ES2331098T3 - Proceso y dispositivo para trituracion y seleccion de polisilicio. - Google Patents
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Abstract
Dispositivo para la trituración y selección de silicio policristalino, que comprende un equipo de alimentación para una fracción gruesa de polisilicio en una planta de fragmentación, la planta de fragmentación, y una planta de selección para la clasificación de la fracción de polisilicio, caracterizado porque el dispositivo está provisto de un control, que hace posible un ajuste variable de al menos un parámetro de fragmentación en la planta de fragmentación y al menos de un parámetro de selección en la planta de selección.
Description
Proceso y dispositivo para trituración y
selección de polisilicio.
La invención se refiere a un proceso y un
dispositivo para la trituración y selección de silicio
policristalino de alta pureza.
El silicio policristalino de alta pureza,
designado en lo sucesivo como polisilicio, se utiliza entre otras
cosas como materia prima para la producción de componentes
electrónicos y pilas solares. El mismo se obtiene por
descomposición térmica de un gas que contiene silicio o de una
mezcla de gases que contienen silicio. Este proceso se designa como
deposición en fase vapor (CVD, chemical vapor deposition). A escala
industrial, este proceso se realiza en los denominados reactores
Siemens. El polisilicio se produce en este caso en forma de barras.
Las barras de polisilicio se trituran por regla general por métodos
manuales. La fracción de gruesos de polisilicio así obtenida tiene
una distribución de tamaños no reproducible, produciéndose tamaños
de fracción algo más pequeños en grandes cantidades.
Se conocen una serie de métodos mecánicos, en
los cuales una fracción de gruesos de polisilicio prefragmentada
manualmente se tritura después con empleo de fragmentadoras
convencionales. Métodos de fragmentación mecánica se describen por
ejemplo en EP 1338682 A2. Se conocen también métodos de
fragmentación mecánica en combinación con un pretratamiento térmico
complejo de las barras de polisilicio, que según se dice hacen
posible una fragmentación más sencilla del polisilicio (p.ej. EP
1338682 A2). A continuación, la fracción de polisilicio se clasifica
con un proceso de tamizado, p.ej. un proceso de tamizado mecánico
como se conoce por el documento EP 1043249 B1 o una selección
óptica, como se conoce p.ej. por el documento US 6265683 B1.
Por el resumen del documento JP 57067019 A se
conocen un dispositivo y un proceso para la trituración y selección
de silicio policristalino que comprenden un dispositivo de
alimentación para una fracción de gruesos de silicio en una planta
de fragmentación, la planta de fragmentación y una planta de
selección para la clasificación de la fracción de silicio.
Por el documento DE 38 11 091 A1 se conoce un
proceso para la trituración de silicio compacto en trozos, en el
cual el riesgo de contaminantes se mantiene bajo, debido a que en un
primer paso se alcanza en los fragmentos de silicio, por aporte de
calor del exterior, un gradiente de temperatura, cuya dirección en
un segundo paso se invierte al menos en parte bruscamente. Este
tratamiento causa una descompactación, que hace posible utilizar
herramientas en un paso de trituración mecánica subsiguiente,
estando constituidas las superficies de las mismas que entran en
contacto con el silicio por silicio o por materiales duros basados
p.ej. en nitruro o carburo.
Objeto de la presente invención es proporcionar
un dispositivo para la trituración y selección de polisilicio que
hace posible la producción de una fracción de polisilicio
reproducible con propiedades definidas y rendimiento elevado con
sólo una planta conexa.
Este objetivo se resuelve por medio de un
dispositivo que comprende una planta de alimentación para una
fracción gruesa de polisilicio en una planta de fragmentación, la
planta de fragmentación y una planta de selección para la
clasificación de la fracción de polisilicio, caracterizado porque la
planta de fragmentación está provista de un control, que hace
posible un ajuste variable de al menos un parámetro de fragmentación
en la planta de fragmentación y al menos un parámetro de selección
en la planta seleccionadora.
Preferiblemente, el dispositivo comprende además
un dispositivo de transporte desde la planta de fragmentación a la
planta seleccionadora.
Una forma de realización preferida del
dispositivo se caracteriza porque la planta seleccionadora está
provista de un dispositivo de medida para parámetros definidos de
la fracción de polisilicio clasificada y este dispositivo de medida
está unido a un dispositivo de control y regulación principal, que
evalúa estadísticamente los parámetros medidos y los compara con
parámetros predeterminados, y, en el caso de una desviación entre
los parámetros medidos y los parámetros predeterminados puede
modificarse el ajuste del parámetro de fragmentación de la planta
de fragmentación y del parámetro de selección de la planta
seleccionadora, de tal manera que el parámetro medido luego se
ajuste al parámetro predeterminado.
Preferiblemente, se mide un parámetro del grupo
longitud, superficie, forma, morfología, color y peso de los
fragmentos de polisilicio. La longitud de un fragmento se define
preferiblemente en este contexto como la línea recta más larga
entre dos puntos en la superficie del fragmento. La superficie de un
fragmento se define preferiblemente en este contexto como la mayor
área de sombra del fragmento proyectada sobre un plano.
