JP3208639B2 - 連続シート状材料の表面処理方法及び表面処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空処理室内におい
て、プラスチックフィルムや、金属箔、あるいは織物や
編物等の繊維状材料などからなる連続したシート状材料
を巻出して走行させ、その走行経路中においてプラズマ
やＣＶＤ、スパッタ等によって該連続シート状材料の表
面を改質したり、又は該表面に金属膜、セラミック膜、
有機膜等の膜を成膜するなどの各種の表面処理を施す連
続シート状材料の表面処理方法及び表面処理装置に関す
る。この方法は、太陽電池や、液晶用表面ディスプレイ
板、ガラスに貼り付ける曇り防止や赤外線防止、紫外線
防止用のフィルムなどの各種の機能性フィルムの製造に
好適に用いられるものである。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
り、真空下において、連続して走行する連続シート状材
料に対して、プラズマによる表面改質処理や、スパッ
タ、プラズマＣＶＤによる成膜処理などの表面処理を行
なう場合、金属ロール等の回転体によって連続シート状
材料を支えながら走行させている。これらのロールは、
その軸方向が水平方向になるように配されており、該ロ
ールに沿って、連続シート状材料が、その幅方向が水平
方向となるように維持された状態で搬送されている。

【０００３】例えば、図４〜６に示すように、従来の表
面処理装置１００、１１０、１２０においては、巻出し
装置１０１から引出された連続シート状材料１０２は、
ロール１０３、１０３、…に沿って、その幅方向が水平
方向となるように処理区間１０７内を水平方向に走行
し、巻取装置１０６で巻き取られている。

【０００４】図４の従来の表面処理装置１００では、連
続シート状材料１０２は、処理区間１０７内にて、冷却
又は加熱等を行なう温度制御ロール１０４に接触した状
態で、そのロール１０４の下方に配された電極１０５、
１０５、１０５によって表面処理がなされる。

【０００５】図５の従来の表面処理装置１１０では、連
続シート状材料１０２は、２本のロール１０３、１０３
間で、当該走行路の上方にその走行面と平行に配された
電極１０５によって表面処理がなされる。

【０００６】図６の従来の表面処理装置１２０では、連
続シート状材料１０２は、水平方向に連設された３つの
処理区間１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃを貫通して走行
し、各処理区間１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃにおい
て、当該走行路の下方にそれぞれ配された電極１０５
ａ、１０５ｂ、１０５ｃによって表面処理がなされる。

【０００７】しかしながら、このように連続シート状材
料１０２をその幅方向が水平方向となるように支持した
状態で水平方向に走行させる場合、該連続シート状材料
１０２は、その自重のよって下方に垂れ下りやすいた
め、当該走行方向に作用する張力を大きくするか、また
は、連続シート状材料１０２を支持するロール１０３間
隔を短くしなければ、良好に走行させることができな
い。

【０００８】一般に、このような表面処理を行なう場
合、以下に示す理由により、連続シート状材料に作用す
る張力をできるだけ小さく、かつ、ロール間隔をできる
だけ長くすることが望ましい。

【０００９】すなわち、張力が大きいと、処理後に連続
シート状材料１０２に縦皺などの歪みが残り、特に耐熱
性に劣る連続シート状材料１０２の場合、該歪みが大き
く、品質上大きな問題となる。一方、ロール１０３間隔
が短いと、表面処理された処理面が、処理後直ちにロー
ル１０３と接触してしまい、特に、多層膜を形成する場
合などのように連続多段階処理を行う場合、品質上の問
題が大きい。

【００１０】ロール１０３間隔が短い場合であっても、
図６の装置１２０のように、連続シート状材料１０２を
湾曲させて当該成膜面がロール１０３に接触しないよう
に走行させることにより、上記の問題を解決することは
可能である。しかし、この場合でも、連続シート状材料
１０２と電極１０５間との距離を一定に保つためには、
非成膜面にロール１０３を適当な間隔で当接させなけれ
ばならないため、連続シート状材料１０２の両面処理に
は適さないという問題がある。

