JP2016024195A5 - - Google Patents

Claims (55)

1. ａ．中央光学集光器セグメント，および
   ｂ．上記中央光学集光器セグメントを取り囲む複数の周辺光学集光器セグメントを備え，
   上記複数の周辺光学集光器セグメントが，上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している，
   統合非円形対称光学アセンブリ。
2. 上記複数の周辺光学集光器セグメントが上記中央光学集光器セグメントに対してそれらの内端に沿って実質的に連続しており，上記統合非円形対称光学アセンブリの実質的にシームレスな開口部を形成している，
   請求項１に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。
3. 上記統合非円形対称光学アセンブリの上記開口部が実質的に丸形である，
   請求項２に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。
4. 上記中央光学集光器セグメントとその周囲の複数の周辺光学集光器セグメントとの間にギャップがさらに設けられている，
   請求項１に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。
5. 上記複数の周辺光学集光器セグメントが８つの光学集光器セグメントを備えている，
   請求項１に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。
6. 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれがプリズマティック形である，
   請求項１に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。
7. 上記中央光学集光器セグメントおよび上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれのうちの少なくともいずれか一方がフレネル・レンズである，
   請求項１に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。
8. 上記中央光学集光器セグメントとその周囲の複数の周辺光学集光器セグメントとの間に，下流の照明光学アセンブリの前方焦点面における物理的ギャップに基づく被制御ギャップをさらに備えている，
   請求項１に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。
9. 明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムであって，上記光学照明システムが，
   ｉ．中央光学集光器セグメント，および
   ii．上記中央光学集光器セグメントを取り囲み，上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える，
   ａ．統合非円形対称光学アセンブリと，
   ｂ．それぞれが，上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれに対応する前方焦点面内に配置されている複数の照明光源と，
   を備えている，
   統合光学照明システム。
10. 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれの光出力が，上記暗視野照明のための遠視野として作用する，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
11. 上記複数の周辺光学集光器セグメントが上記中央光学集光器セグメントに対してそれらの内端に沿って実質的に連続しており，上記統合非円形対称光学アセンブリの実質的にシームレスな開口部を形成している，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
12. 上記統合非円形対称光学アセンブリの上記開口部が実質的に丸形である，
    請求項１１に記載の統合光学照明システム。
13. 上記中央円形対称光学集光器セグメントとその周囲の複数の周辺光学集光器セグメントとの間にギャップがさらに設けられている，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
14. 上記複数の周辺光学集光器セグメントが８つの光学集光器セグメントを備えている，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
15. 上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれがプリズマティック形である，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
16. 上記複数の周辺光学集光器セグメントが上記中央円形対称光学集光器セグメントの周りに円形に配置されている，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
17. 上記中央円形対称光学集光器セグメントおよび上記複数の周辺光学集光器セグメントのそれぞれのうちの少なくともいずれか一方がフレネル・レンズである，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
18. 上記複数の照明光源が同じ波長の複数の発光ダイオードを備えている，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
19. 上記中央円形対称光学集光器セグメントの光出力が，上記明視野照明のための遠視野として作用する，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
20. ｉ．複数の照明光ビームを生成するように構成される第２の複数の照明光源，および
    ii．上記複数の照明光ビームを結合するように構成され，上記結合照明光ビームを上記統合非円形対称光学アセンブリの上記中央円形対称光学集光器セグメントに搬送するように構成される照明光路をさらに備えている，
    請求項９に記載の統合光学照明システム。
21. 上記第２の複数の照明光源が３つの発光ダイオードを備えている，
    請求項２０に記載の統合光学照明システム。
22. 複数の所定の照明様相にしたがって上記複数の照明光源および第２の複数の照明光源を駆動するように構成される制御モジュールをさらに備えている，
    請求項２０に記載の統合光学照明システム。
23. 上記複数の所定の照明様相が明視野照明様相および暗視野照明様相のうちの少なくともいずれか一方を含む，
    請求項２０に記載の統合光学照明システム。
24. 上記複数の所定の照明様相が，照明光色を変化させる第２の複数の明視野照明様相を含む，
    請求項２０に記載の統合光学照明システム。
25. 上記複数の所定の照明様相が，照明光パワーを変化させる第２の複数の明視野照明様相を含む，
    請求項２０に記載の統合光学照明システム。
26. 上記複数の所定の照明様相が，照明光角度分布を変化させる第２の複数の暗視野照明様相を含む，
    請求項２０に記載の統合光学照明システム。
27. 上記複数の所定の照明様相が，照明光パワーを変化させる第２の複数の暗視野照明様相を含む，
    請求項２０に記載の統合光学照明システム。
28. 明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムであって，上記光学照明システムが，
    ｉ．中央円形対称光学集光器セグメント，および
    ii．上記中央円形対称光学集光器セグメントを取り囲み，上記中央円形対称光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える，
    ａ．統合非円形対称光学アセンブリと，
    ｂ．複数の照明光ビームを生成するように構成される複数の照明光源と，
    ｃ．上記複数の照明光ビームを結合するように構成され，かつ上記結合照明光ビームを上記中央円形対称光学集光器セグメントに搬送するように構成される照明光路と，