De modo particularmente preferido, se mide la
longitud o la superficie de los fragmentos de polisilicio y se
evalúa en forma de distribuciones de longitud o de superficie (p.ej.
cuantil de 5%, 50% o 95%). Alternativamente, se determinan los
rendimientos en peso de las fracciones tamizadas individuales
obtenidas por las balanzas en las salidas de los tamices. Para la
estabilización de los rendimientos deseados, puede recurrirse o bien
a los pesos de las fracciones individuales determinados con una
balanza, o a las distribuciones de longitud de las fracciones
individuales medidas en la planta de separación optoelectrónica. Por
ejemplo, si la producción cuantitativa de fragmentos gruesos es
demasiado alta o el valor medio de la longitud determinado en la
primera etapa de separación óptica (valor real) de la distribución
de fracciones es mayor que el valor teórico, se reduce entonces la
distancia de separación conforme a una lógica preajustada en la
fórmula, desplazándose de este modo la distribución de fracciones
hacia tamaños más pequeños.
En la técnica anterior, la selección de los
fragmentos de polisilicio se realizaba siempre desacoplada de la
trituración. Por consiguiente, hasta ahora no ha sido posible
regulación alguna de la trituración del polisilicio en función del
resultado de la fragmentación. Por la combinación de acuerdo con la
invención y preferiblemente el reacoplamiento de los valores de
medida de una selección optoelectrónica y/o de las balanzas en las
salidas del seleccionador con una recogida de datos y evaluación de
los datos y la integración de todas las partes de la planta con
inclusión de las fragmentadoras en un control principal, se hace
posible por primera vez una regulación instantánea y precisa de la
trituración para la obtención de una fracción de polisilicio
definida reproduciblemente con rendimientos satisfactorios.
Por lo que respecta a la planta de
fragmentación, se trata preferiblemente de una planta de
fragmentación en varias etapas constituida por 1 a 10
fragmentadoras (que corresponden a 1 a 10 etapas de fragmentación),
preferiblemente por 1 a 3 fragmentadoras. Pueden emplearse todas las
fragmentadoras conocidas. Preferiblemente se emplean fragmentadoras
de rodillos o fragmentadoras de mandíbulas. De modo particularmente
preferido se emplean fragmentadoras de rodillos, provistas de
rodillos que se mueven sincrónicamente. Como fragmentadoras de
rodillos se emplean de modo particularmente preferido fragmentadoras
de rodillos de púas.
Parámetros de fragmentación de las
fragmentadoras ajustables variablemente son preferiblemente la
distancia de separación (punta de diente hasta el fondo del rodillo
opuesto) o las velocidades de rotación de los rodillos. Estos
parámetros pueden ser modificados por el dispositivo de control y
regulación principal.
Sorprendentemente, parámetros fijos para las
etapas de fragmentación individuales (p.ej. diámetro de los
rodillos, separación de dientes, altura de diente) pueden ajustarse
de tal manera que es posible producir varias fracciones objetivo de
fragmentos de polisilicio con diferentes intervalos granulométricos
por medio de una planta de fragmentación de una o varias etapas,
simplemente por una variación de la distancia de separación y la
velocidad de rotación de los rodillos. Bajo una fracción objetivo
debe entenderse en este contexto la fracción de tamaños de grano
que después de la trituración y clasificación exhibe el rendimiento
máximo en el espectro granulométrico total.
Preferiblemente, el diámetro, la distancia entre
dientes y la altura de diente de una fragmentadora de rodillos se
seleccionan como sigue:
La distancia entre dientes de un rodillo se
define por la diagonal entre los puntos medios de dos dientes
adyacentes. La distancia entre dientes se selecciona habitualmente
en un campo de 5-200 mm, en una planta de
fragmentación de dos etapas preferiblemente 100-200
mm en la primera etapa de fragmentación y 5-100 mm
en la segunda etapa de fragmentación, en una planta de fragmentación
de tres etapas preferiblemente 100-200 mm en la
primera etapa de fragmentación, 50-100 mm en la
segunda etapa de fragmentación y 5-50 mm en una
tercera etapa de fragmentación. La altura de diente se selecciona
habitualmente de 5 a 100 mm. La forma de los dientes puede ser
cilíndrica, cónica, piramidal o una combinación de estas formas. El
diámetro de rodillo se encuentra habitualmente dentro del intervalo
de 200-2000 mm, en una planta de fragmentación de
dos etapas preferiblemente 800-2000 mm en la
primera etapa y 200-800 mm en la segunda etapa, y en
una planta de fragmentación de tres etapas preferiblemente
800-2000 mm en la primera etapa,
500-800 mm en la segunda etapa y
200-500 mm en la tercera etapa.
Dependiendo de la distribución de tamaños de
grano deseada del producto final, se emplean una o más etapas de
fragmentación. El tamaño de grano define la longitud mínima y máxima
de una fracción de fragmentos. Para la producción controlada de una
fracción de polisilicio con un tamaño de grano de 5 a 80 mm se
emplean preferiblemente de 2 a 4 etapas de fragmentación, de modo
particularmente preferible 2 etapas de fragmentación. Para la
producción controlada de una fracción de polisilicio con un tamaño
de grano de 60 a 250 mm se emplean preferiblemente 1 ó 2 etapas de
fragmentación. De modo particularmente preferible se emplea una sola
etapa de fragmentación.
