EP1073917A2 - Verfahren und vorrichtung zur optischen untersuchung von strukturierten oberflächen von objekten - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur optischen untersuchung von strukturierten oberflächen von objekten

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EP1073917A2
EP1073917A2 EP00908950A EP00908950A EP1073917A2 EP 1073917 A2 EP1073917 A2 EP 1073917A2 EP 00908950 A EP00908950 A EP 00908950A EP 00908950 A EP00908950 A EP 00908950A EP 1073917 A2 EP1073917 A2 EP 1073917A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
illuminating
illumination
filter
lighting
observation
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP00908950A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Michael Veith
Volker Knorz
Edgar MÄHRINGER-KUNZ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems CMS GmbH
International Business Machines Corp
Original Assignee
Leica Microsystems Wetzlar GmbH
Leica Microsystems CMS GmbH
International Business Machines Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Leica Microsystems Wetzlar GmbH, Leica Microsystems CMS GmbH, International Business Machines Corp filed Critical Leica Microsystems Wetzlar GmbH
Publication of EP1073917A2 publication Critical patent/EP1073917A2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/06—Means for illuminating specimens
    • G02B21/08—Condensers
    • G02B21/12—Condensers affording bright-field illumination
    • G02B21/125—Condensers affording bright-field illumination affording both dark- and bright-field illumination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors

Definitions

  • the invention relates to a method for the optical examination of structured surfaces of objects, in particular wafers and / or masks, with an observation beam path, the central axis of which is directed perpendicular to the surface of the object, with an illuminating beam, the central beam of which falls perpendicularly onto the surface of the object and with an illuminating beam, the central beam of which falls obliquely onto the surface of the object, the image of the surface of the object being observed and / or detected in the observation beam path, according to the preamble of claim 1 and a device for carrying out this method, according to the preamble of the claim 6.
  • defects on the structured ones can, for example, be dust grains, small air pockets in the resist, resist residues on the wafers, breakouts on edges, etc.
  • the investigation is e.g. realized with an optical device and lighting in which the central beam of the illuminating beam hits the surface of the object perpendicularly.
  • Inspection arrangement is realized, for example, 'rule in a microscope with a Koehler brightfield illumination arrangement.
  • Illumination devices for a microscope are known, in which it is optionally possible to switch from brightfield to darkfield illumination.
  • a light source, adjustable diaphragms, a ring diaphragm with a center stop that can be swiveled in and out and a lens with a ring mirror surrounding the lens are provided in the illumination beam path.
  • the ring cover is transparent and the middle stop is opaque.
  • a switch is made from bright field to dark field lighting.
  • the illuminating light is now no longer directed onto the object through the lens, but only onto the object via the ring mirror.
  • the center beams of the illuminating beam bundle no longer hit the surface of the Object, but meet at an angle.
  • Both microscopes are each equipped with a common observation beam path for brightfield or darkfield illumination.
  • a combined bright field-dark field incident light illuminating device for a microscope in which the switch from bright field to dark field illumination takes place via an insertable center stop. Furthermore, an annular optical element with individual lens rim surfaces arranged next to one another is provided here in the dark field beam path. These lens rim surfaces can have a different spectral transmission. However, no simultaneous brightfield darkfield illumination is provided in this lighting device. Here, too, it remains open what particular advantages result from such colored lighting.
  • An optimized inspection procedure for the optical examination of structured surfaces of objects with a microscope with a combined brightfield-darkfield illumination applies both illumination procedures one after the other.
  • the resulting manual switching of the lighting conditions does not result in just one doubled recording or inspection time for the object, but also an additional manual operation of the center stop on the microscope.
  • This object is achieved in the method in that at least one of the two illuminating beams is provided with an identifier and the surface of the object with both
  • Illuminating beams are simultaneously applied and the images generated by the different illuminating beams are separated from one another in the observation beam path and fed to observation and / or evaluation.
  • an optical device with a filter device and / or detector device arranged in the observation beam path and an illumination device for the simultaneous generation of bright field and dark field illumination are provided, the bright field and / or the dark field illumination beam bundle a device for identifying the illuminating beam is assigned.
  • the object is illuminated simultaneously with a bright field and a dark field illumination beam. At least one of the two beams is coded using color, polarization or modulation.
  • the separation of the illumination beams reflected by the object takes place in the common observation beam path a corresponding filter device and / or a corresponding detector device instead.
  • the preparation can be viewed in the dark field at a flat angle of incidence, e.g. with red light and at the same time illuminated within the aperture cone of the lens with the remaining, visible color spectrum green / blue. Since the light is mixed again in the colors in the common observation beam path, there is a separation by colors in the observation beam path, e.g. B. by dichroic division and subsequent imaging on separate black and white CCD cameras.
  • the two beam paths are separated using a PC-based processing of the RGB channels.
  • the lighting device for the simultaneous generation of the bright field and dark field lighting has a common light source or at least two light sources that are separate from one another.
  • the surface of the object in the bright field is illuminated with normal white light and the obliquely incident illuminating rays of the dark field are realized by a single light source positioned laterally on the object and emitting red light.
  • the two images are then separated in the observation beam path by means of a filter and / or detector device.
  • the device for identifying the illuminating beam can have, for example, a color filter, a polarization filter, a modulation filter or a dichroic divider. However, it is also provided that colored light sources or light sources with a monochrome or monochrome emission characteristic are used.
  • the associated filter device can be, for example, with a color filter, a Polarization filter, a demodulation filter or a dichroic divider.
  • the detector device can also be designed such that at least one CCD element is present, which is designed, for example, as a black / white or color camera.
  • a CCD element which is designed, for example, as a black / white or color camera.
  • an additional filter device can be dispensed with when separating into a brightfield and a darkfield image, since the R, G, B channels can be read out separately.
  • the detector device is electrically / electronically connected to a computer device.
