄膜を適当
な方法（例えば、リソグラフィ法等）でパターンを形成
する方法である。

【００４１】導電性金属薄膜層を樹脂フィルム上に形成
する方法は従来公知の方法でよい。例えば導電性金属箔
のラミネート方法や、金属薄膜の蒸着スパッタリングま
たは無電界メッキ方法等が一般的である。好ましくは金
属薄膜の蒸着（具体的には、真空蒸着）またはスパッタ
リング方法である。使用し得る金属はアルミニウム、
銅、ステンレス、クロム、ニッケルなどが挙げられる
が、これらに限定されない。

【００４２】金属薄膜層を有する樹脂フィルムは種々市
販されており、これらを用いてもよい。例えば、アルミ
ニウムを真空蒸着したポリエチレンテレフタレートフィ
ルム（アルミ蒸着フィルム）が食品包装材として、安価
かつ大量に市販されており、これを用いることが経済的
な面から最も好ましい。

【００４３】金属薄膜をパターン化する方法は公知の方
法を用いることができる。好適にはリソグラフィ法が挙
げられる。

【００４４】一般にリソグラフィ法は、エッチングレジ
ストを、グラビア印刷、平版印刷及びスクリーン印刷の
ような公知の印刷法で金属薄膜上に印刷し、その後、エ
ッチング液で非印刷部の金属を溶出してパターンを形成
する方法である。但し、導電性ループ部の外周部間の距
離が１００μm以下となるような微細な金属パターンを
形成する場合は、写真印刷法によるフォトリソグラフィ
法を用いることが好ましい。

【００４５】本発明のアルミ蒸着フィルムのリソグラフ
ィの場合、アルカリ現象型レジストを用いればエッチン
グする金属が現像液に可溶であるため、現像行程で同時
に金属エッチングが行われ、パターン形成が容易に出来
る。さらに蒸着膜が極めて薄いためレジスト膜も薄膜で
よく、経済的で有るばかりでなくレジスト乾燥時間およ
び必要露光量が少なく、ロール・ツウ・ロールの高速連
続生産が可能となる。

【００４６】尚、導電性パターン層３０３は、絶縁性中
間層３０２の表面上に導電性ループパターンを直接設け
ることにより省略することができる。例えば、導電性材
料を絶縁性中間層３０２の表面上に熱転写法等によりル
ープパターン状に転写することができる。

【００４７】他の態様では、導電性パターン層３０３
は、互いに平行な複数の平面上に規則的に配置された複
数の導電性ループ部と、それらを支持する材料から構成
される。導電性ループ部を支持する材料としては、一般
に樹脂フィルム及び樹脂組成物のような絶縁性材料を用
いる。

【００４８】このような導電性パターン層の好ましい一
態様は、図４に示すように、互いに可及的に接近し実質
的に平行な３つの平面上に規則的に配置された複数の導
電性ループ部から成り、該平面と垂直な方向からみて導
電性ループが最密充填状に配置されている導電性ループ
パターンを有するものである。

【００４９】この導電性パターン層は、図５に示すよう
な、第１の面上に形成され、各導電性ループ部が所定の
等間隔で互い違いに並ぶように配置された複数の同一寸
法同一形状の導電性ループ部ａ、ａ’、ａ”、・・・；
第２の平面上に形成され、各導電性ループ部が第１の平
面と同様に並ぶように、かつそれらの外周部が導電性ル
ープ部ａ、ａ’、ａ”、・・・の外周部と可及的に接近
するように配置された複数の同一寸法同一形状の導電性
ループ部ｂ、ｂ’、ｂ”、・・・；及び第３の平面上に
形成され、各導電性ループ部が第１の平面と同様に並ぶ
ように、かつそれらの外周部が導電性ループ部ａ、
ａ’、ａ”、・・・の外周部及び導電性ループ部ｂ、
ｂ’、ｂ”、・・・の外周部と、可及的に接近するよう
に配置された複数の同一寸法同一形状の導電性ループ部
ｃ、ｃ’、ｃ”、・・・；を有する。

【００５０】このような導電性パターン層を用いて形成
した電磁波吸収材料は、優れた低周波電磁波吸収性を示
す。また、この積層型導電性パターン層を更に複数重ね
て使用することもできる。この場合、前記導電性ループ
部ａ、ｂ及びｃ；導電性ループ部ａ’、ｂ’及びｃ’；
導電性ループ部ａ”、ｂ”及びｃ”；・・・は、それぞ
れ螺旋状に繰り返し積まれることとなる。