En una forma de realización, la fracción de
silicio se conduce dentro de la planta de fragmentación
automáticamente por medio de un dispositivo de transporte desde una
etapa de fragmentación a la etapa de fragmentación siguiente. Como
dispositivo de transporte se emplea preferiblemente una cinta
transportadora o un canal transportador. De modo particularmente
preferible se emplean canales transportadores. De este modo es
posible eludir una etapa de fragmentación por medio de una
derivación. El control de la derivación ("derivación abierta",
"derivación cerrada") está integrado en el control principal
de la planta global.
En otra forma de realización, las etapas de
fragmentación están dispuestas inmediatamente unas bajo otras. En
este caso, la evitación de una etapa de fragmentación se realiza por
subida total de los rodillos, siendo la distancia entre rodillos al
menos dos veces mayor que la longitud máxima del material de
alimentación.
Desde la planta de fragmentación, los fragmentos
de silicio se conducen preferiblemente de modo automático por medio
de un dispositivo de transporte, de modo particularmente preferible
un canal de transporte, a la planta de selección.
En cuanto a la planta de selección, se trata
preferiblemente de una planta de tamizado mecánico y/o de una
planta de separación optoelectrónica, de modo particularmente
preferible una planta de separación optoelectrónica. Por ejemplo,
se trata de un dispositivo como el descrito en EP 0876851 B1
(correspondiente a US 6040544 A). Se remite y se hace referencia
expresamente al contenido de estos documentos respecto a la
descripción de la planta de separación optoelectrónica.
De modo particularmente preferible, la planta de
selección está constituida por una planta de tamizado mecánico de
varias etapas y una planta de separación optoelectrónica de varias
etapas. Como planta de tamizado mecánico pueden emplearse todas las
máquinas de tamices mecánicos conocidas en la bibliografía técnica.
Se emplean preferiblemente máquinas de tamices vibrantes, que están
impulsadas por un motor de descompensación. Como capa de tamizado
se prefieren mallas y perforaciones. La planta de tamizado mecánica
sirve para la separación de las proporciones de finos en la
corriente de producto. El componente fino comprende granulometrías
hasta 25 mm, preferiblemente hasta 10 mm. Por la planta de tamizado
mecánica en varias etapas, el componente fino se separa
ulteriormente en fracciones adicionales. De modo particularmente
preferido se emplea una planta de tamizado mecánica de dos
etapas.
Las etapas de tamizado pueden estar dispuestas
en serie o en cualquier otra estructura, como p.ej. una estructura
de árbol. Se prefieren los tamices de tres etapas dispuestos en una
estructura de árbol. Así, por ejemplo en el caso de un reparto del
producto resultante de la polifragmentación en cuatro fracciones de
grano (p.ej. fracción 1, 2, 3, 4) se separa en una primera etapa la
fracción 1 y 2 de la fracción 3 y 4. En una segunda etapa, se
separa luego la fracción 1 de la fracción 2, y en una tercera etapa
dispuesta en paralelo se separa la fracción 3 de la fracción 4.
La fracción de polisilicio liberada de finos se
selecciona preferiblemente por medio de una planta de separación
optoelectrónica. La selección de la fracción de polisilicio puede
realizarse según cualquiera de los criterios que pertenecen a
estado de la técnica en el tratamiento de imágenes. Aquélla se
realiza preferiblemente según uno a tres de los criterios
seleccionados del grupo longitud, superficie, forma, morfología,
color y peso de los fragmentos de polisilicio, de modo
particularmente preferible longitud y superficie.
No obstante, otras combinaciones conocidas de
técnicas de sensores electrónicos son apropiadas también para el
reconocimiento de los parámetros de los fragmentos de polisilicio
(v.g. detectores de metales, ultrasonidos, infrarrojos). El
reconocimiento óptico de imágenes de la planta de separación
optoelectrónica tiene la ventaja de que se miden longitudes o
superficies "reales". Esto permite una separación más exacta de
los fragmentos frente a los procesos de tamizado mecánico
convencionales, de acuerdo con los parámetros deseados en cada
caso.
La distribución real del material de
alimentación sin contenido de finos determinada por ejemplo en la
planta de separación optoelectrónica por medio de la monitorización
en línea (v.g. distribución de longitudes, distribución de
superficies) se transmite al dispositivo de control y regulación
principal y se compara en éste con distribuciones teóricas
predeterminadas. En el caso de una desviación entre la distribución
medida (real) y la predeterminada (teórica), se modifican los
parámetros de fragmentación variables de la planta de fragmentación
(p.ej. el ajuste de abertura o el número de revoluciones de los
rodillos o el número de etapas de fragmentación) por el dispositivo
de control de regulación de tal modo que la distribución medida se
ajuste a la distribución predeterminada.
En una forma de realización preferida, la planta
comprende después de la planta de selección balanzas para la
determinación de los rendimientos en peso de las fracciones
clasificadas. Preferiblemente, el dispositivo comprende después de
la planta de selección un dispositivo totalmente automático de
envasado en cajas y transporte de las
cajas.
cajas.
