ES2309134T3 - Proceso de deposicion de pelicula. - Google Patents
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- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Abstract
Proceso de deposición de película en el cual es depositada una película sobre las caras de un sustrato en una cámara de vacío (2) que es capaz de mantener un vacío en la misma, comprendiendo dicho proceso los pasos de llevar a cabo la traslación vertical de una hoja continua (3) en calidad de sustrato y llevar a cabo continuamente una deposición de película sobre las caras de la hoja continua; siendo la deposición de película llevada a cabo horizontalmente sobre las caras de la hoja continua en traslación vertical por depositadores (8) de película que están mutuamente encarados a uno y otro lado de la hoja continua, y siendo la hoja continua una tela no tejida que tiene una masa de 5 a 300 g/m 2 .
Description
Proceso de deposición de película.
La presente invención se refiere a un proceso de
deposición de película, y más en particular, a un proceso para
depositar una película sobre las caras de una hoja flexible, y en
particular de una hoja de refuerzo para caucho de poco peso, de
manera continua y estable.
Los aparatos para depositar una película sobre
un sustrato mediante el uso de técnicas de pulverización catódica
están en general divididos en dos grupos: los del tipo de
"deposición hacia arriba" y los del tipo de "deposición hacia
abajo". El sustrato está posicionado encima de un cátodo en el
tipo de deposición hacia arriba, mientras que el sustrato está
posicionado debajo del cátodo en el tipo de deposición hacia abajo.
En un proceso de posición de película en el que se usa pulverización
catódica, el metal pulverizado por bombardeo iónico se deposita de
nuevo sobre la superficie del cátodo, con lo cual se desprende del
cátodo una sustancia pulverizada al ser el proceso continuado por
espacio de un prolongado periodo de tiempo. Por consiguiente, en el
aparato del tipo de deposición hacia abajo la sustancia en polvo
cae sobre el sustrato, ocasionando con ello imperfecciones en la
película depositada, lo cual a menudo redunda en la deposición de
una película defectuosa.
Por otro lado, cuando el sustrato es por ejemplo
una hoja de tela no tejida, que es generalmente usada para producir
refuerzos para caucho de poco peso, y si el sustrato no es
adecuadamente tratado para fijar las fibras cortas en la tela no
tejida, se produce polvo de pequeñas fibras durante la traslación
del sustrato en el aparato. Por consiguiente, este material en polvo
se deposita sobre la superficie del blanco en el aparato del tipo de
deposición hacia arriba e impide que el blanco lleve a cabo la
operación de descarga por espacio de un largo periodo de tiempo de
manera estable. A pesar de que tal descarga inestable puede evitarse
desplazando lateralmente el sustrato en traslación, el uso de la
hoja de tela no tejida hace que sea difícil llevar a cabo la
traslación horizontal de la hoja entre los de un par de rodillos de
soporte en condiciones tales que la misma se mantenga estirada,
porque a la propia hoja le falta rigidez y por consiguiente se
afloja fácilmente por efecto de la gravedad.
Se llama asimismo la atención acerca de las
descripciones del documento
US-A-5196100.
En vista de los problemas que han sido descritos
anteriormente, es un objetivo de la presente invención aportar un
proceso de deposición de película que pueda llevar a cabo
continuamente una estable deposición de película por espacio de un
largo periodo de tiempo sin ocasionar problemas tales como la
deposición de una película defectuosa, una descarga incorrecta y
problemas similares, aunque la película sea depositada en la
superficie de una hoja flexible tal como una hoja de tela no tejida
usada en un refuerzo para caucho de poco peso.
La presente invención aporta un proceso de
deposición de película en el cual es depositada una película sobre
las caras de un sustrato en una cámara de vacío que es capaz de
mantener un vacío en la misma, comprendiendo dicho proceso los pasos
de llevar a cabo la traslación vertical de una hoja continua en
calidad de sustrato y llevar a cabo continuamente una deposición de
película sobre las caras de la hoja continua; siendo la deposición
de película llevada a cabo horizontalmente sobre las caras de la
hoja continua en traslación vertical por depositadores de película
que están mútuamente encarados a uno y otro lado de la hoja
continua, y siendo la hoja continua una tela no tejida que tiene una
masa de 5 a 300 g/m^{2}.
