JP2010048712A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010048712A JP2010048712A JP2008214230A JP2008214230A JP2010048712A JP 2010048712 A JP2010048712 A JP 2010048712A JP 2008214230 A JP2008214230 A JP 2008214230A JP 2008214230 A JP2008214230 A JP 2008214230A JP 2010048712 A JP2010048712 A JP 2010048712A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- illumination
- light
- defect inspection
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【課題】簡易な構成で複数の照明方法の画像を効率よく取得すること。
【解決手段】基板50の表面に照射する照明光を発する光源15を有する光源部5と、光源15から発せられた照明光の基板50の表面に対する照射角度を切り替えるDMD17を有する照射角度切替機構7と、照射角度切替機構7により互いに異なる照射角度に切り替えられた照明光の基板50の表面における反射光をそれぞれ入射させて基板50の表面の像を撮像するカメラ19とを備える欠陥検査装置1を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】基板50の表面に照射する照明光を発する光源15を有する光源部5と、光源15から発せられた照明光の基板50の表面に対する照射角度を切り替えるDMD17を有する照射角度切替機構7と、照射角度切替機構7により互いに異なる照射角度に切り替えられた照明光の基板50の表面における反射光をそれぞれ入射させて基板50の表面の像を撮像するカメラ19とを備える欠陥検査装置1を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、欠陥検査装置に関するものである。
従来、半導体ウエハ等の基板の表面を検査する装置として、基板表面の明視野画像および暗視野画像を取得して、基板表面の幅広い多様な特徴を認識する検査装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載の検査装置は、2つの入射照明装置を備え、明視野配置に一方の入射照明装置を配置し、ウエハの表面から直接反射された反射光により明視野画像を取得するとともに、暗視野配置に他方の入射照明装置を配置し、散乱光やウエハの表面で回折された回折光により暗視野画像を取得するようになっている。
しかしながら、特許文献1に記載の検査装置では、明視野画像および暗視野画像を取得するために照明装置を複数台設置しなければならないという不都合がある。また、仮に1つの照明装置を移動させて照明光の照射角度を変えることにより明視野画像および暗視野画像を取得するとしても、基板の大型化に伴い検査装置が大型化し、基板の表面を回転軸として照明光学系を大きく移動させる必要がある。そのため、検査に時間がかり作業効率が低下するという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で複数の照明方法の画像を効率よく取得することができる欠陥検査装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、基板の表面に照射する照明光を発する光源と、該光源から発せられた前記照明光の前記基板の表面に対する照射角度を切り替える照射角度切替部とを備える照明部と、前記照射角度切替部により互いに異なる照射角度に切り替えられた前記照明光の前記基板の表面における反射光をそれぞれ入射させて前記表面の像を撮像する撮像部とを備える欠陥検査装置提供する。
本発明は、基板の表面に照射する照明光を発する光源と、該光源から発せられた前記照明光の前記基板の表面に対する照射角度を切り替える照射角度切替部とを備える照明部と、前記照射角度切替部により互いに異なる照射角度に切り替えられた前記照明光の前記基板の表面における反射光をそれぞれ入射させて前記表面の像を撮像する撮像部とを備える欠陥検査装置提供する。
本発明によれば、照射角度切替部により、光源から発せられた照明光の照射角度を切り替えることで、明視野照明による基板からの正反射光と暗視野照明による基板からの回折光や散乱光とをそれぞれ撮像部に入射させることができる。したがって、撮像部により、正反射光により基板の表面の像を撮像した明視野画像と、回折光や散乱光により基板の表面の象を撮像した暗視野画像とをそれぞれ取得して、基板の表面を検査することが可能になる。
この場合に、照射角度切替部は、光源から発せられた照明光、すなわち、光路中の照明光の照射角度を変えるものであればよく、例えば、可動式のミラーや光路変更素子等を採用することができる。したがって、光源を複数設けたり光源そのものを移動させたりして基板の表面に対する照明光の照射角度を変える場合に比べて、欠陥検査装置の構成を簡略化しつつ、明視野撮影および暗視野撮影による画像をそれぞれ効率よく取得することができる。