En otra forma de realización preferida, el
dispositivo correspondiente a la invención comprende antes de la
planta de alimentación una pretrituración mecánica. En principio es
apropiada cualquier pretrituración mecánica conocida, empleándose
preferiblemente un dispositivo que comprende un soporte y cinceles y
contracinceles de trituración, donde los cinceles y contracinceles
de trituración poseen un eje longitudinal que está orientado
paralelamente al soporte y los cinceles y contracinceles de
trituración pueden moverse de tal manera que una barra de silicio a
triturar que se encuentra sobre el soporte puede ajustarse entre los
cinceles de tal manera que todos los cinceles en el campo de la
barra de silicio están en contacto con la barra de silicio y los
cinceles de trituración situados delante y detrás de la barra de
silicio pueden desplazarse en la dirección de su eje longitudinal
hasta una distancia de seguridad respecto al contracincel, y los
cinceles actúan, por un movimiento brusco en la dirección de su eje
longitudinal, sobre la barra de silicio y la rompen. Una
pretrituradora apropiada se describe por ejemplo en DE
102005019873.
Con una pretrituración mecánica el dispositivo
correspondiente a la invención hace posible por primera vez una
trituración totalmente automática de fragmentos de polisilicio de
cualquier tamaño, desde fragmentos pequeños hasta barras de
polisilicio enteras, como las que se producen en el proceso Siemens.
Este material de partida se tritura reproduciblemente de modo
totalmente automático, y de manera regulable para dar una fracción
objetivo deseada en cada caso, por primera vez sin obras de reforma
mecánicas de cualquier tipo en las plantas individuales.
Adicionalmente, el proceso hace posible un trabajo seguro y una
mejor ergonomía del trabajo para los operarios, dado que durante
todo el procedimiento de trituración y clasificación no es necesario
paso de trabajo manual de ningún tipo.
El dispositivo de control y regulación se
compone preferiblemente de un sistema de dirección en forma de un
control de memoria programable (SPS) por medio del cual se gestionan
y se regulan los controles de todas las plantas parciales (p.ej.
prefragmentadora, equipos de transporte, planta de fragmentadoras,
planta de selección mecánica y optoelectrónica, manipulación
automatizada de las cajas con gestión de las fórmulas y gestión de
la lógica de regulación). La visualización y el servicio que
concierne a las plantas parciales se realizan por medio de un solo
sistema de dirección principal. Los informes de averías y la
operación de todas las plantas parciales se copian, se evalúan y
visualizan juntos en un banco de datos de averías y operaciones.
Sólo por la combinación acertada de las plantas
individuales para el dispositivo correspondiente a la invención y
la interconexión lógica por medio del control principal se ha hecho
posible una planta con la cual puede producirse toda clase de
fracciones de polisilicio ("pequeñas" y "grandes"), sin
que sean necesarias para ello obras mecánicas de reforma para los
diferentes procesos de fragmentación o selección.
La entrada de la fracción objetivo deseada en el
dispositivo principal de control y regulación causa un ajuste
correspondiente de los parámetros de las fragmentadoras para la
obtención de los tamaños de grano deseados de la fracción de
polisilicio.
Entre las etapas individuales de las
fragmentadoras así como dentro de y detrás de las plantas de
selección pueden estar dispuestos separadores magnéticos (p.ej.
imanes de placa, imanes de tambor o imanes de cinta), a fin de
separar los cuerpos extraños metálicos de la fracción de polisilicio
y reducir la contaminación por metales de la fracción de
polisilicio.
Otro objetivo de la presente invención es
proporcionar un proceso para la trituración y selección de
polisilicio, que conduce a una fracción de polisilicio con
propiedades reproducibles definidas y con rendimiento elevado.
Este objetivo se resuelve por un proceso en el
cual una fracción de gruesos de polisilicio se tritura en un
dispositivo correspondiente a la invención. Para ello la fracción de
gruesos de polisilicio se conduce preferiblemente a una planta de
fragmentación, en la cual es posible un ajuste variable de al menos
un parámetro de fragmentación, y se tritura en ella para dar una
fracción de polisilicio, que se envía a continuación a una planta de
selección y se clasifica en ella, midiéndose en cada caso en la
planta de selección uno o más valores reales con respecto a un
parámetro definido de la fracción de polisilicio, transmitiéndose
seguidamente el o los valores reales medidos a un dispositivo de
control y regulación principal y comparándose a continuación en el
dispositivo de control y regulación con un valor teórico
predeterminado, después de lo cual, en el caso de una desviación
entre el valor real y el valor teórico, el dispositivo de control y
regulación modifica el ajuste del parámetro de fragmentación de la
planta de fragmentadoras de tal manera que el valor real de la
fracción de polisilicio se ajuste al valor teórico
predeterminado.
El proceso utiliza preferiblemente los
parámetros mencionados en la descripción del dispositivo.
En el caso de que, por ejemplo, el valor medio
longitudinal determinado en la primera etapa de separación óptica
(valor real) de la distribución de fracciones sea mayor que el valor
teórico, la distancia de separación en la fragmentadora se somete
correspondientemente a reajuste o reducción, a fin de que la
distribución de fracciones se desplace hacia tamaños más
pequeños.
