JP2003075367A

JP2003075367A - 透明板状体の欠点検出装置

Info

Publication number: JP2003075367A
Application number: JP2001271366A
Authority: JP
Inventors: Shinya Okugawa; 真也奥川
Original assignee: Central Glass Co Ltd
Current assignee: Central Glass Co Ltd
Priority date: 2001-09-07
Filing date: 2001-09-07
Publication date: 2003-03-12

Abstract

(57)【要約】【課題】透明板状体には、キズや異物などの欠点の他
に、透明板状体の表面に付着している汚れや埃があり、
表面に付着している埃や汚れは、洗浄して落とすことが
できるので、傷や異物などと区別して検出する必要があ
る。【解決手段】透明板状体の端面から光を照射して透明板
状体の内部を透過させる照明器と、透明板状体の面側か
ら照射する照明器とを備えてあることを特徴とする欠点
検出装置。装置の各照明で撮像される画像から、透明板
状体の表面に付着している汚れや埃をキズや異物などの
欠点と区別し、欠点のみを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、透明板状体、特に
建築、車両および平面ディスプレイなどに用いられる板
ガラスの種々の欠点を光学的に検出する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】透明板状体の欠点検出方法あるいは装置
として、光学的に検出するものが知られている。また、
透明板状体の欠点を検出において、キズ、泡、異物など
の透明板状体の欠点と、透明板状体の表面に付着した汚
れやほこりとを区別する必要がある。これは、表面に付
着した汚れやほこりの場合は、透明板状体を洗浄し製品
とすることができるためである。

【０００３】光学的に欠点を検出するものとして、例え
ば、特開平８−２０１３１３号報、特開平９−１８９６
６５号報および特開２００−１１４１６６２号報に、透
明板状体に光を照射し、光源の光が検出器に直接入射し
ないような暗視野で、光が透明板状体を透過するときの
欠点による散乱光により欠点を検出する方法が開示され
ている。また、特開平６−２９４７４９号報に、板ガラ
スの端面から光を照射して、欠点のみを検出する方法が
開示されている。前者の、暗視野で欠点を検出する方法
は、表面に付着した汚れやほこりなどを欠点から区別で
きないという問題がある。後者の端面から光を入射する
方法は、表面に付着した汚れやほこりなどが検出できな
いため、板ガラスの表面処理などを行う時に、表面の汚
れやほこりが不良品の原因となってしまう。

【０００４】透明板状体の欠点と表面に付着した汚れ等
を判別する欠点検出方法として、特開昭５８−１５８２
９０号報に、フォトマスクの端面に光源とスリットとを
置き、スリットを移動させて、端面から光をフォトマス
クに入射して、フォトマスクのキズを検出し、次いでス
リットを移動させてフォトマスクの面に平行に光を照射
して面に付着した汚れを検出する方法が開示されてい
る。この方法は、板ガラスのような大面積の透明板状体
では、たわみなどの透明板状体の変形によって、光が表
面に当たらないという問題があり、また、透明板状体が
連続的に移動する場合に用いることが困難である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】これまでに開示された
透明板状体の欠点を検出する方法において、大面積の透
明板状体を対象にした場合の、キズ、泡、異物などの欠
点と表面に付着している汚れやほこりなどとを区別する
ことが困難であった。

【０００６】本発明は、このような点に鑑みてなされた
ものであり、透明板状体の欠点の検出において、透明板
状体の表面付着している汚れや埃などを欠点と区別して
検出できるようにするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の欠点検出装置
は、透明板状体に光を照射し、透明板状体の欠点で散乱
した光を検知する透明板状体の欠点検出装置において、
透明板状体の端面から光を照射して透明板状体の内部を
透過させる照明器と、透明板状体の面側から照射する照
明器とを備えてあることを特徴とする。

【０００８】また、前記欠点検出装置において、透明板
状体の端面から照射する照明器の光の色と、透明板状体
の面側から照射する照明器の光の色とが異なることを特
徴とする欠点検出装置である。

【０００９】また、前記検出装置において、透明板状態
の２つの面を照明する２つの照明器の光の色が、互いに
異なることを特徴とする検出装置である。

【００１０】また、透明板状体の欠点および透明板状体
の表面に付着した汚れによって散乱する光を検出する装
置を備え、光を検出する装置がＣＣＤカメラであり、Ｃ
ＣＤカメラで検出した光の画像を画像処理するための画
像処理装置が備えてあることを特徴とする検出装置であ
る。

