NL8901380A

NL8901380A - Simultane dubbele inspectie.

Info

Publication number: NL8901380A
Application number: NL8901380A
Authority: NL
Original assignee: Heuft Qualiplus Bv
Priority date: 1989-02-14
Filing date: 1989-05-31
Publication date: 1990-09-03
Also published as: ATE126886T1; ES2080102T3; US5134278A; DE69021753T2; EP0387930B1; DE69021753D1; EP0387930A1; AU4973590A

Description

Simultane dubbele inspectie

De uitvinding betreft een werkwijze voor het op afwijkingen, zoals vormfouten, vuil, barsten enzovoorts, inspecteren van een voorwerp of een reeks successievelijk aangevoerde voorwerpen, omvattende de volgende stappen: 1) het verschaffen van ten minste één belichtingsstation voor het afgeven van elektromagnetische straling van een gekozen type, 2) het verschaffen van ten minste één bijbehorend waarneemstation, dat is ingericht voor het waarnemen van de door het belichtingsstation afgegeven elektromagnetische straling, 3) het verschaffen van een te inspecteren voorwerp, en 4) het zodanig gealigneerd opstellen van het of elk belichtingsstation, het of elk bijbehorende waarneemstation en het voorwerp, dat het of elk waarneemstation een beeld kan vormen van het door het bijbehorende belichtingsstation belichte voorwerp.

Een dergelijke werkwijze is bekend. Bij een bekende werkwijze wordt een te inspecteren voorwerp, bijvoorbeeld een glazen pot, door middel van een transportinrichting getransporteerd naar een belichtingsstation en een bijbehorend waarneemstation. Het belichtingsstation kan bijvoorbeeld zijn ingericht voor het afgeven van een flits op het moment, waarop de aankomst van het te inspecteren voorwerp wordt vastgesteld. Het waarneemstation, in het bijzonder een videocamera, neemt het beeld van het te inspecteren voorwerp waar en voert dat bijvoorbeeld toe aan een centrale verwerkingseenheid, die kan zijn gekoppeld met uitstootmiddelen voor het uitstoten van een afgekeurd voorwerp. Het op deze wijze aan een eerste inspectie onderworpen voorwerp wordt vervolgens toegevoerd aan een tweede inspectiestation met een tweede belichtingsstation en een tweede waarneemstation, welk inspectiestation afwijkt van het eerste om een tweede type afwijkingen te kunnen vaststellen.

Fig. 1 toont een transportinrichting l voor transport van glazen potten 2. Een lamp 3 geeft een flits af op het moment, waarop de pot 2 op de inspectieplaats is gearriveerd. Een videocamera 4 neemt het beeld van de pot 2 waar en geeft aan niet-getekende centrale besturingsmiddelen eventueel een afkeuringssignaal door, dat kan dienen voor de besturing van stroomafwaarts van de transportinrichting geplaatste uitstootmiddelen. De pot 2 wordt op deze wijze doorgelicht. Déze wijze van belichting staat bekend als "bright field illumination". Deze werkwijze is zeer geschikt voor het waarnemen van bijvoorbeeld vuil.

Vervolgens wordt de pot 2 verder getransporteerd in de richting van de pijl 5 naar de met 2' aangeduide positie. Daar bevindt zich een tweede inspectiestation, bestaande uit een tweede lamp 6, die een flits afgeeft op het moment, waarop de pot 2' is gearriveerd. Doordat zich bovenop de lamp 6 in het midden een ronde ondoorzichtige schijf 7 bevindt wordt de pot 2' niet rechtstreeks doorgelicht, zoals hiervoor beschreven, maar vindt belichting volgens het principe van het "donkere veld" plaats. Een videocamera 8, neemt dan ook onder normale omstandigheden geen licht waar, maar kan uitsluitend de aanwezigheid van bepaalde vormfouten of barsten constateren, namelijk afwijkingen die resulteren in uitzenden door de pot 2' van licht in de richting van de videocamera 8.

Volgens deze bekende techniek dient dus voor het vaststellen van afwijkingen van twee verschillende types gebruik te worden gemaakt van twee afzonderlijke inspectiestations, elk bestaande uit een belichtingsstation en een waarneem-station.

Het nadeel van de hiervoor beschreven bekende inspectiemethode is, dat deze twee afzonderlijke inspecties veel ruimte in beslag nemen en extra besturingsmiddelen vergen.

