JP2005167171A - ガラス基板のフィルムコーティング装置及び方法 - Google Patents

ガラス基板のフィルムコーティング装置及び方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2005167171A
JP2005167171A JP2004002990A JP2004002990A JP2005167171A JP 2005167171 A JP2005167171 A JP 2005167171A JP 2004002990 A JP2004002990 A JP 2004002990A JP 2004002990 A JP2004002990 A JP 2004002990A JP 2005167171 A JP2005167171 A JP 2005167171A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
glass substrate
coater
coating
coaters
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004002990A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoka Lee
昌夏 李
Shozai Nin
祥在 任
Seitetsu Kim
聖撤 金
Eisai Ki
永宰 奇
Kyunwon Ryu
▲きゅん▼▲うぉん▼ 柳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Corning Precision Materials Co Ltd
Original Assignee
Samsung Corning Precision Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Corning Precision Glass Co Ltd filed Critical Samsung Corning Precision Glass Co Ltd
Publication of JP2005167171A publication Critical patent/JP2005167171A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

【課題】クリーンルームを効果的に利用し、ダウン時間及びガラス基板の振動、異物の付着などを最小化すると共に、大型ガラス基板をコーティングする。
【解決手段】ガラス基板を垂直状態で両面非接触浮揚移送するローディングコンベヤと、前記ローディングコンベヤから排出されるガラス基板の両面にフィルムをコーティングするように垂直に装着された第1及び第2フィルムコータと、前記第1及び第2フィルムコータをそれぞれコーティング位置と供給位置との間で移送させるためのコータ移送設備と、両面にフィルムがコーティングされたガラス基板を一方向へ移送するアンローディングコンベヤと、前記ローディング/アンローディングコンベヤ第1及び第2フィルムコータ及びコータ移送設備の作動を制御する制御手段とを含む。
【選択図】 図2