【００１１】さらにまた、透明板状体に光を照射し、透
明板状体の欠点で散乱した光を検知する透明板状体の欠
点検出方法において、透明板状体の端面から光を照射し
て透明板状体の内部を透過させる照明によって得られる
画像から、透明板状体の面側から照射する照明によって
得られる画像を除いて、透明板状体の欠点を検出するこ
とを特徴とする前述の欠点検出装置を用いる透明板状体
の欠点検出方法。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の欠点検出装置は、透明板
状体の表面に付着し洗浄により落とすことのできる汚
れ、埃などを、透明板状体の中に存在するキズ、異物、
泡等の欠点と区別して検出しするものである。

【００１３】本発明について、実施例の図１を用いて、
詳細に説明する。透明板状体２の面側は、照明器５と照
明１１を用いて照明する。また照明器９は、端面を照明
する。照明器の光源には、ハロゲンランプ、キセノンラ
ンプ、水銀ランプ、ナトリウムランプあるいはＬＥＤラ
ンプなどの各種ランプ、Ｈｅ−Ｎｅレーザー、Ａｒレー
ザー、ダイレーザーなどの各種レーザーなど、可視域の
光を発光するものを用いることができる。紫外線や赤外
線を発光する光源を用いてもよいが、照明が目視できる
可視域の光を発光する光源が望ましい。端面を照明する
には、光がビーム状に出るレーザーを光源に用いること
が好ましい。ビーム状のレーザー光は、凸レンズなどを
用いて拡散光にすることが好ましい。また、レーザー光
をガラスファイバー１０を用いて端面に導いてもよい。
ガラスファイバーの光の射出側を凸面状にして、ビーム
状のレーザー光を拡散光にしてもよい。また、ビームを
回転多面鏡により反射させて、照明範囲を走査するよう
に照明してもよい。

【００１４】照明器による照明は、スリット６，７，８
を用いて、欠点を検出するのに必要な範囲を照明するこ
とが好ましく、スリットの代わりに遮光板を用いてもよ
い。また、ＣＣＤカメラ１，３の撮影範囲のみを照明す
ることが望ましい。

【００１５】ＣＣＤカメラ１，３にラインカメラを使用
する場合は、透明板状体の照明範囲を帯状にすることが
望ましい。

【００１６】照明器５，９，１１に、ハロゲンランプな
どの可視域で広範囲の波長の光を発光する光源をもちい
る場合は、カラーフィルター７，１３を用いて、面側か
ら照明する照明器５，１１の光の色と端面から照明する
照明器９の照明光の色を変えてもよい。また、ダイクロ
イックミラーなどで反射させて、照明光の色を変えても
よい。

【００１７】照明器５，１１の照明光の色と照明器９の
照明光の色を変えることは、表面に付着した汚れや埃な
どと欠点とを、目視観察で簡単に区別することが可能と
なるので、好ましい実施形態である。

【００１８】また、透明板状態の２つの面を照明する２
つの照明器５，１１について、照明器５の照明光の色と
照明器１１の照明光の色とを互いに異なるようにしても
よい。照明器５と照明器１１の照明光の色を変えること
により、透明板状態の面に付着している汚れや埃が、２
つの面の内のどちらの面であるかが判別できる。

【００１９】照明器５，９、１１の照明光の色を異なる
ようにする場合は、カラー画像を撮像できるＣＣＤカメ
ラを用いることが望ましい。

【００２０】ＣＣＤカメラ１，３で取り込んだ画像は、
ＣＲＴや液晶パネルなどのモニターに表示してもよくさ
らに、画像処理機４を用いて画像処理を行ってもよい。

【００２１】画像処理は、撮影した画像の合成や輝度に
よる２値化などを行うと共に、照明器５，１１の照明に
よって得られる画像を、照明器９の照明で得られれる画
像から取り除く処理を行い、欠点のみの画像を抽出す
る。

【００２２】

【実施例】以下、図面を参照しながら本発明を詳細に説
明する。

【００２３】実施例１図１は本実施例における検査装置を示す側面図である。

【００２４】透明板状体２の表面側に設ける照明器５，
１１には、ハロゲンランプを用い、それぞれに、透明板
状体２を帯状に照明するためのスリット６，１２を用い
た。さらに、照明光を緑色にするために、カラーフィル
ター７，１３には緑色の光を透過させる着色フィルター
を用いた。