  • the computer device has several computers working in parallel for the simultaneous acquisition and / or evaluation of the images.
  • the computers working in parallel different processing stages of image acquisition, image analysis or inspection, error analysis, error classification and metrology (structure width measurement) can be carried out simultaneously.
  • the parallel processing reduces the inspection time for a single object accordingly.
  • the optical device can be designed as a microscope.
  • a Koehler 'sche lighting assembly is provided.
  • Illumination arrangement can be designed as incident light and / or transmitted light illumination device.
  • a plurality of differently coded dark field beam paths can also be provided.
  • the differently coded dark field beam paths can also illuminate the object with different angles.
  • Fig. 4 a color filter of the filter device
  • FIG. 1 shows an illuminating device of a microscope 1 in incident light, with an illuminating beam path 4 and an observation beam path 6.
  • a bright field illuminating beam 2 and a dark field illuminating beam 3 are shown in the illuminating beam path 4.
  • Both beams 2, 3 are guided over an illumination lens 9, an aperture diaphragm plane AP with a controllable aperture diaphragm, a light field diaphragm plane LF with a controllable field diaphragm and a condenser lens 1Q.
  • the dark-field illuminating beam 3 is passed over a dark-field ring lens 47.
  • This identification device 11 is designed such that the two beams 2, 3 receive a different identification.
  • the identification device 11 is included a color filter or a polarization filter or a modulation filter or a dichroic divider.
  • the dark field and / or bright field illumination beams can already be identified at the location of the aperture diaphragm plane AP if the aperture diaphragm is e.g. is made of colored glass and / or a thin-film color filter.
  • a splitter mirror 12 is arranged in the further course of the illumination beam path 4.
  • the divider mirror 12 has an outer, fully mirrored ring 20 for deflecting the dark field beam 3 and an inner, partially transparent circle 21 for deflecting the bright field beam 2 and for transmitting the observation beam 5.
  • the deflected bright field illumination beam 2 is guided over an objective lens system 14 of a dark field objective 13 and illuminates the surface of an object 16.
  • the central beam of the bright field beam 2 strikes the surface of the object 16 perpendicularly.
  • the axis of the center beam 40 of the bright field beam 2 and the axis of the center beam 42 of the observation beam 5 have the same orientation.
  • the dark field beam 3 deflected by the divider mirror 12 is guided past the objective lens system 14 of the dark field lens 13 and strikes the ring mirror 15 provided in the lens housing 15. From there, the dark field beam 3 is deflected onto the object 16.
  • the center beam 41 of the dark field beam 3 strikes the surface of the object 16 obliquely. Since the cross section of the dark field beam 3 is ring-shaped, all center beams 41 from the ring strike the surface of the object 16 obliquely.
  • the observation beam 5 emanating from the object 16 is guided in the observation beam path 6 via the objective lens system 14, the splitter mirror 12 and the tube lens 17 and strikes a filter 38 and / or detector device 18.
  • this detector device 18 is designed as a CCD color camera 19.
  • the detector device 18 is electrically connected to a computer device 25.
  • the two illuminating beam bundles 2, 3 are guided in the illuminating beam path 4 via the identification device 11.
  • This can be formed, for example, from a combined color filter with a blue inner circle for the bright field beam 2 and a red ring surrounding the blue circle for the dark field lighting beam 3 (cf. FIG. 4).
  • the two beams are given a different identifier and, accordingly, coded and simultaneously hit the object 16.
  • the two colored beams are mixed.
  • the two images are electronically separated via the detector device 18 with the color camera 19 and the computer device 25.
  • the filter device 38 can be omitted.
  • the bright field image of the object 16 is generated by reading out the blue color component and the dark field image of the object 16 is generated by reading out the red color component. These two images are then processed in parallel with the computer device 25 for error analysis, error classification and structure measurement.
  • the identification device is not limited to a combined red and blue filter. Any type of identifier can be used for the illumination beams if a corresponding decoding device in the form of a filter and / or detector device is available.
  • the identification device 11 shown in FIG. 1 is not tied to a specific location within the illumination beam path 4.
  • the identification device 11 can also be provided in the area of the aperture diaphragm AP, in the area of the interface S1 or as a dichroic layer on the partially transparent mirror 12 or the ring mirror 15 of the dark field objective 13.
  • the invention is also not limited to a single light source 7.
  • An illumination device with two or more light sources can also be arranged at the interface S1, for example.
  • FIG. 2 shows such an illumination device with two light sources 26 and 27.
  • the light source 26 is assigned a diaphragm 29 for generating the dark field beam 3, the illumination light being reflected into the illumination beam path 4 via an additional splitter mirror 30.
  • the light source 27 is assigned a diaphragm 29 with an opaque center stop 37 for generating the bright field beam 3, the illuminating light being introduced into the illuminating beam path 4 via the central part of the additional splitter mirror 30.
  • the identification device 11 can also be part of the two diaphragms 28 and 29 and can also replace one or both diaphragms. Provision can also be made to design the additional divider mirror 30 as a identification device and, for example, to use a dichroic layer on the divider mirror.
  • FIG. 3 shows an exemplary embodiment of a filter device 38 and a downstream detector device 18 with two black-and-white cameras 32 and 33, with a further splitter mirror 31, which can also be designed here as a dichroic mirror. Via the common interface S2, the
  • the filter device 38 is equipped in accordance with the identification device 11 with a color filter, a polarization filter, a demodulation filter or a dichroic divider.
  • both illumination beam paths are coded using an identification device, for example using red and blue light.
  • an identification device for example using red and blue light.
  • the individual dark-field and / or the bright-field illumination beam bundle can be provided with both a color and a polarization identifier, for example.
  • a chopper or the like it is also conceivable to use a chopper or the like to design the dark field and / or the bright field illumination beam with frequency modulation.