【００１１】以上において、特にスパッタやプラズマＣ
ＶＤで成膜する場合には、図４、６に示す成膜方法は、
デポアップ方式と呼ばれ、図５に示す成膜方法は、デポ
ダウン方式と呼ばれているが、前者の場合には、連続シ
ート状材料１０２側からの汚染物が電極１０５側に、後
者の場合には、電極１０５の汚染物が連続シート状材料
１０２側に落下して、それらに付着してしまうという汚
れの問題もある。

【００１２】一方、従来、連続シート状材料１０２を、
その幅方向が水平方向となるように維持された状態で鉛
直方向に走行させつつ、表面処理を行うということもな
されている。

【００１３】例えば、図７の従来の表面処理装置１３０
では、処理区間１０７内において連続シート状材料１０
２の走行路が一部鉛直方向になるように、ロール１０
３、１０３、…が配されており、その鉛直部で、連続シ
ート状材料１０２の面に平行に配された電極１０５、１
０５によって表面処理がなされる。

【００１４】また、図８の従来の表面処理装置１４０で
は、連続シート状材料１０２は、鉛直方向に連設された
３つの処理区間１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃを上方に
貫通して走行する。そして、上部に配された折返しロー
ル１４１で折返され、３区間１０７ａ、１０７ｂ、１０
７ｃを貫通して降下する。これら上昇時及び下降時にお
いて、各処理区間１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ内で、
連続シート状材料１０２の面に平行に配された合計６個
の電極１０５、１０５、…によって表面処理がなされ
る。

【００１５】このように、連続シート状材料１０２を、
その幅方向が水平方向になるように維持した状態で、該
連続シート状材料１０２を鉛直方向に走行させる場合、
電極１０５の下方に受け皿１３１を受けることで、上記
の汚れの問題は解決できる。

【００１６】しかしながら、この場合でもロール１０３
間隔を長くするためには、図８に示すように上下に高く
構成しなければならず、張力を低減させることはできな
い。また、非処理面側に短い間隔でロール１０３を配設
しなければ、連続シート状材料１０２を良好に走行させ
ることができないため、図６において上述したと同様
に、両面処理には適さないという問題がある。

【００１７】さらに、このように上方に大きく連続シー
ト状材料１０２を振り上げる方式では、電極１０５等の
据付け位置が非常に高くなってしまい、それらの掃除や
スパッタ法におけるターゲット材の交換などのメンテナ
ンス性に劣るという問題もある。

【００１８】以上のように、従来の表面処理方法では、
連続シート状材料１０２を、その幅方向が水平方向とな
るように走行させているので、張力を低く抑えつつロー
ル１０３間隔を長くとることができず、よって、特に、
連続シート状材料１０２の両面から成膜したり、連続多
段階処理を施す場合などに問題がある。

【００１９】そこで、本発明は、連続シート状材料を支
持するロール間隔が長くても、該連続シート状材料を良
好に連続走行させて表面処理することができる連続シー
ト状材料の表面処理方法及び表面処理装置を提供するこ
とを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明の連続シート状材
料の表面処理方法は、真空処理室内において連続して走
行する連続シート状材料に対して、プラズマ等による表
面改質処理や、スパッタ法やプラズマＣＶＤ法等による
成膜処理などの表面処理を行なう連続シート状材料の表
面処理方法において、前記連続シート状材料をその幅方
向が鉛直方向となるように連続走行させつつ前記表面処
理を行なう。

【００２１】本発明の表面処理方法においては、前記の
連続走行する連続シート状材料の幅方向一端が所定位置
よりも下方に位置したときに、前記連続シート状材料に
斜め上方に向かうよう外力を加えて前記幅方向一端を所
定位置に戻すことが好ましい。

【００２２】本発明の連続シート状材料の表面処理装置
は、真空処理室内において連続して走行する連続シート
状材料に対して、プラズマ等による表面改質処理や、ス
パッタ法やプラズマＣＶＤ法等による成膜処理などの表
面処理を行なう連続シート状材料の表面処理装置であっ
て、軸方向が鉛直方向となるように配されたロールを備
え、該ロールにより前記連続シート状材料をその幅方向
が鉛直方向となるように連続走行させつつ前記表面処理
を行なうものである。