本発明においては、前記照射角度切替部が反射部材を備え、該反射部材の反射角度を変更することにより前記照射角度を切り替えることとしてもよい。
また、上記発明においては、前記照射角度切替部が、前記照明光を明視野照明と暗視野照明とに切り替えることとしてもよい。
このように構成することで、明視野照明でしか認識できない欠陥および暗視野照明でしか認識できない欠陥をそれぞれ検出し、基板の表面上の欠陥を検査することができる。
このように構成することで、明視野照明でしか認識できない欠陥および暗視野照明でしか認識できない欠陥をそれぞれ検出し、基板の表面上の欠陥を検査することができる。
また、上記発明においては、前記照明部が、ライン照明を行うためのシリンドリカルレンズを備え、前記撮像部が、前記シリンドリカルレンズによりライン照明された前記基板の1次元撮像を行うラインセンサカメラであり、該ラインセンサカメラと前記基板とを該基板の表面に対して相対的に移動させる移動機構を備えることとしてもよい。
シリンドリカルレンズによりラインセンサカメラと基板との相対的な移動方向に直交する方向にライン照明を行い、この照明範囲の全域をラインセンサカメラの視野に入れることで、1度のスキャンで基板の表面全体の画像を取得することができ、検査効率を向上させることができる。
また、上記発明においては、前記撮像部が、異なる照射角度で照射された前記照明光の前記基板の表面における反射光を同期して交互に撮影し、前記移動機構による前記撮像部と前記基板との相対移動量が、前記撮像部による撮影ごとに取得される画像の前記相対移動方向に対する幅の2分の1以下の量であることとしてもよい。
このように構成することで、異なる照射角度で照射された照明光の基板の表面における反射光による画像、例えば、明視野撮影による画像と暗視野撮影による画像が、移動機構による撮像部と基板との相対移動方向に沿って少なくとも半分以上重ね合わせられながら、撮像部により交互に取得される。
この場合に、撮像部により、明視野撮影と暗視野撮影とを同期して交互に行うことで、1度のスキャンにより、基板の表面における撮像部との相対移動方向の全域にわたる明視野画像および暗視野画像をそれぞれ取得することができる。
また、上記発明においては、前記照射角度切替部により照射角度を切り替えられた一の前記照明光の光路上に、該光路に沿って移動可能で、かつ、前記光路との交点を中心に回転可能な可動ミラーを備えることとしてもよい。
このように構成することで、可動ミラーにより、基板に対する照明光の照射範囲を一定に維持しつつ照射角度を変更することができる。これにより、撮像部において、正反射光による画像だけでなく次数の異なる回折光等による複数の画像を取得することができる。
本発明によれば、簡易な構成で複数の照明方法の画像を効率よく取得することができるという効果を奏する。
〔第1の実施形態〕
以下、本発明の第1の実施形態に係る欠陥検査装置1について、図面を参照して説明する。
本実施形態に係る欠陥検査装置1は、図1に示すように、基板50を搬送する基板搬送装置(移動機構)3と、基板搬送装置3上の基板50の表面に照明光を照射する照明部20と、基板50の表面における反射光を入射させて表面の像を撮像するカメラ(撮像部)19を有するカメラ装置9と、これら照明部20およびカメラ装置9の制御等を行うメイン制御部11とを備えている。なお、基板50としては、ガラス基板やウエハ等が挙げられる。
以下、本発明の第1の実施形態に係る欠陥検査装置1について、図面を参照して説明する。
本実施形態に係る欠陥検査装置1は、図1に示すように、基板50を搬送する基板搬送装置(移動機構)3と、基板搬送装置3上の基板50の表面に照明光を照射する照明部20と、基板50の表面における反射光を入射させて表面の像を撮像するカメラ(撮像部)19を有するカメラ装置9と、これら照明部20およびカメラ装置9の制御等を行うメイン制御部11とを備えている。なお、基板50としては、ガラス基板やウエハ等が挙げられる。
基板搬送装置3は、基板50とカメラ19とを基板50の表面に対して相対的に移動させるものである。基板搬送装置3としては、例えば、複数のローラで構成されるコンベアを備える搬送ラインや、複数の噴出孔を有する浮上プレートを備える搬送ライン等が用いられる。この基板搬送装置3は、基板50を水平に維持しながらコンベア上または浮上プレート上を一定速度で搬送するようになっている。
照明部20は、照明光を発する光源15を有する光源部5と、光源15から発せられた照明光の基板50の表面に対する照射角度を切り替えるDMD(照射角度切替部)17を有する照射角度切替機構7と、基板搬送装置3上の基板50に対して明視野照明位置に配置された明視野投影レンズ37Aおよび暗視野照明位置に配置された暗視野投影レンズ37Bと、照射角度切替機構7により切り替えられた照明光を暗視野投影レンズ37Bに導く固定ミラー13とを備えている。
