WO2007039559A1 - Vorrichtung zur aufnahme von mehreren bildern von scheibenförmigen objekten - Google Patents

Vorrichtung zur aufnahme von mehreren bildern von scheibenförmigen objekten Download PDF

Info

Publication number
WO2007039559A1
WO2007039559A1 PCT/EP2006/066887 EP2006066887W WO2007039559A1 WO 2007039559 A1 WO2007039559 A1 WO 2007039559A1 EP 2006066887 W EP2006066887 W EP 2006066887W WO 2007039559 A1 WO2007039559 A1 WO 2007039559A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
illumination
disc
red
shaped object
blue
Prior art date
Application number
PCT/EP2006/066887
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Markus Schnitzlein
Thomas Iffland
Original Assignee
Chromasens Gmbh
Vistec Semiconductor Systems Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chromasens Gmbh, Vistec Semiconductor Systems Gmbh filed Critical Chromasens Gmbh
Priority to US11/992,692 priority Critical patent/US20090237653A1/en
Priority to JP2008532793A priority patent/JP2009510426A/ja
Publication of WO2007039559A1 publication Critical patent/WO2007039559A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers

Definitions

  • the invention relates to a device for recording multiple images of disc-shaped objects.
  • the invention relates to a device for receiving a plurality of images of disc-shaped objects, with at least two illumination devices, which are designed such that the light emitted by the illumination devices is spectrally different.
  • the patent application DE 103 37 727 A1 discloses a method and a device for optical quality inspection of objects with preferably circular peripheral edge, wherein light is directed to the edge of the object and the light emitted by the object as a result of reflection, refraction and / or diffraction a measuring device is detected. Defects on and / or in the object are determined on the basis of the detected image signals.
  • the patent application DE 103 30 006 A1 discloses a device for inspecting a wafer. At least two reflected-light illumination devices are provided, each of which emits an illuminating light beam that obliquely strikes the surface of a wafer to be inspected and in each case defines an illumination axis.
  • An image capture device for capturing an image of the surface in a dark field arrangement and a wafer receiving device for receiving the wafer under a predetermined orientation, on the surface of which linear structures are formed.
  • the device is characterized in that the illumination axes are aligned perpendicular to each other and the device is designed so that a projection of the respective illumination axis on the surface of the Wafer is oriented substantially perpendicular to the respective line-shaped structures on the surface of the wafer.
  • the patent application DE 102 39 548 A1 relates to an apparatus and a method for inspecting an object, with a trained with respect to an imaging optical bright field illumination beam path of a bright field light source, with a respect to the imaging optics formed dark field illumination beam path of a dark field light source, wherein the object with the imaging optics can be imaged on at least one detector and wherein the object is illuminated simultaneously by the two light sources.
  • the inventive device or the method for inspection of an object is designed such that the serving for dark field illumination light is pulsed and that the pulse intensity of serving for dark field illumination light is greater by at least an order of magnitude as the pulse interval related intensity of the bright field illumination serving continuous light.
  • the patent application DE 199 46 520 A1 discloses an apparatus and a method for finding and categorizing surface defects of a tapered strip material.
  • a lighting device for generating an illumination surface is provided, and a camera arrangement serves to receive an image of the inspection surface.
  • a computing and control device comprises at least one matrix camera.
  • the inspection area image is divided into at least two separately evaluable image sections.
  • the invention relates to an arrangement and a method for illumination, in particular incident illumination in microscopes.
  • a ring carrier for receiving illumination means is oriented around the optical axis.
  • the illumination means are light-emitting semiconductor diodes (LED) located in the ring carrier, the main beam direction of the semiconductor diodes, which have a relatively small emission angle, being directed or inclined towards the optical axis of the system.
  • LED light-emitting semiconductor diodes
  • white light LEDs are used, which are preferably fixed in at least two concentric ring rows within the ring carrier. Adjacent LEDs are grouped together and operated by a controllable constant current source.
  • the invention has for its object to provide a device with the same time several shots of a disc-shaped substrate to be taken from a single location.
  • the objective object is achieved by a device having the features of claim 1. It is advantageous if a single recording device is arranged with respect to the disk-shaped object, so that the recording device simultaneously records a plurality of spectrally different images of the disk-shaped object.
  • the two lighting devices are arranged with respect to the disk-shaped object so as to cover one and the same area on the
  • a first of the two illumination devices is arranged in bright field arrangement with respect to the illuminated area, and a second of the two illumination devices is arranged in a dark field arrangement.
  • the first lighting device in the bright field arrangement comprises a narrow-band blue lighting and the second lighting device in the dark field arrangement comprises a narrow-band red lighting.
  • a recording device which receives the illuminated simultaneously by the illumination devices area on the surface of the disc-shaped object. It is the
  • Recording device a CCD color camera, which is provided with flat or line-shaped pixels.