【００２３】本発明の表面処理装置においては、前記の
連続走行する連続シート状材料の耳端を一定の高さに保
つ矯正装置を備え、該矯正装置が、連続シート状材料の
幅方向一端が所定位置よりも下方に位置したときに、該
連続シート状材料に斜め上方に向かうよう外力を加えて
前記幅方向一端を所定位置に戻すものであることが好ま
しい。

【００２４】

【作用】本発明の連続シート状材料の表面処理方法及び
表面処理装置では、連続シート状材料を、その幅方向が
鉛直方向となるように連続走行させて表面処理を施す電
極間に通し、これにより、連続シート状材料の少くとも
一方面に対して表面処理を行なう。

【００２５】本発明の表面処理方法及び表面処理装置に
おいては、幅方向が鉛直方向となるように連続走行する
連続シート状材料の幅方向一端が所定位置よりも下方に
位置したときに、該連続シート状材料に斜め上方に向か
うよう外力を加えることにより、下方に下ってきた連続
シート状材料が上方に持ち上げられて、当該幅方向一端
が所定位置に戻される。これにより、連続シート状材料
の幅方向一端の高さを一定に保つことができる。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００２７】図１は、本発明の一実施例を示した斜視図
であり、連続シート状材料Ｗの表面処理装置１０の要部
である処理室１２内の状態を示している。この装置１０
は、プラズマＣＶＤによる成膜装置である。

【００２８】処理室１２は、水平方向に細長い直方体の
ハウジングよりなる。この処理室１２の長手方向の一端
には、連続シート状材料Ｗを巻き出す不図示の巻出部を
有する巻出し室８が配され、他端には、連続シート状材
料Ｗを巻き取る不図示の巻取部を有する巻取り室９が配
されており、これにより本表面処理装置１０が構成され
ている。そして、処理室１２と巻出し室８と巻取り室９
の内部は、真空状態に保持されている。

【００２９】処理室１２の長手方向の両端壁には、連続
シート状材料Ｗが通過する鉛直方向に細長い矩形の孔１
４、１６が設けられており、巻出し室８側が入口孔１
４、巻取り室９側が出口孔１６となっている。また、処
理室１２の長手方向に平行な該処理室１２の両側壁に
は、水平方向に回動する矩形の扉１８ａ、１８ｂが設け
られている。

【００３０】この処理室１２内には、連続シート状材料
Ｗを支持する４本のロール２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２
２ｂと、連続シート状材料Ｗの表面に成膜処理を施す一
対の電極２４、２６が設けられている。

【００３１】４本のロール２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２
２ｂは、その軸方向が鉛直方向になるように、処理室１
２の天井面と床面との間に配されている。そして、それ
らは、入口孔１４側と出口孔１６側に２本ずつ配されて
おり、２つのロールの対２０、２２を構成している。入
口孔１４側に配された一対のロール２０ａ、２０ｂは、
それら２本のロール軸を通る平面が装置１０の長手方向
に垂直となるように配されており、第１ロール２０ａが
入口孔１４に近接し、第２ロール２０ｂがその隣に配さ
れている。出口孔１６側に配された一対のロール２２
ａ、２２ｂも、入口孔１４側と同様に、装置１０の長手
方向に垂直に配されており、第４ロール２２ｂが出口孔
１６に近接し、第３ロール２２ａがその隣に配されてい
る。

【００３２】一対の電極２４、２６は、第２ロール２０
ｂと第３ロール２２ａとの間に配されて、処理室１２の
一方の扉１８ａの内側面に陰電極２４が、他方の扉１８
ｂの内側面に陽電極２６がそれぞれ取付けられている。
この一対の電極２４、２６は、それぞれ矩形の電極面２
４ａ、２６ａを有する。両電極面２４ａ、２６ａは、互
いに平行で向い合っており、鉛直方向に平行かつ装置１
０の長手方向に平行に配されている。