光源部5は、光源15と、メイン制御部11からの点灯命令を受けて光源15を点灯させる照明制御部25とを備えている。光源15は、例えば、ハロゲンランプやLED(light emitting diode)等であり、光軸方向に進むに従って光束が広がるようになっている。
照射角度切替機構7は、光源15から発せられた照明光を反射するDMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)17と、メイン制御部11からの作動命令を受けてDMD17のスイッチングを行うDMD制御部27とを備えている。
DMD17は、光源15の光路上に配置された角度変更可能な多数の微小ミラー(図示略、反射部材)を備えている。このDMD17は、DMD制御部27によるスイッチング制御により微小ミラーを揺動させて角度を変更し、光源15から発せられた照明光の反射角度を切り替えるようになっている。
具体的には、微小ミラーは、DMD17のベース部に、例えば、約±12°の範囲内で角度を変更可能に配置されたミラーであり、基板50の搬送方向に直交する方向(すなわち、基板50の幅方向)に1次元に並んで配置されている。これら微小ミラーは、スイッチOFFのときは、反射した照明光が明視野投影レンズ37Aに入射される角度(例えば、−12°)に設定され、スイッチONのときは、反射した照明光が固定ミラー13を介して暗視野投影レンズ37Bに入射される角度(例えば、+12°)に設定されるようになっている。
このように、DMD17は、微小ミラーの反射角度を変更することにより、基板50への照射角度を切り替えるようになっている。
このように、DMD17は、微小ミラーの反射角度を変更することにより、基板50への照射角度を切り替えるようになっている。
DMD制御部27は、DMD17のスイッチON/OFFの切り替えに合わせて、DMD17の微小ミラーの角度を電気的信号、すなわち、エンコーダ信号に変換してカメラ装置9に出力するようになっている。
明視野投影レンズ37Aおよび暗視野投影レンズ37Bは、基板搬送装置3上の基板50に対して、互いに異なる照射角度で、かつ、同一範囲に向けて照明光を透過させるものである。
これら明視野投影レンズ37Aおよび暗視野投影レンズ37Bは、ともに基板50の搬送方向に直交する方向にパワーを持ち、言い換えれば、ライン状に照明光を照射させるものであり、光源15から発せられた照明光をコリメートして平行光とする同形状のシリンドリカルレンズによって構成されている。すなわち、明視野投影レンズ37Aおよび暗視野投影レンズ37Bは、基板50の搬送方向に直交する方向にライン照明を行うようになっている。
明視野投影レンズ37Aは、カメラ装置9に対して、基板50の表面に照射される照明光が明視野照明となる角度で配置されている。すなわち、明視野投影レンズ37Aは、透過した照明光の基板50の表面における正反射光37aがカメラ装置9に入射されるように配置されている。
暗視野投影レンズ37Bは、カメラ装置9に対して、基板50の表面に照射される照明光が暗視野照明となる角度で配置されている。すなわち、暗視野投影レンズ37Bは、透過した照明光の基板50の表面における正反射光37bがカメラ装置9に入射されないように配置されている。
カメラ装置9は、基板搬送装置3上の基板50の表面において反射された反射光が入射されて基板50の表面の像を撮像するカメラ(撮像部)19と、メイン制御部11からの撮影命令およびDMD制御部27からのエンコーダ信号を受けてカメラ19の撮影を制御するカメラ制御部29とを備えている。
カメラ19は、基板50の搬送方向に直交する方向に沿って受光素子19aが1次元的に配置されたラインセンサを備える撮影装置であり、基板50の幅方向の全域が視野に収められるようになっている。
また、カメラ19は、明視野投影レンズ37Aに対しては、基板50の表面に照射された照明光の基板50の表面における正反射光37aが入射されるように配置されている。一方、暗視野投影レンズ37Bに対しては、基板50の表面に照射された照明光の基板50の表面における正反射光37bは入射されず、かつ、その他の反射光等、例えば、基板50の表面で回折された回折光や散乱光が入射されるように配置されている。
カメラ制御部29は、DMD制御部27からのエンコーダ信号に基づき、DMD17のスイッチON/OFFに同期して、明視野投影レンズ37Aおよび暗視野投影レンズ37Bを透過して照射された照明光の基板50の表面における反射光を撮影させるようになっている。また、カメラ制御部29は、カメラ19により取得された画像の画像データをメイン制御部11に転送するようになっている。
メイン制御部11は、DMD17のスイッチON/OFFを所定の切替周期で切り替える作動命令をDMD制御部27に送るようになっている。また、メイン制御部11は、照明制御部25、DMD制御部27およびカメラ制御部29にそれぞれ上述した制御信号を送るほか、カメラ制御部29から送られてくる画像データを蓄積するとともに、画像データに基づき基板50の表面の検査処理を行うようになっている。
このように構成された本実施形態に係る欠陥検査装置1の作用について説明する。
