ES2862579T3 - Proceso de polimerización - Google Patents
Proceso de polimerización Download PDFInfo
- Publication number
- ES2862579T3 ES2862579T3 ES09176722T ES09176722T ES2862579T3 ES 2862579 T3 ES2862579 T3 ES 2862579T3 ES 09176722 T ES09176722 T ES 09176722T ES 09176722 T ES09176722 T ES 09176722T ES 2862579 T3 ES2862579 T3 ES 2862579T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- reactor
- polymer
- weight
- process according
- density
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 80
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 37
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002685 polymerization catalyst Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 49
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 claims description 41
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 31
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 claims description 25
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 21
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims description 19
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical group C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 18
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims description 18
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 17
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 6
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 claims description 6
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 18
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 8
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N isobutane Chemical compound CC(C)C NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 1-Butene Chemical compound CCC=C VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 5
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 5
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 5
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001282 iso-butane Substances 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 1-hexene Chemical compound CCCCC=C LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical class O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical group 0.000 description 3
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- RGSFGYAAUTVSQA-UHFFFAOYSA-N Cyclopentane Chemical compound C1CCCC1 RGSFGYAAUTVSQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005234 alkyl aluminium group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002902 bimodal effect Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000003701 inert diluent Substances 0.000 description 2
- QWTDNUCVQCZILF-UHFFFAOYSA-N isopentane Chemical compound CCC(C)C QWTDNUCVQCZILF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002681 magnesium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000005673 monoalkenes Chemical class 0.000 description 2
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CRSOQBOWXPBRES-UHFFFAOYSA-N neopentane Chemical compound CC(C)(C)C CRSOQBOWXPBRES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- YWAKXRMUMFPDSH-UHFFFAOYSA-N pentene Chemical compound CCCC=C YWAKXRMUMFPDSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 2
- 238000007873 sieving Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N triethylaluminium Chemical compound CC[Al](CC)CC VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N Isooctane Chemical compound CC(C)CC(C)(C)C NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010199 LiAl Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQMIWLMVTCKXAQ-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[C] Chemical compound [AlH3].[C] RQMIWLMVTCKXAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 230000006583 body weight regulation Effects 0.000 description 1
- 238000012662 bulk polymerization Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001924 cycloalkanes Chemical class 0.000 description 1
- 125000000058 cyclopentadienyl group Chemical group C1(=CC=CC1)* 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- AFABGHUZZDYHJO-UHFFFAOYSA-N dimethyl butane Natural products CCCC(C)C AFABGHUZZDYHJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVSWJIKNEAIKJW-UHFFFAOYSA-N dimethyl-hexane Natural products CCCCCC(C)C JVSWJIKNEAIKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- GCPCLEKQVMKXJM-UHFFFAOYSA-N ethoxy(diethyl)alumane Chemical compound CCO[Al](CC)CC GCPCLEKQVMKXJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001033 granulometry Methods 0.000 description 1
- DMEGYFMYUHOHGS-UHFFFAOYSA-N heptamethylene Natural products C1CCCCCC1 DMEGYFMYUHOHGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006158 high molecular weight polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000012968 metallocene catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000026676 system process Effects 0.000 description 1
- 150000003623 transition metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- MCULRUJILOGHCJ-UHFFFAOYSA-N triisobutylaluminium Chemical compound CC(C)C[Al](CC(C)C)CC(C)C MCULRUJILOGHCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 239000003039 volatile agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/18—Stationary reactors having moving elements inside
- B01J19/1812—Tubular reactors
- B01J19/1837—Loop-type reactors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/18—Stationary reactors having moving elements inside
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/24—Stationary reactors without moving elements inside
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/24—Stationary reactors without moving elements inside
- B01J19/2415—Tubular reactors
- B01J19/2435—Loop-type reactors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
- B01J8/02—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds
- B01J8/0242—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid flow within the bed being predominantly vertical
- B01J8/025—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid flow within the bed being predominantly vertical in a cylindrical shaped bed
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F10/00—Homopolymers and copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F10/00—Homopolymers and copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond
- C08F10/02—Ethene
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/12—Polymerisation in non-solvents
- C08F2/14—Organic medium
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00002—Chemical plants
- B01J2219/00027—Process aspects
- B01J2219/0004—Processes in series
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00164—Controlling or regulating processes controlling the flow
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00164—Controlling or regulating processes controlling the flow
- B01J2219/00166—Controlling or regulating processes controlling the flow controlling the residence time inside the reactor vessel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00171—Controlling or regulating processes controlling the density
- B01J2219/00173—Physical density
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00184—Controlling or regulating processes controlling the weight of reactants in the reactor vessel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00186—Controlling or regulating processes controlling the composition of the reactive mixture
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00245—Avoiding undesirable reactions or side-effects
- B01J2219/00254—Formation of unwanted polymer, such as "pop-corn"
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F110/00—Homopolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond
- C08F110/02—Ethene
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F210/00—Copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond
- C08F210/16—Copolymers of ethene with alpha-alkenes, e.g. EP rubbers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S526/00—Synthetic resins or natural rubbers -- part of the class 520 series
- Y10S526/909—Polymerization characterized by particle size of product
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S526/00—Synthetic resins or natural rubbers -- part of the class 520 series
- Y10S526/918—Polymerization reactors for addition polymer preparation
Abstract
Un proceso para el control de un proceso de (co)polimerización en fase de suspensión en presencia de un catalizador de polimerización en al menos un reactor de bucle de un sistema de múltiples reactores, proceso que comprende mantener la AMPLITUD de densidad de las partículas de polvo de polímero (definido como el valor absoluto de la diferencia de densidad en g/cm3 entre la densidad promedio de las partículas de polímero que salen del reactor con un tamaño de partícula por encima de D90 y la densidad promedio del material con un tamaño de partícula por debajo de D10) por debajo de 0,005, preferentemente por debajo de 0,003, más preferentemente por debajo de 0,0026, lo más preferentemente por debajo de 0,0023, siendo dicho proceso realizado en un reactor de bucle de un volumen de 75-200 m3 con una concentración de sólidos de al menos el 20 % en volumen y con un rendimiento de espacio-tiempo (que es la velocidad de producción de polímero por unidad de volumen del reactor de bucle) en el intervalo de 0,1-0,4 toneladas/hora/m3.
Description
DESCRIPCIÓN
Proceso de polimerización
La presente invención se refiere a la polimerización de olefinas en reactores de bucle de fase de suspensión, en particular, en sistemas de múltiples reactores.
Se conoce bien la polimerización en fase de suspensión de olefinas, en donde un monómero de olefina y, opcionalmente, un comonómero de olefina se polimerizan en presencia de un catalizador en un diluyente en el que se suspende y transporta el producto de polímero sólido.
La presente invención está específicamente relacionada con la polimerización en al menos un reactor de bucle de un sistema de múltiples reactores, donde la suspensión se hace circular en el reactor típicamente por medio de una bomba o un agitador. Los reactores de bucle completo de líquido, particularmente, se conocen bien en la técnica y se describen, por ejemplo, en las patentes estadounidenses n.° 3.152.872, 3.242.150 y 4.613.484.
La polimerización se lleva a cabo típicamente a temperaturas en el intervalo de 50-125 °C y a presiones en el intervalo de 0,1-10 MPa (1-100 bares). El catalizador usado puede ser cualquier catalizador usado típicamente para la polimerización de olefinas, tal como los catalizadores de tipo óxido de cromo, Ziegler-Natta o metaloceno. La suspensión de producto que comprende polímero y diluyente y, en la mayoría de los casos, catalizador, monómero y comonómero de olefina se puede descargar de manera intermitente o continua, opcionalmente, usando dispositivos de concentración, tales como hidrociclones o brazos de sedimentación, para minimizar la cantidad de fluidos extraídos con el polímero.
El al menos un reactor de bucle de un sistema de múltiples reactores es de una construcción tubular continua que comprende al menos dos, por ejemplo, cuatro, secciones verticales y al menos dos, por ejemplo, cuatro, secciones horizontales. El calor de polimerización se retira típicamente usando el intercambio indirecto con un medio de enfriamiento, preferentemente agua, en camisas que rodean al menos parte del reactor de bucle tubular. El volumen del al menos un reactor de bucle de un sistema de múltiples reactores puede variar, pero típicamente se encuentra en el intervalo de 10 a 120 m3; los reactores de bucle de la presente invención son de este tipo genérico.
Las capacidades máximas de las plantas de reactores de bucle a escala comercial han aumentado constantemente a lo largo de los años. La creciente experiencia operativa durante las últimas décadas ha llevado a la operación de concentraciones de suspensión y monómero cada vez más altas en los bucles de reacción. El aumento en las concentraciones de suspensión se ha logrado típicamente con velocidades de circulación aumentadas logradas, por ejemplo, mediante múltiples bombas de circulación o una altura de bomba de circulación del reactor más alta, tal como se ilustra en los documentos EP 432555 y EP 891990. El aumento en la carga de sólidos resulta deseable para aumentar el tiempo de permanencia en el reactor para un volumen de reactor fijo y también para reducir los requisitos de recirculación y tratamiento de diluyentes corriente abajo. Sin embargo, el aumento del requisito de velocidad y de altura del bucle ha conducido a un aumento de los tamaños y la complejidad del diseño de la bomba, así como los consumos de energía, a medida que aumentan las concentraciones de suspensión. Esto tiene implicaciones tanto de capital como de coste operativo.
Históricamente, se ha mantenido típicamente una velocidad de circulación relativamente alta en el bucle de reacción con el fin de garantizar una buena distribución térmica, de composición y de partículas a través de la sección transversal del reactor, particularmente para evitar la sedimentación de sólidos, características de flujo estables o concentraciones excesivas de sólidos en la pared de tubo, en lugar de reducirse para minimizar la caída de presión/potencia en el bucle de polimerización.