Description

本発明は、ガラス基板のフィルムコーティング装置及びその方法に関し、更に詳しくは、大型ガラス基板が垂設されてフィルムコーティング装置に進入すると、その両面にフィルムをコーティングすることにより、振動を低減し、異物の流入が防止され、且つコーティング設備の装着空間を最小化することで、クリーンルームの空間を効率良く活用できるガラス基板のフィルムコーティング装置及びその方法に関する。
一般に、TFT−LCD(薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、EL(Electro luminescence)等の平板ディスプレイの製造分野で用いられるガラス基板は、ガラス溶解炉で溶解されたガラス液が溶解成形機に供給して製造された後に一次規格に合わせて切断され、表面に保護用フィルムがコーティングされて加工ラインに運搬される。
このように保護用フィルムをガラス基板の表面にコーティングするために、従来は水平移送システムを有する装置が利用されており、また図1に概略に示すような装置が用いられた。図1を参照して従来技術を説明すると、大型のガラス基板2が立てられた状態でコーティング器に進入し、ガラス基板2の上部が固定された状態で、ガラス基板の前後面に設置されたローラヘッド4が上下に移送しながらフィルムをコーティングする方式であった。
よって、従来は、重いローラヘッド4を上下に移送する必要があったため、ガラス基板のコーティングの際に振動があり、ローラヘッド4を駆動するサーボモータに過負荷がかかるという不都合があった。また、フィルムのコーティングの際に異物が流入し、フィルムのカット長にばらつきが生じるという不都合があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、大型ガラス基板を垂直状態でフィルムコーティング位置に移送すると共に、その両面に同時にフィルムをコーティングすることにより、振動を低減し、異物の流入が防止され、コーティング設備の設置面積を最小化することで、クリーンルームの空間を效率良く活用できるガラス基板のフィルムコーティング装置及びその方法を提供することにある。
このような目的を達成するために、本発明は、ガラス基板のフィルムコーティング装置であって、前記ガラス基板をエアで浮揚しながら移送させるためのローディングコンベヤと、前記ローディングコンベヤによって移送されたガラス基板の両面にフィルムをコーティングするための第1及び第2フィルムコータと、前記ガラス基板にフィルムがコーティングされるフィルムコーティング位置と前記第1及び第2フィルムコータにフィルムを供給するフィルムロール供給位置との間で前記第1及び第2フィルムコータのそれぞれを移動させるためのコータ移送設備とを含むことを特徴とする装置が提供される。
本発明によるガラス基板のコーティング装置は、大型ガラス基板が垂直状態でコータを通過させると共に、ガラス基板の両面にフィルムをコーティングするため、従来技術に比較してガラス基板の振動が低減し、設置面積の減少によりクリーンルーム内の空間を效率良く用いることができ、設備のメンテナンスが容易となる。また、サーボモータの過負荷を防止し、フィルムコーティングの際に異物の流入とフィルム伸び及び蛇行性が防止される。さらに、2つのコータで連続してコーティングすることができるため、ダウンタイムを最小化して生産性が向上するという効果を奏する。
以下、図面を参照しつつ本発明の好ましい一実施の形態によるガラス基板のフィルムコーティング装置を詳細に説明する。
図2及び図3は、本発明の好適な一実施の形態によるガラス基板のフィルムコーティング装置の正面図及び平面図である。図示のように、本発明のガラス基板のフィルムコーティング装置は、ガラス基板を垂直状態で両面非接触エア浮揚し、一方向へ移送するローディングコンベヤ100と、ローディングコンベヤ100から排出される垂直状態のガラス基板の両面にフィルムを同時にコーティングするようにローディングコンベヤ100と一直線に配置されて垂設される第1及び第2フィルムコータ200、250と、第1及び第2フィルムコータ200、250のそれぞれをフィルムロール供給位置とコーティング位置との間で移送させるためのコータ移送設備300と、両面にフィルムがコーティングされて第1フィルムコータ200または第2フィルムコータ250から排出されるガラス基板を一方向へ移送するアンローディングコンベヤ400と、ローディング/アンローディングコンベヤ100、400と、第1及び第2フィルムコータ200、250とコータ移送設備300の作動を制御する制御手段500とを含む。
第1フィルムコータ200は、図4に詳細に示すように、前部の構成と後部の構成が互いに対称し、フィルムロールが装着されるフィルム供給部210と、前記フィルム供給部210から供給されるフィルムをガラス基板の両面に密着させるタッチローラ220と、前記フィルム供給部210とタッチローラ220との間にフィルムの弛み量を調整するための傾斜ローラ232と、ロードセルローラ234と、粘着ローラ236と、静電ローラ238と、プレスローラ240から構成された一連のローラグループと、前記タッチローラ220を通過したフィルムをガラス基板に圧着するラミネータローラ250と、前記タッチローラ220の前面、すなわち、図4に示すように、タッチローラ220の左側に設置され、ガラス基板にコーティングされたフィルムをフィルムの残り部分から切断するためのカッティングホイール260とを有する。270はフィルム切断時に発生する異物を吸い込む吸込フード であり、280はフィルムの接着を保持するための真空ブロックである。フィルムロールの後面、すなわち、図4に示すように、フィルムロールの上部には、EPC(edge position controller)290が設置されて、エッジセンサ(図示せず)の信号に応じてフィルムの弛みを補償する。
一方、コータ移送設備300は、レール310に摺動自在に設置された第1及び第2コータ200、250を交互にコーティング位置とフィルムロール供給位置との間で移送させる。かかる構成により、第1コータ200がコーティング位置でガラス基板にフィルムをコーティングする間、第2コータ250では、フィルムロール供給位置でフィルムロール供給装置600によってフィルムロールが供給され得る。これにより、フィルム交換によるダウンタイムを最小化することができる。本発明の実施の形態では2つのユニットになっているが、3つ以上のユニットにしてもよい。
上記のように構成された本発明の好適な一実施の形態によるガラス基板のコーティング装置は、次のように作動する。
図2に示すように、ガラス基板が地面に垂直状態で両面非接触エア浮揚されてローディングコンベヤ100を介して矢印の方向へ移送されると、制御手段500は、コーティング位置に位置されたコータ移送設備300のコーティング位置にある第1コータ200の各ロールに動力を接続するようにエアクラッチブレーキを作動して、フィルムに適切なテンションを保持すると共に、ガラス基板の両面にフィルムを同時にコーティングさせる。また、コーティングされたガラス基板が第1コータ200を通り抜ける前に、制御部500は、カッティングホイール260を作動させてフィルムをカットする。第1コータ200を通過したフィルムがコーティングされたガラス基板は、ガイドローラ方式から構成されたアンローディングコンベヤ400によって移送され、ロボット(図示せず)によってアンローディングコンベヤ400から取り出される。
第1コータ200のフィルムロールのフィルムが消耗されると、制御部500は、コーティング位置に位置された第1コータ200をフィルムロール供給位置に移送し、フィルムロール供給位置に位置された第2コータ250をコーティング位置に移送するように、コータ移送設備300を作動させる。作業者は、新しいフィルムロールを、フィルムロール供給装置600を用いて、フィルムロール供給位置に位置した第1コータ200に供給する。
上記において、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明の請求範囲を逸脱することなく、当事業者は種々の改変をなし得るであろう。
ガラス基板にフィルムをコーティングする従来のフィルムコーティング装置の概念を説明するための概略図。 本発明の好適な一実施の形態によるフィルムコーティング装置の正面図。 図2の平面図。 図2に示す第1または第2コータの詳細図。
符号の説明
100 ローディングコンベヤ.200 コータ.210 フィルムロール.220 タッチローラ.232 傾斜ローラ.234 ロードセルローラ.236 粘着ローラ.238 静電ローラ.240 プレスローラ.250 ラミネータローラ.260 カッティングホイール.270 吸込フード.280 真空ブロック.290 EPC.300 コータ移送設備.310 レール.400 アンローディングコンベヤ.500 制御手段.