本実施形態に係る欠陥検査装置1により基板50の表面を検査するには、まず、基板搬送装置3上の基板50を光源15およびカメラ19に向けて搬送する。基板搬送装置3による基板50とカメラ19との相対移動量は、カメラ19による撮影ごとに取得される画像の基板50の搬送方向に対する幅の2分の1以下の量であることが好ましい。
本実施形態に係る欠陥検査装置1により基板50の表面を検査するには、まず、基板搬送装置3上の基板50を光源15およびカメラ19に向けて搬送する。基板搬送装置3による基板50とカメラ19との相対移動量は、カメラ19による撮影ごとに取得される画像の基板50の搬送方向に対する幅の2分の1以下の量であることが好ましい。
具体的には、基板搬送装置3は、カメラ19により取得されるライン状の画像が、基板50の搬送方向に少なくとも半分以上重ね合わせられながら順次取得されていくように基板50を搬送するのが好ましい。このようにすることで、一方向の移動のみで基板50の表面における搬送方向の全域にわたり隙間なく2次元的な画像を取得することができる。
基板50が搬送されてくると、メイン制御部11により、照明制御部25に点灯命令が出力される。照明制御部25は点灯命令を受けて光源15を点灯制御し、光源15から照明光を発光させる。光源15から発せられた照明光は、DMD17により反射されて、明視野投影レンズ37Aまたは暗視野投影レンズ37Bへと導かれる。
また、メイン制御部11により、DMD制御部27にはDMD17のスイッチON/OFFを所定の切替周期で交互に切り替える作動信号が出力され、カメラ制御部29にはDMD17のスイッチON/OFFごとの撮影を同期して交互に撮影する撮影信号が出力される。
DMD制御部27においては、メイン制御部11からの作動信号を受けてDMD17のスイッチングが行われるとともに、スイッチON/OFFの切り替えに合わせて、DMD17の微小ミラーの角度のエンコーダ信号がカメラ制御部29に出力される。
作動信号がスイッチOFFのときは、図2に示すように、DMD17により反射される照明光が明視野投影レンズ37Aに導かれるように、DMD17の微小ミラーの向きが設定される。この場合、DMD17により反射された照明光は明視野投影レンズ37Aを透過して基板搬送装置3上の基板50の表面に照射され、その正反射光37aがカメラ19に入射される。
カメラ制御部29においては、メイン制御部11からの撮影信号およびDMD制御部27からのスイッチOFF時のエンコーダ信号を受けて、正反射光37aによる基板50の表面の像をカメラ19に撮像させる。これにより、カメラ19において基板50の表面の明視野画像が取得される。取得された明視野画像は、カメラ制御部29によりメイン制御部11へと転送されて記憶される。
一方、作動信号がスイッチONのときは、図3に示すように、DMD17により反射された照明光が固定ミラー13を介して暗視野投影レンズ37Bに導かれるように、DMD17の微小ミラーの向きが切り替えられる。この場合、DMD17により反射された照明光は暗視野投影レンズ37Bを透過して基板50の表面に照射され、その正反射光37b以外の基板50の表面で回折されたn次回折光や散乱光がカメラ19に入射される。
カメラ制御部29においては、メイン制御部11からの撮影信号およびDMD制御部27からのスイッチON時のエンコーダ信号を受けて、回折光や散乱光による基板50の表面の像をカメラ19に撮像させる。これにより、カメラ19において基板50の表面の暗視野画像が取得される。取得された暗視野画像は、カメラ制御部29によりメイン制御部11へと転送されて記憶される。
メイン制御部11においては、図4(a)に示すように、明視野撮影により取得された明視野画像Aの画像データおよび暗視野撮影により取得された暗視野画像Bの画像データが交互に蓄積される。
これにより、図5(a)〜図5(c)に示すように、基板50が光源15およびカメラ19を1度通過するだけで、すなわち、1度のスキャンで、基板50の搬送方向の全域にわたり、明視野画像Aと暗視野画像Bとが少なくとも半分以上重ね合わせられながら交互に取得される。なお、図5(a)〜図5(c)は、カメラ19の受光素子19aの1画素分の画像範囲を模式図で示している。図5(b)および図5(c)には、現在の撮影領域の下に過去の画像領域を模式的に残し、図5(a)、図5(b)、図5(c)の順に撮影領域をずらしながら明視野撮影と暗視野撮影とが交互に行われていく様子を示している。
したがって、基板50の搬送方向の全領域にわたり、明視野画像および暗視野画像がそれぞれ隙間なく取得される。この場合に、カメラ19のラインセンサが基板50の幅方向の全域を視野に収めることで、1度のスキャン、すなわち、基板50とカメラ19の相対移動で基板50の表面全体の明視野画像および暗視野画像をそれぞれ取得することができる。
なお、明視野画像と暗視野画像のみに限らず、1度の移動により複数の照明方法の画像を取得することが可能である。例えば、次数の異なる回折光を取得する構成としてもよい。
メイン制御部11においては、図4(a)および図4(b)に示すように、蓄積された画像データが振り分けられて明視野画像と暗視野画像とに分割される。そして、分割された明視野画像Aおよび暗視野画像Bの2枚の画像に基づいて、基板50の表面について検査処理が行われる。