  • the individual pixels of the CCD color camera are provided with filter coatings, so that color channels are separately sensitive to red, blue or green light, and that they register red, blue or green light in respective broad wavelength bands.
  • color channels are separately sensitive to red, blue or green light, and that they register red, blue or green light in respective broad wavelength bands.
  • the blue color channel registers a bright field image
  • the red color channel registers a dark field image.
  • a third illumination device can be provided which illuminates the disc-shaped object with light of a wavelength which differs from the wavelengths of the first and the second illumination device.
  • the third illumination device can emit green light. (The colors can be freely combined - blue brightfield, red darkfield or vice versa, also combinations with green are conceivable)
  • Fig. 1 is a schematic representation of the device for receiving the surface of a disk-shaped object according to the present invention
  • Fig. 2 is a schematic representation of the spectral distribution of
  • Fig. 3 is a schematic representation of the spectral distribution of
  • Fig. 4 is a schematic representation of the of
  • FIG. 5 is an enlarged view of a lighting device, wherein the lighting device consists of an LED line, and
  • Recording device which is designed for the simultaneous recording of two spectrally discriminating images.
  • Figure 1 is a schematic representation of a device 1 for receiving a surface 4 of a disc-shaped object 6 according to the invention.
  • the surface 4 of the disc-shaped object 6 multiple images of one and the same area 7 recorded simultaneously.
  • the device 1 comprises at least a first illumination device 8 for bright field illumination and at least a second illumination device 10 for dark field illumination for the disc-shaped object 6.
  • the described device 1 is suitable for the imaging of raised and / or embedded structures on flat or curved surfaces.
  • the disk-shaped objects 6 may be a wafer (front and / or back and / or edge), glass plates, sheets, a Fiat panel dispaly or printed circuit boards, etc.
  • the device 1 is provided with a recording device 12 for detecting the light emanating from an illuminated region 7 of the disk-shaped object 6.
  • the first illumination device 8 and the second illumination device 10 are formed as an LED row.
  • the first and second illumination means 8 and 10 may comprise a band radiator or at least one fluorescent tube.
  • Lighting device 8 in bright field arrangement comprises a narrow-band blue lighting.
  • the second illumination device 10 in the dark field arrangement comprises a narrow-band red illumination.
  • the first illumination device 8 for bright field illumination is inclined with respect to a perpendicular 9 on the surface 4 of the disc-shaped object 6 at a small angle.
  • the light of the first illumination device 8 for bright field illumination is mirrored directly over the surface 4 of the disc-shaped object 6 in the receiving device 12.
  • the light of the first illumination device 8 for bright field illumination can be generated in this embodiment with a red LED line.
  • the recording device 12 is a CCD color camera with flat or line-shaped pixels.
  • the recording device 12 is connected to an evaluation device 14, which separates according to the color channels and thus generates intensity-dependent images for each color channel.
  • Figure 2 is a schematic representation of the spectral distribution of the light from the first illumination device 8.
  • the intensity is plotted.
  • the first illumination device 8 emits red light in a narrow band range 24 off.
  • the narrowband range has a width of about 30 nm.
  • the narrowband range has a maximum 25 at 630 nm.
  • Figure 3 is a schematic representation of the spectral distribution of the light from the second illumination device 10.
  • abscissa 30 is the
  • the second illumination device 10 emits blue light in a narrowband region 34.
  • the narrowband range has a width of about 30 nm.
  • the narrowband range has a maximum 35 at 450 nm.
  • FIG. 4 is a schematic representation of the registered intensities.
  • CCD color camera has pixels arranged in a line, which are sensitive to different spectral ranges. Typically, three rows of pixels are provided, of which a first line is red light, a second line is green, and a third line is blue light.
  • the abscissa 40, the wavelength and the ordinate 42, the registered intensity is plotted.
  • the recording device 12 registers a wider wavelength range than the narrowband spectral illumination.
  • the dark field illumination is in the red spectral range and the bright field illumination is registered in the blue spectral range.
  • FIG. 5 shows an enlarged illustration of a lighting device 50, wherein the lighting device 50 in this embodiment consists of a plurality of LEDs 51.
  • the lighting devices comprise a band radiator or at least one fluorescent tube.
  • the illumination device 60 is designed such that it has at least the width of the object to be examined.
  • FIG. 6 shows an enlarged view of a sensor 60 of the recording device 12.
  • the sensor 60 is designed for the simultaneous recording of a bright field image and a dark field image of the disk-shaped object.
  • the sensor comprises a first row 61 with sensor elements 64 sensitive to red light, a second row 62 with sensor elements 65 sensitive to green light and a third row 63 with sensor elements 66 sensitive to blue light.
  • the sensitivity of the individual sensor elements can be achieved, for example, by means of suitable filters.
  • the recording principle by the recording device 12 can be extended so that the second line 62 is used with sensor elements 65 which are sensitive to green light (green channel) for obtaining further information.
  • One possibility is to illuminate the object with a green laser or a green LED in such a way that the positional deviation from the desired position in the image of the green channel is used to determine the focus position or the tilt angle of the object.