  • FIG. 4 shows an exemplary embodiment of the identification device with a combined color filter 34, which is equipped with a blue inner circle 35 for the bright-field beam and with an outer red ring 36 for the dark-field beam.
  • the filter 34 can also have other combinations of modulator and / or color filter and / or polarization filter.
  • FIG. 5 shows an illumination device of the microscope according to FIG. 1.
  • the illumination device with the light source 7 integrated in the microscope 1 is designed as a normal bright-field illumination device.
  • a bright field objective 22 is also used here.
  • the bright field beam runs analogously to the described bright field beam of FIG. 1.
  • the dark field beam 3 is generated here by two light sources 23 and 24 arranged externally on the microscope stand (not shown).
  • An identification device 11 is assigned to both light sources 23, 24.
  • the observation beam path 6 is analogous to that already described
  • the light source for the dark field beam does not have to be integrated in the optical device. It is also sufficient to carry out the method according to the invention if only a single, externally arranged light source 23 or 24 is provided for the dark field illumination beam 3.
  • FIG. 6 shows a combined aperture diaphragm 43 with a circular passage 44 for the bright field illumination and with an annular passage 45 for the dark field illumination. Webs 46 are provided for holding the opaque part between the two passages 44, 45. Both passages 44, 45 can have a glass or plastic color filter.
  • This combined aperture diaphragm can be arranged in the plane AP (FIGS. 1 and 5).

Abstract

Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten, insbesondere von Wafern und/oder Masken beschrieben. Die optische Einrichtung weist einen Beobachtungsstrahlengang (6), dessen Mittelachse (42) senkrecht auf die Oberfläche des Objektes (16) gerichtet ist, ein Beleuchtungsstrahlenbündel (2), dessen Mittelstrahl (40) senkrecht auf die Oberfläche des Objektes (16) fällt und ein Beleuchtungsstrahlenbündel (3), dessen Mittelstrahl (41) schräg auf die Oberfläche des Objektes (16) fällt, auf. Im Beobachtungsstrahlengang (6) wird das Bild der Oberfläche des Objektes (16) beobachtet und/oder detektiert. Im Beobachtungsstrahlengang (6) ist dazu eine Filtereinrichtung (38) und/oder Detektoreinrichtung (18) angeordnet. Die optische Einrichtung weist eine Beleuchtungseinrichtung (39) zur simultanen Erzeugung einer Hellfeld- und einer Dunkelfeldbeleuchtung auf, wobei dem Hellfeld- (2) und/oder dem Dunkelfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel (3) eine Einrichtung zur Kennung (11) der Beleuchtungsstrahlenbündel (2, 3) zugeordnet ist.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur optischen Untersuchung von strukturierten
Oberflächen von Objekten
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten, insbesondere von Wafern und/oder Masken, mit einem Beobachtungsstrahlengang, dessen Mittelachse senkrecht auf die Oberfläche des Objektes gerichtet ist, mit einem Beleuchtungsstrahlenbundel, dessen Mittelstrahl senkrecht auf die Oberfläche des Objektes fällt und mit einem Beleuchtungsstrahlenbundel, dessen Mittelstrahl schräg auf die Oberfläche des Objektes fällt, wobei im Beobachtungsstrahlengang das Bild der Oberfläche des Objektes beobachtet und/oder detektiert wird, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 6.
In der optischen Inspektionstechnik werden komplexe Strukturen auf flachen Substraten bildfeldweise inspiziert. Dies ist insbesondere in der
Halbleiterindustrie zur optischen Untersuchung der strukturierten Oberflächen von Wafern und Masken der Fall. Dabei sollen beispielsweise vorhandene Defekte detektiert und klassifiziert und/oder kleinste Strukturbreiten („critical dimensions") überprüft und gemessen werden. Als Defekte auf den strukturierten Oberflächen können beispielsweise Staubkörner, kleine Lufteinschlüsse im Resist, Resistrückstände auf den Wafern, Ausbrüche an Kanten, etc. auftreten.
Die Untersuchung wird z.B. mit einer optischen Einrichtung und einer Beleuchtung realisiert, bei der der Mittelstrahl des Beleuchtungsstrahlenbündels senkrecht auf die Oberfläche des Objektes trifft. Eine derartige
Inspektionsanordnung ist beispielsweise in einem Mikroskop mit einer Köhler'schen Hellfeld-Beleuchtungsanordnung verwirklicht.
Es hat sich jedoch herausgestellt, daß die Detektion von defekten Kanten, Punktdefekten, Defekten an Ecken und Umgrenzungen von erhabenen und vertieften Strukturen mit einer Hellfeld-Beleuchtung oft nicht ausreicht. Aus diesem Grund ist man dazu übergegangen eine zusätzliche Inspektion mit einem Beleuchtungsstrahlenbundel durchzuführen, dessen Mittelstrahl schräg auf die Oberfläche des Objektes trifft. Eine derartige Beleuchtung ist z.B. in einem Mikroskop mit einer Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung realisiert. Diese Beleuchtung ist besonders für die Detektion der geschilderten defekten
Strukturen geeignet. Bei dieser Dunkelfeld-Beleuchtung werden jedoch keine Oberflächen sichtbar. Die Kanten und Strukturen erscheinen kontrastreich als helle Linien auf dunklem Untergrund. Unregelmässigkeiten in diesen Linien deuten auf eine defekte Kante bzw. Struktur hin.