以上説明したように、本実施形態に係る欠陥検査装置1によれば、DMD17により基板50に対する照明光の照射角度を切り替えるので、光源を複数設けたり光源そのものを移動させたりして照明光の照射角度を変える場合に比べて、欠陥検査装置1の構成を簡略化しつつ、明視野撮影および暗視野撮影による画像を効率よく取得することができる。また、1度のスキャンで基板50の表面全体の明視野画像および暗視野画像を取得することができ、検査効率を向上させることができる。また、基板搬送装置3として公知の搬送ラインを用いることができ、既存の搬送ラインへの設置が可能になる。
〔第2の実施形態〕
次に、本発明の第2の実施形態に係る欠陥検査装置101について、図6〜図8を参照して説明する。
本実施形態に係る欠陥検査装置101は、図6および図7に示すように、固定ミラー13に代えて可動ミラー機構102を備え、また、暗視野投影レンズ37Bに代えて暗視野投影レンズ機構104Bを備えている点で、第1の実施形態と異なる。なお、可動ミラー機構102および暗視野投影レンズ機構104Bは、それぞれメイン制御部11により制御される。
以下、本実施形態の説明において、第1の実施形態に係る欠陥検査装置1と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
次に、本発明の第2の実施形態に係る欠陥検査装置101について、図6〜図8を参照して説明する。
本実施形態に係る欠陥検査装置101は、図6および図7に示すように、固定ミラー13に代えて可動ミラー機構102を備え、また、暗視野投影レンズ37Bに代えて暗視野投影レンズ機構104Bを備えている点で、第1の実施形態と異なる。なお、可動ミラー機構102および暗視野投影レンズ機構104Bは、それぞれメイン制御部11により制御される。
以下、本実施形態の説明において、第1の実施形態に係る欠陥検査装置1と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
可動ミラー機構102は、暗視野投影レンズ機構104Bに入射させる照明光の光路を変更可能な可動ミラー112と、メイン制御部11からの移動命令を受けて可動ミラー112の移動を制御する可動ミラー制御部122とを備えている。
可動ミラー112は、図8に示すように、スイッチON時のDMD17から導かれる照明光の光路X上を移動可能に設けられ、かつ、その光路X上で反射面と光路Xの交点を中心に回転可能に配置されている。この可動ミラー112は、可動ミラー制御部122により、暗視野投影レンズ機構104Bへと導く照明光の光路を変更しつつ、暗視野投影レンズ機構104Bへ常に一定の入射角度で照明光を入射させるように制御される。
暗視野投影レンズ機構104Bは、カメラ装置9に対して、基板50の表面に照射される暗視野照明の照射角度を変更可能な可動暗視野投影レンズ114Bと、メイン制御部11からの移動命令を受けて可動暗視野投影レンズ114Bの移動を制御する可動暗視野投影レンズ制御部124Bとを備えている。
可動暗視野投影レンズ114Bは、明視野投影レンズ37Aを透過した照明光の照射位置と同一範囲に対向しつつ、高さ方向に移動可能に設けられている。この可動暗視野投影レンズ114Bは、可動暗視野投影レンズ制御部124Bにより、基板50に対する照明光の鉛直方向の照射角度を変更しつつ、明視野投影レンズ37Aと同一の照射範囲に向けて照明光を透過させるように制御される。
可動ミラー制御部122による可動ミラー112の移動、および、可動暗視野投影レンズ制御部124Bによる可動暗視野投影レンズ114Bの移動は、基板50の製造条件の変更時等、言い換えれば、レシピ変更時等にそれぞれ同期して低速で行われるようになっている。
具体的には、可動暗視野投影レンズ114Bの高さ方向の移動に合わせて、可動ミラー112がスイッチON時のDMD17から導かれる照明光の光路X上を移動しつつ、可動暗視野投影レンズ114Bへの入射角度を一定に保つように揺動される。
このようにすることで、暗視野撮影時の照明光の照射角度を自由に設定することができる。例えば、正反射光114b以外のm次回折光等をカメラ19に入射させて、n次回折光とは異なる暗視野画像を取得することができる。これにより、固定ミラー13では見つけられなかった基板50の表面の欠陥等を検出することが可能になる。
なお、上記各実施形態は以下のように変形することができる。
以下、第1の実施形態に係る欠陥検査装置1および第2の実施形態に係る欠陥検査装置101に共通の追加の構成を備える欠陥検査装置201について、図9を参照して説明する。同図において、固定ミラー13と暗視野投影レンズ37Bを例示して説明する。
本変形例に係る欠陥検査装置201は、上記各実施形態の照明光学系を採用することができ、それぞれに追加される構成として、光源15からDMD17に向けて発せられる照明光の光路上にフィルタ機構106を備えている。なお、フィルタ機構106は、DMD制御部27により制御される。