【００３３】この電極２４、２６は、不図示の高周波電
源に接続されており、両電極面２４ａ、２６ａ間には、
高周波電圧が印加されている。

【００３４】この表面処理装置１０においては、処理室
１２内のロール２０、２２はもちろん、他の図示しない
ロール、例えば巻取り室８や巻出し室９内のロール等、
連続シート状材料Ｗを支持するロールは全て、その軸方
向が鉛直方向となるように配されている。

【００３５】なお、本表面処理装置１０において、電極
２４、２６の細部構成、印加電源及びその電圧、装置１
０内における真空度、並びに処理室１２内に供給する雰
囲気ガスの種類、雰囲気圧などについては、従来公知の
ものを適宜使用できる。例えば、印加電源として直流電
源を用いてもよい。

【００３６】次に、この表面処理装置１０による連続シ
ート状材料Ｗの表面処理方法について説明する。

【００３７】巻出し室８内では、不図示の巻出部に配さ
れた巻物状の連続シート状材料Ｗが、連続して引出され
る。この引出された連続シート状材料Ｗは、入口孔１４
を通過して処理室１２内に入る（図１において矢印ｖと
して示すように走行する）。

【００３８】処理室１２内では、連続シート状材料Ｗ
は、第１、第２ロール２０ａ、２０ｂに沿ってＳ字状に
連続走行し、対向する電極面２４ａ、２６ａ間に導かれ
る。ここで、連続シート状材料Ｗは、両電極面２４ａ、
２６ａに平行に走行する。この電極面２４ａ、２６ａ間
を走行する際に、連続シート状材料Ｗの陰電極２４ａと
向い合う面に対して、プラズマＣＶＤ処理による成膜が
なされる。そして、電極面２４ａ、２６ａ間を走行した
後、第３、第４ロール２２ａ、２２ｂを経て出口孔１６
から巻取り室９内に入り、不図示の巻取部で連続的に巻
き取られる。

【００３９】以上において、連続シート状材料Ｗは、常
に、その幅方向が鉛直方向となるように支持された状態
で水平方向に連続走行する。

【００４０】この表面処理装置１０では、連続シート状
材料Ｗは、その幅方向が鉛直方向となるように連続走行
するので、自身の自重による垂れ下りが生じにくい。そ
のため、小さい張力でも該シート状材料Ｗを良好に連続
走行させることができる。また、ロール２０、２２の立
設間隔を長くしても良好に連続走行させることができ
る。

【００４１】また、連続シート状材料Ｗの走行面に平行
に配した電極面２４ａ、２６ａが鉛直に立っているの
で、成膜成分を該シート状材料Ｗに放射する方向が水平
方向となり、よって連続シート状材料Ｗや電極２４の汚
れを防止することができる。

【００４２】さらに、電極２４、２６が処理室１４の扉
１８ａ、１８ｂに取付けられているため、扉１８ａ、１
８ｂを開閉することにより、電極２４、２６を容易に処
理室１２外に出すことができ、よって、電極２４、２６
の掃除や点検、交換などのメンテナンス性に優れる。

【００４３】また、通常これら装置がクリーンルーム内
に設置されることを考慮すると、従来のような幅方向が
水平方向で走行する装置よりも、据付けスペースが小さ
く、よって、装置の設置時におけるコストを大幅に削減
することができる。

【００４４】なお、本表面処理装置１０において、その
電極に、スパッタ法で通常用いられるターゲット材を用
いれば、スパッタ処理装置として使用することもでき
る。

【００４５】つぎに、本発明の他の実施例に係る連続シ
ート状材料の表面処理方法について図２を参照して説明
する。図２は、本方法を用いた連続処理装置５０の内部
を示す断面平面図である。

【００４６】この表面処理装置５０は、図１の表面処理
装置１０において、電極２４、２６が配された処理室１
２をその長手方向に４室連設し、更に、各処理室１２内
に連続シート状材料Ｗを支持するロールを設けていない
というものである。すなわち、この装置５０は、巻出し
室８と、４つの連設された処理室１２、１２、…と、巻
取り室９とよりなり、各処理室１２内にはロールが配さ
れていない。

