FR2358020A1 - Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif - Google Patents

Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif

Info

Publication number
FR2358020A1
FR2358020A1 FR7720561A FR7720561A FR2358020A1 FR 2358020 A1 FR2358020 A1 FR 2358020A1 FR 7720561 A FR7720561 A FR 7720561A FR 7720561 A FR7720561 A FR 7720561A FR 2358020 A1 FR2358020 A1 FR 2358020A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
cathode
spraying
cathodic
spray
electron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR7720561A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
FR2358020B1 (ja
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of FR2358020A1 publication Critical patent/FR2358020A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2358020B1 publication Critical patent/FR2358020B1/fr
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405—Magnetron sputtering

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
FR7720561A 1976-07-07 1977-07-05 Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif Granted FR2358020A1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7607473A NL7607473A (nl) 1976-07-07 1976-07-07 Verstuifinrichting en werkwijze voor het ver- stuiven met een dergelijke inrichting.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2358020A1 true FR2358020A1 (fr) 1978-02-03
FR2358020B1 FR2358020B1 (ja) 1982-11-12

Family

ID=19826537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR7720561A Granted FR2358020A1 (fr) 1976-07-07 1977-07-05 Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif

Country Status (14)

Country Link
JP (2) JPS536282A (ja)
AT (1) AT352493B (ja)
AU (1) AU506847B2 (ja)
BR (1) BR7704375A (ja)
CA (1) CA1081656A (ja)
CH (1) CH618289A5 (ja)
DE (1) DE2729286A1 (ja)
ES (1) ES460405A1 (ja)
FR (1) FR2358020A1 (ja)
GB (1) GB1587566A (ja)
IT (1) IT1076083B (ja)
NL (1) NL7607473A (ja)
SE (1) SE7707729L (ja)
ZA (1) ZA773538B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2423065A1 (fr) * 1978-04-12 1979-11-09 Battelle Memorial Institute Procede de fabrication d'electrodes pour piles a combustible, dispositif pour la mise en oeuvre du procede et electrodes resultant de ce procede
EP0070899A1 (en) * 1981-02-12 1983-02-09 Shatterproof Glass Corp MAGNETRON CATHODE SPRAYING DEVICE.
WO1995032517A1 (fr) * 1994-05-24 1995-11-30 Rossiisko-Shveitsarskoe Aktsionernoe Obschestvo Zakrytogo Tipa 'nova' Procede de production d'une decharge electrique et son dispositif de mise en ×uvre

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2028377B (en) * 1978-08-21 1982-12-08 Vac Tec Syst Magnetically-enhanced sputtering device
GB2051877B (en) * 1979-04-09 1983-03-02 Vac Tec Syst Magnetically enhanced sputtering device and method
JPS584923Y2 (ja) * 1979-04-20 1983-01-27 株式会社 徳田製作所 横型スパッタリング装置
JPS59116375A (ja) * 1982-11-26 1984-07-05 Kawasaki Heavy Ind Ltd スパッタリング装置
DE3316548C2 (de) * 1983-03-25 1985-01-17 Flachglas AG, 8510 Fürth Verfahren zur Beschichtung eines transparenten Substrates
JPS59179782A (ja) * 1983-03-31 1984-10-12 Kawasaki Heavy Ind Ltd スパツタリング装置の電極部構造
DE3406953C2 (de) * 1983-04-19 1986-03-13 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Verfahren zum Erwärmen von Heizgut in einem Vakuumrezipienten
JPS59169352U (ja) * 1983-04-25 1984-11-13 川崎重工業株式会社 スパツタリング装置の電極部構造
CH659346A5 (de) * 1983-05-10 1987-01-15 Balzers Hochvakuum Vorrichtung zum behandeln der innenwand eines rohres.
CH668565A5 (de) * 1986-06-23 1989-01-13 Balzers Hochvakuum Verfahren und anordnung zum zerstaeuben eines materials mittels hochfrequenz.
AT392291B (de) * 1987-09-01 1991-02-25 Miba Gleitlager Ag Stabfoermige sowie magnetron- bzw. sputterkathodenanordnung, sputterverfahren, und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE4018914C1 (ja) * 1990-06-13 1991-06-06 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
DE4022708A1 (de) * 1990-07-17 1992-04-02 Balzers Hochvakuum Aetz- oder beschichtungsanlagen
DE4042417C2 (de) * 1990-07-17 1993-11-25 Balzers Hochvakuum Ätz- oder Beschichtungsanlage sowie Verfahren zu ihrem Zünden oder intermittierenden Betreiben
DE4107505A1 (de) * 1991-03-08 1992-09-10 Leybold Ag Verfahren zum betrieb einer sputteranlage und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE19623359A1 (de) * 1995-08-17 1997-02-20 Leybold Ag Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats
DE19652633A1 (de) * 1996-09-13 1998-03-19 Euromat Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Innenbeschichten metallischer Bauteile
DE19727647A1 (de) * 1997-06-12 1998-12-17 Leybold Ag Vorrichtung zum Beschichten eines Substratkörpers mittels Kathodenzerstäubung
JP5781408B2 (ja) * 2011-09-07 2015-09-24 株式会社アルバック マグネトロンスパッタカソード
US20150114828A1 (en) * 2013-10-31 2015-04-30 General Electric Company Systems and method of coating an interior surface of an object
US9111734B2 (en) 2013-10-31 2015-08-18 General Electric Company Systems and method of coating an interior surface of an object
JP2022178656A (ja) * 2021-05-20 2022-12-02 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 非蒸発型ゲッタコーティング装置、非蒸発型ゲッタコーティング容器・配管の製造方法、非蒸発型ゲッタコーティング容器・配管