以下、本変形例の説明において、第1の実施形態に係る欠陥検査装置1および第2の実施形態に係る欠陥検査装置101と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
以下、第1の実施形態に係る欠陥検査装置1および第2の実施形態に係る欠陥検査装置101に共通の追加の構成を備える欠陥検査装置201について、図9を参照して説明する。同図において、固定ミラー13と暗視野投影レンズ37Bを例示して説明する。
本変形例に係る欠陥検査装置201は、上記各実施形態の照明光学系を採用することができ、それぞれに追加される構成として、光源15からDMD17に向けて発せられる照明光の光路上にフィルタ機構106を備えている。なお、フィルタ機構106は、DMD制御部27により制御される。
以下、本変形例の説明において、第1の実施形態に係る欠陥検査装置1および第2の実施形態に係る欠陥検査装置101と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
フィルタ機構106は、光源15から発せられた照明光の波長や光量を変更するターレット116と、DMD制御部27からの回転信号を受けてターレット116を回転させるフィルタ制御部126とを備えている。
ターレット116は、円盤状部材であり、DMD17に入射される照明光の光路と平行な回転軸を有している。このターレット116には、図示しない複数のカラーフィルタやNDフィルタがそれぞれ回転軸からほぼ等しい距離に周方向に間隔をあけて取り付けられている。例えば、ターレット116には、照明光の波長を変える場合はカラーフィルタを装着し、また、照明光の光量を変える場合はNDフィルタを装着し、あるいは、これら混合して装着することとしてもよい。正反射では主に膜ムラを検査するので、干渉縞が見え易いよう所定の半値幅を持つ単色光を用いる。また、回折光を撮像して検査するときは、白色光とするためフィルタを外したりまたは素通しのフィルタを用いたりすることとしてもよい。
このように構成することで、フィルタ制御部126によりDMD17のスイッチングと同期してターレット116を回転させ、明視野撮影と暗視野撮影とで異なるフィルタを通させて、波長が異なる照明光による撮影や光量が異なる照明光による撮影を行うことができる。これにより、照明光の波長や光量の相違により、特定の照明波長や光量では見つけられなかった基板50の表面の欠陥等を検出することが可能になる。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、上記各実施形態においては、移動機構として基板搬送装置3を例示して基板50を移動させることとしたが、移動機構は基板50とカメラ19とを相対的に移動させるものであればよく、例えば、基板50を固定してカメラ19を移動させるものであってもよいし、基板50とカメラ19を相互に移動させるものであってもよい。
例えば、上記各実施形態においては、移動機構として基板搬送装置3を例示して基板50を移動させることとしたが、移動機構は基板50とカメラ19とを相対的に移動させるものであればよく、例えば、基板50を固定してカメラ19を移動させるものであってもよいし、基板50とカメラ19を相互に移動させるものであってもよい。
また、上記各実施形態においては、1次元に並んだ微小ミラー列によって構成されたDMD17を例示したが、これに代えて、例えば、2次元のDMDのライン状部分を使用することとしてもよい。
また、DMD17に代えて、ガルバノミラー等の配置角度を変更可能な反射部材を用いたものや、スイッチにより反射と透過を切替可能な液晶板の後ろ側に、液晶板による反射とは異なる角度に反射するようにミラーを配置するなどの光路変更素子を採用することとしてもよい。
また、上記各実施形態においては、ライン照明やラインセンサを用いて基板搬送装置3により基板50を移動させて1次元の画像を2次元画像に構築する例で説明したが、例えば、ラインセンサを2次元の撮像素子に変更し、1次元のDMD17を2次元のDMDに変更し、シリンドリカルレンズを球面レンズに変更することにより、基板50を搬送しないで2次元画像を初めから取得する構成としてもよい。
また、DMD17に代えて、ガルバノミラー等の配置角度を変更可能な反射部材を用いたものや、スイッチにより反射と透過を切替可能な液晶板の後ろ側に、液晶板による反射とは異なる角度に反射するようにミラーを配置するなどの光路変更素子を採用することとしてもよい。
また、上記各実施形態においては、ライン照明やラインセンサを用いて基板搬送装置3により基板50を移動させて1次元の画像を2次元画像に構築する例で説明したが、例えば、ラインセンサを2次元の撮像素子に変更し、1次元のDMD17を2次元のDMDに変更し、シリンドリカルレンズを球面レンズに変更することにより、基板50を搬送しないで2次元画像を初めから取得する構成としてもよい。
1 欠陥検査装置
3 基板搬送装置(移動機構)
7 照射角度切替機構(照射角度切替部)
15 光源
19 カメラ(撮像部)
20 照明部
50 基板
3 基板搬送装置(移動機構)
7 照射角度切替機構(照射角度切替部)
15 光源
19 カメラ(撮像部)