Abstract

Es ist eine Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen Objekten (6) offenbart, die mit mindestens zwei Beleuchtungseinrichtungen (8) versehen ist, die derart ausgestaltet sind, dass das von den Beleuchtungseinrichtungen (8) ausgehende Licht spektral unterschiedlich ist. Eine einzige Aufnahmeeinrichtung (12) ist in Bezug auf das scheibenförmige Objekt (6) angeordnet, so dass die Aufnahmeeinrichtung (12) mehrere, spektral unterschiedliche Bilder des scheibenförmigen Objekts (6) gleichzeitig aufnimmt.

Description

Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen
Objekten
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen Objekten. Im Besonderen betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen Objekten, mit mindestens zwei Beleuchtungseinrichtungen, die derart ausgestaltet sind, dass das von den Beleuchtungseinrichtungen ausgehende Licht spektral unterschiedlich ist.
Die Patentanmeldung DE 103 37 727 A1 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Qualitätsprüfung von Objekten mit vorzugsweise kreisförmig umlaufendem Rand, wobei Licht auf den Rand des Objektes gerichtet wird und das von dem Objekt infolge von Reflexion, Brechung und/oder Beugung ausgehende Licht mittels einer Messeinrichtung detektiert wird. Anhand der detektierten Bildsignale werden Defekte an und/oder in dem Objekt ermittelt.
Die Patentanmeldung DE 103 30 006 A1 offenbart eine Vorrichtung zur Inspektion eines Wafers. Es sind zumindest zwei Auflicht- Beleuchtungseinrichtungen vorgesehen, die einen jeweils einen Beleuchtungs-Lichtstrahl abstrahlen, der schräg auf die Oberfläche eines zu inspizierenden Wafers einfällt und jeweils eine Beleuchtungsachse festlegt. Eine Bilderfassungseinrichtung zum Erfassen eines Bildes der Oberfläche in einer Dunkelfeld-Anordnung sowie eine Wafer-Aufnahmeeinrichtung zum Aufnehmen des Wafers unter einer vorgebbaren Orientierung, auf dessen Oberfläche linienförmig verlaufende Strukturen ausgebildet sind. Die Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Beleuchtungsachsen senkrecht zueinander ausgerichtet sind und die Vorrichtung so ausgelegt ist, dass eine Projektion der jeweiligen Beleuchtungsachse auf die Oberfläche des Wafers im Wesentlichen senkrecht zu den jeweiligen linienförmigen Strukturen auf der Oberfläche des Wafers ausgerichtet ist.
Die Patentanmeldung DE 102 39 548 A1 betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Inspektion eines Objekts, mit einem bezüglich einer Abbildungsoptik ausgebildeten Hellfeld- Beleuchtungsstrahlengang einer Hellfeld-Lichtquelle, mit einem bezüglich der Abbildungsoptik ausgebildeten Dunkelfeld- Beleuchtungsstrahlengang einer Dunkelfeld-Lichtquelle, wobei das Objekt mit der Abbildungsoptik auf mindestens einen Detektor abbildbar ist und wobei das Objekt von den beiden Lichtquellen simultan beleuchtet ist. Zur simultanen Detektion von Hellfeld- und Dunkelfeldbildern und ohne aufwändige Filteroperationen ist die erfindungsgemäße Vorrichtung bzw. das Verfahren zur Inspektion eines Objekts derart ausgebildet, dass das zur Dunkelfeldbeleuchtung dienende Licht gepulst ist und dass die Pulsintensität des zur Dunkelfeldbeleuchtung dienenden Lichts um mindestens eine Größenordnung größer ist als die auf ein Pulsintervall bezogene Intensität des zur Hellfeldbeleuchtung dienenden kontinuierlichen Lichts.
Die Patentanmeldung DE 199 46 520 A1 offenbart eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Auffinden und zur Kategorisierung von Oberflächenfehlern eines zulaufenden Bandmaterials. Dazu ist eine Beleuchtungseinrichtung zur Erzeugung einer Beleuchtungsfläche vorgesehen und eine Kameraanordnung dient zur Aufnahme eines Bildes der Inspektionsfläche. Eine Rechen- und Steuerungseinrichtung umfasst wenigstens eine Matrixkamera. Das Inspektionsflächenbild ist in mindestens zwei getrennt auswertbare Bildabschnitte unterteilt.
Die Patentanmeldung DE 100 30 772 A1 Die Erfindung betrifft eine Anordnung sowie ein Verfahren zur Beleuchtung, insbesondere Auflichtbeleuchtung bei Mikroskopen. Um die optische Achse ist ein Ringträger zur Aufnahme von Beleuchtungsmitteln orientiert. Erfindungsgemäß sind die Beleuchtungsmittel im Ringträger befindliche lichtemittierende Halbleiterdioden (LED), wobei die Hauptstrahlrichtung der Halbleiterdioden, die über einen relativ kleinen Abstrahlwinkel verfügen, zur optischen Achse des Systems hin gerichtet bzw. geneigt ist. Als Dioden kommen Weißlicht-LEDs zum Einsatz, welche bevorzugt in mindestens zwei konzentrischen Ringreihen innerhalb des Ringträgers fixiert werden. Benachbarte LEDs sind zu Gruppen zusammengeschaltet und werden über eine steuerbare Konstantstromquelle betrieben.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, mit der gleichzeitig mehrere Aufnahmen eines scheibenförmigen Substrats von einem einzigen Ort aufgenommen werden sollen.