Aus der DE-OS 20 21 784 und der DE 23 31 750 C3 sind
Beleuchtungseinrichtungen für ein Mikroskop bekannt, bei der wahlweise von einer Hellfeld- auf eine Dunkelfeld-Beleuchtung umgeschaltet werden kann. Bei den beiden Beleuchtungseinrichtungen sind im Beleuchtungsstrahlengang u.a. eine Lichtquelle, regelbare Blenden, eine Ringblende mit einem ein- und aus- schwenkbarem Mittenstop und ein Objektiv mit einem das Objektiv umschließenden Ringspiegel vorgesehen. Die Ringblende ist transparent und der Mittenstop opak ausgebildet. Durch Einschwenken des Mittenstops wird von einer Hellfeld- auf eine Dunkelfeldbeleuchtung umgeschaltet. Das Beleuchtungslicht wird jetzt nicht mehr durch das Objektiv auf das Objekt, sondern nur über den Ringspiegel auf das Objekt gelenkt. Die Mittelstrahlen des Beleuchtungsstrahlenbundel treffen nicht mehr senkrecht auf die Oberfläche des Objektes, sondern treffen schräg auf. Beide Mikroskope sind jeweils mit einem gemeinsamen Beobachtungsstrahlengang für die Hellfeld- bzw. Dunkelfeld- Beleuchtung ausgestattet.
In den beiden Druckschriften ist jedoch keine simultane Hellfeld-Dunkelfeld- Beleuchtung vorgesehen.
Aus der EP 0 183 946 B1 ist eine kombinierte Hellfeld- Dunkelfeld- Beleuchtungseinrichtung mit zwei Lichtquellen bekannt, bei der die Umschaltung von Hellfeld- auf Dunkelfeldbeleuchtung über mechanische Verschlüsse erfolgt. Dazu ist jeder Lichtquelle ein Verschluß zugeordnet. Bei dieser Einrichtung ist es außerdem vorgesehen, daß beide Beleuchtungsarten gleichzeitg angewendet werden. Dazu werden beide Verschlüsse geöffnet. Es bleibt in dieser Schrift jedoch völlig offen, welche besonderen Vorteile sich aus dieser Mischbeleuchtung ergeben. Eine Kodierung und spätere Dekodierung des Hellfeld- und/oder des Dunkelfeld-Beleuchtungsstrahlengangs findet nicht statt.
Aus der DE 37 14 830 A1 ist eine kombinierte Hellfeld- Dunkelfeld- Auflichtbeleuchtungseinrichtung für ein Mikroskop bekannt, bei der die Umschaltung von Hellfeld- auf Dunkelfeldbeleuchtung über einen einbringbaren Mittenstop erfolgt. Ferner ist hier im Dunkelfeldstrahlengang ein ringförmig ausgebildetes optisches Element mit einzelnen, nebeneinander angeordneten Linsenkranzflächen vorgesehen. Diese Linsenkranzflächen können eine unterschiedliche spektrale Duchlässigkeit aufweisen. Bei dieser Beleuchtungseinrichtung ist jedoch keine gleichzeitige Hellfeld- Dunkelfeld- Beleuchtung vorgesehen. Auch hier bleibt offen, welche besonderen Vorteile sich aus einer derartig farbigen Beleuchtung ergeben.
Ein optimiertes Inspektionsverfahren zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten mit einem Mikroskop mit einer kombinierten Hellfeld- Dunkelfeld-Beleuchtung wendet beide Beleuchtungsverfahren nacheinander an. Aus der daraus resultierenden manuellen Umschaltung der Beleuchtungsbedingungen folgt nicht nur eine verdoppelte Aufnahme- bzw. Inspektionszeit für das Objekt, sondern auch eine zusätzliche manuelle Bedienung des Mittenstops am Mikroskop.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten zu entwickeln, bei dem die Meß- und Inspektionszeit mit einem Hellfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel und einem Dunkelfeld- Beleuchtungsstrahlenbündel minimiert wird.
Diese Aufgabe wird bei dem Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens eines der beiden Beleuchtungsstrahlenbundel mit einer Kennung versehen und die Oberfläche des Objektes mit beiden
Beleuchtungsstrahlenbündeln simultan beaufschlagt wird und im Beobachtungsstrahlengang die von den unterschiedlichen Beleuchtungsstrahlenbündeln erzeugten Bilder voneinander getrennt und der Beobachtung und/oder Auswertung zugeführt werden.
Diese Aufgabe wird bei der Vorrichtung erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine optische Einrichtung mit einer im Beobachtungsstrahlengang angeordneten Filtereinrichtung und/oder Detektoreinrichtung und eine Beleuchtungseinrichtung zur simultanen Erzeugung einer Hellfeld- und einer Dunkelfeldbeleuchtung vorgesehen ist, wobei dem Hellfeld- und/oder dem Dunkelfeld- Beleuchtungsstrahlenbundel eine Einrichtung zur Kennung der Beleuchtungsstrahlenbundel zugeordnet ist.
Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Mit der Erfindung wurde erreicht, daß das Objekt simultan mit einem Hellfeld- und einem Dunkelfeld-Beleuchtungstrahlenbündel beleuchtet wird. Mindestens eines der beiden Strahlenbündel ist dabei über Farbe, Polarisation oder Modulation kodiert. Die Trennung der vom Objekt reflektierten Beleuchtungsstrahlen findet im gemeinsamen Beobachtungsstrahlengang über eine entsprechende Filtereinrichtung und/oder eine entsprechende Detektoreinrichtung statt.
So kann beispielsweise das Präparat im Dunkelfeld unter einem flachen Einfallswinkel, z.B. mit rotem Licht, und gleichzeitig innerhalb des Aperturkegels des Objektivs mit dem restlichen, sichtbaren Farbspektrum grün/blau beleuchtet werden. Da das Licht im gemeinsamen Beobachtungsstrahlengang wieder in den Farben gemischt wird, erfolgt eine Separation nach Farben im Beobachtungstrahlengang, z. B. durch eine dichroitische Teilung und eine anschließende Abbildung auf getrennte Schwarz/Weiß - CCD-Kameras.
im Beobachtungsstrahlengang kann natürlich auch direkt eine RGB-CCD-
Kamera vorgesehen sein. Die beiden Strahlengänge werden dabei über eine PC- basierte Bearbeitung der RGB-Kanäle getrennt.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindug ist vorgesehen, daß die Beleuchtungseinrichtung zur simultanen Erzeugung der Hellfeld- und Dunkelfeldbeleuchtung eine gemeinsame Lichtquelle oder mindestens zwei voneinander getrennte Lichtquellen aufweist.