De uitvinding beoogt een eenvoudiger werkwijze te bieden, die aanzienlijk eenvoudiger en daardoor kostenbesparend is. Tevens stelt de uitvinding'zich ten doel een werkwijze te bieden, die een aanzienlijke ruimtewinst oplevert.

Daartoe is de werkwijze volgens de uitvinding gekenmerkt door de volgende stap: 5) het verschaffen van slechts één belichtingsstation en/of slechts één waarneemstation, welk belichtingsstation elektromagnetische straling van ten minste twee types uitzendt, en welk waarneemstation elektromagnetische straling van die ten minste twee types kan waarnemen, waarbij het uit straling van het ene type gevormde beeld informatie kan geven over afwijkingen van het eerste type en het uit straling van het tweede type gevormde beeld informatie kan geven over afwijkingen van het tweede type enz., zodanig dat tegelijkertijd twee of meer types afwijkingen kunnen worden vastgesteld.

In een bepaalde uitvoering kan de werkwijze zijn gekenmerkt door de volgende stap: 6) het zodanig uitvoeren van stap 5) dat de voortplantingsrichtingen van de elektromagnetische straling van de ten minste twee types onderling verschillen.

Bijvoorbeeld kan daartoe de werkwijze gekenmerkt zijn door de volgende stap: 7) het zodanig uitvoeren van stap 6) dat een type straling een in hoofdzaak gerichte bundel is een ander type straling in hoofdzaak diffuus is.

Ook kan men gebruik maken van een andere uitvoering, die is gekenmerkt door de volgende stap: 8) het zodanig uitvoeren van stap 5) dat de polarisatierichtingen van de elektromagnetische straling van de ten minste twee types onderling verschillen.

Een andere, ook zeer goed werkende wijze van discriminatie kan worden verkregen met een variant, die is gekenmerkt door de volgende stap: 9) het zodanig uitvoeren van stap 5) dat de spectrale samenstellingen van de ten minste twee types elektromagnetische straling verschillen.

Een bekende inrichting voor het uitvoeren van de bekende werkwijze omvat: 1) ten minste één belichtingsstation voor het afgeven van elektromagnetische straling van een gekozen type; 2) ten minste één bijbehorend waarneemstation, dat is ingericht voor het waarnemen van de door het belichtingsstation afgegeven elektromagnetische straling; 3) steunmiddelen voor het dragen van een te inspecteren voorwerp; 4) waarbij het of elk belichtingsstation, het of elk bijbehorend waarneemstation en de steunmiddelen zodanig zijn gealigneerd, dat het of elk waarneemstation een beeld kan vormen van het door het bijbehorende belichtingsstation belichte voorwerp.

Een dergelijke inrichting is aan de hand van fig. 1 boven reeds beschreven.

De inrichting volgens de uitvinding is gekenmerkt door slechts één belichtingsstation en/of slechts één waarneemstation, welk belichtingsstation elektromagnetische straling van ten minste twee types uitzendt, en welk waarneemstation elektromagnetische straling van die ten minste twee types kan waarnemen, waarbij het uit straling van een type gevormde beeld informatie kan geven over afwijkingen van een eerste type en het uit straling van een tweede type gevormde beeld informatie kan geven over afwijkingen van een tweede type enz., zodanig dat tegelijkertijd twee of meer types afwijkingen kunnen worden vastgesteld.

Een voorkeursuitvoering vertoont het kenmerk dat het ene waarneemstation is ingericht voor het simultaan afzonderlijk waarnemen van alle types elektromagnetische straling.

Bijvoorbeeld voor het inspecteren van glazen houders kan de donkerveld-detectiemethode aanmerkelijk verbeterd worden, door de bodem van de houder niet alleen van buitenaf te verlichten, zoals hierna aan de hand van fig. 2 zal worden besproken, maar ook door de "zwarte" schijf heen. Daartoe vertoont de inrichting dan het kenmerk, dat het belichtingsstation is ingericht voor het afgeven van doorvallende indirecte elektromagnetische straling en daartoe omvat: een bron voor elektromagnetische straling, die is geplaatst voor het doorvallend belichten van een te inspecteren voorwerp, en donkerveld-middelen, omvattende vanaf de elektromagnetische stralingsbron, een diffusor, een eerste patroon van voor de elektromagnetische straling ondoorlatende stroken, bijvoorbeeld concentrische ringen, en een tweede patroon van voor de elektromagnetische straling ondoorlatende stroken, welke twee patronen zodanig op afstand boven elkaar zijn geplaatst, dat de lijnen van het ene patroon de vrije ruimten tussen de lijnen van het andere patroon afdekken.