Una distribución de sección transversal inadecuada podría conducir un aumento de las incrustaciones, una reducción de la transferencia de calor y una reducción de la productividad y homogeneidad de polímero. La construcción y puesta en marcha de nuevas plantas comerciales resulta muy costosa y, por lo tanto, los nuevos diseños buscan evitar o minimizar los cambios en los parámetros operativos que se considera que aumentan el riesgo para la operación exitosa de la nueva unidad.
De conformidad con la presente invención, se proporciona un proceso para el control de un proceso de (co)polimerización en fase de suspensión en presencia de un catalizador de polimerización en al menos un reactor de bucle de un sistema de múltiples reactores, proceso que comprende mantener la AMPLITUD de densidad de las partículas de polvo de polímero (definido como el valor absoluto de la diferencia de densidad en g/cm3 entre la densidad promedio de las partículas de polímero que salen del reactor con un tamaño de partícula por encima de D90 y la densidad promedio del material con un tamaño de partícula por debajo de D10) por debajo de 0,005, preferentemente por debajo de 0,003, más preferentemente por debajo de 0,0026, lo más preferentemente por debajo de 0,0023, siendo dicho proceso realizado en un reactor de bucle de un volumen de 75-200 m3 con una concentración de sólidos de al menos el 20 % en volumen y con un rendimiento de espacio-tiempo (que es la velocidad de producción de polímero
por unidad de volumen del reactor de bucle) en el intervalo de 0,1 -0,4 toneladas/hora/m3.
En una realización preferida de la presente invención, el proceso comprende polimerizar un monómero de olefina en al menos un reactor de bucle de una construcción tubular continua de un sistema de múltiples reactores, opcionalmente, junto con un comonómero de olefina, en presencia de un catalizador de polimerización en un diluyente para producir una suspensión que comprende polímero de olefina en partículas sólido y el diluyente, en donde el diámetro interno promedio de al menos el 50 % de la longitud total del reactor es de al menos 700 milímetros y la concentración de sólidos en el reactor es de al menos el 20 % en volumen, preferentemente el 25 % en volumen. Preferentemente al menos el 30 % en peso, lo más preferentemente más del 40 % en peso, del polímero producido en el sistema de múltiples reactores se prepara en al menos un reactor de bucle, en donde el diámetro interno promedio de al menos el 50 % de la longitud total del reactor es de al menos 700 milímetros.
Una ventaja de la presente invención es que se reduce el consumo de energía específica (es decir, la energía consumida por unidad de peso de polímero producido) del reactor de bucle, al tiempo que se mantiene un tiempo de permanencia del reactor dado y se evitan las incrustaciones inaceptables del reactor. La invención resulta especialmente ventajosa cuando se desea diseñar y operar un reactor con cargas altas de sólidos, cuando previamente se ha considerado necesario usar lo que ahora se ha hallado que son velocidades de circulación de bucle excesivamente altas.
La presente invención se refiere a un método para la polimerización continua de olefinas, preferentemente alfa mono olefinas, en una zona de reacción de bucle cerrado tubular alargada. La/s olefina/s se añade/n continuamente a y se pone/n en contacto con un catalizador en un diluyente de hidrocarburo. El/los monómero/s se polimeriza/n para formar una suspensión de polímero en partículas sólido suspendido en el medio de polimerización o diluyente.
Típicamente, en el proceso de polimerización en suspensión de polietileno, la suspensión en el reactor comprenderá el polímero en partículas, el/los diluyente/s de hidrocarburo, el/los (co)monómero/s, el catalizador, los terminadores de cadena, tales como hidrógeno, y otros aditivos del reactor. En particular, la suspensión comprenderá el 20-75, preferentemente el 30-70 por ciento en peso basado en el peso total de la suspensión de polímero en partículas y el 80-25, preferentemente el 70-30 por ciento en peso basado en el peso total de la suspensión de medio de suspensión, donde el medio de suspensión es la suma de todos los componentes fluidos en el reactor y comprenderá el diluyente, el monómero de olefina y cualquier aditivo; el diluyente puede ser un diluyente inerte o puede ser un diluyente reactivo, en particular, un monómero de olefina líquido; en los casos en los que el diluyente principal es un diluyente inerte, el monómero de olefina comprenderá típicamente el 2-20, preferentemente el 4-10 por ciento en peso de la suspensión.
La suspensión se bombea alrededor del sistema de reacción de bucle de trayectoria sin fin relativamente uniforme a velocidades de fluido suficientes (i) para mantener el polímero en suspensión en la suspensión y (ii) para mantener unos gradientes de carga de sólidos y de concentración de sección transversal aceptables.
A continuación, se ha hallado que, para las cargas de sólidos altas, las distribuciones de la concentración de suspensión de sección transversal (tal como lo demuestran las incrustaciones, las variaciones de flujo y/o la transferencia de calor) se pueden mantener dentro de límites operativos aceptables, al tiempo que se aumenta el diámetro interno del reactor tubular por encima de lo que se considera convencionalmente como operacionalmente fiable para al menos uno de los reactores de un sistema de múltiples reactores. Esto es contrario a lo que el experto en la materia creería que es el caso a la luz de las condiciones de proceso convencionales donde el diámetro interno del reactor no es mayor de 600 milímetros y es típicamente de aproximadamente 500 milímetros.
La concentración de sólidos en la suspensión en el al menos un reactor de bucle es de al menos el 20 % en volumen, más preferentemente de al menos el 25 % en volumen y lo más preferentemente de al menos el 30 % en volumen, donde el % en volumen es [(volumen total de la suspensión - volumen del medio de suspensión)/(volumen total de la suspensión)] x100. La concentración de sólidos medida como porcentaje en peso, que es equivalente a la medida como porcentaje en volumen, variará de acuerdo con el polímero producido, pero más particularmente de acuerdo con el diluyente usado. En los casos en los que el polímero producido es polietileno y el diluyente es un alcano, por ejemplo, isobutano, se prefiere que la concentración de sólidos se encuentre por encima del 30, en particular, por encima del 40 % en peso, por ejemplo, en el intervalo del 40-60, preferentemente del 45 %-55 % en peso basado en el peso total de la suspensión.
Se ha hallado que la operación de un proceso de polimerización en un sistema de múltiples reactores donde al menos uno de los reactores tiene un diámetro interno de más de 700 milímetros, es decir, un reactor de mayor diámetro que se usa convencionalmente en la polimerización en suspensión, se puede llevar a cabo sin ningún problema significativo, particularmente con respecto a las incrustaciones en las paredes del reactor.
Preferentemente, más del 50 % de la longitud total del reactor de bucle tiene un diámetro interno de más de 750 mm, por ejemplo, más de 850 mm, y preferentemente entre 700 y 800 milímetros. Se prefiere que más del 50 %, en particular, más del 70 %, por ejemplo, más del 85 % de la longitud total del reactor tenga un diámetro interno de más
de 700 milímetros, en particular, más de 750 milímetros, por ejemplo, entre 700 y 800 milímetros.
Una ventaja particular de la presente invención es que se pueden usar altas concentraciones de suspensión a velocidades de circulación relativamente bajas y diámetros de bucle de reactor relativamente altos. Por consiguiente, el número de Froude en el reactor se mantiene preferentemente en o por debajo de 30, por ejemplo, en el intervalo de 24 a 0,5, más preferentemente de 20 a 1, particularmente en el intervalo de 15 a 2, siendo los intervalos más preferidos de 10 a 3 o de 9 a 2. El número de Froude es un parámetro adimensional que indica el equilibrio entre las tendencias de suspensión y sedimentación de las partículas en una suspensión. Este proporciona una medida relativa del proceso de transferencia de impulso a la pared de tubo desde las partículas en comparación con el fluido. Los valores más bajos del número de Froude indican interacciones más fuertes entre las partículas y la pared (con respecto al fluido y la pared). El número de Froude (Fr) se define como v2/(g(s-1)D), donde v es la velocidad promedio de la suspensión, g es la constante gravitacional, s es la densidad relativa del sólido en el diluyente y D es el diámetro interno del tubo. La densidad relativa del polímero sólido, que es la relación de la densidad del polímero respecto a la densidad del agua, se basa en la densidad recocida del polímero desgasificado después de haberse desvolatilizado sustancialmente e inmediatamente antes de cualquier extrusión, tal como se mide usando el método de la ISO1183A.
Se ha hallado que los reactores se pueden diseñar y operar con una caída de presión específica tanto por unidad de longitud del reactor como por masa de polímero y una caída de presión total para el bucle menor que la enseñada como requerida, particularmente con cargas de sólidos altas y diámetros de reactor grandes. La presente invención permite caídas de presión de bucle totales de menos de 0,13 MPa (1,3 bares), particularmente menos de 0,1 MPa (1 bar), incluso para velocidades de producción de polímeros de por encima de 25, incluso por encima de 45 toneladas por hora. Resulta posible emplear una o más de una bomba en el bucle, preferentemente en una o más secciones horizontales; estas se pueden localizar en la misma sección horizontal o en diferentes secciones. La bomba o las bombas pueden ser del mismo diámetro o mayor o menor diámetro, preferentemente del mismo diámetro que el diámetro interno de la sección del reactor donde se localizan la bomba o las bombas. Resulta preferible emplear una bomba individual y una característica de la presente invención es que los requisitos de número y potencia de la/s bomba/s son menos onerosos que para los procesos convencionales.
El tamaño del reactor es de 75-200 m3, preferentemente en el intervalo de 100-175 m3.