In einer einfachen Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß die Oberfläche des Objektes im Hellfeld mit normalem Weißlicht beleuchtet wird und die schräg auftreffenden Beleuchtungsstrahlen des Dunkelfelds durch eine einzelne, seitlich am Objekt positionierte Lichtquelle, die rotes Licht emittiert, realisiert sind. Die anschließende Trennung der beiden Bilder erfolgt im Beobachtungsstrahlengang über eine Filter- und /oder Detektoreinrichtung.
Die Einrichtung zur Kennung der Beleuchtungsstrahlenbundel kann beispielsweise ein Farbfilter, ein Polarisationsfilter, ein Modulationsfilter oder einen dichroitischen Teiler aufweisen. Es ist jedoch auch vorgesehen, daß farbige Lichtquellen bzw. Lichtquellen mit einer monofarbigen oder monochromen Emissionscharakteristik verwendet werden. Die zugehörige Filtereinrichtung kann beispielsweise mit einem Farbfilter, einem Polarisationsfilter, einem Demodulationsfilter oder einem dichroitischen Teiler ausgestattet sein.
Die Detektoreinrichtung kann auch so ausgebildet sein, daß mindestens ein CCD-Element vorhanden ist, das beispielsweise als Schwarz/Weiß- oder Farb- Kamera ausgebildet ist. Im Falle einer RGB-Kamera und einer farbigen Kennung der Beleuchtungsstrahlen kann auf eine zusätzliche Filtereinrichtung bei der Trennung in ein Hellfeld- und ein Dunkelfeld-Bild verzichtet werden, da die R,G,B - Kanäle getrennt ausgelesen werden können.
Die Detektoreinrichtung ist in einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung mit einer Rechnereinrichtung elektrisch/elektronisch verbunden. Die
Rechnereinrichtung weist dabei zur gleichzeitigen Erfassung und/oder Auswertung der Bilder mehrere parallel arbeitende Rechner auf. Mit den parallel arbeitenden Rechnern lassen sich verschiedene Verarbeitungsstufen der Bilderfassung, Bildanalyse bzw. Inspektion, Fehleranalyse, Fehlerklassifizierung und Metrology (Strukturbreiten-Messung) gleichzeitig durchführen. Durch die Parallelverarbeitung verringert sich die Inspektionszeit für ein einzelnes Objekt entsprechend.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann die optische Einrichtung als Mikroskop ausgebildet sein. Im Mikroskop ist dabei vorteilhafterweise eine Köhler'sche Beleuchtungsanordnung vorgesehen. Diese
Beleuchtungsanordnung kann als Auflicht- und/oder Durchlicht- Beleuchtungseinrichtung ausgebildet sein.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung können auch mehrere, unterschiedlich kodierte Dunkelfeld-Strahlengänge vorgesehen sein. Die unterschiedlich kodierten Dunkelfeld-Strahlengänge können das Objekt auch mit voneinander abweichenden Winkeln beleuchten. Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen mit Hilfe der schematischen Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 : eine simultane Hellfeld- / Dunkelfeld- Beleuchtungseinrichtung eines Mikroskops im Auflicht und mit zugehörigem Beobachtungsstrahlengang
Fig. 2: eine Beleuchtungseinrichtung mit zwei Lichtquellen und zugehöriger Kenneinrichtung für die Beleuchtungsstrahlenbundel
Fig. 3: eine Detektoreinrichtung mit zwei CCD-Elementen und vorgeschalteter Filtereinrichtung
Fig. 4: einen Farbfilter der Filtereinrichung
Fig. 5: eine simultane Hellfeld - / Dunkelfeld- Beleuchtungseinrichtung eines Mikroskops im Auflicht und mit extern angeordneten Lichtquellen für die Dunkelfeldbeleuchtung
Fig. 6: eine kombinierte Aperturblende
Die Figur 1 zeigt eine Beieuchtungseinrichtung eines Mikroskops 1 im Auflicht, mit einem Beleuchtungsstrahlengang 4 und einem Beobachtungsstrahlengang 6. Im Beleuchtungsstrahlengang 4 sind, ausgehend von einer Lichtquelle 7 und einem nachgeordneten Kollektor 8, ein Hellfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel 2 und ein Dunkelfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel 3 dargestellt. Beide Strahlenbündel 2, 3 werden über eine Beleuchtungslinse 9, eine Aperturblendenebene AP mit regelbarer Aperturblende, eine Leuchtfeldblendenebene LF mit regelbarer Feldblende und eine Kondensorlinse 1Q geführt. Bevor beide Strahlenbündel auf eine Kenneinrichtung 11 treffen, wird das Dunkelfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel 3 über eine Dunkelfeld-Ringlinse 47 geleitet.
Diese Kenneinrichtung 11 ist so ausgebildet, daß die beiden Strahlenbündel 2, 3 eine unterschiedliche Kennung erhalten. Dazu ist die Kenneinrichtung 11 mit einem Farbfilter oder einem Polarisationsfilter oder einem Modulationsfilter oder einem dichroitischen Teiler ausgestattet.
Alternativ zur Kenneinrichtung 11 kann die Kennung der Dunkelfeld- und/oder Hellfeld- Beleuchtungsstrahlen bereits am Ort der Aperturblendenebene AP erfolgen, wenn die Aperturblende z.B. aus Farbglas und/oder einem Dünnschicht-Farbfilter beschaffen ist.