【００５１】驚くべきことに、上記積層型導電性パター
ン層を複数重ねることにより電磁波吸収領域が更に長波
長側へシフトする。尚、この場合も、導電性ループ部を
正６角形とした場合に特に優れた効果が得られる。

【００５２】複数の平面上に規則的に配置された複数の
導電性ループ部でなる導電性パターン層は、例えば、以
下に説明する方法で簡便に作製できる。まず、図６に示
すように、第１の絶縁性フィルムに所定の等間隔で互い
違いに配置された複数の同一寸法同一形状の導電性ルー
プ部ａ、ａ’、ａ”、・・・を形成する。

【００５３】次いで、第２の絶縁性フィルムに第１の絶
縁性フィルムと同様に配置された複数の同一寸法同一形
状の導電性ループ部ｂ、ｂ’、ｂ”、・・・を形成し、
更に第３の絶縁性フィルムに第１の絶縁性フィルムと同
様に配置された複数の同一寸法同一形状の導電性ループ
部ｃ、ｃ’、ｃ”、・・・を形成する。

【００５４】その後、図７Ａに示すように、導電性ルー
プ部ａ、ａ’、ａ”、・・・の外周部と導電性ループ部
ｂ、ｂ’、ｂ”、・・・の外周部とが互いに可及的に接
近するように第１の絶縁性フィルムと第２の絶縁性フィ
ルムとを重ねる。そして、図７Ｂに示すように、導電性
ループ部ａ、ａ’、ａ”、・・・の外周部及び導電性ル
ープ部ｂ、ｂ’、ｂ”、・・・の外周部と、導電性ルー
プ部ｃ、ｃ’、ｃ”、・・・の外周部とが、互いに可及
的に接近するように第３の絶縁性フィルムを更に重ねる
ことにより、絶縁性フィルムの面と垂直な方向からみて
最密充填状に複数の導電性ループを配置する。

【００５５】電磁波反射層３０１、絶縁性中間層３０
２、および導電性パターン層３０３、を積層する方法は
当業者に周知である。例えば、絶縁性中間層３０２を基
材として用いて、電磁波反射層３０１をメッキ又は蒸着
させてよい。また、電磁波反射層３０１を別途作製し、
接着等の手段で絶縁性中間層３０２に適用してもよい。

【００５６】本発明の大きな意義は、フェライト系材料
に比べ大幅に軽量化した電磁波吸収材ができることにあ
る。例えばシールド材にアルミ箔あるいはアルミ蒸着フ
ィルムを用い、本発明の厚みのプラスチック発泡シート
を介して本発明のループパターンを有するフィルムを貼
れば、４００ｇ／ｍ²以下の軽量電波吸収シールド材が
出来る。これは一般にＴＶゴースト対策に用いられてい
るフェライト焼結体（４０ｋｇ／ｍ²以上）の実に１／
１００の重量であり、本発明の目的である軽量化を充分
果たしうるものである。

【００５７】さらにシールドガラス、金属反射板、金属
蒸着シールド材、金属メッキシールド材等の既存電波波
シールド材上に本発明の電磁波吸収材を適用すること
で、容易に電磁波吸収シールド構造体に変えることがで
きる。例えば本発明による適性厚みのプラスチック発泡
シートの両面に粘着剤を施し片面に本発明の導電性パタ
ーンフィルムを貼り付けた粘着テープは電磁波吸収粘着
シートとして電子機器金属性筐体内面、建物のシールド
材表面等に貼るだけで極めて簡単に電磁波吸収を実現で
きる。

【００５８】

【実施例】以下実施例により本発明を具体的に説明す
る。本発明はこれら実施例に限定されるものと解しては
ならない。

【００５９】実施例１尾池工業製アルミニウム蒸着ＰＥＴフィルム（蒸着膜厚
５００Å、ＰＥＴ厚１００μm）上に日本ペイント製ポ
ジ型液状レジスト「オプトＥＲＰ−６００」を乾燥膜
厚０.５μになるように塗布し、熱風オーブンで乾燥せ
しめた。