Door deze configuratie worden bijvoorbeeld glassplinters en dergelijke riu niet alleen belicht van buiten af, d.w.z. vanaf de ringvormige diffuse lichtbron rond de zwarte schijf, maar tevens als het ware door de schijf heen, zij het niet direct, maar uitsluitend indirect, zodat bij een foutloos voorwerp geen elektromagnetische straling het waarneemstation bereikt, maar uitsluitend in geval van een afwijking.

De werkwijze en inrichting volgens de uitvinding bieden de mogelijkheid ten minste twee inspecties op één inspectiepositie uit te voeren.

De uitvinding zal nu worden verduidelijkt aan de hand van bijgaande tekening. Hierin tonen:

Fig. 1 een schematisch zij-aanzicht van de hierboven reeds besproken inspectie-inrichting volgens de stand der techniek;

Fig. 2 een schematisch zij-aanzicht van een inspectie-inrichting volgens de uitvinding in een eerste uitvoeringsvoorbeeld;

Fig. 3 een inspectie-inrichting volgens de uitvinding in een tweede uitvoering;

Fig. 4 een inspectie-inrichting volgens de uitvinding in een derde uitvoering;

Fig. 5 de doorlaatkarakteristieken van spectraal-selectieve filters voor toepassing in de uitvinding;

Fig. 6 een sterk geschematiseerd detail van een vierde uitvoering;

Fig. 7 een schematisch zij-aanzicht van een vijfde uitvoering;

Fig. 8 het beeld van een perfecte TL-buis;

Fig. 9 het beeld van een TL-buis met afwijking in het glas;

Fig. 10 het detail X volgens fig. 7;

Fig. 11 een met fig. 10 corresponderend aanzicht van een voorkeursuitvoering van de diffusor met raster; en

Fig. 12 een dwarsdoorsnede door een alternatief belichtingsstation.

Voor de beschrijving van fig. l wordt naar het bovenstaande verwezen.

Fig. 2 toont de pot 2, die wordt aangevoerd door de transportinrichting 1 tot boven een lamp 9, die in het midden is afgedekt door een filter 10, dat alle straling met een golflengte boven 600 nm doorlaat, en alle straling met kleinere golflengte afsnijdt.

Het door het filter 10 doorgelaten rode licht geeft een doorlichting van de pot 2. De doorgelaten straling passeert een halfdoorlatende spiegel 11 en treedt via een filter 12 de videocamera 4 binnen. Het filter 12 is van hetzelfde type als het filter 10 en laat dus rood licht door. De camera 4 neemt derhalve een beeld waar, corresponderend met de camera 4 volgens fig. 1.

De halfdoorlatende spiegel 11 zendt via een spiegel 13 een ander deel van het licht via een filter 14 naar de videocamera 8. Het filter 14 is van het type, dat uitsluitend straling doorlaat met een golflengte kleiner dan 600 nm. Als gevolg hiervan zal geen "doorlichtbeeld" van de pot 2 door de camera 8 wordt waargenomen. Voor deze camera 8 fungeert derhalve het filter 10 als de zwarte schijf 7 volgens fig. 1.

Het lichtafgevende bovenvlak 15 van de lamp 9 is echter slechts in zijn centrale deel af gedekt door het filter 10. De randzone 16 kan licht afgeven conform de lamp 6 met de zwarte schijf 7 volgens fig. 1. Deze lichtafgevende rand 16 werkt derhalve voor het vormen van donker veldbelichting voor de pot 2. Aangezien de via de rand 16 afgegeven straling ook golflengten bevat die door het filter 14 kunnen worden doorgelaten is de camera 8 hierdoor in staat een donker veld-beeld van de pot 2 waar te nemen.

Uit het bovenstaande zal blijken, dat op één inspectieplaats nu simultaan twee inspecties op verschillende afwijkingen kunnen worden uitgevoerd.

Fig. 3 toont een transportband 17, die een te inspecteren open aluminiumhouder 18 aanvoert. Een eerste lamp 19 geeft licht af via het filter 10 aan een lenzensysteem 20, 21. De uittredende bundel is evenwijdig.