La medida de los parámetros del producto y la
clasificación de la fracción de polisilicio se realizan
preferiblemente como se describe a continuación:
El grano excesivamente grueso de la primera
etapa de tamizado mecánico se conduce a una planta de separación
optoelectrónica de varias etapas. En cada etapa de selección
optoelectrónica, la corriente de producto se aísla mediante un
canal de transporte vibrante integrado y se hace pasar por un plano
inclinado en caída libre a una (o varias) cámaras de líneas de
color CCD, que efectúa(n) una clasificación según uno o más
de los parámetros longitud, superficie, volumen, forma, morfología
y color en cualquier combinación. Para el reconocimiento de los
parámetros de los fragmentos pueden emplearse alternativamente todos
los métodos de sensores electrónicos conocidos en la técnica
anterior. Los valores de medida se transmiten a la unidad de control
y regulación principal y se evalúan p.ej. por medio de un
microprocesador. De este modo se determina, por comparación con el
criterio de selección consignado en la fórmula, si un fragmento de
la corriente de producto se retira o se deja pasar. La retirada se
realiza preferiblemente por impulsos de aire comprimido. En este
contexto y mediante una batería de válvulas dispuestas bajo el
reconocimiento de imagen se controlan por ejemplo los canales de
separación (baterías de aire comprimido) y se cargan con impulsos
dosificados de aire comprimido, que dependen de la granulometría.
La corriente que se deja pasar y la corriente extraída se conducen
luego por separado y se envían a la etapa de selección
optoelectrónica siguiente. Alternativamente, la extracción puede
realizarse también por medios hidráulicos o mecánicos.
El reconocimiento mediante sensores,
preferiblemente reconocimiento óptico de imágenes, tiene la ventaja
de que se miden longitudes, superficies o formas "reales".
Esto permite por una parte una separación definida y más exacta
frente a los procesos de tamizado mecánico convencionales, p.ej. en
lo que respecta a la longitud. El solapamiento entre dos fracciones
a separar es menor. Por otra parte, los límites de separación pueden
ajustarse discrecionalmente por los parámetros predeterminados (la
fórmula) del control principal, sin tener que realizar alteraciones
de la máquina (como p.ej. cambios de la capa del tamiz). De acuerdo
con ello, la planta de tamizado optoelectrónica puede utilizarse
tanto para separaciones en el campo de las granulometrías pequeñas
como en el de las granulometrías grandes. Además, puede ajustarse la
planta global por "medida en línea", corrigiéndose
inmediatamente por ejemplo la distancia de separación en lo que
respecta al resultado de la fragmentación. Adicionalmente, la
selección optoelectrónica presenta la ventaja de que por una
combinación de superficie y longitud es posible una separación más
exacta de los fragmentos de acuerdo con las especificaciones
respectivas (p.ej. alta cubicidad de los fragmentos).
Las fracciones clasificadas de los fragmentos de
silicio se recogen y se envasan preferiblemente en cajas.
Preferentemente, el envasado está automatizado, como se describe por
ejemplo en EP 1334907 B. Con preferencia, el transporte en cajas y
el envasado del material clasificado son completamente
automáticos.
Preferentemente, el proceso comprende una
pretrituración mecánica. La pretrituración se realiza
preferiblemente de tal manera que el silicio policristalino se
coloca en la pretrituradora sobre un soporte regulable en altura y
se ajusta el mismo entre los cinceles y los contracinceles de
trituración, de tal manera que todos los cinceles en el campo del
silicio están en contacto con el silicio y los cinceles y
contracinceles de trituración delante o detrás del silicio se
aproximan unos a otros hasta una distancia de seguridad, y a
continuación, sobre todo en el caso de los cinceles de trituración
contiguos al silicio, se inicia un impulso de impactos repetidos,
lo que causa la trituración del
silicio.
silicio.
En cuanto al silicio policristalino empleado se
trata preferiblemente de barras de silicio policristalino, como las
que se obtienen por ejemplo durante la deposición de Si en el
proceso Siemens. Además, pueden emplearse residuos conformados
cualesquiera procedentes de otros métodos de tratamiento de silicio
(p.ej. métodos de estiramiento en crisol, métodos de corte,
etc.).
El proceso correspondiente a la invención hace
posible una producción controlada y reproducible de fracciones de
polisilicio en distribuciones de tamaño cualesquiera, con un tamaño
de grano máximo de 250 mm.
Adicionalmente, es posible por medio del proceso
producir por primera vez de modo controlado y reproducible
fracciones de polisilicio cúbicas que ya no son capaces de fluir,
con un tamaño de 45 a 250 mm y con alto rendi-
miento.
miento.
Una fracción de este tipo es necesaria para la
consecución de un grado de llenado alto de un crisol en aplicaciones
de crisol. Adicionalmente se obtiene, debido a la menor superficie
específica de una fracción de este tipo, una superficie específica
de contaminación reducida y con ello una mejor calidad, dado que
p.ej. en el caso de aplicaciones de crisol la inclusión de metal
por kilogramo de pesada en el crisol es menor. Ventajas adicionales
de los mayores tamaños de grano estriban en una mejor economía de
los procesos de purificación subsiguientes, dado que el consumo de
ácido es tanto menor cuanto menor es la superficie específica de la
fracción de polisilicio a purificar.
Al proceso correspondiente a la invención sigue
preferiblemente una purificación de la fracción de polisilicio.
Esta purificación puede realizarse como se
describe por ejemplo en EP 1338682 A2, p. 8, párrafo 0054 ó 0055 US
6309767. Una fracción de silicio producida de este modo tiene una
pureza de calidad semiconductor y cumple por tanto al menos las
especificaciones siguientes en cuanto a pureza superficial: hierro
elemental del monitor, como valor medio < 100 pptw,
preferiblemente < 50 pptw.
Fig. 1 muestra el dispositivo correspondiente a
la invención empleado en los ejemplos con una prefragmentadora.
Fig. 2 muestra el resultado de la molienda del
Ej. 2.