【００６０】レジスト膜の上にマスクを重ね、３０mＪ
／cm²の光強度で露光した。露光したレジストを１％苛
性ソーダ水で現像し、アルミニウム蒸着膜の露出された
部分をエッチングした。直径８ｍｍ、外周長さ２５ｍｍ
及び外周部幅０．５ｍｍの円形の導電性ループ部が外周
部間距離０．２ｍｍで図２Ａに示す状態に配置された導
電性ループパターンが形成された。

【００６１】尾池工業製アルミニウム蒸着ＰＥＴフィル
ム（蒸着膜厚５００Å、ＰＥＴ厚１００μm）、厚さ２m
mのＰＰ発泡シートおよび得られた導電性パターン層
を、市販のアクリル系粘着剤を用いてこの順に貼り付
け、電磁波吸収材を得た。

【００６２】以下の方法により、得られた電磁波吸収材
の性能を評価した。結果を表１に示す。

【００６３】シールド性能対向させて設置した１対のガイドホーンアンテナにネッ
トワークアナライザー（ＨＰ社製「８５１０Ｂ」）を接
続し、フリースペースタイムドメイン法により、アンテ
ナ間の直接伝送波のＳパラメータ（Ｓ２１）を測定し
た。これを透過減衰量０dＢとした。次に、電磁波吸収
材をアンテナ間に設置し、同様にしてＳ２１を測定し
た。得られた透過減衰量をシールド性能とした。

【００６４】電磁波吸収量平行偏波の電磁波が試料に対して１０°で斜入射するよ
うに送信側ガイドホーンアンテナを設置した。受信側
は、光学反射の方向に同一のガイドホーンアンテナを設
置した。ネットワークアナライザーをアンテナに接続
し、フリースペースタイムドメイン法により、試料に反
射して電送された電磁波のみを抽出してＳパラメータ
（Ｓ２１）を測定した。

【００６５】厚さ１ｍｍのアルミニウム板を試料として
用いた場合のＳ２１を０dＢとした。次にアルミニウム
板に代えて電磁波吸収材を設置し、同様にしてＳ２１を
測定し、反射減衰量を得た。透過減衰量が、測定限界で
ある−４０dＢにになる試料の反射減衰量を電磁波吸収
量とした。

【００６６】実施例２異なるマスクを用いること以外は実施例１と同様にし
て、最大外周径８ｍｍ、外周長さ２８ｍｍ及び外周部幅
０．５ｍｍの正６角形の導電性ループ部が、外周部間距
離０．５ｍｍで図２Ｂに示す状態に配置された導電性ル
ープパターンを形成し、これを用いて電磁波吸収材を得
た。得られた電磁波吸収材の性能を実施例１と同様にし
て評価した。結果を表１に示す。

【００６７】実施例３異なるマスクを用いること以外は実施例１と同様にし
て、最大外周径８ｍｍ、外周長さ２８ｍｍ及び外周部幅
０．５ｍｍの正６角形の導電性ループ部が、外周部間距
離０．２ｍｍで図２Ｂに示す状態に配置された導電性ル
ープパターンを形成し、これを用いて電磁波吸収材を得
た。得られた電磁波吸収材の性能を実施例１と同様にし
て評価した。結果を表１に示す。

【００６８】実施例４異なるパターンのマスクを用いること以外は実施例１と
同様にして、最大外周径３ｍｍ、外周長さ１４ｍｍ及び
外周部幅０．５ｍｍの正６角形の導電性ループ部が、外
周部間距離（最短距離）５．３ｍｍで図５に示す状態に
配置された導電性ループパターンを、３枚のアルミニウ
ム蒸着フィルム上にそれぞれ形成した。

【００６９】次いで、隣接する導電性ループ同士が可及
的に接近するようにこれらを重ねることにより、図４に
示すような、複数の導電性ループ部から成り、平面と垂
直な方向からみて導電性ループ部が最密充填状に配置さ
れていて外周部間距離がＰＥＴ厚１００μｍである導電
性ループパターンを有する導電性パターン層を得た。こ
れを用いて、実施例１と同様にして電磁波吸収材を得
た。得られた電磁波吸収材の性能を実施例１と同様にし
て評価した。結果を表１に示す。

【００７０】実施例５実施例４で得られた導電性パターン層を３層重ねて導電
性パターン層を得、これを用いること以外は実施例１と
同様にして電磁波吸収材を得た。得られた電磁波吸収材
の性能を実施例１と同様にして評価した。結果を表１に
示す。