【００４７】巻出し室８内には、巻出部５６と、処理室
１２への進入孔５７の近傍に配された一対のロール５
８、６０と、この一対のロール５８、６０と巻出部５６
との間に配されたロール６２とが設けられている。そし
て、この一対のロール５８、６０は、装置５０の長手方
向に並んで配されている。

【００４８】巻取り室９内には、巻取部６４と、処理室
１２内を走行してきた連続シート状材料Ｗの耳端を一定
の高さに保つ矯正機能を備えた一対のロール６６、６８
と、巻取部６４と一対のロール６６、６８の間に配され
たロール７０と、天井面に固定され、このロール７０の
近傍において連続シート状材料Ｗの上端の位置を検知す
るセンサ７２とが設けられている。

【００４９】なお、上記の装置１０と同様、装置５０内
の全てのロール５８、６０、６２、６６、６８、７０
は、その軸方向が鉛直方向になるように、装置５０の天
井面と床面との間に配されている。そして、連続シート
状材料Ｗは、巻出部５６からこれらのロールに沿って矢
印ｖで示す方向に連続走行し、処理室１２内で多層に成
膜処理された後、巻取部６４に巻取られる。

【００５０】この表面処理装置５０でも、装置１０にお
いて上述した効果が得られ、更に、連続多段階処理の
間、連続シート状材料Ｗにロールが全く接触していない
ので、高品質の製品が得られる。

【００５１】ここで、対向する電極２４、２６として同
一極（例えば陰電極）を用いて、その間に連続シート状
材料Ｗを走行させてもよい。この場合、各電極２４、２
６と連続シート状材料Ｗとの間に前記同一極の対極（例
えば陽極）に相当する電極であって成膜に支障のないも
の（例えば粗い金網）を対向的に配するか、又は、連続
シート状材料Ｗに導電性を持たせることによって、連続
シート状材料Ｗの両面を同時に、かつ、多層に成膜処理
することができ、しかも、その品質が高い製品が得られ
る。

【００５２】また、その際、電極２４、２６間に、２枚
の連続シート状材料を並走させることにより、当該２枚
の連続シート状材料の一方面に、一度に、しかも良好に
成膜処理することができる。

【００５３】以下、一対のロール６６、６８により構成
される矯正装置について詳細に説明する。

【００５４】この一対のロール６６、６８は、装置５０
の長手方向に並んで配されており、連続シート状材料Ｗ
の進行方向後方に位置する第１ロール６６と、前方に位
置する第２ロール６８とよりなる。両ロール６６、６８
は、ともに従動ロールである。

【００５５】第１ロール６６は、センサ７２が連続シー
ト状材料Ｗの上端が所定位置よりも下ったことを検知し
たときに、この連続シート状材料Ｗに斜め上方に向かう
よう外力を加えて、その下った分だけ連続シート状材料
Ｗを持ち上げるように動作する。

【００５６】すなわち、この第１ロール６６は、図３
（ａ）に示すように、そのロール軸８０上における軸方
向の中点８２からロール軸８０に対して垂直であり、か
つ、連続シート状材料Ｗの進行方向後方に延びる仮想線
ｌ１上に矯正中心８４を定義したとき、この矯正中心８
４を中心として、連続シート状材料Ｗの面と平行な面内
において、上方に回動する（８０ａで示す状態とな
る）。即ち、円弧状の軌跡を描くように動く。なお、こ
の矯正中心８４は、前記ロール軸８０からの距離ｈが連
続シート状材料Ｗの幅方向寸法ｗよりも長くなるように
（ｈ＞ｗ）定義されている。

【００５７】第２ロール６８も、第１ロール６６と同様
に、連続シート状材料Ｗが下ったとき、その下った分だ
け持ち上げるように動作する。即ち、前記矯正中心を中
心として、第１ロール６６とともにこれと同一面内にお
いて上方に回動する。

【００５８】この矯正装置では、従動ロールである第１
ロール６６と第２ロール６８とが並設され、連続シート
状材料Ｗをこれら２本のロールにＳ字状に抱かせるよう
に支持して走行させているので、連続シート状材料Ｗ
が、鉛直方向には滑ることなく支持され、かつ、走行方
向には傷付けられることなく移動して搬送される。