El uso de reactores de mayor diámetro interno para al menos un reactor de bucle de un sistema de múltiples reactores, tal como se ha expuesto anteriormente en el presente documento, permite que se construyan reactores, por ejemplo, que tengan volúmenes mayores de 80 m3, con una relación de longitud respecto a diámetro del reactor menor de 500, preferentemente menor de 400, más preferentemente menor de 250. La reducción de la relación de longitud respecto a diámetro del reactor minimiza los gradientes de composición alrededor del bucle de reacción y permite que se logren velocidades de producción mayores de 25 toneladas (por reactor) por hora con únicamente un punto de introducción individual para cada reactivo alrededor del bucle de reacción. Como alternativa, resulta posible tener múltiples entradas en el reactor de bucle para los reactivos (por ejemplo, olefinas), catalizador u otros aditivos.
En los casos en los que un sistema de reactor está diseñado para operar diferentes tipos de catalizadores (por ejemplo, Ziegler-Natta, cromo y/o metaloceno) o un sistema de catalizador donde la relación de actividad o producción requerida varía significativamente entre los reactores en diferentes regímenes operativos, los reactores de igual volumen son reactores usados típicamente con el fin de adaptarse a todo el intervalo de calidades con la máxima flexibilidad. La existencia de tales dimensiones del reactor impuestas externamente pone limitaciones a la ventana operativa disponible para cada reactor y, por tanto, a la capacidad de equilibrar la actividad del reactor, la calidad del producto, la productividad y el enfriamiento en cada reactor. Generalmente, se prefiere que tales reactores tengan el mismo diámetro interno promedio, lo más preferido es que los reactores se construyan con las mismas dimensiones.
En una realización adicional de la presente invención, se prefiere que el reactor de bucle tenga secciones horizontales y verticales y las secciones verticales comprendan al menos el 50 %, preferentemente al menos el 60 %, más preferentemente al menos el 70 % de la longitud total del reactor.
La amplitud de densidad de las partículas de polvo de polímero (definido como el valor absoluto de la diferencia de densidad en g/cm3 entre la densidad promedio de las partículas de polímero que salen del reactor con un tamaño de partícula por encima de D90 y la densidad promedio del material con un tamaño de partícula por debajo de D10) es por debajo de 0,005, preferentemente por debajo de 0,003, más preferentemente por debajo de 0,0026, lo más preferentemente por debajo de 0,0023.
Los valores de D se miden mediante granulometría de tamizado y se expresan en mm y se pueden definir de la siguiente manera:
D5: valor por debajo del que se recoge el 5 % en peso de las partículas;
D10: valor por debajo del que se recoge el 10 % en peso de las partículas;
D50: valor por debajo del que se recoge el 50 % en peso de las partículas;
D90: valor por debajo del que se recoge el 90 % en peso de las partículas.
D95: valor por debajo del que se recoge el 95 % en peso de las partículas.
Una realización preferida también mantiene una distribución de tamaño de partícula de tal manera que (D90-D10)/D50 es menor de 2, preferentemente menor de 1,5, más preferentemente menor de 1,2. También se prefiere que el D95 sea menor de 2.000 mm, preferentemente menor de 1.500 mm, más preferentemente menor de 1.000 mm, lo más preferentemente menor de 355 mm, donde D95, D90, D50 y D10 se definen de tal manera que el 95 % en peso, el 90 % en peso, el 50 % en peso o el 10 % en peso de las partículas de polímero tienen un diámetro menor de D95, D90, D50 y D10, respectivamente. El tamaño de partícula promedio D50 se encuentra preferentemente entre 100 y 1.500 micrómetros, lo más preferentemente entre 150 y 1.000 micrómetros.
Una realización particularmente preferida tiene una distribución de tamaño de partícula de tal manera que D95 es menor de 355 mm y (D90-D10)/D50 es menor de 1,2, donde D95, D90, D50 y D10.
De acuerdo con otra realización preferida de la presente invención, se ha hallado que el control reivindicado, es decir, el mantenimiento de la amplitud de densidad por debajo de determinados valores, fue altamente crítico para los catalizadores de metaloceno.
Un beneficio adicional de la presente invención es la mejora de la velocidad y la seguridad asociadas a los arranques y las transiciones de calidad. Cuando se cambia de calidades, las composiciones de monómeros e hidrógeno y las propiedades del producto se pueden cambiar continuamente y la cantidad de absorción de monómeros en el polímero se verá alterada adicionalmente por las propiedades cambiantes del producto (principalmente, la densidad) y la composición del gas.
El control de la amplitud de acuerdo con la presente invención permite que se mejore la velocidad de los arranques y las transiciones y se minimice la producción de material de amplia especificación.
Particularmente, se ha hallado que la operación estable de los reactores de alta capacidad, particularmente los reactores de bucle de diámetro grande, se puede optimizar mediante el control estricto de la amplitud de densidad del polvo dentro o extraído del reactor.
Con muchos sistemas de catalizadores, la amplitud de densidad puede variar significativamente con el tamaño de partícula y/o la distribución de tamaño de partícula. Los principales determinantes del tamaño de partícula promedio del polvo son el tiempo de permanencia en el reactor y el rendimiento del catalizador. La distribución de tamaño de partícula del polvo se puede ver afectada por muchos factores, incluyendo el tipo y la distribución de tamaño de partícula, del catalizador alimentado al reactor, la actividad de catalizador inicial y promedio, la solidez del soporte de catalizador y la susceptibilidad del polvo a fragmentarse en condiciones de reacción. Se pueden usar dispositivos de separación de sólidos (tales como hidrociclones) en la suspensión extraída del reactor para ayudar a controlar el tamaño de partícula promedio y la distribución de tamaño de partícula del polvo en el reactor. La localización del punto de extracción del dispositivo de concentración y el diseño y las condiciones de operación del sistema del dispositivo de concentración, preferentemente el al menos un bucle de recirculación de hidrociclón, también permiten que se controlen el tamaño de partícula y la distribución de tamaño de partícula dentro del reactor.
Una alternativa es seleccionar un catalizador específico que se ha hallado que da la distribución de tamaño de partícula deseada. La ventaja de los sistemas de catalizadores que proporcionan la distribución de tamaño de partícula deseada es que estos se pueden usar con alta productividad: generalmente, cuanto mayor es la productividad (medida en g de polímero por g de catalizador), más grandes son las partículas de polímero individuales formadas. Por tanto, la presente invención permite el uso de sistemas de catalizadores que tienen una productividad de al menos 5.000 g de poliolefina/g de catalizador y típicamente de al menos 10.000 g de poliolefina/g de catalizador, lo más preferentemente por encima de 15.000 g de poliolefina/g de catalizador.
También se puede introducir en el reactor de polimerización un prepolímero de distribución de tamaño de partícula controlada preparado usando cualquier catalizador, tal como se ha descrito anteriormente. La prepolimerización se puede llevar a cabo mediante cualquier proceso adecuado, por ejemplo, la polimerización en un diluyente de hidrocarburo líquido o en fase gaseosa usando un proceso por lotes, un proceso semicontinuo o un proceso continuo. La conversión en prepolímero se lleva a cabo, generalmente, mediante la puesta del catalizador en contacto con una o más alfa-olefinas en tales cantidades que el prepolímero contiene entre 0,002 y 10 milimoles de metal de transición por gramo. El tamaño de partícula del prepolímero se puede controlar mediante el tamizado, la separación por hidrociclón o elutriación de finos o partículas grandes u otras técnicas conocidas.
La presente invención comprende un sistema de múltiples reactores en donde uno de los reactores es un reactor de bucle. El reactor de bucle puede tener una o más características del reactor de bucle expuesto anteriormente en el presente documento. El segundo o cualquier reactor posterior del sistema de múltiples reactores puede ser otro reactor de bucle o cualquier reactor para la polimerización de olefinas, por ejemplo, un reactor de lecho fluidizado. Sin
embargo, resulta preferible que el segundo o cualquier reactor posterior del sistema de múltiples reactores sea otro reactor de bucle que pueda tener o no una o más características de los reactores de bucle expuestos anteriormente en el presente documento. Por ejemplo, el reactor de bucle de la invención puede tener un diámetro interno de al menos el 50 % de su longitud mayor de 700 milímetros, mientras que el segundo o cualquier reactor de bucle posterior puede tener un diámetro interno mayor de 500 milímetros, por ejemplo, mayor de 600 milímetros, preferentemente mayor de 700 milímetros.
El sistema de múltiples reactores se puede usar para preparar polímeros monomodales o multimodales, preferentemente multimodales. Preferentemente, el proceso de la invención comprende preparar un polímero de etileno multimodal, en particular, un polímero de etileno bimodal, en el que se prepara un polímero de peso molecular bajo (LMW en inglés) en un reactor y un polímero de peso molecular alto (HMW en inglés) en otro reactor, siendo los polímeros preparados en cualquier orden y siendo el segundo polímero preparado en presencia del primero. Uno o ambos reactores pueden tener un diámetro interno de al menos 700 mm a lo largo de al menos el 50 % de su longitud.
En una realización de la invención, el proceso en el sistema de múltiples reactores comprende la preparación de un polímero de etileno multimodal que tiene una densidad mayor de 940 kg/m3 y un índice del flujo de fusión MI5 de 0,05 a 50 g/10 min, comprendiendo dicho polímero de etileno: del 30 al 70 % en peso,
basándose en el peso total del polímero de etileno, de una primera fracción de polietileno que tiene una densidad de al menos 950 kg/m3 y un índice del flujo de fusión MI2 de al menos 10 g/10 min, y
del 70 al 30 % en peso, basándose en el peso total del polímero de etileno multimodal, de una segunda fracción de polietileno que comprende unidades de etileno y, opcionalmente, hasta el 5 % en moles de al menos otra alfa-olefina que contiene de 3 a 12 átomos de carbono y un índice del flujo de fusión MI2 de menos de 10 g/10 min.