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3884793A (en) * 1971-09-07 1975-05-20 Telic Corp Electrode type glow discharge apparatus
JPS516017B2 (ja) * 1972-09-08 1976-02-24
US4166018A (en) * 1974-01-31 1979-08-28 Airco, Inc. Sputtering process and apparatus
US3956093A (en) * 1974-12-16 1976-05-11 Airco, Inc. Planar magnetron sputtering method and apparatus

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2423065A1 (fr) * 1978-04-12 1979-11-09 Battelle Memorial Institute Procede de fabrication d'electrodes pour piles a combustible, dispositif pour la mise en oeuvre du procede et electrodes resultant de ce procede
EP0070899A1 (en) * 1981-02-12 1983-02-09 Shatterproof Glass Corp MAGNETRON CATHODE SPRAYING DEVICE.
EP0070899A4 (en) * 1981-02-12 1984-04-04 Shatterproof Glass Corp CATHODIC BOMBARDING DEVICE WITH MAGNETRON.
WO1995032517A1 (fr) * 1994-05-24 1995-11-30 Rossiisko-Shveitsarskoe Aktsionernoe Obschestvo Zakrytogo Tipa 'nova' Procede de production d'une decharge electrique et son dispositif de mise en ×uvre

Also Published As

Publication number Publication date
FR2358020B1 (ja) 1982-11-12
CA1081656A (en) 1980-07-15
IT1076083B (it) 1985-04-22
JPS6028689Y2 (ja) 1985-08-30
AT352493B (de) 1979-09-25
JPS5947654U (ja) 1984-03-29
CH618289A5 (en) 1980-07-15
ATA482777A (de) 1979-02-15
JPS536282A (en) 1978-01-20
BR7704375A (pt) 1978-05-16
DE2729286A1 (de) 1978-01-12
SE7707729L (sv) 1978-01-08
AU2668877A (en) 1979-01-04
AU506847B2 (en) 1980-01-24
ZA773538B (en) 1979-01-31
NL7607473A (nl) 1978-01-10
ES460405A1 (es) 1978-05-01
GB1587566A (en) 1981-04-08
DE2729286C2 (ja) 1988-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2358020A1 (fr) Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif
FR2490972B1 (fr) Pulverisateur de liquide, du type equipe d'une poignee sollicitee elastiquement
FR2357040A1 (fr) Conducteur sensible a la pression et procede pour sa fabrication
IT1082491B (it) Procedimento per formare un rivestimento di un metallo o di un composto metallico su una faccia di un substrato di vetro e dispositivo adatta per la formazione di detto rivestimento
FR2375665A1 (fr) Procede de lithographie par faisceau electronique
BE889400A (fr) Structures comprenant un element de polyethylene lie a une surface d'un substrat metallique, et leur fabrication
FR2406008A1 (fr) Electrode pour le depot electrolytique de metaux
ES503645A0 (es) Procedimiento para activar superficies metalicas y no meta- licas para la precipitacion sin corriente de metal
FR2395576A1 (fr) Dispositif contenant un liquide dielectrique
FR2396807A1 (fr) Installation de depot par evaporation sous vide
IT1223015B (it) Dispositivo per l'erogazione pulsata di un liquido di irrigazione ed impianti di irrigazione che incorporano il dispositivo stesso
FR2418370A1 (fr) Dispositif d'attache resistant a la corrosion
FR2357024A1 (fr) Panneau d'affichage utilisant un film elastomere
FR2442933A1 (fr) Enceinte limitee par une ou plusieurs parois dont une partie au moins transmet le rayonnement lumineux
GB1147318A (en) Improvements in r.f. cathodic sputtering systems
GB1224099A (en) Improvements in or relating to sprocket wheels
BE859792A (fr) Perfectionnements aux installations de fabrication de fil par projection d'une jet de metal liquide dans un milieu refroidisseur
BE769722A (fr) Nouvel appareil pour pulverisation cathodique sur les deux faces d'un support metallique de grandes dimensions
FR2385820A1 (fr) Methode et dispositif d'attache electrochimique d'un materiau semi-conducteur
FR2414843A1 (fr) Dispositif pour produire un jet de plasma
FR1547700A (fr) Perfectionnement à l'adhérence des dépôts métalliques sur une surface constituée par un matériau synthétique
BE859793A (fr) Perfectionnements aux installations de fabrication d'un fil par projection d'un jet de metal liquide dans un milieu refroidisseur
GB1232868A (ja)
FR2426329A1 (fr) Tube de prise de vues pour television
FR2435959A1 (fr) Dispositif de jeu a figurine projetable

Legal Events

Date Code Title Description
CD Change of name or company name