Die objektive Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Es ist von Vorteil, wenn eine einzige Aufnahmeeinrichtung in Bezug auf das scheibenförmige Objekt angeordnet ist, so dass die Aufnahmeeinrichtung mehrere, spektral unterschiedliche Bilder des scheibenförmigen Objekts gleichzeitig aufnimmt.
Die zwei Beleuchtungseinrichtungen sind bezüglich dem scheibenförmigen Objekt derart angeordnet, dass sie ein und denselben Bereich auf der
Oberfläche des scheibenförmigen Objekts beleuchten. Dabei ist eine erste der zwei Beleuchtungseinrichtungen in Hellfeldanordnung in Bezug auf den beleuchteten Bereich angeordnet, und eine zweite der zwei Beleuchtungseinrichtungen ist in Dunkelfeldanordnung angeordnet. Die erste Beleuchtungseinrichtung in Hellfeldanordnung umfasst eine schmalbandige Blaubeleuchtung und die zweite Beleuchtungseinrichtung in Dunkelfeldanordnung umfasst eine schmalbandige Rotbeleuchtung.
Eine Aufnahmeeinrichtung ist vorgesehen, die den von den Beleuchtungseinrichtungen gleichzeitig beleuchteten Bereich auf der Oberfläche des scheibenförmigen Objekts aufnimmt. Dabei ist die
Aufnahmeeinrichtung eine CCD- Farbkamera, die mit flächig oder zeilenförmig angeordneten Pixeln versehen ist. Die einzelnen Pixel der CCD- Farbkamera sind mit Filterbeschichtungen versehen, so dass Farbkanäle getrennt für rotes, blaues oder grünes Licht empfindlich sind, und dass sie rotes, blaues bzw. grünes Licht in jeweils breiten Wellenlängenbändern registrieren. Der blaue Farbkanal registriert ein Hellfeldbild und der rote Farbkanal ein registriert Dunkelfeldbild.
Es kann eine dritte Beleuchtungseinrichtung vorgesehen sein, die das scheibenförmige Objekt mit Licht einer Wellenlänge beleuchtet, die sich von den Wellenlängen der ersten und der zweiten Beleuchtungseinrichtung unterscheidet. Die dritte Beleuchtungseinrichtung kann dabei grünes Licht aussenden. (Die Farben sind frei kombinierbar - blau Hellfeld, rot Dunkelfeld oder umgekehrt, auch Kombinationen mit grün sind denkbar)
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.
In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung der Vorrichtung zum Aufnehmen der Oberfläche eines scheibenförmigen Objekts gemäß der gegenwärtigen Erfindung;
Fig. 2 eine schematische Darstellung der spektralen Verteilung des
Lichts von der ersten Beleuchtungseinrichtung;
Fig. 3 eine schematische Darstellung der spektralen Verteilung des
Lichts von der zweiten Beleuchtungseinrichtung; Fig. 4 eine schematische Darstellung der von der
Aufnahmeeinrichtung registrierten Intensitäten;
Fig. 5 eine vergrößerte Darstellung einer Beleuchtungseinrichtung, wobei die Beleuchtungseinrichtung aus einer LED-Zeile besteht, und
Fig. 6 eine vergrößerte Darstellung des Sensors der
Aufnahmeeinrichtung, der für die gleichzeitige Aufnahme zweier sich spektral unterscheidender Bilder ausgebildet ist.
Figur 1 ist eine schematische Darstellung einer Vorrichtung 1 zum Aufnehmen einer Oberfläche 4 eines scheibenförmigen Objekts 6 gemäß der Erfindung. Dabei werden von der Oberfläche 4 des scheibenförmigen Objekts 6 mehrere Bilder von ein und dem selben Bereich 7 gleichzeitig aufgenommen. Die Vorrichtung 1 umfasst mindestens eine erste Beleuchtungseinrichtung 8 zur Hellfeldbeleuchtung und mindestens eine zweite Beleuchtungseinrichtung 10 zur Dunkelfeldbeleuchtung für das scheibenförmige Objekt 6. Die beschriebene Vorrichtung 1 eignet sich für die Abbildung von erhabenen und/oder eingebetteten Strukturen auf flachen oder gekrümmten Flächen. Die scheibenförmigen Objekte 6 können dabei ein Wafer (Vorder- und/oder Rückseite und/oder Rand), Glasplatten, Bleche, ein Fiat- Panel- Dispaly oder Leiterplatten etc. sein. Ferner ist die Vorrichtung 1 mit einer Aufnahmeeinrichtung 12 zum Erfassen des von einem beleuchteten Bereich 7 des scheibenförmigen Objekts 6 ausgehenden Lichts. In einer Ausführungsform ist die erste Beleuchtungseinrichtung 8 und die zweite Beleuchtungseinrichtung 10 als eine LED-Zeile ausgebildet. Ebenso kann die erste und die zweite Beleuchtungseinrichtung 8 und 10 einen Bandenstrahler oder mindestens eine Leuchtstoffröhre umfassen. Die erste