Se describe a continuación más ampliamente la
invención haciendo referencia a los dibujos acompañantes, en los
cuales:
La Fig. 1 es una vista en sección vertical de un
ejemplo de aparato de deposición de película;
la Fig. 2 es una vista en sección horizontal del
aparato de deposición de película que se muestra en la Fig. 1; y
la Fig. 3 es una vista en sección de un ejemplo
de cubierta radial.
Se describe a continuación la presente invención
haciendo referencia a los dibujos acompañantes.
Haciendo referencia a las Figs. 1 y 2, un
aparato 1 de deposición de película está equipado con una cámara de
vacío 2 que puede mantener un vacío en la misma. La deposición de
película es llevada a cabo en las caras de una hoja continua 3 que
en calidad de sustrato se traslada a través de la cámara de vacío
2.
El aparato 1 de deposición de película tiene un
par de cilindros, que son concretamente un cilindro alimentador 4a y
un cilindro receptor 4b, en calidad de medios de traslación para
llevar a cabo la traslación de la hoja continua 3. Los dos cilindros
4a y 4b están distanciados verticalmente uno del otro. En
consecuencia, esta disposición hace que sea posible enrollar la hoja
continua 3 en un estado tal que la hoja continua 3 no se afloja y se
mantiene estirada durante la traslación, a diferencia de lo que
sucede cuando se usan medios convencionales para la traslación de la
hoja, que hacen que la hoja pelicular continua se traslade en una
dirección horizontal. En particular, la disposición según la
presente invención es ventajosa cuando el sustrato está hecho de un
material flexible que carece de rigidez y por consiguiente puede
experimentar fácilmente deformación incluso cuando sea aplicada una
relativamente pequeña fuerza de tracción, o sea de un material que
tiende a aflojarse y es incapaz de resistir una alta tracción. En
consecuencia, incluso sobre las caras de un material de este tipo
puede obtenerse una película uniformemente depositada que está
exenta de defectos o irregularidades de tipo alguno.
Como se muestra en las Figs. 1 y 2, el cilindro
alimentador 4a y el cilindro receptor 4b en el aparato 1 de
deposición de película son accionados por los motores de
accionamiento 5a y 5b, respectivamente, para hacer que la hoja
continua 3 se traslade de arriba a abajo. En ese caso, están
dispuestos dos rodillos de contacto 9a y 9b a fin de controlar la
velocidad de traslación. Además está dispuesto un rodillo tensor 6
para ajustar adecuadamente la tracción de la hoja continua 3 en
traslación a fin de asegurar una continua y estable deposición de
película. Cuando en la presente invención se usa una tela no tejida
que tiene una masa de 40 g/m^{2} en calidad de la hoja continua 3,
la tracción preferida de la hoja 3 está situada dentro de la gama de
tracciones que va desde 1 N/m hasta 15 N/m. Cuando la tracción es de
menos de 1 N/m, la misma no es preferible porque la tela no tejida
no puede trasladarse uniformemente. Por otro lado, si la tracción es
de más de 15 N/m, la tela no tejida es estirada uniformemente en
contra de lo deseado, experimentando deformación.
Además, como se muestra en la Fig. 1, están
dispuestos verticalmente y mútuamente encarados horizontalmente los
de un par de cátodos de pulverización catódica 8 que están previstos
en calidad de medios de deposición de película, y la hoja continua 3
se traslada por entre los del par de cátodos de pulverización
catódica 8. Esto quiere decir que en el aparato 1 de deposición de
película la dirección de deposición de película mediante
pulverización catódica ha sido modificada pasando de ser la
dirección vertical que es la que se emplea en un aparato de
deposición de película convencional a ser la dirección horizontal.