【００５９】そして、連続シート状材料Ｗの耳端が所定
位置よりも下ったときには、一対のロール６６、６８を
上方に回動させることにより、当該耳端を、その下り分
だけ上昇させることができ、よって連続シート状材料Ｗ
の耳端の高さを一定に保つことができる。

【００６０】なお、この矯正動作を行なうロール６６、
６８は、耳端の高さを一定に維持したい地点にあるセン
サ７２から、１００〜１，０００ｍｍの範囲内（装置５
０の長手方向距離）に設けることが好ましい。

【００６１】また、この矯正装置６６、６８の連続シー
ト状材料Ｗの走行方向後方には、少なくとも該シート状
材料Ｗの幅以上の距離の領域に、鉛直方向に滑ることの
ない支持体を設けてはならない。なお、電極２４、２６
であれば、この領域内に設けてもよいが、電極２４、２
６が、これら矯正装置６６、６８に近過ぎると処理直後
の処理面がこれらロール６６、６８に接触してしまうた
め好ましくない。

【００６２】この一対のロール６６、６８において、第
２ロール６８については、必ずしも上述したような回動
する構成にする必要はなく、当該上下端が固定された単
なる従動ロールであってもよい。

【００６３】なお、矯正装置は、上記のものに限定され
ることなく、連続シート状材料Ｗに対して斜め上方に外
力を加えることができるものであれば、ロール以外によ
って構成してもよい。

【００６４】ロールによって構成する場合には、当該ロ
ール軸が、連続シート状材料Ｗの面と平行な面内におい
て、その上端が下端よりも連続シート状材料Ｗの進行方
向後方に位置するように該ロールを動かすものであれば
よい。なお、上記連続シート状材料Ｗの面とは、該ロー
ルに対して進入してくるその進入時の連続シート状材料
の面である。

【００６５】以上より、例えば、ロール軸が、連続シー
ト状材料Ｗの進行方向に対して、その上端が下端よりも
後方に位置するように当該ロールを傾けるものでもよ
い。この場合、詳しくは、図３（ｂ）に示すように、ロ
ール軸９０を下方に延長した仮想延長線ｌ２上に矯正中
心９２を定義し、該矯正中心９２を中心として、前記ロ
ールを、連続シート状材料Ｗの面に平行な面内におい
て、その進行方向後方に回動させる（９０ａの状態）
か、または、ロール軸９０を上方に延長した仮想延長線
ｌ３上に矯正中心９４を定義し、該矯正中心９４を中心
として、前記ロールを、連続シート状材料Ｗの面に平行
な面内において、その進行方向前方に回動させる（９０
ｂの状態）ことにより矯正することができる。

【００６６】このように矯正装置がロールにより構成さ
れている場合、連続シート状材料Ｗを鉛直に支持して走
行させる本発明においては、そのロール軸を鉛直方向か
ら一方側の領域内で回動ないしは傾斜させるのみで矯正
することができ、鉛直方向から反対側に回動等させる必
要はない。

【００６７】なお、上述した本実施例の一対のロール６
６、６８であれば、上方へ回動した分だけ連続シート状
材料Ｗを持ち上げるので容易に耳端を矯正することがで
き、よって、応答性に劣り、かつ、応答量も必ずしも明
確でない図３（ｂ）に示すロールを傾ける構成よりも矯
正効果が優れる。

【００６８】ここで、このようにロールにより構成する
場合、鉛直方向の滑りが発生しないように１本または２
本以上のロールを組合せる必要がある。この組合せとし
ては、例えば、上記装置１０における一対のロール２０
ａ、２０ｂ又は２２ａ、２２ｂ、あるいは、上記装置５
０における一対のロール６４、６６などのように、２本
のロールを並設して、連続シート状材料Ｗをこれら２本
のロールにＳ字状に抱かせるように走行させればよい。
また、２本のロールでロールプレスするようにして走行
させてもよい。

