JP2016024195A - テレセントリック明視野および環状暗視野のシームレス融合型照明 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (103)
- a.中央光学集光器セグメント,および
b.上記中央光学集光器セグメントを取り囲む複数の周辺光学集光器セグメントを備え,
上記複数の周辺光学集光器セグメントが,上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している,
統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントが上記中央光学集光器セグメントに対してそれらの内端に沿って実質的に連続しており,上記統合非円形対称光学アセンブリの実質的にシームレスな開口部を形成している,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記統合非円形対称光学アセンブリの上記開口部が実質的に丸形である,
請求項2に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記中央光学集光器セグメントとその周囲の複数の周辺光学集光器セグメントとの間にギャップがさらに設けられている,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントが8つの光学集光器セグメントを備えている,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれがプリズマティック形である,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントが上記中央光学集光器セグメントの周りに円形に配置されている,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記中央光学集光器セグメントが光学レンズである,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれが光学レンズである,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記中央光学集光器セグメントがフレネル・レンズである,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれがフレネル・レンズである,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記中央光学集光器セグメントとその周囲の複数の周辺光学集光器セグメントとの間に,下流の照明光学アセンブリの前方焦点面における物理的ギャップに基づく被制御ギャップをさらに備えている,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記物理的ギャップがマスクを備えている,
請求項12に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記マスクが機械リングを備えている,
請求項13に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記マスクが別の素子上に塗られたコーティングを備えている,
請求項13に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記マスクが上記統合非円形対称光学アセンブリ上に塗られたコーティングを備えている,
請求項13に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記マスクが円形である,
請求項13に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムであって,上記光学照明システムが,
i.中央光学集光器セグメント,および
ii.上記中央光学集光器セグメントを取り囲み,上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える,
a.統合非円形対称光学アセンブリと,
b.それぞれが,上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれに対応する前方焦点面内に配置されている複数の照明光源と,
を備えている,
統合光学照明システム。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれの光出力が,上記暗視野照明のための遠視野として作用する,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントが上記中央光学集光器セグメントに対してそれらの内端に沿って実質的に連続しており,上記統合非円形対称光学アセンブリの実質的にシームレスな開口部を形成している,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記統合非円形対称光学アセンブリの上記開口部が実質的に丸形である,
請求項20に記載の統合光学照明システム。 - 上記中央円形対称光学集光器セグメントとその周囲の複数の周辺光学集光器セグメントとの間にギャップがさらに設けられている,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントが8つの光学集光器セグメントを備えている,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれがプリズマティック形である,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントが上記中央円形対称光学集光器セグメントの周りに円形に配置されている,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記中央円形対称光学集光器セグメントが光学レンズである,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれが光学レンズである,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記中央円形対称光学集光器セグメントがフレネル・レンズである,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれがフレネル・レンズである,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記照明光源の数が上記周辺光学集光器セグメントの数と同じである,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の照明光源が同じ波長の複数の発光ダイオードを備えている,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記中央円形対称光学集光器セグメントの光出力が,上記明視野照明のための遠視野として作用する,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - i.複数の照明光ビームを生成するように構成される第2の複数の照明光源,および
ii.上記複数の照明光ビームを結合するように構成され,上記結合照明光ビームを上記統合非円形対称光学アセンブリの上記中央円形対称光学集光器セグメントに搬送するように構成される照明光路をさらに備えている,
請求項18に記載の統合光学照明システム。 - 上記第2の複数の照明光源が3つの発光ダイオードを備えている,
請求項33に記載の統合光学照明システム。 - 複数の所定の照明様相にしたがって上記複数の照明光源および第2の複数の照明光源を駆動するように構成される制御モジュールをさらに備えている,
請求項33に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の所定の照明様相が明視野照明様相を含む,
請求項33に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の所定の照明様相が暗視野照明様相を含む,