In het midden bevindt zich aan de uittreezijde van het systeem 20, 21 een zwarte schijf 7, waardoor een cilindrische evenwijdige bundel 22 in de houder 18 wordt gericht via de halfdoorlatende spiegel 11. Deze bundel wordt gereflecteerd door de naar boven toe bolle bodem van de houder 18 en onder een zeer kleine hoek op de cilindrische wand van de houder 18 gericht, waar hij opnieuw wordt gereflecteerd. Een perfect cilindrische houder zonder vormfouten zal het door de cilindrische wand gereflecteerde licht zodanig afgeven dat dit zich buiten het bereik van een afbeeldingslens 23 voortplant. Slechts in geval van bijvoorbeeld een deuk zal rood licht door de lens 23 worden doorgelaten naar de halfdoorlatende spiegel 11, waar het rode licht corresponderend met de deuk via een halfdoorlatende spiegel 24 via het rode filter 12 de videocamera 4 bereikt.

Rond de afbeeldingslens 23 strekt zich een ringvormige lichtbron 25 uit. Deze omvat een ringvormige flitslamp 26 en een blauwe diffusor 27. Deze matglazen diffusor geeft min of meer diffuus licht af naar het inwendige van de bus 18, zoals symbolisch met pijlen 28 aangeduid. De bus 18 wordt inwendig diffuus blauw verlicht. Het blauwe beeld van de bus kan het roodfilter 12 niet passeren en uitsluitend de blauwe straling, die is gereflecteerd door de spiegel 24 kan via de spiegel 13 en het blauwfilter 14 de camera 8 bereiken.

Fig. 4 toont een variant, waarbij de lichtbron overeenkomt met die volgens fig. 3, maar slechts één videocamera 29 wordt toegepast. Desgewenst kan de kleurinformatie in het videosignaal dienen voor het discrimineren op verschillende afwijkingen.

Fig. 5 toont in een getrokken lijn de doorlaatkarakteristiek 30 van de rode filters 10, 12, terwijl met een onderbroken lijn de doorlaatkarakteristiek 31 van de diffusor 27 en het blauwfilter 14 is weergegeven. Duidelijk zal zijn dat in het bijzonder de doorlaatkarakteristiek 30 bijzonder scherp is, zodat informatie-overspraak tussen beide waarneemsystemen niet behoeft te worden gevreesd. Desgewenst zou eventueel nog gebruik kunnen worden gemaakt van belichtingsmiddelen, die elektromagnetische straling met zeer beperkte bandbreedte afgeven, bijvoorbeeld bronnen met een lijnenspectrum, waarbij één lijn of een beperkt golflengtegebied wordt doorgelaten, in dit verband kan bijvoorbeeld worden gedacht aan een combinatie van een kwiklamp en een natriumlamp. Duidelijk zal overigens zijn, dat ook allerlei andere soorten bronnen in aanmerking komen.

Fig. 6 toont een detail van een variant, waarin gebruik wordt gemaakt van drie videocamera's 4, 33, 8.

Het met 35 aangeduide, van het te inspecteren voorwerp afkomstige invallende licht of andere elektromagnetische straling wordt op een zogenaamde dichroïsche spiegel 36 gericht. Deze laat straling van het ene golflengtegebied door naar de camera 32 en reflecteert een andere portie in de richting van halfdoorlatende spiegel 24. voor de verdere optische weg wordt verwezen naar fig. 3.

Fig. 7 toont een opstelling voor het inspecteren van een TL-buis 37, althans de vooraf vervaardigde glazen omhulling daarvan.

Gebruik wordt gemaakt van twee flitslampen 38, 39, die diffusorplaten resp. 40, 41 belichten. Deze diffusorplaten vertonen, zoals aan de hand van fig. 10 duidelijker te zien is, een als raster 42 van evenwijdige stroken 43 gevormde roodfilters, bijvoorbeeld van hetzelfde materiaal als het filter 10 of 12. Een videocamera 53 neemt via een tegen het waarnemen van rechtstreekse reflecties werkzaam polarisatiefilter 44, via respectieve spiegels 45, 46 en 47, 48 de buis 37 in twee richtingen waar, respectievelijk belicht door de lampen 38 en 39.

Er zijn diverse types afwijkingen of gebreken, die aan de buis dienen te worden vastgesteld, zoals luchtbellen in het glas, strepen, insluitingen, steentjes, materiaalgebreken. Voor een goede inspectie is het vereist de gehele omtrek van de buis de inspecteren. De opstelling volgens fig. 7 is daartoe ingericht.

De aandacht wordt erop gevestigd, dat de buis 37 in axiale richting het inspectiestation bijvoorbeeld met een bepaalde snelheid kan passeren, waardoor alle gebreken over de gehele lengte kunnen worden gedetecteerd.