Fig. 3 muestra la influencia del límite de
selección ajustado en la planta de separación optoelectrónica
"longitud máxima de un fragmento" sobre la distribución
granulométrica de las fracciones clasificadas.
\vskip1.000000\baselineskip
Los ejemplos siguientes sirven para ilustración
adicional de la invención. En los ejemplos se produjeron los
tamaños de grano siguientes:
Fracción 0: tamaños de grano con una
distribución de aprox. 0 a 3 mm
Fracción 1: tamaños de grano con una
distribución de aprox. 1 a 10 mm
Fracción 2: tamaños de grano con una
distribución de aprox. 10 mm a 40 mm
Fracción 3: tamaños de grano con una
distribución de aprox. 25 mm a 65 mm
Fracción 4: tamaños de grano con una
distribución de aprox. 50 mm a 110 mm
Fracción 5: tamaños de grano con una
distribución de aprox. > 90 mm hasta 250 mm
En el dispositivo principal de medida y control
se introducen los parámetros para la fracción objetivo a producir.
Dado que una distribución granulométrica deseada en cualquier caso
en la fracción objetivo y las fracciones secundarias viene dictada
por la reutilización respectiva de la fracción a producir, las
fracciones objetivo se consignan por regla general como fórmulas en
el dispositivo principal de medida y control y se seleccionan de
acuerdo con ello. En el ejemplo presente, el dispositivo se empleó
para la producción de cuatro fracciones objetivo diferentes
(fracción 2, 3, 4 y 5). En el caso de la producción de una fracción
objetivo se producen también fracciones secundarias (fracciones de
tamaño inferior y en algunos casos fracciones de tamaño superior).
En las fórmulas se consignan en cada caso todos los parámetros para
la pretrituradora, la fragmentadora y la planta de separación
optoelectrónica. En el ejemplo (para la producción selectiva de la
fracción 5) se consignaron en la fórmula los parámetros
siguientes:
Recuento/selección de los pares de cinceles
impactantes y avance del carro de tal modo que el ajuste
seleccionado conduce a impactos sobre la barra de polisilicio o el
material a triturar a una distancia de aprox. 15 cm.
La primera etapa de fragmentación se realizó con
una velocidad periférica de 1 m/s y una distancia de separación
(punta de diente a fondo de rodillo opuesto) de 90 mm. Otras etapas
de fragmentación se eludieron mediante una derivación.
El componente fino (fracciones 0 y 1) del
material así fragmentado se separó en el tamiz mecánico con una
anchura de malla de aproximadamente 10 mm y el componente separado
se separó a continuación en las fracciones 0 y 1 con una planta
adicional de tamices mecánicos o un tamiz adicional con aprox. 4 mm
de anchura de malla.
El componente grueso (fracción 2, 3, 4 y 5) se
condujo a través de un canal transportador (cuyas características
de transporte, como p.ej. frecuencia, están consignadas asimismo en
la fórmula) a la planta de separación óptica y se separó como sigue
por medio de tres etapas ópticas: en la primera etapa se separó la
fracción 3 & 2 de la fracción 4 & 5. Como límite de
separación se consignó en la fórmula una longitud máxima de 55 mm.
La fracción 3 & 2 se separó en una segunda etapa o un límite de
separación consignado en la fórmula de 30 mm en las fracciones 3 y
2. La fracción 4 & 5 en una tercera etapa y un límite de
separación de 100 mm en las fracciones 4 y 5 (sic).
Entre las diferentes partes de la planta, como
p.ej. los canales de transporte, pueden incorporarse conforme al
estado de la técnica anterior imanes conocidos para la separación de
los contaminantes metálicos.
Como parámetros de regulación se emplean las
magnitudes de medida longitud y/o superficie, y/o los rendimientos
en peso medidos con las balanzas en las salidas de la planta de
selección. Las magnitudes de ajuste son el avance de la
pretrituradora y las distancias de separación de las fragmentadoras.
Dichas magnitudes están prefijadas en la fórmula. La lógica entre
parámetros de regulación y magnitudes de ajuste está consignada
asimismo en la fórmula. Esto se expone en el Ejemplo 4.
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Una barra de polisilicio (L =
0,25-4 m, D = 20-250 mm) se pone en
la mesa de fragmentación de la pre-trituradora. En
la mesa fragmentadora Se realiza un control visual de calidad de la
barra en lo referente a cuerpos extraños, depósitos y morfología de
la superficie. La barra se pone sobre un carro de fragmentación, que
transporta automáticamente la barra a la cámara de
fragmentación.
En un dispositivo análogo a la Fig. 1 del
documento DE 102005019873, se deposita una barra de Si a triturar
sobre el prisma de apoyo del soporte. Los lados largos de dos
envueltas de canal dispuestas paralelamente una a otra forman el
prisma de apoyo. Las envueltas de canal se instalan sobre el carro
de fragmentación de modo que puedan girar.