Este cambio permite que el polvo originario del sustrato y la
sustancia pulverizada originaria de los cátodos caigan a la parte
inferior, respectivamente, sin caer sobre el sustrato o los cátodos
y sin pegarse a los mismos, y por consiguiente elimina los
problemas que van asociados al aparato convencional, tales como el
de la formación de una película defectuosa, el de la irregularidad
de la película y el de la descarga anormal. En consecuencia, junto
con los medios de traslación anteriormente descritos la disposición
vertical según la presente invención hace que sea posible depositar
una película sobre un sustrato flexible generador de polvo de manera
continua y estable y sin ocasionar defectos algunos de la película o
una descarga anormal.
Materiales que pueden ser usados en calidad de
la hoja continua 3 en la presente invención son telas no tejidas que
están adecuadamente hechas de fibras orgánicas. En particular, puede
obtenerse un refuerzo para caucho flexible de poco peso depositando
una película de un metal tal como cobalto o un compuesto metálico
que pueda reaccionar con el azufre sobre la superficie de un
material de fibra orgánica, que comprende la tela no tejida. Esto
quiere decir que la deposición de una película metálica de este tipo
sobre la superficie del material de fibra orgánica puede facilitar
una adherencia entre el material de fibra orgánica y un caucho, que
de lo contrario son difíciles de adherir uno a otro, y así el
material compuesto resultante puede ser adecuadamente usado como
refuerzo para caucho combinándolo con artículos de caucho tales como
una cubierta y artículos similares al ser realizada la
vulcanización. En consecuencia, con el uso del refuerzo para caucho
según la presente invención puede alcanzarse una alta durabilidad en
artículos de caucho.
A pesar de que puede preferiblemente usarse en
la presente invención una tela no tejida de cualquier material y
cualquier estructura de fibras, se prefiere en particular que dicha
tela no tejida tenga una estructura en la cual un caucho pueda
penetrar entre los filamentos de fibra y en la cual un caucho forme
mutuamente una capa continua a lo largo de una distancia
relativamente grande y una extensión relativamente grande. La masa
por unidad de superficie de la tela no tejida está situada dentro de
la gama de valores de 5 a 300 g/m^{2}, y más preferiblemente
dentro de la gama de valores de 10 a 100 g/m^{2}. Cuando la masa
por unidad de superficie es de menos de 5 g/m^{2}, puede ser que
se obtenga una tela no tejida irregular porque resulta difícil
mantener la uniformidad de la propia tela no tejida, y un material
compuesto preparado a base de la tela no tejida y de un caucho puede
presentar grandes variaciones aleatorias de resistencia, rigidez y
alargamiento de rotura tras haber sido vulcanizado el material
compuesto. Por otro lado, cuando la masa por unidad de superficie es
de más de 300 g/m^{2}, el caucho tiende a no penetrar en la tela
no tejida, si bien ello depende de la fluidez del caucho. Tal masa
por unidad de superficie no es preferible con vistas a la
resistencia al pelado del material compuesto hecho a base de la tela
no tejida y del caucho cuando el material compuesto es usado como
componente de una cubierta.
En calidad de los cátodos de pulverización
catódica 8 en los medios de deposición de película, se usan
preferiblemente cátodos de pulverización catódica por magnetrón.
Esto es debido al hecho de que la pulverización catódica por
magnetrón tiene ventajas tales como las de que puede depositar una
película sobre una forma compleja, no inflige daño alguno a la tela
no tejida, y la película resultante tiene una buena adherencia.
Las condiciones de pulverización catódica, y en
particular las condiciones de pulverización catódica por magnetrón,
son por ejemplo como se indica a continuación. El gas atmosférico es
un gas inerte tal como Ar, He, Ne y Kr, y particularmente Ar en
solitario o en una combinación de los mismos. Según sea necesario,
puede mezclarse con el gas inerte un gas reactivo, como por ejemplo
un gas que contenga oxígeno, tal como O_{2}, H_{2}O y gases
similares, un gas que contenga nitrógeno, tal como N_{2}, NH_{3}
y gases similares, o un gas con contenido de carbono, tal como
CH_{4} y gases similares. La relación de mezcla en volumen de gas
inerte a gas reactivo es de 100/0 a 0/100 (gas inerte/gas reactivo),
preferiblemente de 100/0 a 20/80, y más preferiblemente de 100/0 a
70/30.