【００６９】なお、以上において、ロールには、駆動ロ
ールでも、従動ロールでも用いることができる。

【００７０】次に、矯正装置を設ける理由について述べ
る。

【００７１】一般に、連続シート状材料を幅方向が鉛直
方向となるようにして連続走行させると、連続シート状
材料は、その走行時の張力・スピード・各ロール面での
摩擦係数、材料のヤング率などの物理特性が一定なとき
には、重力に従って一定量だけ当該耳端が下ってくる。
そのため、耳端が巻出し時からその一定量だけ下った状
態で安定して巻取られる。

【００７２】しかしながら、通常、このような巻物状の
連続シート状材料を走行させる場合、走行速度を徐々に
加速して一定の速度とし、当該巻物の終端部で徐々に減
速し停止させるため、走行速度の変化が必ず生ずる。同
時に僅かながらも張力の変動が必ず生ずる。更に、成膜
の状況によっても、連続シート状材料を支持するロール
表面の摩擦抵抗などが変化する。そのため、必ずしも巻
始め・途中・巻終りとで耳端の高さが上記したように一
定量だけ下るということにはならず、特に、この表面処
理装置５０のようにロール間隔が長い場合には、耳端下
りの傾向が大きいため、安定して巻取ることができな
い。

【００７３】このように耳端を安定して巻取ることがで
きないと、例えば、巻取後の連続シート状材料をそのま
ま次工程に投入する場合などに問題がある。そこで、こ
れを解消するため、連続シート状材料の耳端の高さが常
に一定になるように、上述した矯正装置を設ける必要が
ある。

【００７４】そのため、ロール間隔が長い表面処理装置
５０にはもちろん、ロール間隔が短い表面処理装置１０
にも矯正装置を設けたほうが好ましい。

【００７５】

【発明の効果】本発明の連続シート状材料の表面処理方
法及び表面処理装置であると、連続シート状材料を、そ
の幅方向が鉛直方向となるように連続走行させるので、
連続シート状材料は、自身の自重による垂れ下りが生じ
にくい。そのため、当該走行方向に作用させる張力を小
さくしても、連続シート状材料を良好に連続走行させる
ことができる。

【００７６】また、該連続シート状材料を支持するロー
ルの間隔を長くしても、良好に連続走行させることがで
きる。そのため、両面処理や多段階処理であっても良好
に処理することができ、表面処理した製品の品質が高
い。

【００７７】さらに、連続シート状材料の面が鉛直方向
に配されているので、プラズマやスパッタ等の電極を、
当該電極面が鉛直方向となるように立設することができ
る。そのため、電極からの放射方向が水平方向になるの
で、電極や連続シート状材料の汚染物に起因する汚れの
問題を回避することができる。

【００７８】さらにまた、上記電極を連続シート状材料
の走行路の左右に配置することができるので、該電極を
処理室の側壁に設けられた扉の内側面に設けることがで
きる。そのため、扉の開閉によって容易に電極の処理室
からの出入れが可能となり、よって、電極の掃除や点
検、スパッタ法におけるターゲット材の交換などのメン
テナンス性に優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す連続シート状材料Ｗの
表面処理装置１０の要部である処理室１２内部の斜視図
である。

【図２】本発明の他の実施例を示す連続シート状材料Ｗ
の表面処理装置５０の内部を示す断面平面図である。

【図３】矯正装置の構成を説明するための模式図であ
り、（ａ）は、表面処理装置５０の第１ロール６６を説
明するための模式図であり、（ｂ）は、矯正装置の他の
具体例を説明するための模式図である。

【図４】従来の連続シート状材料の処理装置１００の断
面図である。

【図５】従来の連続シート状材料の処理装置１１０の断
面図である。

【図６】従来の連続シート状材料の処理装置１２０の断
面図である。

【図７】従来の連続シート状材料の処理装置１３０の断
面図である。

【図８】従来の連続シート状材料の処理装置１４０の断
面図である。

【符号の説明】

１０……表面処理装置 １２……処理室 ２０ａ、２０ｂ……一対のロール（入口孔１４側） ２２ａ、２２ｂ……一対のロール（出口孔１６側） ２４、２６……電極 Ｗ……連続シート状材料

