KR101133653B1 - 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 도 1의 기판 검사장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 2의 조명모듈들 중 어느 하나만을 도시한 도면이다.
도 4는 도 1의 기판 검사장치 중 조명모듈의 개수가 증가된 상태를 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 검사장치를 나타낸 도면이다.
120 : 격자유닛 130 : 투사렌즈
140 : 제1 반사거울 150 : 제2 반사거울
200 : 격자 연결유닛 300 : 격자 이송유닛
400 : 촬상모듈 410 : 결상렌즈
420 : 카메라 PD : 격자 패턴방향
MD : 격자 이송방향 RP : 격자평면
Claims (13)
- 조명유닛, 상기 조명유닛에서 발생된 광을 격자 패턴광으로 변경시키는 격자유닛, 및 상기 격자 패턴광을 검사기판으로 투사하는 투사렌즈를 각각 포함하는 복수의 조명모듈들;
상기 조명모듈들의 격자유닛들을 사전에 정해진 횟수로 일정 피치만큼 동시에 제어하는 격자 이송유닛;
상기 검사기판에서 반사된 상기 격자 패턴광들을 촬상하는 촬상모듈;
상기 조명모듈들에서 발생되어 상기 검사기판으로부터 반사된 광들을 촬상하는 촬상모듈; 및
상기 촬상모듈에서 촬상된 이미지들을 이용하여 상기 검사기판을 검사하는 제어부를 포함하고,
상기 격자유닛들은 동일한 격자평면상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제1항에 있어서, 상기 격자유닛들을 서로 연결하여 상기 격자유닛들이 상기 격자평면 상에 배치되도록 하는 격자 연결유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
- 제1항에 있어서, 상기 격자 이송유닛은
동일 평면 상에서 상기 격자유닛들의 격자 패턴방향들과 다른 방향으로 상기 격자유닛들을 이송하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제3항에 있어서, 상기 격자 이송유닛은
적어도 3개 이상의 상기 격자유닛들을 동시에 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제3항에 있어서, 상기 조명모듈들 각각은
상기 투사렌즈를 투과한 상기 격자 패턴광을 반사시키는 제1 반사거울; 및
상기 제1 반사거울에서 반사된 상기 격자 패턴광을 다시 반사시켜 상기 검사기판으로 제공하는 제2 반사거울을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제5항에 있어서, 상기 격자평면과 상기 투사렌즈의 기준면 사이의 각을 격자각(θgrat)이라하고, 상기 제1 반사거울이 상기 격자평면과 이루는 각을 제1 미러각(θmir1)이라하며, 상기 제2 반사거울이 상기 격자평면과 이루는 각을 제2 미러각(θmir2)이라하고, 상기 투사렌즈의 광축을 따라 진행하는 광이 상기 제1 및 제2 반사거울들에서 각각 반사되어 상기 검사기판으로 입사될 때 상기 격자평면의 법선과 이루는 각을 투사각(θproj)이라할 때,
상기 투사렌즈와 제1 및 제2 반사거울들은 θmir1 - θmir2 = (θgrat + θproj)/2 의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제1항에 있어서, 상기 투사렌즈들의 기준면들 각각은
상기 격자평면과 소정의 각도를 이루는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제1항에 있어서, 상기 격자유닛들은
상기 격자평면에서 다각형의 각 꼭지점에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제8항에 있어서, 상기 다각형은 N이 3이상 짝수인 N각형이고, 상기 N각형의 서로 마주보는 꼭지점들에 배치된 격자유닛들의 격자 패턴방향들은 서로 동일한 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
- 조명유닛, 상기 조명유닛에서 발생된 광을 격자 패턴광으로 변경시키는 격자유닛, 및 상기 격자 패턴광을 검사기판으로 투사하는 투사렌즈를 각각 포함하는 복수의 조명모듈들;
상기 조명모듈들의 격자유닛들을 사전에 정해진 횟수에 일정 피치만큼 동시에 제어하는 격자 이송유닛;
상기 검사기판에서 반사된 상기 격자 패턴광들을 촬상하는 촬상모듈;
상기 조명모듈들에서 발생되어 상기 검사기판으로부터 반사된 광들을 촬상하는 촬상모듈; 및
상기 촬상모듈에서 촬상된 이미지들을 이용하여 상기 검사기판을 검사하는 제어부를 포함하고,
상기 격자유닛들은 동일한 격자평면상에 배치되어 있고, 상기 조명모듈들 각각에서의 상기 격자유닛과 상기 투사렌즈는 서로 어긋나도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제10항에 있어서, 상기 조명모듈들 각각에서의 상기 격자유닛은
상기 투사렌즈의 중앙부분까지 겹쳐지도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 제10항에 있어서, 상기 조명모듈들 각각에서의 상기 투사렌즈는
상기 격자평면과 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치. - 동일한 격자평면에 배치된 복수의 격자유닛들을 이용하여 검사기판을 검사하는 기판 검사방법에 관한 것으로,
상기 격자유닛들의 격자 패턴방향들과 다른 격자 이송방향으로 상기 격자유닛들을 상기 격자평면을 따라 일정 피치만큼 정해진 횟수만큼 이동시키는 단계;
상기 격자유닛들 각각으로 광을 입사하여 격자 패턴광을 상기 검사기판으로 제공하는 단계; 및
상기 검사기판으로부터 반사된 상기 격자 패턴광을 인가받아 촬상하는 단계를 포함하는 기판 검사방법.
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