20 照明部
50 基板
Claims (6)
- 基板の表面に照射する照明光を発する光源と、該光源から発せられた前記照明光の前記基板の表面に対する照射角度を切り替える照射角度切替部とを備える照明部と、
前記照射角度切替部により互いに異なる照射角度に切り替えられた前記照明光の前記基板の表面における反射光をそれぞれ入射させて前記表面の像を撮像する撮像部と
を備える欠陥検査装置。 - 前記照射角度切替部が反射部材を備え、該反射部材の反射角度を変更することにより前記照射角度を切り替える請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記照射角度切替部が、前記照明光を明視野照明と暗視野照明とに切り替える請求項1または請求項2に記載の欠陥検査装置。
- 前記照明部が、ライン照明を行うためのシリンドリカルレンズを備え、
前記撮像部が、前記シリンドリカルレンズによりライン照明された前記基板の1次元撮像を行うラインセンサカメラであり、
該ラインセンサカメラと前記基板とを該基板の表面に対して相対的に移動させる移動機構を備える請求項1から請求項3のいずれかに記載の欠陥検査装置。 - 前記撮像部が、異なる照射角度で照射された前記照明光の前記基板の表面における反射光を同期して交互に撮影し、
前記移動機構による前記撮像部と前記基板との相対移動量が、前記撮像部による撮影ごとに取得される画像の前記相対移動方向に対する幅の2分の1以下の量である請求項4に記載の欠陥検査装置。 - 前記照射角度切替部により照射角度を切り替えられた一の前記照明光の光路上に、該光路に沿って移動可能で、かつ、前記光路との交点を中心に回転可能な可動ミラーを備える請求項1から請求項5のいずれかに記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008214230A JP2010048712A (ja) | 2008-08-22 | 2008-08-22 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008214230A JP2010048712A (ja) | 2008-08-22 | 2008-08-22 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010048712A true JP2010048712A (ja) | 2010-03-04 |
Family
ID=42065908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008214230A Withdrawn JP2010048712A (ja) | 2008-08-22 | 2008-08-22 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010048712A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103196831A (zh) * | 2012-01-06 | 2013-07-10 | 由田信息技术(上海)有限公司 | 光学视野调整方法 |
KR101338362B1 (ko) | 2012-03-09 | 2013-12-06 | 삼성전기주식회사 | 디지털 마이크로 미러 장치용 미러 불량 검출장치 |
CN103901037A (zh) * | 2012-12-28 | 2014-07-02 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 检测系统 |
CN105092603A (zh) * | 2015-09-07 | 2015-11-25 | 哈尔滨理工大学 | 碗型工件内壁的在线视觉检测装置和方法 |
CN108267460A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-07-10 | 湖南科创信息技术股份有限公司 | 用于透明材料缺陷检测的矩阵式视觉检测系统和方法 |
JP2020190457A (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 株式会社昭和電気研究所 | ウエハ検査装置 |
WO2021214995A1 (ja) * | 2020-04-24 | 2021-10-28 | 日本電気株式会社 | 判定装置 |
CN117233947A (zh) * | 2023-11-15 | 2023-12-15 | 睿励科学仪器(上海)有限公司 | 显微镜照明系统、控制方法及显微成像检测系统 |
-
2008
- 2008-08-22 JP JP2008214230A patent/JP2010048712A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103196831A (zh) * | 2012-01-06 | 2013-07-10 | 由田信息技术(上海)有限公司 | 光学视野调整方法 |