Beleuchtungseinrichtung 8 in Hellfeldanordnung umfasst eine schmalbandige Blaubeleuchtung. Die zweite Beleuchtungseinrichtung 10 in Dunkelfeldanordnung umfasst eine schmalbandige Rotbeleuchtung. Die erste Beleuchtungseinrichtung 8 zur Hellfeldbeleuchtung ist bezüglich zu einer Senkrechten 9 auf die Oberfläche 4 des scheibenförmigen Objekts 6 unter einem kleinen Winkel geneigt. Das Licht der ersten Beleuchtungseinrichtung 8 zur Hellfeldbeleuchtung wird dabei direkt über die Oberfläche 4 des scheibenförmigen Objekts 6 in die Aufnahmeeinrichtung 12 gespiegelt. Das Licht der ersten Beleuchtungseinrichtung 8 zur Hellfeldbeleuchtung kann bei dieser Ausführungsform mit einer roten LED-Zeile erzeugt werden. Die Aufnahmeeinrichtung 12 ist eine CCD- Farbkamera mit flächig oder zeilenförmig angeordneten Pixeln. Die Aufnahmeeinrichtung 12 ist mit einer Auswerteeinrichtung 14 verbunden, die entsprechend den Farbkanälen trennt und somit intensitätsabhängige Bilder für jeden Farbkanal erzeugt. Figur 2 ist eine schematische Darstellung der spektralen Verteilung des Lichts von der ersten Beleuchtungseinrichtung 8. Auf der Abszisse 20 ist die Wellenlänge und auf der Ordinate 22 ist die Intensität aufgetragen. Die erste Beleuchtungseinrichtung 8 gibt rotes Licht in einem schmalbandingen Bereich 24 ab. Dabei besitzt der schmalbandige Bereich eine Breite von ca. 30 nm. In einer bevorzugten Ausführungsform hat der schmalbandige Bereich ein Maximum 25 bei 630 nm.
Figur 3 ist eine schematische Darstellung der spektralen Verteilung des Lichts von der zweiten Beleuchtungseinrichtung 10. Auf der Abszisse 30 ist die
Wellenlänge und auf der Ordinate 32 ist die Intensität aufgetragen. Die zweite Beleuchtungseinrichtung 10 gibt blaues Licht in einem schmalbandingen Bereich 34 ab. Dabei besitzt der schmalbandige Bereich eine Breite von ca. 30 nm. In einer bevorzugten Ausführungsform hat der schmalbandige Bereich ein Maximum 35 bei 450 nm.
Es ist für einen Fachmann selbstverständlich, dass die in den Beschreibungen zur Figur 2 und Figur 3 angegebenen Bereiche bzw. Wellenlängen lediglich eine von mehreren Ausführungsformen darstellen. Es ist einem Fachmann unbenommen diejenige spektrale Beleuchtung zu wählen, die für die Lösungen der Abbildungsproblematik am geeignetsten erscheint.
Figur 4 ist eine schematische Darstellung der von der registrierten Intensitäten. CCD- Farbkamera besitzt zeilenförmig angeordnete Pixel, die für unterschiedliche Spektralbereiche empfindlich sind. In der Regel sind drei Pixelzeilen vorgesehen, von denen eine erste Zeile für rotes Licht, eine zweite Zeile für grünes Licht und eine dritte Zeile für blaues Licht empfindlich ist. In Fig. 4 ist auf der Abszisse 40 die Wellenlänge und auf der Ordinate 42 die registrierte Intensität aufgetragen. Die Aufnahmeeinrichtung 12 registriert dabei einen breiteren Wellenlängenbereich als die schmalbandige spektrale Beleuchtung. Die Dunkelfeldbeleuchtung wird im roten Spektralbereich und die Hellfeldbeleuchtung wird im blauen Spektralbereich registriert.
Figur 5 zeigt eine vergrößerte Darstellung einer Beleuchtungseinrichtung 50, wobei die Beleuchtungseinrichtung 50 in dieser Ausführungsform aus mehreren LEDs 51 besteht. Ebenso ist es denkbar, dass die Beleuchtungseinrichtungen einen Bandenstrahler oder mindestens eine Leuchtstoffröhre umfassen. Die Beleuchtungseinrichtung 60 ist dabei derart ausgebildet, dass sie mindestens die Breite des zu untersuchenden Objekts besitzt. Figur 6 zeigt eine vergrößerte Darstellung eines Sensors 60 der Aufnahmeeinrichtung 12. Der Sensor 60 ist für die gleichzeitige Aufnahme eines Hellfeldbildes und eines Dunkelfeldbildes des scheibenförmigen Objekts ausgebildet. Der Sensor umfasst eine erste Zeile 61 mit Sensorelementen 64, die für rotes Licht empfindlich sind, eine zweite Zeile 62 mit Sensorelementen 65, die für grünes Licht empfindlich sind und eine dritte Zeile 63 mit Sensorelementen 66, die für blaues Licht empfindlich sind. Die Empfindlichkeit der einzelnen Sensorelemente kann z.B. über geeignete Filter erzielt werden. Das Aufnahmeprinzip durch die Aufnahmeeinrichtung 12 kann dahingehend erweitert werden, dass die zweite Zeile 62 mit Sensorelementen 65, die für grünes Licht empfindlich sind (grüner Kanal) zur Gewinnung von weiterer Information genutzt wird. Eine Möglichkeit ist, das Objekt mit einem grünen Laser oder einer grünen LED so zu beleuchten, dass die Lageabweichung von der Sollposition im Bild des grünen Kanals zur Ermittlung der Fokuslage oder des Kippwinkels des Objekts genutzt werden.