【００２５】透明板状体２の端面から光を入射するため
の照明器９には、Ｈｅ−Ｎｅレーザーを用い、照明光は
赤色とした。また、レーザー光を射出側が凸面形状のガ
ラスファイバー１０を用いて、端面へ導いた。

【００２６】図２から図５は、本実施例で撮像され、画
像処理装置で合成された画像の結果を模式的に示すもの
である。図２は、端面から照明した照明光によって得ら
れた撮像の結果であり、線や点状の欠点の画像として、
２０ａ〜２０ｃが得られた。また、面状の欠点像２０
ｄ、２０ｄ’が検出された。これらの欠点の画像におい
て、２０ａ，２０ｂおよび２０ｄ、２０d'は、緑色の画
像であり、２０ｃは、赤色の画像であったので、目視に
より、２０ｃは透明板状体の欠点であり、その他は、透
明板状体の表面に付着した汚れ等であると判定できた。

【００２７】図３は、照明器５の照明で得られた結果を
画像処理によって作成したものであり、図４は、照明器
１１の照明で得られた結果を画像処理によって作成した
ものであ。図２に示す画像から、図３と図４の画像を消
去し、図５に示す欠点のみの結果を得た。

【００２８】実施例２実施例１で用いた着色フィルターを用いず、また図６に
示すように、レザー光１５を回転多面鏡１４を用いて透
明板状体２の端面から入射し、レーザー光の走査による
端面からの照明を行った以外は、実施例１と同様にて、
欠点の検出を行った。

【００２９】輝度の２値化処理を行い、画像解析を行っ
た結果、本実施例においても、実施例１と同じ図２から
図５に示す結果が得られ、欠点と表面に付着した汚れ等
を区別して検出できることが確認できた。

【００３０】

【発明の効果】本発明の欠点検出装置は、透明板状体の
表面に付着した汚れや埃を透明板状体のキズや異物など
の欠点と区別することを可能にした。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１における検査装置を示す平面
図である。

【図２】本発明の実施例１における端面からの照明によ
る検出結果を示す図である。

【図３】本発明の実施例１における上面からの照明によ
る検出結果を示す図である。

【図４】本発明の実施例１における下面からの照明によ
る検出結果を示す図である。

【図５】本発明の実施例１における画像処理によって得
られた欠点のみの画像を示す図である。

【図６】本発明の実施例２における端面からのレーザー
光の照明を示す図である。

【符号の説明】

１、３ＣＣＤカメラ２透明板状体４画像処理装置５、９，１１照明器６，８，１２スリット７、１３カラーフィルター１４ポリゴンミラー１５レーザー光２０ａ、２０ｂ埃２０ｃキズ２０ｄ，２０ｄ’ 汚れ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明板状体に光を照射し、透明板状体の欠
点で散乱した光を検知する透明板状体の欠点検出装置に
おいて、透明板状体の端面から光を照射して透明板状体
の内部を透過させる照明器と、透明板状体の面側から照
射する照明器とを備えてあることを特徴とする欠点検出
装置。
【請求項２】透明板状体の端面から照射する照明器の光
の色と、透明板状体の面側から照射する照明器の光の色
とが異なることを特徴とする請求項１に記載の欠点検出
装置。
【請求項３】透明板状態の２つの面を照明する２つの照
明器の光の色が、互いに異なることを特徴とする請求項
１あるいは請求項２に記載の欠点検出装置。
【請求項４】透明板状体の欠点および透明板状体の表面
に付着した汚れによって散乱する光を検出する装置を備
えてあることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいず
れかに記載の欠点検出装置。
【請求項５】光を検出する装置がＣＣＤカメラであるこ
とを特徴とするを請求項４に記載の欠点検出装置。
【請求項６】ＣＣＤカメラで検出した光の画像を画像処
理するための画像処理装置が備えてあることを特徴とす
る請求項５に記載の欠点検出装置。
【請求項７】透明板状体に光を照射し、透明板状体の欠
点で散乱した光を検知する透明板状体の欠点検出方法に
おいて、透明板状体の端面から光を照射して透明板状体
の内部を透過させる照明によって得られる画像から、透
明板状体の面側から照射する照明によって得られる画像
を除いて、透明板状体の欠点を検出することを特徴とす
る請求項１から請求項６のいずれかに記載の装置を用い
る透明板状体の欠点検出方法。