【００７１】実施例６実施例５で得られた導電性パターン層を８層（平面の合
計数２４）重ねて導電性パターン層を得、これを用いる
こと以外は実施例１と同様にして電磁波吸収材を得た。
得られた電磁波吸収材の性能を実施例１と同様にして評
価した。結果を表１に示す。

【００７２】実施例７ＰＥＴ厚１２μmの尾池工業製アルミニウム蒸着ＰＥＴ
フィルムを用いること以外は実施例４と同様にして外周
部間距離がＰＥＴ厚１２μｍである電磁波吸収材を得
た。得られた電磁波吸収材の性能を実施例１と同様にし
て評価した。結果を表１に示す。

【００７３】実施例８異なるマスクを用いること以外は実施例１と同様にし
て、線幅３０μm及び線間距離１７０μmの、図８に示す
ような、導電性材料のメッシュパターンをＰＥＴフィル
ム上に形成した。反射層として、アルミニウム蒸着ＰＥ
Ｔフィルムの代わりに、この導電性材料のメッシュパタ
ーンを有するＰＥＴフィルムを用いること以外は実施例
７と同様にして電磁波吸収材を得た。得られた電磁波吸
収材の性能を実施例１と同様にして評価した。

【００７４】

【表１】実施例シールド性吸収性能吸収最大周中間層の厚材料の重量Ｎｏ能(dB) (dB) 波数(GHz) さ(mm) (g/20×20cm) １ −４０ −１０６８８２ −４０ −１５６８８３ −４０ −１５４８８４ −４０ −１０３６１６５ −４０ −５２６４０６ −４０ −５１６１００７ −４０ −１５２４６８ −４０ −１５２４６

【００７５】

【発明の効果】本発明の電波吸収材は従来のフェライト
系吸収材の１／５０〜１／１００の軽量化を達成した。
さらに、材料の厚さを増加させることなく吸収域を低周
波領域へシフトすることができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の導電性ループパターンにおける隣接
する導電性ループ部の外周部同士の接近の例を示す斜視
図である。