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen Objekten (6), mit mindestens zwei Beleuchtungseinrichtungen (8, 10), die derart ausgestaltet sind, dass das von den Beleuchtungseinrichtungen (8, 10) ausgehende Licht spektral unterschiedlich ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine einzige Aufnahmeeinrichtung (12) in Bezug auf das scheibenförmige Objekt (6) angeordnet ist, so dass die Aufnahmeeinrichtung (12) mehrere, spektral unterschiedliche Bilder des scheibenförmigen Objekts (6) gleichzeitig aufnimmt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Beleuchtungseinrichtungen (8, 10) bezüglich dem scheibenförmigen Objekt (6) derart angeordnet sind, dass sie ein und denselben Bereich (7) auf der Oberfläche (4) des scheibenförmigen Objekts (6) beleuchten.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste (8) der zwei Beleuchtungseinrichtungen in Hellfeldanordnung in Bezug auf den beleuchteten Bereich (7) angeordnet ist, und dass eine zweite (10) der zwei Beleuchtungseinrichtungen in Dunkelfeldanordnung angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Beleuchtungseinrichtung (8) in Hellfeldanordnung eine schmalbandige Blaubeleuchtung umfasst, und dass die zweite Beleuchtungseinrichtung (10) in Dunkelfeldanordnung eine schmalbandige Rotbeleuchtung umfasst.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotbeleuchtung einen Bandenstrahler oder mindestens eine rote Leuchtstoffröhre oder rote Leuchtdioden umfasst.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Blaubeleuchtung einen Bandenstrahler oder mindestens eine blaue Leuchtstoffröhre oder blaue Leuchtdioden umfasst.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeeinrichtung (12) den von den
Beleuchtungseinrichtungen (8, 10) gleichzeitig beleuchteten Bereich (7) auf der Oberfläche (4) des scheibenförmigen Objekts (6) aufnimmt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeeinrichtung (12) eine CCD- Farbkamera mit flächig oder zeilenförmig angeordneten Pixeln versehen ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Pixel der CCD- Farbkamera mit Filterbeschichtungen versehen sind, so dass Farbkanäle getrennt für rotes, blaues oder grünes Licht empfindlich sind, und dass sie rotes, blaues bzw. grünes Licht in jeweils breiten Wellenlängenbändern registrieren.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Auswerteeinrichtung (14) vorgesehen ist, die entsprechend den Farbkanälen trennt und somit intensitätsabhängige Bilder für jeden Farbkanal erzeugt.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der blaue Farbkanal ein Hellfeldbild registriert, und dass der rote Farbkanal ein Dunkelfeldbild registriert.
12. Vorrichtung nach Anspruch 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der grüne Farbkanal zur Gewinnung von weiterer Information verwendbar ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das eine dritte Beleuchtungseinrichtung vorgesehen ist, die das scheibenförmige Objekt (6) mit Licht einer Wellenlänge beleuchtet, die sich von dem Wellenlängen der ersten und der zweiten Beleuchtungseinrichtung (8, 10) unterscheidet.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Beleuchtungseinrichtung ein Laser oder eine LED ist, die grünes Licht ausendet, wobei das grüne Licht zur Registrierung der Abweichung von einer Sollposition verwendbar ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Sollposition die Fokuslage oder der Kippwinkel des scheibenförmigen Objekts (6) ist.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und zweite Beleuchtungseinrichtung (8, 10) eine linienförmige Beleuchtung ist, die als LED-Zeile ausgebildet ist.
PCT/EP2006/066887 2005-10-01 2006-09-29 Vorrichtung zur aufnahme von mehreren bildern von scheibenförmigen objekten WO2007039559A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/992,692 US20090237653A1 (en) 2005-10-01 2006-09-29 Device for recording a number of images of disk-shaped objects
JP2008532793A JP2009510426A (ja) 2005-10-01 2006-09-29 ディスク状対象物の複数画像の記録装置