La presión de gas puede tener cualquier valor al
que pueda llevarse a cabo la pulverización catódica, pero es
preferiblemente de 1 x 10^{-2} Pa a 5 x 10^{2} Pa, y más
preferiblemente de 5 x 10^{2} Pa a 1 x 10^{1} Pa. Una fuente de
energía (aportada a un blanco) puede ser la conocida c.c. o c.a.
Generalmente puede emplearse una fuente de energía de c.c., una
fuente de energía de radiofrecuencia (RF) y fuentes de energía
similares. Puede también usarse una fuente de energía pulsátil.
Puede también aplicarse la llamada
"pulverización catódica por magnetrón ionizada", en la cual las
partículas sometidas a pulverización catódica son activadas por
plasma inductivo generado entre un blanco y un sustrato.
El espesor medio de una película depositada
mediante un proceso de pulverización catódica de este tipo es
preferiblemente de 5 x 10^{-10} m a 1 x 10^{-5} m, y más
preferiblemente de 1 x 10^{-9} m a 5 x 10^{-7} m. Si la película
es demasiado delgada, la adherencia será insuficiente. Por otro
lado, si es demasiado gruesa, la película tiende a separarse del
sustrato debido a una tensión interna de la película. Una película
de este tipo solamente es necesario que sea depositada sobre la
superficie de los filamentos de la tela no tejida en una cantidad
que sea al menos suficiente como para ocasionar una reacción de
sulfuración. No hay necesidad de que la película se depositada
uniformemente. Cuando la película es expuesta a la atmósfera durante
su deposición o después de la misma, a veces reacciona con el
oxígeno o el vapor de agua del aire, lo cual redunda en una
contaminación con impurezas tales como las de oxígeno e hidrógeno en
la película. De ser necesario, puede llevarse a cabo tras la
deposición de la película un tratamiento tal como un tratamiento con
plasma, un tratamiento por implantación de iones o por irradiación
iónica y un tratamiento térmico para mejorar las condiciones
superficiales, la reactividad, la tensión interna y características
similares de la película.
Además, de ser necesario es deseable limpiar
totalmente la superficie de la tela no tejida como pretratamiento
antes de la deposición de la película. Los métodos de limpieza
preferidos incluyen el de lavado con un disolvente, el de descarga y
una combinación del lavado con un disolvente y la descarga. Como se
muestra en la Fig. 1, por ejemplo, el proceso de descarga supone el
uso de electrodos de RF 7 (conectados a una fuente de energía de RF)
que sirven de electrodos de pretratamiento. Las caras de la hoja
continua 3 son limpiadas por descarga entre los electrodos 7 de
pretratamiento antes de la deposición de película mediante los
cátodos de pulverización catódica 8. En ese caso se prevén con
preferencia individualmente una fuente de energía para los cátodos
de pulverización catódica 8 y una fuente de energía para los
electrodos 7 de pretratamiento, para llevar a cabo por separado los
suministros de energía. Pueden combinarse dos o más técnicas de
limpieza para acrecentar los efectos de limpieza.
Los ejemplos preferidos de materiales diana para
los cátodos de pulverización catódica 8 como fuente de la deposición
de película incluyen, aunque sin carácter limitativo, el cobalto
(Co), el cobre (Cu), el cinc (Zn), el titanio (Ti), la plata (Ag),
el estaño (Sn) o aleaciones de los mismos. En particular, cuando se
desee obtener el refuerzo para caucho anteriormente descrito puede
emplearse un metal o un compuesto metálico que sea reactivo para con
el azufre, así como sus aleaciones, óxidos y nitruros. Por ejemplo,
además de lo indicado anteriormente pueden también emplearse
aleaciones de cromo (Cr), aluminio (Al), níquel (Ni), plomo (Pb) y
tungsteno (W) que comprendan dos o más de estos metales y sus
compuestos tales como óxidos, nitruros, carburos, sulfuros y
sulfatos. En particular, pueden usarse preferiblemente metales y
aleaciones tales como Co, aleación de Co/Cr, aleación de Cu/Zn y
aleación de Cu/Al, y sus óxidos. Más preferiblemente se usan Co y
sus óxidos (véanse las Copias Impresas de las Piezas de la Solicitud
de Patente Japonesa Distribuida al Público Núms. Sho.