    を備えている，
    統合光学照明システム。
29. 上記複数の照明光源が３つの発光ダイオードを備えている，
    請求項２８に記載の統合光学照明システム。
30. 上記照明光路が，上記複数の照明光ビームの少なくとも一つをコリメートするように構成される少なくとも一つのコリメート・レンズを備えている，
    請求項２８に記載の統合光学照明システム。
31. 上記照明光路が，上記複数の照明光ビームを結合照明光ビームに結合するように構成される複数のダイクロイック・ミラーを備えている，
    請求項２８に記載の統合光学照明システム。
32. 上記照明光路が，上記結合照明光ビームを上記中央円形対称光学集光器セグメントの前方焦点面上に焦光するように構成された結合レンズを備えている，
    請求項２８に記載の統合光学照明システム。
33. ｉ．中央光学集光器セグメント，および
    ii．上記中央円形対称光学集光器セグメントを取り囲み，上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続し，かつ共通開口絞り面を有する複数の周辺光学集光器セグメントを備える，
    ａ．統合非円形対称光学アセンブリと，
    ｂ．明視野照明および暗視野照明を上記統合非円形対称光学アセンブリに提供する統合光学照明システムと，
    ｃ．上記基板上に遠視野として上記開口絞り面を投影する光学アセンブリと，
    ｄ．照明された基板の画像を撮像センサ上に形成する撮像ユニットと，
    を備えている，
    光学ヘッド・アセンブリ。
34. 上記撮像ユニットの開口数と上記統合非円形対称光学アセンブリの開口数とが一致している，
    請求項３３に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
35. 上記撮像光学ユニットがテレセントリック撮像システムを備えている，
    請求項３３に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
36. 上記デジタル・センサがエリア・センサであり，上記エリア・センサが上記統合光学照明システムの照明光源（複数）と同期してトリガ可能である，
    請求項３３に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
37. 上記デジタル・センサがエリア・センサであり，上記エリア・センサが独立してトリガ可能であり，上記統合光学照明システムの上記照明光源（複数）が連続モードで動作する，
    請求項３３に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
38. 複数の所定の照明様相にしたがって上記統合光学照明システムを駆動するように構成された制御モジュールをさらに備えている，
    請求項３３に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
39. 上記複数の所定の照明様相が明視野照明様相および暗視野照明様相のうちの少なくともいずれか一方を含む，
    請求項３８に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
40. 上記複数の所定の照明様相が，照明光の色を変化させる第２の複数の明視野照明様相を含む，
    請求項３８に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
41. 上記複数の所定の照明様相が，照明光パワーを変化させる第２の複数の明視野照明様相を含む，
    請求項３８に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
42. 上記複数の所定の照明様相が，照明光角度分布を変化させる第２の複数の暗視野照明様相を含む，
    請求項３８に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
43. 上記複数の所定の照明様相が，照明光パワーを変化させる第２の複数の暗視野照明様相を含む，
    請求項３８に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
44. 上記複数の所定の照明様相の一つの様相を生成するために，異なる強度（複数）の異なる照明（複数）の線形結合が同時に使用され，上記生成される様相が照明（複数）の線形結合から構成される，
    請求項３８に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
45. 上記デジタル・センサが，上記複数の画像の各取得画像について異なる照明パワーを用いて上記基板の同一エリアの複数の画像を取得するように構成されている，
    請求項３８に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
46. 上記取得される上記基板の同一エリアの複数の画像を用いて上記基板の高ダイナミックレンジ画像を生成するように構成されている画像処理装置をさらに備えている，
    請求項４５に記載の光学ヘッド・アセンブリ。
47. 複数の撮像システム・アセンブリを備え，そのそれぞれが，
    ｉ．中央光学集光器セグメント，および
    ii．上記中央光学集光器セグメントを取り囲み，上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える，
    ａ．統合非円形対称光学アセンブリと，
    ｂ．上記中央円形対称光学集光器セグメントに明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムと，
    を備えている，自動光学検査用検査システム。
48. 複数の撮像アセンブリの下方で被検査基板を動かすための走査システムおよび被検査基板の上方で複数の撮像システム・アセンブリを動かすための走査システムのうちの少なくともいずれか一方をさらに備えている，
    請求項４７に記載の検査システム。
49. 上記複数の撮像システム・アセンブリが，所定数の行および列のアレイ状で配置されている，または複数の傾斜列を有する千鳥配列状で配置されている，
    請求項４７に記載の検査システム。
50. 上記複数の撮像システム・アセンブリのうちの一つの視野が，上記複数の撮像システム・アセンブリのうちの隣り合うものの第２の視野とオーバーラップするように配置されている，
    請求項４７に記載の検査システム。
51. 上記複数の撮像システム・アセンブリが，上記複数の撮像システム・アセンブリのうちいくつかの照明モードを同時に変更する照明制御を共有している，
    請求項４７に記載の検査システム。
52. 各撮像システム・アセンブリが，上記複数の撮像システム・アセンブリの他の撮像システム・アセンブリと無関係に，走査中に上記撮像システム・アセンブリについての照明様相を変更する照明制御モジュールを備えている，
    請求項４７に記載の検査システム。
53. 基板上の異なるエリアが異なる照明様相を用いて走査される，
    請求項５２に記載の検査システム。
54. ｉ．中央光学集光器セグメント，および
    ii．上記中央光学集合器セグメントを取り囲み，上記中央光学集光器セグメントの周りに実質的にシームレスなリングを形成するように実質的に連続している複数の周辺光学集光器セグメントを備える，
    ａ．統合非円形対称光学アセンブリを用意し，
    ｂ．上記統合非円形対称光学アセンブリに明視野照明および暗視野照明を提供する統合光学照明システムを用意し，
    ｃ．デジタル取得センサ上に照明された基板の画像を形成する撮像光学ユニットを用意し，
    ｄ．上記照明システムによって生成された光を上記基板および上記撮像光学ユニットの光軸にガイドするフォールディング・ミラーまたは他の光学素子を用意し，
    ｅ．上記基板の画像を取得しかつ対応するデジタル画像データを生成するデジタル・センサを用意する，
    基板の光学検査方法。
55. 上記中央光学集光器セグメントが円形対称である，
    請求項１に記載の統合非円形対称光学アセンブリ。