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005047281.8 2005-10-01
DE102005047281 2005-10-01
DE102006009593.6 2006-03-02
DE102006009593A DE102006009593B4 (de) 2005-10-01 2006-03-02 Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen Objekten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2007039559A1 true WO2007039559A1 (de) 2007-04-12

Family

ID=37709566

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2006/066887 WO2007039559A1 (de) 2005-10-01 2006-09-29 Vorrichtung zur aufnahme von mehreren bildern von scheibenförmigen objekten

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20090237653A1 (de)
JP (1) JP2009510426A (de)
DE (1) DE102006009593B4 (de)
WO (1) WO2007039559A1 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009018849A1 (de) * 2007-08-09 2009-02-12 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung zur bildaufnahme von elementen
DE102008044991B4 (de) * 2008-08-29 2011-11-10 In-Situ Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen Erfassung von Objektoberflächen
US9271640B2 (en) 2009-11-10 2016-03-01 Illumigyn Ltd. Optical speculum
US9877644B2 (en) 2009-11-10 2018-01-30 Illumigyn Ltd. Optical speculum
US8638995B2 (en) 2009-11-10 2014-01-28 Illumigyn Ltd. Optical speculum
JP2012078140A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Hitachi High-Technologies Corp 基板表面欠陥検査方法およびその装置
CN105486690A (zh) * 2015-12-23 2016-04-13 苏州精濑光电有限公司 光学检测装置
DE102016109803B3 (de) * 2016-05-27 2017-07-06 Eyec Gmbh Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren zur Inspektion des Oberflächenbildes einer einen Prüfling darstellenden Flachsache

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0898163A1 (de) * 1997-08-22 1999-02-24 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Prüfung bewegter Oberflächen
EP1339237A2 (de) * 2002-02-21 2003-08-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Festkörperbildaufnahmegerät