Im weiteren Verlauf des Beleuchtungsstrahlengangs 4 ist ein Teilerspiegel 12 angeordnet. Der Teilerspiegel 12 weist einen äußeren, vollverspiegelten Ring 20 zur Umlenkung des Dunkelfeld-Strahlenbündel 3 und einen inneren, teildurchlässigen Kreis 21 zur Umlenkung des Hellfeld-Strahlenbündels 2 und zur Transmission des Beobachtungsstrahlenbündels 5 auf.
Das umgelenkte Hellfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel 2 wird über ein Objektivlinsensystem 14 eines Dunkelfeld-Objektivs 13 geführt und beleuchtet dabei die Oberfläche eines Objekts 16. Der Mittelstrahl des Hellfeld- Strahlenbündels 2 trifft dabei senkrecht auf die Oberfläche des Objektes 16 auf. Die Achse des Mittelstrahls 40 des Hellfeld-Strahlenbündels 2 und die Achse des Mittelstrahls 42 des Beobachtungs-Strahlenbündel 5 haben eine gleiche Ausrichtung.
Das vom Teilerspiegel 12 umgelenkte Dunkelfeld-Strahlenbündel 3 wird am Objektivlinsensystem14 des Dunkelfeld-Objektivs 13 vorbeigeführt und trifft auf den im Objektivgehäuse vorgesehenen Ringspiegel 15. Von dort wird das Dunkelfeld-Strahlenbündel 3 auf das Objekt 16 umgelenkt. Dabei trifft der Mittelstrahl 41 des Dunkelfeld-Strahlenbündels 3 schräg auf die Oberfläche des Objektes 16 auf. Da der Querschnitt des Dunkelfeld-Strahlenbündels 3 ringförmig ausgebildet ist, treffen hier alle Mittelstrahlen 41 aus dem Ring schräg auf die Oberfläche des Objektes 16 auf.
Das vom Objekt 16 ausgehende Beobachtungs-Strahlenbündel 5 wird im Beobachtungsstrahlengang 6 über das Objektivlinsensystem 14, den Teilerspiegel 12 und die Tubuslinse 17 geführt und trifft auf eine Filter- 38 und/oder Detektoreinrichtung 18. Diese Detektoreinrichtung 18 ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel als CCD-Farb-Kamera 19 ausgebildet. Die Detektoreinrichtung 18 ist elektrisch mit einer Rechnereinrichtung 25 verbunden.
Die beiden Beleuchtungsstrahlenbundel 2, 3 werden im Beleuchtungsstrahlengang 4 über die Kenneinrichtung 11 geführt. Diese kann beispielsweise aus einem kombinierten Farbfilter mit einem blauen inneren Kreis für das Hellfeld-Strahlenbündel 2 und einen roten, den blauen Kreis umgebenden Ring für das Dunkelfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel 3 ausgebildet sein (vgl. Fig. 4). Die beiden Strahlenbündel werden hier mit einer unterschiedlichen Kennung versehen und treffen entsprechend kodiert simultan auf das Objekt 16. Im gemeinsamen Beobachtungs-Strahlenbündel 5 sind beide farbigen Strahlenbündel gemischt. Über die Detektoreinrichtung 18 mit der Farbkamera 19 und die Rechnereinrichtung 25 werden die beiden Bilder elektronisch getrennt. In diesem speziellen Ausführungsbeispiel kann die Filtereinrichtung 38 entfallen.
Durch Auslesen des blauen Farbanteils wird das Hellfeld-Bild des Objektes 16 und durch Auslesen des roten Farbanteils wird das Dunkelfeld-Bild des Objektes 16 erzeugt. Diese beiden Bilder werden dann zur Fehleranalyse, Fehlerklassifizierung und Strukturvermessung mit der Rechnereinrichtung 25 parallel verarbeitet.
Es versteht sich von selbst, daß die Kenneinrichtung nicht auf ein kombiniertes rotes und blaues Filter beschränkt ist. Es läßt sich jede Art von Kennung bei den Beleuchtungs-Strahlenbündeln einsetzen, wenn eine entsprechende Decodiereinrichtung in Form einer Filter- und/oder Detektoreinrichtung zur Verfügung steht.
Die in der Figur 1 dargestellte Kenneinrichtung 11 ist nicht an einen bestimmten Ort innerhalb des Beleuchtungsstrahlenganges 4 gebunden. Die Kenneinrichtung 11 kann auch im Bereich der Aperturblende AP, im Bereich der Schnittstelle S1 oder auch als dichroitische Schicht auf dem teildurchlässigen Spiegel 12 oder dem Ringspiegel 15 des Dunkelfeld-Objektivs 13 vorgesehen sein. Die Erfindung ist auch nicht auf eine einzige Lichtquelle 7 beschränkt. An der Schnittstelle S1 kann beispielsweise auch eine Beleuchtungseinrichtung mit zwei oder mehr Lichtquellen angeordnet werden.
Die Figur 2 zeigt eine derartige Beleuchtungseinrichtung mit zwei Lichtquellen 26 und 27. Der Lichtquelle 26 ist zur Erzeugung des Dunkelfeld-Strahlenbündels 3 eine Blende 29 zugeordnet, wobei das Beleuchtungslicht über einen zusätzlichen Teilerspiegel 30 in den Beleuchtungsstrahlengang 4 eingespiegelt wird. Der Lichtquelle 27 ist zur Erzeugung des Hellfeld-Strahlenbündels 3 eine Blende 29 mit opakem Mittenstopp 37 zugeordnet, wobei das Beleuchtungslicht über den zentralen Teil des zusätzlichen Teilerspiegels 30 in den Beleuchtungsstrahlengang 4 eingebracht wird.
Die Kenneinrichtung 11 kann hier auch Bestandteil der beiden Blenden 28 und 29 sein und dabei auch eine oder beide Blenden ersetzen. Es kann außerdem vorgesehen sein, den zusätzlichen Teilerspiegel 30 als Kenneinrichtung auszubilden und dabei beispielsweise eine dichroitische Schicht auf dem Teilerspiegel zu verwenden.