KR101338362B1 (ko) | 2012-03-09 | 2013-12-06 | 삼성전기주식회사 | 디지털 마이크로 미러 장치용 미러 불량 검출장치 |
CN103901037A (zh) * | 2012-12-28 | 2014-07-02 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 检测系统 |
CN103901037B (zh) * | 2012-12-28 | 2017-01-11 | 杨高林 | 检测系统 |
CN105092603A (zh) * | 2015-09-07 | 2015-11-25 | 哈尔滨理工大学 | 碗型工件内壁的在线视觉检测装置和方法 |
CN108267460A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-07-10 | 湖南科创信息技术股份有限公司 | 用于透明材料缺陷检测的矩阵式视觉检测系统和方法 |
JP2020190457A (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 株式会社昭和電気研究所 | ウエハ検査装置 |
JP7360687B2 (ja) | 2019-05-21 | 2023-10-13 | 株式会社昭和電気研究所 | ウエハ検査装置 |
WO2021214995A1 (ja) * | 2020-04-24 | 2021-10-28 | 日本電気株式会社 | 判定装置 |
CN117233947A (zh) * | 2023-11-15 | 2023-12-15 | 睿励科学仪器(上海)有限公司 | 显微镜照明系统、控制方法及显微成像检测系统 |
CN117233947B (zh) * | 2023-11-15 | 2024-02-02 | 睿励科学仪器(上海)有限公司 | 显微镜照明系统、控制方法及显微成像检测系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010048712A (ja) | 欠陥検査装置 | |
KR101207198B1 (ko) | 기판 검사장치 | |
US7551272B2 (en) | Method and an apparatus for simultaneous 2D and 3D optical inspection and acquisition of optical inspection data of an object | |
JP5854501B2 (ja) | 自動外観検査装置 | |
JP5806808B2 (ja) | 撮像光学検査装置 | |
US20080186556A1 (en) | Automatic optical inspection using multiple objectives | |
KR101755615B1 (ko) | 광학 장치 및 이를 포함하는 광학 검사 장치 | |
WO2008110061A1 (fr) | Système d'auto-test de substrat plan et procédé afférent | |
KR102119289B1 (ko) | 샘플 검사 및 검수 시스템 및 방법 | |
US6407809B1 (en) | Optical inspection system and method | |
CN116783474A (zh) | 扫描散射测量叠盖测量 | |
KR101311251B1 (ko) | 검사장치 | |
JP2006332646A (ja) | ウェハーを検査するための装置と方法 | |
JP2008128811A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2019117104A (ja) | 検査装置 | |
EP1058111A2 (en) | Optical inspection system and method | |
CN115380253A (zh) | 图案形成装置、及图案形成方法 | |
KR101133653B1 (ko) | 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법 | |
KR20110026922A (ko) | 평판의 결함 검사 장치 및 방법 | |
KR100955815B1 (ko) | 에이오아이(aoi) 장치 | |
JP2013195378A (ja) | 液晶検査装置 | |
JP7500545B2 (ja) | 光学検査システム向けマルチモダリティ多重化照明 | |
KR101127563B1 (ko) | 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치 | |
KR20060103659A (ko) | 패턴 결함 검출 장치 | |
KR20140077628A (ko) | 마스크 검사장치 및 그 제어방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20111101 |