【図２】本発明の導電性ループパターンの例を示す上
面図である。

【図３】本発明の電磁波吸収材の一態様を示す断面図
である。

【図４】本発明の導電性パターン層の一態様を示す透
過斜視図である。

【図５】本発明の積層型導電性パターン層を構成する
ための導電性ループの配置の例を示す上面図である。

【図６】本発明の積層型導電性パターン層を構成する
ための導電性ループの配置の例を示す上面図である。

【図７】本発明の積層型導電性パターン層を構成する
過程を示す上面図である。

【図８】本発明の電磁波反射層として用いうる電磁波
を反射する能力がある導電性材料のパターンの一例を示
す上面図である。

【符号の説明】

ｄ…導電性ループ部の外周部間距離、３０１…電磁波反射層、３０２…絶縁性中間層、３０３…導電性パターン層。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、および導電性ループパターンを有する導電性パタ
ーン層を有する電磁波吸収材において；該導電性ループ
パターンが空間的に配置された複数の導電性ループ部か
ら成り；該導電性ループ部が該電磁波吸収材が吸収する
電磁波の波長の５０％を下回る外周長さを有し、各導電
性ループ部が絶縁しかつ隣接する導電性ループ部の外周
部同士が可及的に接近している、電磁波吸収材。
【請求項２】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、および導電性ループパターンを有する導電性パタ
ーン層を有する電磁波吸収材において；該導電性ループ
パターンが一の平面上又は互いに平行な複数の平面上に
規則的に配置された複数の導電性ループ部から成り；該
導電性ループ部が該電磁波吸収材が吸収する電磁波の波
長の５０％を下回る外周長さを有し、各導電性ループ部
が絶縁しかつ隣接する導電性ループ部の外周部同士が可
及的に接近している、電磁波吸収材。
【請求項３】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、および導電性ループパターンを有する導電性パタ
ーン層を有する電磁波吸収材において；該導電性ループ
パターンが一の平面上に規則的に配置された複数の導電
性ループ部から成り；該導電性ループ部が該電磁波吸収
材が吸収する電磁波の波長の５０％を下回る外周長さを
有し、各導電性ループ部が絶縁しかつ隣接する導電性ル
ープ部の外周部同士が可及的に接近している、電磁波吸
収材。
【請求項４】前記複数の導電性ループ部の外周部間距
離が１ｍｍ以下である請求項３記載の電磁波吸収材。
【請求項５】順次積層された電磁波反射層、絶縁性中
間層、および導電性ループパターンを有する導電性パタ
ーン層を有する電磁波吸収材において；該導電性ループ
パターンが互いに平行な複数の平面上に規則的に配置さ
れた複数の導電性ループ部から成り；該導電性ループ部
が該電磁波吸収材が吸収する電磁波の波長の５０％を下
回る外周長さを有し、各導電性ループ部が絶縁しかつ隣
接する導電性ループ部の外周部同士が可及的に接近して
いる、電磁波吸収材。
【請求項６】前記複数の導電性ループ部の外周部間距
離が０.１mm以下である請求項５記載の電磁波吸収材。
【請求項７】前記複数の導電性ループ部が同一寸法同
一形状である請求項１記載の電磁波吸収材。
【請求項８】前記複数の導電性ループ部が、平面と垂
直な方向からみて最密充填状に配置されている請求項７
記載の電磁波吸収材。
【請求項９】前記複数の導電性ループ部が正６角形で
ある請求項８記載の電磁波吸収材。
【請求項１０】前記絶縁性中間層の厚さが０．１〜１
０ｍｍである請求項１記載の電磁波吸収材。
【請求項１１】前記電磁波反射層が、電磁波を反射す
る能力がある導電性材料のパターン又はこれを基材上に
設けたものである請求項１記載の電磁波吸収材。
【請求項１２】前記導電性パターン層が、互いに可及
的に接近し平行な３枚の平面から成り；第１の平面
が、各導電性ループ部が所定の等間隔で互い違いに並ぶ
ように配置された複数の同一寸法同一形状の導電性ルー
プ部ａ、ａ’、ａ”、・・・を有し、第２の平面が、各導電性ループ部が第１の平面と同様に
並ぶように、かつそれらの外周部が導電性ループ部ａ、
ａ’、ａ”、・・・の外周部と可及的に接近するように
配置された複数の同一寸法同一形状の導電性ループ部
ｂ、ｂ’、ｂ”、・・・を有し、第３の平面が、各導電性ループ部が第１の平面と同様に
並ぶように、かつそれらの外周部が導電性ループ部ａ、
ａ’、ａ”、・・・の外周部及び導電性ループ部ｂ、
ｂ’、ｂ”、・・・の外周部と、それぞれ可及的に接近
するように配置された複数の同一寸法同一形状の導電性
ループ部ｃ、ｃ’、ｃ”、・・・を有し；各導電性ルー
プ部が該平面と垂直な方向からみて最密充填状に配置さ
れている、請求項５記載の電磁波吸収材。
【請求項１３】前記導電性パターン層が請求項１２記
載の導電性パターン層を複数積層したものであり、少な
くとも前記導電性ループ部ａ、ｂ及びｃが螺旋状に繰り
返し積まれている請求項５記載の電磁波吸収材。
【請求項１４】前記導電性ループ部が正６角形である
請求項１２記載の電磁波吸収材。
【請求項１５】（１）第１の絶縁性フィルムに所定の
等間隔で互い違いに配置された複数の同一寸法同一形状
の導電性ループ部ａ、ａ’、ａ”、・・・を形成する工
程；（２）第２の絶縁性フィルムに第１の絶縁性フィルムと
同様に配置された複数の同一寸法同一形状の導電性ルー
プ部ｂ、ｂ’、ｂ”、・・・を形成する工程；（３）第３の絶縁性フィルムに第１の絶縁性フィルムと
同様に配置された複数の同一寸法同一形状の導電性ルー
プ部ｃ、ｃ’、ｃ”、・・・を形成する工程；及び（４）導電性ループ部ａ、ａ’、ａ”、・・・の外周部
と導電性ループ部ｂ、ｂ’、ｂ”、・・・の外周部とが
互いに可及的に接近するように第１の絶縁性フィルムと
第２の絶縁性フィルムとを重ね、そして導電性ループ部
ａ、ａ’、ａ”、・・・の外周部及び導電性ループ部
ｂ、ｂ’、ｂ”、・・・の外周部と、導電性ループ部
ｃ、ｃ’、ｃ”、・・・の外周部とが、互いに可及的に
接近するように第３の絶縁性フィルムを更に重ねること
により、絶縁性フィルムの面と垂直な方向からみて最密
充填状に各導電性ループ部を配置する工程；を包含する
導電性パターン層の製造方法。