Die Figur 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Filtereinrichtung 38 und einer nachgeordneten Detektoreinrichtung 18 mit zwei Schwarz-Weiß-Kameras 32 und 33, mit einem weiteren Teilerspiegel 31 , der auch hier als dichroitischer Spiegel ausgebildet sein kann. Über die gemeinsame Schnittstelle S2 läßt sich die
Detektoreinrichtung mit der Filtereinrichtung in den Beobachtungsstrahlengang der Figur 1 integrieren. Die beiden Schwarz-Weiß-Kameras 32, 33 sind jeweils mit der Rechnereinrichtung 25 verbunden. Die Filtereinrichtung 38 ist entsprechend der Kenneinrichtung 11 mit einem Farbfilter, einem Polarisationsfilter, einem Demodulationsfilter oder einem dichroitischen Teiler ausgestattet.
Es ist bei der vorliegenden Erfindung auch nicht notwendig, daß beide Beleuchtungsstrahlengänge über eine Kenneinrichtung, beispielsweise mit roten und blauem Licht, kodiert werden. In vielen Anwendungen reicht es aus, wenn beispielsweise nur das Dunkelfeld-Strahlenbündel mit einer Kennung versehen wird und das Hellfeld-Strahlenbündel weiterhin Weißlicht enthält.
Es sind jedoch auch Anwendungen möglich, bei denen eine einzige Kennung für das Dunkelfeld- oder das Hellfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel nicht ausreicht. In diesen Fällen kann das einzelne Dunkelfeld- und /oder der Hellfeld- Beleuchtungsstrahlenbündel beispielsweise sowohl mit einer Färb- als auch mit einer Polarisations-Kennung versehen werden. Es ist jedoch auch denkbar, das Dunkelfeld- und/oder das Hellfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel über einen Chopper oder dgl. mit einer Frequenz-Modulation auszubilden.
Die Figur 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Kenneinrichtung mit einem kombinierten Farbfilter 34, das mit einem blauen inneren Kreis 35 für das Hellfeld-Strahlenbündel und mit einem äußeren roten Ring 36 für das Dunkelfeld- Strahlenbündel ausgestattet ist. Das Filter 34 kann jedoch auch andere Kombinationen aus Modulator und/oder Farbfilter und/oder Polarisationsfilter aufweisen.
Die Figur 5 zeigt eine Beleuchtungseinrichtung des Mikroskops gemäß der Figur 1. Die im Mikroskop 1 integrierte Beleuchtungseinrichtung mit der Lichtquelle 7 ist als normale Hellfeld-Beleuchtungseinrichtung ausgebildet. Im Gegensatz zum Ausführungsbeispiel der Figur 1 ist hier auch ein Hellfeld-Objektiv 22 eingesetzt. Das Hellfeld-Strahlenbündel verläuft in diesem Ausführungsbeispiel analog zum beschriebenen Hellfeld-Strahlenbündel der Fig. 1. Das Dunkelfeld- Strahlenbündel 3 wird hier von zwei extern am nicht mit dargestellten Mikroskopstativ angeordneten Lichtquellen 23 und 24 erzeugt. Beiden Lichtquellen 23, 24 ist eine Kenneinrichtung 11 zugeordnet.
Der Beobachtungsstrahlengang 6 ist analog zum bereits beschriebenen
Strahlengang mit der Filter- 38 und/oder Detektoreinrichtung 18 ausgebildet, der die Rechnereinrichtung 25 nachgeordnet ist. Die Lichtquelle für das Dunkelfeld- Strahlenbündel muß also nicht in der optischen Einrichtung integriert sein. Auch reicht es zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens aus, wenn nur eine einzige, extern angeordnete Lichtquelle 23 oder 24 für das Dunkelfeld- Beleuchtungsstrahlenbündel 3 vorgesehen ist.
Die Figur 6 zeigt eine kombinierte Aperturblende 43 mit einem kreisförmigen Durchlass 44 für die Hellfeld-Beleuchtung und mit einem ringförmigen Durchlass 45 für die Dunkelfeld-Beleuchtung. Zur Halterung des opak ausgebildeten Teils zwischen den beiden Durchlässen 44, 45 sind Stege 46 vorgesehen. Beide Durchlässe 44, 45 können dabei einen Glas- oder Kunststoff- Farbfilter aufweisen. Diese kombierte Aperturblende kann in der Ebene AP (Fig. 1 und 5) angeordnet werden.