Un polímero alternativo es un polímero de etileno multimodal que tiene una densidad entre 900 y 930 kg/m3 y un índice del flujo de fusión MI2 de 0,1 a 20 g/10 min, comprendiendo dicho polímero de etileno:
del 30 al 70 % en peso, basándose en el peso total del polímero de etileno, de una primera fracción de polietileno que tiene una densidad de menos de 950 kg/m3 y un índice del flujo de fusión MI2 de al menos 10 g/10 min, y del 70 al 30 % en peso, basándose en el peso total del polímero de etileno multimodal, de una segunda fracción de polietileno que comprende unidades de etileno, del 0,1 al 20 % en moles de una alfa-olefina que contiene de 3 a 12 átomos de carbono y un índice del flujo de fusión MI2 de menos de 10 g/10 min.
El reactor de bucle utilizado en la presente invención es el reactor en el que se prepara ya sea la primera o la segunda fracción de polietileno a la que se ha hecho referencia anteriormente.
Aunque este se puede preparar en más de dos reactores, lo más preferido es que el polímero sea un polímero bimodal preparado en dos reactores en serie. Uno o ambos reactores pueden tener un diámetro interno de al menos 700 mm a lo largo de al menos el 50 % de su longitud. El primer polímero preparado en el primer reactor puede ser un polímero de peso molecular bajo (LMW) y el segundo polímero preparado en el segundo reactor puede ser un polímero de peso molecular alto (HMW). En una realización, se prepara el 30-70 % en peso y más preferentemente el 40-60 % en peso de un polímero de peso molecular bajo (LMW) en el primer reactor y se prepara el 70-30 % en peso y más preferentemente el 60-40 % en peso de un polímero de peso molecular alto (HMW) en el segundo reactor. El intervalo más preferido de las relaciones de los polímeros de HMW y LMW es del 45-55 % en peso al 55-45 % en peso.
En una realización alternativa, el polímero de HMW se prepara en el primer reactor y el polímero de LMW en el segundo reactor, preferentemente en las mismas relaciones mencionadas anteriormente. Los siguientes requisitos se aplican únicamente a esta realización. En este caso, el primer reactor (HMW) tiene preferentemente un rendimiento de espacio-tiempo (definido como producción de polímero en kg/h por unidad de volumen de reactor) mayor de 100 kg/m3/h, más preferentemente mayor de 150 kg/m3/h y lo más preferentemente mayor de 250 kg/m3/h. También se prefiere, en este caso, que la relación del rendimiento de espacio-tiempo en el primer reactor (HMW) respecto al segundo reactor (LMW) sea mayor de 1, más preferentemente mayor de 1,2, lo más preferentemente mayor de 1,5. Esto se puede lograr mediante el diseño del primer reactor (HMW) con un volumen que no sea mayor del 90 %, preferentemente entre el 30-70 % y más preferentemente de aproximadamente el 40-60 %, del volumen del segundo reactor (LMW). En las circunstancias anteriores, preferentemente, la relación de la longitud respecto al diámetro (L/D) del primer reactor es mayor de 350, más preferentemente entre 500 y 3.000, lo más preferentemente mayor de 750. La relación de la L/D del primer reactor respecto a la L/D del segundo reactor también se prefiere, como alternativa o adicionalmente, que sea mayor de 1,5, lo más preferentemente mayor de 2.
En la realización de HMW-LMW de la invención, en caso de que los reactores difieran en cuanto al volumen en no más del 10 %, se prefiere equilibrar las actividades entre los reactores y las respectivas capacidades de enfriamiento mediante el mantenimiento de la temperatura del primer reactor entre 60 °C y 80 °C, preferentemente no superior a 75 °C. También se prefiere que la relación de concentración de sólidos en el primer reactor respecto a la del segundo reactor se mantenga menor de 1,0, preferentemente entre 0,6 y 0,8, ya que esto también ayuda en el mantenimiento del equilibrio de actividad entre los dos reactores dentro del intervalo deseado. Generalmente, la concentración de sólidos en el reactor final es de al menos el 35 % en peso, lo más preferentemente entre el 45 % en peso y el 60 %
en peso y la concentración de sólidos en el reactor de HMW se encuentra entre el 20 % en peso y el 50 % en peso, más preferentemente entre el 25 % en peso y el 35 % en peso. En estas circunstancias, se prefiere concentrar los sólidos transferidos del primer reactor al segundo reactor usando una zona de sedimentación y/o un hidrociclón para concentrar la concentración de sólidos. Lo más preferentemente, se introduce una corriente de diluyente libre de comonómero corriente arriba del hidrociclón para minimizar el comonómero transferido al reactor corriente abajo, maximizando así el potencial de densidad en el reactor de LMW. La concentración de sólidos se basa en el peso de polímero en el peso total de la suspensión de polímero en partículas.
Cuando el polímero de HMW se produce en un reactor corriente arriba del reactor de polímero de LMW, se prefiere que la relación del diámetro interno promedio del reactor de HMW respecto al diámetro interno promedio del reactor de LMW sea entre 0,8 y 1,4, generalmente menor de 1, preferentemente menor de 1,2, más preferentemente menor de 1,4. En esta configuración, se prefiere que al menos el 50 % de la longitud total del reactor de LMW sea de al menos 700 mm, mientras que el diámetro interno promedio del reactor de HMW sea menor de 700 milímetros, preferentemente menor de 600 milímetros.
Cuando el polímero de LMW se produce en un reactor corriente arriba del reactor de polímero de HMW, se prefiere que la relación del diámetro interno promedio del reactor de HMW respecto al diámetro interno promedio del reactor de HMW sea entre 0,6 y 1,4, generalmente entre 0,8 y 1,2, lo más preferentemente entre 0,9 y 1,1. Se prefiere que los reactores tengan el mismo diámetro interno promedio, lo que más se prefiere es que ambos reactores estén construidos con las mismas dimensiones.
Haciendo referencia, generalmente, a la presente invención, en caso de que el sistema de múltiples reactores comprenda dos reactores de bucle, se prefiere que el número de Froude en al menos un reactor de bucle no sea mayor de 30 y la relación del número de Froude en ese reactor respecto al número de Froude en el otro reactor de bucle se encuentre en el intervalo de 0,1 a 10, preferentemente de 0,2 a 5.
En una realización adicional de la invención, una suspensión que contiene polímero se extrae del segundo reactor y se transfiere a un tanque de vaporización instantánea que opera a tal presión P y temperatura que al menos el 50 % en moles del componente líquido de la suspensión se extrae del tanque de vaporización instantánea en forma de vapor. Preferentemente, el proceso anterior permite que al menos el 98 % en moles, más preferentemente el 98,5 % en moles, lo más preferentemente el 98,5 % en moles, del vapor extraído del tanque de vaporización instantánea se condense sin compresión. También se prefiere que al menos el 80 % en moles, más preferentemente el 90 % en moles, lo más preferentemente el 95 % en moles, del componente líquido de la suspensión se extraiga del tanque de vaporización instantánea en forma de vapor.
La presión empleada en el bucle o los bucles es preferentemente suficiente para mantener el sistema de reacción 'lleno de líquido', es decir, que no exista sustancialmente ninguna fase gaseosa. Las presiones típicas usadas son entre 0,1-10 MPa (1-100 bares), preferentemente entre 3 y 5 MPa (30 y 50 bares). En la polimerización de etileno, la presión parcial de etileno se encontrará típicamente en el intervalo de 0,1 a 5 MPa, preferentemente de 0,2 a 2 MPa, más particularmente de 0,4 a 1,5 MPa. Las temperaturas seleccionadas son tales que sustancialmente todo el polímero producido está esencialmente (i) en una forma particular sólida no adherente y no aglomerante y es (ii) insoluble en el diluyente. La temperatura de polimerización depende del diluyente de hidrocarburo elegido y del polímero que se produce. En la polimerización de etileno, la temperatura es generalmente por debajo de 130 °C, típicamente entre 50 y 125 °C, preferentemente entre 75 y 115 °C. Por ejemplo, en la polimerización de etileno en diluyente de isobutano, la presión empleada en el bucle se encuentra preferentemente en el intervalo de 3-5 MPa (30 50 bares), la presión parcial de etileno se encuentra preferentemente en el intervalo de 0,2 a 2 MPa y la temperatura de polimerización se encuentra en el intervalo de 75 a 115 °C. El rendimiento de espacio-tiempo, que es la velocidad de producción de polímero por unidad de volumen del reactor de bucle, para el proceso de la presente invención se encuentra en el intervalo de 0,1 a 0,4, preferentemente de 0,2 a 0,35 toneladas/hora/m3. En los casos en los que existen dos o más bucles, las condiciones de reacción pueden ser iguales o diferentes en diferentes bucles.
El proceso de acuerdo con la invención se aplica a la preparación de composiciones que contienen polímeros de olefinas (preferentemente, etileno) que pueden comprender uno o varios homopolímeros de olefinas y/o uno o varios copolímeros. Este resulta particularmente adecuado para la fabricación de polímeros de etileno y polímeros de propileno. Los copolímeros de etileno típicamente comprenden una alfa-olefina en una cantidad variable que puede alcanzar el 12 % en peso, preferentemente del 0,5 al 6 % en peso, por ejemplo, aproximadamente el 1 % en peso.
Los monómeros de alfa mono-olefina generalmente empleados en tales reacciones son una o más 1-olefinas que tienen hasta 8 átomos de carbono por molécula y que no se ramifican más cerca del enlace doble que en la posición 4. Los ejemplos típicos incluyen etileno, propileno, buteno-1, penteno-1, hexeno-1 y octeno-1 y mezclas, tales como etileno y buteno-1 o etileno y hexeno-1. El buteno-1, el penteno-1 y el hexeno-1 son comonómeros particularmente preferidos para la copolimerización de etileno.