De inspectie volgens fig. 7 vindt plaats op basis van lichtbreking. Niet-transparante deeltjes worden door bepaling van een transmissieverschil opgespoord. Ook kan als waarneemstation een opstelling van hetzelfde type als volgens fig. 2 of een equivalent daarvan worden toegepast.

Fig. 8 toont een videobeeld, bestaande uit twee inspectiegebieden, die respectievelijk corresponderen met de lamp 39 en de lamp 38.

Fig. 9 toont als voorbeeld een verstoring van het beeld, waaruit blijkt, dat er sprake is van een fout in het glas, gezien door de camera 53. Deze neemt niet-transparante fouten in elke positie waar, in tegenstelling tot de situatie, waarin het rasterpatroon uit niet-transparante stroken bestaat en kleine niet-transparante fouten, die op een strook vallen niet gedetecteerd worden.

De overlapgebieden 49, 50 zijn samengesteld uit lijnen, die na diffractie elkaar overlappen. Het resterende gebied 51, 51' is het inspectiegebied. Het zal duidelijk zijn dat dit inspectiegebied groot genoeg moet zijn om gebreken over de gehele omtrek van de buis 37 waar te nemen onder de twee hoeken.

Met betrekking tot fig. 9 wordt nog opgemerkt, dat de lijnrichting van het videobeeld overeenkomt met de langsrichting van de rasterstroken 43.

De aandacht wordt erop gevestigd, dat bij de inspectie volgens fig. 7 de camera 53 is scherpgesteld op het voorvlak van de diffusorplaten 40, 41. Bij de hiervoor besproken wijzen van inspectie vindt scherpstelling steeds op het voorwerp 2, 18 plaats.

Ten einde te zorgen, dat de grijswaarde van de rasterstroken 43 overeenkomt met de daartussen gelegen gebieden kan gebruik worden gemaakt van de in fig. 11 getekende variant, waarin deze tussengelegen gebieden zijn voorzien van grijsfilters 54. Bij waarneming van een diffusorplaat volgens fig. 11 door een roodfilter zal derhalve een homogeen rood vlak worden waargenomen.

Fig. 10 toont de breedte 55 en de onderlinge afstand 56 van de rasterstroken 43. Deze grootheden beïnvloeden de grootte van het inspectiegebied op de buis en de afmetingen van het minimaal detecteerbare gebrek. Globaal geldt:

Naarmate de breedte en de onderlinge afstand kleiner zijn zal het overlapgebied groter zijn en kunnen kleinere gebreken beter worden gedetecteerd.

Naarmate de breedte en de onderlinge afstand groter zijn zal het overlapgebied kleiner zijn en kunnen kleinere gebreken minder goed worden gedetecteerd.

Naarmate de breedte en de onderlinge afstand van elkaar gaan afwijken, zullen glasgebreken altijd minder goed worden gedetecteerd.

Door de uitvinding is de detectie van niet-transparante fouten onafhankelijk geworden van het rasterpatroon.

Fig. 11 tenslotte toont een opstelling voor donkerveld-belichting. Deze opstelling omvat een glasplaat 57, die aan zijn bovenvlak een eerste patroon 58 van voor de 'elektromagnetische straling ondoorlatende stroken 59, bijvoorbeeld concentrische ringen omvat, en aan zijn ondervlak een tweede patroon 60 van voor de elektromagnetische straling ondoorlatende stroken 61 omvat, welke patronen zodanig op afstand ter grote van de dikte van de glasplaat 57 boven elkaar zijn geplaatst, dat de stroken van het ene patroon 58, 60 de vrije ruimten tussen de stroken van het andere patroon 60, 58 afdekken. Onder de plaat 57 bevindt zich een diffusor 62 waaronder de niet-getekende stralingsbron is geplaatst. Deze zendt met pijlen 63 aangeduide elektromagnetische straling uit. Deze elektromagnetische straling wordt in de richting van het waarneemstation 4, 8 (zie figuur 2), geheel afgeschermd door de ondoorzichtige patronen 58, 60. Uitsluitend door schuine doorvallende straling kunnen onregelmatigheden en fouten worden belicht en aanleiding geven tot beeldvorming in het waarneemstation 4, 8. Het zal duidelijk zijn, dat voor bijvoorbeeld glazen flessen patronen van concentrische ringen het meest in aanmerking komen. Voor toepassing in een opstelling voor het controleren van fluorescentiebuizen, zoals uiteengezet aan de hand van de figuren 7-11, kunnen patronen van rechte stroken worden toegepast.