62-87311, Sho. 62-246287 y Hei.
1-290343). Los compuestos tales como óxidos,
nitruros y carburos pueden ser tanto los que tengan una composición
estequiométrica como los que tengan una composición no
estequiométrica. Se prefieren los que tengan unos porcentajes de
elementos metálicos mayores que los valores estequiométricos.
En una realización del refuerzo para caucho que
es obtenido depositando una película sobre la hoja continua 3 según
la presente invención, parece ser que cuando un caucho no curado es
laminado con el refuerzo para caucho para así hacer el laminado
dándole la forma deseada y para luego someterlo a un tratamiento de
termopresando, se produce una adherencia durante el curado del
caucho debido a la sulfuración de la película y del caucho, con lo
cual puede ser obtenido un material compuesto de caucho reforzado
con el refuerzo para caucho. La formación de un material compuesto
de este tipo puede ser efectuada prensando cualquier cara o ambas
caras de la hoja de material compuesto de caucho no curado mediante
una prensa o un rodillo para sustituir el aire por el caucho en la
tela no tejida. El curado y la sulfuración están en conflicto entre
sí. A fin de que ambas reacciones se desarrollen adecuadamente,
deben estar adaptadas ambas reactividades. En la deposición de
película por pulverización catódica, puede ser fácilmente depositada
una película delgada de un compuesto con una moderada reactividad de
sulfuración mediante la adición de una cantidad apropiada de un gas
reactivo tal como oxígeno y nitrógeno a un gas inerte tal como Ar
durante la deposición de la película.
Como se ha descrito anteriormente, según la
presente invención es posible depositar una película incluso sobre
las caras de una hoja flexible sin que sean ocasionados problemas
tales como el de la deposición de una película defectuosa o el de
una descarga anormal, estando al mismo tiempo asegurado un
funcionamiento estable y continuo a largo plazo. Por consiguiente,
el material que tiene la película depositada sobre el mismo según la
presente invención puede ser usado por ejemplo como refuerzo para
caucho para reforzar las partes laterales de una cubierta radial y
mejorar significativamente la durabilidad en condiciones de rodadura
así como la estabilidad direccional.
Los ejemplos siguientes se dan con la finalidad
de ilustrar la presente invención y no pretenden constituir
limitaciones de la misma.
\newpage
Un rollo de tela no tejida de poliéster que
tenía 100 m de longitud, 300 mm de anchura, 0,7 mm de espesor y una
masa de 40 g/m^{2} fue puesto en un aparato 1 de deposición de
película como se muestra en las Figs. 1 y 2 para servir de hoja
continua 3. La cámara 2 fue evacuada usando una bomba de vacío. Para
evitar la deformación de la tela no tejida debido a una tracción
excesiva, se hizo que la hoja 3 se trasladase bajo una tracción de
aproximadamente 6,5 N/m a una velocidad de traslación de 0,2 m/min.
durante el pretratamiento y de 0,6 m/min. durante la deposición de
la película.
Fue usada una fuente de energía de RF para
generar una descarga de plasma entre los de un par de electrodos
planares paralelos (separación: 20 mm) cada uno de los cuales es de
200 mm de longitud y 400 mm de anchura, sirviendo dichos electrodos
de electrodos de pretratamiento 7. Bajo las condiciones
anteriormente descritas, la tela no tejida fue pasada por entre los
electrodos 7 para someter a ambas caras de la tela no tejida a un
pretratamiento.