Los diluyentes típicos empleados en tales reacciones incluyen hidrocarburos que tienen de 2 a 12, preferentemente de 3 a 8, átomos de carbono por molécula, por ejemplo, alcanos lineales, tales como propano, n-butano, n-hexano y
n-heptano, o alcanos ramificados, tales como isobutano, isopentano, isooctano y 2,2-dimetilpropano, o cicloalcanos, tales como ciclopentano y ciclohexano o sus mezclas. En el caso de la polimerización de etileno, el diluyente es generalmente inerte con respecto al catalizador, cocatalizador y polímero producido (tal como los hidrocarburos alifáticos, cicloalifáticos y aromáticos líquidos), a una temperatura de tal manera que al menos el 50 % (preferentemente al menos el 70 %) del polímero formado es insoluble en el mismo. Se prefiere particularmente el isobutano como diluyente para la polimerización de etileno.
Las condiciones operativas también pueden ser tales que los monómeros (por ejemplo, etileno, propileno) actúen como diluyentes, tal como es el caso en los denominados procesos de polimerización en bloque. Se ha hallado que los límites de concentración de la suspensión en porcentaje en volumen se pueden aplicar independientemente del peso molecular del diluyente y de si el diluyente es inerte o reactivo, líquido o supercrítico. El monómero de propileno es particularmente preferido como diluyente para la polimerización de propileno.
En la técnica, se conocen métodos de regulación del peso molecular. Cuando se usan los catalizadores de tipo Ziegler-Natta, metaloceno y metal de transición tardía tridentado, preferentemente se usa hidrógeno, dando como resultado una presión de hidrógeno más alta un peso molecular promedio más bajo. Cuando se usan los catalizadores de tipo cromo, la temperatura de polimerización se usa preferentemente para regular el peso molecular.
En plantas comerciales, el polímero en partículas se separa del diluyente de tal manera que el diluyente no se expone a la contaminación para permitir la recirculación del diluyente a la zona de polimerización con una purificación mínima, si es que la hay. La separación del polímero en partículas producido mediante el proceso de la presente invención del diluyente típicamente puede ser mediante cualquier método conocido en la técnica, por ejemplo, esta puede implicar ya sea (i) el uso de brazos de sedimentación verticales discontinuos, de tal manera que el flujo de la suspensión a través de la abertura de los mismos proporciona una zona donde las partículas de polímero se pueden sedimentar en cierta medida a partir del diluyente, o (ii) la extracción continua del producto, a través de uno o múltiples puertos de extracción, cuya localización puede estar en cualquier lugar del reactor de bucle, pero preferentemente es adyacente al extremo corriente abajo de una sección horizontal del bucle. Cualquier puerto de extracción continua tendrá típicamente un diámetro interno en el intervalo de 2-25, preferentemente de 4-15, especialmente de 5-10 cm. La presente invención permite que los reactores de polimerización a gran escala se operen con requisitos de baja recuperación de diluyente. La operación de los reactores de gran diámetro con altas concentraciones de sólidos en la suspensión minimiza la cantidad del diluyente principal extraído del bucle de polimerización. El uso de dispositivos de concentración en la suspensión de polímero extraída, preferentemente hidrociclones (individuales o en el caso de múltiples hidrociclones en paralelo o en serie), mejora adicionalmente la recuperación del diluyente de una manera energéticamente eficaz, dado que se evita una reducción significativa de la presión y la vaporización del diluyente recuperado.
Se ha hallado que la concentración de la suspensión en el bucle de reactor se puede optimizar mediante el control del tamaño de partícula promedio y/o la distribución de tamaño de partícula del polvo dentro del bucle de reactor. El principal determinante del tamaño de partícula promedio del polvo es el tiempo de permanencia en el reactor. La distribución de tamaño de partícula del polvo se puede ver afectada por muchos factores, incluyendo la distribución de tamaño de partícula del catalizador alimentado al reactor, la actividad de catalizador inicial y promedio, la solidez del soporte de catalizador y la susceptibilidad del polvo a fragmentarse en condiciones de reacción. Se pueden usar dispositivos de separación de sólidos (tales como hidrociclones) en la suspensión extraída del bucle de reactor para ayudar adicionalmente a controlar el tamaño de partícula promedio y la distribución de tamaño de partícula del polvo en el reactor. La localización del punto de extracción del dispositivo de concentración y el diseño y las condiciones de operación del sistema del dispositivo de concentración, preferentemente el al menos un bucle de recirculación de hidrociclón, también permiten que se controlen el tamaño de partícula y la distribución de tamaño de partícula dentro del reactor. El tamaño de partícula promedio se encuentra preferentemente entre 100 y 1.500 micrómetros, lo más preferentemente entre 250 y 1.000 micrómetros.
Cuando el reactor final del sistema de múltiples reactores es un reactor de bucle, la suspensión de polímero extraída y, preferentemente, concentrada se despresuriza y, opcionalmente, se calienta, antes de su introducción en un recipiente de vaporización instantánea primario. Preferentemente, la corriente se calienta después de la despresurización.
El diluyente y cualquier vapor de monómero recuperado en el recipiente de vaporización instantánea primario se condensan típicamente, preferentemente sin recompresión, y se reusan en el proceso de polimerización. La presión del recipiente de vaporización instantánea primario se controla preferentemente para permitir la condensación con un medio de enfriamiento fácilmente disponible (por ejemplo, agua de enfriamiento) de esencialmente todo el vapor de vaporización instantánea antes de cualquier recompresión. Típicamente, tal presión en dicho recipiente de vaporización instantánea primario será de 0,4-2,5 (4-25), por ejemplo, de 1-2 (10-20), preferentemente de 1,5-1,7 MPa (15-17 bares). Los sólidos recuperados del recipiente de vaporización instantánea primario se hacen pasar preferentemente a un recipiente de vaporización instantánea secundario para retirar los productos volátiles residuales. Como alternativa, la suspensión se puede hacer pasar a un recipiente de vaporización instantánea de menor presión que en el recipiente primario mencionado anteriormente, de tal manera que se necesite recompresión para condensar
el diluyente recuperado. Se prefiere el uso de un recipiente de vaporización instantánea de alta presión.
El proceso de acuerdo con la invención se puede usar para producir resinas que presenten una densidad específica en el intervalo de 890 a 930 kg/m3 (densidad baja), de 930 a 940 kg/m3 (densidad media) o de 940 a 970 kg/m3 (densidad alta).
El proceso de acuerdo con la invención es relevante para todos los sistemas de catalizadores de polimerización de olefinas, particularmente aquellos elegidos de los catalizadores de tipo Ziegler, en particular, aquellos derivados del titanio, circonio o vanadio, y de los catalizadores de sílice térmicamente activada o de óxido de cromo soportado inorgánico y de los catalizadores de tipo metaloceno, siendo el metaloceno un derivado de ciclopentadienilo de un metal de transición, en particular, de titanio o circonio.
Los ejemplos no limitantes de catalizadores de tipo Ziegler son los compuestos que comprenden un metal de transición elegido de los grupos IIIB, IVB, VB o VIB de la tabla periódica, magnesio y un halógeno obtenido mediante el mezclado de un compuesto de magnesio con un compuesto del metal de transición y un compuesto halogenado. Opcionalmente, el halógeno puede formar una parte integral del compuesto de magnesio o del compuesto de metal de transición.
Los catalizadores de tipo metaloceno pueden ser metalocenos activados mediante un alumoxano o mediante un agente ionizante, tal como se describe, por ejemplo, en la solicitud de patente EP-500.944-A1 (Mitsui Toatsu Chemicals).
Los catalizadores de tipo Ziegler son los más preferidos. Entre estos, los ejemplos particulares incluyen al menos un metal de transición elegido de los grupos IIIB, IVB, VB y VIB, magnesio y al menos un halógeno. Se obtienen buenos resultados con aquellos que comprenden:
del 10 al 30 % en peso de metal de transición, preferentemente del 15 al 20 % en peso,
del 20 al 60 % en peso de halógeno, preferentemente del 30 al 50 % en peso,
del 0,5 al 20 % en peso de magnesio, normalmente del 1 al 10 % en peso,
del 0,1 al 10 % en peso de aluminio, generalmente del 0,5 al 5 % en peso,
consistiendo el resto generalmente en elementos que surgen de los productos usados para su fabricación, tales como carbono, hidrógeno y oxígeno. El metal de transición y el halógeno son preferentemente titanio y cloro.
Las polimerizaciones, particularmente aquellas catalizadas con Ziegler, típicamente se llevan a cabo en presencia de un cocatalizador. Resulta posible usar cualquier cocatalizador conocido en la técnica, especialmente los compuestos que comprenden al menos un enlace químico de aluminio-carbono, tales como los compuestos de organoaluminio opcionalmente halogenados, que pueden comprender oxígeno o un elemento del grupo I de la tabla periódica, y los aluminoxanos. Los ejemplos particulares serían los compuestos de organoaluminio, de trialquilaluminios, tales como trietilaluminio, trialquenilaluminios, tales como triisopropenilaluminio, monoalcóxidos y dialcóxidos de aluminio, tales como etóxido de dietilaluminio, alquilaluminios monohalogenados y dihalogenados, tales como cloruro de dietilaluminio, monohidruros y dihidruros de alquilaluminio, tales como hidruro de dibutilaluminio, y los compuestos de organoaluminio que comprenden litio, tales como LiAl(C2H5)4. Los compuestos de organoaluminio, especialmente aquellos que no están halogenados, se adaptan bien. Resultan especialmente ventajosos el trietilaluminio y el triisobutilaluminio.