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5952735A (ja) * 1982-09-20 1984-03-27 Kawasaki Steel Corp 熱間鋼片の表面欠陥検出方法
WO1994018643A1 (en) * 1993-02-02 1994-08-18 Golden Aluminum Company Method and apparatus for imaging surfaces
DE19511534C2 (de) * 1995-03-29 1998-01-22 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von 3D-Fehlstellen bei der automatischen Inspektion von Oberflächen mit Hilfe farbtüchtiger Bildauswertungssysteme
SE514859C2 (sv) * 1999-01-18 2001-05-07 Mydata Automation Ab Förfarande och anordning för undersökning av objekt på ett substrat genom att ta bilder av substratet och analysera dessa
WO2000049812A1 (en) * 1999-02-19 2000-08-24 Sony Corporation Image signal processor, image signal processing method, learning device, learning method, and recorded medium
DE19946520B4 (de) * 1999-09-28 2010-09-16 Parsytec Ag Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächeninspektion eines kontinuierlich zulaufenden Bandmaterials
DE10030772B4 (de) * 2000-04-26 2004-03-18 Cobra Electronic Gmbh Auflichtbeleuchtung bei Mikroskopen mit einem um die optische Achse orientierten Ringträger zur Aufnahme von Beleuchtungsmitteln
US7072034B2 (en) * 2001-06-08 2006-07-04 Kla-Tencor Corporation Systems and methods for inspection of specimen surfaces
GB2379818A (en) * 2001-07-25 2003-03-19 Univ Bristol Automatic surface inspection using plural different radiation sources.
DE10239548A1 (de) * 2002-08-23 2004-03-04 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion eines Objekts
DE10352936A1 (de) * 2003-05-19 2004-12-30 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg Verfahren und Vorrichtung zur optischen Qualitätsprüfung von Objekten mit vorzugsweise kreisförmig umlaufendem Rand
DE10330006B4 (de) * 2003-07-03 2006-07-20 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Vorrichtung zur Inspektion eines Wafers

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0898163A1 (de) * 1997-08-22 1999-02-24 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Prüfung bewegter Oberflächen
EP1339237A2 (de) * 2002-02-21 2003-08-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Festkörperbildaufnahmegerät

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009510426A (ja) 2009-03-12
DE102006009593A1 (de) 2007-04-12
US20090237653A1 (en) 2009-09-24
DE102006009593B4 (de) 2008-12-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006009593B4 (de) Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen Objekten
DE69912577T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen inspektion
DE102006059190B4 (de) Vorrichtung zur Wafer-Inspektion
DE102004004761A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion eines Wafers
DE69817580T2 (de) Vorrichtung zur optischen prüfung von verpackungsfolien
DE102007031230B3 (de) Dokumentenerfassungssystem und Dokumentenerfassungsverfahren
EP2390656B1 (de) Einrichtung und Verfahren zur optischen Überprüfung
WO2004019108A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur inspektion eines objekts
EP1073917A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen untersuchung von strukturierten oberflächen von objekten
DE102016011497B4 (de) Optische Untersuchungseinrichtung und optisches Untersuchungsverfahren mit sichtbarem und infrarotem Licht für Halbleiterbauteile
DE102014008596B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur schnellen und sicheren Messung von Verzerrungsfehlern in einem produzierten Floatglas - Band
CN107667287B (zh) 用于光学滤光片的自动缺陷检测与映射
DE10330003B4 (de) Vorrichtung, Verfahren und Computerprogramm zur Wafer-Inspektion
DE102018202051B4 (de) Vorrichtung zum automatischen Prüfen von Linsen und Verfahren zum automatischen Prüfen einer Vielzahl von Linsen
DE102009044151A1 (de) Vorrichtung zur optischen Waferinspektion
DE102018129729A1 (de) Beleuchtungsvorrichtung, Verfahren zur Bereitstellung eines Beleuchtungssystems und Streckenverwaltungssystem
DE19918689C2 (de) Vorrichtung zur dreidimensionalen konfocalen optischen Untersuchung eines Objektes mit Beleuchtung durch eine Lochplatte
WO2004017266A1 (de) Vorrichtung und ein verfahren zur inspektion von material
EP3131070A1 (de) Vorrichtung zum prüfen einer beschichtung eines dokumentes
WO2010133341A1 (de) Vorrichtung zum optischen untersuchen eines gegenstands
DE102008028869A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion eines scheibenförmigen Gegenstandes
DE202015104751U1 (de) Vorrichtung zur Inspektion von auf einer Materialbahn angeordneten Erzeugnissen
DE102014115650A1 (de) Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse
DE10359723B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion eines Wafers
DE102007002711A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion einer Oberfläche

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11992692

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008532793

Country of ref document: JP

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 06819062

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1