Claims (8)

  1. ガラス基板のフィルムコーティング装置であって、
    前記ガラス基板をエアで浮揚しながら移送させるためのローディングコンベヤと、
    前記ローディングコンベヤによって移送されたガラス基板の両面にフィルムをコーティングするための第1及び第2フィルムコータと、
    前記ガラス基板にフィルムがコーティングされるフィルムコーティング位置と、前記第1及び第2フィルムコータにフィルムを供給するフィルムロール供給位置との間で、前記第1及び第2フィルムコータのそれぞれを移動させるためのコータ移送設備とを含むガラス基板のフィルムコーティング装置。
  2. 前記第1フィルムコータが前記フィルムコーティング位置に位置する間、前記第2フィルムコータは前記フィルムロール供給位置に位置するように、前記コータ移送設備を制御する制御手段を更に含むことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板のフィルムコーティング装置。
  3. 前記第1及び第2フィルムコータのそれぞれは、フィルムロールが装着されたフィルム供給部と、前記フィルム供給部から供給されるフィルムを前記ガラス基板の両面に同時に密着させるための一対のタッチローラと、前記フィルム供給部とタッチローラとの間のフィルムの弛み量を調整するためのローラグループと、前記タッチローラ間を通過したガラス基板の両面を圧着するための一対のラミネータローラと、前記ガラス基板にコーティングされたフィルムとフィルムの残り部分を切断するためのカット手段とを含むことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板のフィルムコーティング装置。
  4. 前記カット手段によってフィルムがカットされるときに発生する異物を吸い込むためのフードを更に含むことを特徴とする請求項3に記載のガラス基板のフィルムコーティング装置。
  5. 前記ローディングコンベヤは、前記ガラス基板を立てて前記第1及び第2フィルムコータに供給し、前記第1及び第2フィルムコータは、垂直に供給されたガラス基板の両面をフィルムコーティングすることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板のフィルムコーティング装置。
  6. ガラス基板のフィルムコーティング方法であって、
    (a)前記ガラス基板を地面に垂直な状態で両面非接触エア浮揚して移送するステップと、
    (b)フィルムに適切なテンションを保持すると共に、前記ガラス基板の両面にフィルムをコーティングするステップと、
    (c)前記ガラス基板にコーティングされたフィルムをフィルムの残り部分から切断するステップと、
    (d)前記フィルムがコーティングされたガラス基板を一方向に排出させるステップとを含むことを特徴とするガラス基板のフィルムコーティング方法。
  7. 前記(b)ステップは、第1フィルムコータによって行われ、前記(b)ステップが行われる間、前記ガラス基板の両面をコーティングするためのフィルムロールを第2フィルムコータに装着させるステップと、前記第1フィルムコータに装着されたフィルムロールが所望の残量以下に残されたとき、前記第1フィルムコータと第2フィルムコータを互いの位置に変更させるステップとを更に含むことを特徴とするガラス基板のフィルムコーティング方法。
  8. 前記(c)ステップの後、前記(c)ステップで発生した異物を除去するステップを更に含むことを特徴とするガラス基板のフィルムコーティング方法。
JP2004002990A 2003-12-01 2004-01-08 ガラス基板のフィルムコーティング装置及び方法 Withdrawn JP2005167171A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20030086214 2003-12-01