請求項33に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光色を変化させる第2の複数の明視野照明様相を含む,
請求項33に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光パワーを変化させる第2の複数の明視野照明様相を含む,
請求項33に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光角度分布を変化させる第2の複数の暗視野照明様相を含む,
請求項33に記載の統合光学照明システム。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光パワーを変化させる第2の複数の暗視野照明様相を含む,
請求項33に記載の統合光学照明システム。 - 明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムであって,上記光学照明システムが,
i.中央円形対称光学集光器セグメント,および
ii.上記中央円形対称光学集光器セグメントを取り囲み,上記中央円形対称光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える,
a.統合非円形対称光学アセンブリと,
b.複数の照明光ビームを生成するように構成される複数の照明光源と,
c.上記複数の照明光ビームを結合するように構成され,かつ上記結合照明光ビームを上記中央円形対称光学集光器セグメントに搬送するように構成される照明光路と,
を備えている,
統合光学照明システム。 - 上記複数の照明光源が3つの発光ダイオードを備えている,
請求項42に記載の統合光学照明システム。 - 上記3つの発光ダイオードのうちの第1の発光ダイオードが赤色光を生成するように構成されており,上記3つの発光ダイオードのうちの第2の発光ダイオードが緑色光を生成するように構成されており,上記3つの発光ダイオードのうちの第3の発光ダイオードが青色光を生成するように構成されている,
請求項43に記載の統合光学照明システム。 - 上記照明光路が,上記複数の照明光ビームの少なくとも一つをコリメートするように構成される少なくとも一つのコリメート・レンズを備えている,
請求項42に記載の統合光学照明システム。 - 上記照明光路が,上記複数の照明光ビームを結合照明光ビームに結合するように構成される複数のダイクロイック・ミラーを備えている,
請求項42に記載の統合光学照明システム。 - 上記照明光路が,上記結合照明光ビームを上記中央円形対称光学集光器セグメントの前方焦点面上に焦光するように構成された結合レンズを備えている,
請求項42に記載の統合光学照明システム。 - i.中央光学集光器セグメント,および
ii.上記中央円形対称光学集光器セグメントを取り囲み,上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続し,かつ共通開口絞り面を有する複数の周辺光学集光器セグメントを備える,
a.統合非円形対称光学アセンブリと,
b.明視野照明および暗視野照明を上記統合非円形対称光学アセンブリに提供する統合光学照明システムと,
c.上記基板上に遠視野として上記開口絞り面を投影する光学アセンブリと,
d.照明された基板の画像を撮像センサ上に形成する撮像ユニットと,
を備えている,
光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記撮像ユニットの開口数と上記統合非円形対称光学アセンブリの開口数とが一致している,
請求項48に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - ハードウエア部とソフトウエア部を含み,デジタル画像データを解析して上記基板上の欠陥を検出するように構成された画像処理ユニットをさらに備えている,
請求項48に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - デジタル・センサがエリア・センサである,
請求項48に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記エリア・センサがCMOSセンサまたはCCDセンサである,
請求項51に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記撮像光学ユニットがテレセントリック撮像システムを備えている,
請求項48に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記エリア・センサが上記統合光学照明システムの照明光源(複数)と同期してトリガ可能である,
請求項51に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記エリア・センサが独立してトリガ可能であり,上記統合光学照明システムの上記照明光源(複数)が連続モードで動作する,
請求項51に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 複数の所定の照明様相にしたがって上記統合光学照明システムを駆動するように構成された制御モジュールをさらに備えている,
請求項48に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記複数の所定の照明様相が明視野照明様相を含む,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記複数の所定の照明様相が暗視野照明様相を含む,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光の色を変化させる第2の複数の明視野照明様相を含む,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光パワーを変化させる第2の複数の明視野照明様相を含む,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光角度分布を変化させる第2の複数の暗視野照明様相を含む,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光パワーを変化させる第2の複数の暗視野照明様相を含む,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記デジタル・センサが,上記複数の所定の照明様相に対応する上記基板上の同一エリアの複数の画像を取得するために,上記基板の同一エリアの複数の画像を取得するように構成されている,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記取得される上記基板の複数の同一エリアの画像が少なくとも部分的に互いにオーバーラップしている,
請求項63に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記複数の所定の照明様相の少なくとも2つが同時に起動される,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記複数の所定の照明様相の一つの様相を生成するために,異なる強度(複数)の異なる照明(複数)の線形結合が同時に使用され,上記生成される様相が照明(複数)の線形結合から構成される,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記デジタル・センサが,上記複数の所定の照明様相のうちの一つの様相を用いて上記基板の同一エリアの複数の画像を取得するように構成されている,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記取得される上記基板上の同一エリアの複数の画像が少なくとも部分的にオーバーラップしている,
請求項67に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記取得される上記基板の同一エリアの複数の画像を用いて,上記複数の所定の照明様相のうちの一つの様相に対応する上記基板の画像の信号対ノイズ比を改善するように構成される画像処理装置をさらに備えている,