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空処理室内において連続して走行する
   連続シート状材料に対して、プラズマ等による表面改質
   処理や、スパッタ法やプラズマＣＶＤ法等による成膜処
   理などの表面処理を行なう連続シート状材料の表面処理
   方法において、 前記連続シート状材料をその幅方向が鉛直方向となるよ
   うに連続走行させつつ前記表面処理を行なうことを特徴
   とする連続シート状材料の表面処理方法。
2. 【請求項２】 前記の連続走行する連続シート状材料の
   幅方向一端が所定位置よりも下方に位置したときに、前
   記連続シート状材料に斜め上方に向かうよう外力を加え
   て前記幅方向一端を所定位置に戻すことを特徴とする請
   求項１に記載の連続シート状材料の表面処理方法。
3. 【請求項３】 矯正機能を備えたロールを設け、該ロー
   ルを、ロール軸に対して垂直であり、かつ、連続シート
   状材料の進行方向後方に延びる仮想線上に定義された矯
   正中心を中心として、連続シート状材料の面と平行な面
   内において上方に回動させることにより、前記連続シー
   ト状材料に斜め上方に向かうよう外力を加えることを特
   徴とする請求項２に記載の連続シート状材料の表面処理
   方法。
4. 【請求項４】 矯正機能を備えたロールを設け、該ロー
   ルを、ロール軸を下方に延長した仮想延長線上に定義さ
   れた矯正中心を中心として連続シート状材料の面と平行
   な面内においてその進行方向後方に回動させるか、又
   は、ロール軸を上方に延長した仮想延長線上に定義され
   た矯正中心を中心として連続シート状材料の面と平行な
   面内においてその進行方向前方に回動させることによ
   り、前記連続シート状材料に斜め上方に向かうよう外力
   を加えることを特徴とする請求項２に記載の連続シート
   状材料の表面処理方法。
5. 【請求項５】 真空処理室内において連続して走行する
   連続シート状材料に対して、プラズマ等による表面改質
   処理や、スパッタ法やプラズマＣＶＤ法等に よる成膜処
   理などの表面処理を行なう連続シート状材料の表面処理
   装置であって、 軸方向が鉛直方向となるように配されたロールを備え、
   該ロールにより前記連続シート状材料をその幅方向が鉛
   直方向となるように連続走行させつつ前記表面処理を行
   なうことを特徴とする連続シート状材料の表面処理装
   置。
6. 【請求項６】 前記の連続走行する連続シート状材料の
   耳端を一定の高さに保つ矯正装置を備え、該矯正装置
   が、連続シート状材料の幅方向一端が所定位置よりも下
   方に位置したときに、該連続シート状材料に斜め上方に
   向かうよう外力を加えて前記幅方向一端を所定位置に戻
   すことを特徴とする請求項５に記載の連続シート状材料
   の表面処理装置。
7. 【請求項７】 前記矯正装置が矯正機能を備えたロール
   により構成され、該ロールを、ロール軸に対して垂直で
   あり、かつ、連続シート状材料の進行方向後方に延びる
   仮想線上に定義された矯正中心を中心として、連続シー
   ト状材料の面と平行な面内において上方に回動させるこ
   とにより、前記連続シート状材料に斜め上方に向かうよ
   う外力を加えることを特徴とする請求項６に記載の連続
   シート状材料の表面処理装置。
8. 【請求項８】 前記矯正装置が矯正機能を備えたロール
   により構成され、該ロールを、ロール軸を下方に延長し
   た仮想延長線上に定義された矯正中心を中心として連続
   シート状材料の面と平行な面内においてその進行方向後
   方に回動させるか、又は、ロール軸を上方に延長した仮
   想延長線上に定義された矯正中心を中心として連続シー
   ト状材料の面と平行な面内においてその進行方向前方に
   回動させることにより、前記連続シート状材料に斜め上
   方に向かうよう外力を加えることを特徴とする請求項６
   に記載の連続シート状材料の表面処理装置。