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005167171A true JP2005167171A (ja) 2005-06-23

Family

ID=34737854

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004002990A Withdrawn JP2005167171A (ja) 2003-12-01 2004-01-08 ガラス基板のフィルムコーティング装置及び方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2005167171A (ja)
CN (1) CN1623947A (ja)
TW (1) TW200519062A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100954040B1 (ko) 2007-03-14 2010-04-20 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 코팅 장치용 플러딩 챔버
CN110257793A (zh) * 2019-07-04 2019-09-20 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 倾斜运输托盘的镀膜设备

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4413789B2 (ja) * 2005-01-24 2010-02-10 東京エレクトロン株式会社 ステージ装置および塗布処理装置
US11795102B2 (en) * 2016-01-26 2023-10-24 Corning Incorporated Non-contact coated glass and related coating system and method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100954040B1 (ko) 2007-03-14 2010-04-20 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 코팅 장치용 플러딩 챔버
CN110257793A (zh) * 2019-07-04 2019-09-20 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 倾斜运输托盘的镀膜设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN1623947A (zh) 2005-06-08
TW200519062A (en) 2005-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8590688B2 (en) Method and device for conveying large-area, thin glass plates
KR100596050B1 (ko) 유리기판의 이송시스템
JP4876640B2 (ja) ワーク搬送装置およびワーク搬送方法
CN102005402A (zh) 基板输送装置以及基板输送方法
WO2015098892A1 (ja) 電子デバイスの印刷製造システム
WO2014076441A1 (en) Apparatus for directly applying liquid to a substrate
CN101537932A (zh) 浮起输送装置和浮起输送方法
JP2005167171A (ja) ガラス基板のフィルムコーティング装置及び方法
JP4229670B2 (ja) 薄板状材の搬送方法及び装置
KR101666802B1 (ko) 롤투롤 코팅 시스템
WO2006003876A1 (ja) 基板塗布装置
WO2015010355A1 (zh) 静电消除装置、卡匣承载设备及物料搬运系统
JP2003332401A (ja) 基板用搬送除塵装置
JP2007246287A (ja) 板材の縦型搬送装置
JP2002310639A (ja) 板材検査システム
JP5056611B2 (ja) 基板処理装置
JP2004168496A (ja) 板材の縦型搬送装置
KR20130005999A (ko) 표시패널의 외곽부 잉크 전사장치
KR101596925B1 (ko) 기판처리장치
JP4113562B2 (ja) 現像処理方法及び現像処理装置
JP5308647B2 (ja) 浮上搬送塗布装置
JP7194739B2 (ja) ディスプレイユニット製造システム
JP2003290697A (ja) 単板連続塗布装置
KR101687298B1 (ko) 롤투롤 코팅 시스템
JP6626158B2 (ja) 遮へい部材を備えた貼合装置

Legal Events

Date Code Title Description
A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20050601