Bezugszeichenliste
AP- Aperturblendenebene
LF- Leuchtfeldblendenebene
S1 - 1. Schnittstelle
S2- 2. Schnittstelle
1 - Mikroskop
2- Hellfeld - Beleuchtungsstrahlenbundel
3- Dunkelfeld - Beleuchtungsstrahlenbundel
4- Beleuchtungsstrahlengang
5- Beobachtungs - Strahlenbündel
6- Beobachtungsstrahlengang
7- Lichtquelle
8- Kollektor
9- Beleuchtungslinse
10- Kondensorlinse
11 - Kenneinrichtung
12- Teilerspiegel
13- Dunkelfeld - Objektiv
14- Objektivlinsensystem
15- Ringspiegel
16- Objekt
17- Tubuslinse
18- Detektoreinrichtung
19- Farbkamera
20- vollverspiegelter Ring
21 - teildurchlässiger Kreis
22- Hellfeld-Objektiv
23- 1. externe Lichtquelle
24- 2. externe Lichtquelle - Rechnereinrichtung - Lichtquelle für 2 - Lichtquelle für 3 - Blende für 27 - Blende für 26 - zusätzlicher Teilerspiegel - weiterer Teilerspiegel - 1. Schwarz - Weiß - Kamera - 2. Schwarz - Weiß - Kamera - Farbfilter - blauer Kreis von 34 für 2 - roter Ring von 34 für 3 - opaker Mittenstop von 28 - Filtereinrichtung - Beleuchtungseinrichtung - Mittelstrahl des Hellfeld-Beleuchtungsstrahlenbündels - Mittelstrahl des Dunkelfeld-Beleuchtungsstrahlenbündels - Mittelachse des Beobachtungs-Strahlengangs - kombinierte Aperturblende - Durchlass für Hellfeld-Beleuchtung - Durchlass für Dunkelfeld-Beleuchtung - Stege - Dunkelfeld-Ringlinse

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten, insbesondere von Wafern und/oder Masken, mit einem Beobachtungsstrahlengang, dessen Mittelachse senkrecht auf die Oberfläche des Objektes gerichtet ist, mit einem Beleuchtungsstrahlenbundel, dessen Mittelstrahl senkrecht auf die Oberfläche des Objektes fällt und mit einem Beleuchtungsstrahlenbundel, dessen Mittelstrahl schräg auf die Oberfläche des Objektes fällt, wobei im Beobachtungsstrahlengang das Bild der Oberfläche des Objektes beobachtet und/oder detektiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eines der beiden Beleuchtungsstrahlenbundel mit einer Kennung versehen und die Oberfläche des Objektes mit beiden Beleuchtungsstrahlenbündeln simultan beaufschlagt wird und im Beobachtungsstrahlengang die von den unterschiedlichen Beleuchtungsstrahlenbündeln erzeugten Bilder voneinander getrennt und der Beobachtung und/oder Auswertung zugeführt werden.
2Nerfahren zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Bilder gleichzeitig erfasst und parallel ausgewertet werden.
3. Verfahren zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kennung des Beleuchtungsstrahlenbündels durch eine Frequenz- oder Amplitudenmodulation oder eine Polarisation oder eine Spektralauswahl erfolgt.
4. Verfahren zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungsstrahlenbundel im Auflicht und/oder im Durchlicht auf das Objekt gerichtet sind.
5. Verfahren zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die gleichzeitig erfassten Bilder durch eine der Kennung zugeordnete Filterung getrennt werden.
6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten, insbesondere von Wafern und/oder Masken, mit einem Beobachtungsstrahlengang, dessen Mittelachse senkrecht auf die Oberfläche des Objektes gerichtet ist, mit einem
Beleuchtungsstrahlenbundel, dessen Mittelstrahl senkrecht auf die Oberfläche des Objektes fällt und mit einem Beleuchtungsstrahlenbundel, dessen Mittelstrahl schräg auf die Oberfläche des Objektes fällt, wobei im Beobachtungsstrahlengang das Bild der Oberfläche des Objektes beobachtet und/oder detektiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine optische Einrichtung mit einer im Beobachtungsstrahlengang (6) angeordneten Filtereinrichtung (38) und/oder Detektoreinrichtung (18) und mit einer Beleuchtungseinrichtung (39) zur simultanen Erzeugung einer Hellfeld- und einer Dunkelfeldbeleuchtung vorgesehen ist, wobei dem Hellfeld- (2) und/oder dem Dunkelfeld- Beleuchtungsstrahlenbundel (3) eine Einrichtung zur Kennung (11) der Beleuchtungsstrahlenbundel (2,3) zugeordnet ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (39) zur simultanen Erzeugung der Heilfeld- und Dunkelfeld-Beleuchtung eine gemeinsame Lichtquelle (7) aufweist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (39) zur simultanen Erzeugung der Hellfeld- und Dunkelfeldbeleuchtung mindestens zwei voneinander getrennte Lichtquellen (7,23,24; 26,27) aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Lichtquellen (23;24;27) als Ringlichtquelle ausgebildet ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Lichtquellen (7;23;24;26;27) mit einem Lichtieit-Faserbündel ausgestattet ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Kennung (11) des Beleuchtungsstrahlenbündels (2;3) ein Farbfilter (34) oder ein Polarisationsfilter oder ein Modulationsfilter oder einen dichroitischen Teiler aufweist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Lichtquellen (7;23;24;26;27) eine farbige Emissioncharakteristik aufweist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Filtereinrichtung (38) mindestens ein Farbfilter oder ein Polarisationsfilter oder ein Demodulationsfilter oder einen dichroitischen Teiler aufweist.
14. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung (18) mit mindestens einer Rechnereinrichtung (25) elektrisch verbunden ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Rechnereinrichtung (25) zur gleichzeitigen Erfassung und/oder Auswertung der Bilder mehrere parallel arbeitende Rechner aufweist.
16. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung (18) mindestens ein CCD-Element aufweist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das CCD- Element als Schwarz/Weiß- (32,33) oder Farbkamera (19) ausgebildet ist.
18. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einrichtung als Mikroskop (1) ausgebildet ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (39) eine Köhler'sche Beleuchtungsanordnung aufweist.
20. Vorrichtung nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß am Mikroskop (1) eine Auflicht-Beleuchtungseinrichtung und/oder eine Durchlicht- Beleuchtungseinrichtung vorgesehen ist.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung des Dunkelfeld-Beleuchtungsstrahlenbündel (3) mindestens eine am Mikroskop (1 ) extern angeordnete Lichtquelle (23;24) vorgesehen ist.
22. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Demodulationsfilter als Einrichtung zur frequenzselektiven Abbildung des Objektes (16) ausgebildet ist.
23. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Anspüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (39) mehrere Dunkelfeld- Beleuchtungstrahlengänge aufweist.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die unterschiedlichen Dunkelfeld-Beleuchtungsstrahlengänge so angeordnet sind, daß die zugehörigen Mittelstrahlen (41) der Strahlenbündel unter unterschiedlichen Einfalls-Winkeln auf das Objekt (16) treffen.
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