請求項67に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記デジタル・センサが,上記複数の画像の各取得画像について異なる照明パワーを用いて上記基板の同一エリアの複数の画像を取得するように構成されている,
請求項56に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 上記取得される上記基板の同一エリアの複数の画像を用いて上記基板の高ダイナミックレンジ画像を生成するように構成されている画像処理装置をさらに備えている,
請求項70に記載の光学ヘッド・アセンブリ。 - 複数の撮像システム・アセンブリを備え,そのそれぞれが,
i.中央光学集光器セグメント,および
ii.上記中央光学集光器セグメントを取り囲み,上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える,
a.統合非円形対称光学アセンブリと,
b.上記中央円形対称光学集光器セグメントに明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムと,
を備えている,自動光学検査用検査システム。 - 複数の撮像アセンブリの下方で被検査基板を動かすための走査システムをさらに備えている,
請求項72に記載の検査システム。 - 被検査基板の上方で複数の撮像システム・アセンブリを動かすための走査システムをさらに備えている,
請求項72に記載の検査システム。 - 上記複数の撮像システム・アセンブリが,所定数の行および列のアレイ状で配置されている,
請求項72に記載の検査システム。 - 上記複数の撮像システム・アセンブリが,複数の傾斜列を有する千鳥配列状で配置されている,
請求項72に記載の検査システム。 - 上記複数の撮像システム・アセンブリのうちの一つの視野が,上記複数の撮像システム・アセンブリのうちの隣り合うものの第2の視野とオーバーラップするように配置されている,
請求項72に記載の検査システム。 - 上記複数の撮像システム・アセンブリが,上記複数の撮像システム・アセンブリのうちいくつかの照明モードを同時に変更する照明制御を共有している,
請求項72に記載の検査システム。 - 各撮像システム・アセンブリが,上記複数の撮像システム・アセンブリの他の撮像システム・アセンブリと無関係に,走査中に上記撮像システム・アセンブリについての照明様相を変更する照明制御モジュールを備えている,
請求項72に記載の検査システム。 - 基板上の異なるエリアが異なる照明様相を用いて走査される,
請求項79に記載の検査システム。 - 各撮像システム・アセンブリについての照明制御モジュールが,照明様相(複数)の所定のシーケンスを用いる,
請求項79に記載の検査システム。 - 上記照明様相の所定のシーケンスが基板の構造にしたがって決定される,
請求項81に記載の検査システム。 - i.中央光学集光器セグメント,および
ii.上記中央光学集合器セグメントを取り囲み,上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える,
a.統合非円形対称光学アセンブリを用意し,
b.上記統合非円形対称光学アセンブリに明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムを用意し,
c.デジタル取得センサ上に照明された基板の画像を形成する撮像光学ユニットを用意し,
d.上記照明システムによって生成された光を上記基板および上記撮像光学ユニットの光軸にガイドするフォールディング・ミラーまたは他の光学素子を用意し,
e.上記基板の画像を取得しかつ対応するデジタル画像データを生成するデジタル・センサを用意する,
基板の光学検査方法。 - 複数の所定の照明様相にしたがって上記統合光学照明システムを駆動することをさらに含む,
請求項83に記載の基板の光学検査方法。 - 上記複数の所定の照明様相が明視野照明様相を含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記複数の所定の照明様相が暗視野照明様相を含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光の色を変化させる第2の複数の明視野照明様相を含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光パワーを変化させる第2の複数の明視野照明様相を含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光角度分布を変化させる第2の複数の暗視野照明様相を含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記複数の所定の照明様相が,照明光パワーを変化させる第2の複数の暗視野照明様相を含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記複数の所定の照明様相に対応する上記基板の上記同一エリアの複数の画像を取得するために,デジタル・センサを用いて上記基板の同一エリアの複数の画像を取得することをさらに含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記取得された上記基板の同一エリアの複数の画像が少なくとも部分的に互いにオーバーラップしている,請求項91に記載の基板の光学検査方法。
- 上記複数の所定の照明様相のうちの少なくとも2つを同時に起動することをさらに含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記複数の所定の照明様相の一つの様相を生成するために,異なる強度(複数)の異なる照明(複数)の線形結合が同時に用いられ,これにより上記生成された様相が照明(複数)の線形結合から構成される,請求項84に記載の基板の光学検査方法。
- デジタル・センサを用いて,上記複数の照明様相のうちの一つの様相を用いて上記基板の同一エリアの複数の画像を取得することをさらに含む,
請求項84に記載の基板の光学検査方法。 - 上記取得された上記基板の同一エリアの複数の画像が少なくとも部分的にオーバーラップしている,
請求項95に記載の基板の光学検査方法。 - 上記取得された上記基板の同一エリアの複数の画像を用いて,上記複数の所定の照明様相の一つの様相に対応する上記基板の画像の信号対ノイズ比を改善することをさらに含む,
請求項95に記載の基板の光学検査方法。 - 上記デジタル・センサを用いて,上記複数の画像の各取得画像について異なる照明パワーを用いて上記基板の同一エリアの複数の画像を取得することをさらに含む,
請求項83に記載の基板の光学検査方法。 - 上記取得される上記基板の同一エリアの複数の画像を用いて上記基板の高ダイナミックレンジ画像を生成することをさらに含む,
請求項98に記載の基板の光学検査方法。 - 上記中央光学集光器セグメントが円形対称である,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記中央光学集光器セグメントが円形対称である,
請求項1に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。 - 上記中央光学集光器セグメントが円形対称である,
請求項83に記載の基板の光学検査方法。 - 明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムであって,上記光学照明システムが,
i.中央光学集光器セグメント,および
ii.上記中央光学集光器セグメントを取り囲み,上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える,
a.統合非円形対称光学アセンブリと,
b.複数の照明光源と,
を備えている,統合光学照明システム。
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