Se prefiere que el catalizador basado en cromo comprenda un catalizador de óxido de cromo soportado que tenga un soporte que contenga titania, por ejemplo, un soporte de material compuesto de sílice y titania. Un catalizador basado en cromo particularmente preferido puede comprender del 0,5 al 5 % en peso de cromo, preferentemente aproximadamente el 1 % en peso de cromo, tal como el 0,9 % en peso de cromo, basándose en el peso del catalizador que contiene cromo. El soporte comprende al menos el 2 % en peso de titanio, preferentemente aproximadamente del 2 al 3 % en peso de titanio, más preferentemente aproximadamente el 2,3 % en peso de titanio, basándose en el peso del catalizador que contiene cromo. El catalizador basado en cromo puede tener un área superficial específica de 200 a 700 m2/g, preferentemente de 400 a 550 m2/g, y una porosidad en volumen mayor de 2 cm3/g, preferentemente de 2 a 3 cm3/g.
Los catalizadores de cromo soportado en sílice se someten típicamente a una etapa de activación inicial en aire a una temperatura de activación elevada. La temperatura de activación varía preferentemente de 500 a 850 °C, más preferentemente de 600 a 750 °C.
El sistema de reactor puede comprender uno o más reactores de bucle conectados en serie o en paralelo, preferentemente en serie.
En el caso de los reactores en serie, un primer reactor de la serie se alimenta con el catalizador y el cocatalizador, además del diluyente y el monómero, y cada reactor posterior se alimenta con, al menos, el monómero, en particular, etileno y con la suspensión procedente de un reactor anterior de la serie, comprendiendo esta mezcla el catalizador,
el cocatalizador y una mezcla de los polímeros producidos en un reactor precedente de la serie. Opcionalmente, resulta posible alimentar un segundo reactor y/o, si resulta adecuado, al menos uno de los siguientes reactores con catalizador y/o cocatalizador nuevos. Sin embargo, resulta preferible introducir el catalizador y el cocatalizador exclusivamente en un primer reactor.
En el caso de al menos dos reactores en serie, el polímero de índice de fusión más alto y el polímero de índice de fusión más bajo se pueden producir en dos reactores adyacentes o no adyacentes de la serie. El hidrógeno se mantiene a (i) una concentración baja (o nula) en el/los reactor/es que fabrican los componentes de peso molecular alto, por ejemplo, los porcentajes de hidrógeno que incluyen entre el 0-0,1 % en volumen, y a (ii) una concentración muy alta en el/los reactor/es que fabrican los componentes de peso molecular bajo, por ejemplo, los porcentajes de hidrógeno entre el 0,5-2,4 % en volumen. Los reactores se pueden operar igualmente para producir esencialmente el mismo índice de fusión del polímero en reactores sucesivos.
Sin embargo, la sensibilidad particular para operar en reactores de gran diámetro (y los gradientes de composición, térmicos o de partículas de sección transversal asociados) se ha relacionado con la producción de resinas de polímero, donde se ha sabido que el polímero de resinas de peso molecular alto o bajo conduce a un aumento de los problemas de incrustaciones. Particularmente, cuando se producen polímeros de pesos moleculares menores de 50 kDa o mayores de 150 kDa. Se ha confirmado particularmente que estos problemas se acentúan a bajas concentraciones de sólidos de polímero en el bucle de reactor. Sin embargo, cuando se producen polímeros de pesos moleculares menores de 50 kDa o mayores de 200 kDa (o con un índice de fusión por debajo de 0,1 y por encima de 50) en los reactores de gran diámetro, se ha descubierto sorprendentemente que las incrustaciones se disminuyen cuando las cargas de sólidos se aumentan hasta por encima del 20 % en volumen, particularmente por encima del 30 % en volumen.
Ejemplos
Tal como se ha indicado previamente, una de las ventajas de la invención es que las distribuciones de sección transversal de la concentración de suspensión se pueden mantener dentro de los límites operativos aceptables a diámetros de reactor altos, incluso con cargas altas de sólidos. La distribución de sección transversal de la concentración de suspensión real no se puede medir directamente, pero se pueden medir otros parámetros como indicación de la homogeneidad de la suspensión.
EJEMPLO 1
En el siguiente Ejemplo, el etileno se polimerizó en dos reactores en serie. El primer reactor tenía un volumen de 96 m3 y un diámetro interno a lo largo de más del 98 % de su longitud de 730 mm. El contenido de sólidos fue del 27-28 % en volumen. El contenido de sólidos volumétrico se define como (velocidad de producción volumétrica de PE/volumen de suspensión que sale del reactor), donde: Velocidad de producción volumétrica de PE = (alimentación en masa de etileno - flujo en masa de etileno que sale del reactor)/densidad de PE]
Volumen de suspensión que sale del reactor = Volumen de líquido que sale Velocidad de producción volumétrica de PE
Volumen de líquido que sale del reactor = [Suma de las alimentaciones en masa - Producción en masa de PE]/densidad de líquido
La densidad de PE se mide en polvo seco y desgasificado.
La densidad del líquido se calcula basándose en cualquier modelo adecuado (usando composición, temperatura y presión).
Requisito de potencia de la bomba de circulación
El requisito de potencia de la bomba de circulación dentro del reactor de bucle se ve afectado no únicamente por la presión del flujo, sino también por el gradiente de concentración de suspensión. Este resulta particularmente sensible a los gradientes de concentración porque se localiza en un codo en el reactor de bucle, donde es más probable que haya segregación del flujo, lo que provoca variaciones en la densidad de la suspensión que se bombea. En los casos en los que existen pocas incrustaciones y una buena circulación, se observa una demanda de potencia relativamente constante a lo largo del tiempo. La Figura 1 muestra un gráfico del requisito de potencia y corriente de la bomba (representado como un valor relativo en lugar de absoluto) durante un período de una hora para la polimerización del Ejemplo 1. La variación que se muestra en este caso es mayor de lo que se esperaría para un disolvente puro, pero es baja para una suspensión que contiene polímero, lo que indica que se está produciendo poca o ninguna segregación de la suspensión.
Temperatura del reactor
La temperatura en diferentes puntos del reactor también se ve afectada por el gradiente de concentración de suspensión. Las diferencias absolutas en la temperatura medida en diferentes puntos de un reactor se pueden deber
a diferencias en la calibración de los termopares, por lo que, con el fin de identificar diferencias "reales" de temperatura, se mide la variación durante una transición de temperatura. En una suspensión no homogénea, la tendencia de tales transiciones de temperatura variaría. La Figura 2 muestra tal transición para la polimerización del Ejemplo 1. La Figura 2 muestra que en el Ejemplo 1 la tendencia de transición de temperatura es constante en todo el reactor, lo que indica una buena homogeneidad.
Coeficiente de transferencia de calor en la pared de reactor
Un efecto significativo de las incrustaciones de un reactor es el cambio en el coeficiente de transferencia de calor a través de la pared de reactor. El coeficiente de transferencia de calor se puede medir durante un período muy largo (muchos meses) y la ausencia de cualquier reducción indica que no existe ninguna acumulación de material incrustante durante este tiempo. La Figura 3 muestra el coeficiente de transferencia de calor del Ejemplo 1 durante un período de 250 días, a partir de lo que se puede observar que no existe ninguna reducción a largo plazo en el coeficiente.
Claims (14)
1. Un proceso para el control de un proceso de (co)polimerización en fase de suspensión en presencia de un catalizador de polimerización en al menos un reactor de bucle de un sistema de múltiples reactores, proceso que comprende mantener la AMPLITUD de densidad de las partículas de polvo de polímero (definido como el valor absoluto de la diferencia de densidad en g/cm3 entre la densidad promedio de las partículas de polímero que salen del reactor con un tamaño de partícula por encima de D90 y la densidad promedio del material con un tamaño de partícula por debajo de D10) por debajo de 0,005, preferentemente por debajo de 0,003, más preferentemente por debajo de 0,0026, lo más preferentemente por debajo de 0,0023, siendo dicho proceso realizado en un reactor de bucle de un volumen de 75-200 m3 con una concentración de sólidos de al menos el 20 % en volumen y con un rendimiento de espacio-tiempo (que es la velocidad de producción de polímero por unidad de volumen del reactor de bucle) en el intervalo de 0,1-0,4 toneladas/hora/m3
2. Proceso de acuerdo con la reivindicación 1, en donde la distribución de tamaño de partícula de las partículas de polímero es tal que (D90-D10)/D50 es menor de 2, preferentemente menor de 1,5, más preferentemente menor de 1,2, en el que D10, D50 y D90 son los diámetros en los que se recoge el 10 %, 50 % y 90 % en peso, respectivamente, de las partículas.
3. Proceso de acuerdo con la reivindicación 1 o 2, en donde D95 es menor de 2.000 mm, preferentemente menor de 1.500 mm, más preferentemente menor de 1.000 mm, lo más preferentemente menor de 355 mm, en el que D95 es el diámetro por debajo del que se recoge el 95 % en peso de las partículas.
4. Proceso de acuerdo con cualquier reivindicación anterior, en el que un monómero de olefina se polimeriza en al menos un reactor de bucle tubular continuo de un sistema de múltiples reactores, opcionalmente, junto con un comonómero de olefina, en presencia de un catalizador de polimerización en un diluyente para producir una suspensión que comprende polímero de olefina en partículas sólido y diluyente, en donde el diámetro interno promedio de al menos el 50 % de la longitud total del reactor de bucle tubular continuo es de al menos 700 mm.
5. Proceso de acuerdo con la reivindicación 4, en el que el volumen del reactor es mayor de 80 m3 y la relación de la longitud respecto al diámetro del reactor es menor de 500.
6. Proceso de acuerdo con la reivindicación 4, en donde la concentración de sólidos en el reactor de bucle tubular continuo es de al menos el 25 % en volumen, lo más preferentemente de al menos el 30 % en volumen.
7. Proceso de acuerdo con la reivindicación 4, en donde el diámetro interno promedio de al menos el 50 % de la longitud total del reactor de bucle tubular continuo es de al menos 750 mm, preferentemente de al menos 850 mm.