Dos cátodos (cañones de bombardeo iónico por
magnetrón) equipados con blancos de cobalto (pureza 3N),
respectivamente, cada uno de los cuales tiene las dimensiones de 400
mm (de anchura) x 100 mm, fueron dispuestos en calidad de los
cátodos de pulverización catódica 8 para depositar una película
sobre ambas caras de la tela no tejida aplicando una potencia de
2000 W de una fuente de energía de c.c. de alto voltaje a cada
cátodo. Puesto que el gas usado se componía solamente de argón, fue
depositada una película de cobalto que tenía un espesor de
aproximadamente 20 nm.
Hubo escasa variación de las dimensiones de la
tela no tejida sobre la cual fue depositada la película de cobalto
como se ha mencionado anteriormente, en comparación con una antes de
la deposición de la película. El material pelicular resultante
estaba uniformemente recubierto con cobalto en ambas caras del
mismo. Cuando a efectos comparativos se hizo que la tela no tejida
se trasladase bajo una tracción de 35,0 N/m, la misma fue estirada
en varios sitios e incluso llegó a desgarrarse, con lo cual en
algunas partes quedaron formados grandes orificios.
Como Ejemplo 1, cuando la deposición de película
continua (durante 1 hora) fue llevada a cabo sobre la base de las
condiciones y los procedimientos anteriormente descritos (tracción:
aproximadamente 6,5 N/m), fue medido el número de descargas de arco
que tuvieron lugar en los cátodos. Los resultados están indicados en
la siguiente Tabla 1 junto con los resultados obtenidos usando un
aparato de deposición de película del tipo de deposición hacia
arriba como Ejemplo Comparativo 1.
\vskip1.000000\baselineskip
Como se indica en la anterior Tabla 1, el número
de descargas de arco que tuvieron lugar durante el proceso de
deposición de película de una hora había disminuido
significativamente en el Ejemplo 1 en comparación con el Ejemplo
Comparativo 1.
A continuación se fabricaron distintos refuerzos
para caucho usando las mismas condiciones de traslación y las mismas
condiciones de pretratamiento como en el Ejemplo 1 y luego usando
las condiciones de deposición de película que se indican en la
siguiente Tabla 2. Los refuerzos para caucho resultantes, que
estaban compuestos de la tela no tejida con la película depositada
sobre la misma, fueron usados para preparar cubiertas radiales. Con
respecto a estas cubiertas fue realizado un ensayo de marcha.
Las condiciones de deposición de película son
las que se indican a continuación.
Dos cátodos (cañones de bombardeo iónico por
magnetrón) equipados con blancos de cobalto (pureza 3N),
respectivamente, cada uno de los cuales tiene las dimensiones de 400
mm (de anchura) x 100 mm, fueron dispuestos en calidad de los
cátodos de pulverización catódica 8 para depositar una película
sobre ambas caras de la tela no tejida aplicando una potencia
determinada desde una fuente de energía de c.c. de alto voltaje a
cada cátodo. Fueron depositadas películas de óxido de cobalto usando
mezclas de cobalto y gas oxígeno. Como Ejemplo Comparativo fue
también usada una tela no tejida que no había sido sometida al
pretratamiento ni a la deposición de película
de Co.
de Co.
\vskip1.000000\baselineskip
En calidad de capas de refuerzo 15a, 15b,
materiales compuestos basados en caucho y obtenidos cubriendo
integralmente la tela no tejida con un caucho no curado por ambas
caras de la tela fueron adheridos dentro de una longitud de 50 mm
desde los extremos superiores de los rellenos 14a, 14b de los
talones entre una capa 12 de la carcasa y los flancos 13a, 13b, como
se muestra en la Fig. 3. La cubierta no vulcanizada así obtenida, en
la cual estaba aplicado como capa de refuerzo de fibra un material
compuesto de caucho no curado, fue conformada y luego curada, siendo
obtenida como resultado de ello una cubierta radial con unas
dimensiones de 195/60R15 que contenía una tela de la carcasa de PET
1670 dtex/2. Por otro lado, como ejemplo convencional se preparó una
cubierta radial de la misma manera, exceptuando el hecho de que en
la misma no se aplicó capa de material de refuerzo
alguna.
alguna.
Con respecto a estas cubiertas fueron llevados a
cabo un ensayo de estabilidad direccional y un ensayo de durabilidad
sobre tambor bajo una gran carga.