Claims

1. Werkwijze voor het op afwijkingen, zoals vormfouten, vuil, barsten enzovoorts, inspecteren van een voorwerp of een reeks successievelijk aangevoerde voorwerpen, omvattende de volgende stappen: 1. het verschaffen van ten minste één belichtingsstation voor het afgeven van elektromagnetische straling van een gekozen type, 2. het verschaffen van ten minste één bijbehorend waarneemstation, dat is ingericht voor het waarnemen van de door het belichtingsstation afgegeven elektromagnetische straling, 3. het verschaffen van een te inspecteren voorwerp, en 4. het zodanig gealigneerd opstellen van het of elk belichtingsstation, het of elk bijbehorende waarneemstation en het voorwerp, dat het of elk waarneemstation een beeld kan vormen van het door het bijbehorende belichtingsstation belichte voorwerp, gekenmerkt door de volgende stap: 5. het verschaffen van slechts één belichtingsstation en/of slechts één waarneemstation, welk belichtingsstation elektromagnetische straling van ten minste twee types uitzendt, en welk waarneemstation elektromagnetische straling van die ten minste twee types kan waarnemen, waarbij het uit straling van het ene type gevormde beeld informatie kan geven over afwijkingen van het eerste type en het uit straling van het tweede type gevormde beeld Informatie kan geven over afwijkingen van het tweede type enzovoort, zodanig dat tegelijkertijd twee of meer types afwijkingen kunnen worden vastgesteld.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, gekenmerkt door de volgende stap: 6. het zodanig uitvoeren van stap 5) dat de voortplantingsrichtingen van de elektromagnetische straling van de ten minste twee types onderling verschillen.

3. Werkwijze volgens conclusie 2, gekenmerkt door de volgende stap: 7. het zodanig uitvoeren van stap 6) dat een type straling een in hoofdzaak gerichte bundel is en het andere type straling in hoofdzaak diffuus is.

4. Werkwijze volgens conclusie 1, gekenmerkt door de volgende stap: 8. het zodanig uitvoeren van stap 5) dat de polarisatierichtingen van de elektromagnetische straling van de ten minste twee types onderling verschillen.

5. Werkwijze volgens conclusie 1, gekenmerkt door de volgende stap: 9. het zodanig uitvoeren van stap 5) dat de spectrale samenstellingen van de ten minste twee types elektromagnetische straling verschillen.

6. Inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, omvattende: 1. ten minste één belichtingsstation voor het afgeven van elektromagnetische straling van een gekozen type; 2. ten minste één bijbehorend waarneemstation, dat is ingericht voor het waarnemen van de door het belichtingsstation afgegeven elektromagnetische straling; 3. steunmiddelen voor het dragen van een te inspecteren voorwerp; 4. waarbij het of elk belichtingsstation, het of elk bijbehorend waarneemstation en de steunmiddelen zodanig zijn gealigneerd, dat het of elk waarneemstation een beeld kan vormen van het door het bijbehorende belichtingsstation belichte voorwerp, gekenmerkt door slechts één belichtingsstation en/of slechts één waarneemstation, welk belichtingsstation elektromagnetische straling van ten minste twee types uitzendt, en welk waarneemstation elektromagnetische straling van die twee types kan waarnemen, waarbij het uit straling van een type gevormde beeld informatie kan geven over afwijkingen van een eerste type en het uit straling van een tweede type gevormde beeld informatie kan geven over afwijkingen van een tweede type enzovoort, zodanig dat tegelijkertijd twee of meer types afwijkingen kunnen worden vastgesteld.

7. Inrichting volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat het ene waarneemstation is ingericht voor het simultaan afzonderlijk waarnemen van alle types elektromagnetische straling.

8. Inrichting volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat het belichtingsstation is ingericht voor het afgeven van doorvallende indirecte elektromagnetische straling en daartoe omvat: een bron voor elektromagnetische straling, die is geplaatst voor het doorvallend belichten van een te inspecteren voorwerp, en donkerveld-middelen, omvattende vanaf de elektromagnetische stralingsbron, een diffusor, een eerste patroon van voor de elektromagnetische straling ondoorlatende stroken, bijvoorbeeld concentrische ringen, en een tweede patroon van voor de elektromagnetische straling ondoorlatende stroken, welke twee patronen zodanig op afstand boven elkaar zijn geplaatst, dat de lijnen van het ene patroon de vrije ruimten tussen de lijnen van het andere patroon afdekken.