8. Proceso de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 4 a 7, en donde más del 70 %, preferentemente más del 85 %, de la longitud total del reactor de bucle tubular continuo tiene un diámetro interno de al menos 700 mm.
9. Proceso de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 4 a 8, en donde más del 70 %, preferentemente más del 85 %, de la longitud total del reactor de bucle tubular continuo tiene un diámetro interno de al menos 750 mm, preferentemente de al menos 850 mm.
10. Proceso de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 4 a 9, en donde el número de Froude se mantiene preferentemente en al menos un reactor del sistema de múltiples reactores en o por debajo de 30, preferentemente entre 1 y 20 y más preferentemente entre 2 y 15.
11. Proceso de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 4 a 10, en donde la caída de presión total en el bucle del reactor es menor de 0,13 MPa (1,3 bares), preferentemente menor de 0,1 MPa (1 bar), y la velocidad de producción de polímero es mayor de 25 toneladas por hora, preferentemente mayor de 45 toneladas por hora.
12. Proceso de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 4 a 11, en donde al menos el 30 % en peso, preferentemente más del 40 % en peso, del polímero total producido en el sistema de múltiples reactores se prepara en dicho reactor de bucle tubular continuo.
13. Proceso de acuerdo con cualquier reivindicación anterior, que comprende preparar un polímero de etileno multimodal, en el que se prepara un polímero de peso molecular bajo (LMW en inglés) en un reactor y un polímero de peso molecular alto (HMW en inglés) en otro reactor, siendo los polímeros preparados en cualquier orden y siendo el segundo polímero preparado en presencia del primero.
14. Proceso de acuerdo con la reivindicación 13, en donde:
el polímero de etileno multimodal tiene una densidad mayor de 940 kg/m3 y un índice del flujo de fusión MI5 de 0,05 a 50 g/10 min, comprendiendo dicho polímero de etileno:
del 30 al 70 % en peso, basándose en el peso total del polímero de etileno, de una primera fracción de polietileno que tiene una densidad de al menos 950 kg/m3 y un índice del flujo de fusión MI2 de al menos 10 g/10 min y del 70 al 30 % en peso, basándose en el peso total del polímero de etileno multimodal, de una segunda fracción de polietileno que comprende unidades de etileno y, opcionalmente, hasta el 5 % en moles de al menos otra alfaolefina que contiene de 3 a 12 átomos de carbono y un índice del flujo de fusión MI2 de menos de 10 g/10 min; o el polímero de etileno multimodal tiene una densidad entre 900 y 930 kg/m3 y un índice del flujo de fusión MI2 de 0,1 a 20 g/10 min, comprendiendo dicho polímero de etileno:
del 30 al 70 % en peso, basándose en el peso total del polímero de etileno, de una primera fracción de polietileno que tiene una densidad de menos de 950 kg/m3 y un índice del flujo de fusión MI2 de al menos 10 g/10 min, y
del 70 al 30 % en peso, basándose en el peso total del polímero de etileno multimodal, de una segunda fracción de polietileno que comprende unidades de etileno, del 0,1 al 20 % en moles de una alfa-olefina que contiene de 3 a 12 átomos de carbono y un índice del flujo de fusión MI2 de menos de 10 g/10 min.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP06252748 | 2006-05-26 | ||
EP06252746 | 2006-05-26 | ||
EP06252747A EP1859858A1 (en) | 2006-05-26 | 2006-05-26 | Loop type reactor for polymerization |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2862579T3 true ES2862579T3 (es) | 2021-10-07 |
Family
ID=38235281
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES09176722T Active ES2862579T3 (es) | 2006-05-26 | 2007-05-18 | Proceso de polimerización |
ES09176728T Active ES2731889T3 (es) | 2006-05-26 | 2007-05-18 | Proceso de polimerización |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES09176728T Active ES2731889T3 (es) | 2006-05-26 | 2007-05-18 | Proceso de polimerización |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US7718732B2 (es) |
EP (4) | EP2021124B1 (es) |
KR (1) | KR101368580B1 (es) |
CN (4) | CN103007867B (es) |
BR (2) | BRPI0722416A2 (es) |
ES (2) | ES2862579T3 (es) |
SG (2) | SG158125A1 (es) |
WO (1) | WO2007138257A1 (es) |
Families Citing this family (301)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0426058D0 (en) * | 2004-11-26 | 2004-12-29 | Solvay | Chemical process |
CN103007867B (zh) | 2006-05-26 | 2015-01-07 | 英尼奥斯制造业比利时有限公司 | 用于聚合的环流型反应器 |
KR101582792B1 (ko) * | 2007-12-21 | 2016-01-07 | 바셀 폴리올레핀 이탈리아 에스.알.엘 | 올레핀의 기상 중합을 위한 공정 |
EP2110173A1 (en) | 2008-04-16 | 2009-10-21 | INEOS Manufacturing Belgium NV | Polymer stream transfer |
US10378106B2 (en) | 2008-11-14 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming insulation film by modified PEALD |
US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
US9297705B2 (en) * | 2009-05-06 | 2016-03-29 | Asm America, Inc. | Smart temperature measuring device |
US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
EP2513160B1 (en) * | 2009-12-18 | 2014-03-12 | Total Research & Technology Feluy | Method for improving ethylene polymerization reaction |
US8871886B1 (en) | 2013-05-03 | 2014-10-28 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Polymerization product pressures in olefin polymerization |
US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
US10364496B2 (en) | 2011-06-27 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Dual section module having shared and unshared mass flow controllers |
US8597582B2 (en) | 2011-06-30 | 2013-12-03 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Flashline heater system and method |
US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
US8703883B2 (en) | 2012-02-20 | 2014-04-22 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Systems and methods for real-time catalyst particle size control in a polymerization reactor |
RU2636660C2 (ru) | 2012-04-19 | 2017-11-27 | Инеос Юроуп Аг | Катализатор, предназначенный для полимеризации олефинов, способ его получения и применение |
US9659799B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling |
US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
US9238698B2 (en) * | 2012-10-31 | 2016-01-19 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Pressure management for slurry polymerization |
US9340629B2 (en) * | 2012-12-13 | 2016-05-17 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Polyethylene production with multiple polymerization reactors |
US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
US9589770B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-03-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species |
US9484191B2 (en) | 2013-03-08 | 2016-11-01 | Asm Ip Holding B.V. | Pulsed remote plasma method and system |
US9240412B2 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process |
US9096694B1 (en) | 2014-01-20 | 2015-08-04 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Monomer/diluent recovery |
US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
KR102263121B1 (ko) | 2014-12-22 | 2021-06-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US10529542B2 (en) | 2015-03-11 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Cross-flow reactor and method |
US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
US9960072B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-05-01 | Asm Ip Holding B.V. | Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings |
US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
US10322384B2 (en) | 2015-11-09 | 2019-06-18 | Asm Ip Holding B.V. | Counter flow mixer for process chamber |
US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
US10468251B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning |
US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
US10501866B2 (en) | 2016-03-09 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system |
US10343920B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-07-09 | Asm Ip Holding B.V. | Aligned carbon nanotubes |
US9892913B2 (en) | 2016-03-24 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Radial and thickness control via biased multi-port injection settings |
US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
KR102592471B1 (ko) | 2016-05-17 | 2023-10-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
US10388509B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of epitaxial layers via dislocation filtering |
US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
KR102354490B1 (ko) | 2016-07-27 | 2022-01-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
US10395919B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-08-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102613349B1 (ko) | 2016-08-25 | 2023-12-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치와 박막 제조 방법 |
US10410943B2 (en) | 2016-10-13 | 2019-09-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems |
US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
US10435790B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-10-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap |
US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US10340135B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride |
KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
KR20180070971A (ko) | 2016-12-19 | 2018-06-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10029230B1 (en) | 2017-01-24 | 2018-07-24 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Flow in a slurry loop reactor |
US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10283353B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10446393B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-10-15 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures |
US10504742B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using hydrogen plasma |
US10886123B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures |
US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10605530B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace |
US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
US10312055B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-06-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing film by PEALD using negative bias |
US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
US10607895B2 (en) | 2017-09-18 | 2020-03-31 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal |
KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
JP7214724B2 (ja) | 2017-11-27 | 2023-01-30 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | バッチ炉で利用されるウェハカセットを収納するための収納装置 |
TWI791689B (zh) | 2017-11-27 | 2023-02-11 | 荷蘭商Asm智慧財產控股私人有限公司 | 包括潔淨迷你環境之裝置 |
US10290508B1 (en) | 2017-12-05 | 2019-05-14 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning |
US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
CN111630203A (zh) | 2018-01-19 | 2020-09-04 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法 |
TW202325889A (zh) | 2018-01-19 | 2023-07-01 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
US10535516B2 (en) | 2018-02-01 | 2020-01-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures |
US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
JP7124098B2 (ja) | 2018-02-14 | 2022-08-23 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 周期的堆積プロセスにより基材上にルテニウム含有膜を堆積させる方法 |
US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US10510536B2 (en) | 2018-03-29 | 2019-12-17 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