\vskip1.000000\baselineskip
Un coche (un coche de tracción delantera y motor
delantero de fabricación nacional con un motor de 2000 cm^{3})
equipado con cubiertas experimentales fue conducido en la práctica
en condiciones de marcha en línea recta y de cambio de carril. La
estabilidad direccional fue evaluada sobre la base de la sensación
percibida por el conductor. La evaluación fue clasificada en
comparación con el control (cubierta convencional) de la manera
siguiente:
- -8:
- Es peor que el control.
- -4:
- Es ligeramente peor que el control.
- -2:
- Es posiblemente ligeramente peor que el control.
- 0:
- Es equivalente al control.
- +2:
- Es posiblemente ligeramente mejor que el control.
- +4:
- Es ligeramente mejor que el control.
- +8:
- Es mejor que el control.
Los puntos totales se expresan como índices
sobre la base de que es de 100 el índice del control.
\vskip1.000000\baselineskip
Una cubierta experimental cuya presión interna
había sido ajustada a la máxima presión de aire prevista en la norma
de la JATMA (JATMA = Asociación de los Fabricantes Japoneses de
Cubiertas para Automóviles) se dejó en un recinto a 25ºC \pm 2ºC
por espacio de 24 horas. Luego su presión interna fue reajustada a
la máxima presión de aire. Se hizo que la cubierta girase sobre un
tambor de 1,7 m de diámetro a una velocidad de 60 km/h bajo la
aplicación de una carga que era el doble de la carga máxima prevista
en la norma de la JATMA. La distancia recorrida antes de que se
produjese una avería fue medida e indicada como índice sobre la base
de que es igual a 100 el índice de la cubierta convencional. Cuanto
mayor es el índice, tanto mejor es el resultado. Los resultados
están indicados en la
Tabla 3.
Tabla 3.
Claims (6)
1. Proceso de deposición de película en el cual
es depositada una película sobre las caras de un sustrato en una
cámara de vacío (2) que es capaz de mantener un vacío en la misma,
comprendiendo dicho proceso los pasos de llevar a cabo la traslación
vertical de una hoja continua (3) en calidad de sustrato y llevar a
cabo continuamente una deposición de película sobre las caras de la
hoja continua; siendo la deposición de película llevada a cabo
horizontalmente sobre las caras de la hoja continua en traslación
vertical por depositadores (8) de película que están mutuamente
encarados a uno y otro lado de la hoja continua, y siendo la hoja
continua una tela no tejida que tiene una masa de 5 a 300
g/m^{2}.
2. Proceso como el reivindicado en la
reivindicación 1, donde los depositadores de película comprenden
cátodos (8) y la deposición de película es realizada usando un
material diana que constituye el blanco para los cátodos, donde el
material diana que constituye el blanco es cobalto, cobre, cinc,
titanio, plata, estaño o una aleación de los mismos.
3. Proceso como el reivindicado en la
reivindicación 1, que comprende el uso de un gas para la deposición
de película, donde el gas es un gas inerte o una mezcla gaseosa del
gas inerte y de una o varias clases de gas seleccionadas del grupo
que consta de gas con contenido de oxígeno, gas con contenido de
nitrógeno y gas con contenido de carbono.
4. Proceso como el reivindicado en cualquiera de
las reivindicaciones 1 a 3, donde las caras de la hoja continua (3)
son limpiadas mediante descarga entre electrodos de pretratamiento
(7) antes de la deposición de película.
5. Proceso como el reivindicado en cualquiera de
las reivindicaciones 1 a 4, donde la hoja continua (3) es usada en
una hoja de refuerzo para caucho de poco peso.
6. Proceso como el reivindicado en la
reivindicación 5, donde la hoja de refuerzo para caucho de poco peso
es usada para reforzar las partes laterales de una cubierta
radial.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001030061A JP4822378B2 (ja) | 2001-02-06 | 2001-02-06 | 成膜装置および成膜方法 |
JP2001-30061 | 2001-02-06 |
Publications (1)
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