Una regla de dirección instalada paralelamente
al carro de fragmentación favorece la fijación de la barra de Si
durante el posicionamiento. A continuación, el carro de
fragmentación se introduce con la barra de Si en el espacio de
fragmentación, la zona entre los cinceles. La secuencia de
fragmentación se controla mediante registro del recorrido del carro
y puede seleccionarse variablemente. Sólo después que el carro de
fragmentación ha alcanzado su posición, se aproximan por primera
vez los tres contracinceles a la barra para su fijación. Los
cinceles de trituración se aproximan de modo diferido a la barra y
se inicia el ciclo de fragmentación. El proceso de fragmentación se
interrumpe sólo cuando se ha roto el primer fragmento de la barra y
los cinceles de trituración han alcanzado una posición final
definida. Los cinceles y los contracinceles de trituración se hacen
retroceder simultáneamente a la posición inicial, y el carro de
fragmentación se pone en contacto con la posición de rotura
siguiente. Se inicia de nuevo el proceso de fragmentación. Este
proceso se repite hasta que la barra se rompe por completo. En este
contexto puede ser diferente la longitud de las barras de Si.
Después del procedimiento de fragmentación, el carro de
fragmentación se conduce a una posición final definida, las cubetas
de amasadora guardadas capaces de girar se giran unas contra otras
aprox. 150ºC y el fragmento de Si se descarga en un canal de
alimentación instalado bajo el carro de fragmentación para su
transporte ulterior.
Los fragmentos pretriturados (la fracción gruesa
de polisilicio) tienen una longitud inferior a 25 cm. Los mismos se
descargan automáticamente en un canal transportador, que suministra
el material a la planta de fragmentación de varias etapas.
\vskip1.000000\baselineskip
En lugar de la barra de polisilicio se ponen
fragmentos de silicio individuales con una longitud mayor que 25 cm
sobre la mesa de fragmentación y se trituran como se describe en el
Ejemplo 1.
Una fracción gruesa de polisilicio (del Ejemplo
1, 2 o de la trituración manual de acuerdo con la técnica anterior)
se conduce mediante un dispositivo de alimentación, preferiblemente
un embudo, a una fragmentadora de rodillos.
La primera etapa de fragmentación se hace
funcionar para la producción selectiva de fracción 5 con una
velocidad periférica de 1 m/s y una distancia de separación (punta
de diente a fondo del rodillo opuesto) de 90 mm. Otras etapas de
fragmentación se eludieron por medio de una derivación. El material
fragmentado se conduce por un canal transportador (cuyas
características de suministro, como v.g. la frecuencia, están
consignadas asimismo en la fórmula, a la planta de selección.
El componente fino (fracción 0 y 1) del material
así triturado se separa en el tamiz mecánico con una anchura de
malla de aproximadamente 10 mm, y la proporción separada a
continuación se separa en las fracciones 0 y 1 en una planta de
tamizado mecánico adicional, o un tamiz adicional con aprox. 4 mm de
anchura de malla.
El componente grueso (fracción 2, 3, 4 y 5) se
conduce a la planta de separación óptica y se separa en tres etapas
ópticas como sigue: en la primera etapa se separó la fracción 3
& 2 de la fracción 4 & 5. Como límite de separación se
consignó en la fórmula para los fragmentos de polisilicio una
longitud máxima de 55 mm, es decir que los fragmentos cuya longitud
es menor que 55 mm, se expulsan por soplado. La fracción 3 & 2
expulsada por soplado se separó en las fracciones 3 y 2 por medio
de un canal transportador y una segunda etapa de separación
subsiguiente o un límite de separación consignado en la fórmula de
30 mm. La fracción 4 & 5 se separó en las fracciones 4 y 5 en
una tercera etapa con un límite de separación de 100 mm.
Fig. 2 muestra el resultado de la trituración y
clasificación. Se aprecia fácilmente que, por una combinación de
dos fragmentadoras dispuestas en serie y una selección conveniente
de las distancias de separación puede producirse cualquier
distribución granulométrica arbitraria (por simple introducción de
los parámetros).
Así, pueden producirse fragmentos grandes con
una longitud mayor que 90 mm (tamaño 5) y una cubicidad > 3
g/mm, p.ej. con un rendimiento en peso de > 50% con un solo
rodillo (diámetro 1 m) y una distancia de rodillos de
aproximadamente 90 mm. La producción secundaria de finos (tamaños 2,
1 y 0, con una longitud inferior a 40 mm) es menor que 5% en
peso.
Por otra parte, pueden producirse finos con una
longitud inferior a 40 mm (tamaños 2, 1 y 0) p.ej. con un
rendimiento en peso mayor que 80%, con una combinación de distancia
de rodillos de 30 mm y a continuación 8 mm (diámetro de rodillo 650
mm). No se aprecia producción alguna de productos secundarios de
fragmentos gruesos (tamaños 4 y 5).
Se midieron con balanzas los rendimientos en
peso en el ejemplo a fines de comparación en una balanza separada o
por determinación del peso de las fracciones individuales después de
fragmentación y tamizado en las salidas de la planta de
selección.
Los parámetros determinados con la "medición
en línea" se transmiten a la unidad principal de control y
regulación, y se comparan en ella con los parámetros
predeterminados seleccionados. En caso necesario, se corrige
entonces p.ej. la distancia de separación de las fragmentadoras de
rodillos directamente o se somete a reajuste a fin de armonizar
los parámetros medidos con los parámetros predeterminados.