KR20190128558A (ko) | 2018-05-08 | 2019-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 산화물 막을 주기적 증착 공정에 의해 증착하기 위한 방법 및 관련 소자 구조 |
TW202349473A (zh) | 2018-05-11 | 2023-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構 |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
WO2020003000A1 (en) | 2018-06-27 | 2020-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material |
CN112292478A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
KR20200002519A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
US10483099B1 (en) | 2018-07-26 | 2019-11-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming thermally stable organosilicon polymer film |
US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
US10381219B1 (en) | 2018-10-25 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
JP2020096183A (ja) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム |
TWI819180B (zh) | 2019-01-17 | 2023-10-21 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
KR20200102357A (ko) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법 |
TW202104632A (zh) | 2019-02-20 | 2021-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備 |
TW202044325A (zh) | 2019-02-20 | 2020-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備 |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
TW202100794A (zh) | 2019-02-22 | 2021-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基材處理設備及處理基材之方法 |
US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
KR20200116033A (ko) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치 |
KR20200116855A (ko) | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자를 제조하는 방법 |
KR20200123380A (ko) | 2019-04-19 | 2020-10-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 층 형성 방법 및 장치 |
KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
KR20200130121A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기 |
KR20200130118A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법 |
KR20200130652A (ko) | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조 |
JP2020188255A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
KR20200141003A (ko) | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템 |
KR20200143254A (ko) | 2019-06-11 | 2020-12-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조 |
USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
KR20210005515A (ko) | 2019-07-03 | 2021-01-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법 |
JP2021015791A (ja) | 2019-07-09 | 2021-02-12 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210010820A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법 |
KR20210010816A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법 |
US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
CN112323048B (zh) | 2019-08-05 | 2024-02-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
KR20210024420A (ko) | 2019-08-23 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법 |
KR20210029090A (ko) | 2019-09-04 | 2021-03-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법 |
KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
TW202129060A (zh) | 2019-10-08 | 2021-08-01 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 基板處理裝置、及基板處理方法 |
KR20210043460A (ko) | 2019-10-10 | 2021-04-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체 |
KR20210045930A (ko) | 2019-10-16 | 2021-04-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 산화물의 토폴로지-선택적 막의 형성 방법 |
US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11450529B2 (en) | 2019-11-26 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11180587B2 (en) * | 2019-12-13 | 2021-11-23 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Polymerization of propylene |
US11885013B2 (en) | 2019-12-17 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming vanadium nitride layer and structure including the vanadium nitride layer |
KR20210080214A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
KR20210095050A (ko) | 2020-01-20 | 2021-07-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법 |
TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
TW202146882A (zh) | 2020-02-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統 |
US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
TW202146715A (zh) | 2020-02-17 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統 |
KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
KR20210116249A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법 |
KR20210117157A (ko) | 2020-03-12 | 2021-09-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법 |
KR20210124042A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 |
TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
KR20210132605A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리 |
KR20210132600A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템 |
CN113555279A (zh) | 2020-04-24 | 2021-10-26 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含氮化钒的层的方法及包含其的结构 |
KR20210134226A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 고체 소스 전구체 용기 |
KR20210134869A (ko) | 2020-05-01 | 2021-11-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환 |
KR20210141379A (ko) | 2020-05-13 | 2021-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구 |
KR20210143653A (ko) | 2020-05-19 | 2021-11-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
KR20220010438A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법 |
TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
TW202212623A (zh) | 2020-08-26 | 2022-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成金屬氧化矽層及金屬氮氧化矽層的方法、半導體結構、及系統 |
USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
TW202217037A (zh) | 2020-10-22 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
KR20220076343A (ko) | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터 |
US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3152872A (en) | 1964-10-13 | figure | ||
US3242150A (en) | 1960-03-31 | 1966-03-22 | Phillips Petroleum Co | Method and apparatus for the recovery of solid olefin polymer from a continuous path reaction zone |
US3405109A (en) * | 1960-10-03 | 1968-10-08 | Phillips Petroleum Co | Polymerization process |
US3248179A (en) | 1962-02-26 | 1966-04-26 | Phillips Petroleum Co | Method and apparatus for the production of solid polymers of olefins |
US3229754A (en) | 1963-03-14 | 1966-01-18 | Phillips Petroleum Co | Heating and cooling temperature control system |
US3324093A (en) | 1963-10-21 | 1967-06-06 | Phillips Petroleum Co | Loop reactor |
US3279087A (en) * | 1963-11-08 | 1966-10-18 | Phillips Petroleum Co | Solid polymer and liquid diluent separator apparatus and method |
US4613484A (en) | 1984-11-30 | 1986-09-23 | Phillips Petroleum Company | Loop reactor settling leg system for separation of solid polymers and liquid diluent |
CA2023745A1 (en) | 1989-11-27 | 1991-05-28 | Kelly E. Tormaschy | Control of polymerization reaction |
JP3115595B2 (ja) | 1990-07-24 | 2000-12-11 | 三井化学株式会社 | α―オレフィンの重合触媒及びそれを用いたポリ―α―オレフィンの製造方法 |
FI86867C (fi) | 1990-12-28 | 1992-10-26 | Neste Oy | Flerstegsprocess foer framstaellning av polyeten |
FI89929C (fi) | 1990-12-28 | 1993-12-10 | Neste Oy | Foerfarande foer homo- eller sampolymerisering av eten |
EP0580930B1 (en) * | 1992-07-31 | 1996-11-20 | Fina Research S.A. | Process for producing polyethylene having a broad molecular weight distribution |
BE1007653A3 (fr) * | 1993-10-26 | 1995-09-05 | Fina Research | Procede de production de polyethylene ayant une distribution large de poids moleculaire. |
US6239235B1 (en) | 1997-07-15 | 2001-05-29 | Phillips Petroleum Company | High solids slurry polymerization |
US20040136881A1 (en) * | 1997-07-15 | 2004-07-15 | Verser Donald W. | Separation of polymer particles and vaporized diluent in a cyclone |
US7033545B2 (en) * | 1997-07-15 | 2006-04-25 | Chevon Phillips Chemical Company, Lp | Slurry polymerization reactor having large length/diameter ratio |
GB9822123D0 (en) | 1998-10-09 | 1998-12-02 | Borealis As | Catalyst |
EP1195388A1 (en) * | 2000-10-04 | 2002-04-10 | ATOFINA Research | Process for producing bimodal polyethylene resins |
WO2003044064A1 (en) | 2001-11-19 | 2003-05-30 | Bp Chemicals Limited | Polymerisation control process |
EP1474229A1 (en) | 2002-02-19 | 2004-11-10 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Continuous slurry polymerisation process using a loop reactor |
AU2002240549A1 (en) | 2002-02-28 | 2003-09-16 | Exxonmobile Chemical Patents Inc. _____________________________G | Continuous slurry polymerization process in a loop reactor |
US6924340B2 (en) * | 2002-04-04 | 2005-08-02 | Equistar Chemicals L.P. | Process for removal of intermediate hydrogen from cascaded polyolefin slurry reactors |
BRPI0314281B8 (pt) * | 2002-09-13 | 2017-02-07 | Chevron Phillips Chemical Co Lp | processo de polimerização |
CN100482693C (zh) * | 2002-09-13 | 2009-04-29 | 切夫里昂菲利普化学有限责任公司 | 在聚合法中减少取料阀堵塞的方法和设备 |
CN1688609B (zh) * | 2002-09-16 | 2010-12-08 | 切夫里昂菲利普化学有限责任公司 | 大长径比的聚合反应器 |
US20050272891A1 (en) | 2004-02-13 | 2005-12-08 | Atofina Research S.A. | Double loop technology |
PT1611175E (pt) | 2004-02-13 | 2007-07-23 | Total Petrochemicals Res Feluy | Granulometria de catalisadores |
EP1611948A1 (en) * | 2004-07-01 | 2006-01-04 | Total Petrochemicals Research Feluy | Polymerization reactors with a by-pass line |
WO2006026493A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Energy efficient polyolefin process |
GB0426057D0 (en) | 2004-11-26 | 2004-12-29 | Solvay | Chemical process |
GB0426058D0 (en) | 2004-11-26 | 2004-12-29 | Solvay | Chemical process |
GB0426059D0 (en) | 2004-11-26 | 2004-12-29 | Solvay | Chemical process |
CN103007867B (zh) | 2006-05-26 | 2015-01-07 | 英尼奥斯制造业比利时有限公司 | 用于聚合的环流型反应器 |
-
2007
- 2007-05-18 CN CN201210529503.9A patent/CN103007867B/zh active Active
- 2007-05-18 ES ES09176722T patent/ES2862579T3/es active Active
- 2007-05-18 EP EP07732883.9A patent/EP2021124B1/en active Active
- 2007-05-18 CN CN2009102587372A patent/CN101735349B/zh active Active
- 2007-05-18 EP EP09176729A patent/EP2156886A3/en not_active Withdrawn
- 2007-05-18 CN CN2009102582415A patent/CN101940906B/zh active Active
- 2007-05-18 BR BRPI0722416-8A patent/BRPI0722416A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2007-05-18 SG SG200908202-5A patent/SG158125A1/en unknown
- 2007-05-18 US US12/227,700 patent/US7718732B2/en active Active
- 2007-05-18 CN CN200910258756.5A patent/CN101733058B/zh active Active
- 2007-05-18 WO PCT/GB2007/001862 patent/WO2007138257A1/en active Application Filing
- 2007-05-18 ES ES09176728T patent/ES2731889T3/es active Active
- 2007-05-18 SG SG200908203-3A patent/SG158126A1/en unknown
- 2007-05-18 EP EP09176728.5A patent/EP2156885B1/en active Active
- 2007-05-18 KR KR1020087028964A patent/KR101368580B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-05-18 EP EP09176722.8A patent/EP2156884B1/en not_active Revoked
- 2007-05-18 BR BRPI0712476-7A patent/BRPI0712476A2/pt active Search and Examination
-
2009
- 2009-11-20 US US12/591,478 patent/US7994264B2/en active Active
- 2009-11-20 US US12/591,471 patent/US7981983B2/en active Active
- 2009-11-20 US US12/591,473 patent/US7985813B2/en active Active
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2862579T3 (es) | Proceso de polimerización | |
ES2719694T3 (es) | Reactor de bucle para un procedimiento de polimerización en fase de suspensión | |
ES2319449T3 (es) | Procedimiento de poliemrizacion en fase de lechada. | |
US8101692B2 (en) | Slurry phase polymerisation process | |
EP1859858A1 (en) | Loop type reactor for polymerization |