\vskip1.000000\baselineskip
Se modificaron los parámetros de software
concernientes a los límites de separación de las fracciones
individuales. En la fórmula para el control de la planta de
separación optoelectrónica se modificaron en varios milímetros los
valores referidos a la longitud máxima o mínima permitida de los
fragmentos en las fracciones individuales. En el ejemplo, se
modificó el límite de separación para la expulsión por soplado entre
las fracciones 2 y 3 desde 27 mm a 31 mm y entre las fracciones 3 y
4 desde 55 mm a 57 mm. Esta modificación de los parámetros del
programa de sólo unos pocos milímetros se hace ya evidente en las
propiedades del producto (p.ej. distribución de longitudes), es
decir que los límites se separación entre las fracciones
individuales pueden adaptarse flexiblemente con gran exactitud por
simple elección de la fórmula a la especificación respectiva del
cliente, o bien tenerse en cuenta en el contexto de la regulación
en línea para la obtención de los valores teóricos deseados.
Claims (12)
1. Dispositivo para la trituración y selección
de silicio policristalino, que comprende un equipo de alimentación
para una fracción gruesa de polisilicio en una planta de
fragmentación, la planta de fragmentación, y una planta de
selección para la clasificación de la fracción de polisilicio,
caracterizado porque el dispositivo está provisto de un
control, que hace posible un ajuste variable de al menos un
parámetro de fragmentación en la planta de fragmentación y al menos
de un parámetro de selección en la planta de selección.
2. Dispositivo según la reivindicación 1,
caracterizado porque comprende un dispositivo transportador
desde la planta de fragmentación a la planta de selección.
3. Dispositivo según la reivindicación 1 ó 2,
caracterizado porque la planta de selección está provista de
un equipo de medida para parámetros definidos de la fracción de
polisilicio clasificada y este equipo de medida está conectado a un
equipo de control y regulación principal, que compara los parámetros
medidos con un parámetro predeterminado y en el caso de una
desviación entre los parámetros medidos y los parámetros
predeterminados puede modificarse el ajuste del parámetro de
fragmentación de la planta de fragmentación y el parámetro de
selección de la planta de selección, de tal manera que el parámetro
medido luego se ajusta al parámetro predeterminado.
4. Dispositivo según la reivindicación 1, 2 ó 3,
caracterizado porque la planta de fragmentación es una planta
de fragmentación de varias etapas constituida por 1 a 10
fragmentadoras, preferiblemente 1 a 3 fragmentadoras.
5. Dispositivo según la reivindicación 4,
caracterizado porque las fragmentadoras son fragmentadoras de
rodillos o fragmentadoras de mandíbulas, preferiblemente
fragmentadoras de rodillos, y de modo particularmente preferido
fragmentadoras de rodillos de púas.
6. Dispositivo según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque la planta de
selección está constituida por una planta de tamizado mecánico de
varias etapas y una planta de separación optoelectrónica de varias
etapas.
7. Dispositivo según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 6, caracterizado porque se emplea una
planta de tamizado mecánica de dos etapas en combinación con una
planta de separación optoelectrónica de tres etapas construida en
una estructura de árbol, en donde la selección de la fracción de
polisilicio se realiza por medio de monitorización en línea de
acuerdo con uno o varios de los criterios seleccionados del grupo
longitud, superficie, forma, morfología, color y peso de los
fragmentos de polisilicio.
8. Dispositivo según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 7, caracterizado porque después de la
planta de selección está dispuesto un dispositivo totalmente
automático de envasado en cajas y transporte de las cajas.
9. Dispositivo según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 8, caracterizado porque antes del equipo
de alimentación está dispuesta una pretrituradora que comprende un
soporte y cinceles y contracinceles de trituración como parte de
la planta de fragmentación, donde el soporte, los cinceles y
contracinceles de trituración están dotados de movimiento de tal
manera que una barra de polisilicio a triturar que se encuentra
sobre el soporte o un fragmento de polisilicio puede ajustarse
entre los cinceles de tal manera que todos los cinceles en la zona
de la barra de polisilicio o el fragmento de polisilicio están en
contacto con la barra de polisilicio (fragmento de polisilicio) y
los cinceles de trituración pueden acercarse por delante o detrás a
la barra de polisilicio (fragmento de polisilicio) a lo largo de su
eje de trabajo hasta una distancia de seguridad del
contracincel,
estando dispuesto también un dispositivo de
transporte, que conduce la fracción de Si desde la pretrituradora
al equipo de alimentación.
10. Método para la trituración y selección de
polisilicio por medio de un dispositivo de acuerdo con cualquiera
de las reivindicaciones 1 a 9.
11. Método según la reivindicación 10,
caracterizado porque una fracción gruesa de polisilicio se
conduce a una planta de fragmentación, en la cual es posible un
ajuste variable de al menos un parámetro de fragmentación, y se
tritura en ella para dar una fracción de polisilicio, que se
suministra a continuación a una planta de selección y se clasifica
en ella, midiéndose en cada caso en la planta de selección un valor
real para un parámetro definido de la fracción de polisilicio,
transmitiéndose el valor real medido a una unidad principal de
control y regulación, y comparándose en la unidad de control y
regulación con un valor teórico predeterminado, y, en el caso de
una desviación entre el valor real y el valor teórico, el equipo de
control y regulación modifica el ajuste del parámetro de
fragmentación de la planta de fragmentación de tal manera que el
valor real de la fracción de polisilicio medido luego se ajusta al
valor teórico predeterminado.
12. Método según la reivindicación 10 ó 11,
caracterizado porque una barra de polisilicio se tritura en
un dispositivo según la reivindicación 8 sin pretratamiento térmico
para dar una fracción de polisilicio.
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